JP4118989B2 - Magnetic transfer device - Google Patents

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JP4118989B2 JP33059797A JP33059797A JP4118989B2 JP 4118989 B2 JP4118989 B2 JP 4118989B2 JP 33059797 A JP33059797 A JP 33059797A JP 33059797 A JP33059797 A JP 33059797A JP 4118989 B2 JP4118989 B2 JP 4118989B2
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    • G11BINFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B5/00Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
    • G11B5/74Record carriers characterised by the form, e.g. sheet shaped to wrap around a drum
    • G11B5/82Disk carriers
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    • G11B5/86Re-recording, i.e. transcribing information from one magnetisable record carrier on to one or more similar or dissimilar record carriers
    • G11B5/865Re-recording, i.e. transcribing information from one magnetisable record carrier on to one or more similar or dissimilar record carriers by contact "printing"

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  • Magnetic Record Carriers (AREA)

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ハードディスク装置やフロッピーディスク装置に用いられる磁気ディスク媒体をスレーブとして、情報信号を備えたマスターの情報をスレーブに転写する磁気転写装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
現在、代表的な磁気ディスク装置であるハードディスクドライブは、すでに面記録密度が1Gbit/sqinを越える物が商品化され、数年後には10Gbit/sqinの実用化が議論されるほどの急激な技術進歩が認められる。
【0003】
このような高記録密度を可能とした技術的背景には、線記録密度の向上もさることながら、わずか数μmのトラック幅の信号をSN良く再生できる磁気抵抗素子型ヘッドに依るところが大である。
【0004】
さて、ヘッドがこのような狭トラックを正確に走査するためにはヘッドのトラッキングサーボ技術が重要な役割を果たしている。このようなトラッキングサーボ技術を用いた、現在のハードディスクドライブでは、ディスクの1周中、一定の角度間隔でトラッキング用のサーボ信号やアドレス情報信号、再生クロック信号等が記録されている。ドライブ装置は、ヘッドから一定時間間隔で再生されるこれらの信号によりヘッドの位置を検出し修正して、ヘッドが正確にトラック上を走査することを可能にしている。
【0005】
上述したサーボ信号、アドレス情報信号、再生クロック信号等はヘッドが正確にトラック上を走査するための基準信号となるものであるから、その書き込み(以下、フォーマティングと記す)には高い位置決め精度が必要である。現在のハードディスクドライブでは、光干渉を利用した高精度位置検出装置を組み込んだ専用のサーボ装置(以下サーボライタ)を用いて記録ヘッドを位置決めしてフォーマティングが行われている。
【0006】
しかしながら、上記サーボライタによるフォーマティングは以下の課題が存在する。
【0007】
まず第1の課題として、ヘッドを高精度に位置決めしながら多数のトラックにわたって信号を書き込むには多くの時間がかかる。生産性を上げるには多くのサーボライタを同時に稼働させなければならない。そこで第2の課題として、多くのサーボライタの導入、維持管理に多額のコストがかかる。これらの課題はトラック密度が向上しトラック数が多くなるほど深刻である。
【0008】
そこで、フォーマティングをサーボライタではなく、予め全てのサーボ情報が書き込まれたマスタと呼ばれるディスクとフォーマティングすべき磁気ディスクを重ね合わせ外部から転写用のエネルギーを与えることによりマスタの情報を磁気ディスクに一括転写する方式が提案されている。この方式の重要な課題は、マスタとスレーブディスクとをいかにに隙間なく密着させるかである。この課題を解決する方法は、マスタとスレーブディスクの表面粗さやうねりを可能な限り小さくするとともに、マスタとスレーブディスクの間の空気を排出することである。
【0009】
図13は特開平7−78337に示された磁気転写装置である。以下の説明で用いる符号は同公報に記述の物とは異なる符号を付している。同図において、24は弾性体、25は弾性体を押圧するためのアーム、26は転写の磁界を印可する磁極である。同公報によれば、上下のアーム25を矢印の方向に押圧する事により、上下の弾性体24によって挟まれた磁気ディスク1とマスター2を全面的に密着させ、磁気転写を行うとしている。
【0010】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記公報の磁気転写装置においては、弾性体24によって均一な圧力をマスタ2に作用させても、磁気ディスク1とマスタ2の間に空気が閉じこめられ易く、一旦閉じこめられた空気は、排出が困難であり、マスタ2と磁気ディスク1が密着できない。
【0011】
また、アーム25による局部的な押圧力をマスタ2の全面に均一に分散させるためには弾性体の厚さを大きくする必要があり、転写の磁界を印可する磁極26をマスタ1の表面に近づけることができず、十分な磁界が印可できないといった課題を有している。
【0012】
本発明は、従来の磁気転写装置の有する上述した課題を考慮し、マスタとスレーブを密着させたとき、両者が緊密に密着し、転写の信頼性が高い磁気転写装置を提供することを目的とするものである。
【0013】
【課題を解決するための手段】
本発明は、スレーブに密着された状態で磁界が印加されることによって前記スレーブに磁気転写を行う磁性膜、および前記磁性膜が片面に形成された基板を有する1枚または2枚の磁気転写用マスタと、
前記磁気転写用マスタの前記磁性膜が前記スレーブに密着するように前記磁気転写用マスタを押圧する押圧手段と、
前記磁界を前記磁性膜および前記スレーブに印加する磁界印加手段とを備え、
前記磁気転写用マスタのうち少なくとも1つは、前記押圧がない状態では、前記磁性膜が形成された面が前記スレーブに対して凸に湾曲しており、
前記押圧手段が、前記磁気転写用マスタの外縁部のみ、または前記磁気転写用マスタの外縁部と中心部のみを前記スレーブに向かって押圧することにより、前記磁性膜と前記スレーブとを密着させた状態で前記マスタの情報パターンを前記スレーブに磁気転写する、磁気転写装置である。
【0016】
すなわち、上記の磁気転写用マスタまたは磁気転写装置は、マスタとスレーブを密着させる過程で、マスタとスレーブの間の空気が効率的に排出されるものである。
【0017】
【発明の実施の形態】
以下に、本発明の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。ただし、従来例と同一の構成要素には同一の番号を施し、説明を省略する。
【0018】
(第1の実施の形態)
図1〜図5を用いて本発明の第1の実施の形態における磁気転写用マスタおよび磁気転写装置について説明する。図1は、本発明の第1の実施の形態における磁気転写装置の斜視断面図であり、図2〜図5は、本発明の第1の実施の形態における磁気転写装置の動作を説明する断面図である。
【0019】
これらの図において、1はスレーブディスクとしての磁気ディスク、2は磁気ディスク1に磁気パターンを転写するマスタ、3は転写パターンが形成されているマスタ2の転写面、4は磁気ディスク1とマスタ2とのセンタリングを行うためのスピンドル、5はマスタ2、磁気ディスク1の積層体を支持する下フランジ、6は同積層体を押圧する上フランジ、7は押圧力を発生するための重り、8はスピンドル4に勘合して上フランジ6のセンタリングを行うためのセンタリング孔、9は下フランジ5の中心軸、10は中心軸9の軸方向に移動可能なスリーブ、11はスリーブ10の高さを決める高さ決めピン、12はスリーブに取り付けられたベアリング、13はベアリング12を介して中心軸9の回りに回転する回転体、14は回転体13を回転駆動するための駆動ギア、15は回転体13に取り付けられたマグネット、16は下フランジの外周部に設けられ同積層体の外周部を支持する凸部A、17は下フランジの中心部に設けられた同積層体の中心部を支持する凸部B、18は上フランジの外周部に設けられた同積層体の外周部を押圧する凸部C、19は上フランジの中心部に設けられた同積層体の中心部を支持する凸部Dである。
【0020】
この磁気転写装置が磁気ディスク1にマスタのパターンを転写する動作は大きく3段階にわかれており、以下に説明する。
【0021】
まず第1段階について図2を用いて説明する。上下のマスタ2はその転写面3を磁気ディスク1に向け、磁気ディスク1を挟んで積層され、スピンドル4によってセンタリングされている。上フランジ6は下フランジ5の上方に退避しており、同積層体を押圧していない。マスタ2は自然状態では転写面3が凸になるよう湾曲している。したがって、この状態では、上下のマスタ2はそれぞれ磁気ディスク1とその中心部のみが接触している。
【0022】
次に第2段階を図3および図4を用いて説明する。図3に示すように、上フランジ6のセンタリング孔8を下フランジ5のスピンドル4に勘合させ、上フランジ6を下フランジ5に近づけていくと、マスタ2と磁気ディスク1の積層体は、上フランジの凸部C18によって、その外周部が押圧され、上下のマスタ2は次第に平面に近づいてゆく。このとき、マスタ2と磁気ディスク1の接触面は中心部から外周部へと広がっていく。その結果、マスタ2と磁気ディスク1の間の空気は、中心部から外周部へと押し流されながら排出される。図4は上フランジ6が、重り7により同積層体を押圧している状態を示す。この状態では、磁気ディスク1とマスタ2の間の空気は全て排出され、両者は緊密に密着している。また、同積層体は、下フランジ5の凸部A16と上フランジ6の凸部C18により外周部を圧接され、下フランジ5の凸部B17と上フランジ6の凸部D19により内周部を圧接されている。外周部と内周部以外の領域は圧接されていないが、マスタ2が湾曲状態に戻ろうとする弾性反発力により、マスタ2は磁気ディスク1に全領域にわたって密着する。
【0023】
最後に、第3段階を図5を用いて説明する。マスタ2と磁気ディスク1の密着が完了したら、高さ決めピン11によりスリーブ10を持ち上げ、回転体13とともにマグネット15をマスタ2と磁気ディスク1の積層体に近づける。そして、駆動ギアを回転させることにより、回転体13に取り付けられたマグネット15を中心軸9の回りに回転させる。その結果、マスタ2の情報パターンが磁気ディスク1に転写される。
【0024】
次に、マスタ2の構成について説明する。図6は、マスタ2の断面図であり、20は基板、21は転写パターンを形成する磁性膜、22はマスタ2を湾曲させるための応力膜である。基板20の材質は、研磨により表面の高い平坦性を確保するためガラスやシリコンを用いるのが適当である。応力膜22は基板の材質より熱膨張係数の大きな材質の物を用いる。そして、応力膜22をスパッタ等の方法により成膜するとき、基板の温度を常温より上げておく。成膜後、基板20と応力膜22の温度が常温になると、応力膜22の温度膨張係数が大きいため、応力膜22は大きく収縮し、基板20の表面は応力膜22により引っ張られ、図6に示すように応力膜22の側が凹になるようにマスタ2が変形する。
【0025】
さらに、マスタ2を湾曲させるための応力膜22を非磁性の材質とすることにより、磁気ディスク1の磁化を強くできることを以下にしめす。
【0026】
図7は、転写パターンを形成する磁性膜21の近傍に磁性の応力膜22を設けた場合の、磁束の流れを計算して図化したものであり、図8はその応力膜22を非磁性とした場合の磁束の流れを計算して図化した物である。応力膜22が磁性の場合、図7に示すように、ほとんどの磁束が応力膜22の中を流れ、磁性膜21と磁気ディスク1に流れる磁束が弱い。一方、応力膜22を非磁性とした場合、図8に示すように、磁束は転写パターンを形成する磁性膜21の中を流れて磁気ディスク1に流れない部分と、磁気ディスク1にも多く流れる部分とがあり、磁性膜21のパターンに応じて磁気ディスク1が磁化されるのがわかる。このような検討の結果、磁気ディスク1を磁性膜21のパターンに応じて強く磁化するには、マスタ2を湾曲させるための膜は非磁性がよいことがわかる。
【0027】
以上説明したように、本実施の形態によれば、マスタ2と磁気ディスク1の間の空気が溜まることなく排出され両者が緊密に密着する。また、中心部と外周部のみを圧接するだけでよいので、マグネット15を積層体に十分に接近でき、十分強い磁界がマスタ2と磁気ディスク1の積層体に付与できる。さらに、マスタ2を湾曲させる応力膜22を非磁性とすることにより、情報パターンを形成する磁性膜21と磁気ディスクに流れる磁束を強くできる。その結果、転写の信頼性が極めて高くなる。
【0028】
(第2の実施の形態)
図9および図10を用いて、本発明の第2の実施の形態における磁気転写用マスタおよび磁気転写装置について説明する。本実施の形態における磁気転写装置は、磁気転写用マスタに関する点以外は、上述した第1の実施の形態における磁気転写装置と同様である。したがって、本実施の形態において、第1の実施の形態と同様の物については、同一符号を付与し、説明を省略する。また、特に説明のないものについては、第1の実施の形態と同じとする。
【0029】
図9は、本発明の第2の実施の形態における磁気転写用マスタの平面図、図10は同マスタの断面図をしめす。図9および図10において、23は放射状に並ぶ磁性膜21の間に設けられたスリットである。図6に示すように、マスタ2は応力膜22の収縮応力により、応力膜22が成膜された面が凹になるよう湾曲しようとする。しかしながら、円盤がパラボラ状に変形する場合の曲げ剛性は一般的に高く、十分な変形が得られない。そこで、図9に示すようにマスタ2に放射状にスリットを入れることによりパラボラ状に変形する際の曲げ剛性を低下させることができ、十分な変形量を得ることができる。
【0030】
本実施の形態では、マスタ2の湾曲変形を大きくすることができるので、磁気ディスク1とマスタ2とを密着させていく過程での、空気の排出が確実になり両者の密着度合いが高いので転写の信頼性が高い、という効果を有する。
【0031】
また、図11に示すように、磁性膜21が直線状でなく、曲線であり、実質的に螺旋状に配列されている場合は、その間に同じ螺旋状のスリット23を設けても、同様な効果が得られる。
【0032】
(第3の実施の形態)
図12を用いて、本発明の第3の実施の形態における磁気転写用マスタおよび磁気転写装置について説明する。本実施の形態における磁気転写装置も、磁気転写用マスタに関する点以外は、上述した第1の実施の形態における磁気転写装置と同様である。したがって、本実施の形態においても、第1の実施の形態と同様の物については、同一符号を付与し、説明を省略する。また、特に説明のないものについては、第1の実施の形態と同じとする。
【0033】
同磁気転写用マスタにおいては、図12に示すように、マスタ2にx方向に並んだ帯状の応力膜22が成膜されている。応力膜22は、y方向には分断されているので、マスタ2に作用する応力膜22の収縮応力は、y方向は弱くx方向は強くなる。その結果、マスタ2はx方向に曲がる。円盤がパラボラ状に湾曲する場合より、一方向に曲がる場合の方が曲げ剛性が低いので、マスタ2の変形量は大きい。本実施の形態では、一方向ではあるがマスタ2の湾曲変形を大きくすることができるので、磁気ディスク1とマスタ2とを密着させていく過程での、空気の排出が確実になり、両者の密着度合いが高くなるので、転写の信頼性が高くなる、という効果を有する。
【0034】
なお、本発明の応力膜は、上述した第1〜第3の実施の形態においては、磁気転写用マスタの基板のスレーブと対向する面と反対側の面に形成され、前記基板より熱膨張係数の大きな材質のものであるとして説明したが、これに限らず、例えば、前記基板の前記スレーブと対向する面に形成され、前記基板より熱膨張係数の小さな材質のものであってもよい。要するに、自然状態でスレーブに対して凸になるように湾曲するような構成でありさえすればよい。
【0036】
さらに、本発明の磁気転写装置に備えられている磁気転写用マスタは、上述した第1〜第3の実施の形態においては、スレーブの両面に相対するように2枚が備えられており、それぞれがスレーブに対して凸になるように湾曲しているとして説明したが、これに限らず、例えば、スレーブの片面のみに磁気転写を行う場合は、湾曲した磁気転写用マスタ1枚のみが備えられているとしてもよい、また、スレーブの両面に磁気転写を行う場合においては、どちらか一方の磁気転写用マスタのみが湾曲したものであるとしても、従来例に比し、転写の信頼性を高めるという効果はある。
【0037】
また、本発明の押圧手段は、上述した第1〜第3の実施の形態においては、磁気転写用マスタの外縁部と中心部を押圧して磁性膜とスレーブとを密着させるとして説明したが、これに限らず、外縁部のみを押圧して磁性膜とスレーブとを密着させるとしてもよい。
【0038】
【発明の効果】
以上説明したところから明らかなように、本発明は、マスタとスレーブを密着させたとき、両者が緊密に密着し、転写の信頼性が高い磁気転写装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施の形態における磁気転写装置の斜視断面図。
【図2】本発明の第1の実施の形態における磁気転写装置の動作を説明する断面図。
【図3】本発明の第1の実施の形態における磁気転写装置の動作を説明する断面図。
【図4】本発明の第1の実施の形態における磁気転写装置の動作を説明する断面図。
【図5】本発明の第1の実施の形態における磁気転写装置の動作を説明する断面図。
【図6】本発明の第1の実施の形態における磁気転写用マスタの断面図。
【図7】本発明の第1の実施の形態における磁気転写装置の磁束の流れを説明する図。
【図8】本発明の第1の実施の形態における磁気転写装置の磁束の流れを説明する図。
【図9】本発明の第2の実施の形態における磁気転写用マスタの平面図。
【図10】本発明の第2の実施の形態における磁気転写用マスタの斜視断面図。
【図11】本発明の第2の実施の形態における磁気転写用マスタの別の実施例の平面図。
【図12】本発明の第3の実施の形態における磁気転写用マスタの平面図。
【図13】従来の磁気転写装置の構成と動作を説明する図。
【符号の説明】
1 磁気ディスク
2 マスタ
3 転写面
4 スピンドル
5 下フランジ
6 上フランジ
7 重り
8 センタリング孔
9 中心軸
10 スリーブ
11 高さ決めピン
12 ベアリング
13 回転体
14 駆動ギア
15 マグネット
16 凸部A
17 凸部B
18 凸部C
19 凸部D
20 基板
21 磁性膜
22 応力膜
23 スリット
24 弾性体
25 アーム
26 磁極
[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a magnetic transfer device for transferring information of a master having an information signal to a slave using a magnetic disk medium used in a hard disk device or a floppy disk device as a slave.
[0002]
[Prior art]
At present, a hard disk drive, which is a typical magnetic disk device, has already been commercialized with a surface recording density exceeding 1 Gbit / sqin, and in a few years, a rapid technological progress is discussed so that the practical use of 10 Gbit / sqin is discussed. Is recognized.
[0003]
The technical background that enables such a high recording density is largely due to the magnetoresistive element type head that can reproduce a signal having a track width of only a few μm with good SN while improving the linear recording density. .
[0004]
Now, the head tracking servo technology plays an important role in order for the head to accurately scan such narrow tracks. In a current hard disk drive using such tracking servo technology, a tracking servo signal, an address information signal, a reproduction clock signal, and the like are recorded at a constant angular interval during one round of the disk. The drive device detects and corrects the position of the head based on these signals reproduced from the head at regular time intervals, thereby enabling the head to accurately scan the track.
[0005]
Since the servo signal, address information signal, reproduction clock signal, etc. described above serve as reference signals for the head to accurately scan the track, the writing (hereinafter referred to as formatting) has high positioning accuracy. is necessary. In current hard disk drives, formatting is performed by positioning a recording head using a dedicated servo device (hereinafter referred to as a servo writer) incorporating a high-accuracy position detection device using optical interference.
[0006]
However, formatting by the servo writer has the following problems.
[0007]
First, as a first problem, it takes a lot of time to write signals over many tracks while positioning the head with high accuracy. To increase productivity, many servo writers must be operated simultaneously. Therefore, as a second problem, a large amount of cost is required for the introduction and maintenance of many servo writers. These problems become more serious as the track density increases and the number of tracks increases.
[0008]
Therefore, formatting is not performed by a servo writer, but a master disk on which all servo information has been written in advance and a magnetic disk to be formatted are overlapped to give energy for transfer from the outside to the magnetic disk. A batch transfer method has been proposed. An important issue with this method is how to bring the master and slave disks into close contact. A method for solving this problem is to reduce the surface roughness and waviness of the master and slave disks as much as possible and exhaust air between the master and slave disks.
[0009]
FIG. 13 shows a magnetic transfer apparatus disclosed in Japanese Patent Laid-Open No. 7-78337. The reference numerals used in the following description are different from those described in the publication. In the figure, 24 is an elastic body, 25 is an arm for pressing the elastic body, and 26 is a magnetic pole for applying a magnetic field for transfer. According to the publication, the magnetic disk 1 and the master 2 sandwiched between the upper and lower elastic bodies 24 are brought into close contact with each other by pressing the upper and lower arms 25 in the direction of the arrows, and magnetic transfer is performed.
[0010]
[Problems to be solved by the invention]
However, in the magnetic transfer device disclosed in the above publication, even if a uniform pressure is applied to the master 2 by the elastic body 24, air is easily trapped between the magnetic disk 1 and the master 2, and the once trapped air is discharged. The master 2 and the magnetic disk 1 cannot be in close contact with each other.
[0011]
Further, in order to uniformly distribute the local pressing force by the arm 25 over the entire surface of the master 2, it is necessary to increase the thickness of the elastic body, and the magnetic pole 26 that applies the magnetic field for transfer is brought close to the surface of the master 1. Cannot be applied, and a sufficient magnetic field cannot be applied.
[0012]
An object of the present invention is to provide a magnetic transfer device in which when the master and the slave are brought into close contact with each other in consideration of the above-described problems of the conventional magnetic transfer device, both are closely attached and the transfer reliability is high. To do.
[0013]
[Means for Solving the Problems]
The present invention provides a magnetic film for performing magnetic transfer on a slave by applying a magnetic field in close contact with the slave, and one or two sheets for magnetic transfer having a substrate having the magnetic film formed on one side. With the master,
A pressing means for pressing the magnetic transfer master so that the magnetic film of the magnetic transfer master is in close contact with the slave;
Magnetic field applying means for applying the magnetic field to the magnetic film and the slave,
At least one of the masters for magnetic transfer has a surface on which the magnetic film is formed curved in a convex manner with respect to the slave in the absence of the pressure ,
The pressing means presses only the outer edge portion of the magnetic transfer master or only the outer edge portion and the central portion of the magnetic transfer master toward the slave, thereby bringing the magnetic film and the slave into close contact with each other. A magnetic transfer device that magnetically transfers the master information pattern to the slave in a state .
[0016]
That is, the above-described magnetic transfer master or magnetic transfer apparatus efficiently discharges air between the master and slave in the process of bringing the master and slave into close contact.
[0017]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. However, the same components as those in the conventional example are denoted by the same reference numerals and description thereof is omitted.
[0018]
(First embodiment)
A magnetic transfer master and a magnetic transfer apparatus according to the first embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. FIG. 1 is a perspective sectional view of the magnetic transfer apparatus according to the first embodiment of the present invention, and FIGS. 2 to 5 are cross-sectional views for explaining the operation of the magnetic transfer apparatus according to the first embodiment of the present invention. FIG.
[0019]
In these drawings, 1 is a magnetic disk as a slave disk, 2 is a master for transferring a magnetic pattern to the magnetic disk 1, 3 is a transfer surface of a master 2 on which a transfer pattern is formed, and 4 is a magnetic disk 1 and a master 2 5 is a master 2 and a lower flange that supports the laminated body of the magnetic disk 1, 6 is an upper flange that presses the laminated body, 7 is a weight for generating a pressing force, and 8 is A centering hole for fitting the upper flange 6 by fitting with the spindle 4, 9 is a central axis of the lower flange 5, 10 is a sleeve movable in the axial direction of the central axis 9, and 11 determines the height of the sleeve 10. Height determining pin, 12 is a bearing attached to the sleeve, 13 is a rotating body that rotates around the central axis 9 via the bearing 12, and 14 is a rotating body 1. , A drive gear for rotating and driving, 15 a magnet attached to the rotating body 13, 16 a convex portion A provided on the outer peripheral portion of the lower flange and supporting the outer peripheral portion of the laminated body, and 17 a central portion of the lower flange Protrusions B and 18 that support the central part of the same laminate provided on the outer periphery of the upper flange are provided with convex parts C and 19 that press the outer peripheral part of the same laminate provided on the outer periphery of the upper flange. It is the convex part D which supports the center part of the obtained laminated body.
[0020]
The operation of transferring the master pattern onto the magnetic disk 1 by this magnetic transfer apparatus is roughly divided into three stages, which will be described below.
[0021]
First, the first stage will be described with reference to FIG. The upper and lower masters 2 are stacked with the transfer surface 3 facing the magnetic disk 1, sandwiching the magnetic disk 1, and centered by a spindle 4. The upper flange 6 is retracted above the lower flange 5 and does not press the same laminate. The master 2 is curved so that the transfer surface 3 is convex in the natural state. Therefore, in this state, the upper and lower masters 2 are in contact with only the magnetic disk 1 and its central part.
[0022]
Next, the second stage will be described with reference to FIGS. As shown in FIG. 3, when the centering hole 8 of the upper flange 6 is engaged with the spindle 4 of the lower flange 5 and the upper flange 6 is brought closer to the lower flange 5, the laminated body of the master 2 and the magnetic disk 1 is The outer peripheral part is pressed by the convex part C18 of the flange, and the upper and lower masters 2 gradually approach a plane. At this time, the contact surface between the master 2 and the magnetic disk 1 spreads from the center to the outer periphery. As a result, the air between the master 2 and the magnetic disk 1 is discharged while being pushed away from the central portion to the outer peripheral portion. FIG. 4 shows a state in which the upper flange 6 presses the laminated body with the weight 7. In this state, all the air between the magnetic disk 1 and the master 2 is exhausted, and both are in close contact. In addition, the outer peripheral portion of the laminated body is pressed by the convex portion A16 of the lower flange 5 and the convex portion C18 of the upper flange 6, and the inner peripheral portion is press-contacted by the convex portion B17 of the lower flange 5 and the convex portion D19 of the upper flange 6. Has been. The areas other than the outer peripheral part and the inner peripheral part are not in pressure contact, but the master 2 is in close contact with the magnetic disk 1 over the entire area due to the elastic repulsive force of the master 2 returning to the curved state.
[0023]
Finally, the third stage will be described with reference to FIG. When the close contact between the master 2 and the magnetic disk 1 is completed, the sleeve 10 is lifted by the height determining pin 11, and the magnet 15 is brought close to the laminated body of the master 2 and the magnetic disk 1 together with the rotating body 13. And the magnet 15 attached to the rotary body 13 is rotated around the central axis 9 by rotating the drive gear. As a result, the information pattern of the master 2 is transferred to the magnetic disk 1.
[0024]
Next, the configuration of the master 2 will be described. FIG. 6 is a cross-sectional view of the master 2, 20 is a substrate, 21 is a magnetic film for forming a transfer pattern, and 22 is a stress film for curving the master 2. As the material of the substrate 20, it is appropriate to use glass or silicon in order to ensure high flatness of the surface by polishing. The stress film 22 is made of a material having a thermal expansion coefficient larger than that of the substrate. Then, when the stress film 22 is formed by sputtering or the like, the temperature of the substrate is raised from room temperature. After the film formation, when the temperature of the substrate 20 and the stress film 22 reaches a normal temperature, the stress film 22 contracts greatly because the temperature expansion coefficient of the stress film 22 is large, and the surface of the substrate 20 is pulled by the stress film 22. The master 2 is deformed so that the stress film 22 side is concave as shown in FIG.
[0025]
Further, it will be described below that the magnetization of the magnetic disk 1 can be strengthened by using a non-magnetic material for the stress film 22 for bending the master 2.
[0026]
FIG. 7 illustrates the flow of magnetic flux when a magnetic stress film 22 is provided in the vicinity of the magnetic film 21 forming the transfer pattern, and FIG. 8 illustrates the stress film 22 as non-magnetic. In this case, the flow of magnetic flux is calculated and illustrated. When the stress film 22 is magnetic, as shown in FIG. 7, most of the magnetic flux flows through the stress film 22 and the magnetic flux flowing through the magnetic film 21 and the magnetic disk 1 is weak. On the other hand, when the stress film 22 is non-magnetic, as shown in FIG. 8, the magnetic flux flows through the magnetic film 21 forming the transfer pattern and does not flow to the magnetic disk 1, and also flows to the magnetic disk 1. It can be seen that the magnetic disk 1 is magnetized according to the pattern of the magnetic film 21. As a result of such a study, it can be seen that the film for bending the master 2 is preferably non-magnetic to strongly magnetize the magnetic disk 1 in accordance with the pattern of the magnetic film 21.
[0027]
As described above, according to the present embodiment, the air between the master 2 and the magnetic disk 1 is discharged without accumulating, and the both closely contact each other. Further, since only the central portion and the outer peripheral portion need only be pressed, the magnet 15 can be sufficiently close to the laminated body, and a sufficiently strong magnetic field can be applied to the laminated body of the master 2 and the magnetic disk 1. Further, by making the stress film 22 that bends the master 2 non-magnetic, the magnetic film 21 that forms the information pattern and the magnetic flux flowing through the magnetic disk can be strengthened. As a result, the transfer reliability becomes extremely high.
[0028]
(Second Embodiment)
A magnetic transfer master and a magnetic transfer apparatus according to the second embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. The magnetic transfer apparatus according to the present embodiment is the same as the magnetic transfer apparatus according to the first embodiment described above, except for the point relating to the magnetic transfer master. Therefore, in this embodiment, the same reference numerals are given to the same components as those in the first embodiment, and the description thereof is omitted. In addition, those not specifically described are the same as those in the first embodiment.
[0029]
FIG. 9 is a plan view of a magnetic transfer master according to the second embodiment of the present invention, and FIG. 10 is a sectional view of the master. 9 and 10, reference numeral 23 denotes a slit provided between the magnetic films 21 arranged radially. As shown in FIG. 6, the master 2 tends to bend due to the contraction stress of the stress film 22 so that the surface on which the stress film 22 is formed becomes concave. However, the bending rigidity when the disk is deformed in a parabolic shape is generally high, and sufficient deformation cannot be obtained. Therefore, as shown in FIG. 9, the bending rigidity at the time of deforming into a parabolic shape can be reduced by slitting the master 2 radially, and a sufficient amount of deformation can be obtained.
[0030]
In the present embodiment, since the bending deformation of the master 2 can be increased, air is reliably discharged in the process of bringing the magnetic disk 1 and the master 2 into close contact with each other, so that the degree of close contact between the two is high. Has the effect of high reliability.
[0031]
In addition, as shown in FIG. 11, when the magnetic film 21 is not a straight line but a curved line and is arranged in a substantially spiral shape, the same spiral slit 23 may be provided between the magnetic films 21. An effect is obtained.
[0032]
(Third embodiment)
A magnetic transfer master and a magnetic transfer apparatus according to the third embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. The magnetic transfer apparatus according to the present embodiment is the same as the magnetic transfer apparatus according to the first embodiment described above, except for the point relating to the magnetic transfer master. Therefore, also in the present embodiment, the same reference numerals are given to the same components as those in the first embodiment, and description thereof is omitted. In addition, those not specifically described are the same as those in the first embodiment.
[0033]
In the same master for magnetic transfer, as shown in FIG. 12, a belt-like stress film 22 arranged in the x direction is formed on the master 2. Since the stress film 22 is divided in the y direction, the contraction stress of the stress film 22 acting on the master 2 is weak in the y direction and strong in the x direction. As a result, the master 2 bends in the x direction. Since the bending rigidity is lower when the disk is bent in one direction than when the disk is bent in a parabolic shape, the amount of deformation of the master 2 is large. In this embodiment, although the bending deformation of the master 2 can be increased in one direction, air is reliably discharged in the process of bringing the magnetic disk 1 and the master 2 into close contact with each other. Since the degree of adhesion is increased, the transfer reliability is improved.
[0034]
In the first to third embodiments described above, the stress film of the present invention is formed on the surface opposite to the surface facing the slave of the substrate of the magnetic transfer master, and the thermal expansion coefficient from the substrate. However, the present invention is not limited to this. For example, the substrate may be formed of a material having a smaller thermal expansion coefficient than that of the substrate. In short, it suffices to have a configuration that is curved so as to be convex with respect to the slave in a natural state .
[0036]
Furthermore, in the first to third embodiments described above, the magnetic transfer master provided in the magnetic transfer apparatus of the present invention is provided with two pieces so as to face both sides of the slave, However, the present invention is not limited to this. For example, when magnetic transfer is performed only on one side of the slave, only one curved magnetic transfer master is provided. In addition, when performing magnetic transfer on both sides of the slave, even if only one of the magnetic transfer masters is curved, the transfer reliability is improved compared to the conventional example. There is an effect.
[0037]
In the first to third embodiments described above, the pressing means of the present invention has been described as pressing the outer edge and the center of the magnetic transfer master to bring the magnetic film and the slave into close contact with each other. However, the magnetic film and the slave may be brought into close contact with each other by pressing only the outer edge portion.
[0038]
【The invention's effect】
As is apparent from the above description, the present invention can provide a magnetic transfer device with high transfer reliability when the master and slave are in close contact with each other.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a perspective sectional view of a magnetic transfer device according to a first embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a cross-sectional view illustrating the operation of the magnetic transfer apparatus according to the first embodiment of the invention.
FIG. 3 is a sectional view for explaining the operation of the magnetic transfer apparatus according to the first embodiment of the invention.
FIG. 4 is a sectional view for explaining the operation of the magnetic transfer apparatus according to the first embodiment of the invention.
FIG. 5 is a cross-sectional view illustrating the operation of the magnetic transfer apparatus according to the first embodiment of the invention.
FIG. 6 is a sectional view of the magnetic transfer master according to the first embodiment of the invention.
FIG. 7 is a diagram for explaining the flow of magnetic flux in the magnetic transfer apparatus according to the first embodiment of the invention.
FIG. 8 is a diagram for explaining the flow of magnetic flux in the magnetic transfer apparatus according to the first embodiment of the present invention.
FIG. 9 is a plan view of a magnetic transfer master according to a second embodiment of the present invention.
FIG. 10 is a perspective sectional view of a magnetic transfer master according to a second embodiment of the present invention.
FIG. 11 is a plan view of another example of the magnetic transfer master according to the second embodiment of the invention.
FIG. 12 is a plan view of a magnetic transfer master according to a third embodiment of the present invention.
FIG. 13 is a diagram illustrating the configuration and operation of a conventional magnetic transfer apparatus.
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Magnetic disk 2 Master 3 Transfer surface 4 Spindle 5 Lower flange 6 Upper flange 7 Weight 8 Centering hole 9 Center shaft 10 Sleeve 11 Height determining pin 12 Bearing 13 Rotating body 14 Drive gear 15 Magnet 16 Protrusion A
17 Convex B
18 Convex part C
19 Convex D
20 Substrate 21 Magnetic film 22 Stress film 23 Slit 24 Elastic body 25 Arm 26 Magnetic pole

Claims (1)

スレーブに密着された状態で磁界が印加されることによって前記スレーブに磁気転写を行う磁性膜、および前記磁性膜が片面に形成された基板を有する1枚または2枚の磁気転写用マスタと、
前記磁気転写用マスタの前記磁性膜が前記スレーブに密着するように前記磁気転写用マスタを押圧する押圧手段と、
前記磁界を前記磁性膜および前記スレーブに印加する磁界印加手段とを備え、
前記磁気転写用マスタのうち少なくとも1つは、前記押圧がない状態では、前記磁性膜が形成された面が前記スレーブに対して凸に湾曲しており、
前記押圧手段が、前記磁気転写用マスタの外縁部のみ、または前記磁気転写用マスタの外縁部と中心部のみを前記スレーブに向かって押圧することにより、前記磁性膜と前記スレーブとを密着させた状態で前記マスタの情報パターンを前記スレーブに磁気転写する、磁気転写装置。
A magnetic film that performs magnetic transfer to the slave by applying a magnetic field in close contact with the slave, and one or two magnetic transfer masters having a substrate on which the magnetic film is formed on one side;
A pressing means for pressing the magnetic transfer master so that the magnetic film of the magnetic transfer master is in close contact with the slave;
Magnetic field applying means for applying the magnetic field to the magnetic film and the slave,
At least one of the masters for magnetic transfer has a surface on which the magnetic film is formed curved in a convex manner with respect to the slave in the absence of the pressure ,
The pressing means presses only the outer edge portion of the magnetic transfer master or only the outer edge portion and the central portion of the magnetic transfer master toward the slave, thereby bringing the magnetic film and the slave into close contact with each other. A magnetic transfer device that magnetically transfers the master information pattern to the slave in a state .
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