JP4132363B2 - Inspection equipment for electrical property inspection - Google Patents
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Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、電気特性検査用検査器具に関するものである。さらに詳しくは大型の検査対象に対応し得る電気特性検査用検査器具に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来より、液晶表示装置用アレイ基板などの検査対象の電気特性を検査するために、複数の接触子を有する検査器具を用いて、電気的特性の検査を行なっている。
【0003】
従来の検査方法を図6に示す。従来の検査方法は、検査対象であるパネルPのサイズより大きな開口部14を大型の金属定板13(1000mm×1000mm程度)に設け、その開口部14周辺に複数の接触子11の集合構造物である接触子群12を配置し、パネルの端子に接触子11を全端子同時に接触して電気信号を供給することにより、パネルを電気的に駆動させ、電気的特性の検査を実施している。
【0004】
検査可能なパネルのサイズは、前記開口部14の寸法で決定される。かかる開口部14の寸法は、定板13の寸法から、接触子群12の取付領域を除いた残りの領域の寸法で決定される。
【0005】
通常の検査においては、パネルはチャックトップなどの固定手段(図示せず)に固定された状態で検査されるため、開口部14の寸法は、パネルの外形寸法よりも充分に大きく形成される必要がある。なお、被測定物の寸法により固定手段の寸法は決定される。被測定物上に複数のパネルが製造されている場合には固定手段の寸法は、パネルサイズより大きくなるのが通常である。つまり、寸法関係は、パネルサイズ<被測定物(ガラス基板)<固定手段(チャックトップサイズ)となる。
【0006】
また、従来の検査方法では、検査対象の機種を変更する場合には、定板を含む検査器具全体を変更する必要がある。
【0007】
さらに、検査対象のパネルの水平方向側(以下、単にH側という)の端子と垂直方向側(以下、単にV側という)の端子とが近接している機種の場合、H側端子とV側端子のコーナー部分で、図6におけるH側の接触子群12とV側の接触子群12とが干渉し、検査対象の端子に接触子11が接触できず、検査ができない場合があるため、パネルの設計の障害になっていた。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】
以上のような従来の検査方法では、検査対象の機種が変更した場合、定板ごとの変更が必要であり重量物である定板を移動する作業が必要になる。さらに、検査対象可能なパネルのサイズは、定板13の開口部14の寸法によって決定される。したがって、大型パネルの検査をするときには開口部を充分に広く取れない。しかも、同一のパネルのサイズであっても、解像度の異なる機種の場合でも前記金属製の定板13ごと新規に作成する必要がある。
【0009】
また、パネルの全体を覆う大きさで開口部14が形成されているため、検査中にゴミなどの異物などが検査対象のパネルの表示領域に付着する可能性がある。しかも、パネルの表示領域に検査室の環境の光が侵入し、正確な検査ができない場合がある。この防止策として、従来では別部品である遮光カバーを付加する必要がある。
【0010】
さらに、遮光カバーの取付け時に、位置合わせ機構または接触子群に前記遮光カバーが接触することによって悪影響を与える可能性がある。
【0011】
また、パネル全体を覆う寸法で定板13に開口部14を形成するときに発生する不要な金属材料が産業廃棄物になるという問題がある。
【0012】
本発明はかかる問題を解消するためになされたものであり、大型の液晶パネルなどの検査対象に対応し得る電気特性検査用検査器具を提供することを目的とする。
【0013】
【課題を解決するための手段】
本発明の電気特性検査用検査器具(以下、単に検査器具という)は、検査器具の小型化または接触子群のブロック化によって大型の液晶パネルなどの検査対象に容易に対応し得るものである。
【0014】
すなわち、本発明の請求項1にかかわる検査器具は、検査器具の小型化を可能にするものであり、電気特性が検査される検査対象の全端子に同時に接触子を接触させて電気特性を検査するための検査器具であって、
定板と、複数の前記接触子の集合構造物であり、前記定板に固定された少なくとも1個の接触子群とからなり、
前記定板における前記検査対象の端子付近の位置に、開口部が部分的に形成され、
前記開口部の幅が、前記検査対象の幅に対して10〜30%程度に設定され、
前記接触子の少なくとも一部が、前記開口部内部に配設されてなることを特徴とする。
【0015】
前記接触子群の少なくとも一部が、前記検査対象に対向する領域内に位置してなるのが好ましい。
【0017】
また、寸法で規定する場合、前記開口部の幅が、3〜15cm程度の寸法に規定されてなるのが好ましい。
【0018】
また、本発明の請求項4にかかわる検査器具は、接触子群のブロック化を可能にするものであり、電気特性が検査される検査対象の全端子に同時に接触子を接触させて電気特性を検査するための検査器具であって、
定板と、複数の前記接触子の集合構造物であり、前記定板に固定された複数の接触子群とからなり、
前記検査対象の端子付近の位置に、開口部が部分的に形成され、
前記開口部の幅が、前記検査対象の幅に対して10〜30%程度に設定され、
前記接触子の少なくとも一部が、前記開口部内部に配設され、
前記複数の接触子群が、ブロック用固定部材に連結されることにより、少なくとも1個の接触ブロックを形成し、
前記接触ブロックが、前記検査対象の端子に並ぶ方向に沿うように、前記定板に着脱自在に固定されてなることを特徴とする。
【0019】
さらに、本発明の請求項5にかかわる電気特性検査用検査器具は、検査器具の小型化を可能にするものであり、電気特性が検査される検査対象の全端子に同時に接触子を接触させて電気特性を検査するための検査器具であって、
定板と、複数の前記接触子の集合構造物であり、前記定板に固定された複数の接触子群とからなり、
前記検査対象の端子付近の位置に、開口部が部分的に形成され、
前記開口部の幅が、前記検査対象の幅に対して10〜30%程度に設定され、
前記接触子の少なくとも一部が、前記開口部内部に配設され、
前記検査対象のコーナー部付近の接触子群のうちの少なくとも1個が、前記定板の表面から突設された橋状固定部材に固定されることにより、隣接する他の接触子群との干渉が防止されてなることを特徴とする。
【0020】
さらに、本発明の請求項6にかかわる検査器具は、前記請求項1、4および5記載の発明を組み合わせることにより、検査器具の小型化および接触子群のブロック化を両方可能にするものであり、電気特性が検査される検査対象の全端子に同時に接触子を接触させて電気特性を検査するための検査器具であって、
定板と、複数の前記接触子の集合構造物であり、前記定板に固定された複数の接触子群とからなり、
検査対象の端子付近の位置に、開口部が部分的に形成され、
前記開口部の幅が、前記検査対象の幅に対して10〜30%程度に設定され、
前記接触子の少なくとも一部が、前記開口部内部に配設され、
前記複数の接触子群が、ブロック用固定部材に連結されることにより、少なくとも1個の接触ブロックを形成し、
前記接触ブロックが、前記検査対象の端子に並ぶ方向に沿うように、前記定板に着脱自在に固定され、
前記検査対象のコーナー部付近の接触子群のうちの少なくとも1個が、前記定板の表面から突設された橋状固定部材に固定されることにより、隣接する他の接触子群との干渉が防止されてなることを特徴とする。
【0021】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照しながら本発明の検査器具をさらに詳細に説明する。図1は本発明の請求項1にかかわる検査器具の一実施の形態を示す平面説明図、図2は本発明の請求項4にかかわる検査器具の一実施の形態を示す平面説明図、図3は本発明の請求項5にかかわる検査器具の一実施の形態を示す平面説明図、図4は図3の接触子群および橋状固定部材の位置関係を説明するための要部拡大斜視図および図5は本発明の請求項6にかかわる検査器具の一実施の形態を示す平面説明図である。
【0022】
請求項1にかかわる検査器具の一実施の形態として、図1に示される検査器具は、金属定板3と、複数の接触子1の集合構造物であり、前記定板3に固定された複数の接触子群2とから構成されている。複数の接触子群2は、定板3の下側に配置される検査対象、具体的には液晶表示装置のアレイ基板用パネルPのH側およびV側にそれぞれ直線状に並んで配置されている。金属定板3におけるパネルPの端子(図示せず)付近の位置には、開口部4が部分的に形成されている。接触子1の先端部分は、前記開口部4内部にのびている。
【0023】
本実施の形態では、開口部4が従来よりも大幅に小さいため、接触子群2の取付可能領域を充分に確保できる。しかも、金属定板3の剛性の低下に基づく定板の精度の低下もほとんど生じない。
【0024】
図1に示される検査器具では、パネルPの表示領域の上にも定板3が存在するので、接触子群2の少なくとも一部を、図2のようにパネルPに対向する領域内に取り付けることができる。したがって、従来の検査器具(図6参照)と比較して、検査器具全体を小型化することができる。したがって、従来における定板と同一の外形寸法の定板を用いても、より大型のパネルを検査することができる。また、検査器具の小型化に伴って重量も軽くなるため、検査器具の交換作業も楽になる。
【0025】
開口部4の形状は、図1に示されるようにスリット状でもよいし、各接触子群2に対応する部分だけ開口させて、小さい矩形の開口部を多数(または接触子群の数だけ)形成したものであってもよい。
【0026】
開口部4の大きさは、従来の検査器具と比較して大幅に小さくなるため、定板3に開口部4を形成するときに発生する切りくずなどの不要材料を少なくすることができる。
【0027】
金属定板3は、鉄またはステンレス鋼などの金属材料から作製され、接触子1は、タングステン、またはタングステンと銅との合金、または該合金材料の表面に金メッキしたものなどの金属材料から作製されている。
【0028】
開口部4の寸法は、接触子1がパネルPの端子に接触可能な寸法となっていればよく、前記開口部4の幅W2が、前記パネルPの幅W1に対して10〜30%程度に設定されているのが好ましい。なお、この幅W1とW2とのあいだの寸法関係は、H側およびV側のいずれの場合についても適用される。
【0029】
また、H側およびV側の開口部W2の寸法は、接触子先端または接触子群が被測定物の端子に接触可能な寸法だけあればよいので被測定物によらずほぼ一定となることも考えられる。よってパネルのサイズW1は変動が大きいが、開口部W2は変動が小さい。W2の寸法を規定するならば3cm〜15cm程度が良好である。
【0030】
しかも、図1に示される検査器具は、パネルPの表示領域を金属定板3が覆っているため、遮光カバーが不要になる。
【0031】
つぎに、請求項4にかかわる検査器具の一実施の形態として、図2に示される検査器具は、ブロック用固定部材5によって複数個の接触子群2を連結することにより、接触ブロックを構成している点で、図1に示される検査器具と構成が異なっており、その他の点では構成が共通している。
【0032】
すなわち、図2に示される検査器具は、金属定板3と、複数の接触子1の集合構造物であり、前記定板3に固定された複数の接触子群2とから構成されている。複数の接触子群2は、定板3の下側に配置されるパネルPのH側およびV側にそれぞれ直線状に並んで配置されている。金属定板3におけるパネルPの端子(図示せず)付近の位置には、開口部4が部分的に形成されている。接触子1の先端部分は、前記開口部4内部にのびている。
【0033】
接触子群2は、前記ブロック用固定部材5によって、H側およびV側でそれぞれ定板3に着脱自在に固定されることにより、着脱自在の接触ブロックを構成している。したがって、重量物である金属定板3を移動させることなく、接触ブロックを変更するだけでパネルPのサイズの大型化(または小型化)によるサイズの変更または解像度などの仕様の変更に容易に対応することができる。
【0034】
ブロック用固定部材5は、定板3に対して、ねじ止めまたはカンチレバーなどによって所定の位置に精度よく着脱自在に固定することができる。
【0035】
つぎに、請求項5にかかわる検査器具の一実施の形態として、図3〜4に示される検査器具は、金属定板3と、複数の接触子1の集合構造物であり、定板3に固定された少なくとも1個の接触子群2とからなり、パネルPのコーナー部付近の接触子群2のうちの少なくとも1個が、前記定板3の表面から突設された橋状固定部材6に吊り下げられた状態で固定されることにより、隣接する他の接触子群2との干渉が防止されている。
【0036】
したがって、パネルPのコーナー部付近の接触子群2を近接して配置できるため、検査器具の小型化が可能になる。
【0037】
請求項5記載の発明では、開口部8の大きさについてはとくに限定するものではなく、図3に示されるように従来と同様の大きさでも、橋状固定部材6によってH側の接触子群2をすべて開口部8の上方に配置することができ、検査器具をさらに小型化できる。
【0038】
つぎに、請求項6にかかわる検査器具の一実施の形態として、図5に示される検査器具は、前記請求項1、4および5記載の発明を組み合わせた実施の形態であり、前記パネルの端子付近に部分的に形成されたL字形の開口部4、複数のV側の接触子群2を連結して金属定板3に着脱自在に固定するブロック用固定部材5、および複数のH側接触子群2を吊り下げて配設する橋状固定部材6を有している。したがって、図1〜4に示される検査器具の効果をすべて有しているため、大型パネルの検査に好適に使用することができる。
【0039】
以上、本実施の形態では電気的特性のための検査対象として、液晶表示装置のアレイ基板用パネルを例にあげて説明したが、その他の検査対象、たとえば半導体装置用のウエハ、または半導体装置を実装した基板(たとえばコンピュータの各種ボードやメモリカードなど)などに対しても本発明の検査器具を適用することができる。
【0040】
【発明の効果】
本発明の請求項1ないし6記載の発明によれば、定板の開口部を検査対象の端子付近に部分的に形成しているため、比較的小型の検査器具で大型の検査対象を検査することが可能になる。
【0041】
しかも、検査対象の表面(パネルの表示領域など)への異物または光の侵入を、別部品のカバーなどを設けることなく防止することができる。また、開口部が従来と比較して大幅に小さいため、開口部を加工する際に発生する不要な材料が大幅に少なくなる。
【0042】
本発明の請求項4または6記載の発明によれば、複数の接触子群をブロック用固定部材によって固定して接触ブロックを構成することにより、定板を変更する必要がなく、接触ブロックを適宜変更することにより、大型の検査対象の検査が可能になる。また、同一サイズの検査対象で仕様(解像度など)のみ変更した場合でも、接触ブロックの変更で対応することができる。したがって、比較的重量物である定板の移動作業が不要になる。
【0043】
さらに、従来では個々の検査対象に対応する検査器具を製造する必要があったが、本発明の検査器具では複数の検査対象に対応することができるため、検査器具の製造費用を大幅に低減することができる。
【0044】
本発明の請求項5または6記載の発明によれば、検査対象のコーナー部付近の接触子群を橋状固定部材に固定して隣接する他の接触子群との干渉が防止されているため、比較的小型の検査器具で大型の検査対象を検査することが可能になる。
【0045】
しかも、接触子群の干渉が防止されることによって、検査精度が向上し、それとともに検査対象の設計自由度も向上する。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の請求項1にかかわる検査器具の一実施の形態を示す平面説明図である。
【図2】 本発明の請求項4にかかわる検査器具の一実施の形態を示す平面説明図である
【図3】 本発明の請求項5にかかわる検査器具の一実施の形態を示す平面説明図である。
【図4】 図3の接触子群および橋状固定部材の位置関係を説明するための要部拡大斜視図である。
【図5】 本発明の請求項6にかかわる検査器具の一実施の形態を示す平面説明図である。
【図6】 従来の検査器具の平面図である。
【符号の説明】
1 接触子
2 接触子群
3 金属定板
4 開口部[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to an inspection instrument for electrical property inspection. More specifically, the present invention relates to an inspection instrument for electrical property inspection that can handle a large inspection object.
[0002]
[Prior art]
Conventionally, in order to inspect the electrical characteristics of an inspection target such as an array substrate for a liquid crystal display device, the electrical characteristics are inspected using an inspection instrument having a plurality of contacts.
[0003]
A conventional inspection method is shown in FIG. In the conventional inspection method, an opening 14 larger than the size of the panel P to be inspected is provided in a large metal plate 13 (about 1000 mm × 1000 mm), and an assembly structure of a plurality of contacts 11 around the opening 14. The contact group 12 is arranged, and all the terminals 11 are simultaneously brought into contact with the terminals of the panel to supply electrical signals, thereby electrically driving the panel and inspecting the electrical characteristics. .
[0004]
The size of the panel that can be inspected is determined by the dimension of the opening 14. The dimension of the opening 14 is determined by the dimension of the remaining area excluding the attachment area of the contact group 12 from the dimension of the fixed plate 13.
[0005]
In a normal inspection, since the panel is inspected while being fixed to a fixing means (not shown) such as a chuck top, the dimension of the opening 14 needs to be sufficiently larger than the external dimension of the panel. There is. The dimension of the fixing means is determined by the dimension of the object to be measured. When a plurality of panels are manufactured on the object to be measured, the dimension of the fixing means is usually larger than the panel size. That is, the dimensional relationship is panel size <measurement object (glass substrate) <fixing means (chuck top size).
[0006]
Further, in the conventional inspection method, when changing the model to be inspected, it is necessary to change the entire inspection instrument including the surface plate.
[0007]
Further, in the case of a model in which a terminal on the horizontal side (hereinafter simply referred to as H side) and a terminal on the vertical direction (hereinafter simply referred to as V side) of the panel to be inspected are close to each other, the H side terminal and V side Since the contact group 12 on the H side and the contact group 12 on the V side in FIG. 6 interfere with each other at the corner portion of the terminal, the contact 11 may not be in contact with the terminal to be inspected, and inspection may not be possible. It was an obstacle to the design of the panel.
[0008]
[Problems to be solved by the invention]
In the conventional inspection method as described above, when the model to be inspected is changed, it is necessary to change each plate and to move the plate that is a heavy object. Further, the size of the panel that can be inspected is determined by the dimension of the opening 14 of the fixed plate 13. Therefore, when inspecting a large panel, the opening cannot be made sufficiently wide. Moreover, even if the size of the panel is the same, even in the case of models with different resolutions, it is necessary to newly create the metal plate 13.
[0009]
In addition, since the opening 14 is formed to have a size that covers the entire panel, foreign matter such as dust may adhere to the display area of the panel to be inspected during inspection. In addition, there is a case where the environment light in the examination room enters the display area of the panel and an accurate inspection cannot be performed. As a preventive measure, conventionally, it is necessary to add a light shielding cover which is a separate part.
[0010]
Furthermore, when the light shielding cover is attached, there is a possibility that the light shielding cover may be adversely affected by contacting the alignment mechanism or the contact group.
[0011]
In addition, there is a problem that unnecessary metal material generated when the opening 14 is formed in the surface plate 13 with a size covering the entire panel becomes industrial waste.
[0012]
The present invention has been made to solve such a problem, and an object of the present invention is to provide an inspection instrument for electrical property inspection that can be applied to an inspection object such as a large liquid crystal panel.
[0013]
[Means for Solving the Problems]
The electrical property inspection inspection instrument of the present invention (hereinafter simply referred to as an inspection instrument) can easily cope with an inspection object such as a large liquid crystal panel by downsizing the inspection instrument or blocking the contact group.
[0014]
That is, the inspection instrument according to claim 1 of the present invention enables the miniaturization of the inspection instrument, and inspects the electrical characteristics by simultaneously contacting the contacts with all terminals to be inspected for electrical characteristics. An inspection instrument for
A fixed plate and a collective structure of the plurality of contacts, and comprising at least one contact group fixed to the fixed plate,
An opening is partially formed at a position near the terminal to be inspected on the surface plate,
The width of the opening is set to about 10 to 30% with respect to the width of the inspection object,
At least a part of the contact is arranged inside the opening.
[0015]
It is preferable that at least a part of the contact group is located in a region facing the inspection object.
[0017]
Moreover, when prescribed | regulated by a dimension, it is preferable that the width | variety of the said opening part is prescribed | regulated to the dimension of about 3-15 cm.
[0018]
The inspection instrument according to claim 4 of the present invention is to allow the blocking of the contact group, the electrical characteristics electrical characteristics by contacting simultaneously contact all terminals of the test object to be examined An inspection instrument for inspecting,
A fixed plate and an assembly structure of a plurality of the contacts, and a plurality of contact groups fixed to the fixed plate,
An opening is partially formed at a position near the terminal to be inspected,
The width of the opening is set to about 10 to 30% with respect to the width of the inspection object,
At least a portion of the contact is disposed within the opening;
The plurality of contact groups are connected to a block fixing member to form at least one contact block;
The contact block is detachably fixed to the fixed plate so as to be along a direction in which the contact block is aligned with the terminal to be inspected.
[0019]
Furthermore, the inspection device for electrical property inspection according to
A fixed plate and an assembly structure of a plurality of the contacts, and a plurality of contact groups fixed to the fixed plate,
An opening is partially formed at a position near the terminal to be inspected,
The width of the opening is set to about 10 to 30% with respect to the width of the inspection object,
At least a portion of the contact is disposed within the opening;
At least one of the contact groups near the corner to be inspected is fixed to a bridge-shaped fixing member protruding from the surface of the surface plate, thereby interfering with other adjacent contact groups. Is prevented.
[0020]
Furthermore, the inspection instrument according to
A fixed plate and an assembly structure of a plurality of the contacts, and a plurality of contact groups fixed to the fixed plate,
An opening is partially formed at a position near the terminal to be inspected,
The width of the opening is set to about 10 to 30% with respect to the width of the inspection object,
At least a portion of the contact is disposed within the opening;
The plurality of contact groups are connected to a block fixing member to form at least one contact block;
The contact block is detachably fixed to the plate so as to be along the direction in which the terminals to be inspected are aligned,
At least one of the contact groups near the corner to be inspected is fixed to a bridge-shaped fixing member protruding from the surface of the surface plate, thereby interfering with other adjacent contact groups. Is prevented.
[0021]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Hereinafter, the inspection instrument of the present invention will be described in more detail with reference to the drawings. FIG. 1 is an explanatory plan view showing an embodiment of an inspection instrument according to claim 1 of the present invention, and FIG. 2 is an explanatory plan view showing an embodiment of an inspection instrument according to claim 4 of the present invention. FIG. 4 is an explanatory plan view showing an embodiment of an inspection instrument according to
[0022]
As an embodiment of the inspection instrument according to claim 1, the inspection instrument shown in FIG. 1 is a collective structure of a metal plate 3 and a plurality of contacts 1, and a plurality of fixtures fixed to the plate 3. And a
[0023]
In the present embodiment, since the opening 4 is significantly smaller than the conventional one, it is possible to secure a sufficient area where the
[0024]
In the inspection instrument shown in FIG. 1, since the surface plate 3 is also present on the display area of the panel P, at least a part of the
[0025]
The shape of the opening 4 may be a slit shape as shown in FIG. 1, or only a portion corresponding to each
[0026]
Since the size of the opening 4 is significantly smaller than that of a conventional inspection instrument, unnecessary materials such as chips generated when the opening 4 is formed on the surface plate 3 can be reduced.
[0027]
The metal plate 3 is made of a metal material such as iron or stainless steel, and the contact 1 is made of a metal material such as tungsten, an alloy of tungsten and copper, or a surface of the alloy material gold-plated. ing.
[0028]
The size of the opening 4 only needs to be such that the contact 1 can contact the terminal of the panel P, and the width W2 of the opening 4 is about 10 to 30% of the width W1 of the panel P. Is preferably set. The dimensional relationship between the widths W1 and W2 is applied to both the H side and the V side.
[0029]
Further, the dimensions of the opening W2 on the H side and the V side need only be such that the contact tip or contact group can contact the terminal of the object to be measured, and therefore may be substantially constant regardless of the object to be measured. Conceivable. Therefore, the panel size W1 varies greatly, but the opening W2 varies little. If the dimension of W2 is prescribed, about 3 cm to 15 cm is preferable.
[0030]
In addition, the inspection instrument shown in FIG. 1 does not require a light-shielding cover because the metal plate 3 covers the display area of the panel P.
[0031]
Next, as an embodiment of the inspection instrument according to claim 4 , the inspection instrument shown in FIG. 2 comprises a
[0032]
That is, the inspection instrument shown in FIG. 2 is composed of a metal surface plate 3 and a collective structure of a plurality of contacts 1 and a plurality of
[0033]
The
[0034]
The
[0035]
Next, as an embodiment of the inspection instrument according to
[0036]
Therefore, since the
[0037]
In the invention described in
[0038]
Next, as an embodiment of the inspection instrument according to
[0039]
As described above, in the present embodiment, the array substrate panel of the liquid crystal display device has been described as an example of an inspection target for electrical characteristics, but other inspection targets, for example, a wafer for a semiconductor device or a semiconductor device are used. The inspection instrument of the present invention can also be applied to a mounted board (for example, various computer boards and memory cards).
[0040]
【The invention's effect】
According to claims 1 to 6, wherein aspect of the present invention, since the partially formed opening of Teiita near inspected terminal, examining the large inspected in relatively small test instrument It becomes possible.
[0041]
In addition, entry of foreign matter or light into the surface to be inspected (panel display area or the like) can be prevented without providing a separate part cover or the like. Further, since the opening is significantly smaller than the conventional one, unnecessary material generated when the opening is processed is greatly reduced.
[0042]
According to invention of
[0043]
Furthermore, in the past, it was necessary to manufacture an inspection instrument corresponding to each inspection object. However, since the inspection apparatus of the present invention can correspond to a plurality of inspection objects, the manufacturing cost of the inspection instrument is greatly reduced. be able to.
[0044]
According to the invention described in
[0045]
In addition, since the interference between the contact groups is prevented, the inspection accuracy is improved, and at the same time, the design freedom of the inspection object is improved.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is an explanatory plan view showing an embodiment of an inspection instrument according to claim 1 of the present invention.
FIG. 2 is an explanatory plan view showing an embodiment of an inspection instrument according to claim 4 of the present invention. FIG. 3 is an explanatory plan view showing an embodiment of an inspection instrument according to
4 is an enlarged perspective view of a main part for explaining a positional relationship between a contact group and a bridge-like fixing member in FIG. 3;
FIG. 5 is an explanatory plan view showing an embodiment of an inspection instrument according to
FIG. 6 is a plan view of a conventional inspection instrument.
[Explanation of symbols]
1
Claims (6)
定板と、複数の前記接触子の集合構造物であり、前記定板に固定された少なくとも1個の接触子群とからなり、
前記定板における前記検査対象の端子付近の位置に、開口部が部分的に形成され、
前記開口部の幅が、前記検査対象の幅に対して10〜30%程度に設定され、
前記接触子の少なくとも一部が、前記開口部内部に配設されてなることを特徴とする電気特性検査用検査器具。An inspection instrument for inspecting electrical characteristics by simultaneously contacting a contact with all terminals to be inspected for electrical characteristics,
A fixed plate and a collective structure of the plurality of contacts, and comprising at least one contact group fixed to the fixed plate,
An opening is partially formed at a position near the terminal to be inspected on the surface plate,
The width of the opening is set to about 10 to 30% with respect to the width of the inspection object,
An inspection instrument for electrical characteristic inspection, wherein at least a part of the contact is disposed inside the opening.
定板と、複数の前記接触子の集合構造物であり、前記定板に固定された複数の接触子群とからなり、
前記検査対象の端子付近の位置に、開口部が部分的に形成され、
前記開口部の幅が、前記検査対象の幅に対して10〜30%程度に設定され、
前記接触子の少なくとも一部が、前記開口部内部に配設され、
前記複数の接触子群が、ブロック用固定部材に連結されることにより、少なくとも1個の接触ブロックを形成し、
前記接触ブロックが、前記検査対象の端子に並ぶ方向に沿うように、前記定板に着脱自在に固定されてなることを特徴とする電気特性検査用検査器具。An inspection instrument for inspecting electrical characteristics by simultaneously contacting a contact with all terminals to be inspected for electrical characteristics,
A fixed plate and an assembly structure of a plurality of the contacts, and a plurality of contact groups fixed to the fixed plate,
An opening is partially formed at a position near the terminal to be inspected,
The width of the opening is set to about 10 to 30% with respect to the width of the inspection object,
At least a portion of the contact is disposed within the opening;
The plurality of contact groups are connected to a block fixing member to form at least one contact block;
An inspection instrument for electrical property inspection, wherein the contact block is detachably fixed to the fixed plate along a direction in which the contact block is aligned with the terminal to be inspected.
定板と、複数の前記接触子の集合構造物であり、前記定板に固定された複数の接触子群とからなり、
前記検査対象の端子付近の位置に、開口部が部分的に形成され、
前記開口部の幅が、前記検査対象の幅に対して10〜30%程度に設定され、
前記接触子の少なくとも一部が、前記開口部内部に配設され、
前記検査対象のコーナー部付近の接触子群のうちの少なくとも1個が、前記定板の表面から突設された橋状固定部材に固定されることにより、隣接する他の接触子群との干渉が防止されてなる電気特性検査用検査器具。An inspection instrument for inspecting electrical characteristics by simultaneously contacting a contact with all terminals to be inspected for electrical characteristics,
A fixed plate and an assembly structure of a plurality of the contacts, and a plurality of contact groups fixed to the fixed plate,
An opening is partially formed at a position near the terminal to be inspected,
The width of the opening is set to about 10 to 30% with respect to the width of the inspection object,
At least a portion of the contact is disposed within the opening;
At least one of the contact groups near the corner to be inspected is fixed to a bridge-shaped fixing member protruding from the surface of the surface plate, thereby interfering with other adjacent contact groups. Inspection equipment for electrical property inspection that is prevented.
定板と、複数の前記接触子の集合構造物であり、前記定板に固定された複数の接触子群とからなり、
検査対象の端子付近の位置に、開口部が部分的に形成され、
前記開口部の幅が、前記検査対象の幅に対して10〜30%程度に設定され、
前記接触子の少なくとも一部が、前記開口部内部に配設され、
前記複数の接触子群が、ブロック用固定部材に連結されることにより、少なくとも1個の接触ブロックを形成し、
前記接触ブロックが、前記検査対象の端子に並ぶ方向に沿うように、前記定板に着脱自在に固定され、
前記検査対象のコーナー部付近の接触子群のうちの少なくとも1個が、前記定板の表面から突設された橋状固定部材に固定されることにより、隣接する他の接触子群との干渉が防止されてなる電気特性検査用検査器具。An inspection instrument for inspecting electrical characteristics by simultaneously contacting a contact with all terminals to be inspected for electrical characteristics,
A fixed plate and an assembly structure of a plurality of the contacts, and a plurality of contact groups fixed to the fixed plate,
An opening is partially formed at a position near the terminal to be inspected,
The width of the opening is set to about 10 to 30% with respect to the width of the inspection object,
At least a portion of the contact is disposed within the opening;
The plurality of contact groups are connected to a block fixing member to form at least one contact block;
The contact block is detachably fixed to the plate so as to be along the direction in which the terminals to be inspected are aligned,
At least one of the contact groups near the corner to be inspected is fixed to a bridge-shaped fixing member protruding from the surface of the surface plate, thereby interfering with other adjacent contact groups. Inspection equipment for electrical property inspection that is prevented.
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