JP4156354B2 - 超電導量子干渉素子による非破壊検査方法および非破壊検査装置 - Google Patents

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、超電導量子干渉素子（Super-conducting QUantum Interference Device）（以下、ＳＱＵＩＤセンサという）を使用して、微少磁束を検出して鋼心ケーブルの内部欠陥を判別する鋼心ケーブルの内部検査方法および鋼心ケーブルの内部検査装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
ＳＱＵＩＤセンサによって検出して磁性体の内部欠陥を判別する「磁性体の内部検査」の従来技術として、工業材料１９９８年６月号（Ｖｏｌ．４６ Ｎｏ．６）「磁気特性と材質評価（その４）」（非特許文献１、以下、従来技術１という）およびＴ．ＩＥＥ Ｊａｐａｎ １１５巻１０号，平成７年（１９５５）９６８頁乃至９７３頁（非特許文献２、以下、従来技術２という）がある。
［本願発明と従来技術との相違］
本願発明は、後述するように、第１の発明の特徴である「残留磁気がない鋼心の磁気双極子が、微少磁荷を帯びて鋼心が微少磁荷磁気双極子の集合体を形成している状態で、微少磁荷磁気双極子の集合体領域から検出する」ことにあり、第２の発明の特徴である「磁性体の内部欠陥検査位置での内面に均一な磁界を与える磁場形成コイルで磁場を形成する」ことにある。従来技術は、従来技術１（非特許文献１）及び従来技術２（非特許文献２）に記載されているように、「ＳＱＵＩＤセンサの動作原理は、微少磁束を検出するセンサであって、（ａ）「超電導線でつくられた検出コイル」と（ｂ）「磁束をＳＱＵＩＤセンサループに伝える超電導線でつくられた入力コイル」とから形成され、外部磁束が変化したときの電圧変化を測定する」ことにある。以下、（１）従来技術１と第１の発明との対比、（２）従来技術１と第２の発明との対比、（３）従来技術２と第１の発明との対比および（４）従来技術２と第２の発明との対比の順序で従来技術について説明する。
（１）［従来技術１と第１の発明との対比］
従来技術１に記載のＳＱＵＩＤセンサの動作原理は、微少磁束を検出するセンサであって、（ａ）「超電導線でつくられた検出コイル」と（ｂ）「磁束をＳＱＵＩＤセンサループに伝える超電導線でつくられた入力コイル」とから形成され、外部磁束が変化したときの電圧変化を測定する動作原理が記載されている。従来技術１の検出原理は、鉄筋（磁性体）の両端位置及び中心位置の磁束が変化し、この変化した磁束を検出コイルで検出している。
【０００３】
図２は、従来技術１に記載されたＳＱＵＩＤセンサの検出コイルの原理図である。同図において、ＳＱＵＩＤセンサは超電導線でつくられたリングＲに、量子力学現象を示すジョセフソン接合Ｊ１，Ｊ２を組込み、測定用の検出コイルを超電導リングと組合せたものが用いられる。ジョセフソン結合は超電導体の間に薄い絶縁層を挟んで、電圧がゼロでも２つの超電導体間に電流が流れるという量子力学的なトンネル効果によるものである。外部磁束ΦａがリングＲで囲まれた空間を通過するとリングＲの両端に電圧Ｖが発生する。従って、ＳＱＵＩＤセンサは、微少な磁束を電圧に変換する素子として作動する。
【０００４】
この従来技術１に、（ａ）磁性体の位置変化、（ｂ）磁性体の磁気特性変化および（ｃ）非磁性体の渦電流による磁束の変化電流、渦電流などの変化を磁束変化として検出する検査例が記載されている。その検査例中で、鉄筋の直径方向に、従来ＳＱＵＩＤセンサを移動させた場合の磁束の変化を測定して、コンクリート中での異径鉄筋の位置を検出する技術が記載されている。
【０００５】
他方、従来技術１に記載の検査例の中に、磁性体の磁気特性変化を検出する例が記載されている。従来技術１の図１０に、磁性体であるステンレス鋼ＳＵＳ３０４の疲労試験後に、疲労度の増加により残留磁荷が変化して磁束の変化が生じてＳＱＵＩＤセンサの出力が増加する「疲労による磁気特性変化」を検出することが記載されている。
【０００６】
また従来技術１の図１１に、ＳＵＳ３０４の鋭敏化熱処理を行った後に、熱処理時間が長いほど残留磁荷、保持力が大きくなる「熱処理による磁気特性変化」を検出することが記載されている。さらに、従来技術１の図１２に、炭素鋼（磁性体）の疲労試験を行った後に、疲労が増したことによりヒステリシスが大きくなる「磁性体の疲労」を検出することが記載されている。
【０００７】
これらは、磁性体の内部欠陥、劣化などを磁気特性変化として検出しているが、いずれも残留磁荷を利用している。従って、従来技術１に記載の検査例は、磁性体の内部の欠陥を検出する場合であっても、残留磁荷（保磁力）を利用しているために、第１の発明の特徴である「残留磁気がない鋼心の磁気双極子が微少磁荷を帯びて鋼心が微少磁荷磁気双極子の磁束値を測定する」技術を使用していない。
【０００８】
しかし、従来技術１の検査例中で、コンクリート中での異径鉄筋の位置を検出する記載においては、上記第１の発明の特徴である「鋼心の磁気双極子が微少磁荷を帯びて鋼心が微少磁荷磁気双極子の集合体を形成している状態で、微少磁荷磁気双極子の集合体領域から磁束値を測定する」ことについて、何も記載されていない。
【０００９】
従来技術１に記載の検査例の中に、非磁性体の渦電流による磁束の変化電流、渦電流などの変化を磁束変化として検出することが記載されている。この非磁性体では、鋼心の磁気双極子が存在しないために、第１の発明の特徴を使用することができない。
【００１０】
従来技術１においては、後述する図１のＳＱＵＩＤセンサによる第１の発明の非破壊検査方法を実施する非破壊検査装置のブロック図（または第１の発明の非破壊検査装置のブロック図）に示す「残留磁気がない鋼心ケーブルの鋼心の磁気双極子が微少磁荷を帯びて鋼心が微少磁荷磁気双極子の集合体を形成している状態で、ＳＱＵＩＤセンサで鋼心ケーブルの微少磁荷磁気双極子の集合体領域Ｍａ，Ｍｂ，Ｍｃ，…から微少磁束の不均一を検出するので、残留磁気が存在すると、微少磁荷磁気双極子の集合体領域Ｍａ，Ｍｂ，Ｍｃ，…から検出する」ことができない。
（２）［従来技術１と第２の発明との対比］
また、従来技術１の検査例中で、コンクリート中での異径鉄筋の位置を検出する記載においては、第２の発明の特徴である「磁性体の内部欠陥検査位置での内面に均一な磁界を与える磁場形成コイル」および「磁性体の残留磁気を消磁すると共に磁性体の内部欠陥検査位置での内面に均一な磁界を与える磁場形成コイル」は記載されていない。
（３）［従来技術２と第１の発明との対比］
従来技術２の図１、図３及び図５に、従来技術１と同様の鉄筋の直径方向にＳＱＵＩＤセンサを移動させた場合の磁束の変化を測定して、コンクリート中での異径鉄筋の位置を検出する技術が記載されてる。
【００１１】
図３は、従来技術２の図１に記載されたＳＱＵＩＤセンサによって鉄筋を検出するときの説明図である。図４は、従来技術２の図３に記載された試験体であるコンクリートに埋設された異径鉄筋の形状を示すコンクリート埋設異径鉄筋図である。図５は、従来技術２の図５に記載された試験体の異径鉄筋の位置を検出する埋設鉄筋位置検出概略図である。
【００１２】
図６は、従来技術２の図３に記載された試験体の異径鉄筋の位置を検出したときの鉄筋の中心軸からの外周方向の距離と検出電圧との従来技術２の図６に示す鉄筋位置検出電圧測定図である。同図において鉄筋の外周方向の距離が同一であっても検出電圧が相違しているのは、図５に示したＳＱＵＩＤセンサ素子と鉄筋間の距離「リフトオフ」が異なるためである。
【００１３】
次に、この従来技術２のコンクリート中での異径鉄筋の位置を検出する技術においても、「磁束をＳＱＵＩＤセンサループに伝える超電導線でつくられた入力コイル」について、何も記載されていない。他方、「今回の実験においては，市場に流通している鉄筋をそのまま使用しており，１０８ｍｍ離れたところで，１５０μＴ〜４５０μＴ程度の磁束を作ることの出来る残留磁化を持った鉄筋であった。今後，局部的に磁化された鉄筋や残留磁化がもっと小さい鉄筋などについて，この測定法が適用されるかを検討する必要がある。」という記載がある。
【００１４】
上記の従来技術２には「残留磁化がもっと小さい鉄筋などについて，この測定法が適用されるかを検討する必要がある。」という課題が残されている。この課題が残された従来技術２の測定法には、前述したように、残留磁荷による漏洩磁束を、検出コイルで検出するための外部磁束として利用しているために、第１の発明の特徴である「残留磁気がない鋼心の磁気双極子が微少磁荷を帯びて鋼心が微少磁荷磁気双極子の磁束値を測定して、鋼心ケーブルの内部欠陥が存在する位置で生じる微少磁束値を鋼心ケーブルの連続した位置の順序に配置して磁束値の不均一から上記内部欠陥が存在する位置および欠陥状態を判別する」ことは記載されていない。
【００１５】
また、従来技術２のコンクリート中での異径鉄筋（試験体に埋設された鉄筋）の位置を検出する技術において、第１の発明の特徴である「残留磁気がない鋼心の磁気双極子が、微少磁荷を帯びて鋼心が微少磁荷磁気双極子の集合体を形成している状態で、微少磁荷磁気双極子の集合体領域から検出する」ことについても、何も記載されていない。
【００１６】
従来技術２においては、前述したように、図１のＳＱＵＩＤセンサによる第１の発明の非破壊検査方法を実施する非破壊検査装置のブロック図（または第１の発明の非破壊検査装置のブロック図）に示す「残留磁気がない鋼心ケーブルの鋼心の磁気双極子が微少磁荷を帯びて鋼心が微少磁荷磁気双極子の集合体を形成している状態で、ＳＱＵＩＤセンサで鋼心ケーブルの微少磁荷磁気双極子の集合体領域Ｍａ，Ｍｂ，Ｍｃ，…から微少磁束の不均一を検出するので、残留磁気が存在すると、微少磁荷磁気双極子の集合体領域Ｍａ，Ｍｂ，Ｍｃ，…から検出する」ことができない。
（４）［従来技術２と第２の発明との対比］
従来技術２に、前述したように、「今回の実験においては，市場に流通している鉄筋をそのまま使用しており，１０８ｍｍ離れたところで，１５０μＴ〜４５０μＴ程度の磁束を作ることの出来る残留磁荷を持った鉄筋であった。今後，局部的に磁化された鉄筋や残留磁化がもっと小さい鉄筋などについて，この測定法が適用されるかを検討する必要がある。」という記載がある。
【００１７】
従って、この従来技術２のコンクリート中での異径鉄筋（試験体に埋設された鉄筋）の位置を検出する測定法は、残留磁化による漏洩磁束を検出コイルで検出するための外部磁束として利用しているために、前述した第２の発明の特徴である「磁性体の内部欠陥検査位置での内面に均一な磁界を与える磁場形成コイル」および「磁性体の残留磁気を消磁すると共に磁性体の内部欠陥検査位置での内面に均一な磁界を与える磁場形成コイル」は記載されていない。
【００１８】
【非特許文献１】
工業材料１９９８年６月号（Ｖｏｌ．４６ Ｎｏ．６）「磁気特性と材質評価（その４）」
【００１９】
【非特許文献２】
Ｔ．ＩＥＥ Ｊａｐａｎ １１５巻１０号，平成７年（１９５５）９６８頁乃至９７３頁
【００２０】
【発明が解決しようとする課題】
従来技術１に記載の検査例は、磁性体の内部に欠陥が発生している場合、残留磁荷（保磁力）が変化することに着目して、磁性体の内部の欠陥を磁性体の「磁気特性変化」を検出コイルで検出しているために、磁性体の内部の欠陥の位置を検出することができる場合があっても、内部欠陥の欠陥状態まで判別することができない。
【００２１】
従来技術２のコンクリート中での異径鉄筋（試験体に埋設された鉄筋）の位置を検出する測定法は、残留磁化による漏洩磁束を検出コイルで検出しているために、磁性体の内部の欠陥の位置を検出することができる場合があっても、内部欠陥の欠陥状態まで判別することができない。
【００２２】
第１の発明の目的は、磁性体の内部の欠陥によって生じる磁性体の「磁気特性変化」を使わないで、残留磁気がない鋼心ケーブルの鋼心の磁気双極子が微少磁荷を帯びて鋼心が微少磁荷磁気双極子の集合体を形成している状態で、ＳＱＵＩＤセンサで鋼心ケーブルの微少磁荷磁気双極子の集合体領域Ｍａ，Ｍｂ，Ｍｃ，…から微少磁束の不均一を検出することによって、磁性体の内部の欠陥の位置は勿論、内部欠陥の欠陥状態まで判別する」ことができる方法および装置を提供することである。
【００２３】
第２の発明の目的は、「磁性体の内部欠陥検査位置での内面に均一な磁界を与える磁場形成コイル」または「磁性体の残留磁気を消磁すると共に磁性体の内部欠陥検査位置での内面に均一な磁界を与える磁場形成コイルによって、磁性体の内部の欠陥の位置は勿論、内部欠陥の欠陥状態まで判別する」ことができる方法および装置を提供することである。
【００２４】
【課題を解決するための手段】
［第１の発明の実施態様］
実施態様１は、図７に示すように、外部磁束の変化を検出する検出コイルを備えたＳＱＵＩＤセンサ１を使用して鋼心ケーブルＷＫの欠陥を検査する方法において、残留磁気がない鋼心ケーブルＷＫの鋼心の磁気双極子Ｍが微少磁荷を帯びて鋼心が微少磁荷磁気双極子の集合体ＭＡを形成している状態で、ＳＱＵＩＤセンサ１で鋼心ケーブルＷＫの外周から走査して微少磁荷磁気双極子の集合体領域Ｍａ，Ｍｂ，Ｍｃ，…から検出される微少磁束値を順次に記憶し、記憶した微少磁束値を鋼心ケーブルＷＫの連続した位置の順序に配置した連続位置順配置磁束値を記憶し、鋼心ケーブルＷＫの連続した位置に上記連続位置順配置磁束値を表示して、鋼心ケーブルＷＫの内部欠陥が存在する位置で生じる上記連続位置順配置磁束値の不均一から上記内部欠陥が存在する位置および欠陥状態を判別するＳＱＵＩＤセンサによる非破壊検査方法である。
【００２５】
実施態様２は、図７および図８に示すように、外部磁束の変化を検出する検出コイルを備えたＳＱＵＩＤセンサ１を使用して鋼心ケーブルＷＫの欠陥を検査する方法において、
残留磁気がない鋼心ケーブルＷＫの鋼心の磁気双極子Ｍが微少磁荷を帯びて鋼心が微少磁荷磁気双極子の集合体ＭＡを形成している状態で、ＳＱＵＩＤセンサ１で鋼心ケーブルＷＫの外周から鋼心ケーブルＷＫの長さ方向に予め定めた幅ΔＷと予め定めた長さＬとの第１の走査区間を走査して、走査した微少磁荷磁気双極子の集合体領域Ｍａ，Ｍｂ，Ｍｃ，…から検出される第１走査区間微少磁束値を順次に記憶し、
次に、上記外周から鋼心ケーブルＷＫの直径方向に上記第１の走査区間に隣り合う第２の走査区間を走査して、走査した微少磁荷磁気双極子の集合体領域Ｍａ，Ｍｂ，Ｍｃ，…から検出される第２走査区間微少磁束値を順次に記憶し、
以下上記外周から順次に鋼心ケーブルＷＫの直径方向に上記第２ないし第（Ｎ−１）の走査区間にそれぞれ隣り合う第３ないし第Ｎの走査区間を走査して、走査した微少磁荷磁気双極子の集合体領域Ｍａ，Ｍｂ，Ｍｃ，…から検出される第３走査区間ないし第Ｎ走査区間微少磁束値を順次に記憶し、
上記第１走査区間ないし第Ｎ走査区間微少磁束値を鋼心ケーブルＷＫの直径方向に配置して第１ないし第Ｎ走査区間の連続位置順配置磁束値を記憶し、
鋼心ケーブルＷＫの連続した位置に上記第１ないし第Ｎ走査区間の連続位置順配置磁束値を表示して、
鋼心ケーブルＷＫの内部欠陥が存在する位置で生じる連続位置順配置磁束値の不均一から上記内部欠陥が存在する位置および欠陥状態を判別するＳＱＵＩＤセンサによる非破壊検査方法である。
【００２６】
実施態様３は、外部磁束の変化を検出する検出コイルを備えたＳＱＵＩＤセンサ１を使用して鋼心ケーブルＷＫの欠陥を検査する方法において、
残留磁気がない鋼心ケーブルＷＫの鋼心の磁気双極子Ｍが微少磁荷を帯びて鋼心が微少磁荷磁気双極子の集合体ＭＡを形成している状態で、鋼心ケーブル長さ方向（Ｘ軸方向）および鋼心ケーブルＷＫの長さ方向（Ｘ軸方向）と検出コイルの中心軸（Ｚ軸方向）とに直交する検出コイルケーブル長直交方向（Ｙ軸方向）に、ＳＱＵＩＤセンサ１と鋼心ケーブルＷＫとを相対移動させて、微少磁荷磁気双極子の集合体領域Ｍａ，Ｍｂ，Ｍｃ，…から検出される微少磁束値を順次に記憶し、
上記微少磁束値を読み出してケーブルの長さ方向（Ｘ軸方向）と検出コイルの中心軸（Ｚ軸方向）とが形成する２次元平面的にまたはケーブルの長さ方向（Ｘ軸方向）と検出コイルの中心軸（Ｚ軸方向）と上記検出コイルケーブル長直交方向（Ｙ軸方向）とが形成する３次元立体面的に配置した連続位置順配置磁束値を記憶し、
上記連続位置順配置磁束値を読み出して、上記２次元平面的または上記３次元立体面的にケーブル位置対応磁束分布を表示して、
鋼心ケーブルＷＫの内部欠陥が存在する位置で生じる上記連続位置順配置磁束値の不均一から鋼心ケーブルＷＫの長さ方向の各位置および上記検出コイルケーブル長直交方向（Ｙ軸方向）の内部欠陥の欠陥状態を判別するＳＱＵＩＤセンサによる非破壊検査方法である。
【００２７】
実施態様４は、外部磁束の変化を検出する検出コイルを備えたＳＱＵＩＤセンサ１を使用して鋼心ケーブルＷＫの欠陥を検査する方法において、
残留磁気がない鋼心ケーブルＷＫの鋼心の磁気双極子Ｍが微少磁荷を帯びて鋼心が微少磁荷磁気双極子の集合体ＭＡを形成している状態で、鋼心ケーブルの長さ方向（Ｘ軸方向）および鋼心ケーブルの長さ方向（Ｘ軸方向）と検出コイルの中心軸（Ｚ軸方向）とに直交する検出コイルケーブル長直交方向（Ｙ軸方向）に、ＳＱＵＩＤセンサと鋼心ケーブルとを相対移動させて、微少磁荷磁気双極子の集合体領域Ｍａ，Ｍｂ，Ｍｃ，…から検出される微少磁束検出信号１ｓを順次にＡ／Ｄコンバータ１１に入力して磁束ディジタル信号１１ｓを出力するＡ／Ｄコンバータステップと、
上記磁束ディジタル信号１１ｓを入力してケーブルの長さ方向（Ｘ軸方向）と検出コイルの中心軸（Ｚ軸方向）とが形成する２次元平面的にまたはケーブルの長さ方向（Ｘ軸方向）と検出コイルの中心軸（Ｚ軸方向）と上記検出コイルケーブル長直交方向（Ｙ軸方向）とが形成する３次元立体面的に配置して記憶した後に、画像化処理信号１２ｓを出力する画像化処理ステップと、
上記画像化処理信号１２ｓを入力して磁場分布の傾き補正手段として用いて鋼心ケーブルの長さ方向に対して得た差分化信号１３ｓを出力するコンポリューション化ステップと、
上記差分化信号１３ｓを入力して測定画面メモリ信号１４ｓを出力する測定画面メモリステップと、
上記測定画面メモリ信号１４ｓを入力して３次元画像データと予め定めた鋼心ケーブルの健全な部分から生じる磁場の画像データである基準データとを比較した測定画面比較信号１５ｓを出力する測定画面比較ステップと、
上記測定画面比較信号１５ｓを入力して測定画像表示機構１６に表示させるステップとからなり、
鋼心ケーブルの内部劣化した部分から生じる磁場の画像データが健全な部分から生じる磁場の画像データよりも磁場が低下し歪んで表示されたときに鋼心ケーブルの内部劣化であると判断するＳＱＵＩＤセンサによる非破壊検査方法である。
【００２８】
実施態様５は、鋼心ケーブルの内部劣化した部分から生じる磁場の画像データが健全な部分から生じる磁場の画像データよりも磁場が低下し歪んでいるときに、実施態様１ないし実施態様４に記載の連続位置順配置磁束値の不均一から上記内部欠陥が存在する位置および欠陥状態であると判別するＳＱＵＩＤセンサによる非破壊検査方法である。
【００２９】
実施態様６は、図１に示すように、ＳＱＵＩＤセンサを用いて、鋼心ケーブルの内部劣化現象を３次元に非破壊検査する装置であって、２次微分型ＤＣ-ＳＱＵＩＤグラジオメータ１を使用したＳＱＵＩＤセンサを冷却する冷却手段２と、残留磁気がない鋼心ケーブルＷＫの鋼心の磁気双極子Ｍが微少磁荷を帯びて鋼心が微少磁荷磁気双極子の集合体ＭＡを形成している状態で、鋼心ケーブルを２次元に走査して得られる磁場の変化を３次元画像データとして処理し、前記３次元画像データと予め定めた鋼心ケーブルの健全な部分から生じる磁場の画像データである基準データとを比較して鋼心ケーブルの３次元的に判断する画像処理手段ＰＣとを備えたＳＱＵＩＤセンサによる非破壊検査装置である。
【００３０】
実施態様７は、実施態様６に記載の画像処理手段ＰＣ、磁場分布の傾き補正手段として畳み込み積分を用いて鋼心ケーブルの線方向に対して得た差分化信号１３ｓを画像データとする処理を含んだＳＱＵＩＤセンサによる非破壊検査装置である。
【００３１】
実施態様８は、実施態様６に記載の画像処理手段ＰＣが、磁場分布の傾き補正処理したデータを予め定めた鋼心ケーブルの健全な部分から生じる磁場の画像データである基準データと比較して、鋼心ケーブルの内部劣化した部分から生じる磁場の画像データが健全な部分から生じる磁場の画像データよりも磁場が低下し歪んで表示されたときに鋼心ケーブルの内部劣化であると判断するＳＱＵＩＤセンサによる非破壊検査装置である。
【００３２】
実施態様９は、外部磁束の変化を検出する検出コイルを備えたＳＱＵＩＤセンサ１を使用して鋼心ケーブルＷＫの欠陥を検査する検査装置において、
ＳＱＵＩＤセンサを鋼心ケーブルの表面で鋼心ケーブルの長さ方向および鋼心ケーブルの長さ方向と検出コイルの中心軸とに直交する検出コイルケーブル長直交方向に、ＳＱＵＩＤセンサと鋼心ケーブルとを相対移動させて、残留磁気がない鋼心ケーブルＷＫの鋼心の磁気双極子Ｍが微少磁荷を帯びて鋼心が微少磁荷磁気双極子の集合体ＭＡを形成している状態で、ＳＱＵＩＤセンサ１で鋼心ケーブルＷＫの外周から走査して微少磁荷磁気双極子の集合体領域Ｍａ，Ｍｂ，Ｍｃ，…から検出される微少検出磁束信号１ｓをＳＱＵＩＤセンサによって検出される微少磁束検出信号１ｓをディジタル化して順次に磁束ディジタル信号１１ｓを出力するＡ／Ｄコンバータ１１と、
上記磁束ディジタル信号１１ｓを入力してケーブルの長さ方向（Ｙ軸方向）と検出コイルの中心軸（Ｚ軸方向）とが形成する２次元平面（Ｙ軸とＺ軸平面）的にまたはケーブルの長さ方向（Ｙ軸方向）と検出コイルの中心軸（Ｚ軸方向）と上記検出コイルケーブル長直交方向（Ｘ軸方向）とが形成する３次元立体面（Ｙ軸とＺ軸平面およびＸ軸とＺ軸平面）的に配置して記憶した後に、画像化処理信号１２ｓを出力する画像化処理回路１２と、
上記画像化処理信号１２ｓを入力して磁場分布の傾き補正手段として用いて鋼心ケーブルの長さ方向に対して得た差分化信号１３ｓを出力するコンポリューション１３と、
上記差分化信号１３ｓを入力して測定画面メモリ信号１４ｓを出力する測定画面メモリ１４と、
上記測定画面メモリ信号１４ｓを入力して３次元画像データと予め定めた鋼心ケーブルの健全な部分から生じる磁場の画像データである基準データとを比較した測定画面比較信号１５ｓを出力する測定画面比較回路１５とを備えて、
上記測定画面比較信号１５ｓを入力して表示させる測定画像表示機構１６とを備えて、
鋼心ケーブルの内部劣化した部分から生じる磁場の画像データが健全な部分から生じる磁場の画像データよりも磁場が低下し歪んで表示されたときに鋼心ケーブルの内部劣化であると判断するＳＱＵＩＤセンサによる非破壊検査装置である。
【００３３】
実施態様１０は、外部磁束の変化を検出する検出コイルを備えたＳＱＵＩＤセンサ１を使用して鋼心ケーブルＷＫの欠陥を検査する検査装置において、
残留磁気がない鋼心ケーブルＷＫの鋼心の磁気双極子Ｍが微少磁荷を帯びて鋼心が微少磁荷磁気双極子の集合体ＭＡを形成している状態で、ＳＱＵＩＤセンサ１で鋼心ケーブルＷＫの外周から鋼心ケーブルＷＫの長さ方向に予め定めた幅ΔＷと予め定めた長さＬとの第１の走査区間を走査して、走査した微少磁荷磁気双極子の集合体領域Ｍａ，Ｍｂ，Ｍｃ，…から検出される第１走査区間微少磁束値を順次に記憶する第１走査区間微少磁束値記憶回路と、
次に、上記外周から鋼心ケーブルＷＫの直径方向に上記第１の走査区間に隣り合う第２の走査区間を走査して、走査した微少磁荷磁気双極子の集合体領域Ｍａ，Ｍｂ，Ｍｃ，…から検出される第２走査区間微少磁束値を順次に記憶する第２走査区間微少磁束値記憶回路と、
以下上記外周から順次に鋼心ケーブルＷＫの直径方向に上記第２ないし第（Ｎ−１）の走査区間にそれぞれ隣り合う第３ないし第Ｎの走査区間を走査して、走査した微少磁荷磁気双極子の集合体領域Ｍａ，Ｍｂ，Ｍｃ，…から検出される第３走査区間ないし第Ｎ走査区間微少磁束値を順次に記憶する第３ないし第Ｎ走査区間微少磁束値記憶回路と、
上記第１走査区間ないし第Ｎ走査区間微少磁束値を鋼心ケーブルＷＫの直径方向に配置して第１ないし第Ｎ走査区間の連続位置順配置磁束値を記憶する第１ないし第Ｎ走査区間の連続配置磁束記憶回路と、
鋼心ケーブルＷＫの連続した位置に上記第１ないし第Ｎ走査区間の連続位置順配置磁束値を測定した微少検出磁束信号１ｓをＳＱＵＩＤセンサによって検出される微少磁束検出信号１ｓをディジタル化して順次に磁束ディジタル信号１１ｓを出力するＡ／Ｄコンバータ１１と、
上記磁束ディジタル信号１１ｓを入力してケーブルの長さ方向（Ｙ軸方向）と検出コイルの中心軸（Ｚ軸方向）とが形成する２次元平面（Ｙ軸とＺ軸平面）的にまたはケーブルの長さ方向（Ｙ軸方向）と検出コイルの中心軸（Ｚ軸方向）と上記検出コイルケーブル長直交方向（Ｘ軸方向）とが形成する３次元立体面（Ｙ軸とＺ軸平面およびＸ軸とＺ軸平面）的に配置して記憶した後に、画像化処理信号１２ｓを出力する画像化処理回路１２と、
上記画像化処理信号１２ｓを入力して磁場分布の傾き補正手段として用いて鋼心ケーブルの長さ方向に対して得た差分化信号１３ｓを出力するコンポリューション１３と、
上記差分化信号１３ｓを入力して測定画面メモリ信号１４ｓを出力する測定画面メモリ１４と、
上記測定画面メモリ信号１４ｓを入力して３次元画像データと予め定めた鋼心ケーブルの健全な部分から生じる磁場の画像データである基準データとを比較した測定画面比較信号１５ｓを出力する測定画面比較回路１５と、
上記測定画面比較信号１５ｓを入力して表示させる測定画像表示機構１６とを備えて、
鋼心ケーブルの内部劣化した部分から生じる磁場の画像データが健全な部分から生じる磁場の画像データよりも磁場が低下し歪んで表示されたときに鋼心ケーブルの内部劣化であると判断するＳＱＵＩＤセンサによる非破壊検査装置である。
［第２の発明の実施態様］
実施態様１１は、ＳＱＵＩＤセンサを用いて、鋼心ケーブルの内部劣化現象を検査する方法であって、ＳＱＵＩＤセンサを鋼心ケーブルの表面で走査し、印加した磁界から生じる磁場の変化を算出し、前記算出した磁場の変化を画像データとして処理することにより、鋼心ケーブルの内部劣化現象を検査するＳＱＵＩＤセンサによる非破壊検査方法である。
【００３４】
実施態様１２は、実施態様１１に記載の画像データが、鋼心ケーブルの内部劣化現象を検出して処理した劣化現象データであるとき、前記劣化現象データを処理して表示される画像は、鋼心ケーブルの内部劣化した部分から生じる磁場の画像データが健全な部分から生じる磁場の画像データよりも磁場が低下し歪んで表示されるＳＱＵＩＤセンサによる非破壊検査方法である。
【００３５】
実施態様１３は、図９の検査装置のブロック図に示すように、ＳＱＵＩＤセンサを用いて、鋼心ケーブルの内部劣化現象を検査する方法であって、
ＳＱＵＩＤセンサを鋼心ケーブルの表面で鋼心ケーブルの長さ方向（Ｘ軸方向）および鋼心ケーブルの長さ方向（Ｘ軸方向）と検出コイルの中心軸（Ｚ軸方向）とに直交する検出コイルケーブル長直交方向（Ｙ軸方向）に、ＳＱＵＩＤセンサと鋼心ケーブルとを相対移動させて、印加した磁界から生じる磁場の変化をＳＱＵＩＤセンサによって検出した微少磁束検出信号１ｓを順次にディジタル化して磁束ディジタル信号１１ｓを出力するＡ／Ｄコンバータステップと、
上記磁束ディジタル信号１１ｓを入力してケーブルの長さ方向（Ｘ軸方向）と検出コイルの中心軸（Ｚ軸方向）とが形成する２次元平面的にまたはケーブルの長さ方向（Ｘ軸方向）と検出コイルの中心軸（Ｚ軸方向）と上記検出コイルケーブル長直交方向（Ｙ軸方向）とが形成する３次元立体面的に配置して記憶した後に、画像化処理信号１２ｓを出力する画像化処理ステップと、
上記画像化処理信号１２ｓを入力して磁場分布の傾き補正手段として用いて鋼心ケーブルの長さ方向に対して得た差分化信号１３ｓを出力するコンポリューション化ステップと、
上記差分化信号１３ｓを入力して測定画面メモリ信号１４ｓを出力する測定画面メモリステップと、
上記測定画面メモリ信号１４ｓを入力して３次元画像データと予め定めた鋼心ケーブルの健全な部分から生じる磁場の画像データである基準データとを比較した測定画面比較信号１５ｓを出力する測定画面比較ステップと、
上記測定画面比較信号１５ｓを入力して測定画像表示機構１６に表示させるステップとからなり、
鋼心ケーブルの内部劣化した部分から生じる磁場の画像データが健全な部分から生じる磁場の画像データよりも磁場が低下し歪んで表示されたときに鋼心ケーブルの内部劣化であると判断するＳＱＵＩＤセンサによる非破壊検査方法である。
【００３６】
実施態様１４は、図９に示すように、ＳＱＵＩＤセンサを用いて、鋼心ケーブルの内部劣化現象を３次元に非破壊検査する装置であって、２次微分型 DC-ＳＱＵＩＤグラジオメータ１を使用したＳＱＵＩＤセンサを冷却する冷却手段２と、鋼心ケーブルの残留磁気を消磁すると共に鋼心ケーブルの内部欠陥を検査する近傍に配置されて均一な磁界を与えるための磁場形成コイル４と、鋼心ケーブルを２次元に走査して得られる磁場の変化を３次元画像データとして処理し、前記３次元画像データと予め定めた鋼心ケーブルの健全な部分から生じる磁場の画像データである基準データとを比較して鋼心ケーブルの３次元的に判断する画像処理手段ＰＣとを備えたＳＱＵＩＤセンサによる非破壊検査装置である。
【００３７】
実施態様１５は、実施態様１４に記載の画像処理手段ＰＣ、磁場分布の傾き補正手段として畳み込み積分を用いて鋼心ケーブルの線方向に対して得た差分化信号１３ｓを画像データとする処理を含んだＳＱＵＩＤセンサによる非破壊検査装置である。
【００３８】
実施態様１６は、実施態様１４に記載の画像処理手段ＰＣが、磁場分布の傾き補正処理したデータを予め定めた鋼心ケーブルの健全な部分から生じる磁場の画像データである基準データと比較して、鋼心ケーブルの内部劣化した部分から生じる磁場の画像データが健全な部分から生じる磁場の画像データよりも磁場が低下し歪んで表示されたときに鋼心ケーブルの内部劣化であると判断するＳＱＵＩＤセンサによる非破壊検査装置である。
【００３９】
実施態様１７は、図９に示すように、ＳＱＵＩＤセンサを用いて、鋼心ケーブルの内部劣化現象を３次元に非破壊検査する装置において、
ＳＱＵＩＤセンサを鋼心ケーブルの表面で鋼心ケーブルの長さ方向および鋼心ケーブルの長さ方向と検出コイルの中心軸とに直交する検出コイルケーブル長直交方向に、ＳＱＵＩＤセンサと鋼心ケーブルとを相対移動させて、鋼心ケーブルの残留磁気がない状態または残留磁気を消磁した状態で、鋼心ケーブルに均一な磁界を与えて鋼心ケーブルから漏洩磁束を発生させ、ＳＱＵＩＤセンサによって検出される微少磁束検出信号１ｓをディジタル化して順次に磁束ディジタル信号１１ｓを出力するＡ／Ｄコンバータ１１と、
上記磁束ディジタル信号１１ｓを入力してケーブルの長さ方向（Ｙ軸方向）と検出コイルの中心軸（Ｚ軸方向）とが形成する２次元平面（Ｙ軸とＺ軸平面）的にまたはケーブルの長さ方向（Ｙ軸方向）と検出コイルの中心軸（Ｚ軸方向）と上記検出コイルケーブル長直交方向（Ｘ軸方向）とが形成する３次元立体面（Ｙ軸とＺ軸平面およびＸ軸とＺ軸平面）的に配置して記憶した後に、画像化処理信号１２ｓを出力する画像化処理回路１２と、
上記画像化処理信号１２ｓを入力して磁場分布の傾き補正手段として用いて鋼心ケーブルの長さ方向に対して得た差分化信号１３ｓを出力するコンポリューション１３と、
上記差分化信号１３ｓを入力して測定画面メモリ信号１４ｓを出力する測定画面メモリ１４と、
上記測定画面メモリ信号１４ｓを入力して３次元画像データと予め定めた鋼心ケーブルの健全な部分から生じる磁場の画像データである基準データとを比較した測定画面比較信号１５ｓを出力する測定画面比較回路１５と、
上記測定画面比較信号１５ｓを入力して表示させる測定画像表示機構１６とを備えて、
鋼心ケーブルの内部劣化した部分から生じる磁場の画像データが健全な部分から生じる磁場の画像データよりも磁場が低下し歪んで表示されたときに鋼心ケーブルの内部劣化であると判断するＳＱＵＩＤセンサによる非破壊検査装置である。
【００４０】
【発明の実施の形態】
［第１の発明の実施の形態］
以下、図１に基づいて第１の発明の実施の形態を説明する。なお、前述した図２ないし図８で説明した同一または相当する部分には、同一の参照番号を付しその説明は繰り返さない。
【００４１】
図１は、ＳＱＵＩＤセンサによる本発明の非破壊検査方法を実施する非破壊検査装置のブロック図であると共に本発明の非破壊検査装置のブロック図である。同図は、ＳＱＵＩＤセンサに超電導現象が生じる４Ｋ程度に冷却するクライオスタット２の下方に、残留磁気がない鋼心ケーブルＷＫを配置する。
【００４２】
第１の発明の方法および装置は、従来技術１または従来技術２のように、磁性体の位置または磁性体の内部の欠陥によって生じる磁性体の「磁気特性変化」を使わないで残留磁気のない状態また消磁した状態で、鋼心ケーブルに均一な磁界を与えておいて、残留磁気がない鋼心ケーブルの鋼心の磁気双極子Ｍが微少磁荷を帯びて鋼心が微少磁荷磁気双極子の集合体ＭＡを形成している状態で、ＳＱＵＩＤセンサで鋼心ケーブルの微少磁荷磁気双極子の集合体領域Ｍａ，Ｍｂ，Ｍｃ，…から微少磁束の不均一を検出することによって、鋼心ケーブルの内部の欠陥の位置は勿論、内部欠陥の欠陥状態まで判別することができる。
【００４３】
同図において、試料としての鋼心ケーブルＷＫに残留磁気があるときは、検査前に磁場形成コイル４に消磁電流を通電して消磁する。鋼心ケーブルＷＫの表面を、ＳＱＵＩＤセンサに超電導現象を生じさせる４Ｋ程度に冷却するクライオスタット２で冷却された２次微分型ＤＣクラジオメータ１で２次元に走査して検出した微少磁束検出信号１ｓをセンサ駆動回路５に出力する。
【００４４】
センサ・ケーブル相対移動機構１０は、鋼心ケーブルＷＫの検出断面をＳＱＵＩＤセンサで走査するために、ＳＱＵＩＤセンサ１と鋼心ケーブルＷＫとを、鋼心ケーブルの長さ方向（Ｙ軸方向）および鋼心ケーブルの長さ方向（Ｙ軸方向）と検出コイルの中心軸（Ｚ軸方向）とに直交する検出コイルケーブル長直交方向（Ｘ軸方向）にＳＱＵＩＤセンサまたは鋼心ケーブルまたは両者を移動（相対移動）させる。
【００４５】
センサ駆動回路５から出力する検出磁束出力信号５ｓをＡ／Ｄコンバータ１１でディジタル信号に変換してディジタル磁束信号１１ｓを出力する。このディジタル磁束信号１１ｓを入力して３次元画像データとして画像処理して測定画像を表示する画像処理手段ＰＣに出力する。
【００４６】
上記センサ駆動回路５は、制御電源回路９が出力したセンサ（電気的）駆動のためのバイアス電流、線形性をもたせるフィードバック信号などをＳＱＵＩＤセンサに供給（出力）すると共に、ＳＱＵＩＤセンサで検出した（劣化の可能性のある鋼心ケーブルから検出した）微少磁束検出信号１ｓを入力し、信号レベル変換、ノイズ除去、信号選択などをして残留磁気位置表示に必要な検出磁束出力信号５ｓを出力する。制御電源回路９は、商用電源電圧を検出コイル補正、センサ（電気的）駆動、消磁、測定磁場形成などの制御電源電圧に変換して出力する。
【００４７】
上記ディジタル磁束信号１１ｓを入力してから測定画像を表示するまでの画像処理手段ＰＣとして本発明では、パソコンＰＣを使用している。パソコンＰＣは、上記ディジタル磁束信号１１ｓを画像化処理回路１２に入力して画像化処理をして得られた画像化処理信号１２ｓをコンポリューション１３によってコンポリューション（畳み込み積分）化する。このコンポリューション化は、磁場分布の傾き補正手段として用いて鋼心ケーブルの長さ方向に対して得た差分化信号１３ｓを出力する。上記差分化信号１３ｓを測定画面メモリ１４に記憶する。
【００４８】
上記画像化処理回路１２は、ディジタル磁束信号１１ｓを入力して鋼心ケーブルの内部欠陥が存在する位置で生じる漏洩磁束の不均一を走査検出した磁束変化を、ケーブルの長さ方向（Ｙ軸方向）と検出コイルの中心軸（Ｚ軸方向）とが形成する２次元平面（Ｙ軸とＺ軸平面）的にまたはケーブルの長さ方向（Ｙ軸方向）と検出コイルの中心軸（Ｚ軸方向）と上記検出コイルケーブル長直交方向（Ｘ軸方向）とが形成する３次元立体面（Ｙ軸とＺ軸平面およびＸ軸とＺ軸平面）的に表示するための画像化処理信号１２ｓを出力する。
【００４９】
上記画像処理手段ＰＣは、３次元画像データと予め定めた鋼心ケーブルの健全な部分から生じる磁場の画像データである基準データとを測定画面比較回路１５で比較した測定画面比較信号１５ｓを測定画像表示機構１６に表示させて鋼心ケーブルの３次元的に判断する。
【００５０】
上記測定画面比較信号１５ｓを入力とする測定画像表示機構１６において、鋼心ケーブルの内部劣化した部分から生じる磁場の画像データが健全な部分から生じる磁場の画像データよりも磁場が低下し歪んで表示されたときに鋼心ケーブルの内部劣化であると判断する。
【００５１】
第１の発明において従来技術１または従来技術２と異なる基本的な構成は、前述したように、従来技術１または従来技術２のように、磁性体の内部の欠陥によって生じる磁性体の「磁気特性変化」を使わないで消磁した状態で、「残留磁気がない鋼心ケーブルの鋼心の磁気双極子Ｍが微少磁荷を帯びて鋼心が微少磁荷磁気双極子の集合体ＭＡを形成している状態で、ＳＱＵＩＤセンサで鋼心ケーブルの微少磁荷磁気双極子の集合体領域Ｍａ，Ｍｂ，Ｍｃ，…から微少磁束の不均一を検出することによって、磁性体の内部の欠陥の位置は勿論、内部欠陥の欠陥状態まで判別する」ことにある。
【００５２】
図７は、鋼心ケーブルＷＫの鋼心の磁気双極子Ｍが微少磁荷を帯びた微少磁荷磁気双極子の集合体領域Ｍａ，Ｍｂ，Ｍｃ，…を説明するための微少磁荷磁気双極子集合体領域Ｍａ，Ｍｂ，Ｍｃ，…模式図である。同図において、磁気双極子Ｍは個々には、微少磁荷を帯びた微少磁荷磁気双極子であるが、磁気双極子の集合体ＭＡは、残留磁気を有していない。すなわち、本発明を適用するためには、従来技術のような残留磁気があってはならない。
【００５３】
本発明を適用するための磁気双極子の集合体ＭＡは、例えば、ＳＱＵＩＤセンサ１の検出コイルが停止しているときの検出コイルの最小検出範囲（分解能）である微少磁荷磁気双極子の集合体領域（以下、磁荷双極子集合体領域という）Ｍａ，Ｍｂ，Ｍｃ，…から形成されている。ＳＱＵＩＤセンサ１で鋼心ケーブルＷＫの外周から走査して微少磁荷磁気双極子の集合体領域Ｍａ，Ｍｂ，Ｍｃ，…それぞれの微少磁束の集合した磁束値を測定する。
【００５４】
この微少磁荷磁気双極子の集合体領域Ｍａ，Ｍｂ，Ｍｃ，…それぞれの微少集合磁束値は、後述する図２４（Ａ）ないし図２９の実施例で示すように、鋼心ケーブルの内部欠陥が存在する位置で不均一になるために内部欠陥が存在する位置および欠陥状態を判別することができる。
【００５５】
図８は、第１走査区間ないし第Ｎ走査区間微少磁束値を鋼心ケーブルＷＫの直径方向に配置して第１ないし第Ｎ走査区間の連続位置順配置磁束値の大きさを説明するための第１ないし第Ｎ走査区間連続位置順配置磁束値差分化処理済データ図である。同図において、図７と同様の部分には図７と同一符号を付しているが、磁気双極子の集合体ＭＡに内部欠陥（クラック）が存在する場合を想定して説明する。
【００５６】
ＳＱＵＩＤセンサ１で鋼心ケーブルＷＫの外周から鋼心ケーブルＷＫの長さ方向に予め定めた幅ΔＷと予め定めた長さＬとの第１の走査区間を走査して、走査した微少磁荷磁気双極子の集合体領域Ｍａ，Ｍｂ，Ｍｃ，…から検出される第１走査区間微少磁束値を測定する。次に、上記外周から鋼心ケーブルＷＫの直径方向に上記第１の走査区間に隣り合う第２の走査区間を走査して、走査した微少磁荷磁気双極子の集合体領域Ｍａ，Ｍｂ，Ｍｃ，…から検出される第２走査区間微少磁束値を順次に検出する。以下上記外周から順次に鋼心ケーブルＷＫの直径方向に上記第２ないし第（Ｎ−１）の走査区間にそれぞれ隣り合う第３ないし第Ｎの走査区間を走査して、走査した微少磁荷磁気双極子の集合体領域Ｍａ，Ｍｂ，Ｍｃ，…から検出される第３走査区間ないし第Ｎ走査区間微少磁束値を順次に検出する。上記第１走査区間ないし第Ｎ走査区間微少磁束値を鋼心ケーブルＷＫの直径方向に配置して第１ないし第Ｎ走査区間の連続位置順配置磁束値を測定する。
【００５７】
同図の拡大図中の磁荷双極子集合体領域（Ｍａ，Ｍｂ，Ｍｃ，…）ごとの数字は、後述する図１０ないし図１８のコンポリューション・フィルターを適用して検出磁束値を差分化処理した例示データである。数字「０」ないし「３」は、検出磁束値の小から大への重み付けを想定している。「０」はアルミより線の部分で検出磁束値が「検出できない」状態、「１」は検出磁束値が「非常に弱い」状態、「２」は検出磁束値が「大きい」状態、「３」は検出磁束値が「最大」の状態を想定している。このように、磁気双極子の集合体ＭＡに内部欠陥（クラック）が存在すると、連続配置磁束が不均一になり、鋼心ケーブルＷＫの内部欠陥が存在する位置で生じる連続位置順配置磁束値の不均一から上記内部欠陥が存在する位置および欠陥状態を判別することができる。
［第２の発明の実施の形態］
以下、図９に基づいて本発明の実施の形態を説明する。なお、前述した図２ないし図６で説明した同一または相当する部分には、同一の参照番号を付しその説明は繰り返さない。
【００５８】
第２の発明の方法および装置は、従来技術１または従来技術２のように、磁性体の位置または磁性体の内部の欠陥によって生じる磁性体の「磁気特性変化」を使わないで消磁した状態で、鋼心ケーブルに均一な磁界を与えておいて、鋼心ケーブルの内部に欠陥がある位置で磁束が不均一になって漏洩磁束が発生することによって、鋼心ケーブルの内部の欠陥の位置は勿論、内部欠陥の欠陥状態まで判別することができる。
【００５９】
同図において、試料としての鋼心ケーブルＷＫは、検査前に磁場形成コイル４に消磁電流を通電して消磁する。鋼心ケーブルＷＫの表面を、ＳＱＵＩＤセンサに超電導現象を生じさせる４Ｋ程度に冷却するクライオスタット２で冷却された２次微分型ＤＣクラジオメータ１で２次元に走査して検出した微少磁束検出信号１ｓをセンサ駆動回路５に出力する。
【００６０】
以下、前述した図１の説明と同様であるので図９の説明を省略する。
第２の発明の実施態様において、従来技術１または従来技術２と異なる基本的な構成は、前述したように、従来技術１または従来技術２のように、磁性体の内部の欠陥によって生じる磁性体の「磁気特性変化」を使わないで消磁した状態で、鋼心ケーブルに均一な磁界を与えておいて、鋼心ケーブルの内部に欠陥がある位置で磁束が不均一になって漏洩磁束が発生することにあるので、下記の構成が追加されている。
【００６１】
本発明において、鋼心ケーブルの残留磁気を消磁すると共に鋼心ケーブルの内部欠陥を検査する近傍に配置されて均一な磁界を与えるための磁場形成コイル４と、磁場形成コイル４に残留磁気を消磁するための消磁電流および均一な磁界をつくるための測定磁場電流を通電し、鋼心ケーブルの残留磁気がない状態または残留磁気を消磁した状態で、鋼心ケーブルに均一な磁界を与えて鋼心ケーブルから漏洩磁束を発生させ消磁電流および測定磁場電流を通電する磁場電流発生回路２０とが追加されている。
【００６２】
なお、従来技術１または従来技術２に記載されている「入力コイル」は検出コイルと同軸（Ｚ軸方向）に配置されているために、鋼心ケーブルの外周方向からしか磁界を与えることができない。それに対して、本発明に使用する磁場形成コイル４の中心軸は鋼心ケーブルの長さ方向（Ｙ軸方向）となるように配置されているので、鋼心ケーブルの断面に均一な磁界を与えることができる。従って、従来技術１または従来技術２に記載されている「入力コイル」が与える磁界の方向では、本発明に使用する磁場形成コイル４が与える磁界のように鋼心ケーブルの断面に均一な磁界を与えることができないので、第２の発明の目的を達成することができない。
［コンポリューション・フィルターの原理］
以下、前述した実施態様４、実施態様９、実施態様１０、実施態様１３および実施態様１７に記載した「画像化処理信号１２ｓを入力して鋼心ケーブルの長さ方向に対して得た差分化信号１３ｓを出力するコンポリューション１３」の主要部であるコンポリューション・フィルター（以下、フィルタという）の原理について、図１１ないし図１８を参照して説明する。コンポリューションすることを重畳積分するまたは差分化するともいわれている。
［図１０の説明］
図１０は、ＳＱＵＩＤセンサによって投影した同図（Ｂ）に示す画像データを、たとえば、同図（Ａ）に示す整数値を代入したフィルターによって差分化処理した定数代入済み画像データ・フィルター関係図である。
【００６３】
このフィルターは、画像処理では通常、雑音、測定誤差などによって生じる画像データのばらつきを円滑化（スムージング）する平滑化フィルターの一種であって、たとえば、図１０（Ａ）に示す整数値を代入したフィルターによって差分化処理をする。このフィルターに代入する数値によってフィルターの特性が変化してフィルタリングされた画像データが異なる。
【００６４】
図１０（Ａ）に示す９点（ピクセル）フィルターは、３×３のマトリックスの画面を作り、データの重み（大小レベル）を、１．２．１に位置づけ、９個のピクセルに縦横のピクセル値が１．２．１の関係になるようにして、同図（Ｂ）に示す２５点（５×５ピクセル）フィルタリングされた画像データを生成する。
［図１１ないし図１８の説明］
図１１は、図１１（Ｂ）に示す符号化された画像データを、同図（Ａ）に示す符号化変数のフィルターによって差分化処理する符号化画像データ・フィルター関係図である。図１１（Ａ）に示す９点（ピクセル）フィルターは、３×３のマトリックスの画面を作り、データの重み（大小レベル）を、符号化変数ｈ１ないしｈ９に位置づけ、９個のピクセルに縦横のピクセル値が１．２．１の関係になるようにして、同図（Ｂ）に示す２５点（５×５ピクセル）フィルタリングされた符号化データｆ１ないしｆ２５の画像データを生成する。
【００６５】
図１２は、上記の図１１（Ａ）に示す符号化変数のフィルターが畳み込み積分を行うために同図（Ａ）を横方向に折り返して同図（Ｂ）のフィルタを生成し、続けて縦方向に折り返して同図（Ｃ）のフィルタを生成したフィルター縦横折り返し関係図である。
【００６６】
図１３は、同図（Ａ）のｈ９ないしｈ１の縦横折り返しフィルターを同図（Ｂ）に示すｆ１ないしｆ２５の画像データの左上端に一致するように重ねて、同図（Ｃ）に示す画像データの左上端フィルタ重ね合わせの画像データを生成した左上端フィルタ重ね合わせ画像データである。
【００６７】
なお、図１３（Ａ）の縦横折り返しフィルターは、上記の図１２（Ｃ）で生成した縦横折り返しフィルターであり、また、図１３（Ｃ）に示す符号化データｆ１ないしｆ２５の画像データ２５点（５×５ピクセル）は図１１で生成した画像データである。
【００６８】
図１４は、図１３（Ｃ）で生成した画像データを、図１４（Ａ）に示す重なった位置で計算されたピクセル値ｇ１を記録したピクセル値記録データとの関係を示す左上端重ね合わせ画像・ピクセルデータ関係図である。
【００６９】
図１５は、図１２（Ｃ）のｈ９ないしｈ１の縦横折り返しフィルターの左上端ピクセルｈ９を、図１５（Ａ）に示すように、図１１（Ｂ）に示す画像データの左上端から２列目のピクセル（ｆ２）に一致するように重ねて、図１５（Ｂ）に示す重なった位置で計算されたピクセル値ｇ２を記録したピクセル値記録データとの関係を示す左上２列目重ね合わせ画像・ピクセルデータ関係図である。
【００７０】
図１６は、図１２（Ｃ）のｈ９ないしｈ１の縦横折り返しフィルターの左上端ピクセルｈ９を、図１６（Ａ）に示すように、図１１（Ｂ）に示す画像データの左上端から３列目のピクセル（ｆ３）に一致するように重ねて、図１６（Ｂ）に示す重なった位置で計算されたピクセル値ｇ３を記録したピクセル値記録データとの関係を示す左上３列目重ね合わせ画像・ピクセルデータ関係図である。
【００７１】
図１７は、図１２（Ｃ）のｈ９ないしｈ１の縦横折り返しフィルターの左上端ピクセルｈ９を、図１７（Ａ）に示すように、図１１（Ｂ）に示す画像データの左上端から２段目（２行目）のピクセル（ｆ１６）に一致するように重ねて、図１７（Ｂ）に示す重なった位置で計算されたピクセル値ｇ４を記録したピクセル値記録データとの関係を示す左上２段目重ね合わせ画像・ピクセルデータ関係図である。
【００７２】
図１８は、図１２（Ｃ）のｈ９ないしｈ１の縦横折り返しフィルターの左上端ピクセルｈ９を、図示を省略しているが、最終の左上端から３列目および３行目まで順次にずらして、図１８（Ａ）に示す投影データの重ね最終位置で計算されたピクセル値ｇ９を記録したピクセル値記録データとの関係を示す重ね合わせ画像・ピクセルデータ関係図である。
【００７３】
【実施例】
図１９は、ＳＱＵＩＤセンサによって、後述する劣化している鋼心アルミより線を３次元に投影した画像データを示す３次元投影画像データ図である。この投影した画像データをフィルターによって差分化処理して図示していないピクセルデータを生成する。このピクセルデータに基づいて後述する図２１のフィルタリング後画像データを生成する。
【００７４】
図２０は、鋼心アルミより線の３次元投影画像データを差分化処理および傾き補正する傾き補正・差分化処理図である。右側縦方向の画像データの白い線は鋼心アルミより線の断面（Ｙ軸）方向の投影画像データ図であって中央部分が磁束密度が高いことを示している。また、下側横方向の画像データの白い線は鋼心アルミより線の長さ（Ｘ軸）方向の投影画像データ図であって長さ方向に磁束密度が変化していることを示している。
【００７５】
図２１は、データの重み付けの数値（コンポリューション・フィルター係数）を代入したフィルター係数テーブルである。テーブルの列方向Ｘは、図１に示すＳＱＵＩＤセンサの中心軸（Ｚ軸方向）の重み付けを０とし、その断面両側をそれぞれ−１および＋１としている。また、テーブルの行方向Ｙは、図１に示すＳＱＵＩＤセンサの中心軸（Ｚ軸方向）の重み付けを０としその通過した側を−１とし未通過側を＋１としている。
【００７６】
図２２は、図１９の３次元投影画像データを、ピクセルデータを使用して、傾き補正および差分化処理して生成したフィルタリング後の画像データを示す３次元フィルタリング画像データ図である。
【００７７】
以下の実施例は、図１または図９の本発明の検査装置を使用して本発明の方法を実施した例を示す。図２３は、ＳＱＵＩＤセンサによって内部検査をする鋼心アルミより線の断面図である。
【００７８】
図２４（Ａ）は、劣化していない鋼心アルミより線の長さ方向断面図である。同図において、紙面上部および下部の白い部分がアルミより線であり、中央の複数の線分の部分が鋼心である。図２４（Ｂ）は、劣化していない鋼心アルミより線の長さ方向に沿ってＳＱＵＩＤセンサによって内部検査をしたときの検出磁束値正常表示図である。上記の検出磁束値正常表示図において、紙面上部および下部の白い部分が鋼心の外周部であって検出磁束値が低いことを示し、逆に、中心部の黒い部分は鋼心の磁束によって検出磁束値が高いことを示している。
【００７９】
図２５（Ａ）は、点線で示すように鋼心が腐食して鋼心断面が減少した鋼心アルミより線の長さ方向断面図である。同図において、紙面上部および下部の白い部分がアルミより線であり、中央の複数の線分の部分が鋼心である。図２５（Ｂ）は、図２５（Ａ）の鋼心が腐食して鋼心断面が減少した鋼心アルミより線の長さ方向に沿ってＳＱＵＩＤセンサによって内部検査をしたときの内部で検出磁束値が激減した状態を示す内部検出磁束値低下表示図である。上記の検出磁束値低下表示図において、紙面上部および下部の白い部分が鋼心の外周部であって検出磁束値が低いことを示し、逆に、中心部の黒い部分は鋼心の磁束によって検出磁束値が高いことを示している。
【００８０】
図２６（Ａ）は、点線で示すように、鋼心の外周の１箇所にクラックが発生して外周の磁束通路が途切れた鋼心アルミより線の長さ方向断面図である。図２６（Ｂ）は、図２５（Ｂ）の紙面上部の鋼心にクラックが発生して外周の磁束通路が途切れた鋼心アルミより線の長さ方向に沿ってＳＱＵＩＤセンサによって内部検査をしたときの鋼心外周で検出磁束値が低下した状態を示す鋼心外周検出磁束値低下表示図である。
【００８１】
上記の鋼心外周検出磁束値低下表示図において、紙面上部および下部の白い部分が鋼心の外周部であって検出磁束値が低いことを示し、逆に、中心部の黒い部分は鋼心の磁束によって検出磁束値が高いことを示している。また上記表示図において、紙面上部の白い部分に鋼心外周で検出磁束値が低下した状態を示しているのに対して、紙面下部の白い部分は、鋼心にクラックが発生していないために鋼心外周で検出磁束値が低下していない状態を示している。
【００８２】
このように、鋼心外周検出磁束値低下表示図の上側の鋼心にクラックが発生して外周の磁束通路が途切れた部分で鋼心外周検出磁束値が低下しているのに対して、表示図の下側の鋼心にクラックが発生していない外周では、磁束通路が途切れていないので鋼心外周検出磁束値は低下していない。従って、表示図の上側の鋼心外周検出磁束値と表示図の下側の鋼心外周検出磁束値とは非対称になっている。
【００８３】
図２７は、実線で示すように、鋼心が腐食して鋼心断面が減少した鋼心アルミより線の長さ方向断面図である。この鋼心アルミより線の長さ方向断面図に示すように、外側から１層目および２層目にある素線が硬質アルミニウムであり、３層目および中心の素線が鋼である。この図２７は３層目の鋼心の素線を幅１０ｍｍ、深さ１．２５ｍｍ切削して、符号Ａで示す位置での腐食劣化を想定した鋼心アルミより線を示す。
【００８４】
図２８は、図２７の鋼心が腐食して鋼心断面が減少した断面をＳＱＵＩＤセンサによって断面の平面を走査したときの内部の検出磁束値の変化状態を２次元的に測定した断面検出磁束値低下表示図である。
【００８５】
図２７の符号Ａで示した鋼心の劣化想定位置に検出磁束値の低下が見られ直径方向（Ｘ軸方向）に検出磁束値が変化している。また、長さ方向（Ｙ軸方向）でも、図２８の符号Ａで示す位置が劣化を想定して切削した凹部の中心位置になっている。他方、鋼心の劣化想定をしていない位置の検出磁束値は長さ方向（Ｘ軸方向）は全面黒く検出磁束値が高くて変化していない。
【００８６】
図２９は、図２７の鋼心が腐食して鋼心断面が減少した断面をＳＱＵＩＤセンサによって３次元的に走査したときの内部の検出磁束値の変化状態を３次元的（立体的）に測定した断面検出磁束値低下表示図である。鋼心の劣化想定位置で表示図の白色で表されているように、径方向に検出磁束値が減少している。鋼心が劣化していない部分では黒く検出磁束値が高くて変化していないが、鋼心が劣化している部分では検出磁束値が白色の円錐状に低下している。
【００８７】
以上の図２４（Ａ）ないし図２９の実施例で示したように、アルミより線の内部にあって外周から見ることができない鋼心に腐食、素線の断線、クラックなどの劣化があった場合でも、鋼心の残留磁気がない状態で、鋼心に均一な測定用磁場を形成すると、劣化した位置で検出磁束値が不均一になるので、この検出磁束値の変化状態を表示させれば、劣化が腐食、素線の断線、クラックなどのいずれであるかを判別することができる。
【００８８】
今回開示された実施の形態および実施例は、すべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
【００８９】
【発明の効果】
第１の発明によれば、鋼心ケーブルの内部の欠陥によって生じる磁性体の「磁気特性変化」を使わないで残留磁気のない状態また消磁した状態で、残留磁気がない鋼心ケーブルの鋼心の磁気双極子が微少磁荷を帯びて鋼心が微少磁荷磁気双極子の集合体を形成している状態で、ＳＱＵＩＤセンサで鋼心ケーブルの微少磁荷磁気双極子の集合体領域Ｍａ，Ｍｂ，Ｍｃ，…から微少磁束の不均一を検出することによって、磁性体の内部の欠陥の位置は勿論、内部欠陥の欠陥状態まで判別することができる。
【００９０】
第２の発明によれば、鋼心ケーブルの内部の欠陥によって生じる磁性体の「磁気特性変化」を使わないで消磁した状態で、鋼心ケーブルの内部欠陥検査位置での内面に均一な磁界を与えて鋼心ケーブルから漏洩磁束を発生させることによって、鋼心ケーブルの内部の欠陥の位置は勿論、内部欠陥の欠陥状態まで判別することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】 ＳＱＵＩＤセンサによる第１の発明の非破壊検査方法を実施する非破壊検査装置のブロック図であると共に第１の発明の非破壊検査装置のブロック図である。
【図２】 従来技術１に記載されたＳＱＵＩＤセンサの検出コイルの原理図である。
【図３】 従来技術２の図１に記載されたＳＱＵＩＤセンサによって鉄筋を検出するときの説明図である。
【図４】 従来技術２の図３に記載された試験体の異径鉄筋の形状を示すコンクリート埋設異径鉄筋図である。
【図５】 従来技術２の図５に記載された試験体の異径鉄筋の位置を検出する埋設鉄筋位置検出概略図である。
【図６】 従来技術２の図５に記載された試験体の異径鉄筋の位置を検出したときの鉄筋の中心軸からの外周方向の距離と検出電圧との従来技術２の図６に示す鉄筋位置検出電圧測定図である。
【図７】 鋼心ケーブルの鋼心の磁気双極子Ｍが微少磁荷を帯びた微少磁荷磁気双極子の集合体領域を説明するための微少磁荷磁気双極子集合体領域模式図である。
【図８】 第１走査区間ないし第Ｎ走査区間微少磁束値を鋼心ケーブルＷＫの直径方向に配置して第１ないし第Ｎ走査区間の連続位置順配置磁束値の大きさを説明するための第１ないし第Ｎ走査区間連続位置順配置磁束値差分化処理済データ図である。
【図９】 ＳＱＵＩＤセンサによる第２の本発明の非破壊検査方法を実施する非破壊検査装置のブロック図であると共に第２の発明の非破壊検査装置のブロック図である。
【図１０】 ＳＱＵＩＤセンサによって投影した同図（Ｂ）に示す画像データを同図（Ａ）に示す整数値を代入したフィルターによって差分化処理した定数代入済み画像データ・フィルター関係図である。
【図１１】 図１１（Ｂ）に示す符号化された画像データを、同図（Ａ）に示す符号化変数のフィルターによって差分化処理する符号化画像データ・フィルター関係図である。
【図１２】 図１０（Ａ）に示す符号化変数のフィルターが畳み込み積分を行うために同図（Ａ）を横方向に折り返して同図（Ｂ）のフィルタを生成し、続けて縦方向に折り返して同図（Ｃ）のフィルタを生成したフィルター縦横折り返し関係図である。
【図１３】 同図（Ａ）の縦横折り返しフィルターを同図（Ｂ）に示す画像データの左上端に一致するように重ねて、同図（Ｃ）に示す画像データの左上端フィルタ重ね合わせの画像データを生成した左上端フィルタ重ね合わせ画像データである。
【図１４】 図１４（Ａ）に示す重なった位置で計算されたピクセル値ｇ１を記録したピクセル値記録データとの関係を示す左上端重ね合わせ画像・ピクセルデータ関係図である。
【図１５】 図１５（Ａ）に示す重なった位置で計算されたピクセル値ｇ２を記録したピクセル値記録データとの関係を示す左上２列目重ね合わせ画像・ピクセルデータ関係図である。
【図１６】 図１６（Ａ）に示す重なった位置で計算されたピクセル値ｇ３を記録したピクセル値記録データとの関係を示す左上３列目重ね合わせ画像・ピクセルデータ関係図である。
【図１７】 図１７（Ａ）に示す重なった位置で計算されたピクセル値ｇ４を記録したピクセル値記録データとの関係を示す左上２段目重ね合わせ画像・ピクセルデータ関係図である。
【図１８】 縦横折り返しフィルターの左上端ピクセルｈ９を、最終の左上端から３列目および３行目まで順次にずらして、図１８（Ａ）に示すように、最終位置で計算されたピクセル値ｇ９を記録したピクセル値記録データとの関係を示す重ね合わせ画像・ピクセルデータ関係図である。
【図１９】 ＳＱＵＩＤセンサによって、鋼心アルミより線を３次元に投影した画像データを示す３次元投影画像データ図である。
【図２０】 鋼心アルミより線の３次元投影画像データを差分化処理および傾き補正する傾き補正・差分化処理図である。
【図２１】 データの重み付けの数値（コンポリューション・フィルター係数）を代入したフィルター係数テーブルである。
【図２２】 図１９の３次元投影画像データを、ピクセルデータを使用して、傾き補正および差分化処理して生成したフィルタリング後の画像データを示す３次元フィルタリング画像データ図である。
【図２３】 ＳＱＵＩＤセンサによって内部検査をする鋼心アルミより線の断面図である。
【図２４】 図２４（Ａ）は劣化していない鋼心アルミより線の長さ方向断面図であり、図２４（Ｂ）は劣化していない鋼心アルミより線の長さ方向に沿ってＳＱＵＩＤセンサによって内部検査をしたときの検出磁束値正常表示図である。
【図２５】 図２５（Ａ）は点線で示すように鋼心が腐食して鋼心断面が減少した鋼心アルミより線の長さ方向断面図であり、図２５（Ｂ）は図２５（Ａ）の鋼心が腐食して鋼心断面が減少した鋼心アルミより線の長さ方向で検出磁束値が激減した状態を示す内部検出磁束値低下表示図である。
【図２６】 図２６（Ａ）は点線で示すように鋼心の外周の１箇所にクラックが発生して外周の磁束通路が途切れた鋼心アルミより線の長さ方向断面図であり、図２６（Ｂ）は図２６（Ａ）の鋼心にクラックが発生して外周の磁束通路が途切れた鋼心アルミより線の長さ方向の鋼心外周で検出磁束値が低下した状態を示す鋼心外周検出磁束値低下表示図である。
【図２７】 実線で示すように鋼心が腐食して鋼心断面が減少した鋼心アルミより線の長さ方向断面図である。
【図２８】 図２７の鋼心が腐食して鋼心断面が減少した断面をＳＱＵＩＤセンサによって断面の平面を走査したときの内部の検出磁束値の変化状態を２次元的に測定した断面検出磁束値低下表示図である。
【図２９】 図２７の鋼心が腐食して鋼心断面が減少した断面をＳＱＵＩＤセンサによって３次元的に走査したときの内部の検出磁束値の変化状態を３次元的（立体的）に測定した断面検出磁束値低下表示図である。
【符号の説明】
１ ＳＱＵＩＤセンサ、２ クライオスタット、４ 磁場形成コイル、５ センサ駆動回路、９ 制御電源回路、１０ センサ・ケーブル相対移動機構、１０Ａ （従来の）鉄筋移動機構、１１ Ａ／Ｄコンバータ、１２ 画像化処理回路、１３ コンポリューション、１４ 測定画面メモリ、１５ 測定画面比較回路、１６ 測定画像表示機構、２０ 磁場電流発生回路、Ｍ 磁気双極子、ＭＡ 微少磁荷磁気双極子の集合体、Ｍａ，Ｍｂ，Ｍｃ，… 微少磁荷磁気双極子集合体領域、ＰＣ 画像処理手段、ＷＫ 鋼心ケーブル、１ｓ 微少磁束検出信号、５ｓ 検出磁束出力信号、１１ｓ 磁束ディジタル信号、１２ｓ 画像化処理信号、１３ｓ 差分化信号、１４ｓ 測定画面メモリ信号、１５ｓ 測定画面比較信号、Ｌ 集合体ＭＡの予め定めた長さ、ΔＷ 集合体ＭＡの各区間の予め定めた幅、ｎΔＷ 集合体ＭＡの予め定めた幅。

Claims (4)

1. 外部磁束の変化を検出する検出コイルを備えた超電導量子干渉素子を使用して鋼心ケーブルの欠陥を検査する方法において、
   残留磁気がない鋼心ケーブルの鋼心の磁気双極子が微少磁荷を帯びて鋼心が微少磁荷磁気双極子の集合体を形成している状態で、鋼心ケーブル長さ方向および鋼心ケーブルの長さ方向と検出コイルの中心軸とに直交する検出コイルケーブル長直交方向に、超電導量子干渉素子と鋼心ケーブルとを相対移動させて、微少磁荷磁気双極子の集合体領域から検出される微少磁束値を順次に記憶し、
   前記微少磁束値を読み出してケーブルの長さ方向と検出コイルの中心軸とが形成する２次元平面的にまたはケーブルの長さ方向と検出コイルの中心軸と前記検出コイルケーブル長直交方向とが形成する３次元立体面的に配置した連続位置順配置磁束値を記憶し、
   前記連続位置順配置磁束値を読み出して、磁場分布の傾き補正手段として畳み込み積分を用いて鋼心ケーブルの線方向に対する差分化信号を得た上で、前記２次元平面的または前記３次元立体面的に前記差分化信号を配置した画像データとして処理することにより、
   鋼心ケーブルの内部欠陥が存在する位置で生じる前記連続位置順配置磁束値の不均一から鋼心ケーブルの長さ方向の各位置および前記検出コイルケーブル長直交方向の内部欠陥の欠陥状態を判別する超電導量子干渉素子による非破壊検査方法。
2. 請求項１に記載の画像データが、鋼心ケーブルの内部劣化現象を検出して処理した劣化現象データであるとき、前記劣化現象データを処理して表示される画像は、鋼心ケーブルの内部劣化した部分から生じる磁場の画像データが健全な部分から生じる磁場の画像データよりも磁場が低下し歪んで表示される超電導量子干渉素子による非破壊検査方法。
3. 超電導量子干渉素子を用いて、鋼心ケーブルの内部劣化現象を非破壊検査する装置であって、
   ２次微分型ＤＣクラジオメータを使用した超電導量子干渉素子を冷却する冷却手段と、鋼心ケーブルを２次元に走査して得られる磁場の変化を３次元画像データとして処理し、前記３次元画像データと予め定めた鋼心ケーブルの健全な部分から生じる磁場の画像データである基準データとを比較して鋼心ケーブルの内部劣化現象を３次元的に判断する画像処理手段とを備え、
   前記画像処理手段は、磁場分布の傾き補正手段として畳み込み積分を用いて鋼心ケーブルの線方向に対して得た差分化信号を画像データとする処理を含む、超電導量子干渉素子による非破壊検査装置。
4. 外部磁束の変化を検出する検出コイルを備えた超電導量子干渉素子を使用して鋼心ケーブルの欠陥を検査する検査装置において、
   超電導量子干渉素子を鋼心ケーブルの表面で鋼心ケーブルの長さ方向および鋼心ケーブルの長さ方向と検出コイルの中心軸とに直交する検出コイルケーブル長直交方向に、超電導量子干渉素子と鋼心ケーブルとを相対移動させて、超電導量子干渉素子を鋼心ケーブルの外周から走査して超電導量子干渉素子によって検出される微少磁束検出信号をディジタル化して順次に磁束ディジタル信号を出力するＡ／Ｄコンバータと、
   前記磁束ディジタル信号を入力してケーブルの長さ方向と検出コイルの中心軸とが形成する二次元平面的にまたはケーブルの長さ方向と検出コイルの中心軸と前記検出コイルケーブル長直交方向とが形成する三次元立体面的に配置して記憶した後に、画像化処理信号を出力する画像化処理回路と、
   前記画像化処理信号を入力して磁場分布の傾き補正手段として用いて鋼心ケーブルの長さ方向に対して得た差分化信号を出力するコンポリューションと、
   前記差分化信号を入力して測定画面メモリ信号を出力する測定画面メモリと、
   前記測定画面メモリ信号を入力して３次元画像データと予め定めた鋼心ケーブルの健全な部分から生じる磁場の画像データである基準データとを比較した測定画面比較信号を出力する測定画面比較回路とを備えて、
   前記測定画面比較信号を入力して表示させる測定画像表示機構とを備えて、
   鋼心ケーブルの内部劣化した部分から生じる磁場の画像データが健全な部分から生じる磁場の画像データよりも磁場が低下し歪んで表示されたときに鋼心ケーブルの内部劣化であると判断する超電導量子干渉素子による非破壊検査装置。

Images