JP4089302B2

JP4089302B2 - Appearance inspection apparatus and appearance inspection method

Info

Publication number: JP4089302B2
Application number: JP2002165526A
Authority: JP
Inventors: 理央安西; 聡塚原; 邦彦本橋; 一就塚田
Original assignee: Hitachi Chemical Co Ltd; Showa Denko Materials Co Ltd; Resonac Corp
Current assignee: Resonac Corp
Priority date: 2002-06-06
Filing date: 2002-06-06
Publication date: 2008-05-28
Anticipated expiration: 2022-06-06
Also published as: JP2004012275A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、画像処理により工業製品を自動検査する技術に係り、特に、プリント配線板の微細な配線パターンを検査するための外観検査システムおよび外観検査方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
一般に、画像処理による配線パターン検査システムでは、画像処理を行う画像処理手段として専用電子回路によるハードウェア処理と、複数台パソコンを用いたソフトウェア処理（特開２０００−３５６５１２）の２方法に大別できる。専用電子回路によるハードウェア処理は、非常に高速で処理が可能であるが、設計・製作するには開発費用が高くなり、また、欠陥を検出するアルゴリズムを改良する場合、それに伴う回路基板の改修・設計が難しいという問題がある。一方、複数台パソコンを用いたソフトウェア処理は、検査システムの開発費用が安く、かつ検査アルゴリズムの変更も容易に行うことが可能である。例えば特開２０００−３５６５１２では撮像手段からの出力をマルチタップ出力とし、画像入力ボードを内蔵したパソコンに入力した後、画像を分割し複数台の画像処理パソコンにＬＡＮを用いて転送し、検査処理をする方法や、シングルタップ出力で画像入力ボードを内蔵した画像処理パソコンに直接入力し、検査処理を行う方法が開示されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
前記した従来のソフトウェア処理方法において、ＣＣＤラインセンサ等撮像手段からの出力をマルチタップ出力で行う方法では、画像入力用パソコンから処理パソコンへの画像データの受け渡しをＬＡＮを通じて行うため、画像信号のデータ転送には長い時間を要してしまい、検査時間の長大化が問題である。また、画像処理用パソコンに画像入力ボードを内蔵し、ＬＡＮによる画像信号のデータ転送を介さずに、直接画像を入力し処理を行う方法では、カメラからの複数の出力チャンネルから複数パソコンの画像入力ボードへ分配する際、入力ボード間のノイズ印加やタイミングずれ等が発生するため、欠陥の抽出に問題があった。また、入力ボード間のノイズ印加やタイミングずれ等の発生をなくそうとすると、カメラからの出力はシングルタップ出力することを要していて、高速で検査処理を行うのは困難である。
【０００４】
本発明は、高速データ転送が可能な撮像手段であるマルチタップ出力方式ＣＣＤラインセンサの高速データ転送速度と同等な高速検査をソフトウェア処理により実現する外観検査装置および方法を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
本発明は、上記課題を被検査物を照射するための照明系と、前記被検査物の光学像を結像するための結像系と、結像された光学像を受光するための撮像系と、該撮像系で形成された光学像を画像信号に変換するための変換系と、該変換系で変換された画像信号を出力する出力系と、該出力系から出力された画像信号を複数個に分配する分配系と、該分配系で分配された画像信号を取り込むための画像入力系と、該画像入力系を内蔵している小型計算機とを有する被検査物の外観検査装置において、小型計算機は、他の小型計算機に分配された画像データを入力して画像の１部が重複した画像を表わす検出画像データを立体的に生成して、該検出画像データに基づいて被検査物の外観検査を行う外観検査装置で解決する。
【０００６】
本発明は、具体的には被検査物を照射するための照明系と、前記被検査物の光学像を結像するための結像系と、結像された光学像を受光するための撮像系と、該撮像系で形成された光学像を画像信号に変換するための変換系と、該変換系で変換された画像信号を出力する出力系と、該出力系から出力された画像信号を複数個に分配する分配系と、該分配系で分配された画像信号を取り込むための画像入力系と、該画像入力系を内蔵している小型計算機群とを有する被検査物の外観検査装置において、小型計算機群は、画像入力ボードを共通とする隣接する二つの検査チャンネルからなる画像データをそれぞれ有する２つの小型計算機から構成される第１の小型計算機群と、該第１の小型計算機群の画像入力ボードが異なった２つの小型計算機に分配された隣接するチャンネル側の画像データをそれぞれ入力して隣接する二つの検査チャンネルからなる画像データを形成する第２の小型計算機群とからなり、第１および第２の小型計算機群の有する隣接する二つの検査チャンネルの検出画像データに基づいて被検査物の外観検査を行う外観検査装置を提供する。
【０００７】
また、本発明は、前記被検査物を照射し、前記被検査物の光学像を結像せしめ、結像された光学像を受光し、形成された光学像を画像信号に変換し、変換された画像信号を出力し、出力された画像信号を複数個に分配し、分配された画像信号を取り込んで、被検査物の外観を行う検査方法において、２つの小型計算機に分配された隣接する側の画像データを個別にそれぞれ入力して隣接する二つの検査領域からなる画像データを形成し、該画像データを使用して被検査物の外観検査を行う外観検査方法を提供する。
【０００８】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施例に係る外観検査装置を図面に基づいて説明する。
図１は、外観検査装置の概略構成をブロックで示す。
図１において、テーブル１上にセットした被検査品２は、照明光源装置３から発生した光がファイバーを通して被検査品２に対し高角度に配置した斜方照斜照明４および低角度の位置に配置した測方照射照明５により照射され、この照射された光は、被検査品２を反射し、被検査品２に対し垂直の位置に配置したレンズ６によりＣＣＤラインセンサ７上に結像し、ＣＣＤラインセンサ７で受光する。受光したＣＣＤラインセンサ７からの出力信号は信号の増幅をおこない、Ａ／Ｄ変換によりデジタル化した画像信号になる。ＣＣＤセンサに代えてＴＤＩ（Time Delay & Integration ：遅延積分）センサを使用することができるが、ここではＣＣＤセンサを例にとって説明する。
【０００９】
ＣＣＤラインセンサ７は、ＣＣＤ素子がｎ画素あった場合、これをｍ等分したｎ／ｍ画素分を１チャンネルとしたｍチャンネル並列出力が可能なマルチタップ出力方式のものであり、ＣＣＤラインセンサのデータ転送速度がｐＭＨｚの場合、（ｐ×ｍ）ＭＨｚの高速データ転送が可能である。ｍチャンネルから並列出力した画像信号は、画像信号の分配をおこなう分配器または分配ケーブル８により転送され、画像処理をおこなうパソコン９のバスに接続された画像入力ボード１０のメモリに格納される。画像入力ボード１０のメモリから任意に取捨選択した画像信号は、画像処理パソコンのメモリに転送、格納され、画像処理ソフトにより検査をおこなう。（ｐ×ｍ）ＭＨｚの高速なデータ転送速度に対応する画像入力ボード１式もしくは複数が接続された画像処理用パソコン１台で検査処理時間がデータ転送速度に比べ十分に得られる場合は画像処理用パソコン１台でおこなう。
【００１０】
パソコン１台では、検査処理時間がデータ転送速度に比べ不十分の場合は、複数の画像処理用パソコンにＬＡＮを通じて振り分けることもできるが、現状のＬＡＮのデータ転送速度では不十分であり、ＬＡＮのデータ転送速度がボトルネックとなるため、マルチタップ出力方式のＣＣＤラインセンサの１または２チャンネル毎、もしくは複数チャンネル毎に画像入力ボードが接続された画像処理用パソコンを設け、複数の画像処理用パソコンにより検査処理をおこなう。
【００１１】
上記の画像入力ボードは、画像入力ボード間で画像データの分配が可能な機能と、ノイズ印加やタイミングずれを発生させることのない回路構成を有することを特徴とし、高速で画像データの分配・転送を可能としている。
検査処理の結果は、画像処理用パソコンからそれぞれＬＡＮにより集線装置１１を経由しシステム管理用パソコン１２に転送する。システム管理用パソコン１２は、テーブルを駆動制御するモーションコントローラ部１３との動作制御信号の受け渡しにより、テーブルの移動を制御することができる。
【００１２】
被検査品全面を検査するには、ＣＣＤラインセンサの画素が並ぶ方向と垂直方向であるＹ軸方向にテーブルを等速度で移動させ、ＣＣＤラインセンサの撮像視野の矩形範囲の画像を検出し、さらにテーブル往復動作の往路から復路移動もしくは復路から往路移動のとき、画素が並ぶ方向と水平方向であるＸ軸方向にＣＣＤラインセンサ、照明、レンズを含む光学系をステップ移動することを繰り返し行う。Ｙ軸方向の等速度移動とＸ軸方向のステップ移動はともにテーブルまたはＣＣＤラインセンサ、照明、レンズを含む光学系がおこなっても構わない。また、Ｙ軸方向の等速度移動はＣＣＤラインセンサ、照明、レンズを含む光学系がおこない、Ｘ軸方向のステップ移動はテーブルがおこなってもよい。
【００１３】
Ｙ軸方向に駆動するテーブルに取付けているエンコーダから出力されたパルスは、信号変換器によりＣＣＤラインセンサを駆動するパルスに変換され、画像入力ボードの１つを経由しＣＣＤラインセンサへ出力する。この画像入力ボードへのパルスの出力は、他の画像入力ボードとの同期をとるために必要である。また、マルチタップ出力方式のＣＣＤラインセンサの高速データ転送に検査処理時間が追いつかない場合は、画像処理用パソコンを増加する以外にＣＰＵをデュアルもしくは複数個搭載してもよい。
【００１４】
図２に、８チャンネル並列出力可能なＣＣＤラインセンサにおいて、２チャンネル毎に画像入力ボードが接続された画像処理用パソコンを複数の画像処理用パソコンにより検査処理をおこなう方法例を示す。
８チャンネル出力方式のＣＣＤラインセンサのチャンネル１４と１５からの画像信号は、分配器または分配ケーブル８ａ−１−１、８ａ−１−２により転送し、画像処理用パソコン９ａ−１に接続された画像入力ボード１０ａ−１のメモリに格納する。画像入力ボード１０ａ−１は画像信号のシェーディング補正機能、チャンネル間明度補正機能、画像信号の並べ替え機能、画像信号の２値化処理等の機能のほかに画像信号を分配する機能を有している。
【００１５】
同様にチャンネル１６と１７からの画像信号は、分配器または分配ケーブル８ａ−３−１、８ａ−３−２により転送し、画像処理用パソコン９ａ−３に接続された画像入力ボード１０ａ−３のメモリに格納、チャンネル１８と１９からの画像信号は、分配器または分配ケーブル８ａ−５−１、８ａ−５−２により転送し、画像処理用パソコン９ａ−５に接続された画像入力ボード１０ａ−５のメモリに格納、チャンネル２０と２１からの画像信号は、分配器または分配ケーブル８ａ−７−１、８ａ−７−２により転送し、画像処理用パソコン９ａ−７に接続された画像入力ボード１０ａ−７のメモリに格納する。
【００１６】
さらに、隣あう画像入力ボード間つまりチャンネル１４、１５とチャンネル１６、１７、それからチャンネル１６、１７とチャンネル１８、１９、それからチャンネル１８、１９とチャンネル２０、２１間の画像は欠陥の見逃しが起きる場合があるため、画像の１部を重複させる。重複する方法は、まず、画像処理用パソコン９ａ−１に接続された画像入力ボード１０ａ−１に取込まれた画像信号のすべてを分配器または分配ケーブル８ｂ−１−１、８ｂ−１−２により転送し、画像処理用パソコン９ｂ−１に接続された画像入力ボード１０ｂ−１のメモリに格納する。
【００１７】
同様に画像処理用パソコン９ａ−３に接続された画像入力ボード１０ａ−３、画像処理用パソコン９ａ−５に接続された画像入力ボード１０ａ−５、画像処理用パソコン９ａ−７に接続された画像入力ボード１０ａ−７についても、それぞれ取込まれた画像信号のすべてを分配器または分配ケーブル８ｂ−３−１、８ｂ−３−２、８ｂ−５−１、８ｂ−５−２、８ｂ−７−１、８ｂ−７−２により転送し、画像処理用パソコン９ｂ−３、９ｂ−５、９ｂ−７に接続された画像入力ボード１０ｂ−３、１０ｂ−５、１０ｂ−７のメモリにそれぞれ格納する。画像入力ボード１０ａ−３、１０ａ−５、１０ａ−７についても画像信号のシェーディング補正機能、チャンネル間明度補正機能、画像信号の並べ替え機能、画像信号の２値化処理等の機能のほかに画像信号を分配する機能を有している。
【００１８】
次に、画像処理用パソコン９ｂ−１に接続された画像入力ボード１０ｂ−１に取込まれた画像信号の１部を分配器または分配ケーブル８ａ−２−１により、画像処理用パソコン９ｂ−３に接続された画像入力ボード１０ｂ−３に取込まれた画像信号の１部を分配器または分配ケーブル８ａ−２−２により転送し画像処理用パソコン９ａ−２に接続された画像入力ボード１０ａ−２のメモリに格納する。同様に画像処理用パソコン９ｂ−３に接続された画像入力ボード１０ｂ−３に取込まれた画像信号の１部を分配器または分配ケーブル８ａ−４−１により、画像処理用パソコン９ｂ−５に接続された画像入力ボード１０ｂ−５に取込まれた画像信号の１部を分配器または分配ケーブル８ａ−５−２により転送し画像処理用パソコン９ａ−４に接続された画像入力ボード１０ａ−４のメモリに格納され、また、画像処理用パソコン９ｂ−５に接続された画像入力ボード１０ｂ−５に取込まれた画像信号の１部を分配器または分配ケーブル８ａ−６−１により、画像処理用パソコン９ｂ−７に接続された画像入力ボード１０ｂ−７に取込まれた画像信号の１部を分配器または分配ケーブル８ａ−６−２により転送し画像処理用パソコン９ａ−６に接続された画像入力ボード１０ａ−６のメモリに格納される。画像入力ボード１０ｂ−１、１０ｂ−３、１０ｂ−５、１０ｂ−７についても画像信号のシェーディング補正機能、チャンネル間明度補正機能、画像信号の並べ替え機能、画像信号の２値化処理等の機能のほかに画像信号を分配する機能を有している。画像入力ボード１０ａ−２、１０ａ−４、１０ｂ−６についても画像信号のシェーディング補正機能、チャンネル間明度補正機能、画像信号の並べ替え機能、画像信号の２値化処理等の機能のほかに画像信号を分配する機能を有している。
【００１９】
さらに、画像処理用パソコン９ａ−２に接続された画像入力ボード１０ａ−２に取込まれた画像信号のすべてを分配器または分配ケーブル８ｂ−２−１、８ｂ−２−２により転送し、画像処理用パソコン９ｂ−２に接続された画像入力ボード１０ｂ−２のメモリに格納する。同様に画像処理用パソコン９ａ−４に接続された画像入力ボード１０ａ−４、画像処理用パソコン９ａ−６に接続された画像入力ボード１０ａ−６についても、それぞれ取込まれた画像信号のすべてを分配器または分配ケーブル８ｂ−４−１、８ｂ−４−２、８ｂ−６−１、８ｂ−６−２により転送し、画像処理用パソコン９ｂ−４、９ｂ−６に接続された画像入力ボード１０ｂ−４、１０ｂ−６のメモリにそれぞれ格納する。
【００２０】
図２に示す構成はパソコン１４台の場合であるが、検査処理時間に応じパソコン台数を増減しても構わない。また、パソコン台数に応じて画像信号の１部を重複するための分配構成は変えてもよい。
【００２１】
図３に隣接する２つのチャンネルによって検査用の画像データを形成するためのフローチャートを示す。
チャンネル１４の画像信号およびチャンネル１５の画像信号は転送されて、前述のように画像入力ボード１０ａ−１で画像の取得がなされ、取得された画像は分配されて（画像信号の分配）、画像入力ボード１０ｂ−１で画像の取得がなされる。画像入力ボード１０ａ−１で取得された画像信号の一部は、例えば、上下検査領域の上側の検査領域については画像処理用パソコン９ａ−１内メモリに格納される。
【００２２】
画像入力用ボード１０ｂ−１で取得された画像（画像入力ボード１０ｂ−１での画像の取得）は分配され（画像信号の分配）、画像入力ボード１０ａ−２に入力される。そして、画像入力ボード１０ｂ−１で取得された画像信号の他の一部は、例えば上下検査領域の下側の検査領域については、画像処理用パソコン９ｂ−１内メモリに格納される。尚、説明のため上下検査領域としたが、実際には１ラインからＬラインまでの領域となる。
【００２３】
チャンネル１６とチャンネル１７、チャンネル１８とチャンネル１９、およびチャンネル２０およびチャンネル２１についても同様の処理がなされる。図に示すように、画像処理用パソコン９ａ−３内メモリへの格納および画像処理用パソコン９ｂ−３、画像処理用パソコン９ａ−５および画像処理用パソコン９ｂ−５、画像処理用パソコン９ａ−７および画像処理用パソコン９ｂ−７への画像データの格納がなされる。
【００２４】
２つの画像信号の分配によって隣接するチャンネル１５およびチャンネル１６の画像信号が画像入力ボード１０ａ−２に入力される（画像入力ボード１０ａ−２での画像の取得）。取得された画像信号は分配され（画像信号の分配）、上記と同様に、一部の画像信号が画像処理パソコン９ａ−２内メモリへ格納される。
【００２５】
画像信号の分配によって分配された画像信号は、画像入力ボード１０ｂ−２に入力され（画像入力ボード１０ｂ−２での画像の取得）、上記と同様に、他の一部の画像信号が画像処理用パソコン９ｂ−２内メモリへ格納される。
従って、画像処理用パソコン９ａ−２内メモリにはチャンネル１５およびチャンネル１６の隣接する領域の上側領域が検査画像データとして格納され、画像処理用パソコン９ｂ−２内メモリにはチャンネル１５およびチャンネル１６の入力ボードを共通とする隣接する領域の下側領域が検査画像データとして格納される。
【００２６】
よってチャンネル１４、チャンネル１５およびチャンネル１６によって転送された画像信号によって形成される画像データにはチャンネルの相違による境界が生ずるということがなくなる。
チャンネル１６以降のチャンネル１７、チャンネル１８、１９、２０および２１についても同様の結果を得ることができる。
【００２７】
この場合に、チャンネル１５−２１のそれぞれの信号を入力する画像用処理用パソコン、すなわち小型計算機（パソコンに限定されるものではなく、例えばワークステーションやサーボなどの他の小型計算機であってもよい）は上側領域について４個、下側領域について４個からなる第１の小型計算機群が構成され、画像信号の分配によって形成される入力ボードが異なる隣接する領域については上側領域については３個、下側領域については３個からなる第２の小型計算機群が構成される。
【００２８】
そして、第１の小型計算機群は、上側領域のための第３の小型計算機群と、下側領域のための第４の小型計算機群とから構成される。第２の小型計算機群は、上側領域のための第５の小型計算機群と、下側領域のための第６の小型計算機群とから構成される。
第５の小型計算機および第６の小型計算機群でそれぞれ３つの画像データを作ればよいので、画像処理用パソコン９ａ−７、９ｂ−７は設ける必要はない。
【００２９】
図４に画像入力ボードでの画像を取得したときの画像処理用パソコン内メモリに格納する場合の処理ステップを示す。図４にはチャンネル１４およびチャンネル１５の場合を例にとって示しているが、他のチャンネル群についても同様である。
画像信号のシェーディング補正機能、チャンネル間明度補正機能、画像信号の並べ替え機能、画像信号の２値化処理についてのフローチャートを図４に示す。
【００３０】
マルチタップ出力方式ＣＣＤラインセンサのチャンネル１４と１５の画像信号を例に説明する。チャンネル１４と１５の画像信号は、画像入力ボード１０ａ−１に交互に転送され、画像入力ボードのメモリに格納されるため、画像入力ボード１０ａ−１内での画像信号は、被検査品の撮像画像として生成されていないため、画像入力ボード１０ａ−１に交互に転送されたチャンネル１４と１５の画像信号を被検査品の撮像画像として生成されるよう画像信号の並べ替えをおこなう。画像信号の並べ替えにより被検査品の撮像画像として生成された画像に対し、画像のむらを補正するシェーディング補正をおこなう。さらに、チャンネル間同士で明度が異なることを防止するため、チャンネル間の明度補正をおこなう。画像信号のシェーディング補正機能、チャンネル間明度補正機能の使用有無は自由に切り替えることができる。被検査品の撮像画像は、そのまま画像処理用パソコン９ａ−１のメモリ内に格納することもできるが、撮像画像が大容量で画像処理用パソコンのメモリに格納しきれない場合は、画像処理用パソコンのメモリに格納する前に、濃淡画像である撮像画像を２値化処理し画像サイズを減らし、２値化画像信号として画像処理用パソコンのメモリに格納することもできる。また、画像入力ボードに格納された画像信号を任意に取捨選択し、画像処理用パソコンのメモリに格納することもできる。
【００３１】
マルチタップ出力方式ＣＣＤラインセンサで撮像した画像信号が格納されているそれぞれの画像入力ボードが、画像処理用パソコンに画像信号を振り分け、画像全体が立体的に作成される例を図５に示す。
【００３２】
第１の小型計算機群を構成する第３の小型計算機群および第４の小型計算機群が下側に、そして、第２の小型計算機群を構成する第５の小型計算機群および第６の小型計算機群が上側に表示することができ、これによって画像入力ボードを共通にして隣接するチャンネル領域の画像データの作成、および画像入力ボードを隣接として隣接するチャンネル領域の画像データの作成の理解が判り易くなるばかりでなく、本実施例における検出画像データを立体的に生成することの技術的意味が把握し易いものとなる。すなわち、立体的に生成とは、画像の一部が重複する２つの画像を寄せ集めて新たに重複する部分と重複しない部分とからなる画像を生成することをいう。下側の前者のチャンネル領域の画像データに基づいて上側の後者のチャンネル領域の画像データが構成され、これらの画像データは１ラインからＬラインまで繰り返されて画像全体が立体的に構成されることになる。これによって欠陥等の検査を立体的に行うことができるようになる。
【００３３】
被検査品の１ラインからＬ１ラインまでの範囲を撮像した場合、チャンネル１４および１５の１ラインからＬ１ラインまでの画像信号は画像入力ボード１０ａ−１および１０ｂ−１に転送、格納され、画像入力ボード１０ａ−１に格納された画像信号のうち１ラインからＬ１’ラインまでの画像信号を画像処理用パソコン９ａ−１のメモリに転送、格納し、画像入力ボード１０ｂ−１に格納された画像信号のうちＬ１’＋１ラインからＬ１ラインまでの画像信号を画像処理用パソコン９ｂ−１のメモリに転送、格納する。
【００３４】
同様に、チャンネル１６および１７の１ラインからＬ１ラインまでの画像信号は転送、格納され、画像入力ボード１０ａ−３に格納された画像信号のうち１ラインからＬ１’ラインまでの画像信号を画像処理用パソコン９ａ−３のメモリに転送、格納し、画像入力ボード１０ｂ−３に格納された画像信号のうちＬ１’＋１ラインからＬ１ラインまでの画像信号を画像処理用パソコン９ｂ−３のメモリに転送、格納する。チャンネル１８および１９、チャンネル２０および２１の画像信号についても、同様な処理がおこなわれる。
【００３５】
また、画像入力ボード１０ａ−１および１０ｂ−１の画像信号の１部と画像入力ボード１０ａ−３および１０ｂ−３の画像信号の１部が分配転送され、格納された画像入力ボード１０ａ−２および１０ｂ−２の１ラインからＬ１ラインまでの画像信号は、画像入力ボード１０ａ−２に格納された画像信号のうち１ラインからＬ１’ラインまでの画像信号を画像処理用パソコン９ａ−２のメモリに転送、格納し、画像入力ボード１０ｂ−２に格納された画像信号のうちＬ１’＋１ラインからＬ１ラインまでの画像信号を画像処理用パソコン９ｂ−２のメモリに転送、格納する。画像入力ボード１０ａ−３および１０ｂ−３の画像信号の１部と画像入力ボード１０ａ−５および１０ｂ−５の画像信号の１部が分配転送され、格納された画像入力ボード１０ａ−４および１０ｂ−４や画像入力ボード１０ａ−５および１０ｂ−５の画像信号の１部と画像入力ボード１０ａ−７および１０ｂ−７の画像信号の１部が分配転送され、格納された画像入力ボード１０ａ−６および１０ｂ−６の画像信号についても同様に画像処理パソコンのメモリに転送、格納する。被検査品のＬ１＋１ラインからＬ１＋Ｌ２ラインの撮像範囲についても、上記と同様な処理をおこない、被検査品の画像全体が完了するまでおこなう。画像処理パソコンは、メモリに格納された画像に対し、あらかじめ設定された検査範囲において検査処理をおこなう。
【００３６】
以上のように、本発明の実施例によって被検査物を水平に置くためのテーブルと、前記被検査部を照射するための照明系と、前記被検査物の光学像を結像するための結像系と、結像された光学像を受光するための撮像系と、該撮像系で形成された光学像を画像信号に変換するための変換系と、該変換系で変換された画像信号を出力する出力系と、該出力系から出力された画像信号を複数個に分配する分配系と、該分配系で分配された画像信号を取り込むための画像入力系と、該画像入力系を内蔵している小型計算機群と、該小型計算機群とネットワークを介して接続され、検査条件やテーブル移動距離を入力するための計算機と、該計算機からの制御指令を受け取るモーションコントローラと、を有する外観検査装置において、他の小型計算機に分配された画像データを入力して画像の１部が重複した画像を表わす検出画像データを立体的に生成し、該検出画像に基づいて被検査物の外観検査を行って前記制御指令を生成する外観検査装置が構成される。
【００３７】
また、本発明の実施例によって被検査部を照射し、前記被検査物の光学像を結像せしめ、結像された光学像を受光し、形成された光学像を画像信号に変換し、変換された画像信号を出力し、出力された画像信号を複数個に分配し、分配された画像信号を取り込んで被検査物の外観検査を行い、該外観検査に基づいて生成した、検査条件やテーブル移動距離を制御する制御指令をテーブルのモーションコントローラに出力する外観検査方法において、隣接した画像を表わす分配された画像データを入力して画像の１部が重複した画像を表わす検出画像データを立体的に生成し、該検出画像に基づいて被検査物の外観検査を行って前記制御指令を生成する外観検査方法が構成される。
【００３８】
また、本発明は、被検査物を水平に置くためのテーブルと、前記被検査部を照射するための照明系と、前記被検査物の光学像を結像するための結像系と、結像された光学像を受光するための撮像系と、該撮像系で形成された光学像を画像信号に変換するための変換系と、該変換系で変換された画像信号を出力する出力系と、該出力系から出力された画像信号を複数個に分配する分配系と、該分配系で分配された画像信号を取り込むための画像入力系と、該画像入力系を内蔵している小型計算機群と、該小型計算機群とネットワークを介して接続され、検査条件やテーブル移動距離を入力するための計算機と、該計算機からの制御指令を受け取るモーションコントローラと、を有する外観検査装置において、小型計算機群は、画像入力ボードを共通とする隣接する二つの検査チャンネルからなる画像データをそれぞれ有する２つの小型計算機から構成される第１の小型計算機群と、該第１の小型計算機群の画像入力ボードが異なった２つの小型計算機に分配された隣接するチャンネル側の画像データをそれぞれ入力して隣接する二つの検査チャンネルからなる画像データを形成する第２の小型計算機群とからなり、第１および第２の小型計算機群の有する隣接する二つの検査チャンネルの検出画像データに基づいて被検査物の外観検査を行う外観検査装置を提供する。
【００３９】
また、本発明は、更に第１の小型計算機群は、画像入力ボードで取得した画像データを第２の他の小型計算機に分配し、一部を画像処理用パソコン内メモリに格納した第１の小型計算機からなる第３の小型計算機群と、分配された画像データを第３の他の小型計算機に分配し、一部を画像処理用パソコン内メモリに格納した第２の小型計算機からなる第４の小型計算機群とからなる外観検査装置を提供する。
【００４０】
また、本発明は、更に第２の小型計算機群は、第５の小型計算機群と第６の小型計算機群とからなり、第５の小型計算機群は、分配された隣接する二つの検査チャンネルからの画像データを画像入力ボードで取得し、取得した画像データを第４の小型計算機に分配し、一部を画像処理用パソコン内メモリに格納した小型計算機を有し、第６の小型計算機群は、第３の小型計算機から分配された画像データの一部を画像処理用パソコンに格納した第４の小型計算機を有することを特徴とする外観検査装置を提供する。
【００４１】
【発明の効果】
高速データ転送が可能なマルチタップ出力方式ＣＣＤラインセンサより出力された複数チャンネルの画像信号を分配器または分配ケーブルにより複数の画像入力ボード接続型画像処理用パソコンに振り分け出力することによりマルチタップ出力方式ＣＣＤラインセンサの高速データ転送速度と同等な高速検査をソフトウェアにより実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の構成を示す図面である。
【図２】本発明の実施例を示す図面である。
【図３】フローチャート図である。
【図４】図３の一部のフローチャート図である。
【図５】検査画像データ作成方法を立体的に表現した図である。
【符号の説明】
１…テーブル、２…被検査品、３…照明光源装置、４…斜方照明、５…測方照明、６…レンズ、７…ＣＣＤラインセンサカメラ、８…分配器または分配ケーブル、９…画像処理用パソコン、１０…画像入力ボード、１１…集線装置、１２…システム管理用パソコン、１３…モーションコントローラ部、１４〜２１…マルチタップ出力方式ＣＣＤラインセンサカメラ出力チャンネル。[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a technology for automatically inspecting industrial products by image processing, and more particularly to an appearance inspection system and an appearance inspection method for inspecting a fine wiring pattern of a printed wiring board.
[0002]
[Prior art]
In general, a wiring pattern inspection system using image processing can be broadly divided into two methods: hardware processing using a dedicated electronic circuit as image processing means for performing image processing and software processing using a plurality of personal computers (Japanese Patent Laid-Open No. 2000-356512). . Hardware processing using dedicated electronic circuits can be performed at very high speed, but the development cost is high for designing and manufacturing, and when the algorithm for detecting defects is improved, the circuit board is modified accordingly.・ There is a problem that it is difficult to design. On the other hand, software processing using a plurality of personal computers has low inspection system development costs and can easily change inspection algorithms. For example, in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2000-356512, the output from the image pickup means is a multi-tap output, which is input to a personal computer with a built-in image input board, then the image is divided and transferred to a plurality of image processing personal computers using a LAN for inspection processing. And a method of performing an inspection process by directly inputting to an image processing personal computer incorporating an image input board with a single tap output.
[0003]
[Problems to be solved by the invention]
In the conventional software processing method described above, in the method in which the output from the imaging means such as a CCD line sensor is performed by multi-tap output, the image data is transferred from the image input personal computer to the processing personal computer through the LAN. The transfer takes a long time, and an increase in inspection time is a problem. In addition, the image input board is built in the image processing personal computer, and the method of directly inputting the image without processing the data transfer of the image signal by LAN, the image input of multiple computers from multiple output channels from the camera. When distributing to the boards, noise is applied between the input boards, timing shifts, and the like occur, so there is a problem in defect extraction. Further, if it is attempted to eliminate the occurrence of noise application or timing shift between input boards, the output from the camera requires a single tap output, and it is difficult to perform inspection processing at high speed.
[0004]
An object of the present invention is to provide an appearance inspection apparatus and method for realizing a high-speed inspection equivalent to a high-speed data transfer speed of a multi-tap output type CCD line sensor, which is an imaging means capable of high-speed data transfer, by software processing. .
[0005]
[Means for Solving the Problems]
The present invention provides an illumination system for irradiating an inspection object, an imaging system for forming an optical image of the inspection object, and an imaging system for receiving the formed optical image. A conversion system for converting an optical image formed by the imaging system into an image signal, an output system for outputting the image signal converted by the conversion system, and a plurality of image signals output from the output system In a visual inspection apparatus for an object to be inspected, which includes: a distribution system that distributes the image data; an image input system that captures an image signal distributed by the distribution system; and a small computer that includes the image input system. The computer inputs the image data distributed to the other small computers, generates three-dimensionally detected image data representing an image in which a part of the image is overlapped, and the appearance of the inspection object based on the detected image data This is solved by an appearance inspection device that performs inspection.
[0006]
Specifically, the present invention relates to an illumination system for irradiating an inspection object, an imaging system for forming an optical image of the inspection object, and imaging for receiving the formed optical image. A system, a conversion system for converting an optical image formed by the imaging system into an image signal, an output system for outputting the image signal converted by the conversion system, and an image signal output from the output system In an appearance inspection apparatus for an object to be inspected, comprising: a distribution system that distributes a plurality of images; an image input system that captures an image signal distributed by the distribution system; and a small computer group that includes the image input system. The small computer group includes a first small computer group composed of two small computers each having image data composed of two adjacent inspection channels sharing a common image input board, and the first small computer group Two small computers with different image input boards It is composed of a second small computer group that inputs the distributed image data of adjacent channels and forms image data consisting of two adjacent inspection channels, and has the first and second small computer groups Provided is an appearance inspection apparatus that performs an appearance inspection of an inspection object based on detected image data of two inspection channels.
[0007]
Further, the present invention irradiates the inspection object, forms an optical image of the inspection object, receives the formed optical image, converts the formed optical image into an image signal, and converts the optical signal. In an inspection method for outputting an image signal, distributing the output image signal into a plurality of images, and capturing the distributed image signal to make an appearance of an inspection object, adjacent sides distributed to two small computers An image inspection method is provided, in which image data consisting of two adjacent inspection regions is formed by individually inputting the image data, and the appearance inspection of the inspection object is performed using the image data.
[0008]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Hereinafter, an appearance inspection apparatus according to an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.
FIG. 1 is a block diagram showing a schematic configuration of the appearance inspection apparatus.
In FIG. 1, the product 2 to be inspected set on the table 1 has an oblique illumination illumination 4 in which the light generated from the illumination light source device 3 is arranged at a high angle with respect to the product 2 to be inspected through the fiber and at a low angle position. The irradiated illumination light 5 is irradiated, and the irradiated light reflects the inspection object 2 and forms an image on the CCD line sensor 7 by the lens 6 disposed at a position perpendicular to the inspection object 2. The CCD line sensor 7 receives light. The received output signal from the CCD line sensor 7 amplifies the signal and becomes a digitized image signal by A / D conversion. A TDI (Time Delay & Integration) sensor can be used in place of the CCD sensor. Here, a CCD sensor will be described as an example.
[0009]
The CCD line sensor 7 is of a multi-tap output type capable of m-channel parallel output with n / m pixels divided into m equal to 1 channel when there are n pixels of the CCD element. When the data transfer rate is p MHz, high-speed data transfer of (p × m) MHz is possible. The image signals output in parallel from the m channels are transferred by a distributor or distribution cable 8 that distributes the image signals, and stored in a memory of an image input board 10 connected to a bus of a personal computer 9 that performs image processing. The image signal arbitrarily selected from the memory of the image input board 10 is transferred to and stored in the memory of the image processing personal computer and inspected by the image processing software. Image processing is performed when the inspection processing time can be sufficiently obtained compared to the data transfer speed with one image processing board connected to one or more image input boards corresponding to a high data transfer speed of (p × m) MHz. This is done with one personal computer.
[0010]
If the inspection processing time is insufficient with one personal computer compared to the data transfer speed, it can be distributed to a plurality of personal computers for image processing through the LAN, but the current data transfer speed of the LAN is insufficient. Since the data transfer speed becomes a bottleneck, a multi-tap output type CCD line sensor is provided with an image processing personal computer with an image input board connected to every 1 or 2 channels or every multiple channels. The inspection process is performed.
[0011]
The above image input board has a function capable of distributing image data between the image input boards and a circuit configuration that does not cause noise application or timing shift, and distributes and transfers image data at high speed. Is possible.
The result of the inspection process is transferred from the image processing personal computer to the system management personal computer 12 via the line concentrator 11 via the LAN. The system management personal computer 12 can control the movement of the table by passing an operation control signal to and from the motion controller unit 13 that drives and controls the table.
[0012]
In order to inspect the entire surface of the inspected product, the table is moved at a constant speed in the Y-axis direction that is perpendicular to the direction in which the pixels of the CCD line sensor are aligned, and an image in the rectangular range of the imaging field of the CCD line sensor is detected. Further, when the table is reciprocated, the optical system including the CCD line sensor, the illumination, and the lens is repeatedly moved stepwise in the X-axis direction, which is the horizontal direction and the pixel alignment direction, when moving from the forward path to the backward path. Both the constant velocity movement in the Y-axis direction and the step movement in the X-axis direction may be performed by an optical system including a table or a CCD line sensor, illumination, and a lens. Further, the constant speed movement in the Y-axis direction may be performed by an optical system including a CCD line sensor, illumination, and lens, and the step movement in the X-axis direction may be performed by a table.
[0013]
The pulse output from the encoder attached to the table driven in the Y-axis direction is converted into a pulse for driving the CCD line sensor by the signal converter, and is output to the CCD line sensor via one of the image input boards. This pulse output to the image input board is necessary to synchronize with other image input boards. If the inspection processing time cannot keep up with the high-speed data transfer of the multi-tap output type CCD line sensor, in addition to increasing the number of personal computers for image processing, two or more CPUs may be mounted.
[0014]
FIG. 2 shows an example of a method for inspecting an image processing personal computer to which an image input board is connected every two channels by a plurality of image processing personal computers in a CCD line sensor capable of outputting eight channels in parallel.
Image signals from channels 14 and 15 of an 8-channel output type CCD line sensor are transferred by a distributor or distribution cables 8a-1-1 and 8a-1-2 and connected to an image processing personal computer 9a-1. The image is stored in the memory of the image input board 10a-1. The image input board 10a-1 has a function of distributing image signals in addition to functions such as an image signal shading correction function, an inter-channel lightness correction function, an image signal rearrangement function, and an image signal binarization process. Yes.
[0015]
Similarly, the image signals from the channels 16 and 17 are transferred by a distributor or distribution cables 8a-3-1 and 8a-3-2, and the image input board 10a-3 connected to the image processing personal computer 9a-3. The image signals from the channels 18 and 19 are stored in the memory, transferred by a distributor or distribution cables 8a-5-1 and 8a-5-2, and connected to the image processing personal computer 9a-5. 5, the image signals from the channels 20 and 21 are transferred by a distributor or distribution cables 8a-7-1 and 8a-7-2 and connected to the image processing personal computer 9a-7. 10a-7 memory.
[0016]
In addition, if the image between adjacent image input boards, that is, between channels 14 and 15 and channels 16 and 17, and then between channels 16 and 17 and channels 18 and 19, and then between channels 18 and 19 and channels 20 and 21, defects are missed. Because there is, one part of the image is overlapped. In the overlapping method, first, all of the image signals taken into the image input board 10a-1 connected to the image processing personal computer 9a-1 are distributed to the distributors or distribution cables 8b-1-1 and 8b-1-2. And stored in the memory of the image input board 10b-1 connected to the image processing personal computer 9b-1.
[0017]
Similarly, an image input board 10a-3 connected to the image processing personal computer 9a-3, an image input board 10a-5 connected to the image processing personal computer 9a-5, and an image connected to the image processing personal computer 9a-7. Also for the input board 10a-7, all of the captured image signals are distributed to the distributors or distribution cables 8b-3-1, 8b-3-2, 8b-5-1, 8b-5-2, 8b-7. -1, 8b-7-2 and stored in the memories of the image input boards 10b-3, 10b-5, 10b-7 connected to the image processing personal computers 9b-3, 9b-5, 9b-7, respectively. To do. For the image input boards 10a-3, 10a-5, and 10a-7, in addition to functions such as an image signal shading correction function, an inter-channel lightness correction function, an image signal rearrangement function, and an image signal binarization process, It has a function to distribute signals.
[0018]
Next, a part of the image signal taken in the image input board 10b-1 connected to the image processing personal computer 9b-1 is transferred to the image processing personal computer 9b-3 by a distributor or a distribution cable 8a-2-1. The image input board 10a-3 connected to the image processing personal computer 9a-2 by transferring a part of the image signal taken into the image input board 10b-3 connected to the image processing unit 10a-2 by a distributor or a distribution cable 8a-2-2. 2 in the memory. Similarly, a part of the image signal taken in the image input board 10b-3 connected to the image processing personal computer 9b-3 is transferred to the image processing personal computer 9b-5 by the distributor or the distribution cable 8a-4-1. An image input board 10a-4 connected to the image processing personal computer 9a-4 by transferring a part of the image signal taken in the connected image input board 10b-5 by a distributor or a distribution cable 8a-5-2. In addition, a part of the image signal stored in the image input board 10b-5 connected to the image processing personal computer 9b-5 is processed by the distributor or the distribution cable 8a-6-1. A portion of the image signal captured by the image input board 10b-7 connected to the personal computer 9b-7 is transferred by a distributor or a distribution cable 8a-6-2 to the image processing personal computer 9a-6. It is stored in the connection memory of the image input board 10a-6. The image input boards 10b-1, 10b-3, 10b-5, and 10b-7 also have functions such as an image signal shading correction function, an inter-channel lightness correction function, an image signal rearrangement function, and an image signal binarization process. In addition to this, it has a function of distributing image signals. For the image input boards 10a-2, 10a-4, and 10b-6, in addition to the image signal shading correction function, the inter-channel lightness correction function, the image signal rearrangement function, the image signal binarization function, and the like, It has a function to distribute signals.
[0019]
Further, all of the image signals taken into the image input board 10a-2 connected to the image processing personal computer 9a-2 are transferred by the distributors or distribution cables 8b-2-1 and 8b-2-2, The image is stored in the memory of the image input board 10b-2 connected to the processing personal computer 9b-2. Similarly, the image input board 10a-4 connected to the image processing personal computer 9a-4 and the image input board 10a-6 connected to the image processing personal computer 9a-6 also receive all of the captured image signals. Image input boards that are transferred by distributors or distribution cables 8b-4-1, 8b-4-2, 8b-6-1, 8b-6-2 and connected to the image processing personal computers 9b-4, 9b-6 10b-4 and 10b-6 are stored respectively.
[0020]
The configuration shown in FIG. 2 is for 14 personal computers, but the number of personal computers may be increased or decreased according to the inspection processing time. Further, the distribution configuration for overlapping one part of the image signal may be changed according to the number of personal computers.
[0021]
FIG. 4 shows a flowchart for forming image data for inspection by two adjacent channels.
The image signal of the channel 14 and the image signal of the channel 15 are transferred, and the image is acquired by the image input board 10a-1 as described above. The acquired image is distributed (distribution of the image signal), and the image is input. An image is acquired by the board 10b-1. A part of the image signal acquired by the image input board 10a-1 is stored in, for example, the memory in the image processing personal computer 9a-1 for the inspection area above the upper and lower inspection areas.
[0022]
An image acquired by the image input board 10b-1 (acquisition of an image by the image input board 10b-1) is distributed (distribution of an image signal) and input to the image input board 10a-2. Then, another part of the image signal acquired by the image input board 10b-1 is stored in the memory in the image processing personal computer 9b-1 for the inspection area below the upper and lower inspection areas, for example. Although the upper and lower inspection areas are described for the sake of explanation, the area is actually an area from one line to the L line.
[0023]
The same processing is performed for channel 16 and channel 17, channel 18 and channel 19, and channel 20 and channel 21. As shown in the figure, the image processing personal computer 9a-3 stores in the memory and the image processing personal computer 9b-3, the image processing personal computer 9a-5, the image processing personal computer 9b-5, and the image processing personal computer 9a-7. The image data is stored in the image processing personal computer 9b-7.
[0024]
By distributing the two image signals, the image signals of adjacent channels 15 and 16 are input to the image input board 10a-2 (image acquisition by the image input board 10a-2). The acquired image signal is distributed (distribution of the image signal), and a part of the image signal is stored in the memory in the image processing personal computer 9a-2 as described above.
[0025]
The image signal distributed by the image signal distribution is input to the image input board 10b-2 (acquisition of the image by the image input board 10b-2). Stored in the memory in the personal computer 9b-2.
Therefore, the upper area of the area adjacent to the channel 15 and the channel 16 is stored as inspection image data in the memory within the image processing personal computer 9a-2, and the memory of the channel 15 and the channel 16 is stored in the memory within the image processing personal computer 9b-2. The lower area of the adjacent area sharing the input board is stored as inspection image data.
[0026]
Therefore, the image data formed by the image signals transferred by the channel 14, the channel 15 and the channel 16 does not have a boundary due to the channel difference.
Similar results can be obtained for channel 17 after channel 16 and channels 18, 19, 20, and 21.
[0027]
In this case, the image processing personal computer for inputting the signals of the channels 15-21, that is, a small computer (not limited to the personal computer, for example, other small computers such as a workstation and a servo may be used. ) Constitutes a first small computer group consisting of four for the upper region and four for the lower region, and three adjacent upper regions for different adjacent input boards formed by image signal distribution, A second small computer group consisting of three is configured for the lower region.
[0028]
The first small computer group is composed of a third small computer group for the upper region and a fourth small computer group for the lower region. The second small computer group is composed of a fifth small computer group for the upper region and a sixth small computer group for the lower region.
The image processing personal computers 9a-7 and 9b-7 do not need to be provided because the fifth small computer and the sixth small computer group need only generate three pieces of image data.
[0029]
FIG. 4 shows processing steps in the case of storing an image in the image processing personal computer memory when an image is acquired on the image input board. FIG. 4 shows the case of channel 14 and channel 15 as an example, but the same applies to other channel groups.
FIG. 4 shows a flowchart of an image signal shading correction function, an inter-channel lightness correction function, an image signal rearrangement function, and an image signal binarization process.
[0030]
An example of the image signals of channels 14 and 15 of a multi-tap output type CCD line sensor will be described. Since the image signals of the channels 14 and 15 are alternately transferred to the image input board 10a-1 and stored in the memory of the image input board, the image signals in the image input board 10a-1 are used for imaging the product to be inspected. Since it is not generated as an image, the image signals are rearranged so that the image signals of channels 14 and 15 that are alternately transferred to the image input board 10a-1 are generated as captured images of the inspected product. Shading correction for correcting image unevenness is performed on an image generated as a captured image of the inspected product by rearranging the image signals. Furthermore, in order to prevent the brightness from being different between channels, brightness correction between channels is performed. The use / non-use of the image signal shading correction function and the inter-channel lightness correction function can be freely switched. The captured image of the inspected product can be stored in the memory of the image processing personal computer 9a-1 as it is. However, if the captured image cannot be stored in the memory of the image processing personal computer because of its large capacity, it is used for image processing. Prior to storing in the memory of the personal computer, the captured image, which is a grayscale image, is binarized to reduce the image size, and can be stored as a binarized image signal in the memory of the personal computer for image processing. Further, the image signal stored in the image input board can be arbitrarily selected and stored in the memory of the image processing personal computer.
[0031]
FIG. 5 shows an example in which each image input board storing image signals picked up by a multi-tap output type CCD line sensor distributes the image signals to an image processing personal computer, and the entire image is created three-dimensionally.
[0032]
The third small computer group and the fourth small computer group constituting the first small computer group are on the lower side, and the fifth small computer group and the sixth small computer constituting the second small computer group The group can be displayed on the upper side, which makes it easy to understand the creation of image data for adjacent channel areas with the same image input board, and the creation of image data for adjacent channel areas with the image input board being adjacent. In addition, the technical meaning of three-dimensionally generating the detected image data in this embodiment can be easily understood. In other words, three-dimensionally generated means that two images that overlap part of the image are collected to generate an image composed of a newly overlapping part and a part that does not overlap. Based on the image data of the lower former channel area, the image data of the upper latter channel area is configured, and these image data are repeated from 1 line to L line, and the entire image is configured in three dimensions. become. This makes it possible to inspect defects and the like three-dimensionally.
[0033]
When the range from line 1 to line L1 of the inspected product is imaged, the image signals from line 1 to line L1 of channels 14 and 15 are transferred to and stored in image input boards 10a-1 and 10b-1. Among the image signals stored in the board 10a-1, the image signals from the 1st line to the L1 'line are transferred to and stored in the memory of the image processing personal computer 9a-1, and the image signal stored in the image input board 10b-1 is stored. Among them, the image signals from the L1 ′ + 1 line to the L1 line are transferred and stored in the memory of the image processing personal computer 9b-1.
[0034]
Similarly, the image signals from the 1st line to the L1 line of the channels 16 and 17 are transferred and stored, and the image signals from the 1st line to the L1 ′ line among the image signals stored in the image input board 10a-3 are subjected to image processing. The image signals from the L1 ′ + 1 line to the L1 line among the image signals stored in the image input board 10b-3 are transferred to the memory of the image processing personal computer 9b-3. ,Store. Similar processing is performed on the image signals of channels 18 and 19 and channels 20 and 21.
[0035]
Further, a part of the image signals of the image input boards 10a-1 and 10b-1 and a part of the image signals of the image input boards 10a-3 and 10b-3 are distributed and transferred, and the stored image input boards 10a-2 and 10a-2 are stored. As for the image signals from line 1 to line L1 of 10b-2, the image signals from line 1 to line L1 ′ among the image signals stored in the image input board 10a-2 are stored in the memory of the image processing personal computer 9a-2. The image signals from the L1 ′ + 1 line to the L1 line among the image signals stored and transferred to the image input board 10b-2 are transferred and stored in the memory of the image processing personal computer 9b-2. A part of the image signals of the image input boards 10a-3 and 10b-3 and a part of the image signals of the image input boards 10a-5 and 10b-5 are distributed and transferred, and the stored image input boards 10a-4 and 10b- 4 and part of the image signals of the image input boards 10a-5 and 10b-5 and part of the image signals of the image input boards 10a-7 and 10b-7 are distributed and transferred, and the stored image input boards 10a-6 and Similarly, the image signal 10b-6 is transferred and stored in the memory of the image processing personal computer. The same processing as described above is performed for the imaging range from the L1 + 1 line to the L1 + L2 line of the inspected product until the entire image of the inspected product is completed. The image processing personal computer performs an inspection process on an image stored in the memory within a preset inspection range.
[0036]
As described above, according to the embodiment of the present invention, the table for placing the inspection object horizontally, the illumination system for irradiating the inspection portion, and the result for forming the optical image of the inspection object. An image system, an imaging system for receiving the formed optical image, a conversion system for converting an optical image formed by the imaging system into an image signal, and an image signal converted by the conversion system An output system for outputting, a distribution system for distributing the image signal output from the output system into a plurality, an image input system for capturing the image signal distributed by the distribution system, and the image input system are incorporated. Visual inspection apparatus comprising: a small computer group, a computer connected to the small computer group via a network, for inputting an inspection condition and a table moving distance, and a motion controller for receiving a control command from the computer In other small calculations The detected image data representing an image in which a part of the image overlaps is generated three-dimensionally by inputting the distributed image data, and the control command is generated by performing an appearance inspection of the inspection object based on the detected image A visual inspection apparatus is configured.
[0037]
Further, according to an embodiment of the present invention, the inspection target is irradiated, an optical image of the inspection object is formed, the formed optical image is received, the formed optical image is converted into an image signal, and the conversion is performed. Output image signals, distribute the output image signals into a plurality of images, import the distributed image signals, perform an appearance inspection of the inspection object, and generate inspection conditions and tables generated based on the appearance inspection In a visual inspection method for outputting a control command for controlling a moving distance to a motion controller of a table, distributed image data representing adjacent images is inputted, and detected image data representing an image in which a part of the images overlaps is stereoscopically displayed. And an appearance inspection method for generating the control command by performing an appearance inspection of the inspection object based on the detected image.
[0038]
The present invention also includes a table for placing the object to be inspected horizontally, an illumination system for irradiating the inspected part, and an image forming system for forming an optical image of the object to be inspected. An imaging system for receiving an imaged optical image, a conversion system for converting an optical image formed by the imaging system into an image signal, and an output system for outputting an image signal converted by the conversion system A distribution system that distributes the image signal output from the output system into a plurality of units, an image input system that takes in the image signal distributed by the distribution system, and a small computer group that includes the image input system A small computer group connected to the small computer group via a network, and a computer for inputting inspection conditions and table movement distances, and a motion controller that receives a control command from the computer. The image input board A first small computer group composed of two small computers each having image data consisting of two adjacent inspection channels, and two small computers with different image input boards of the first small computer group And the second small computer group which forms the image data composed of two adjacent inspection channels by inputting the image data of the adjacent channels distributed to each other, and has the first and second small computer groups Provided is an appearance inspection apparatus for inspecting an appearance of an object to be inspected based on detected image data of two adjacent inspection channels.
[0039]
In the present invention, the first small computer group further distributes the image data acquired by the image input board to the second other small computer, and a part thereof is stored in the image processing personal computer internal memory. A third group of small computers composed of small computers, and a fourth group of second small computers that distributes the distributed image data to the third other small computers and stores a part of them in the image processing personal computer memory. A small-sized computer group is provided.
[0040]
Further, according to the present invention, the second small computer group includes a fifth small computer group and a sixth small computer group, and the fifth small computer group includes two adjacent inspection channels that are distributed. Is obtained by an image input board, the obtained image data is distributed to a fourth small computer, and a part of the image data is stored in a memory in a personal computer for image processing. The sixth small computer group includes: There is provided an appearance inspection apparatus having a fourth small computer in which a part of image data distributed from a third small computer is stored in an image processing personal computer.
[0041]
【The invention's effect】
Multi-tap output method capable of high-speed data transfer Multi-tap output method by distributing and outputting image signals of multiple channels output from CCD line sensor to multiple image input board connected type image processing PCs by distributor or distribution cable High-speed inspection equivalent to the high-speed data transfer speed of the CCD line sensor can be realized by software.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a diagram showing a configuration of the present invention.
FIG. 2 is a drawing showing an embodiment of the present invention.
FIG. 3 is a flowchart.
FIG. 4 is a flowchart of a part of FIG. 3;
FIG. 5 is a diagram that three-dimensionally represents an inspection image data creation method.
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Table, 2 ... Test object, 3 ... Illumination light source device, 4 ... Oblique illumination, 5 ... Measuring illumination, 6 ... Lens, 7 ... CCD line sensor camera, 8 ... Distributor or distribution cable, 9 ... Image PC for processing, 10 ... Image input board, 11 ... Concentrator, 12 ... PC for system management, 13 ... Motion controller, 14-21 ... Multi-tap output type CCD line sensor camera output channel.

Claims

An illumination system for irradiating the inspection object, an imaging system for forming an optical image of the inspection object, an imaging system for receiving the imaged optical image, and an imaging system A conversion system for converting the optical image into image data, an output system for outputting the image data converted by the conversion system, and image data output from the output system are distributed to a plurality of inspection channels An inspection object having a distribution system, an image input system for capturing image data distributed to an inspection channel in the distribution system, and a small computer group including small computers incorporating the respective image input systems In appearance inspection equipment,
A small computer (9a-1) having an image input board (10a-1) for inputting the distributed image data from two adjacent inspection channels together, and two adjacent to the two adjacent inspection channels Each of the distributed image data from the inspection channel is input together, and the small computer (9a-3) having the image input board (10a-3) and the image data from the image input board (10a-1) are input. A small computer (9b-1) provided with an image input board (10b-1) for input and connected to the small computer (9a-1) via the image input boards (10a-1 and 10b-1); An image input board (10b-3) for inputting image data from the image input board (10a-3), and the image input boards (10a-3 and 10b-3) Through to the Small Computer (9a-3) connected to a small computer and (9b-3), provided with,
An image input board (10a-2) for inputting both image data from the image input board (10b-1) and the image input board (10b-3) is provided, and these image input boards (10b-1) are provided. , 10a-2 and 10b-3 and 10a-2) to the two small computers (9b-1 and 9b-3), respectively, and the image input board (10a) -2) provided with an image input board (10b-2) for inputting image data from the computer, and connected to the small computer (9a-2) via the image input boards (10a-2 and 10b-2) A small computer (9b-2),
The first small computer group includes the two small computers (9a-1 and 9a-3), and each small computer is configured in the same manner as both the small computers (9a-1 and 9a-3) and is adjacent to each other. Each of the two inspection channels includes a plurality of small computers (9a-1, 9a-3, 9a-5,...) Connected in correspondence with two adjacent inspection channels, respectively. 1 and 9b-3), and each of the small computers is configured in the same manner as the small computers (9b-1 and 9b-3), and the plurality of small computers (9a-1, 9a-3, 9a-5). ..) And a plurality of small computers (9 b-1, 9 b-3, 9 b-5...) Connected corresponding to each of the small computers (9 a-2). ), And each small computer is a small computer (9a A plurality of small computers (9a-2, 9a-4, 9a-6...) Configured in the same manner as in 2) and connected to the two small computers (9b-1 and 9b-3), respectively. Including the small computer (9b-2), each small computer being configured in the same manner as the small computer (9b-2), and the plurality of small computers (9a-2, 9a-4, 9a-6... ) And a plurality of small computers (9b-2, 9b-4, 9b-6...) Connected corresponding to each of
An appearance inspection apparatus that performs an appearance inspection of the inspection object based on image data of each of the small computers constituting the first and second small computer groups.

A table for placing the object to be inspected horizontally, an illumination system for irradiating the inspected part, an image forming system for forming an optical image of the object to be inspected, and an imaged optical image An imaging system for receiving light, a conversion system for converting an optical image formed by the imaging system into image data, an output system for outputting image data converted by the conversion system, and an output from the output system A distribution system that distributes the image data divided into a plurality of images, an image input system that takes in the image data distributed to the inspection channel in the distribution system, and a small computer that incorporates each of the image input systems a small computer group consisting, connected via the small type computer group and the network, the computer for inputting the inspection conditions and table moving distance, visual inspection instrumentation with a motion controller which receives a control command from the computer In,
A small computer (9a-1) having an image input board (10a-1) for inputting the distributed image data from two adjacent inspection channels together, and two adjacent to the two adjacent inspection channels Each of the distributed image data from the inspection channel is input together, and the small computer (9a-3) having the image input board (10a-3) and the image data from the image input board (10a-1) are input. A small computer (9b-1) provided with an image input board (10b-1) for input and connected to the small computer (9a-1) via the image input boards (10a-1 and 10b-1); An image input board (10b-3) for inputting image data from the image input board (10a-3), and the image input boards (10a-3 and 10b-3) Through to the Small Computer (9a-3) connected to a small computer and (9b-3), provided with,
An image input board (10a-2) for inputting both image data from the image input board (10b-1) and the image input board (10b-3) is provided, and these image input boards (10b-1) are provided. , 10a-2 and 10b-3 and 10a-2) to the two small computers (9b-1 and 9b-3), respectively, and the image input board (10a) -2) provided with an image input board (10b-2) for inputting image data from the computer, and connected to the small computer (9a-2) via the image input boards (10a-2 and 10b-2) A small computer (9b-2),
The first small computer group includes the two small computers (9a-1 and 9a-3), and each small computer is configured in the same manner as both the small computers (9a-1 and 9a-3) and is adjacent to each other. Each of the two inspection channels includes a plurality of small computers (9a-1, 9a-3, 9a-5,...) Connected in correspondence with two adjacent inspection channels, respectively. 1 and 9b-3), and each of the small computers is configured in the same manner as the small computers (9b-1 and 9b-3), and the plurality of small computers (9a-1, 9a-3, 9a-5). ..) And a plurality of small computers (9 b-1, 9 b-3, 9 b-5...) Connected corresponding to each of the small computers (9 a-2). ), And each small computer is a small computer (9a A plurality of small computers (9a-2, 9a-4, 9a-6...) Configured in the same manner as in 2) and connected to the two small computers (9b-1 and 9b-3), respectively. Including the small computer (9b-2), each small computer being configured in the same manner as the small computer (9b-2), and the plurality of small computers (9a-2, 9a-4, 9a-6... ) And a plurality of small computers (9b-2, 9b-4, 9b-6...) Connected corresponding to each of
An appearance inspection apparatus that performs an appearance inspection of the inspection object based on image data of each of the small computers constituting the first and second small computer groups.