JP4102724B2 - Mesfetおよびその製造方法 - Google Patents
Mesfetおよびその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4102724B2 JP4102724B2 JP2003284022A JP2003284022A JP4102724B2 JP 4102724 B2 JP4102724 B2 JP 4102724B2 JP 2003284022 A JP2003284022 A JP 2003284022A JP 2003284022 A JP2003284022 A JP 2003284022A JP 4102724 B2 JP4102724 B2 JP 4102724B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- layer
- mesfet
- gate
- semiconductor
- semiconductor layer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Images
Landscapes
- Junction Field-Effect Transistors (AREA)
Description
d<Lg/π …(1)
ここでLgはゲート長である。この式(1)から分かるように、AlGaNバリア層24の厚さdに対するゲートショットキ電極26の長さLgの比がπ以下になれば、短チャネル効果が発生する。短チャネル効果が発生すれば、HFETのチャネル荷電はゲート印加電圧で制御できにくくなる。
エス・シー・ビナーリ(S.C.Binari)ら著、「AlGaN/GaN高電子移動度トランジスタにおけるトラップ効果およびマイクロ波パワー性能(Trapping Effects and Microwave Power Performance in AlGaN/GaN HEMTs)、アイ・トリプルイー・トランスアクション・エレクトロン・デバイセズ(IEEE Transaction Electron Devices)、2001年、vol.48、no.3、p.465−471
基板の上にチャネル層を最上層として含む第1半導体層を備え、上記第1半導体層の上に上記チャネル層とは組成が異なる第2半導体層を備え、上記第2半導体層の上にソースオーミック電極、ゲートショットキ電極、およびドレインオーミック電極を備えたMESFETにおいて、
上記第2半導体層のうち上記ゲートショットキ電極と上記チャネル層との間に挟まれた部分は、上記第2半導体層のうち上記ゲートショットキ電極の両外側に相当する部分よりも厚い半導体リッジ部を構成しており、
上記MESFETのゲート長をLg、上記第2半導体層のうち上記ゲートショットキ電極と上記チャネル層との間に相当する部分の厚さをd1、上記第2半導体層のうち上記ゲートショットキ電極の両外側に相当する部分の厚さをd2とするとき、
π×d1 > Lg > π×d2
なる条件を満たすことを特徴とする。
Lg > π×d2 …(2)
なる条件を満たすので、短チャネル効果の発生が確実に防止される。しかも、
π×d1 > Lg …(3)
なる条件を満たすので、HFETの電流利得遮断周波数(fT)が高くなり、さらに高性能になる。
基板の上にチャネル層を最上層として含む第1半導体層を備え、上記第1半導体層の上に上記チャネル層とは組成が異なる第2半導体層を備え、上記第2半導体層の上にソースオーミック電極、ゲートショットキ電極、およびドレインオーミック電極を備え、上記第2半導体層のうち上記ゲートショットキ電極と上記チャネル層との間に挟まれた部分は、上記第2半導体層のうち上記ゲートショットキ電極の両外側に相当する部分よりも厚い半導体リッジ部を構成しているMESFETを製造するMESFETの製造方法であって、
上記第2半導体層として、上記チャネル層に接するバリア層と、このバリア層と選択的にエッチング可能な材料からなるショットキ層との2層を形成し、
上記第2半導体層のうち上記ゲートショットキ電極の両外側に相当する部分をエッチングして薄くする工程で、上記バリア層をエッチストッパ層として上記ショットキ層を除去することを特徴とする。
図1は本発明のMESFETの一実施形態であるAlGaN/GaN系HFETの断面構造を示している。
Lg > π×d2 …(2)
なる条件を満たす。したがって、短チャネル効果の発生が確実に防止される。しかも、この例では、d1=50nmであるから、
π×d1 > Lg …(3)
なる条件を満たす。したがって、HFETの電流利得遮断周波数(fT)が高くなり、さらに高性能になる。なお、この式(3)の条件を満たさない場合はゲートリッジ構造が無くても短チャネル効果が起こらない。
図3は本発明のMESFETの別の実施形態であるAlGaN/GaN系HFETの断面構造を示している。
図4は本発明のMESFETのさらに別の実施形態であるAlGaN/GaN系HFETの断面構造を示している。
12,52,62 アンドープAlNバッファ層
13,53,63 アンドープGaNチャネル層
14 アンドープAl0.2Ga0.8Nバリア層
15 アンドープAl0.2Ga0.8Nショットキ層
17,57 WN/Auゲートショットキ電極
54 アンドープAlNバリア層
55 アンドープAl0.2Ga0.8Nショットキ層
64 アンドープAl0.15Ga0.85Nバリア層
65 アンドープAl0.15Ga0.85Nショットキ層
67 Pt/Auゲートショットキ電極
Claims (6)
- 基板の上にチャネル層を最上層として含む第1半導体層を備え、上記第1半導体層の上に上記チャネル層とは組成が異なる第2半導体層を備え、上記第2半導体層の上にソースオーミック電極、ゲートショットキ電極、およびドレインオーミック電極を備えたMESFETにおいて、
上記第2半導体層のうち上記ゲートショットキ電極と上記チャネル層との間に挟まれた部分は、上記第2半導体層のうち上記ゲートショットキ電極の両外側に相当する部分よりも厚い半導体リッジ部を構成しており、
上記MESFETのゲート長をLg、上記第2半導体層のうち上記ゲートショットキ電極と上記チャネル層との間に相当する部分の厚さをd1、上記第2半導体層のうち上記ゲートショットキ電極の両外側に相当する部分の厚さをd2とするとき、
π×d1 > Lg > π×d2
なる条件を満たすことを特徴とするMESFET。 - 請求項1に記載のMESFETにおいて、
上記チャネル層と上記第2半導体層との界面がヘテロ接合を形成していることを特徴とするMESFET。 - 請求項1に記載のMESFETにおいて、
上記第2半導体層が、上記ソースオーミック電極の直下から上記ドレインオーミック電極の直下まで延在するバリア層と、このバリア層と組成が異なり、上記半導体リッジ部をなすように上記ゲートショットキ電極の直下のみに設けられたショットキ層との2層からなることを特徴とするMESFET。 - 請求項1に記載のMESFETにおいて、
上記半導体リッジ部のゲート長方向の寸法は上記ゲートショットキ電極長と同じであるか、又はゲートショットキ電極長より短いことを特徴とするMESFET。 - 請求項1に記載のMESFETにおいて、
上記第2半導体層のうち上記ゲートショットキ電極の両外側に相当する部分に、上記半導体リッジ部とは離間して別の半導体リッジ部を有することを特徴とするMESFET。 - 基板の上にチャネル層を最上層として含む第1半導体層を備え、上記第1半導体層の上に上記チャネル層とは組成が異なる第2半導体層を備え、上記第2半導体層の上にソースオーミック電極、ゲートショットキ電極、およびドレインオーミック電極を備え、上記第2半導体層のうち上記ゲートショットキ電極と上記チャネル層との間に挟まれた部分は、上記第2半導体層のうち上記ゲートショットキ電極の両外側に相当する部分よりも厚い半導体リッジ部を構成しているMESFETを製造するMESFETの製造方法であって、
上記第2半導体層として、上記チャネル層に接するバリア層と、このバリア層と選択的にエッチング可能な材料からなるショットキ層との2層を形成し、
上記第2半導体層のうち上記ゲートショットキ電極の両外側に相当する部分をエッチングして薄くする工程で、上記バリア層をエッチストッパ層として上記ショットキ層を除去することを特徴とするMESFETの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003284022A JP4102724B2 (ja) | 2003-07-31 | 2003-07-31 | Mesfetおよびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003284022A JP4102724B2 (ja) | 2003-07-31 | 2003-07-31 | Mesfetおよびその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005051165A JP2005051165A (ja) | 2005-02-24 |
JP4102724B2 true JP4102724B2 (ja) | 2008-06-18 |
Family
ID=34268748
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003284022A Expired - Lifetime JP4102724B2 (ja) | 2003-07-31 | 2003-07-31 | Mesfetおよびその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4102724B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005203544A (ja) * | 2004-01-15 | 2005-07-28 | Mitsubishi Electric Corp | 窒化物半導体装置とその製造方法 |
JP2007149794A (ja) * | 2005-11-25 | 2007-06-14 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 電界効果トランジスタ |
-
2003
- 2003-07-31 JP JP2003284022A patent/JP4102724B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2005051165A (ja) | 2005-02-24 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US10109713B2 (en) | Fabrication of single or multiple gate field plates | |
US7750369B2 (en) | Nitride semiconductor device | |
US7910955B2 (en) | Semiconductor device having MIS structure and its manufacture method | |
US7759699B2 (en) | III-nitride enhancement mode devices | |
US6271547B1 (en) | Double recessed transistor with resistive layer | |
JP5217157B2 (ja) | 電界効果トランジスタおよびその製造方法 | |
US6797994B1 (en) | Double recessed transistor | |
US7800116B2 (en) | Group III-nitride semiconductor device with a cap layer | |
US8405125B2 (en) | Semiconductor device and method for producing the same | |
US12062715B2 (en) | HEMT transistor with adjusted gate-source distance, and manufacturing method thereof | |
JP2006190991A (ja) | 電界効果トランジスタ及びその製造方法 | |
JP2006128646A (ja) | 電子デバイスおよびヘテロ接合fet | |
US8723228B1 (en) | Power semiconductor device | |
JP2005203544A (ja) | 窒化物半導体装置とその製造方法 | |
JP4102724B2 (ja) | Mesfetおよびその製造方法 | |
JP2006173241A (ja) | 電界効果トランジスタ及びその製造方法 | |
US20230282727A1 (en) | Hemt device and manufacturing process thereof | |
US20240266406A1 (en) | Transistor with defect mitigation structures | |
JP2894801B2 (ja) | 半導体トランジスタおよびその製造方法 | |
KR20220013870A (ko) | 고전자 이동도 트랜지스터 소자 및 그 제조 방법 | |
JP2001308110A (ja) | 半導体装置 | |
JP2003068769A (ja) | 電界効果トランジスタの製造方法および電界効果トランジスタ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20050810 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20071214 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20071225 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080221 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20080318 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20080324 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110328 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4102724 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120328 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120328 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130328 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130328 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140328 Year of fee payment: 6 |