JP4210150B2

JP4210150B2 - Method of using leak detection device for bag-like or hollow body

Info

Publication number: JP4210150B2
Application number: JP2003137147A
Authority: JP
Inventors: 英二郎落合; 弦大嶋; 規正瀬戸; 善和松本
Original assignee: Ulvac Inc
Current assignee: Ulvac Inc
Priority date: 2003-05-15
Filing date: 2003-05-15
Publication date: 2009-01-14
Anticipated expiration: 2023-05-15
Also published as: JP2004340723A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、特にゴム製の袋状物または中空体の洩れ検出装置の使用方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
コンドームなどのゴム製品の信頼性を確認する方法として、旧来は放電法によるものが一般的であった。これは、絶縁性材料で製造されたコンドームに足して放電法によりピンホールを検知するものである。
【０００３】
ところが、近年になると、製品材料にポリウレタン等のような導電性物質が用いられるようになり、旧来の放電法によるものでは、所期の検出精度が期待できない。このため、これに替る信頼性確認法が要望されている。
【０００４】
この要望を満たすものとして、従来、圧縮空気やヘリウム等の標識気体をコンドーム内部に封入した状態で、その形状の保持具合や標識気体のリークの有無を検出することにより、ピンホール検出を行う方法が知られている（例えば、特許文献１参照）。また、多孔質中空心棒に被覆させたコンドーム内外差圧の圧力変化率からピンホール検出を行うものが知られている（例えば、特許文献２参照）。しかしながら、これらのものでは、コンドームの開口部分が密封されないため、コンドーム表面が膨張したときに初めて穿通するような微小ピンホールの検出には適さない。
【０００５】
そこで、例えば特許文献３に示すように、密閉したライナー内に保持体に被覆させたコンドームを挿入し、コンドーム内外に生じさせた差圧により、コンドームを膨張させて微細孔に対応できるようにしたものがある。
【０００６】
しかしながら、このものでは、コンドームと保持体との接触により新たな微細ピンホールが生じる可能性があり、測定サンプルに対する測定の信頼性を損なうおそれがあるうえ、コンドームの膨張率に応じて密閉ライナーの設計を行うなど装置構成の複雑化を伴う不具合がある。
【０００７】
【特許文献１】
特開平７−２７６５４号公報（第５頁、図３）
【特許文献２】
特開平８−８６７１５号公報（第６―７頁、図６）
【特許文献３】
特開平８−２３３６８１号公報（第１２頁）
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、上記問題点に鑑み、例えばコンドームなどの袋状物または中空体を検出対象とし、簡易な装置構成ながら微細なピンホールに対しても高精度で検出可能な洩れ検出装置の使用方法を提供することを課題としている。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため、本発明で用いる洩れ検出装置は、開口を有する袋状物を収容するチャンバと、このチャンバ内に収容された袋状物の開口からその内部にヘリウムを導入するヘリウム導入手段と、チャンバ内の気体を排気する排気手段と、この排気手段により排気された気体中のヘリウム量を検出するヘリウム検出手段と、パージガスをチャンバ内に供給するパージガス供給手段から構成されている。
【００１０】
また、気体導入孔を有する中空体を収容するチャンバと、このチャンバ内に収容された中空体の気体導入孔からその内部にヘリウムを導入するヘリウム導入手段と、チャンバ内の気体を排気する排気手段と、この排気手段により排気された気体中のヘリウム量を検出するヘリウム検出手段とによるものを洩れ検出装置の構成としても良い。
【００１１】
これらによれば、ヘリウム導入手段を動作させないときには、袋状物または中空体の内部を気密に保った状態で、排気手段によりチャンバ内を排気することにより、袋状物または中空体内外に差圧を生じさせることができる。そして、排気手段の強弱を調整することで、その差圧を容易に所望の範囲内に収めることができる。即ち、袋状物または中空体がゴム製である場合、差圧による膨張収縮を管理することが容易になる。さらに、ヘリウム導入手段で内部に導入したヘリウムをトレーサとしてヘリウム検出手段により検出を行うことで、膨張の程度に応じてそれらの表面に発現するピンホールの有無も判別できる。
【００１２】
この装置は、排気手段による排気作動で袋状物または中空体の内外に容易に差圧を生じさせることができるので、それらの側壁の大部分を支持体などへ接触させることがなく、側定時の新たなピンホール発生のおそれが少ない。このため、信頼性の高い測定を行うことができる。
【００１３】
本発明の袋状物の洩れ検出装置の使用方法は、開口を有する袋状物を収容するチャンバと、該チャンバ内に収容された袋状物内部に前記開口よりヘリウムを導入するヘリウム導入手段と、前記チャンバ内の気体を排気する排気手段と、該排気手段により排気された気体中のヘリウム量を検出するヘリウム検出手段と、パージガスを前記チャンバ内に供給するパージガス供給手段とを備えることを特徴とする袋状物の洩れ検出装置の使用方法において、前記ヘリウム導入手段を停止し、前記パージガス供給手段を動作させ、さらに前記排気手段を作動させて排気している状態で、所定の第１バックグラウンド量に対する、前記検出手段のヘリウム検出量の大小を判別し、前記袋状物からの大気洩れの有無を判定する第１工程と、該第１工程後に前記排気手段と前記ヘリウム導入手段とを共に作動させた状態で、所定の第２バックグラウンド量に対する、前記検出手段のヘリウム検出量の大小を判別する第２工程とを行うことを特徴とする。
本発明の中空体の洩れ検出装置の使用方法は、気体導入孔を有する中空体を収容するチャンバと、該チャンバ内に収容された中空体内部に前記気体導入孔よりヘリウムを導入するヘリウム導入手段と、前記チャンバ内の気体を排気する排気手段と、該排気手段により排気された気体中のヘリウム量を検出するヘリウム検出手段と、パージガスを前記チャンバ内に供給するパージガス供給手段とを備えることを特徴とする中空体の洩れ検出装置の使用方法において、前記ヘリウム導入手段を停止し、前記パージガス供給手段を動作させ、さらに前記排気手段を作動させて排気している状態で、所定の第１バックグラウンド量に対する、前記検出手段のヘリウム検出量の大小を判別し、前記中空体からの大気洩れの有無を判定する第１工程と、該第１工程後に前記排気手段と前記ヘリウム導入手段とを共に作動させた状態で、所定の第２バックグラウンド量に対する、前記検出手段のヘリウム検出量の大小を判別する第２工程とを行うことを特徴とする。
【００１４】
袋状物の洩れ検出装置の使用方法と中空体の洩れ検出装置の使用方法によれば、第１工程で比較的大きなピンホールの有無を判別し、第２工程で、表面膨張時にのみ出現する、より微細なピンホールの有無を判別することができ、簡便かつ高精度の洩れ検出を行うことができる。
【００１５】
【発明の実施の形態】
図１は、本発明で用いる洩れ検出装置の概要断面図である。この洩れ検出装置は、開口側に導入孔１を設けたコンドーム２を収容するアクリル製チャンバ３と、気体導入孔１を介して挿通したプローブ管４によりその内部にヘリウム供給装置５のヘリウムを導入するためのプローブガス導入バルブ６と、ドライポンプ７に連なり、チャンバ３内部の気体を排気する排気バルブ８と、これにより排気された気体中のヘリウム量を検出するヘリウムリークディテクタ９と、コンドーム２内部からプローブガス導入バルブ５までの気密を保持するベースプレート１０とにより構成される。
【００１６】
また、アクリルチャンバ３の外壁には、パージガス用の窒素ガス供給装置１１とパージガス導入バルブ１２とに連なるパージガス導入孔１３や、内部の真空状態をモニタするための真空計１４が設けられている。さらに、ディテクタ９のテストポート（図示せず）にはオリフィス１５を介在させて流量制限を行うようにしている。
【００１７】
本装置を用いて洩れ検出を行うに際しては、コンドーム２の比較的大きなピンホールの有無を判別する第１工程と、より微細なピンホールの有無を判別する第２工程とに分けることにより、精度の高いピンホール検出が可能となる。即ち、第１工程においては、所定の第１バックグラウンド量に対するヘリウム検出量の大小を判別し、この第１工程後に、所定の第２バックグラウンド量に対するヘリウム検出量の大小を判別する。
【００１８】
なお、第１及び第２バックグラウンド量は、本測定前に既知の合格品コンドームを用いて把握しておく必要がある。このための簡易装置を図２に示す。即ち、既知合格コンドーム２の開口部分をビニールテープなどによりプラスチック容器２０にシールした状態で、容器２０の底面の穴２１からプローブガスを封入する。封入後、穴２１をビニールテープ２２などで密栓した状態にしたものを、図１の装置と同じアクリルチャンバ３の内部に収容し、図外の排気バルブ８に連なる排気孔２３より排気を行う。このときのプローブガスをエア及びヘリウムとすることでバックグラウンド量を簡易に把握することができる。
【００１９】
下記［表１］は、合格品及び不良品のコンドームを用い、５Ｌ/min.の排気量のピストンポンプで１０秒間排気を行ったときの種々条件におけるバックグラウンド量の測定結果である。なお、ヘリウム検出手段として、株式会社アルバック製ＨＥＬＩＯＴ３０１を用いている。
【００２０】
【表１】

【００２１】
空チャンバ条件での測定結果は、合格品(エア封入)及び不良品(エア封入)条件のものとほぼ同じであることから、コンドーム材質自体からの放出ガスは皆無であると判断できる。
【００２２】
また、［表１］のバックグラウンド量中、合格品(ヘリウム封入)及び不良品(ヘリウム封入)のものを、大気バックグランド（大気中のヘリウム濃度５ｐｐｍに相当）で規格化したものを図３に示す。
【００２３】
図３より、合格品においても検出されるヘリウム量は大気バックグラウンドに対して時間経過とともに漸増する傾向にある。これは、トレーサのヘリウム分子が小さくコンドーム膜中から次第に洩れるためと推測される。本発明では、［表１］中の大気バックグラウンド条件のものを第１バックグラウンド量、合格品(ヘリウム封入)条件のものを第２バックグラウンド量として扱い、本測定前に把握しておく。
【００２４】
本測定に際しては、図１の装置において、バルブ６を閉じた状態で、バルブ８及び１２を徐々に開放する。このとき、内部のコンドーム２の内外では大気圧状態の内側と減圧される外側とで差圧が増大し、これに応じて膨張していくが、膨張が急激に進行しないように真空計１４でのモニタによりバルブ１２の開度を制御する必要がある。真空計１４でのモニタ圧力８００ｈＰａがその一例となる。
【００２５】
その際、図４に示すように、リークディテクタ９での検出結果が第１バックグラウンド量より明らかに大きい水準で推移する場合は、コンドーム表面に比較的大きな孔が存在し、内側の大気中に５ｐｐｍ程度存在するヘリウムがこの孔を通過して検出されていると判断する。即ち、このようなコンドームを第１工程での不良品として判定する。第１工程において、合格品とされたコンドームは第１バックグラウンド量と同等以下で推移するものである。
【００２６】
次に、このような第１工程合格品に対して、さらに第２工程を行う。即ち、図１の装置において、バルブ６を徐々に開放して、コンドーム内側にヘリウムガスを導入する。第１工程合格品であっても、分子サイズの小さいヘリウム分子と同等程度の微細なピンホールが存在することがある。このような微細ピンホールは、上記のようにコンドームを膨張させたときに初めて検出できるものである。そこで、本発明においては、第２バックグラウンド量を用い、リークディテクタ９での検出結果が、これよりも明らかに高い水準で推移する場合に、コンドーム表面に微細ピンホールが存在し、内側に導入したヘリウムがこの微細ピンホールを通過して検出されていると判断する。即ち、このようなコンドームが第２工程での不良品として判定される。第２工程において、合格品とされたコンドームは当然ながら第２バックグラウンド量と同等以下で推移するものである。
【００２７】
なお、本実施の形態では、図１の装置を洩れ検出装置として用いたが、バックグラウンド量測定に用いた図２の簡易装置を用いても良く、この場合、装置構成がより簡易になる。
【００２８】
また、本発明では、洩れ検出を行う対象物にコンドームを用いたが、本発明はそれに限定されることなく、減圧条件下でも形状を保持できる袋状体や中空体であれば適用可能であり、このような検出対象物として手術用ゴム手袋やクリーンルーム用グローブなどを挙げることができる。
【００２９】
【発明の効果】
以上の説明から明らかなように、本発明によれば、第１工程として、検出対象の袋状体や中空体の外側を真空排気により減圧させることにより、これらの内外に差圧を生じさせて洩れ検出を行うため、検出対象物に対して新たなピンホールを招く機械的接触を回避でき、信頼性の高い検出を行うことができる。
【００３０】
また、第２工程として、検出対象物を膨張させた状態での洩れ検出を行うため、通常形状では検出困難な微細ピンホールに対しても検出が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】中空体の洩れ検出装置の概要断面図
【図２】袋状物の洩れ検出装置の要部断面図
【図３】大気バックグランド条件に対する合格品（ヘリウム封入）及び不良品（ヘリウム封入）測定の経時変化を示すグラフ図
【図４】第１及び第２工程における不良品並びに第１及び第２のバックグラウンド量を示すグラフ図
【符号の説明】
１気体導入孔
２コンドーム（中空体または袋状物）
３チャンバ
４プローブ管
５ヘリウム供給装置（ヘリウム導入手段）
６プローブガス導入バルブ（ヘリウム導入手段）
７ドライポンプ（排気手段）
８排気バルブ（排気手段）
９ヘリウムリークディテクタ
１０ベースプレート
２０プラスチック容器
２１穴
２２ビニールテープ
２３排気孔（排気手段）[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention particularly relates to a method of using a leak detection device for a rubber bag or hollow body.
[0002]
[Prior art]
Traditionally, the method of confirming the reliability of rubber products such as condoms has been based on the discharge method. In this method, a pinhole is detected by a discharge method in addition to a condom made of an insulating material.
[0003]
However, in recent years, conductive materials such as polyurethane have been used as product materials, and the expected detection accuracy cannot be expected with the conventional discharge method. For this reason, an alternative reliability confirmation method is desired.
[0004]
In order to satisfy this demand, a method of detecting pinholes by detecting the holding state of the shape and the presence or absence of leakage of the labeled gas in a state where a labeled gas such as compressed air or helium is sealed inside the condom. Is known (see, for example, Patent Document 1). Moreover, what detects a pinhole from the pressure change rate of the external pressure inside and outside the condom covered with the porous hollow mandrel is known (for example, refer patent document 2). However, these devices are not suitable for detection of minute pinholes that are penetrated for the first time when the condom surface expands because the condom opening is not sealed.
[0005]
Therefore, for example, as shown in Patent Document 3, a condom covered with a holding body is inserted into a hermetically sealed liner, and the condom is expanded by a differential pressure generated inside and outside the condom so that it can cope with a fine hole. There is something.
[0006]
However, in this case, there is a possibility that a new fine pinhole may be generated due to the contact between the condom and the holding body, which may impair the reliability of measurement on the measurement sample, and the sealing liner may be changed depending on the expansion rate of the condom. There is a problem that complicates the device configuration such as designing.
[0007]
[Patent Document 1]
JP-A-7-27654 (5th page, FIG. 3)
[Patent Document 2]
JP-A-8-86715 (page 6-7, FIG. 6)
[Patent Document 3]
JP-A-8-233681 (page 12)
[0008]
[Problems to be solved by the invention]
In view of the above problems, the present invention is directed to a method for using a leak detection device that is capable of detecting, for example, a bag-like object such as a condom or a hollow body with high accuracy even for a fine pinhole while having a simple device configuration. It is an issue to provide.
[0009]
[Means for Solving the Problems]
In order to solve the above-described problems, a leak detection apparatus used in the present invention includes a chamber for storing a bag-like object having an opening, and helium introduction for introducing helium into the inside from the opening of the bag-like object accommodated in the chamber. Means, exhaust means for exhausting the gas in the chamber, helium detection means for detecting the amount of helium in the gas exhausted by the exhaust means, and purge gas supply means for supplying purge gas into the chamber .
[0010]
Also, a chamber for accommodating a hollow body having a gas introduction hole, helium introduction means for introducing helium into the hollow body from the gas introduction hole of the hollow body accommodated in the chamber, and exhaust means for exhausting the gas in the chamber If it may be arranged in the exhaust helium amount leakage those due to the helium detector for detecting the detection device in the gas by the exhaust means.
[0011]
According to these, when the helium introduction means is not operated , the pressure inside or outside the hollow body is increased by exhausting the chamber by the exhaust means while keeping the inside of the bag or hollow body airtight. Can be generated. Then, by adjusting the strength of the exhaust means, the differential pressure can be easily within a desired range. That is, when the bag-like object or the hollow body is made of rubber, it becomes easy to manage the expansion and contraction due to the differential pressure. Furthermore, by detecting the helium introduced into the inside by the helium introducing means with the helium detecting means as a tracer, it is possible to determine the presence or absence of pinholes appearing on the surfaces according to the degree of expansion.
[0012]
This device can easily generate a differential pressure inside and outside the bag-like object or hollow body by the exhaust operation by the exhaust means, so that most of the side walls are not brought into contact with the support etc. There is little risk of new pinholes. For this reason, a highly reliable measurement can be performed.
[0013]
The method for using the bag-like leak detection apparatus of the present invention includes a chamber for containing a bag-like object having an opening, and a helium introducing means for introducing helium into the bag-like object accommodated in the chamber from the opening. And an exhaust means for exhausting the gas in the chamber, a helium detection means for detecting an amount of helium in the gas exhausted by the exhaust means, and a purge gas supply means for supplying a purge gas into the chamber. In the method of using the bag-like material leakage detection apparatus, the predetermined first back-up is performed while the helium introduction means is stopped , the purge gas supply means is operated, and the exhaust means is operated and exhausted. to ground amount, the determined magnitude of helium detected amount of the detection means, a first step of determining the presence or absence of air leakage from the bag-like material, after the first step In serial and exhaust means is operated the helium introducing means and together state, and characterized by performing a second step for a given second background amount, determine what magnitude of helium detected amount of the detection means To do.
The method of using the hollow body leakage detection apparatus of the present invention includes a chamber for housing a hollow body having a gas introduction hole, and helium introduction means for introducing helium into the hollow body accommodated in the chamber from the gas introduction hole. And exhaust means for exhausting the gas in the chamber, helium detection means for detecting the amount of helium in the gas exhausted by the exhaust means, and purge gas supply means for supplying purge gas into the chamber. In the method of using the hollow body leakage detection apparatus, the first helium introduction unit is stopped , the purge gas supply unit is operated, and the exhaust unit is operated to exhaust the gas. to ground amount, to determine the magnitude of the helium detection of said detecting means, a first step of determining the presence or absence of air leakage from the hollow body, the In the state where the exhaust means and said helium introduction means are both actuated after one step, to perform a second step for a given second background amount, you another determine the magnitude of the helium detection of said detecting means It is characterized by.
[0014]
According to the method for using the bag-shaped leakage detection device and the method for using the hollow body leakage detection device , the first step determines the presence or absence of a relatively large pinhole, and the second step appears only when the surface expands. Therefore, it is possible to determine the presence or absence of a finer pinhole, and it is possible to easily and highly accurately detect leakage.
[0015]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
FIG. 1 is a schematic sectional view of a leak detection apparatus used in the present invention. This leak detection device introduces helium from a helium supply device 5 into an acrylic chamber 3 that houses a condom 2 having an introduction hole 1 on the opening side, and a probe tube 4 inserted through the gas introduction hole 1. A probe gas introduction valve 6 for exhausting the gas, an exhaust valve 8 connected to the dry pump 7 and exhausting the gas inside the chamber 3, a helium leak detector 9 for detecting the amount of helium in the exhausted gas, and the condom 2 And a base plate 10 that maintains airtightness from the inside to the probe gas introduction valve 5.
[0016]
A purge gas introduction hole 13 connected to the purge gas nitrogen gas supply device 11 and the purge gas introduction valve 12 and a vacuum gauge 14 for monitoring the internal vacuum state are provided on the outer wall of the acrylic chamber 3. Furthermore, the flow rate is restricted by inserting an orifice 15 in the test port (not shown) of the detector 9.
[0017]
When leak detection is performed using this apparatus, accuracy is improved by separating the first step of determining the presence or absence of a relatively large pinhole in the condom 2 and the second step of determining the presence or absence of a finer pinhole. High pinhole detection is possible. That is, in the first step, the amount of helium detected with respect to a predetermined first background amount is determined, and after this first step, the amount of helium detected with respect to a predetermined second background amount is determined.
[0018]
In addition, it is necessary to grasp | ascertain the 1st and 2nd background amount using a known acceptable product condom before this measurement. A simple device for this purpose is shown in FIG. That is, the probe gas is sealed from the hole 21 on the bottom surface of the container 20 in a state where the opening portion of the known condom 2 is sealed to the plastic container 20 with a vinyl tape or the like. After sealing, the hole 21 sealed with a vinyl tape 22 or the like is accommodated in the same acrylic chamber 3 as that in the apparatus of FIG. 1, and exhausted through the exhaust hole 23 connected to the exhaust valve 8 (not shown). By using air and helium as the probe gas at this time, the background amount can be easily grasped.
[0019]
The following [Table 1] is a measurement result of the background amount under various conditions when exhausted for 10 seconds with a piston pump having an exhaust amount of 5 L / min. Note that HELIOT 301 manufactured by ULVAC, Inc. is used as the helium detection means.
[0020]
[Table 1]

[0021]
Since the measurement result under the empty chamber condition is almost the same as that under the acceptable product (air-filled) and defective product (air-filled) conditions, it can be determined that there is no released gas from the condom material itself.
[0022]
In addition, among the background amounts shown in [Table 1], those that have passed (helium sealed) and defective products (helium sealed) are normalized with the atmospheric background (equivalent to helium concentration in the atmosphere of 5 ppm) as shown in FIG. Shown in
[0023]
From FIG. 3, the amount of helium detected even in the acceptable product tends to gradually increase with time with respect to the atmospheric background. This is presumed to be because the helium molecules in the tracer are small and gradually leak from the condom film. In the present invention, the atmospheric background condition in [Table 1] is treated as the first background quantity, and the acceptable product (helium filled) condition is treated as the second background quantity, and is grasped before the actual measurement.
[0024]
In this measurement, the

valves

8 and 12 are gradually opened with the valve 6 closed in the apparatus of FIG. At this time, the pressure difference between the inside of the internal condom 2 and the outside of the atmospheric pressure state increases between the inside of the atmospheric pressure state and the outside of the reduced pressure, and the pressure expands accordingly, but the vacuum gauge 14 prevents the expansion from proceeding rapidly. It is necessary to control the opening degree of the valve 12 by monitoring. One example is a monitor pressure of 800 hPa in the vacuum gauge 14.
[0025]
At that time, as shown in FIG. 4, when the detection result of the leak detector 9 changes at a level clearly larger than the first background amount, a relatively large hole exists in the condom surface, It is determined that helium present at about 5 ppm has been detected through this hole. That is, such a condom is determined as a defective product in the first step. In the first step, the condoms that have been accepted are those that are less than or equal to the first background amount.
[0026]
Next, a second step is further performed on such a product that has passed the first step. That is, in the apparatus of FIG. 1, the valve 6 is gradually opened to introduce helium gas into the condom. Even if it is a product that has passed the first step, there may be a pinhole as small as a helium molecule having a small molecular size. Such a fine pinhole can only be detected when the condom is expanded as described above. Therefore, in the present invention, when the second background amount is used and the detection result of the leak detector 9 changes to a level clearly higher than this, a fine pinhole exists on the condom surface and is introduced inside. It is determined that the helium thus detected has passed through this fine pinhole. That is, such a condom is determined as a defective product in the second step. In the second step, the condoms that have been accepted are of course the same or less than the second background amount.
[0027]
In the present embodiment, the apparatus of FIG. 1 is used as a leak detection apparatus. However, the simplified apparatus of FIG. 2 used for background amount measurement may be used. In this case, the apparatus configuration is further simplified.
[0028]
In the present invention, a condom is used as an object for leak detection. However, the present invention is not limited to this, and can be applied to any bag-like body or hollow body that can retain its shape even under reduced pressure conditions. Examples of such detection objects include surgical rubber gloves and clean room gloves.
[0029]
【The invention's effect】
As is clear from the above description , according to the present invention , as the first step, the outside of the bag-like body or hollow body to be detected is decompressed by vacuum evacuation, thereby generating a differential pressure inside and outside these. Since leakage detection is performed, mechanical contact that causes a new pinhole to the detection target can be avoided, and highly reliable detection can be performed.
[0030]
Moreover, since leakage detection is performed in a state where the detection object is expanded as the second step, it is possible to detect even a fine pinhole that is difficult to detect with a normal shape.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a schematic cross-sectional view of a leak detector for a hollow body. FIG. 2 is a cross-sectional view of a main part of a leak detector for a bag-like object. FIG. Encapsulation) Graph diagram showing change in measurement over time [FIG. 4] Graph diagram showing defective products in first and second steps and first and second background amounts [Explanation of Symbols]
1 Gas introduction hole 2 Condom (hollow body or bag)
3 Chamber 4 Probe tube 5 Helium supply device (Helium introduction means)
6 Probe gas introduction valve (Helium introduction means)
7 Dry pump (exhaust means)
8 Exhaust valve (exhaust means)
9 Helium leak detector 10 the base plate 20 a plastic container 21 holes 22 vinyl tape 23 exhaust hole (exhaust means)

Claims

A chamber for storing a bag-like object having an opening; helium introducing means for introducing helium into the bag-like object accommodated in the chamber; an exhaust means for exhausting gas in the chamber; In the method of using a bag-like leakage detection apparatus, comprising: a helium detection means for detecting an amount of helium in the gas exhausted by the means; and a purge gas supply means for supplying a purge gas into the chamber .
While the helium introduction unit is stopped , the purge gas supply unit is operated, and the exhaust unit is operated to exhaust, the magnitude of the helium detection amount of the detection unit with respect to a predetermined first background amount is increased or decreased. a first step you another determine,
In a state of being both operated and the exhaust means and the helium introducing means after said first step, for a given second background amount, a second step you another determine the magnitude of the helium detection of said detecting means A method of using a bag-like material leakage detection apparatus, comprising:

A chamber containing a hollow body having a gas introduction hole, helium introduction means for introducing helium into the hollow body accommodated in the chamber from the gas introduction hole, and exhaust means for exhausting the gas in the chamber; In the method of using the leak detection device for a hollow body, comprising: a helium detection means for detecting an amount of helium in the gas exhausted by the exhaust means; and a purge gas supply means for supplying a purge gas into the chamber .
While the helium introduction unit is stopped , the purge gas supply unit is operated, and the exhaust unit is operated to exhaust, the magnitude of the helium detection amount of the detection unit with respect to a predetermined first background amount is increased or decreased. discriminated, a first step of determining the presence or absence of air leakage from the hollow body,
In a state in which both activates the said exhaust means and said helium introducing means after said first step, for a given second background amounts, to determine the magnitude of the helium detection of said detecting means, the lithium from the hollow body using hollow body leak detection apparatus and performing a second step of determining the presence or absence of leakage.