JP4139378B2 - 鏡面冷却式露点計 - Google Patents
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図13に正反射光検出方式を採用した従来の鏡面冷却式露点計におけるセンサ部(鏡面冷却式センサ)の構成を示す。この鏡面冷却式センサ101は、被測定気体が流入されるチャンバ1と、このチャンバ1の底部に設けられた熱電冷却素子(ペルチェ素子)2を備えている。熱電冷却素子2の冷却面2−1には鏡3が取り付けられており、熱電冷却素子2の加熱面2−2にはヒートパイプ4を介して放熱部材5が取り付けられている。すなわち、ヒートパイプ4の一端4−1が熱電冷却素子2の加熱面2−1に取り付けられており、熱電冷却素子2から離されたヒートパイプ4の他端4−2に放熱部材5が取り付けられている。
図14に散乱光検出方式を採用した従来の鏡面冷却式露点計におけるセンサ部(鏡面冷却式センサ)の構成を示す。この鏡面冷却式センサ102は、正反射光検出方式を採用した鏡面冷却式センサ101とほゞ同構成であるが、受光素子9の取り付け位置が異なっている。この鏡面冷却式センサ102において、受光素子9は、発光素子8から鏡面3−1に対して照射された光の正反射光を受光する位置ではなく、散乱光を受光する位置に設けられている。
また、露点温度と制御パラメータとの関係を示す近似式に代えて、露点温度範囲と制御パラメータとの関係を示すテーブルを定め、このテーブルから仮露点が属する露点温度範囲の制御パラメータを求めるようにしてもよい。
また、露点温度と制御パラメータとの関係を示す近似式に代えて、露点温度および被測定気体の温度によって区分される範囲と制御パラメータとの関係を示すテーブルを定め、このテーブルから仮露点および被測定気体の温度が属する範囲の制御パラメータを求めるようにしてもよい。
〔実施の形態1〕
図1はこの発明に係る鏡面冷却式露点計の一実施の形態(実施の形態1)を示すブロック図である。図1において、図13や図14と同一符号は同図を参照して説明した構成要素と同一或いは同等構成要素を示し、その説明は省略する。なお、この実施の形態1に示す鏡面冷却式露点計201では、散乱光検出方式を採用している。
電源スイッチ(図示せず)をオンとすると、結露検知部22は、発光素子8より、鏡面3−1に対して所定の周期でパルス光を照射する(図5(a)参照)。鏡面3−1は被測定気体に晒されており、鏡面3−1に結露が生じていなければ、発光素子8から照射されたパルス光はそのほゞ全量が正反射し、受光素子9で受光される鏡面3−1からの反射パルス光(散乱光)は極微量である。電源スイッチをオンとした時点では、鏡面3−1にはまだ結露が生じておらず、したがって受光素子9で受光される反射パルス光の強度は小さい。
図6(b)は中露点時の制御特性を従来と比較して示した図である。本願の制御特性(点線)では、中露点時、露点(本露点)から遠いところでは従来より若干スピードアップ、但し、接近したところではスピードダウンするので、露点に達する時間はほゞ同等だが、ハンチングはしない。
図6(c)は高露点時の制御特性を従来と比較して示した図である。本願の制御特性(点線)では、高露点時、露点(本露点)に接近したところでスピードダウンするので、従来より露点に達する時間は遅いが、すぐに安定するので、すぐに測定可能となる。従来は、先に露点に達するが、安定するまで時間がかかるので、結果的に測定可能になるのは本願の方が速い。
上述した実施の形態1では、メモリ26に露点温度と制御パラメータとの関係を示す近似式f1を格納するようにしたが、露点温度と制御パラメータとの関係を示す近似式f1に代えて、露点温度および被測定気体の温度(この例では、露点温度と被測定気体の温度との差)と制御パラメータとの関係を示す近似式f2を求め、この近似式f2をメモリ26に格納するようにしてもよい。
上述した実施の形態1では、メモリ26に露点温度と制御パラメータとの関係を示す近似式f1を格納するようにしたが、露点温度と制御パラメータとの関係を示す近似式f1に代えて、露点温度範囲と制御パラメータとの関係を示すテーブルT1を定め、このテーブルT1をメモリ26に格納するようにしてもよい。
上述した実施の形態1では、メモリ26に露点温度と制御パラメータとの関係を示す近似式f1を格納するようにしたが、露点温度と制御パラメータとの関係を示す近似式f1に代えて、露点温度および被測定気体の温度(この例では、露点温度と被測定気体の温度との差)によって区分される範囲と制御パラメータとの関係を示すテーブルT2を定め、このテーブルT2をメモリ26に格納するようにしてもよい。
Claims (6)
- 被測定気体に晒される鏡面と、この鏡面を冷却する熱電冷却素子と、前記鏡面に対して光を照射する投光手段と、前記投光手段から前記鏡面に対して照射された光の反射光を受光する受光手段と、前記鏡面の温度を検出する温度検出手段と、前記受光手段が受光する反射光の光量に基づいて前記鏡面に生じる結露の増減がなくなる平衡状態になるように前記熱電冷却素子へ供給する電流を制御する制御手段とを備えた鏡面冷却式露点計において、
露点温度と制御パラメータとの関係を示す近似式を記憶する近似式記憶手段と、
前記受光手段が受光する反射光の光量が前記鏡面の冷却開始後に最初に大きく変化した時の前記鏡面の温度を仮露点として検出する仮露点検出手段と、
前記仮露点検出手段によって検出された仮露点を前記近似式に代入して制御パラメータを求め、この求めた制御パラメータを前記制御手段によって前記熱電冷却素子へ供給する電流を制御する際の制御パラメータとして設定する制御パラメータ設定手段と
を備えたことを特徴とする鏡面冷却式露点計。 - 被測定気体に晒される鏡面と、この鏡面を冷却する熱電冷却素子と、前記鏡面に対して光を照射する投光手段と、前記投光手段から前記鏡面に対して照射された光の反射光を受光する受光手段と、前記鏡面の温度を検出する温度検出手段と、前記受光手段が受光する反射光の光量に基づいて前記鏡面に生じる結露の増減がなくなる平衡状態になるように前記熱電冷却素子へ供給する電流を制御する制御手段とを備えた鏡面冷却式露点計において、
露点温度および被測定気体の温度と制御パラメータとの関係を示す近似式を記憶する近似式記憶手段と、
前記受光手段が受光する反射光の光量が前記鏡面の冷却開始後に最初に大きく変化した時の前記鏡面の温度を仮露点として検出する仮露点検出手段と、
前記被測定気体の温度を検出する温度検出手段と、
前記仮露点検出手段によって検出された仮露点と前記温度検出手段によって検出された被測定気体の温度を前記近似式に代入して制御パラメータを求め、この求めた制御パラメータを前記制御手段によって前記熱電冷却素子へ供給する電流を制御する際の制御パラメータとして設定する制御パラメータ設定手段と
を備えたことを特徴とする鏡面冷却式露点計。 - 被測定気体に晒される鏡面と、この鏡面を冷却する熱電冷却素子と、前記鏡面に対して光を照射する投光手段と、前記投光手段から前記鏡面に対して照射された光の反射光を受光する受光手段と、前記鏡面の温度を検出する温度検出手段と、前記受光手段が受光する反射光の光量に基づいて前記鏡面に生じる結露の増減がなくなる平衡状態になるように前記熱電冷却素子へ供給する電流を制御する制御手段とを備えた鏡面冷却式露点計において、
露点温度範囲と制御パラメータとの関係を示すテーブルを記憶する手段と、
前記受光手段が受光する反射光の光量が前記鏡面の冷却開始後に最初に大きく変化した時の前記鏡面の温度を仮露点として検出する仮露点検出手段と、
前記仮露点検出手段によって検出された仮露点が属する露点温度範囲の制御パラメータを前記テーブルから求め、この求めた制御パラメータを前記制御手段によって前記熱電冷却素子へ供給する電流を制御する際の制御パラメータとして設定する制御パラメータ設定手段と
を備えたことを特徴とする鏡面冷却式露点計。 - 被測定気体に晒される鏡面と、この鏡面を冷却する熱電冷却素子と、前記鏡面に対して光を照射する投光手段と、前記投光手段から前記鏡面に対して照射された光の反射光を受光する受光手段と、前記鏡面の温度を検出する温度検出手段と、前記受光手段が受光する反射光の光量に基づいて前記鏡面に生じる結露の増減がなくなる平衡状態になるように前記熱電冷却素子へ供給する電流を制御する制御手段とを備えた鏡面冷却式露点計において、
露点温度および被測定気体の温度によって区分される範囲と制御パラメータとの関係を示すテーブルを記憶するテーブル記憶手段と、
前記受光手段が受光する反射光の光量が前記鏡面の冷却開始後に最初に大きく変化した時の前記鏡面の温度を仮露点として検出する仮露点検出手段と、
前記仮露点検出手段によって検出された仮露点および前記温度検出手段によって検出された被測定気体の温度が属する範囲の制御パラメータを前記テーブルから求め、この求めた制御パラメータを前記制御手段によって前記熱電冷却素子へ供給する電流を制御する際の制御パラメータとして設定する制御パラメータ設定手段と
を備えたことを特徴とする鏡面冷却式露点計。 - 請求項1〜4の何れか1項に記載された鏡面冷却式露点計において、
前記仮露点検出手段による仮露点の検出後、定期的に前記仮露点とその時の前記鏡面の温度との偏差を求め、その偏差に応じて現在設定されている制御パラメータを変更する制御パラメータ変更手段を
備えたことを特徴とする鏡面冷却式露点計。 - 請求項5に記載された鏡面冷却式露点計において、
前記制御パラメータ変更手段は、前記偏差が大きければ現在設定されている制御パラメータの比例ゲインを大きくし、前記偏差が小さければ現在設定されている制御パラメータの比例ゲインを小さくすることを特徴とする鏡面冷却式露点計。
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