JP4160804B2

JP4160804B2 - Air shower equipment

Info

Publication number: JP4160804B2
Application number: JP2002254485A
Authority: JP
Inventors: 広大山; 良二森田
Original assignee: Nippon Muki Co Ltd
Current assignee: Nippon Muki Co Ltd
Priority date: 2002-08-30
Filing date: 2002-08-30
Publication date: 2008-10-08
Anticipated expiration: 2022-08-30
Also published as: JP2004093010A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体用のクリーンルーム、病院手術室、食品・バイオ関連等の施設において、清浄室と前室との間に設置され、入室者や製品等の物品をジェットエアで清浄化するエアシャワー装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来のエアシャワー装置は、前室側ドアを開けてエアシャワー室へ入室すると、この入室状況をセンサーが検知し、清浄室側の扉を施錠する。そして、ファンが作動してジェットノズルよりジェットエアが一定時間吹き出され、その後清浄室側の扉が開錠され、清浄室へ入室できるようになっており、このような一連の動作をリレー方式又は集積回路方式で制御するようにしていた。その一例として、例えば、実開昭６２−８０１３５号公報には、入室者の有無をセンサーで検出して照明を点灯及び消灯することにより、消費電力の無駄をなくし、省エネルギー効果を得ようとするものが開示されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、前記公報に開示される方法では、入退室が一度で済む場合や、間隔を空けて行われる場合は省エネルギー効果が得られるものの、例えば、短時間に連続して複数回にわたり入退室が繰り返される場合は、頻繁に照明のオン・オフをする必要が生じ、スイッチの寿命が短くなるという問題があった。
【０００４】
そこで、本発明は、エアシャワー装置を連続して利用する場合に、スイッチ等の制御部品の消耗をおさえることができ、しかも省エネルギーに適したエアシャワー装置を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
本発明のエアシャワー装置は、前記課題を解決するべく、請求項１記載の通り、前室側扉及び清浄室側扉を備えたシャワー室内への入退室を前記前室側扉及び前記清浄室側扉の開閉により検知する検知手段と、前記検知手段により前記前室側扉が開いたことを検知して前記シャワー室内の照明灯の点灯を制御する点灯制御手段と、前記検知手段により前記清浄室側扉が閉じたことを検知して前記シャワー室内の照明灯の消灯を制御する消灯制御手段とを備えたエアシャワー装置であって、前記消灯制御手段を消灯タイマーによって構成し、前記前室側扉を開くことにより前記照明灯を点灯し、前記前室側扉を閉じることにより前記消灯タイマーをリセットし、前記清浄室側の扉を閉じることにより前記消灯タイマーをスタートさせることを特徴とする。
【０００６】
【実施例】
以下に本発明の一実施例によるエアシャワー装置について図面を用いて説明する。
図１は本実施例によるエアシャワー装置の斜視図、図２は図１のＡ−Ａ矢視図、図３は同装置の動作を示すフローチャート図である。
図１及び図２に示すように、シャワー室１内には、人体や物体等を通過させる通路２が設けられている。シャワー室１は、前室側と清浄室側にそれぞれ扉２ａと扉２ｂが設けられている。通路２の側部には側面送風部３ａと側面部３ｂが設置され、側面送風部３ａには複数の側部ジェット気流噴出口４ａが設けられ、下部にはリターン用の空気吸込口５が設けられている。側面送風部３ａの内部には、図示しないが、例えば、ジェットファン等のファン、フィルタ、圧力室等が配備されている。側面送風部３ａ内部には、扉２ａや扉２ｂを施錠する電磁ロック６が設けられている。また、側面送風部３ａの上方部にはパネル７が設けられ、パネル７には消灯タイマー８及びシートスイッチからなるコントロールパネル９が設けられている。パネル７を外した側面送風部３ａ内部にはブレーカ１０が設置されている。通路２の天井には天井ユニット１１が設けられ、天井ユニット１１の両端は側面送風部３ａ及び側面部３ｂに連結されている。この天井ユニット１１の室内側には、照明灯１２が設けられている。また、通路２には床ユニット１３が設けられ、床ユニット１１の両端は側面送風部３ａ及び側面部３ｂに連結されている。
【０００７】
次に、図３を用いて本実施例によるエアシャワー装置の動作について説明する。
初期状態（Ｓ１）において作業者が前室側扉を開けてシャワー室内に入室する場合、前室側の検知手段である扉開閉センサーによって前室側扉が開かれたことを検出すると（Ｓ２）、制御手段によって電磁ロックを作動させて清浄室側の扉を施錠する（Ｓ３）。
次に、前室側の扉開閉センサーによって前室側扉が閉じられたことを検出すると（Ｓ５）、ファンの制御手段によってファンの運転を開始し、側部ジェット気流噴出口から空気を吹き出し（Ｓ６）、制御手段によって電磁ロックを作動させて清浄室側扉及び前室側扉を施錠する（Ｓ７）。
前記ファンの作動時間は、ファンの制御手段内のファンタイマーによって設定時間に達した場合（Ｓ８）にはファンの運転を停止する（Ｓ９）とともに清浄室側扉及び前室側扉を開錠する（Ｓ１０）ようになっている。
ファンの運転の停止後、清浄室側扉の開閉状態を清浄室側の扉開閉センサーによって検出し（Ｓ１１）、清浄室側扉が開かれたことを検出する（Ｓ１１）と、制御手段によって電磁ロックを作動させて前室側扉を施錠する（Ｓ１２）。
清浄室側扉を開放している間は、前室側扉を施錠状態を維持し、清浄室側の扉開閉センサーによって、清浄室側扉が閉じられたことを検出すると（Ｓ１３）、前室側扉を開錠する（Ｓ１４）。
そして、前室側扉の開錠（Ｓ１４）によって制御手段は初期状態に戻ることになる（Ｓ１）。
【０００８】
次に、照明灯の点灯及び消灯について説明する。
前室側の扉開閉センサーによって前室側扉の開閉状態を検出（Ｓ２）し、前室側扉が開けられると点灯（Ｓ４）する。
前室側の扉が閉じられると、消灯タイマーをリセットし（Ｓ１５）、清浄室側扉が閉じられたことを検出すると（Ｓ１６）、消灯タイマーをスタートする（Ｓ１７）。
消灯タイマーは、照明点灯時間を計測し、設定時間に達したか否かを判断し（Ｓ１８）、設定時間が経過すると照明を消灯する（Ｓ１９）。
前記したフローによれば、消灯タイマーの稼働時に、前室側の扉開閉センサーによって前室側扉の閉状態を検出した（Ｓ６）場合には、消灯タイマーをリセット（Ｓ１５）し、Ｓ１６〜Ｓ１７の動作を行う。
【０００９】
次に、本実施例によるエアシャワー装置の効果を、照明灯の点灯時間及びスイッチの切り替え数の観点から以下の従来例及び比較例を用いて説明する。
尚、以下の実施例、従来例及び比較例では、作業者５人が１度に清浄室に入室する動作を、１日に２回行う場合を想定した。そして、清浄室の稼働時間については、１日８時間、年に２６０日稼働するものとした。
【００１０】
（実施例）
消灯制御手段として消灯タイマーを使用した清浄室とした。照明灯の点灯時間は、１人当たり４分として、消灯タイマーは２分経過した場合に照明灯を消灯するものとした。
本実施例においては、５人連続してエアシャワー装置を通過後、２分間照明灯が点灯することになるので、１度に照明灯が点灯する時間は２２分となり、１日に４４分、１年間に約１９０時間点灯することになる。また、スイッチの切り替えに関しては、１度の通過で２回、１日に計４回、１年間に１０４０回となる。
【００１１】
（従来例）
常時照明灯が点灯する清浄室とした。
照明灯は１日４８０分（８時間）点灯することになり、１年間２０８０時間点灯することになる。
【００１２】
（比較例）
消灯タイマーの代わりに前室扉及び清浄室扉足下付近に人の通過を検知して照明灯を点灯及び消灯する清浄室とした。
照明灯は、１度に２０分、１日で計４０分点灯することになり、１年間に１７４時間点灯することになる。また、スイッチの切り替え回数に関しては、１度に１０回、１日に計２０回、１年間に５２００回となる。
【００１３】
上記実施例、従来例及び比較例の照明灯の点灯時間及びスイッチの切り替え回数について、実施例の点灯時間及びスイッチの切り替え回数を１００として、従来例及び比較例のそれぞれの値を評価した。そして、点灯時間は省エネ効果として、スイッチ切り替え回数はスイッチ消耗効果として表１にまとめた。
【００１４】
【表１】

【００１５】
表１からも明らかなように、本実施例では、省エネ効果は比較例と比べても大差ないのにもかかわらず、スイッチ消耗効果は比較例に比べて４倍も優れていることが分かる。即ち、本実施例の装置によれば、連続してエアシャワー装置に入室する場合に、人数に比例してスイッチの切り替え回数を低減することができることがわかる。尚、従来例に関しては、清浄室稼働中は常に点灯することから省エネ効果が全くないことは明らかである。
【００１６】
【発明の効果】
以上の説明から明らかなように、本発明によれば従来照明を常に点灯した場合に比べて大変大きな省エネ効果が得られる。
また、センサーを用いて人・物を検知して照明のオン・オフを繰り返す場合に比べても、省エネ効果は大差なく消耗部品であるスイッチの使用回数を減らすことができて、装置のランニングコストを抑えることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施例によるエアシャワー装置の斜視図
【図２】図１のＡ−Ａ矢視図
【図３】同装置の動作を示すフローチャート図
【符号の説明】
１シャワー室
２ａ前室側扉
２ｂ清浄室側扉
３側面部
４ａノズル
５空気吸込口
６電磁ロック
７パネル
８消灯タイマー
９コントロールパネル[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention is an air shower that is installed between a clean room and an anterior room in a clean room for a semiconductor, a hospital operating room, a food / bio-related facility, etc., and cleans items such as occupants and products with jet air. Relates to the device.
[0002]
[Prior art]
In the conventional air shower device, when the front chamber side door is opened and the air shower room is entered, the sensor detects the entrance state and locks the door on the clean room side. Then, the fan is activated and jet air is blown out from the jet nozzle for a certain period of time, after which the door on the clean room side is unlocked and can enter the clean room. Control was performed using an integrated circuit system. As an example, for example, Japanese Utility Model Publication No. 62-80135 discloses a technique for detecting the presence / absence of a room occupant by using a sensor to turn on / off the illumination, thereby eliminating waste of power consumption and obtaining an energy saving effect. Are disclosed.
[0003]
[Problems to be solved by the invention]
However, in the method disclosed in the above publication, an energy saving effect can be obtained when entry / exit is performed only once or at intervals, but, for example, the entrance / exit is repeated multiple times in a short time. In such a case, it is necessary to frequently turn on / off the illumination, and there is a problem that the life of the switch is shortened.
[0004]
SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, an object of the present invention is to provide an air shower device that can suppress the consumption of control components such as a switch when the air shower device is continuously used, and is suitable for energy saving.
[0005]
[Means for Solving the Problems]
Air shower apparatus of the present invention, the problem to solve the claim 1 as described, the front chamber side door and the front chamber side door of entry and exit to the shower room with the clean room side door and said cleaning chamber Detection means for detecting opening / closing of a side door, lighting control means for detecting the opening of the front chamber side door by the detection means and controlling lighting of an illumination lamp in the shower room, and cleaning by the detection means An air shower device comprising a turn-off control means for detecting that the room-side door is closed and controlling turning off the lighting in the shower room, wherein the turn-off control means is constituted by a turn-off timer, and the front chamber Japanese in that the illuminating lamp lights up by opening the side door, the off timer is reset by closing the front chamber side door, to start the off timer by closing the door of the cleaning chamber side To.
[0006]
【Example】
Hereinafter, an air shower according to an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.
FIG. 1 is a perspective view of an air shower device according to the present embodiment, FIG. 2 is a view taken along the line AA of FIG. 1, and FIG. 3 is a flowchart showing the operation of the device.
As shown in FIGS. 1 and 2, a passage 2 through which a human body or an object passes is provided in the shower room 1. The shower room 1 is provided with

doors

2a and 2b on the front room side and the clean room side, respectively. A side air blower 3a and a side wall 3b are installed on the side of the passage 2, the side air blower 3a is provided with a plurality of side jet air flow outlets 4a, and a return air inlet 5 is provided at the bottom. It has been. Although not shown in the figure, for example, a fan such as a jet fan, a filter, a pressure chamber, and the like are provided inside the side air blower 3a. An electromagnetic lock 6 for locking the door 2a and the door 2b is provided inside the side air blower 3a. A panel 7 is provided above the side air blower 3a, and a control panel 9 including a turn-off timer 8 and a sheet switch is provided on the panel 7. A breaker 10 is installed inside the side air blower 3a from which the panel 7 is removed. A ceiling unit 11 is provided on the ceiling of the passage 2, and both ends of the ceiling unit 11 are connected to the side air blower 3 a and the side wall 3 b. An illumination lamp 12 is provided on the indoor side of the ceiling unit 11. Moreover, the floor unit 13 is provided in the channel | path 2, and the both ends of the floor unit 11 are connected with the side surface ventilation part 3a and the side surface part 3b.
[0007]
Next, operation | movement of the air shower apparatus by a present Example is demonstrated using FIG.
When the operator opens the front chamber side door and enters the shower room in the initial state (S1), when the door opening / closing sensor as the front chamber side detection means detects that the front chamber side door is opened (S2). Then, the electromagnetic lock is operated by the control means to lock the door on the clean room side (S3).
Next, when it is detected by the front chamber side door opening / closing sensor that the front chamber side door is closed (S5), fan operation is started by the fan control means, and air is blown out from the side jet air flow outlet ( S6) The electromagnetic lock is actuated by the control means to lock the clean chamber side door and the front chamber side door (S7).
When the fan operation time reaches the set time by the fan timer in the fan control means (S8), the fan operation is stopped (S9) and the clean room side door and the front room side door are unlocked. (S10).
After the operation of the fan is stopped, the open / close state of the clean room side door is detected by the clean room side door open / close sensor (S11), and it is detected that the clean room side door is opened (S11). The lock is operated to lock the front chamber side door (S12).
While the clean room side door is open, the front room side door is kept locked, and when the clean room side door opening / closing sensor detects that the clean room side door is closed (S13), The side door is unlocked (S14).
Then, the control means returns to the initial state by unlocking the front chamber side door (S14) (S1).
[0008]
Next, lighting and extinguishing of the illumination lamp will be described.
The opening / closing state of the front chamber side door is detected by the door opening / closing sensor on the front chamber side (S2), and it lights up when the front chamber side door is opened (S4).
When the front chamber side door is closed, the extinguishing timer is reset (S15), and when it is detected that the clean room side door is closed (S16), the extinguishing timer is started (S17).
The turn-off timer measures the lighting time and determines whether the set time has been reached (S18), and turns off the light when the set time has elapsed (S19).
According to the above-described flow, when the closed state of the front chamber side door is detected by the door opening / closing sensor on the front chamber side during the operation of the light turn-off timer (S6), the light-off timer is reset (S15), and S16 to S17. Perform the operation.
[0009]
Next, the effect of the air shower apparatus according to the present embodiment will be described using the following conventional examples and comparative examples from the viewpoint of the lighting time of the illumination lamp and the number of switches.
In the following examples, conventional examples, and comparative examples, it was assumed that the operation of five workers entering the clean room at a time was performed twice a day. The operating time of the clean room is assumed to be 8 hours a day and 260 days a year.
[0010]
(Example)
A clean room using a light-off timer as a light-off control means. The lighting time of the illumination lamp is 4 minutes per person, and the extinguishing timer is set to extinguish the illumination lamp when 2 minutes have elapsed.
In this embodiment, the illumination lamp is lit for 2 minutes after passing through the air shower device continuously for 5 people, so the illumination lamp is lit for 22 minutes at a time, 44 minutes a day, It will light for about 190 hours per year. In addition, regarding the switching of the switch, it is twice in one pass, a total of four times a day, and 1040 times a year.
[0011]
(Conventional example)
It was a clean room where lighting was always on.
The illumination lamp will be lit for 480 minutes (8 hours) per day, and will be lit for 2080 hours per year.
[0012]
(Comparative example)
Instead of the turn-off timer, a clean room was set up to turn on and off the lighting by detecting the passage of people near the foot of the front room door and the clean room door.
The illuminating lamp will light for 20 minutes at a time and 40 minutes in a day, and it will light for 174 hours per year. Further, the number of times the switch is switched is 10 times at a time, 20 times a day, 5200 times a year.
[0013]
With respect to the lighting time of the illuminating lamp and the number of switching times of the illuminating lamps of the examples, the conventional example, and the comparative example, the lighting time of the example and the switching number of the switches were set to 100, and the values of the conventional example and the comparative example were evaluated. The lighting time is summarized in Table 1 as an energy saving effect, and the number of switch switching times is summarized as a switch consumption effect.
[0014]
[Table 1]

[0015]
As is apparent from Table 1, in this embodiment, the energy consumption effect is not much different from that of the comparative example, but the switch consumption effect is 4 times better than that of the comparative example. That is, according to the apparatus of the present embodiment, it can be understood that the number of switch switching can be reduced in proportion to the number of persons when entering the air shower apparatus continuously. As for the conventional example, it is clear that there is no energy saving effect because it is always lit while the clean room is in operation.
[0016]
【The invention's effect】
As is clear from the above description, according to the present invention, a very large energy saving effect can be obtained as compared with the case where the conventional illumination is always turned on.
In addition, compared with the case where the sensor is used to detect people and objects and the lighting is repeatedly turned on and off, the energy saving effect is not much different, and the number of times the switch, which is a consumable part, can be reduced. Can be suppressed.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a perspective view of an air shower device according to an embodiment of the present invention. FIG. 2 is a view taken along arrow AA in FIG. 1. FIG. 3 is a flowchart showing the operation of the device.
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Shower room 2a Front room side door 2b Clean room side door 3 Side part 4a Nozzle 5 Air inlet 6 Electromagnetic lock 7 Panel 8 Light extinction timer 9 Control panel

Claims

Detection means for detecting entrance / exit into a shower room equipped with a front room side door and a clean room side door by opening and closing the front room side door and the clean room side door, and the front room side door is opened by the detection means and lighting control means detects and controls the lighting of the illumination lamp of the shower room that was to control the turning off of the lamp of the shower room to detecting that said clean chamber side door is closed by said detecting means An air shower device comprising an extinguishing control means, wherein the extinguishing control means is constituted by an extinguishing timer, the lighting is turned on by opening the front chamber side door, and the front chamber side door is closed An air shower apparatus, wherein the extinguishing timer is reset and the extinguishing timer is started by closing the door on the clean room side .