JP4140445B2 - Leak inspection method and apparatus - Google Patents

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Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
この発明は、圧縮機のハウジングの一部を構成するシリンダブロック等のように、内側を流体の収容空間として用いる被検査物の漏れを検査する場合に適した漏れ検査方法とその方法に用いられる装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
例えば、車両用空調装置に用いられる圧縮機は、軽量化の観点からアルミダイカストのハウジングを利用する場合が多いが、このようなハウジングにおいては、冷媒漏れに対して的確な検査が必要となる。このため、現行においては、組付けが完了した圧縮機を最終検査工程においてヘリウムリーク検査装置等で漏れの有無を検査するようにしており(特許文献1参照)、漏れが検出された場合には、圧縮機を分解して漏れの原因となる該当部品を交換した上で再度組付け直す作業が行われている。
【0003】
ところが、このような方法によれば、洩れが検出される都度、圧縮機を組付け直す必要があるので、手間がかかり、生産効率が悪いものであった。このため、圧縮機を構成するハウジング単体で漏れの有無を検査することが望ましいが、ヘリウム試験装置は、非常に高価で大掛かりなものであるので、ハウジング単体を1つづつ検査するには不向きである。このため、従来においては、ハウジングを治具によって気密状態に形成した上で水槽に水没させ、ハウジング内部に高圧空気を印加することで、空気が洩れて気泡が出ないかどうかを検査する方法等が考えられている(特許文献2参照)。
【0004】
【特許文献1】
特開2001−235386号公報(0003欄参照)
【特許文献2】
特開2000−310579号公報(0003欄参照)
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上述のような水没検査においては、気泡の有無を目視によって判断する方法がとられているので、ハウジングを1つ1つ検査するには効率が悪く、また、正確に検査できる保証もなかった。
【0006】
そこで、この発明においては、内部を流体の収容空間として用いるハウジングなどの被検査物に対して、洩れの有無を簡易かつ正確に検査し、検査効率の向上を図ることが可能な漏れ検査方法とその方法の実施に用いられる装置を提供することを主たる課題としている。
【0007】
【課題を解決するための手段】
上記課題を達成するために、この発明に係る漏れ検査方法は、内側を流体の収容空間として用いる被検査物の漏れを検査する漏れ検査方法において、前記被検査物の内側に密閉された第1の密閉空間を形成すると共に、前記被検査物の外側に該被検査物を取り囲む密閉された第2の密閉空間を形成し、前記第1の密閉空間と前記第2の密閉空間との一方に大気圧以上の気体を供給すると共に他方を非圧縮性流体で満たした状態で密封し、前記非圧縮性流体を密封した密閉空間の圧力変化を捉えることで前記被検査物の漏れの有無を判定するようにしたことを特徴としている(請求項1)。
【0008】
特に、被検査物の内圧を利用してシーリングが施されるような被検査物においては、大気圧以上の気体を第1の密閉空間に供給し、非圧縮性流体を第2の密閉空間に密封することが好ましい(請求項2)。ここで、気体としては、空気を利用し、非圧縮性流体としては、水を利用してもよい(請求項3,4)。
【0009】
したがって、被検査物の内側又は外側の一方には、高圧気体が供給される密閉空間が形成され、他方には、非圧縮性流体が密封される密閉空間が形成されるので、一方の密閉空間に供給された高圧気体が被検査物を介して洩れた場合には、他方の密閉空間の圧力が上昇する。このため、他方の密閉空間(非圧縮性流体が密封された密閉空間)の圧力変化の有無を捉えることで被検査物の漏れの有無を判定することが可能となり、目視などによる人的判断に頼る必要がなくなり、漏れに対する的確な検査が可能となる。尚、検査精度を高めるために、非圧縮性流体が密封された密閉空間に対して、被検査物の漏れの有無を判定する前に非圧縮性流体以外の流体を除去する処理を行うようにしてもよい(請求項5)。
【0010】
また、以上のような検査方法を実現するための検査装置としては、被検査物を収容し、被検査物の内側に密閉された第1の密閉空間を形成すると共に、被検査物の外側に該被検査物を取り囲む密閉された第2の密閉空間を形成する被検査物収容器と、第1の密閉空間と第2の密閉空間との一方に加圧気体を供給する加圧気体供給手段と、第1の密閉空間と第2の密閉空間との他方を非圧縮性流体で満たした状態で密封する非圧縮性流体密封手段と、非圧縮性流体を密封した密閉空間の圧力変化を捉えることで被検査物の漏れの有無を判定する判定手段とを有するものが考えられる(請求項6)。
【0011】
ここで、加圧気体供給手段は加圧気体を第1の密閉空間に供給し、非圧縮性流体密封手段は非圧縮性流体を第2の密閉空間に密封するものであっても(請求項7)、また、気体として空気を利用し、非圧縮性流体として水を利用してもよい(請求項8,9)。また、検出精度を高めるために、非圧縮性流体が密封された密閉空間に対して、非圧縮性流体以外の流体を除去する手段を更に設けるようにしてもよい(請求項10)。
【0012】
【発明の実施の形態】
以下、この発明の実施の態様を図面に基づいて説明する。
図1において、被検査物の漏れを検査する漏れ検査装置1が示されている。ここで、被検査物は、内側が流体の収容空間として用いられる物で、この例においては、圧縮機のハウジングの一部を構成するシリンダブロック2を対象としている。
【0013】
漏れ検査装置1は、シリンダブロック2を収容する凹部3が形成された基体4と、この基体4にシール部材5を介して気密よく取り付けられ、基体4との間でシリンダブロック2の収容空間を形成する蓋体6とを備えた被検査物収容器7を有している。
【0014】
ここで、シリンダブロック2は、筒状体をなしているもので、基体4の内側壁から離して略中央に形成された支持部8に固定されるようになっており、シリンダブロック2の端面が当接する基体4の内面にオーリングなどのシール部材9が設けられ、基体4とシリンダブロック2との間が気密に当接されるようになっている。また、シリンダブロック2を基体4に取り付けた状態で蓋体6が取り付けられると、蓋体6とこれに対峙するシリンダブロック2の端面との間がオーリングなどのシール部材10を介して気密に当接されるようになっている。
【0015】
したがって、基体4にシリンダブロック2を収容し、蓋体6を取り付けると、シリンダブロック2の内側が基体4と蓋体6とによって閉塞され、このシリンダブロック2の内側に密閉された第1の密閉空間11が画成される。また、シリンダブロック2の外側が基体4と蓋体6とによって閉塞され、シリンダブロック2の外側に密閉された第2の密閉空間12がシリンダブロック2を取り囲むように画成される。
【0016】
そして、被検査物収容器7の基体4には、第1の密閉空間11に連通する第1の配管コネクタ13と、第2の密閉空間12に連通する第2及び第3の配管コネクタ14,15とが取り付けられている。
【0017】
第1の配管コネクタ13には、2つのポペット弁型電磁弁16,17が並列的に配管接続されている。一方のポペット弁型電磁弁16は、気体を加圧圧送するポンプ18の吐出側に接続され、ポンプ18から圧送される気体を第1の密閉空間11に供給するためのエア供給バルブを構成している。また、他方のポペット弁型電磁弁17は、第1の密閉空間11を大気に開放し、第1の密閉空間11に供給されたの加圧気体を排出するための排気バルブを構成している。
【0018】
第2の配管コネクタ14には、2つのポペット弁型電磁弁19,20が並列的に配管接続されている。一方のポペット弁型電磁弁19は、非圧縮性流体を加圧圧送するポンプ21の吐出側に接続され、ポンプ21から圧送される非圧縮性流体を第2の密閉空間12に供給するための流体供給バルブを構成している。また、他方のポペット弁型電磁弁20は、第2の密閉空間12内に供給された非圧縮性流体をタンク22へ排出させるための排出バルブを構成している。
【0019】
第3の配管コネクタ15は、被検査物収容器7の上部に配設されているもので、この配管コネクタには、2つのポペット弁型電磁弁23,24が並列的に接続されている。一方のポペット弁型電磁弁23は、空気を加圧圧送するポンプ25の吐出側に接続され、第2の密閉空間12から非圧縮性流体を抜く際に空気を第2の密閉空間12に供給するためのプレッシャバルブを構成している。また、他方のポペット弁型電磁弁24は、第2の密閉空間12を大気に開放し、第2の密閉空間12へ非圧縮性流体を供給する際に第2の密閉空間12から空気を抜くためのエアパージバルブを構成している。
【0020】
前記第3の配管コネクタ15と2つのポペット弁型電磁弁23,24の分岐点との間には、管内圧が所定圧以上となった場合に圧力をリリーフさせるためのセイフティーバルブ26と、非圧縮性流体の圧力が所定圧力以上となったことを検出する圧力スイッチ27とが接続されている。
【0021】
ここで、第1の密閉空間11に供給される気体としては、例えば空気が用いられ、また、第2の密閉空間12に供給される非圧縮性流体としては、例えば水が用いられる。第1の密閉空間11に供給される空気は、ポンプ18によって大気圧以上(例えば、10〜30kg/cm2)に加圧され、第2の密閉空間11に供給される水は、加圧してもよいが、この例においては、加圧しない状態を想定している。
【0022】
そして、各ポペット弁型電磁弁(16,17,19,20,23,24)や各ポンプ(18,21,25)は、コントロールユニット28からの出力信号に基づいて制御されるようになっている。コントロールユニット28は、図示しない中央演算処理装置(CPU)、読出専用メモリ(ROM)、ランダムアクセスメモリ(RAM)、入出力ポート(I/O)等を備えると共に、各ポペット弁型電磁弁やポンプを駆動制御する駆動回路等を有して構成され、圧力スイッチ27からの信号等が入力され、メモリに与えられた所定のプログラムにしたがって入力信号を処理し、ポペット弁型電磁弁の切り換えや、ポンプのオンオフ等を制御し、被検査物(シリンダブロック2)の漏れの有無を検査するようにしている。
【0023】
図2において、被検査物の漏れ検査する処理例がフローチャートとして示され、以下、このフローチャートに基づいて漏れ検査の処理を説明する。
【0024】
先ず、被検査物(シリンダブロック2)の漏れを検査するにあたり、ステップ50において、基体4にシリンダブロック2からなるワークをセットし、次のステップ52において、コントロールユニット36に通電してメモリチェックを行うなどの初期設定を行う。
【0025】
そして、ステップ54において、基体4に蓋体6を取り付けて被検査物(シリンダブロック2)をこれらで挟み込んでクランプし、シリンダブロック2の内側に第1の密閉空間11を、また、シリンダブロック2の外側に第2の密閉空間12を形成する。
【0026】
その後、ステップ56において、ポペット弁型電磁弁16を開状態(ON)に切り換えてポンプ18により圧縮空気を第1の配管コネクタ13を介して第1の密閉空間11へ供給し、また、ポペット弁型電磁弁19を開状態(ON)に切り換えてポンプ21により水を第2の配管コネクタ14を介して第2の密閉空間12へ供給する。
【0027】
そして、これと同時に、ステップ58において、ポペット弁型電磁弁24を開状態(ON)に切り換えて第2の密閉空間12を大気に開放し、第2の密閉空間12への水の流入に伴い行き場が無くなった同空間内の空気を大気へ逃す。
【0028】
その後、第2の密閉空間12が水で満たされた後にポペット弁型電磁弁(エアパージバルブ)24を閉状態(OFF)にして第2の密閉空間12を水で密封する状態を形成し、その状態で待機する(ステップ60,62)。また、ポペット弁型電磁弁19を閉状態(OFF)にして第2の密閉空間12への給水を停止し、この状態で第2の密閉空間12内の圧力が安定するのを待つ(ステップ64,66)。
【0029】
そして、圧力が安定した後に、圧力スイッチ27から出力される信号を圧力データとして読み取り、この計測状態を所定時間継続させる(ステップ68,70)。その後、ステップ72において、圧力スイッチ35からの信号に基づき、被検査物(シリンダブロック2)の漏れ判定を行う。
【0030】
加圧空気が供給される第1の密閉空間11の周囲には、被検査物(シリンダブロック2)を介して非圧縮性流体を密封した第2の密閉空間が設けられているので、被検査物に気漏れが生じるような場合には、圧縮空気が第2の密閉空間の非圧縮性流体内に漏出され、第2の密閉空間内の圧力が高められることとなる。このため、圧力スイッチ27の動作点を洩れのない状態で作動しないような所定圧に調節しておけば、第2の密閉空間12の圧力が所定圧以上となって圧力スイッチ27が作動した場合には、被検査物(シリンダブロック2)に洩れがあると認められるので、この場合には、被検査物を不良品(NG)とみなして、ステップ74〜84において、不良品を仕分ける処理を行う。また、第2の密閉空間12の圧力が所定時間経過した後でも圧力変動がなく、圧力スイッチ27が作動しない場合には、被検査物(シリンダブロック2)に洩れがないと認められるので、被検査物を良品(OK)とみなして、ステップ86〜96において、良品を仕分ける処理を行う。
【0031】
具体的には、洩れ判定の結果、被検査物に洩れがあると判定された場合には、ポペット弁型電磁弁16を閉状態(OFF)、ポペット弁型電磁弁17を開状態(ON)にして第1の密閉空間11の圧縮空気を排出し、また、ポペット弁型電磁弁19を閉状態(OFF)、ポペット弁型電磁弁20を開状態(ON)にして第2の密閉空間12の水を排出し、この状態をしばらく継続させる(ステップ74、76)。その後、ポペット弁型電磁弁20を閉状態(OFF)にして排水処理を停止し(ステップ78)、蓋体6を外して被検査物収容器7内に保持されたシリンダブロック2をアンクランプし(ステップ80)、この被検査物(ワーク)を基体4から取り外して(ステップ82)、不良品を回収するコンベアへ振分ける(ステップ84)。
【0032】
これに対して、洩れ判定の結果、被検査物の洩れがないと判定された場合には、ポペット弁型電磁弁16を閉状態(OFF)、ポペット弁型電磁弁17を開状態(ON)にして第1の密閉空間11の圧縮空気を排出し、また、ポペット弁型電磁弁19を閉状態(OFF)、ポペット弁型電磁弁20を開状態(ON)にして第2の密閉空間12の水を排出し、この状態をしばらく継続させる(ステップ86、88)。その後、ポペット弁型電磁弁20を閉状態(OFF)にして排水処理を停止し(ステップ90)、蓋体6を外して被検査物収容器7内に保持されたシリンダブロック2をアンクランプし(ステップ92)、この被検査物(ワーク)を基体4から取り外して(ステップ94)、良品を回収するコンベアへ振分ける。
【0033】
したがって、以上の漏れ検査方法によれば、第2の密閉空間12の圧力変化を圧力スイッチ27により捉えることで被検査物のリークの有無を判別することが可能となるので、目視などによる人的判断に頼る必要がなくなる。よって、ヘリウムリーク検査装置のような大掛かりな装置を用いなくても、簡易な装置で被検査物を個々に漏れ検査することが可能となり、検査対象となる全ての被検査物を簡易にかつ正確に検査することが可能となる。
【0034】
また、上述の検査方法によれば、最終製品にする前の段階で被検査物の全数を予め検査し、漏れが生じる不良品と漏れのない良品とを仕分けすることが可能となるので、不良品が組み付けられる不都合もなくなる。
【0035】
以上のように、上述した漏れ検査の手法によれば、圧縮空気が第2の密閉空間に漏れた際に生じる圧力変化を捉えることで漏れ検査を行うようにしているので、このような手法においては、水(非圧縮性流体)に混在する空気(気体)は、予め完全に除去しておく方が精度の高い検査を行う上で望ましい。
【0036】
図3において、この点を踏まえて奪気処理を加えた漏れ検査装置1の構成例が示されており、以下この装置について、前記構成例と異なる部分を中心に説明する。
【0037】
この例において、被検査物収容器7の第2の配管コネクタ14には、2つのポペット弁型電磁弁30,31が逆止弁の向きを反対にして直列に接続され、この電磁弁30,31を介して水槽32に接続されている。また、第3の配管コネクタ15には、ポペット弁型電磁弁32を介してフロートスイッチ33aを備えた水位制御タンク33が接続されている。この水位制御タンク33は、第2の密閉空間12が水で完全に満たされた状態となった後に所定の水位に達し、フロートスイッチ33aが作動(ON)するもので、フロートスイッチ33aが動作することで第2の密閉空間12が満液状態であることを検知できるようになっている。
【0038】
そして、この水位制御タンク33の気相領域には、ミストセパレータ34が接続され、このミストセパレータ34の下部には、2つのポペット弁型電磁弁35,36が逆止弁の向きを反対にして直列に接続され、ミストセパレータ34で分離された水をこのポペット弁型電磁弁35,36を介してタンク37へ排出するようにしている。また、ミストセパレータ34には、バキュームバルブを構成するポペット弁型電磁弁38とバッファタンク39とを介してバキュームポンプ40が接続され、ミストセパレータ34によって分離された空気を吸引するようにしている。
【0039】
また、ミストセパレータ34には、2つのポペット弁型電磁弁41,42が並列的に接続され、一方のポペット弁型電磁弁41は、空気を加圧圧送するポンプ43の吐出側に接続され、第2の密閉空間12に密封された水を排水する際に第2の密閉空間12に対して加圧空気を供給し、排水を促すためのエア供給バルブを構成している。また、他方のポペット弁型電磁弁42は、レギュレータ44を介してポンプ43に接続され、バキュームポンプ40で奪気した後に第2の密閉空間12を若干大気圧以上に戻すための低圧調整バルブを構成している。
【0040】
そして、第3の配管コネクタ15には、ポペット弁型電磁弁45を介して、第2の密閉空間12が所定圧以上となった場合に圧力をリリーフするためのセイフティーバルブ46と、非圧縮性流体(水)の圧力が所定圧力以上となった場合に動作する圧力スイッチ47とが接続されている。尚、その他の構成は前記構成例と同様であるので、同一箇所に同一番号を付して説明を省略する。
【0041】
図4に、この検査装置を用いて被検査物の漏れを検査する処理例がフローチャートとして示されている。この例においては、図2のステップ58〜64に代えて、ステップ100〜106の処理が行われるもので、以下、この点について説明すると、ステップ56において、第1の密閉空間11に高圧空気が供給され、また、第2の密閉空間12に水が供給されると、次のステップ100で、水位制御タンク33のフロートスイッチ33aが作動して第2の密閉空間12が満液状態となるまで待機し、フロートスイッチ33aがオンとなった時点で吸水を停止させる(ステップ102)。
【0042】
その後、バキュームポンプ40を作動させて奪気を開始し、一旦第2の密閉空間12の圧力を大気圧よりも低く低下させ、その後、若干正圧に戻すために低圧調整バルブ(ポペット弁型電磁弁42)を作動させて低圧空気を供給する(104,106)。そして、この状態で密封し、第2の密閉空間内の圧力が安定するのを待つ(ステップ66)。尚、他の処理は、前記構成例と同様であるので、同一箇所に同一番号を付して説明を省略する。
【0043】
したがって、このような検査方法においては、第2の密閉空間12に供給された水に溶け込んでいる空気やワーク(シリンダブロック2)の袋状部分に残存する空気を強制的に奪取し(ステップ104)、その後に第2の密閉空間12の圧力変化を捉えるようにしているので、精度よく被検査物の漏れを検査することができ、誤判定をなくすことが可能となる。
【0044】
尚、上述の構成においては、第2の密閉空間12の圧力変化を所定の圧力で作動する圧力スイッチ27を利用して捉えるようにしたが、第2の密閉空間12の圧力を圧力センサによってリアルタイムに検出し、この圧力センサで検出された圧力が所定条件を満たすように変化したことを捉えて被検査物の漏れの有無を判定するようにしてもよい。或いは、圧力データをシーケンサーに取り込まず、圧力が安定したところでパネルメータ(圧力スイッチのアンプ)をゼロリセットし、一定時間後にパネルメータに設定された所定値を超えたら被検査物を不良品(NG)と判定するようにしてもよい。
【0045】
また、上述においては、被検査物としてシリンダブロックを用いた例を示したが、内側を流体の収容空間として用いる被検査物であれば、同様の手法を用いて漏れ検査を行うことが可能であり、シリンダブロックに限定されるものではない。例えば、圧縮機を構成するシリンダヘッドに対して漏れ検出を行う場合に利用してもよく、また、被検査物収容器の被検査物を保持する治具次第で個々のパーツを組付けた組立品の漏れを検査するために利用してもよい。
【0046】
圧縮機のような組立品に対して漏れ検査を行う場合には、鉄系素材に対しては腐食が、また、シール材に対しては侵食がそれぞれ問題となるので、非圧縮性流体として水を用いる代わりに、適切な流体で代用することが望ましい。特に、検査後の速乾性なども考慮し、HCFC系溶剤や、アルコール系溶剤、炭化水素系溶剤など用途に応じて非圧縮性流体を選定することが望ましい。
【0047】
さらに、上述の漏れ検査装置を用いた漏れ検査方法としては、被検査物を密閉して加圧気体を内部に充填しておき、この被検査物を被検査物収容器にセットして周囲に非圧縮性流体を充満させ、圧力変化を同様に捉えるようにしてもよい。
【0048】
以上の検査装置においては、被検出物の内側に大気圧以上の圧力を印加し、外側に封入された非圧縮流体の圧力変化を検知することで漏れ検出を行う構成であったが、気体と非圧縮流体の導入箇所を逆にし、被検査物の内側に非圧縮流体を封入し、外側に大気圧以上の圧力を印加する構成としてもよい。
ワークを被検査物収容器7にセットして内側に大気圧以上の内圧を印加する場合には、漏れないようにクランプ圧を大きくしてジグを相当なシート力でワークに押し付ける必要があり、ともすればワークの変形ないしは破損の恐れが懸念されるが、外側に大気圧以上の圧力を印加する構成では、クランプ圧を小さくすることが可能となり、ワークの変形や破損の恐れを無くすことができる利点を有する。
【0049】
【発明の効果】
以上述べたように、この発明によれば、内側を流体の収容空間として用いる被検査物に対して、その内側に密閉された第1の密閉空間を形成し、その外側に被検査物を取り囲む密閉された第2の密閉空間を形成し、一方の密閉空間に大気圧以上の気体を供給すると共に他方の密閉空間を非圧縮性流体で満たした状態で密封し、非圧縮性流体を密封した密閉空間の圧力変化を捉えて被検査物の漏れの有無を判定するようにしたので、目視などによる人的判断に頼る必要がなくなり、簡易かつ正確に被検査物の漏れを検査することが可能となり、検査効率の向上を図ることが可能となる。
【0050】
また、非圧縮性流体が密封された密閉空間に対して、被検査物の漏れの有無を判定する前に非圧縮性流体以外の流体を除去する処理を施すことで、漏れの検査精度を一層高めることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】図1は、漏れ検査装置の構成例を示す図である。
【図2】図2は、図1で示される漏れ検査装置を用いた漏れ検査の方法を説明するフローチャートである。
【図3】図3は、漏れ検査装置の他の構成例を示す図である。
【図4】図4は、図3で示される漏れ検査装置を用いた漏れ検査の方法を説明するフローチャートである。
【符号の説明】
1 漏れ検査装置
2 シリンダブロック
11 第1の密閉空間
12 第2の密閉空間
[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
INDUSTRIAL APPLICABILITY The present invention is used in a leakage inspection method suitable for inspecting leakage of an object to be inspected that uses the inside as a fluid storage space, such as a cylinder block constituting a part of a compressor housing, and the method. It relates to the device.
[0002]
[Prior art]
For example, a compressor used in a vehicle air conditioner often uses an aluminum die-cast housing from the viewpoint of weight reduction. In such a housing, an accurate inspection for refrigerant leakage is required. For this reason, at present, the compressor that has been assembled is inspected for leaks with a helium leak inspection device or the like in the final inspection process (see Patent Document 1). Then, after disassembling the compressor and replacing the corresponding parts causing the leakage, the work is reassembled.
[0003]
However, according to such a method, it is necessary to reassemble the compressor each time a leak is detected, which is troublesome and results in poor production efficiency. For this reason, it is desirable to inspect for leakage in the housing alone constituting the compressor, but the helium test apparatus is very expensive and large-scale, so it is not suitable for inspecting the housing one by one. is there. For this reason, conventionally, the housing is formed in a hermetic state with a jig, then submerged in a water tank, and high-pressure air is applied to the inside of the housing to inspect whether air leaks and bubbles are generated. (See Patent Document 2).
[0004]
[Patent Document 1]
JP 2001-235386 A (see column 0003)
[Patent Document 2]
JP 2000-310579 A (see column 0003)
[0005]
[Problems to be solved by the invention]
However, in the submergence inspection as described above, since a method for visually determining the presence or absence of bubbles is taken, it is inefficient to inspect the housings one by one, and there is no guarantee that accurate inspection can be performed. It was.
[0006]
Therefore, in the present invention, a leakage inspection method capable of simply and accurately inspecting an inspection object such as a housing that uses the inside as a fluid storage space to check for leakage and improve inspection efficiency. The main object is to provide an apparatus used for carrying out the method.
[0007]
[Means for Solving the Problems]
In order to achieve the above object, a leakage inspection method according to the present invention is a leakage inspection method for inspecting leakage of an object to be inspected using the inside as a fluid containing space, wherein the first is sealed inside the object to be inspected. And a second sealed space that surrounds the object to be inspected is formed outside the object to be inspected, and is formed in one of the first sealed space and the second sealed space. sealed in a state filled with other incompressible fluid supplies more gas atmospheric pressure, determining the presence or absence of leakage of the inspection object by capturing a change in pressure of the sealed space sealed the incompressible fluid (1).
[0008]
In particular, in an inspection object that is sealed using the internal pressure of the inspection object, a gas at atmospheric pressure or higher is supplied to the first sealed space, and an incompressible fluid is supplied to the second sealed space. It is preferable to seal (Claim 2). Here, air may be used as the gas, and water may be used as the incompressible fluid (claims 3 and 4).
[0009]
Accordingly, a sealed space to which high-pressure gas is supplied is formed on one of the inside and the outside of the object to be inspected, and a sealed space in which the incompressible fluid is sealed is formed on the other side. When the high-pressure gas supplied to the air leaks through the object to be inspected, the pressure in the other sealed space increases. For this reason, it is possible to determine the presence or absence of leakage of the inspection object by grasping the presence or absence of pressure change in the other sealed space (the sealed space where the incompressible fluid is sealed). There is no need to rely on, and accurate inspection for leaks is possible. In order to improve the inspection accuracy, a process for removing fluid other than the incompressible fluid is performed on the sealed space where the incompressible fluid is sealed before determining whether there is a leakage of the inspection object. (Claim 5).
[0010]
Further, as an inspection apparatus for realizing the inspection method as described above, the inspection object is accommodated, a first sealed space sealed inside the inspection object is formed, and outside the inspection object. A test object container that forms a sealed second sealed space surrounding the test object, and a pressurized gas supply means for supplying a pressurized gas to one of the first sealed space and the second sealed space And a non-compressible fluid sealing means for sealing the other of the first sealed space and the second sealed space with the incompressible fluid, and a pressure change in the sealed space sealed with the incompressible fluid. Thus, it may be possible to have a judging means for judging the presence or absence of leakage of the inspection object (claim 6).
[0011]
Here, the pressurized gas supply means supplies the pressurized gas to the first sealed space, and the incompressible fluid sealing means seals the incompressible fluid to the second sealed space. 7) Further, air may be used as a gas, and water may be used as an incompressible fluid (claims 8 and 9). In order to improve detection accuracy, means for removing fluid other than the incompressible fluid may be further provided in the sealed space where the incompressible fluid is sealed.
[0012]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
In FIG. 1, a leak inspection apparatus 1 for inspecting a leak of an inspection object is shown. Here, the object to be inspected is an object whose inside is used as a fluid accommodating space, and in this example, the object is a cylinder block 2 constituting a part of the housing of the compressor.
[0013]
The leak inspection apparatus 1 is airtightly attached to a base body 4 in which a recess 3 for accommodating a cylinder block 2 is formed, and a sealing member 5 to the base body 4, and provides a space for accommodating the cylinder block 2 between the base body 4. An inspection object container 7 having a lid 6 to be formed is provided.
[0014]
Here, the cylinder block 2 forms a cylindrical body, and is fixed to a support portion 8 formed substantially at the center away from the inner wall of the base body 4. A sealing member 9 such as an O-ring is provided on the inner surface of the base 4 on which the base 4 comes into contact, so that the base 4 and the cylinder block 2 are in airtight contact. Further, when the lid body 6 is attached with the cylinder block 2 attached to the base body 4, the gap between the lid body 6 and the end face of the cylinder block 2 facing the lid body 6 is hermetically sealed via a seal member 10 such as an O-ring. It comes to contact.
[0015]
Therefore, when the cylinder block 2 is accommodated in the base body 4 and the lid body 6 is attached, the inside of the cylinder block 2 is closed by the base body 4 and the lid body 6, and the first sealing is sealed inside the cylinder block 2. A space 11 is defined. Further, the outside of the cylinder block 2 is closed by the base body 4 and the lid body 6, and a second sealed space 12 sealed outside the cylinder block 2 is defined so as to surround the cylinder block 2.
[0016]
The base 4 of the inspected object container 7 has a first piping connector 13 communicating with the first sealed space 11, second and third piping connectors 14 communicating with the second sealed space 12, 15 are attached.
[0017]
Two poppet type solenoid valves 16 and 17 are piped in parallel to the first pipe connector 13. One poppet valve type electromagnetic valve 16 is connected to the discharge side of a pump 18 that pressurizes and pumps gas, and constitutes an air supply valve for supplying the gas pumped from the pump 18 to the first sealed space 11. ing. The other poppet valve type electromagnetic valve 17 constitutes an exhaust valve for opening the first sealed space 11 to the atmosphere and discharging the pressurized gas supplied to the first sealed space 11. .
[0018]
Two poppet type solenoid valves 19 and 20 are piped in parallel to the second pipe connector 14. One poppet valve type electromagnetic valve 19 is connected to a discharge side of a pump 21 that pressurizes and compresses an incompressible fluid, and supplies the incompressible fluid pumped from the pump 21 to the second sealed space 12. It constitutes a fluid supply valve. The other poppet valve type electromagnetic valve 20 constitutes a discharge valve for discharging the incompressible fluid supplied into the second sealed space 12 to the tank 22.
[0019]
The third pipe connector 15 is disposed on the upper part of the inspection object container 7, and two poppet valve type electromagnetic valves 23 and 24 are connected in parallel to the pipe connector. One poppet valve type electromagnetic valve 23 is connected to the discharge side of a pump 25 that pressurizes and feeds air, and supplies air to the second sealed space 12 when the incompressible fluid is extracted from the second sealed space 12. This constitutes a pressure valve. The other poppet valve type electromagnetic valve 24 opens the second sealed space 12 to the atmosphere, and draws air from the second sealed space 12 when supplying the incompressible fluid to the second sealed space 12. The air purge valve for this is comprised.
[0020]
Between the third piping connector 15 and the branch point of the two poppet type solenoid valves 23 and 24, a safety valve 26 for relieving the pressure when the pipe internal pressure becomes a predetermined pressure or more, A pressure switch 27 is connected to detect that the pressure of the incompressible fluid is equal to or higher than a predetermined pressure.
[0021]
Here, as the gas supplied to the first sealed space 11, for example, air is used, and as the incompressible fluid supplied to the second sealed space 12, for example, water is used. The air supplied to the first sealed space 11 is pressurized to atmospheric pressure or higher (for example, 10 to 30 kg / cm 2 ) by the pump 18, and the water supplied to the second sealed space 11 is pressurized. In this example, it is assumed that no pressure is applied.
[0022]
Each poppet valve type solenoid valve (16, 17, 19, 20, 23, 24) and each pump (18, 21, 25) are controlled based on an output signal from the control unit 28. Yes. The control unit 28 includes a central processing unit (CPU), a read only memory (ROM), a random access memory (RAM), an input / output port (I / O), etc. (not shown), and each poppet valve type electromagnetic valve and pump. And a drive circuit for driving and controlling the signal, a signal from the pressure switch 27 is input, the input signal is processed in accordance with a predetermined program given to the memory, and the poppet valve type solenoid valve is switched, The on / off state of the pump is controlled to inspect for the leakage of the inspection object (cylinder block 2).
[0023]
In FIG. 2, an example of processing for inspecting a leakage of an inspection object is shown as a flowchart, and the processing for leakage inspection will be described below based on this flowchart.
[0024]
First, in inspecting the leakage of the inspection object (cylinder block 2), in step 50, a work consisting of the cylinder block 2 is set on the base body 4, and in the next step 52, the control unit 36 is energized to perform a memory check. Perform initial settings such as.
[0025]
In step 54, the lid 6 is attached to the base body 4, the object to be inspected (cylinder block 2) is clamped between them, the first sealed space 11 is placed inside the cylinder block 2, and the cylinder block 2. The second sealed space 12 is formed on the outer side of the first.
[0026]
Thereafter, in step 56, the poppet valve type electromagnetic valve 16 is switched to the open state (ON), and the compressed air is supplied to the first sealed space 11 by the pump 18 via the first piping connector 13, and the poppet valve The electromagnetic valve 19 is switched to the open state (ON), and water is supplied to the second sealed space 12 by the pump 21 via the second piping connector 14.
[0027]
At the same time, in step 58, the poppet valve type electromagnetic valve 24 is switched to the open state (ON) to open the second sealed space 12 to the atmosphere, and with the inflow of water into the second sealed space 12. The air in the space where there was no place to go is released to the atmosphere.
[0028]
Thereafter, after the second sealed space 12 is filled with water, the poppet valve type solenoid valve (air purge valve) 24 is closed (OFF) to form a state in which the second sealed space 12 is sealed with water, Wait in a state (steps 60 and 62). Further, the poppet valve type electromagnetic valve 19 is closed (OFF) to stop water supply to the second sealed space 12 and wait for the pressure in the second sealed space 12 to stabilize in this state (step 64). 66).
[0029]
After the pressure is stabilized, the signal output from the pressure switch 27 is read as pressure data, and this measurement state is continued for a predetermined time (steps 68 and 70). Thereafter, in step 72, based on a signal from the pressure switch 35, a leakage determination of the inspection object (cylinder block 2) is performed.
[0030]
Around the first sealed space 11 to which the pressurized air is supplied, a second sealed space in which an incompressible fluid is sealed through an object to be tested (cylinder block 2) is provided. When an air leak occurs in the object, the compressed air is leaked into the incompressible fluid in the second sealed space, and the pressure in the second sealed space is increased. For this reason, if the operating point of the pressure switch 27 is adjusted to a predetermined pressure that does not operate in a leak-free state, the pressure of the second sealed space 12 exceeds the predetermined pressure and the pressure switch 27 is activated. In this case, it is recognized that there is a leak in the inspection object (cylinder block 2). In this case, the inspection object is regarded as a defective product (NG), and the process of sorting the defective products in steps 74 to 84 is performed. Do. Further, if the pressure in the second sealed space 12 does not change even after a predetermined time has passed and the pressure switch 27 does not operate, it is recognized that there is no leakage in the inspection object (cylinder block 2). The inspection object is regarded as a non-defective product (OK), and in steps 86 to 96, the non-defective product is sorted.
[0031]
Specifically, as a result of the leakage determination, if it is determined that there is leakage in the inspection object, the poppet valve type electromagnetic valve 16 is closed (OFF), and the poppet valve type electromagnetic valve 17 is opened (ON). Then, the compressed air in the first sealed space 11 is discharged, the poppet valve type solenoid valve 19 is closed (OFF), the poppet valve type solenoid valve 20 is opened (ON), and the second sealed space 12 is opened. The water is discharged and this state is continued for a while (steps 74 and 76). Thereafter, the poppet valve type electromagnetic valve 20 is closed (OFF) to stop the drainage treatment (step 78), the lid body 6 is removed, and the cylinder block 2 held in the inspection object container 7 is unclamped. (Step 80), this inspection object (work) is removed from the base body 4 (Step 82), and distributed to a conveyor for collecting defective products (Step 84).
[0032]
On the other hand, if it is determined that there is no leakage of the inspection object, the poppet valve type solenoid valve 16 is closed (OFF) and the poppet valve type solenoid valve 17 is opened (ON). Then, the compressed air in the first sealed space 11 is discharged, the poppet valve type solenoid valve 19 is closed (OFF), the poppet valve type solenoid valve 20 is opened (ON), and the second sealed space 12 is opened. The water is discharged and this state is continued for a while (steps 86 and 88). Thereafter, the poppet valve type solenoid valve 20 is closed (OFF) to stop the drainage process (step 90), the lid body 6 is removed, and the cylinder block 2 held in the object container 7 is unclamped. (Step 92), this inspection object (workpiece) is removed from the substrate 4 (Step 94), and is distributed to a conveyor for collecting good products.
[0033]
Therefore, according to the above leakage inspection method, it is possible to determine the presence or absence of leakage of the inspection object by capturing the pressure change in the second sealed space 12 with the pressure switch 27. No need to rely on judgment. Therefore, it is possible to individually inspect the inspection object with a simple apparatus without using a large-scale apparatus such as a helium leak inspection apparatus, and all inspection objects to be inspected can be easily and accurately performed. It becomes possible to inspect.
[0034]
In addition, according to the above-described inspection method, it is possible to inspect the total number of inspected objects in advance before making the final product, and to sort defective products that cause leakage and good products that do not leak. There is no inconvenience that good products are assembled.
[0035]
As described above, according to the above-described leak inspection method, the leak inspection is performed by capturing the pressure change that occurs when the compressed air leaks into the second sealed space. The air (gas) mixed in the water (incompressible fluid) is preferably completely removed in advance for highly accurate inspection.
[0036]
FIG. 3 shows a configuration example of the leakage inspection apparatus 1 to which a deaeration process is added based on this point. Hereinafter, the apparatus will be described with a focus on differences from the configuration example.
[0037]
In this example, two poppet valve-type electromagnetic valves 30 and 31 are connected in series with the second piping connector 14 of the inspected object container 7 with the directions of the check valves being reversed. It is connected to the water tank 32 through 31. Further, a water level control tank 33 having a float switch 33 a is connected to the third piping connector 15 via a poppet valve type electromagnetic valve 32. This water level control tank 33 reaches a predetermined water level after the second sealed space 12 is completely filled with water, and the float switch 33a is activated (ON). The float switch 33a operates. Thus, it can be detected that the second sealed space 12 is full.
[0038]
A mist separator 34 is connected to the gas phase region of the water level control tank 33, and two poppet valve type electromagnetic valves 35, 36 are arranged in the lower part of the mist separator 34 with the check valves facing in opposite directions. The water connected in series and separated by the mist separator 34 is discharged to the tank 37 through the poppet valve type electromagnetic valves 35 and 36. Further, a vacuum pump 40 is connected to the mist separator 34 via a poppet valve type electromagnetic valve 38 constituting a vacuum valve and a buffer tank 39 so that air separated by the mist separator 34 is sucked.
[0039]
In addition, two poppet valve type solenoid valves 41 and 42 are connected in parallel to the mist separator 34, and one poppet valve type solenoid valve 41 is connected to a discharge side of a pump 43 that pressurizes and pumps air. When water sealed in the second sealed space 12 is drained, pressurized air is supplied to the second sealed space 12 to constitute an air supply valve for promoting drainage. The other poppet valve type electromagnetic valve 42 is connected to a pump 43 through a regulator 44, and has a low pressure adjusting valve for returning the second sealed space 12 to a slightly higher atmospheric pressure after deaeration with the vacuum pump 40. It is composed.
[0040]
The third piping connector 15 is provided with a safety valve 46 for relieving the pressure when the second sealed space 12 becomes a predetermined pressure or higher via a poppet valve type electromagnetic valve 45, and an uncompressed A pressure switch 47 is connected to operate when the pressure of the sexual fluid (water) exceeds a predetermined pressure. In addition, since the other structure is the same as that of the said structural example, the same number is attached | subjected to the same location and description is abbreviate | omitted.
[0041]
FIG. 4 is a flowchart showing an example of processing for inspecting leakage of an inspection object using this inspection apparatus. In this example, steps 100 to 106 are performed instead of steps 58 to 64 in FIG. 2. Hereinafter, this point will be described. In step 56, high-pressure air is introduced into the first sealed space 11. When the water is supplied to the second sealed space 12, the float switch 33a of the water level control tank 33 is actuated in the next step 100 until the second sealed space 12 becomes full. The system waits and stops water absorption when the float switch 33a is turned on (step 102).
[0042]
Thereafter, the vacuum pump 40 is actuated to start degassing, and the pressure in the second sealed space 12 is once lowered below the atmospheric pressure, and then a low pressure adjusting valve (poppet valve electromagnetic) is used to return it to a slightly positive pressure. The valve 42) is operated to supply low-pressure air (104, 106). And it seals in this state, and waits for the pressure in 2nd sealed space to become stable (step 66). Since other processes are the same as those in the above configuration example, the same portions are denoted by the same reference numerals and description thereof is omitted.
[0043]
Therefore, in such an inspection method, the air dissolved in the water supplied to the second sealed space 12 and the air remaining in the bag-like portion of the workpiece (cylinder block 2) are forcibly taken (step 104). Then, since the pressure change in the second sealed space 12 is captured thereafter, it is possible to inspect the leakage of the inspection object with high accuracy and eliminate erroneous determination.
[0044]
In the above-described configuration, the pressure change in the second sealed space 12 is captured using the pressure switch 27 that operates at a predetermined pressure. However, the pressure in the second sealed space 12 is detected in real time by the pressure sensor. It is also possible to detect whether there is a leakage of the inspection object by detecting that the pressure detected by the pressure sensor has changed so as to satisfy a predetermined condition. Alternatively, the pressure data is not taken into the sequencer, the panel meter (pressure switch amplifier) is reset to zero when the pressure is stable, and if the specified value set in the panel meter is exceeded after a certain period of time, the object to be inspected is defective (NG ) May be determined.
[0045]
Further, in the above description, an example using a cylinder block as an object to be inspected is shown. However, if an object to be inspected uses the inside as a fluid storage space, a leak inspection can be performed using the same method. Yes, it is not limited to the cylinder block. For example, it may be used when leak detection is performed on a cylinder head constituting a compressor, and an assembly in which individual parts are assembled depending on a jig for holding an inspection object in an inspection object container. It may be used to check for product leaks.
[0046]
When leak inspection is performed on an assembly such as a compressor, corrosion is a problem for ferrous materials and erosion is a problem for seal materials. Instead of using, it is desirable to substitute a suitable fluid. In particular, it is desirable to select an incompressible fluid according to the application such as HCFC solvent, alcohol solvent, hydrocarbon solvent, etc. in consideration of quick drying after inspection.
[0047]
Furthermore, as a leakage inspection method using the above-described leakage inspection apparatus, the inspection object is sealed and filled with a pressurized gas, and this inspection object is set in the inspection object container and surrounded by the surroundings. An incompressible fluid may be filled so that changes in pressure can be captured as well.
[0048]
The above inspection apparatus is configured to detect leakage by applying a pressure higher than atmospheric pressure to the inside of the object to be detected and detecting a pressure change of the incompressible fluid sealed outside, It is good also as a structure which reverses the introductory location of an incompressible fluid, seals an incompressible fluid inside a to-be-inspected object, and applies the pressure more than atmospheric pressure to the outside.
When the workpiece is set in the inspection object container 7 and an internal pressure higher than atmospheric pressure is applied to the inside, it is necessary to increase the clamp pressure so as not to leak and press the jig against the workpiece with a considerable sheet force. However, there is concern about the deformation or damage of the workpiece, but the configuration in which the pressure higher than atmospheric pressure is applied to the outside makes it possible to reduce the clamping pressure and eliminate the risk of workpiece deformation or damage. Has the advantage of being able to.
[0049]
【The invention's effect】
As described above, according to the present invention, a first sealed space sealed inside is formed with respect to an object to be inspected using the inside as a fluid storage space, and the object to be inspected is surrounded on the outside. a sealed second closed space formed, and sealed in a state filled with the other closed space incompressible fluid supplies atmospheric pressure or more gases at one of the closed space, and sealing the non-compressible fluid Since it is possible to determine the presence or absence of leakage of the inspection object by detecting the pressure change in the sealed space, it is not necessary to rely on human judgment by visual inspection etc., and it is possible to inspect the inspection object for leakage easily and accurately. Thus, the inspection efficiency can be improved.
[0050]
In addition, by performing a process for removing fluid other than the incompressible fluid on the sealed space in which the incompressible fluid is sealed before determining whether there is a leakage of the object to be inspected, the inspection accuracy of the leakage is further increased. It becomes possible to raise.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a diagram illustrating a configuration example of a leakage inspection apparatus.
FIG. 2 is a flowchart for explaining a leakage inspection method using the leakage inspection apparatus shown in FIG. 1;
FIG. 3 is a diagram illustrating another configuration example of the leakage inspection apparatus.
FIG. 4 is a flowchart for explaining a leak inspection method using the leak inspection apparatus shown in FIG. 3;
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Leak inspection apparatus 2 Cylinder block 11 1st sealed space 12 2nd sealed space

Claims (10)

内側を流体の収容空間として用いる被検査物の漏れを検査する漏れ検査方法において、
前記被検査物の内側に密閉された第1の密閉空間を形成すると共に、前記被検査物の外側に該被検査物を取り囲む密閉された第2の密閉空間を形成し、
前記第1の密閉空間と前記第2の密閉空間との一方に大気圧以上の気体を供給すると共に他方を非圧縮性流体で満たした状態で密封し、
前記非圧縮性流体を密封した密閉空間の圧力変化を捉えることで前記被検査物の漏れの有無を判定するようにしたことを特徴とする漏れ検査方法。
In a leakage inspection method for inspecting leakage of an object to be inspected using the inside as a fluid storage space,
Forming a sealed first sealed space inside the inspected object, and forming a sealed second sealed space surrounding the inspected object outside the inspected object;
Sealing one of the first sealed space and the second sealed space in a state where a gas at atmospheric pressure or higher is supplied and the other is filled with an incompressible fluid ;
A leakage inspection method, wherein the presence or absence of leakage of the object to be inspected is determined by capturing a pressure change in a sealed space in which the incompressible fluid is sealed.
前記大気圧以上の気体を前記第1の密閉空間に供給し、前記非圧縮性流体を前記第2の密閉空間に密封することを特徴とする請求項1記載の漏れ検査方法。The leak inspection method according to claim 1, wherein a gas having an atmospheric pressure or higher is supplied to the first sealed space, and the incompressible fluid is sealed in the second sealed space. 前記大気圧以上の気体は、空気であることを特徴とする請求項1又は2記載の漏れ検査方法。The leak inspection method according to claim 1, wherein the gas at or above atmospheric pressure is air. 前記非圧縮性流体は、水であることを特徴とする請求項1又は2記載の漏れ検査方法。The leak inspection method according to claim 1, wherein the incompressible fluid is water. 前記非圧縮性流体が密封された密閉空間に対して、前記被検査物の漏れの有無を判定する前に非圧縮性流体以外の流体を除去する処理を施すことを特徴とする請求項1記載の漏れ検査方法。2. The sealed space in which the incompressible fluid is sealed is subjected to a process for removing fluid other than the incompressible fluid before determining whether or not the inspection object has leaked. Leak inspection method. 内側を流体の収容空間として用いる被検査物の漏れを検査する漏れ検査装置において、
前記被検査物を収容し、前記被検査物の内側に密閉された第1の密閉空間を形成すると共に、前記被検査物の外側に該被検査物を取り囲む密閉された第2の密閉空間を形成する被検査物収容器と、
前記第1の密閉空間と前記第2の密閉空間との一方に加圧気体を供給する加圧気体供給手段と、
前記第1の密閉空間と前記第2の密閉空間との他方を非圧縮性流体で満たした状態で密封する非圧縮性流体密封手段と、
前記非圧縮性流体を密封した密閉空間の圧力変化を捉えることで前記被検査物の漏れの有無を判定する判定手段と
を有することを特徴とする漏れ検査装置。
In a leak inspection apparatus for inspecting leakage of an object to be inspected using the inside as a fluid storage space,
The test object is accommodated, a first sealed space sealed inside the test object is formed, and a sealed second sealed space surrounding the test object is formed outside the test object. An object container to be formed; and
Pressurized gas supply means for supplying a pressurized gas to one of the first sealed space and the second sealed space;
Incompressible fluid sealing means for sealing in a state where the other of the first sealed space and the second sealed space is filled with an incompressible fluid;
A leak inspection apparatus comprising: determination means for determining presence or absence of leakage of the object to be inspected by capturing a pressure change in a sealed space in which the incompressible fluid is sealed.
前記加圧気体供給手段は前記第1の密閉空間に加圧気体を供給するものであり、前記非圧縮性流体密封手段は前記第2の密閉空間に非圧縮性流体を密封するものであることを特徴とする請求項5記載の漏れ検査装置。The pressurized gas supply means supplies pressurized gas to the first sealed space, and the incompressible fluid sealing means seals an incompressible fluid in the second sealed space. The leak inspection apparatus according to claim 5. 前記加圧気体は、空気であることを特徴とする請求項6又は7記載の漏れ検査装置。8. The leak inspection apparatus according to claim 6, wherein the pressurized gas is air. 前記非圧縮性流体は、水であることを特徴とする請求項6又は7記載の漏れ検査装置。The leak inspection apparatus according to claim 6 or 7, wherein the incompressible fluid is water. 前記非圧縮性流体が密封された密閉空間に対して、非圧縮性流体以外の流体を除去する手段を更に設けたことを特徴とする請求項6記載の漏れ検査装置。The leak inspection apparatus according to claim 6, further comprising a means for removing fluid other than the incompressible fluid in the sealed space in which the incompressible fluid is sealed.
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