JP4110107B2 - Optical fiber tip lens processing method and processing apparatus - Google Patents

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Description

本発明は、光ファイバの先端を研磨して楔形に加工する光ファイバ先端レンズ加工方法及び加工装置に関し、更に詳しくは、例えば光通信やコンピュータネットワーク構成の分野において、光源用半導体ダイオードから射出される光または変調用発光ダイオードから射出される光を効率よく光ファイバに注入し得るように光ファイバの先端を研磨して球面レンズや複焦点レンズレンズに加工する光ファイバ先端レンズ加工方法及び加工装置に関するものである。   The present invention relates to an optical fiber tip lens processing method and processing device that polishes the tip of an optical fiber into a wedge shape, and more specifically, is emitted from a semiconductor diode for a light source, for example, in the field of optical communication or computer network configuration. BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an optical fiber tip lens processing method and processing device that polishes the tip of an optical fiber and processes it into a spherical lens or a bifocal lens so that light or light emitted from a modulation light emitting diode can be efficiently injected into the optical fiber Is.

近年、通信のブロードバンド化に対応して、光通信網の波長多重化が急速にすすめられ、これにともない光ファイバ増幅が不可欠の技術となっている。   In recent years, wavelength multiplexing of optical communication networks has been promoted rapidly in response to broadband communication, and optical fiber amplification has become an indispensable technology.

光ファイバ増幅の励起光源としては、半導体レーザが広く用いられている。半導体レーザの射出する光ビームは半導体レーザの構造に応じて固有の広がり角を持っており、その光ビームを効率よく光ファイバに導入するためには、その広がり角に対応したレンズ系が必要である。   Semiconductor lasers are widely used as pumping light sources for optical fiber amplification. The light beam emitted by a semiconductor laser has a unique divergence angle depending on the structure of the semiconductor laser. In order to efficiently introduce the light beam into an optical fiber, a lens system corresponding to the divergence angle is required. is there.

現在多く用いられているエルビウム添加光ファイバ増幅器では、波長1.48μm帯用のInP(インジウム燐)系半導体レーザと波長0.98μm帯用のGaAs(ガリウムひ素)系半導体レーザの2種類が用いられている。   Currently, two types of erbium-doped fiber amplifiers are used: InP (indium phosphorous) semiconductor lasers for the wavelength of 1.48 μm and GaAs (gallium arsenide) semiconductor lasers for the wavelength of 0.98 μm. .

前者(InP系半導体レーザ)の光ビームの断面形状はほぼ円形に近いので、球面レンズ系が必要である。   Since the cross-sectional shape of the former (InP semiconductor laser) light beam is almost circular, a spherical lens system is necessary.

一方後者(GaAs系半導体レーザ)の光ビームの広がり角は、図9に示すように直交方向(上下・左右方向)で異なるので、これを効率よく光ファイバに導入するためには、その広がり角に対応して直交方向に異なる受光角をもったレンズ系(すなわち複焦点レンズ系)が必要である。   On the other hand, the divergence angle of the light beam of the latter (GaAs-based semiconductor laser) differs in the orthogonal direction (vertical and horizontal directions) as shown in FIG. Therefore, a lens system (that is, a bifocal lens system) having different light receiving angles in the orthogonal direction is required.

これらの球面レンズ系または複焦点レンズ系を光ファイバの先端に光ファイバと一体で形成することができれば増幅器のコンパクト化、組立の簡易化を実現するうえで極めて有効である。   If such a spherical lens system or a bifocal lens system can be formed integrally with the optical fiber at the tip of the optical fiber, it is extremely effective in realizing a compact and easy assembly of the amplifier.

球面レンズ系が一体となった光ファイバを一般に先球ファイバと呼び、その光ファイバ端面は円錐状に加工され、さらにその先端は球面が形成されている。   An optical fiber in which a spherical lens system is integrated is generally referred to as a tip-spherical fiber. The end face of the optical fiber is processed into a conical shape, and a spherical surface is formed at the tip.

一方で、複焦点レンズ系が一体となった光ファイバの先端は、図10に示すようになっている。正面図は光ファイバ先端の複焦点レンズ形状を等高線で表している。その側面Aは先端面の曲率半径が大きく、側面Bは先端面の曲率半径が極めて小さい。このように、光ファイバの先端の直交方向に曲率半径が異なるようにレンズ面を形成することによって複焦点レンズが得られる。   On the other hand, the tip of the optical fiber with which the multifocal lens system is integrated is as shown in FIG. The front view represents the shape of the bifocal lens at the tip of the optical fiber with contour lines. The side surface A has a large radius of curvature of the tip surface, and the side surface B has a very small radius of curvature of the tip surface. Thus, a multifocal lens can be obtained by forming the lens surface so that the radius of curvature differs in the orthogonal direction of the tip of the optical fiber.

従来、光ファイバの先端にレンズ系を形成する第1の加工方法として、図11に示すように、研磨材を塗布した回転円板にファイバ先端を押し当て、その押し当てる角度やファイバ中心軸回りの回転角、及び各状態での研磨時間を連続的に制御し、その研磨されたファイバ先端が球面レンズ面や複焦点レンズ面となるような方法がある。   Conventionally, as a first processing method for forming a lens system at the tip of an optical fiber, as shown in FIG. 11, the tip of the fiber is pressed against a rotating disk coated with an abrasive, and the pressing angle or around the fiber center axis. There is a method in which the rotation angle and the polishing time in each state are continuously controlled so that the polished fiber tip becomes a spherical lens surface or a bifocal lens surface.

また、光ファイバ先端に円筒レンズ加工する第2の加工方法を行うため、図12に示す加工装置が用いられてきた。   Moreover, in order to perform the 2nd processing method which processes a cylindrical lens to the optical fiber front-end | tip, the processing apparatus shown in FIG. 12 has been used.

1は光ファイバ、4は光ファイバ1を保持する保持部、5は例えばアルミナ微粒子の塗布された研磨シートからなる研磨面、6は研磨プレート、7は保持部4を搭載し研磨面5と直角方向に移動させるz送り機構で、8はz送り機構7を搭載し光ファイバ1を研磨面5と平行方向に移動させるためのx送り機構である。   1 is an optical fiber, 4 is a holding unit for holding the optical fiber 1, 5 is a polishing surface made of a polishing sheet coated with alumina fine particles, 6 is a polishing plate, 7 is mounted with a holding unit 4 and is perpendicular to the polishing surface 5 Reference numeral 8 denotes a z-feed mechanism that moves in the direction. Reference numeral 8 denotes an x-feed mechanism that carries the z-feed mechanism 7 and moves the optical fiber 1 in a direction parallel to the polishing surface 5.

この装置を用いた加工においては、先ず、光ファイバ1を長さl突き出して保持部4に保持する。ここでz送り機構7によって保持部4を押し下げ、保持部4の先端と研磨面5の距離Hをlよりも小さくなるように設定する。x送り機構8を用いて光ファイバ1を研磨プレート6の一方の斜面A側より水平に移動させ、光ファイバ1の先端を研磨面5の斜面Aに徐々に押しあてて撓ませ、さらに水平移動させて平坦部を摺動させる。このとき研磨面5と保持部4の距離Hは光ファイバ1の突出し長さlよりも小さいので、光ファイバ1は撓み、その先端は研磨面5と接触角度θを成し、先端には撓みによる反力Fが生ずる。この状態でさらにx送り機構8を進めて光ファイバ1の先端を研磨面5と摺動させることにより、先端の片側が斜めに研磨され、くさび形の片側斜面が徐々に形成される。光ファイバ1をさらに平行移動させ、その先端がもう一方の斜面Bにくると光ファイバ1の撓みは徐々に開放され、それにともなって光ファイバ1と研磨面5の接触点(すなわち研磨部分)は徐々に先端中心部へ移り、くさび形先端は曲面状に研磨される。さらに平行移動して保持部4と研磨面5の距離が光ファイバLを超えると光ファイバ1の先端は研磨面5から離れる。そこで進行方向を逆転して同様な工程で光ファイバ1の先端の対称な面を研磨する。   In processing using this apparatus, first, the optical fiber 1 is protruded by a length l and held by the holding unit 4. Here, the holding unit 4 is pushed down by the z feed mechanism 7 and the distance H between the tip of the holding unit 4 and the polishing surface 5 is set to be smaller than l. The optical fiber 1 is moved horizontally from one inclined surface A side of the polishing plate 6 using the x feed mechanism 8, and the tip of the optical fiber 1 is gradually pressed against the inclined surface A of the polishing surface 5 to be bent, and further moved horizontally. And slide the flat part. At this time, since the distance H between the polishing surface 5 and the holding portion 4 is smaller than the protruding length l of the optical fiber 1, the optical fiber 1 bends, its tip forms a contact angle θ with the polishing surface 5, and the tip is bent. Reaction force F due to In this state, the x feed mechanism 8 is further advanced to slide the tip of the optical fiber 1 with the polishing surface 5, whereby one side of the tip is polished obliquely, and a wedge-shaped one side slope is gradually formed. When the optical fiber 1 is further translated and the tip of the optical fiber 1 comes to the other slope B, the bending of the optical fiber 1 is gradually released, and the contact point between the optical fiber 1 and the polishing surface 5 (that is, the polishing portion) is accordingly increased. Gradually move to the center of the tip, and the wedge-shaped tip is polished into a curved surface. When the distance between the holding unit 4 and the polishing surface 5 exceeds the optical fiber L by further parallel movement, the tip of the optical fiber 1 moves away from the polishing surface 5. Therefore, the traveling direction is reversed and the symmetrical surface at the tip of the optical fiber 1 is polished in the same process.

この往復工程を数十回繰り返すことにより、頂角2θのくさび形の先端に円筒形のレンズを形成することができる。この方法は、光ファイバの素材が均質で撓みの再現性がよく、光ファイバ1の先端を交互かつ微量に逐次研磨を繰り返すものであるから、簡単な加工装置で光ファイバ先端に円筒レンズを形成できる。
特願2002−121314号公報 特願2002−145298号公報
By repeating this reciprocating process several tens of times, a cylindrical lens can be formed at the wedge-shaped tip of apex angle 2θ. In this method, the material of the optical fiber is homogeneous and the reproducibility of bending is good, and the tip of the optical fiber 1 is alternately and repeatedly polished in small amounts, so a cylindrical lens is formed at the tip of the optical fiber with a simple processing device. it can.
Japanese Patent Application No. 2002-121314 Japanese Patent Application No. 2002-145298

しかしながら、上述した従来の第1の加工方法では、ファイバの回転角度や押し当て角は精密な制御が必要であるため、複雑な送り・回転機構と極めて熟練した技能がもとめられ、生産性が劣り、コストが高いという問題があった。   However, the conventional first processing method described above requires precise control of the rotation angle and pressing angle of the fiber, which requires a complicated feed / rotation mechanism and extremely skilled skills, resulting in poor productivity. There was a problem that the cost was high.

上述した従来の第2の加工方法では、研磨工程は1軸方向の往復運動であるから、単一焦点の円筒レンズしか形成できないという問題点があった。   In the conventional second processing method described above, the polishing step is a reciprocating motion in one axial direction, so that there is a problem that only a single-focus cylindrical lens can be formed.

本発明は、上記に鑑みてなされたもので、その目的とするところは、光ファイバの均質で再現性の良い撓みを利用し、光ファイバ先端に微量の逐次研磨加工を繰り返すことで、精度の良いレンズ加工が簡単に出来る従来の第2の加工方法の特徴を生かしつつ、光源の広がり角に合わせて、光ファイバ先端の曲面形成を制御し、球面レンズ系や複焦点レンズ系を形成することにより、レンズ系一体形の光ファイバを高精度で生産性よく加工できる光ファイバ先端レンズ加工方法及び加工装置を提供することにある。   The present invention has been made in view of the above, and an object of the present invention is to use a uniform and highly reproducible bending of an optical fiber and repeat a small amount of sequential polishing processing on the tip of the optical fiber, thereby improving accuracy. Forming a spherical lens system or a bifocal lens system by controlling the formation of the curved surface at the tip of the optical fiber according to the divergence angle of the light source while taking advantage of the characteristics of the second conventional processing method that allows easy lens processing. Accordingly, it is an object of the present invention to provide an optical fiber tip lens processing method and processing apparatus capable of processing a lens system integrated optical fiber with high accuracy and high productivity.

上記目的を達成するために、請求項の本発明は、光ファイバの先端を所定の長さ突き出して保持手段にて保持し、該保持された光ファイバの先端を研磨面で研磨してレンズ系を形成する光ファイバ先端レンズ加工方法において、前記先端が前記研磨面に押し当てられて前記光ファイバが撓み且つ当該先端が当該研磨面に対し斜めに接触した状態で当該先端が当該研磨面上で閉ループ状または開ループ状の軌跡を形成して摺動するように前記保持手段及び/又は前記研磨面を相対移動させる第1相対移動工程と、前記先端が前記研磨面に対し斜めに接触した状態を維持しながら前記保持手段及び/または前記研磨面を互いの距離が変化するように相対移動させる第2相対移動工程とを設けたことを特徴とする光ファイバ先端レンズ加工方法をもって解決手段とする。 In order to achieve the above object, according to the present invention of claim 1 , the tip of the optical fiber protrudes by a predetermined length and is held by holding means, and the tip of the held optical fiber is polished by a polishing surface to form a lens. In the optical fiber tip lens processing method for forming a system, the tip is pressed on the polishing surface in a state where the tip is pressed against the polishing surface, the optical fiber is bent, and the tip is in contact with the polishing surface obliquely. A first relative movement step of relatively moving the holding means and / or the polishing surface so as to slide while forming a closed loop or open loop locus, and the tip is in contact with the polishing surface obliquely And a second relative movement step of relatively moving the holding means and / or the polishing surface so as to change the mutual distance while maintaining the state. The solution means me.

請求項の本発明は、前記第2相対移動工程は、前記距離を増加させることを特徴とする請求項記載の光ファイバ先端レンズ加工方法をもって解決手段とする。 According to a second aspect of the present invention, there is provided the optical fiber tip lens processing method according to the first aspect, wherein the second relative movement step increases the distance.

請求項の本発明は、前記第2相対移動工程は、前記距離を複数回設定する工程制御を行い、前記第1相対移動工程は、前記距離の設定回ごとに楕円状の軌跡を1回以上形成することを特徴とする請求項記載の光ファイバ先端レンズ加工方法をもって解決手段とする。 In the third aspect of the present invention, the second relative movement step performs process control for setting the distance a plurality of times, and the first relative movement step performs an elliptical locus once for each set distance. The optical fiber tip lens processing method according to claim 2 is formed as described above.

請求項の本発明は、前記第2相対移動工程は、前記距離を複数回設定する工程制御を行い、前記第1相対移動工程は、前記距離の設定回ごとに、前記保持手段及び/又は前記研磨面を3次元のループ状に相対移動させることを特徴とする請求項記載の光ファイバ先端レンズ加工方法をもって解決手段とする。 According to a fourth aspect of the present invention, the second relative movement step performs step control for setting the distance a plurality of times, and the first relative movement step includes the holding means and / or the setting step for each set number of the distances. 3. The optical fiber tip lens processing method according to claim 2, wherein the polishing surface is relatively moved in a three-dimensional loop shape.

請求項の本発明は、前記研磨面は高低差を有し、前記第2相対移動工程は、前記距離を複数回設定する工程制御を行うことを特徴とする請求項記載の光ファイバ先端レンズ加工方法をもって解決手段とする。 The present invention of claim 5, wherein the polishing surface has a height difference, the second relative movement step, the optical fiber tip according to claim 4, characterized in that the process control for setting a plurality of times said distance A lens processing method is used as a solution.

請求項の本発明は、前記研磨面は山型または谷型に構成され、前記第2相対移動工程は、前記距離を複数回設定する工程制御を行うことを特徴とする請求項記載の光ファイバ先端レンズ加工方法をもって解決手段とする。 The present invention of claim 6, wherein the polishing surface is configured in a mountain-type or valley, the second relative movement step, according to claim 4, wherein the performing step control for setting a plurality of times said distance An optical fiber tip lens processing method is used as a solution.

請求項の本発明は、前記第2相対移動工程は、前記距離を複数回設定する工程制御を行い、前記第1相対移動工程は、前記距離の設定回ごとに8の字状の軌跡を1回以上形成することを特徴とする請求項記載の光ファイバ先端レンズ加工方法をもって解決手段とする。 In the seventh aspect of the present invention, the second relative movement step performs process control for setting the distance a plurality of times, and the first relative movement step includes an 8-shaped trajectory for each set distance. The optical fiber tip lens processing method according to claim 2, wherein the solution is formed at least once.

請求項の本発明は、前記第1相対移動工程と前記第2相対移動工程とを並行して行うことにより前記先端が渦巻き状の軌跡を形成することを特徴とする請求項記載の光ファイバ先端レンズ加工方法をもって解決手段とする。 The present invention of claim 8, light according to claim 1, wherein said tip by performing in parallel with the first relative movement step and said second relative movement step of forming a spiral path A fiber tip lens processing method is used as a solution.

請求項の本発明は、光ファイバの先端を所定の長さ突き出して保持手段にて保持し、該保持された光ファイバの先端を研磨面で研磨してレンズ系を形成する光ファイバ先端レンズ加工装置において、前記先端が前記研磨面に押し当てられて前記光ファイバが撓み且つ当該先端が当該研磨面に対し斜めに接触した状態で当該先端が当該研磨面上で閉ループ状または開ループ状の軌跡を形成して摺動するように前記保持手段及び/又は前記研磨面を相対移動させる第1相対移動手段と、前記先端が前記研磨面に対し斜めに接触した状態を維持しながら前記保持手段及び/または前記研磨面を互いの距離が変化するように相対移動させる第2相対移動手段とを設けたことを特徴とする光ファイバ先端レンズ加工装置をもって解決手段とする。 According to the ninth aspect of the present invention, there is provided an optical fiber tip lens in which a tip end of an optical fiber is protruded by a predetermined length and held by holding means, and the tip end of the held optical fiber is polished by a polishing surface to form a lens system. In the processing apparatus, the tip is pressed against the polishing surface, the optical fiber is bent, and the tip is in a closed loop shape or an open loop shape on the polishing surface in a state where the tip is in contact with the polishing surface at an angle. A first relative moving means for relatively moving the holding means and / or the polishing surface so as to slide along a locus; and the holding means while maintaining a state where the tip is in contact with the polishing surface at an angle. And / or a second relative movement means for relatively moving the polished surfaces so that the distance between them is changed.

請求項10の本発明は、前記第2相対移動手段は、前記距離を増加させることを特徴とする請求項記載の光ファイバ先端レンズ加工装置をもって解決手段とする。 The tenth aspect of the present invention provides the optical fiber tip lens processing apparatus according to the ninth aspect, wherein the second relative movement means increases the distance.

請求項11の本発明は、前記第2相対移動手段は、前記距離を複数回設定する工程制御を行い、前記第1相対移動手段は、前記距離の設定回ごとに楕円状の軌跡を1回以上形成することを特徴とする請求項10記載の光ファイバ先端レンズ加工装置をもって解決手段とする。 In the eleventh aspect of the present invention, the second relative movement unit performs a process control of setting the distance a plurality of times, and the first relative movement unit performs an elliptical trajectory once for each set time of the distance. The optical fiber tip lens processing apparatus according to claim 10 is formed as described above.

請求項12の本発明は、前記第2相対移動手段は、前記距離を複数回設定する工程制御を行い、前記第1相対移動手段は、前記距離の設定回ごとに、前記保持手段及び/又は前記研磨面を3次元のループ状に相対移動させることを特徴とする請求項10記載の光ファイバ先端レンズ加工装置をもって解決手段とする。 In the twelfth aspect of the present invention, the second relative movement unit performs a process control of setting the distance a plurality of times, and the first relative movement unit performs the holding unit and / or the setting unit every time the distance is set. 11. The optical fiber tip lens processing apparatus according to claim 10, wherein the polishing surface is relatively moved in a three-dimensional loop shape.

請求項13の本発明は、前記研磨面は高低差を有し、前記第2相対移動手段は、前記距離を複数回設定する工程制御を行うことを特徴とする請求項12記載の光ファイバ先端レンズ加工装置をもって解決手段とする。 The present invention of claim 13, wherein the polishing surface has a height difference, the second relative moving means, the optical fiber tip of claim 12, wherein the performing step control for setting a plurality of times said distance A lens processing apparatus is used as a solution.

請求項14の本発明は、前記研磨面は山型または谷型に構成され、前記第2相対移動手段は、前記距離を複数回設定する工程制御を行うことを特徴とする請求項12記載の光ファイバ先端レンズ加工装置をもって解決手段とする。 The present invention of claim 14, wherein the polishing surface is configured in a mountain-type or valley, the second relative moving means of claim 12, wherein the performing step control for setting a plurality of times said distance An optical fiber tip lens processing apparatus is used as a solution.

請求項15の本発明は、前記第2相対移動手段は、前記距離を複数回設定する工程制御を行い、前記第1相対移動手段は、前記距離の設定回ごとに8の字状の軌跡を1回以上形成することを特徴とする請求項10記載の光ファイバ先端レンズ加工装置をもって解決手段とする。 According to a fifteenth aspect of the present invention, the second relative movement unit performs a process control for setting the distance a plurality of times, and the first relative movement unit displays an 8-shaped trajectory for each set time of the distance. 11. The optical fiber tip lens processing apparatus according to claim 10, wherein the solution is formed at least once.

請求項16の本発明は、前記第1相対移動手段と前記第2相対移動手段とが協働することにより前記先端が渦巻き状の軌跡を形成することを特徴とする請求項記載の光ファイバ先端レンズ加工装置をもって解決手段とする。 According to a sixteenth aspect of the present invention, in the optical fiber according to the ninth aspect, the tip forms a spiral trajectory by the cooperation of the first relative moving means and the second relative moving means. The tip lens processing device is used as the solution.

以上説明したように、本発明によれば、先端が研磨面に押し当てられて光ファイバが撓み且つ先端が研磨面に対し斜めに接触した状態で先端が研磨面上で閉ループ状または開ループ状の軌跡を形成して摺動するように保持手段及び/又は研磨面を相対移動させることで、加工のための機構が簡潔で制御も簡単になり、かつ精度の良い球面レンズ系や複焦点レンズ系を有する光ファイバを能率的に得ることができる。その結果、製造コストを大幅に低下させることが出来る。   As described above, according to the present invention, the tip is pressed against the polishing surface, the optical fiber is bent, and the tip is in a closed loop shape or an open loop shape on the polishing surface in a state where the tip is in contact with the polishing surface obliquely. The holding means and / or the polishing surface are moved relative to each other so as to slide and form a locus, thereby making the processing mechanism simple and easy to control, and a highly accurate spherical lens system and multifocal lens. An optical fiber having a system can be obtained efficiently. As a result, the manufacturing cost can be greatly reduced.

また、先端が研磨面に対し斜めに接触した状態を維持しながら保持手段及び/または研磨面を互いの距離が変化するように相対移動させることでも同様の効果が得られる。   Further, the same effect can be obtained by moving the holding means and / or the polishing surface relative to each other so that the distance between them changes while maintaining the state where the tip is in contact with the polishing surface at an angle.

また、楕円状の軌跡を形成することで、研磨方向によって研磨量を異ならせることができ、よって、曲率半径の異なる複焦点レンズ系を能率的に得ることができる。   In addition, by forming an elliptical locus, it is possible to vary the amount of polishing depending on the polishing direction, and thus it is possible to efficiently obtain a multifocal lens system having a different radius of curvature.

また、保持手段及び/又は研磨面を3次元のループ状に相対移動させることで、複焦点レンズ系を一層能率的に得ることができる。   In addition, the multifocal lens system can be obtained more efficiently by relatively moving the holding means and / or the polishing surface in a three-dimensional loop shape.

また、研磨面に高低差を持たせる、例えば、山型または谷型に構成することで、保持手段及び/又は研磨面を3次元のループ状に相対移動させることをせずに複焦点レンズ系を得ることができる。なお、研磨面を鞍馬型のようにしてもよい。   Further, by providing the polished surface with a height difference, for example, by forming a mountain shape or a valley shape, the multifocal lens system does not relatively move the holding means and / or the polished surface in a three-dimensional loop shape. Can be obtained. Note that the polishing surface may be a horse.

また、8の字状の軌跡を形成することで、対称性の優れた高精度なレンズ系が能率的に得られる。   In addition, by forming an 8-shaped locus, a highly accurate lens system with excellent symmetry can be efficiently obtained.

また、渦巻き状の軌跡を形成することで、研磨面の劣化の影響を避けることができ、精度の良い球面レンズ系や複焦点レンズ系を有する光ファイバを能率的に得ることができる。   Further, by forming a spiral trajectory, it is possible to avoid the influence of the degradation of the polished surface, and it is possible to efficiently obtain an optical fiber having a spherical lens system and a bifocal lens system with high accuracy.

以下、本発明の光ファイバ先端レンズ加工方法及び加工装置の実施の形態を図面を参照して詳しく説明する。   Embodiments of an optical fiber tip lens processing method and processing apparatus of the present invention will be described in detail below with reference to the drawings.

(第1の実施の形態)
図1は、本発明の第1の実施の形態における基本動作の説明図である。図2は、その基本動作より形成される光ファイバ先端の形状を示す図である。図3は、基本動作の繰り返し動作の説明図である。図4は、その繰り返し動作によって形成される光ファイバ先端の形状を示す図である。
(First embodiment)
FIG. 1 is an explanatory diagram of the basic operation in the first embodiment of the present invention. FIG. 2 is a diagram showing the shape of the tip of the optical fiber formed by the basic operation. FIG. 3 is an explanatory diagram of the repeating operation of the basic operation. FIG. 4 is a diagram showing the shape of the tip of the optical fiber formed by the repeated operation.

図1において、1は加工対象である光ファイバ、4はその光ファイバを装着する保持部、5は例えばアルミナ微粒子の塗布された研磨シート6の研磨面、7は保持部4を搭載し研磨面5と直角方向に移動させるz送り機構(第2相対移動手段という)、8はz送り機構7を搭載し光ファイバ1を研磨面5と平行にx方向に移動させるためのx送り機構、9はx送り機構8を搭載し光ファイバ1を研磨面5と平行にy方向に移動させるためのy送り機構である。x送り機構8とy送り機構9の組を第1相対移動手段という。また、第1相対移動手段、第2相対移動手段が行う工程を、それぞれ第1相対移動工程、第2相対移動工程という。   In FIG. 1, 1 is an optical fiber to be processed, 4 is a holding unit for mounting the optical fiber, 5 is a polishing surface of a polishing sheet 6 coated with alumina fine particles, for example, 7 is a polishing surface on which the holding unit 4 is mounted. A z-feed mechanism (referred to as second relative movement means) for moving in a direction perpendicular to 5, and 8 an x-feed mechanism for mounting the z-feed mechanism 7 and moving the optical fiber 1 in the x-direction parallel to the polishing surface 5, 9 Is a y-feeding mechanism for mounting the x-feeding mechanism 8 and moving the optical fiber 1 in the y direction parallel to the polishing surface 5. A set of the x feed mechanism 8 and the y feed mechanism 9 is referred to as a first relative movement means. The steps performed by the first relative movement unit and the second relative movement unit are referred to as a first relative movement step and a second relative movement step, respectively.

本実施の形態の基本動作を図1で説明すると、先ず、光ファイバ1を所定の長さl突き出して保持部4に保持する。そしてz送り機構7によって保持部4を押し下げ、光ファイバ1の先端を研磨面5に押し当て、その光ファイバと研磨面との接触角が所定の大きさαなるように光ファイバ1を撓わませた状態で保持する。このときの保持部4の高さをHとする。この撓みによって光ファイバ1の先端には押し付け力fが作用する。 The basic operation of the present embodiment will be described with reference to FIG. 1. First, the optical fiber 1 is protruded by a predetermined length l and held in the holding unit 4. Then, the holding unit 4 is pushed down by the z feed mechanism 7, the tip of the optical fiber 1 is pressed against the polishing surface 5, and the optical fiber 1 is bent so that the contact angle between the optical fiber and the polishing surface becomes a predetermined magnitude α 0. Hold in a deflated state. The height of the holding part 4 at this time is set to H. Due to this bending, a pressing force f acts on the tip of the optical fiber 1.

次に、光ファイバ1の先端の軌跡が研磨面5上でループ(例えば長軸2a、短軸2bの楕円状の軌跡(閉ループ))を描くようにx送り機構とy送り機構を制御して光ファイバ1の保持部4をループ(例えば長軸2A、短軸2Bの楕円軌道)状に動作させる。   Next, the x feeding mechanism and the y feeding mechanism are controlled so that the locus of the tip of the optical fiber 1 draws a loop (for example, an elliptical locus (closed loop) of the long axis 2a and the short axis 2b) on the polishing surface 5. The holding part 4 of the optical fiber 1 is operated in a loop (for example, an elliptical orbit of the long axis 2A and the short axis 2B).

この動作によって光ファイバ1は捻られ、光ファイバ1の先端と研磨面5との接触位置は光ファイバ1の円周方向に連続的に移動(円周移動)する。この結果、押し付け力fの作用のもとで光ファイバ1の先端は円周に沿って摺動し研磨され、傾き角αをもった錘面が形成される。 By this operation, the optical fiber 1 is twisted, and the contact position between the tip of the optical fiber 1 and the polishing surface 5 is continuously moved (circumferentially moved) in the circumferential direction of the optical fiber 1. As a result, the tip of the optical fiber 1 slides and is polished along the circumference under the action of the pressing force f, and a weight surface having an inclination angle α 0 is formed.

このとき、例えば、保持部4がx軸に長軸2A、y軸に短軸2Bの楕円軌道のループに沿って移動するとすると、光ファイバ1の先端の軌跡はx軸に長軸2a,y軸に短軸2bの楕円状の軌跡となる。   At this time, for example, if the holding unit 4 moves along the loop of the elliptical orbit of the long axis 2A on the x axis and the short axis 2B on the y axis, the locus of the tip of the optical fiber 1 is the long axes 2a, y on the x axis. The axis is an elliptical trajectory with a short axis 2b.

このループ軌跡上では長軸方向(x軸方向)の移動成分が大きいほど軌跡の曲率は緩やかで光ファイバの捩れは小さく、したがってそのとき研磨面5と接触する光ファイバ1先端の円周方向の単位長さ当たりの接触時間は長くなり、研磨量が大きくなる。   On this loop trajectory, the larger the moving component in the major axis direction (x-axis direction), the slower the curvature of the trajectory and the smaller the twist of the optical fiber. Therefore, the circumferential direction of the tip of the optical fiber 1 that contacts the polishing surface 5 at that time The contact time per unit length is increased, and the polishing amount is increased.

逆に、短軸方向(y軸方向)の移動成分が大きいほど軌跡の曲率は急峻であり、その結果光ファイバの捩れは大きくなり、したがってそのとき研磨面5と接触する光ファイバ1の先端の円周方向の単位長さ当たりの接触時間は短くなり、研磨量は小さくなる。   Conversely, the greater the moving component in the minor axis direction (y-axis direction), the steeper the curvature of the trajectory. As a result, the torsion of the optical fiber increases, and therefore the tip of the optical fiber 1 that contacts the polishing surface 5 at that time. The contact time per unit length in the circumferential direction is shortened and the polishing amount is decreased.

その結果、光ファイバ1の先端に形成された錘面の側面は、長軸方向移動成分大と短軸方向移動成分大に対応して、それぞれ、図2の側面図A、側面図Bのようになり、これによって光ファイバ1の先端の平坦部は、図2の正面図に示すように楕円形となる。   As a result, the side surface of the weight surface formed at the tip of the optical fiber 1 corresponds to the large movement component in the long axis direction and the large movement component in the short axis direction, as shown in side view A and side view B in FIG. As a result, the flat portion at the tip of the optical fiber 1 becomes elliptical as shown in the front view of FIG.

上記の工程を基本として、次々と研磨工程を繰り返すことにより複焦点レンズを形成する方法を図3に示す。まず上述と同じ方法で最初の工程をおこなう。そのときの各パラメータにはサフィックス0を付加する。   FIG. 3 shows a method of forming a bifocal lens by repeating the polishing process one after another based on the above process. First, the first step is performed in the same manner as described above. A suffix 0 is added to each parameter at that time.

次の工程として、光ファイバ先端と研磨面の接触角が前回より僅かに大きいαとなるように保持部4と研磨面5の距離を増す方向へdHだけ大きくして光ファイバ1を保持し、かつ光ファイバ1の先端の軌跡が前回と僅かに異なるか等しい楕円状の軌跡(長軸2a、短軸2b)を描くように、保持部4の軌道を前回と僅かに異なるか等しい楕円軌道(長軸2A、短軸2B)として光ファイバの先端を研磨すると、前述の角度αの錘面の先に角度αの錘面が形成される。 As the next step, the optical fiber 1 is held by increasing it by dH 0 in the direction of increasing the distance between the holding portion 4 and the polishing surface 5 so that the contact angle between the tip of the optical fiber and the polishing surface is slightly larger than the previous α 1. And whether the trajectory of the holding unit 4 is slightly different from the previous one so as to draw an elliptical locus (long axis 2a 1 , short axis 2b 1 ) where the trajectory of the tip of the optical fiber 1 is slightly different from or equal to the previous one. When the tip of the optical fiber is polished as equal elliptical orbits (long axis 2A 1 , short axis 2B 1 ), the weight surface at angle α 1 is formed at the tip of the weight surface at angle α 0 described above.

同様にこの工程を逐次繰り返すと光ファイバ先端には錘面が多段に形成され、かつ光ファイバ1の先端の楕円形の平坦部は次第に小さくなり、さらに工程を繰り返し接触角が次第に大きくなって光ファイバ先端の中心またはその近傍が研磨されるまで実行すると、光ファイバ1の先端の側面のプロファイルは図4に示すように、角度α、α、α、…、αの傾きをもった直線の包絡面となる。 Similarly, when this process is repeated successively, the optical fiber tip is formed with a plurality of weight surfaces, and the elliptical flat part at the tip of the optical fiber 1 is gradually reduced, and the contact angle is gradually increased by repeating the process. When executed until the center of the fiber tip or its vicinity is polished, the profile of the side surface of the tip of the optical fiber 1 has inclinations of angles α 0 , α 1 , α 2 ,..., Α n as shown in FIG. It becomes a straight envelope.

以上の結果、x軸方向(長軸方向)には曲率半径が小さく、Y軸方向(短軸方向)には曲率半径の大きな先端形状を持った光ファイバ、すなわち複焦点レンズを有する光ファイバを形成することが出来る。   As a result, an optical fiber having a tip shape with a small curvature radius in the x-axis direction (major axis direction) and a large curvature radius in the Y-axis direction (short axis direction), that is, an optical fiber having a multifocal lens. Can be formed.

この加工において、研磨面5が、例えば金属板上に貼り付けた薄いプラスチックフィルムをベースとする研磨シートからなる場合は、研磨面5は硬いので、加工能率、加工精度は極めてよいが、工程の繰り返し数は有限であるから、上述の包絡面は直線的な多数の錘面から構成され、滑らかな曲面に対し誤差が生じる。この場合、繰り返し回数をある一定数以上多くすれば無視できる。   In this processing, when the polishing surface 5 is made of, for example, a polishing sheet based on a thin plastic film attached on a metal plate, the polishing surface 5 is hard, so the processing efficiency and processing accuracy are very good. Since the number of repetitions is finite, the envelope surface described above is composed of a large number of linear weight surfaces, and an error occurs with respect to a smooth curved surface. In this case, it can be ignored if the number of repetitions is increased beyond a certain number.

他方、研磨面5をゴムや軟質のプラスチック、厚い繊維など、軟らかな材質で構成すれば、光ファイバ1の先端は研磨面5に沈み込みながら研磨されるので、直線的な錘面の交差部分が丸められ、少ない工程繰り返し回数で容易に滑らかな曲面を形成することが出来る。   On the other hand, if the polishing surface 5 is made of a soft material such as rubber, soft plastic, or thick fiber, the tip of the optical fiber 1 is polished while sinking into the polishing surface 5, so that the intersection of the linear weight surfaces And a smooth curved surface can be easily formed with a small number of process repetitions.

したがって、硬い研磨面粗加工で直線的な包絡面形状を形成し、これを軟らかい研磨面で光学研磨して仕上げるという2段階の工程を構成すれば、精度の良い複焦点レンズ光ファイバをきわめて能率的に形成することが出来る。   Therefore, if a two-step process of forming a linear envelope surface shape by rough machining of a hard polished surface and optically polishing it with a soft polished surface is completed, an accurate multifocal lens optical fiber can be made extremely efficient. Can be formed.

光ファイバの先端に形成される複焦点レンズの2方向の曲率半径の値は、光ファイバ長さl、ファイバ保持高さH、その増加量dH、保持部4と研磨面5の相対移動の形状パラメータ(例えば楕円軌道の長軸2A、短軸2B)の選択によって任意に設定することが出来る。   The values of the curvature radii in two directions of the bifocal lens formed at the tip of the optical fiber are the optical fiber length l, the fiber holding height H, the increased amount dH, and the shape of the relative movement between the holding portion 4 and the polishing surface 5. It can be arbitrarily set by selecting parameters (for example, the major axis 2A and minor axis 2B of the elliptical orbit).

例えば、以上の工程において、保持部4の楕円軌道のパラメータである長軸2Aと短軸2B(ここでは軌道面パラメータと称する)の値を等しくすると、保持部4は円軌道に沿って移動し、光ファイバ1の先端の軌跡は半径aの円状の軌跡(閉ループ)となる。   For example, in the above process, if the values of the major axis 2A and the minor axis 2B (herein referred to as the orbital plane parameters) which are the parameters of the elliptical orbit of the holding unit 4 are equal, the holding unit 4 moves along the circular orbit. The locus of the tip of the optical fiber 1 is a circular locus (closed loop) having a radius a.

この円ループ軌跡上では各方向の移動成分が等しいから研磨量は等しく、その結果、光ファイバ1の先端には円錘面が形成され、その先端の平坦部は円形となる。   Since the moving components in each direction are equal on the circular loop locus, the polishing amount is equal. As a result, a conical surface is formed at the tip of the optical fiber 1, and the flat portion at the tip is circular.

さらに光ファイバ先端と研磨面の接触角が前回より僅かに大きいαとなるように保持部4と研磨面5の距離を増し、かつ光ファイバ1の先端の軌跡が前回と僅かに異なるか等しい円状の軌跡を描くように、保持部4を前回と僅かに異なるか等しい円軌道で移動させて光ファイバの先端を研磨すると、前述の角度αの円錘面の先に角度α1の円錘面が形成される。この工程を逐次繰り返すと光ファイバ先端には円錘面が多段に形成され、かつ光ファイバ1の先端の円形平坦部は次第に小さくなり、さらに工程を繰り返し接触角が次第に大きくなって光ファイバ先端の中心またはその近傍が研磨されるまで実行すると、光ファイバ1の先端の側面プロファイルは、角度α、α、α、…、αの傾きをもった直線の包絡面となる。 Further increasing the fiber tip and the holding portion 4 so that the contact angle of the polishing surface becomes slightly larger alpha 1 from the previous distance of the polishing surface 5, and equal locus of the optical fiber 1 tip is slightly different and the previous When the tip of the optical fiber is polished by moving the holding portion 4 along a circular orbit slightly different from or equal to the previous one so as to draw a circular locus, the angle α 1 has an angle α 1 at the tip of the cone surface having the angle α 0 described above. A conical surface is formed. When this process is repeated successively, conical surfaces are formed in multiple stages at the tip of the optical fiber, and the circular flat portion at the tip of the optical fiber 1 is gradually reduced, and the contact angle is gradually increased by repeating the process, and the optical fiber tip. When the center or near the runs until the polished side surface profile of the optical fiber 1 tip angle α 0, α 1, α 2 , ..., the envelope surface of a straight line with a slope of alpha n.

以上の結果、直交方向に等しい曲率半径を持った光ファイバ、すなわち球面レンズを有する先球ファイバを形成することが出来る。   As a result, an optical fiber having a radius of curvature equal to the orthogonal direction, that is, a tip-spherical fiber having a spherical lens can be formed.

すなわち、この説明から明らかなように、本発明における球面レンズ系(先球ファイバ)の形成は、複焦点レンズ系の形成において、軌道面パラメータ2A、2Bを等しくすることによって得られる特殊ケースであり、複焦点レンズ系の形成に包含される。   That is, as is clear from this explanation, the formation of the spherical lens system (tip-spherical fiber) in the present invention is a special case obtained by equalizing the orbital plane parameters 2A and 2B in the formation of the bifocal lens system. Included in the formation of a bifocal lens system.

(第2の実施の形態)
図5は、本発明の第2の実施の形態における基本動作の説明図である。図6は、その基本動作の繰り返し動作の説明図である。
(Second Embodiment)
FIG. 5 is an explanatory diagram of the basic operation in the second embodiment of the present invention. FIG. 6 is an explanatory diagram of the repeating operation of the basic operation.

図5において、1は加工対象である光ファイバ、4はその光ファイバを装着する保持部、5は例えばアルミナ微粒子が塗布された研磨シート6の研磨面である。   In FIG. 5, 1 is an optical fiber to be processed, 4 is a holding portion for mounting the optical fiber, and 5 is a polishing surface of a polishing sheet 6 coated with alumina fine particles, for example.

ここで保持部4を搭載し研磨面5に対して垂直方向に移動させるz送り機構、z送り機構7を搭載し光ファイバ1を研磨面5と平行にx,y方向に移動させるためのx送り機構、y送り機構は省略しているが、第1の実施の形態と同様に構成されている。   Here, a z-feed mechanism for mounting the holding unit 4 and moving it in a direction perpendicular to the polishing surface 5 and a z-feed mechanism 7 are mounted, and x for moving the optical fiber 1 in the x and y directions parallel to the polishing surface 5. Although the feeding mechanism and the y-feeding mechanism are omitted, they are configured in the same manner as in the first embodiment.

本実施の形態の基本動作を図5で説明すると、先ず、光ファイバ1を所定の長さl突き出して保持部4に保持する。次に、任意に決めた一定の点においてz送り機構7によって保持部4を押し下げ、光ファイバ1の先端を研磨面5に押し当て、その光ファイバと研磨面との接触角が所定の大きさαとなるように光ファイバ1を撓わませた状態で保持する。このときの保持部4の高さをHとする。この撓みによって光ファイバ1の先端には押し付け力fが作用する。 The basic operation of the present embodiment will be described with reference to FIG. 5. First, the optical fiber 1 protrudes by a predetermined length l and is held by the holding unit 4. Next, the holding part 4 is pushed down by the z-feed mechanism 7 at an arbitrarily determined fixed point, the tip of the optical fiber 1 is pressed against the polishing surface 5, and the contact angle between the optical fiber and the polishing surface is a predetermined magnitude. It is held in a state of Mase Shiwawa the optical fiber 1 in such a way that α 0. The height of the holding part 4 at this time is set to H. Due to this bending, a pressing force f acts on the tip of the optical fiber 1.

次に、x送り機構とy送り機構を制御して、光ファイバ1の保持部4を、例えば長軸2A、短軸2Bの楕円軌道に動作させ、かつそのとき長軸方向(または短軸方向)の位置に応じてz送り機構を制御して、光ファイバ1の保持部4を上下させると、保持部4は例えば長軸両端のしゃくれた3次元のループ状の軌道を描く。   Next, by controlling the x feeding mechanism and the y feeding mechanism, the holding unit 4 of the optical fiber 1 is moved to an elliptical orbit of, for example, the major axis 2A and the minor axis 2B, and then the major axis direction (or minor axis direction) When the holding unit 4 of the optical fiber 1 is moved up and down by controlling the z-feed mechanism according to the position of (), for example, the holding unit 4 draws a three-dimensional loop-shaped trajectory that is crooked at both ends of the long axis.

このx送り機構とy送り機構の楕円軌道動作によって、光ファイバ先端と研磨面との接触位置が、光ファイバの円周方向に沿って移動(円周移動)するが、その際、長軸位置に応じたz送り機構の上下動作によって、光ファイバと研磨面との接触角及び押し付け力が変動する。   The contact position between the optical fiber tip and the polished surface is moved (circumferentially moved) along the circumferential direction of the optical fiber by the elliptical orbital movement of the x-feed mechanism and the y-feed mechanism. The contact angle and the pressing force between the optical fiber and the polishing surface are changed by the vertical movement of the z feed mechanism according to the above.

ここでz送り機構の上下動作を、図5に示すように、長軸両端でdz上昇させて最高とし、徐々に低下して長軸の中央で最低となるように定めると、長軸両端で接触角は最大(αmax)、押し付け力は最小となり、移動とともに徐々に変化して長軸の中央で接触角は最小(αmin)、押し付け力は最大となる。 Here, as shown in FIG. 5, the vertical movement of the z-feed mechanism is determined so as to increase dz at both ends of the long axis to the maximum and gradually decrease to become the minimum at the center of the long axis. The contact angle is maximum (α max ), the pressing force is minimum, and gradually changes with movement, and the contact angle is minimum (α min ) and the pressing force is maximum at the center of the long axis.

このとき、光ファイバ1の先端の軌跡は厳密には楕円状の軌跡から歪んで、x軸に長軸2a、y軸に短軸2bのループ軌跡となる。   At this time, strictly, the locus of the tip of the optical fiber 1 is distorted from an elliptical locus, and becomes a loop locus of the long axis 2a on the x axis and the short axis 2b on the y axis.

このループ軌跡上では長軸方向の移動成分が大きいほど(すなわち長軸方向の中央に近いほど)軌跡の曲率は緩やかであり、その結果光ファイバの捩れは小さく、したがってそのときの光ファイバ1の先端の円周上の接触点における接触時間は長くなり、かつ押し付け力も大きくなり、それらが相乗して研磨量がより大きくなる。   On this loop locus, the larger the moving component in the long axis direction (that is, the closer to the center in the long axis direction), the gentler the curvature of the locus, and as a result, the twist of the optical fiber becomes smaller. The contact time at the contact point on the circumference of the tip becomes longer, and the pressing force becomes larger, and they are combined to increase the polishing amount.

逆に、短軸方向の移動成分が大きいほど(すなわち長軸方向の両端に近いほど)軌跡の曲率は急峻であり、その結果光ファイバの捩れは大きく、したがってそのときの光ファイバ1の先端の円周上の接触点における接触時間は短くなり、かつ押し付け力も小さくなり、それらが相乗して研磨量はより小さくなる。   On the contrary, the larger the moving component in the short axis direction (that is, the closer to both ends in the long axis direction), the steeper the curvature of the trajectory. As a result, the twist of the optical fiber increases. The contact time at the contact point on the circumference is shortened, and the pressing force is also reduced, and they are combined to reduce the polishing amount.

その結果、光ファイバ1の先端は円周に沿って研磨され、短軸と交わる円周上で接触角が最小αmin、研磨量が最大で、周方向に移動(円周移動)するにしたがい接触角が大きくかつ研磨量が小さくなり、長軸と交わる円周上で接触角が最大αmax、研磨量が最小となる錘面が形成される。 As a result, the tip of the optical fiber 1 is polished along the circumference, and as the contact angle is the minimum α min and the polishing amount is the maximum on the circumference intersecting the minor axis, it moves in the circumferential direction (circular movement). The contact angle is large and the polishing amount is small, and a weight surface having a maximum contact angle α max and a minimum polishing amount is formed on the circumference intersecting the major axis.

以上の工程を基本に、次々と研磨工程を繰り返すことにより複焦点レンズを形成する方法を図6に示す。   FIG. 6 shows a method for forming a multifocal lens by repeating the polishing step one after another based on the above steps.

n回目の工程のパラメータにサフィックスnを付加する。n回目の工程の次に(n+1)回目の工程として、光ファイバ先端と研磨面の接触角が前回より僅かに大きいαとなるように、保持部4と研磨面5の距離を増す方向へdHだけ高くして光ファイバ1を保持し、かつ光ファイバ1の先端の軌跡が前回と僅かに径の異なるか等しい楕円状の軌跡(長軸2an+1、短軸2bn+1)を描くように、保持部4の軌道を前回と僅かに異なるか等しい3次元のループ状の楕円軌道(長軸2An+1、短軸2Bn+1)とし、z送り機構の上下動作を長軸両端でdz上昇させて光ファイバの先端を研磨すると、前述の形状と相似のn回目の錘面の先にn+1回目の錘面が形成される。 A suffix n is added to the parameter of the n-th process. As the (n + 1) -th step after the n-th step, the distance between the holding unit 4 and the polishing surface 5 is increased so that the contact angle between the tip of the optical fiber and the polishing surface is slightly larger than the previous time α 1 . The optical fiber 1 is held with a height increased by dH n , and an elliptical locus (long axis 2a n + 1 , short axis 2b n + 1 ) in which the locus of the tip of the optical fiber 1 is slightly different in diameter or equal to the previous one is drawn. The holding unit 4 has a three-dimensional loop-like elliptical orbit (long axis 2A n + 1 , short axis 2B n + 1 ) slightly different or equal to the previous one , and the vertical movement of the z-feed mechanism is increased by dz n at both ends of the long axis. When the tip of the optical fiber is polished, an n + 1th weight surface is formed at the tip of the nth weight surface similar to the above-described shape.

同様に、この工程を逐次繰り返すと、光ファイバ先端には錘面が多段に形成され、かつ光ファイバ1の先端の平坦部は次第に小さくなり、さらに工程を繰り返して接触角が次第に大きくなり光ファイバ先端の中心またはその近傍が研磨されるまで実行すると、長軸方向には曲率半径が小さく、短軸方向には曲率半径の大きな先端形状を持った光ファイバ、すなわち複焦点レンズを有する光ファイバを形成される。   Similarly, when this process is repeated successively, the weight surface is formed in multiple stages at the tip of the optical fiber, and the flat portion at the tip of the optical fiber 1 gradually decreases, and the contact angle gradually increases by repeating the process. When executed until the center of the tip or its vicinity is polished, an optical fiber having a tip shape with a small curvature radius in the major axis direction and a large curvature radius in the minor axis direction, that is, an optical fiber having a multifocal lens is used. It is formed.

このz方向上昇値dzを選択することにより、光ファイバ1と研磨面の円周方向の接触位置に応じて接触角と押し付け力を任意に変化させることができる。したがって、より精密な形状コントロールが可能になり、複焦点レンズはもちろん、複雑な非球面レンズ形状のファイバ先端加工も容易に可能となる。   By selecting the z-direction increase value dz, the contact angle and the pressing force can be arbitrarily changed according to the contact position of the optical fiber 1 and the polishing surface in the circumferential direction. Therefore, it is possible to control the shape more precisely, and it is possible to easily process a fiber tip having a complex aspherical lens shape as well as a bifocal lens.

(第3の実施の形態)
図7(a)は、本発明の第3の実施形態における基本動作の説明図である。
(Third embodiment)
FIG. 7A is an explanatory diagram of the basic operation in the third embodiment of the present invention.

1は加工対象である光ファイバ、4はその光ファイバを装着する保持部、5は例えばアルミナ微粒子の塗布された研磨シート5の研磨面である。   Reference numeral 1 denotes an optical fiber to be processed, 4 denotes a holding unit for mounting the optical fiber, and 5 denotes a polishing surface of a polishing sheet 5 coated with alumina fine particles, for example.

ここで、保持部4を搭載し研磨面5に対して垂直方向に移動させるz送り機構、z送り機構7を搭載した光ファイバ1を研磨面5と平行にx,y方向に移動させるためのx送り機構、y送り機構は省略しているが、第1、2の実施の形態と同様に構成されている。   Here, the z-feed mechanism for mounting the holding unit 4 and moving in the direction perpendicular to the polishing surface 5 and the optical fiber 1 mounted with the z-feed mechanism 7 are moved in the x and y directions parallel to the polishing surface 5. Although the x feed mechanism and the y feed mechanism are omitted, they are configured in the same manner as in the first and second embodiments.

第3の実施の形態の特長は、第2の実施の形態がファイバ保持部4を長軸位置に対向してz送り機構で上下していたのに対し、研磨面5を角度γを有する山形で構成し、実質的に第2の実施の例と同様の効果を実現しているものである。   The feature of the third embodiment is that the second embodiment moves up and down by the z-feed mechanism with the fiber holding portion 4 facing the long axis position, whereas the grinding surface 5 has an angle γ. And substantially achieves the same effect as in the second embodiment.

したがって、第3の実施の形態の動作は、基本動作及び繰り返し動作ともに、上述の第2の実施の形態のもの同様である。   Therefore, the operation of the third embodiment is the same as that of the above-described second embodiment in both the basic operation and the repetitive operation.

なお、ここでは、研磨面5を山形としたが、図7(b)に示すように、谷形(凹面)であっても同様の効果を奏することはいうまでもない。   Here, the polishing surface 5 is a mountain shape, but it goes without saying that the same effect can be obtained even if it is a valley shape (concave surface) as shown in FIG. 7B.

以上の実施の形態では、保持部の軌道は単一のループを基本として、その大きさを徐々に変化させた形状を想定しているが、互いに逆回転する複数のループを組み合わせて加工することも有効である。   In the above embodiment, the trajectory of the holding portion is based on a single loop, and is assumed to have a shape in which the size is gradually changed. Is also effective.

図8に、楕円軌道を2個組み合わせた8の字状の複ループの例を示す。この複ループを用いると、光ファイバの先端は研磨面で8の字状の軌跡を形成し、よって、滑らかに逆回転ループに移行することができる。これにより逆方向からも研磨できるので、この動作で微量の研磨を繰り返すことにより、対称性の優れた高精度な加工を実現することができる。   FIG. 8 shows an example of an 8-shaped double loop in which two elliptical orbits are combined. When this multiple loop is used, the tip of the optical fiber forms an 8-shaped trajectory on the polished surface, and thus it can smoothly transition to the reverse rotation loop. As a result, polishing can be performed from the opposite direction, and by repeating a small amount of polishing in this operation, highly accurate processing with excellent symmetry can be realized.

以上の実施の形態において、説明の便宜上、光ファイバの保持部の軌道は楕円軌道を例に説明した。   In the above embodiment, for convenience of explanation, the trajectory of the optical fiber holding portion has been described by taking an elliptical trajectory as an example.

この楕円軌道は一般に、
/A + y/B = 1 ・・・(1)
と表される。A,Bはそれぞれ長軸、短軸に対応する定数である。楕円軌道上の点、すなわち保持部の位置の座標(x、y)を、原点回りの角度θを用いて次のように表すと便利である。
This elliptical orbit is generally
x 2 / A 2 + y 2 / B 2 = 1 ··· (1)
It is expressed. A and B are constants corresponding to the major axis and the minor axis, respectively. It is convenient to express the point on the elliptical orbit, that is, the coordinates (x, y) of the position of the holding portion as follows using the angle θ around the origin.

x=Acosθ、 y=Bsinθ ・・・(2)
θを時間tとともに十分小さな刻みdθで変化させると θ=dθ・t であるから、式(2)は
x(t)=Acos(dθ・t)、 y(t)=Bsin(dθ・t) ・・・(3)
と表せる。すなわち時間tにおけるx(t)、y(t)の値をそれぞれx送り機構、y送り機構に伝えて保持部をその位置に移動させるようにすれば、時間tとともにθがゼロから2πまで変化する間に保持部は楕円軌道を1周する。
x = Acosθ, y = Bsinθ (2)
When θ is changed with a sufficiently small step dθ with time t, θ = dθ · t, so that equation (2) is x (t) = Acos (dθ · t), y (t) = Bsin (dθ · t) ... (3)
It can be expressed. That is, if the values of x (t) and y (t) at time t are transmitted to the x-feed mechanism and y-feed mechanism, respectively, and the holding unit is moved to that position, θ changes from zero to 2π with time t. In the meantime, the holding part makes one round of the elliptical orbit.

上述の説明ではA,Bは定数であったが、これを時間tの関数とした場合は、保持部の軌道は式(1)で示される楕円から徐々に離れる渦巻き状となり、その結果、光ファイバ先端の軌跡を渦巻き状とすることが出来る。これを説明すると、A,Bを時間tの関数A(t)、B(t)と表し、次のようにおく。   In the above description, A and B are constants. However, when this is a function of time t, the trajectory of the holding portion becomes a spiral shape gradually separating from the ellipse represented by the equation (1). The locus of the fiber tip can be made spiral. To explain this, A and B are expressed as functions A (t) and B (t) of time t, and are set as follows.

A(t)=A+dA・t 、 B(t)=B+dB・t ・・・(4)
これを式(3)に代入すると、保持部の位置は
x(t)=(A+dA・t)・cos(dθ・t)、
y(t)=(B+dB・t)・sin(dθ・t) ・・・(5)
となる。
A (t) = A 0 + dA · t, B (t) = B 0 + dB · t (4)
Substituting this into equation (3), the position of the holding part is x (t) = (A 0 + dA · t) · cos (dθ · t),
y (t) = (B 0 + dB · t) · sin (dθ · t) (5)
It becomes.

これからわかるように、保持部の位置(x(t)、y(t))は、もしdA、dBが正であれば、時間とともに膨張する楕円(dA、dBが負であれば、時間とともに収縮する楕円)の上に存在することになり、その結果、保持部の軌道は渦巻き状となる。また、上述のように楕円をベースとせず、平面幾何学の放物渦巻き関数、対数渦巻き関数を位置の関数として用いることによっても、渦巻き状の軌道が実現でき、その結果、光ファイバ先端の軌跡を渦巻き状とすることが出来ることも言うまでもない。   As can be seen, the position of the holding part (x (t), y (t)) is an ellipse that expands with time if dA and dB are positive (contracts with time if dA and dB are negative). As a result, the trajectory of the holding portion becomes spiral. In addition, a spiral trajectory can be realized by using a plane geometry parabolic or logarithmic spiral function as a position function without using an ellipse as a base as described above. It goes without saying that can be made spiral.

光ファイバ先端の軌跡が楕円など閉ループのときは、先端と研磨面の距離が同じ間は、先端と研磨面の接触部は常に同じ軌跡上を周回移動するので、研磨面は周回とともに次第に劣化し、研磨能率が低下する。一方、光ファイバ先端の軌跡を渦巻き形状にすると、先端と研磨面の接触部は常に新しい場所を移動するので、高い研磨能率を維持することができるという効果がある。   When the locus of the tip of the optical fiber is a closed loop such as an ellipse, the contact portion of the tip and the polished surface always moves around the same locus while the distance between the tip and the polished surface is the same, so the polished surface gradually deteriorates with the rotation. The polishing efficiency is reduced. On the other hand, when the locus of the tip of the optical fiber is spiral, the contact portion between the tip and the polishing surface always moves to a new location, so that there is an effect that high polishing efficiency can be maintained.

このように、本発明においては、光ファイバの先端の軌跡は、楕円状のような閉ループ状には限られず、渦巻き状のような開ループ状であってもよい。   Thus, in the present invention, the locus of the tip of the optical fiber is not limited to an elliptical closed loop shape, and may be an open loop shape such as a spiral shape.

また、光ファイバの保持部のループ軌道を、例えば多項式で表わし、その多項式の各係数を適宜選択することにより、より詳細に光ファイバの先端の軌跡を制御し、より複雑な非球面レンズを形成することもできる。   In addition, the loop trajectory of the optical fiber holding part is expressed by, for example, a polynomial, and by appropriately selecting each coefficient of the polynomial, the locus of the tip of the optical fiber is controlled in more detail to form a more complicated aspherical lens. You can also

また、説明の便宜上、光ファイバの保持部の動作をループ軌道とし、所定回数後に光ファイバの保持部と研磨面5の距離を増す方向へ僅かに増加させ、錘面を積み重ねる例で説明したが、各送り機構が協働する(並行して動作する)ことにより、光ファイバの保持部を楕円に近いが微小かつ連続的なピッチで軌道を変化させる渦巻き状の軌道を形成でき、これにより、光ファイバ先端による渦巻き状の軌跡を形成できる。また、光ファイバの保持部の渦巻き状の軌道にファイバ保持部と研磨面5の距離の微小かつ連続的なピッチでの増加を重畳させた螺旋状軌道を形成できる。このような制御によっても、適切なピッチ選択によって近似的に上述の実施の形態と等価の作用が実現できることが明らかである。   Further, for convenience of explanation, the operation of the optical fiber holding portion is assumed to be a loop trajectory, and after a predetermined number of times, the distance between the optical fiber holding portion and the polishing surface 5 is slightly increased in the increasing direction, and the weight surface is stacked. By cooperating (operating in parallel) with each feeding mechanism, it is possible to form a spiral trajectory that changes the trajectory of the optical fiber holding portion close to an ellipse but with a minute and continuous pitch, A spiral trajectory can be formed by the optical fiber tip. In addition, a spiral orbit can be formed by superimposing a minute and continuous increase in the distance between the fiber holding portion and the polishing surface 5 on the spiral orbit of the holding portion of the optical fiber. It is apparent that even by such control, an operation equivalent to that of the above-described embodiment can be realized by appropriate pitch selection.

また、以上の実施の形態においては、保持部4と研磨面5との距離を増す方向に変化させる場合を例にとって説明したが、これとは逆に保持部4と研磨面5との距離を減らす方向に変化させる工程も可能である。すなわち、はじめに取保持部4と研磨面5との距離を大きく設定して光ファイバ1の撓みを十分小さく(すなわち光ファイバ先端の接触角αを十分大きく)しておき、保持部4と研磨面5との所定の相対移動の後に(あるいは重畳して)、保持部4と研磨面5との距離を減らして設定し接触角αを小さくして、ふたたび保持部4と研磨面5とを相対移動させる、これを繰り返せば、同様に光ファイバ先端に球面レンズや複焦点レンズが形成されることは言うまでもない。 In the above embodiment, the case where the distance between the holding unit 4 and the polishing surface 5 is changed is described as an example. On the contrary, the distance between the holding unit 4 and the polishing surface 5 is changed. A process of changing in a decreasing direction is also possible. That is, first, the distance between the holding portion 4 and the polishing surface 5 is set to be large so that the deflection of the optical fiber 1 is sufficiently small (that is, the contact angle α 0 at the tip of the optical fiber is sufficiently large). after a predetermined relative movement between the surface 5 (or overlapped with) the holding portion 4 and set by reducing the distance between the polishing surface 5 to reduce the contact angle alpha 1, again with the holding portion 4 and the polishing surface 5 It goes without saying that a spherical lens and a bifocal lens are similarly formed at the tip of the optical fiber if this is repeated.

また、以上の実施の形態においては、光ファイバを移動させる例について説明したが、光ファイバ(保持部)と研磨面のどちらか(あるいは両方)を移動させればよく、必要なことは光ファイバ(保持部)と研磨面の相対的な移動であることはいうまでもない。   Moreover, in the above embodiment, although the example which moves an optical fiber was demonstrated, what is necessary is to move either an optical fiber (holding | holding part) and a grinding | polishing surface (or both), and what is needed is an optical fiber. Needless to say, this is a relative movement between the (holding portion) and the polishing surface.

さらに、説明の便宜上、相対移動の手段として、x,y,z軸の直交移動機構を例に説明したが、これに限るものではなく、x,y,z軸方向の移動成分の実現することが本質的な要素であり、スカラーロボット、多関節ロボットなどを用いて構成できることもいうまでもない。   Further, for convenience of explanation, the x, y, z axis orthogonal movement mechanism has been described as an example of the relative movement means. However, the present invention is not limited to this, and the movement components in the x, y, z axis directions are realized. Needless to say, is an essential element, and can be configured using a scalar robot, an articulated robot, or the like.

また、光ファイバの加工本数は1本の例で説明したが、保持部を光ファイバが多数本装着できるようにすることにより、容易に同時に多数本の光ファイバのくさび加工ができることも言うまでもない。   In addition, although the number of optical fibers processed has been described as an example, it goes without saying that a plurality of optical fibers can be simultaneously wedged easily by attaching a large number of optical fibers to the holding portion.

また、接触角の変化量を一定とせずに、変化量が段階的に大きくまたは小さくなるようにしてもよい。   Further, the amount of change may be increased or decreased stepwise without making the amount of change of the contact angle constant.

本発明の第1の実施の形態における基本動作の説明図である。It is explanatory drawing of the basic operation | movement in the 1st Embodiment of this invention. 本発明の第1の実施の形態における基本動作により形成される光ファイバ先端の形状を示す図である。It is a figure which shows the shape of the optical fiber front-end | tip formed by the basic operation | movement in the 1st Embodiment of this invention. 本発明の第1の実施の形態における繰り返し動作の説明図である。It is explanatory drawing of the repetition operation | movement in the 1st Embodiment of this invention. 本発明の第1の実施の形態における繰り返し動作により形成される光ファイバ先端の形状を示す図である。It is a figure which shows the shape of the optical fiber front-end | tip formed by the repetition operation | movement in the 1st Embodiment of this invention. 本発明の第2の実施の形態における基本動作の説明図である。It is explanatory drawing of the basic operation | movement in the 2nd Embodiment of this invention. 本発明の第2の実施の形態における繰り返し動作の説明図である。It is explanatory drawing of the repetition operation | movement in the 2nd Embodiment of this invention. 本発明の第3の実施形態における基本動作の説明図である。It is explanatory drawing of the basic operation | movement in the 3rd Embodiment of this invention. 楕円軌道を2個組み合わせた8の字状の複ループの例を示す図である。It is a figure which shows the example of the 8-shaped double loop which combined two elliptical orbits. 半導体レーザと光ファイバの結合を示す図である。It is a figure which shows the coupling | bonding of a semiconductor laser and an optical fiber. 複焦点レンズの形状を示す図である。It is a figure which shows the shape of a bifocal lens. 第1の従来例(複焦点レンズ光ファイバの加工方法)を示す図である。It is a figure which shows the 1st prior art example (processing method of a multifocal lens optical fiber). 第2の従来例(円筒レンズ光ファイバの加工方法)を示す図である。It is a figure which shows the 2nd prior art example (processing method of a cylindrical lens optical fiber).

符号の説明Explanation of symbols

1 光ファイバ
4 保持部
5 研磨面
7 z送り機構
8 x送り機構
9 y送り機構
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Optical fiber 4 Holding part 5 Polishing surface 7 z feed mechanism 8 x feed mechanism 9 y feed mechanism

Claims (16)

光ファイバの先端を所定の長さ突き出して保持手段にて保持し、該保持された光ファイバの先端を研磨面で研磨してレンズ系を形成する光ファイバ先端レンズ加工方法において、
前記先端が前記研磨面に押し当てられて前記光ファイバが撓み且つ当該先端が当該研磨面に対し斜めに接触した状態で当該先端が当該研磨面上で閉ループ状または開ループ状の軌跡を形成して摺動するように前記保持手段及び/又は前記研磨面を相対移動させる第1相対移動工程と、
前記先端が前記研磨面に対し斜めに接触した状態を維持しながら前記保持手段及び/または前記研磨面を互いの距離が変化するように相対移動させる第2相対移動工程と
を設けたことを特徴とする光ファイバ先端レンズ加工方法。
In the optical fiber tip lens processing method of forming a lens system by protruding the tip of the optical fiber by a predetermined length and holding it by holding means, and polishing the tip of the held optical fiber with a polishing surface,
With the tip pressed against the polishing surface, the optical fiber bends and the tip forms a closed loop or open loop trajectory on the polishing surface in a state where the tip is in contact with the polishing surface obliquely. A first relative movement step of relatively moving the holding means and / or the polishing surface so as to slide
And a second relative movement step of moving the holding means and / or the polishing surface relative to each other so that the distance between the holding means and / or the polishing surface changes while maintaining the state where the tip is in contact with the polishing surface obliquely. An optical fiber tip lens processing method.
前記第2相対移動工程は、前記距離を増加させることを特徴とする請求項記載の光ファイバ先端レンズ加工方法。 Said second relative movement step, the optical fiber tip lens processing method according to claim 1, wherein the increasing the distance. 前記第2相対移動工程は、前記距離を複数回設定する工程制御を行い、
前記第1相対移動工程は、前記距離の設定回ごとに楕円状の軌跡を1回以上形成することを特徴とする請求項記載の光ファイバ先端レンズ加工方法。
The second relative movement step performs a process control for setting the distance a plurality of times,
The optical fiber tip lens processing method according to claim 2, wherein the first relative movement step forms an elliptical trajectory once or more for each set time of the distance.
前記第2相対移動工程は、前記距離を複数回設定する工程制御を行い、
前記第1相対移動工程は、前記距離の設定回ごとに、前記保持手段及び/又は前記研磨面を3次元のループ状に相対移動させることを特徴とする請求項記載の光ファイバ先端レンズ加工方法。
The second relative movement step performs a process control for setting the distance a plurality of times,
3. The optical fiber tip lens processing according to claim 2, wherein in the first relative movement step, the holding means and / or the polishing surface is relatively moved in a three-dimensional loop shape every time the distance is set. Method.
前記研磨面は高低差を有し、
前記第2相対移動工程は、前記距離を複数回設定する工程制御を行うことを特徴とする請求項記載の光ファイバ先端レンズ加工方法。
The polished surface has a height difference;
5. The optical fiber tip lens processing method according to claim 4, wherein the second relative movement step performs step control for setting the distance a plurality of times.
前記研磨面は山型または谷型に構成され、
前記第2相対移動工程は、前記距離を複数回設定する工程制御を行うことを特徴とする請求項記載の光ファイバ先端レンズ加工方法。
The polished surface is configured in a mountain shape or a valley shape,
5. The optical fiber tip lens processing method according to claim 4, wherein the second relative movement step performs step control for setting the distance a plurality of times.
前記第2相対移動工程は、前記距離を複数回設定する工程制御を行い、
前記第1相対移動工程は、前記距離の設定回ごとに8の字状の軌跡を1回以上形成することを特徴とする請求項記載の光ファイバ先端レンズ加工方法。
The second relative movement step performs a process control for setting the distance a plurality of times,
3. The optical fiber tip lens processing method according to claim 2, wherein the first relative movement step forms an 8-shaped trajectory once or more for each set time of the distance.
前記第1相対移動工程と前記第2相対移動工程とを並行して行うことにより前記先端が渦巻き状の軌跡を形成することを特徴とする請求項記載の光ファイバ先端レンズ加工方法。 Fiber tip lens processing method according to claim 1, wherein said tip by performing in parallel with said second relative movement step and the first relative moving step to form a spiral path. 光ファイバの先端を所定の長さ突き出して保持手段にて保持し、該保持された光ファイバの先端を研磨面で研磨してレンズ系を形成する光ファイバ先端レンズ加工装置において、
前記先端が前記研磨面に押し当てられて前記光ファイバが撓み且つ当該先端が当該研磨面に対し斜めに接触した状態で当該先端が当該研磨面上で閉ループ状または開ループ状の軌跡を形成して摺動するように前記保持手段及び/又は前記研磨面を相対移動させる第1相対移動手段と、
前記先端が前記研磨面に対し斜めに接触した状態を維持しながら前記保持手段及び/または前記研磨面を互いの距離が変化するように相対移動させる第2相対移動手段と
を設けたことを特徴とする光ファイバ先端レンズ加工装置。
In an optical fiber tip lens processing apparatus for forming a lens system by protruding the tip of an optical fiber by a predetermined length and holding it by a holding means, and polishing the tip of the held optical fiber with a polishing surface,
With the tip pressed against the polishing surface, the optical fiber bends and the tip forms a closed loop or open loop trajectory on the polishing surface in a state where the tip is in contact with the polishing surface obliquely. First holding means and / or first relative movement means for moving the polishing surface relatively so as to slide,
And second relative movement means for relatively moving the holding means and / or the polishing surface so that the distance between them is changed while maintaining the state where the tip is in contact with the polishing surface obliquely. Optical fiber tip lens processing equipment.
前記第2相対移動手段は、前記距離を増加させることを特徴とする請求項記載の光ファイバ先端レンズ加工装置。 The optical fiber tip lens processing apparatus according to claim 9 , wherein the second relative movement unit increases the distance. 前記第2相対移動手段は、前記距離を複数回設定する工程制御を行い、
前記第1相対移動手段は、前記距離の設定回ごとに楕円状の軌跡を1回以上形成することを特徴とする請求項10記載の光ファイバ先端レンズ加工装置。
The second relative movement means performs process control for setting the distance a plurality of times,
11. The optical fiber tip lens processing apparatus according to claim 10, wherein the first relative movement unit forms an elliptical trajectory at least once for each set time of the distance.
前記第2相対移動手段は、前記距離を複数回設定する工程制御を行い、
前記第1相対移動手段は、前記距離の設定回ごとに、前記保持手段及び/又は前記研磨面を3次元のループ状に相対移動させることを特徴とする請求項10記載の光ファイバ先端レンズ加工装置。
The second relative movement means performs process control for setting the distance a plurality of times,
11. The optical fiber tip lens processing according to claim 10, wherein the first relative movement unit relatively moves the holding unit and / or the polishing surface in a three-dimensional loop shape every time the distance is set. apparatus.
前記研磨面は高低差を有し、
前記第2相対移動手段は、前記距離を複数回設定する工程制御を行うことを特徴とする請求項12記載の光ファイバ先端レンズ加工装置。
The polished surface has a height difference;
13. The optical fiber tip lens processing device according to claim 12, wherein the second relative movement means performs process control for setting the distance a plurality of times.
前記研磨面は山型または谷型に構成され、
前記第2相対移動手段は、前記距離を複数回設定する工程制御を行うことを特徴とする請求項12記載の光ファイバ先端レンズ加工装置。
The polished surface is configured in a mountain shape or a valley shape,
13. The optical fiber tip lens processing device according to claim 12, wherein the second relative movement means performs process control for setting the distance a plurality of times.
前記第2相対移動手段は、前記距離を複数回設定する工程制御を行い、
前記第1相対移動手段は、前記距離の設定回ごとに8の字状の軌跡を1回以上形成することを特徴とする請求項10記載の光ファイバ先端レンズ加工装置。
The second relative movement means performs process control for setting the distance a plurality of times,
11. The optical fiber tip lens processing apparatus according to claim 10, wherein the first relative moving means forms an 8-shaped locus at least once for each set distance.
前記第1相対移動手段と前記第2相対移動手段とが協働することにより前記先端が渦巻き状の軌跡を形成することを特徴とする請求項記載の光ファイバ先端レンズ加工装置。 The optical fiber tip lens processing apparatus according to claim 9, wherein the tip forms a spiral trajectory by the cooperation of the first relative moving means and the second relative moving means.
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