JP4109630B2 - 良否判定装置、良否判定プログラムおよび良否判定方法 - Google Patents
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Description
かかる構成によれば、製品から取得されたパラメータ値を良否判定の閾値と比較することにより良否判定を行うことが可能であった。
本発明は、上記課題にかんがみてなされたもので、類似する他の検査対象についてのサンプルデータも有効なデータとして扱うことで、必要とするサンプルデータの収集量を軽減することが可能な良否判定装置、良否判定プログラムおよび良否判定方法の提供を目的とする。
上記閾値算出手段は、上記仕様を示す特徴値を各仕様毎に記憶する仕様情報記憶手段と、上記閾値の算出対象となる対象仕様を示す上記特徴値と、同閾値算出の対象とならない異仕様を示す上記特徴値とを比較することにより、同対象仕様と同異仕様との類否判断を行う類否判定手段とを備え、上記閾値を算出するに当たり、対象仕様のサンプルから取得された対象仕様サンプルデータと、同類否判定手段により上記対象仕様と類似すると判定された上記異仕様のサンプルから取得された異仕様サンプルデータとに基づく数値の分布傾向から上記閾値を算出する構成としてある。
上記のように構成した請求項2の発明において、上記閾値算出手段は上記閾値を算出するに当たり、少なくとも一方のカテゴリーについての上記対象仕様サンプルデータ数を認識する。認識された上記対象仕様サンプルデータ数が規定数より少ない場合には、上記対象仕様サンプルデータのみならず、上記異仕様サンプルから取得された上記異仕様サンプルデータに基づいて上記閾値を算出する。すなわち、上記対象仕様サンプルデータの個数が少なく閾値の推定精度や信頼性が低くなりそうな場合に上記異仕様サンプルデータでサンプル数を補充させることができる。
上記のように構成した請求項3の発明において、上記規定数を所望の信頼性と所望の精度を満足するサンプル数として算出することにより、上記閾値を統計的推定により算出する際の精度や信頼性を所望のものとすることができる。上記規定数を算出する手法としては、有意水準と誤差とから必要なサンプル数を正規分布曲線から算出する計算式等を用いることができる。
上記のように構成した請求項4の発明において、上記閾値の算出対象となる対象仕様の上記特徴値と、同閾値算出の対象とならない異仕様の上記特徴値との偏差を算出し、この偏差の対象仕様の上記特徴値に対する割合を算出する。そして、同割合が小さい仕様を対象仕様と類似する仕様であると判断する。
上記のように構成した請求項5の発明において、複数の上記特徴値に対する上記割合の平方和を仕様毎に算出する。そして、この平方和が小さい異仕様が対象仕様と最も類似すると判断する。すなわち、複数の上記特徴値を総合的に見て、最も類似する異仕様を検索することができる。
上記のように構成した請求項6の発明において、上記割合が所定の許容類似範囲内とならない場合には類似すると判定しない。すなわち、上記許容類似範囲により上記特徴値の偏差の上記割合に上限を設けることにより、上記偏差があまりにも大きい異仕様の異仕様サンプルデータを使用して上記閾値を算出することが防止できる。
上記のように構成した請求項7の発明において、上記対象仕様サンプルデータおよび上記異仕様サンプルデータの双方を使用して算出する上記閾値は、上記対象仕様サンプルデータのみを使用して算出する上記閾値よりも不良流出の可能性が低くなるような値に補正される。従って、上記異仕様サンプルデータを使用したことによって上記閾値の信頼性が低下するような場合にも、不良流出は防止することができる。
上記のように構成した請求項8の発明において、算出に使用する上記異仕様サンプルデータの数に対する上記対象仕様サンプルデータの数の割合が少ないほど不良流出の可能性をより低くした値に補正することにより、上記対象仕様サンプルデータの数の割合が高くなり上記閾値の信頼性が低くなるほど不良流出の可能性を低くすることができる。
さらに、請求項2にかかる発明によれば、必要に応じて異仕様のサンプルから取得されたサンプルデータを閾値の算出に使用することができる。
さらに、請求項3にかかる発明によれば、所望の信頼性と精度を確保することができるできる。
また、請求項4から請求項6にかかる発明によれば、仕様の類否判断の手法を提供することができる。
さらに、請求項7にかかる発明によれば、不良流出の可能性を低減させることができる。
さらに、請求項8にかかる発明によれば、閾値の信頼性に応じて不良流出の可能性を低減させることができる。
(1)本発明の概略構成:
(2)レーザー検査装置の構成:
(3)データ蓄積装置の構成:
(4)目視入力装置の構成:
(5)多変量統計解析装置の構成:
図1は本発明にかかる良否判定装置を構成するシステムの概略図である。本システムはレーザー検査装置100とデータ蓄積装置200と目視入力装置300と多変量統計解析装置400とを備えており、それぞれがハブHを介して通信回線にて接続されている。すなわち、各装置は通信回線を介して互いに双方向通信可能である。レーザー検査装置100は、基板に貼り付けられたラベルを読みとることによって基板に実装される各部品の各接点を識別しつつ、当該接点付近にレーザーを照射する装置である。
図3はレーザー検査装置100の概略構成を示している。同図左側にはその光学系を模式的に示しており、右側には制御系を示している。レーザー検査装置100は、レーザー発振器126を備えており、所定のレーザー光を発振出力することができる。ガルバノメータ124はその内部に2枚の角度可変ミラーを備えており、ガルバノメータ制御部128の制御によって当該角度可変ミラーの配向角を調整することができる。
図9はデータ蓄積装置200にて実行される通信制御プログラムの機能ブロック図である。データ蓄積装置200においては、OS250の制御下で通信制御プログラム260が実行される。OS250は上記通信I/O244を介してのデータ送受信や記憶部246からのファイル読み出しを制御し、通信制御プログラム260に対して必要なデータを供給するが、図9ではデータの授受関係を明確に示すため、通信I/O244と通信制御プログラム260と記憶部246とにおいてデータの授受を矢印で示している。
図12は、目視入力装置300にて実行される目視入力プログラムの機能ブロック図である。目視入力装置300においては、OS350の制御下で目視入力プログラム360が実行される。OS350は通信I/O344を介してのデータ送受信や記憶部346からのファイル読み出しを制御し、目視入力プログラム360に対して必要なデータを供給するが、図12ではデータの授受関係を明確に示すため、通信I/O344と目視入力プログラム360と記憶部346とにおいてデータの授受を矢印で示している。
本実施形態においては、多変量統計解析装置400による解析を行うことによって意図からはずれた統計的根拠に基づく閾値を決定することができ、これによって高性能の良否判定装置を実現している。この閾値は本発明にいう良否判定指標を意味し、この閾値を算出するために後述する判別関数が算出されている。以下、当該多変量統計解析装置400の構成および処理を説明する。図14は、多変量統計解析装置400にて実行される多変量解析プログラムの機能ブロック図であり、図15,図17は多変量統計解析プログラムが備える各モジュールでの処理を示すフローチャートである。
Z=a1x1+a2x2+a3x3+・・・+anxn
で表現される。尚、ここで、aiは係数,xiは各パラメータが代入される変数,nは選択されたパラメータの数である。上記判別関数は各パラメータ値を変数として有しており、判別関数により得られる変数”Z”は本発明にいうパラメータ値に基づく数値に該当する。
Vyx=(PAx−Pyx)/PAx
となる。はんだ特徴値偏差割合Vyxの算出結果の一例を図20の比較テーブルD2において示している。
Hy=Vy1 2+Vy2 2+Vy3 2+・・・+Vyg 2
となる。そして、平方和Hyが最も小さいはんだの仕様を最も類似すると判断する。図20の比較テーブルD2にて示す例では、はんだBの平方和HBが最も小さい値となっているため、ステップS460にてはんだBの仕様がはんだAの仕様に最も類似すると判定される。
J=sn/(mn+sn)
により算出する。従って、サンプル比Jは0〜1で変動する変数であり、異仕様のサンプル数が多いほど1に近づいた値となる。そして、ステップS282では、以下の数式
T*=Ave−(4σ+σ×J)
により補正後の閾値T*を算出している。
110…受光ボックス
112…トップセンサ
114…アップセンサ
116…サイドセンサ
118…ハーフミラー
120…アンプ
122…コード生成部
123…レンズ
124…ガルバノメータ
126…レーザー発振器
128…ガルバノメータ制御部
130…X−Yステージ
132…実装部品
132a…接点
133…はんだ
135…X−Yステージ制御部
142…表示部
146…記憶部
146a…ラベルデータ
146b…形状データ
160…良否判定プログラム
162…ラベル読取部
164…形状測定部
166…良否判定部
166a…パラメータ算出部
166b…閾値判定部
200…データ蓄積装置
246…記憶部
246a…製品データベース
246b…良否判定結果データ
260…通信制御プログラム
300…目視入力装置
310…表示部
320…入力部
346…記憶部
346a…ラベルデータ
360…目視入力プログラム
361…ラベル読取部
362…判定結果取得部
363…表示制御部
364…入力受付部
365…目視判定情報送信部
400…多変量統計解析装置
420…入力部
446…記憶部
446a…製品データ
446b…目視判定データ
446c…パラメータ値データ
446d…良否判定結果データ
446e…判別関数データ
446f…流出率データ
446g…見過ぎ率データ
446h…閾値データ
460…多変量解析プログラム
460a…判別関数算出部
460b…統計指標算出部
460c…閾値決定部
460d…類否判定部
460e…規定数算出部
Claims (10)
- 複数の仕様のサンプルについてのパラメーター値とその良否判定結果情報とからなるサンプルデータを予め取得するサンプリング手段と、
各仕様毎に良カテゴリーと否カテゴリーの少なくとも一方のカテゴリーについての上記パラメータ値に基づく数値の分布傾向から統計的推定を行うことにより良否判定の閾値を算出する閾値算出手段と、
良否判定対象から上記パラメータ値を取得する良否判定対象検査手段と、
上記良否判定対象から取得された上記パラメータ値に基づく数値と上記閾値とを比較することにより当該良否判定対象の良否判定を行う良否判定手段とを備える良否判定装置において、
上記閾値算出手段は、
上記仕様を示す特徴値を各仕様毎に記憶する仕様情報記憶手段と、
上記閾値の算出対象となる対象仕様を示す上記特徴値と、同閾値算出の対象とならない異仕様を示す上記特徴値とを比較することにより、同対象仕様と同異仕様との類否判断を行う類否判定手段とを備え、
上記閾値を算出するに当たり、対象仕様のサンプルから取得された対象仕様サンプルデータと、同類否判定手段により上記対象仕様と類似すると判定された上記異仕様のサンプルから取得された異仕様サンプルデータとに基づく数値の分布傾向から上記閾値を算出することを特徴とする良否判定装置。 - 上記閾値算出手段は、
上記閾値を算出するに当たり、少なくとも一方のカテゴリーについて対象仕様サンプルデータ数を認識するとともに、
認識された同対象仕様サンプルデータの個数が規定数より少なければ、同対象仕様サンプルデータと、上記類否判定手段により上記対象仕様と類似すると判定された上記異仕様のサンプルから取得された異仕様サンプルデータとに基づく数値の分布傾向から上記閾値を算出することを特徴とする上記請求項1に記載の良否判定装置。 - 上記規定数は、
入力された所望の信頼性と精度とから、これらを満足するサンプル数として算出されることを特徴とする上記請求項2に記載の良否判定装置。 - 上記類否判定手段は、上記閾値の算出対象となる対象仕様の上記特徴値に対する同特徴値と同閾値算出の対象とならない異仕様の上記特徴値との偏差の割合を算出し、同割合が小さい異仕様を同対象仕様と類似すると判断することを特徴とする上記請求項1から上記請求項3のいずれかに記載の良否判定装置。
- 上記類否判定手段は、複数の上記特徴値に対する上記割合の平方和を仕様毎に算出し同平方和が最も小さい異仕様を同対象仕様と類似すると判断することを特徴とする上記請求項1から上記請求項4のいずれかに記載の良否判定装置。
- 上記類否判定手段は、上記割合が所定の許容類似範囲内とならない場合には類似すると判定しないことを特徴とする上記請求項1から上記請求項5のいずれかに記載の良否判定装置。
- 上記閾値算出手段において、上記対象仕様サンプルデータと上記異仕様サンプルデータとに基づく数値の分布傾向から算出する上記閾値は、上記対象仕様サンプルデータのみに基づく数値の分布傾向から算出する上記閾値よりも不良流出の可能性を低くした値に補正されることを特徴とする上記請求項1から上記請求項6のいずれかに記載の良否判定装置。
- 上記閾値算出手段において、上記対象仕様サンプルデータと上記異仕様サンプルデータとに基づく数値の分布傾向から算出する上記閾値は、同算出に使用する上記異仕様サンプルデータの数に対する上記対象仕様サンプルデータの数の割合が少ないほど不良流出の可能性をより低くした値に補正されることを特徴とする上記請求項7に記載の良否判定装置。
- 複数の仕様のサンプルについてのパラメーター値とその良否判定結果情報とからなるサンプルデータを予め取得するサンプリング機能と、
各仕様毎に良カテゴリーと否カテゴリーの少なくとも一方のカテゴリーについての上記パラメータ値に基づく数値の分布傾向から統計的推定を行うことにより良否判定の閾値を算出する閾値算出機能と、
良否判定対象から上記パラメータ値を取得する良否判定対象検査機能と、
上記良否判定対象から取得された上記パラメータ値に基づく数値と上記閾値とを比較することにより当該良否判定対象の良否判定を行う良否判定機能とをコンピュータに実現される良否判定プログラムにおいて、
上記閾値算出機能は、
上記仕様を示す特徴値を各仕様毎に記憶する仕様情報記憶機能と、
上記閾値の算出対象となる対象仕様を示す上記特徴値と、同閾値算出の対象とならない異仕様を示す上記特徴値とを比較することにより、同対象仕様と同異仕様との類否判断を行う類否判定機能とを実行し、
上記閾値を算出するに当たり、対象仕様のサンプルから取得された対象仕様サンプルデータと、同類否判定機能により上記対象仕様と類似すると判定された上記異仕様のサンプルから取得された異仕様サンプルデータとに基づく数値の分布傾向から上記閾値を算出することを特徴とする良否判定プログラム。 - 複数の仕様のサンプルについてのパラメーター値とその良否判定結果情報とからなるサンプルデータを予め取得するサンプリング工程と、
各仕様毎に良カテゴリーと否カテゴリーの少なくとも一方のカテゴリーについての上記パラメータ値に基づく数値の分布傾向から統計的推定を行うことにより良否判定の閾値を算出する閾値算出工程と、
良否判定対象から上記パラメータ値を取得する良否判定対象検査工程と、
上記良否判定対象から取得された上記パラメータ値に基づく数値と上記閾値とを比較することにより当該良否判定対象の良否判定を行う良否判定工程とを備える良否判定方法において、
上記閾値算出工程は、
上記仕様を示す特徴値を各仕様毎に記憶する仕様情報記憶工程と、
上記閾値の算出対象となる対象仕様を示す上記特徴値と、同閾値算出の対象とならない異仕様を示す上記特徴値とを比較することにより、同対象仕様と同異仕様との類否判断を行う類否判定工程とを備え、
上記閾値を算出するに当たり、対象仕様のサンプルから取得された対象仕様サンプルデータと、同類否判定工程により上記対象仕様と類似すると判定された上記異仕様のサンプルから取得された異仕様サンプルデータとに基づく数値の分布傾向から上記閾値を算出することを特徴とする良否判定方法。
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