JP4080561B2 - Manufacturing method of thin sheet glass - Google Patents

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Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、磁気記録媒体、光磁気記録媒体および光記録媒体などの情報記録媒体用の基板として、あるいはカメラ用フィルター、マスクブランクスなどの板状ガラスとして使用することが可能な、例えば肉厚3mm以下の肉薄板状ガラスをプレス成形により製造する方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
磁気記録媒体などの情報記録媒体用のガラス基板の製造方法として、板状のガラスから切り出す方法のほか、溶融ガラスから成形型を用いて直接プレス成形する方法、すなわち、ダイレクトプレス法が採用されている。
ダイレクトプレス法の従来例として、特開平7−133121号公報(株式会社オハラ)には、上・下型のプレス面の表面温度をガラス転移点近傍に設定するとともに、胴型の内表面温度を前記プレス面の表面温度よりも高く設定することにより、ガラスの胴型方向の延びを阻害せずにディスク状ガラス製品をプレス成形する方法が記載されている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
ダイレクトプレス法で、溶融ガラスを肉薄板状ガラスに成形するためには、形の小さい溶融ガラスゴブから径の大きい板状ガラスにする過程、すなわち溶融ガラスを外周方向によく引き延ばす過程を経る。このとき、ガラスをよく引き延ばすために、通常、溶融ガラスの温度は比較的高温に設定されている。しかし、溶融ガラスの温度が高いとガラスの型への融着がおこり易く、結果的にガラスを薄く引き延ばすことが困難となる。
また、肉薄板状ガラスを成形する場合は、肉厚のガラスを成形する場合と異なりガラスと成形型との接触面積が大きいため、成形型は、高温な溶融ガラスからの熱を受け取り温度が急上昇するため型に与える負担が大きく、結果的に型寿命を短くする要因となっていた。
【0004】
特開平5−105458号公報(コーニング)には、ガラス原料の温度が軟化点以下となり熱的に平衡になるまで十分な時間をプレスする成形方法において、黒鉛、MoS2 、BN(窒化ホウ素)などを水や耐熱油などの溶媒に分散させた分散液を成形型に塗布し、これらの固化層として成形型表面に離型材層を形成した成形型でディスク状ガラス製品を製造することが記載されている。
【0005】
しかし、黒鉛やMoS2 は、低い温度(500℃程度)で離型性を喪失してしまうため、高温の成形型の潤滑剤としては適当でない。
また、固化層として成形面に形成された離型材層は高温にさらされると剥離し易く、特にディスク状ガラス製品のような肉薄板状ガラス製品の場合はなおさらである。そして、一旦、離型材層の剥離が生じると、残った離型材層を除去したのちに改めて離型材層を形成することが必要となり、作業効率に著しくかける面がある。
【0006】
特に、近年は磁気ディスクなどの情報記録媒体の分野をはじめとするあらゆる分野において、極く薄い平板状であっても機械的強度や耐熱性に優れるガラス素材が要求される傾向がある。このようなガラス素材は、一般的に成形可能な温度がかなり高温域にあるため、これを用いて肉薄の板状ガラスを製造する場合には潤滑剤にも耐熱性に優れることが不可欠である。
【0007】
【課題を解決するための手段】
本発明は上述の課題を解決するために、溶融ガラスをプレス成形して肉薄板状ガラスを製造する方法において、成形型の成形面に耐熱性固体潤滑剤粉末を付着させたのち、プレス成形を行う肉薄板状ガラスの製造方法とする。
【0008】
【発明の実施の形態】
本発明は、溶融ガラスをプレス成形して肉薄板状ガラスを製造する方法に適用される。このような成形は、通常、下型が、溶融ガラスを受け、次いで、対向して配置される上型との間でプレスすることにより行われる。このとき、溶融ガラスは、一定の粘度に調整されているため厚みのあるオハジキ状となっているが、プレス時に外周方向に引き延ばされて肉薄の板状ガラスに成形される。
【0009】
本発明は、上記肉薄板状ガラスの製造工程において、成形型の成形面に耐熱性固体潤滑剤粉末を付着させたのちに、プレス成形を行うことを特徴とする肉薄板状ガラスの製造方法である。
ここで、耐熱性固体潤滑剤とは、プレス成形時に成形型のガラスに接する成形面が達する温度にあっても潤滑性を失わない固体潤滑剤をいう。かかる温度においても潤滑性を失わない固体潤滑剤を用いることにより溶融ガラスを外周方向によく引き延ばすことができるため、ごく肉薄の板状ガラスを製造することが可能となる。また、耐熱性固体潤滑剤を成形型と溶融ガラスの間に介在させることにより、溶融ガラスと成形型との接触面においてガラスから成形型への熱の移行量を少なくすることができる。このため、成形型との接触によりガラスが急激に温度低下するのが緩和され、ガラスの固化層を薄くすることができ、固化層が厚くなることにより所望の厚さの肉薄板状ガラスが得られなくなるのを防止できる。さらに、成形型への熱の移行が少ないことで、成形型の温度が急激に上昇するのを防いで型寿命を延ばすことができる。さらにまた、ガラスが軟化状態であるときにプレスを終了する場合にも、成形型を肉薄板状ガラスから引き離す際に優れた離型性を発揮する。
【0010】
ここで、プレス成形時に成形型の成形面が達する温度はガラスの種類、溶融ガラスの温度、所望の肉薄板状ガラスの厚さ、径等により異なる。通常は、成形型の設定温度から溶融ガラスの温度の間にあるが、場合により溶融ガラスの温度に近い温度に達することもある。かかる温度において、潤滑性を失わない固体潤滑剤であれば本発明において耐熱性固体潤滑剤として適用することができるが、中でも、およそ900℃まで潤滑性を失わない窒化ホウ素(BN)、特にα型の窒化ホウ素が好適に用いられる。
【0011】
次に、耐熱性固体潤滑剤は、粉末状で成形型の成形面に付着させることが好ましい。粉末状であると、粉末粒子間に空気などの気体を含んだ状態で成形面に付着させることができるため、耐熱性固体潤滑剤を付着させたことによる断熱性をより高めることができる。また、粉末状で付着させることにより、成形後に成形面に残留している耐熱性固体潤滑剤をエアー噴射等により容易に除去することが可能となるため、繰り返し成形型を用いて肉薄板状ガラスを製造することが効率よく行える。
耐熱性固体潤滑剤粉末の粒径は特に限定されないが、例えば、BN粉末の場合には平均粒径が5〜15μmのものを使用することができる。
【0012】
耐熱性固体潤滑剤粉末を成形面に付着させる方法としては、特に限定されず、例えば空気などの気体とともに噴射する方法のほか、刷毛等で塗布する方法を挙げることができるが、気体とともに噴射する方法によれば、均一に成形面に付着させることが容易であるほか、同時に噴射される気体による成形面の冷却効果を利用することもできる。
耐熱性固体潤滑剤粉末を成形型の成形面に均一に所定量付着させるために、成形面を適宜、粗面に形成しておくことも好ましい。また、耐熱性固体潤滑剤粉末を均一に付着させる手段としては、耐熱性固体潤滑剤粉末の水分量を調整することも有効である。耐熱性固体潤滑剤粉末として窒化ホウ素粉末を使用した場合には、その水分量は1重量%未満であることが好ましい。
【0013】
以下本発明の実施の形態を図面を参照して説明する。図1は本発明の実施の形態を説明するための図で、肉薄板状ガラスの成形装置、特に下型装置を示す平面図である。この図1に示すように、下型11(410℃に加熱される)はターンテーブル12上の同一円周上に合計16個等間隔に配置されており、ターンテーブル12が1ピッチずつ回転するごとに図に示すAからPの位置を順に通過して以下の工程を経るようになっている。
すなわち、位置Oで成形面に耐熱性固体潤滑剤粉末が付着され、位置Aでパイプから流下する溶融ガラスを受け、位置Cでプレス成形が行われ、位置Dおよび位置Eで反り修正プレスが行われ、位置L〜Nで肉薄板状ガラスの取り出しが行われる。
【0014】
上記のように、下型11の成形面には位置OにおいてBN粉末が噴射装置13により噴射され、付着される。図2は、噴射装置13を具体的に示す構成図である。この噴射装置13は、BN粉末21が噴射装置本体22に内蔵されており、さらに噴射装置本体22に空気の流入パイプ23と、空気およびBN粉末21の流出パイプ24が接続されている。空気の流入パイプ23の一端は、空気を例えば圧力4kg/cm2 で間欠的に送り出すシーケンサ25に接続され、他の一端は噴射装置本体22中のBN粉末21の堆積層に差し込まれている。したがって、シーケンサ25から圧力4kg/cm2 で流入パイプ23に流出した空気は、噴射装置本体22内の流入パイプ23の穴23aから噴射して噴射装置本体22の中でBN粉末21を巻き上げると同時に、流出口の弁26を開いてBN粉末21とともに流出パイプ24に流出する。そして、この流出した空気およびBN粉末は、流出パイプ24上の途中で加速器27からの4kg/cm2 の加速空気で加速されて、流出パイプ24先端のノズル28から図1の下型11の成形面の向けて噴射される。その結果、BN粉末が下型11の成形面に付着されるとともに、下型11が噴射空気により熱交換で冷却される。このとき、下型11の成形面を例えば面粗さ(Ra)が0.5〜2.0μmの粗面に形成しておくことにより、BN粉末の付着を向上させることができる。
【0015】
図3は、BN粉末および空気を噴射するノズル28の先端開口部の正面図である。この図のように、ノズル28の開口部は、メッシュ29を取り付けてメッシュ状の開口部としてある。さらに、開口部の中央部は閉塞部材30によって塞いである。このようにメッシュ状の開口部とすることと、その中央部を塞ぐことで、BN粉末および空気が下型11の成形面の中央部に集中することを防止している。
【0016】
なお、下型11の成形面は、下型11が位置Oに達する度に1回BN粉末の噴射を受ける。このとき、BN粉末の水分量は1重量%未満が好ましい。さらに、BN粉末としては、純度:98%上、平均粒径:5〜15μm、比表面積:3〜10m2 /g、かさ密度:0.2〜0.6g/cm3 、真比重:2.26のh−BN粉末(水島合金鉄株式会社製、HP)を用いた。
【0017】
図1の位置Cにおいては、図示しないが下型11上にプレス成形のために上型(400℃に加熱される)が配置される。この上型に対しても、図2のような噴射装置が設けられて、成形面にBN粉末が噴射され付着される。
【0018】
以上のような方法において、下型は複数個配置され、ガラスゴブの供給の工程、プレス成形の工程、成形品の取り出し工程等の工程を順次経るように設計され、例えば図1のようにターンテーブルの円周上に個々の下型を配置し、下型が各工程を経るようにターンテーブルを回転させることが好ましいが、直線方向に移動するように設計してもよい。また、各工程に、同時に供せられる下型の数は、単数であっても、複数個であってもよい。
一方、上型は、プレス成形の工程に位置した下型に対向して配置される。従って、上型は、一度のプレス成形に使用される下型と少なくとも同数が必要であるが、それ以上の個数を備えてもよい。
【0019】
次に、下型および上型のそれぞれの成形面の温度は、プレス成形開始時に、ある所定温度に調節されることが必要である。
ここで、成形型について所定の温度とは、ガラス材料を、肉薄の板状に成形するのに適した温度をいう。かかる温度は、硝子種、肉厚、ガラス板のサイズ等により適宜決定される温度である。
【0020】
さらに、プレス成形開始時の下型および上型の成形面の温度を前記所定温度に調節するために、下型および上型に対して、必要に応じて加熱する手段、および冷却する手段が講じられる。
加熱する手段としては、例えば、ニクロムヒータを成形型の周囲に複数配置して加熱する方法、成形型の周囲を取り囲むように配置したコイルに電流を流して導電体からなる成形型を誘導加熱する方法、ガスにより加熱する方法等があるが、均一な加熱ができる点で誘導加熱による方法が好ましい。誘導加熱によると、ニクロムヒータによる加熱の場合のように複数の熱源で一つの成形型を加熱する方法と異なり、一つのコイルで一または二以上の成形型を加熱することができるため熱源温度のバラツキという問題がなく、成形型とコイルの距離を一定にすることで成形型を均一に加熱することができる。また、誘導加熱を用いる場合、誘導加熱を上型、下型の両方に対して行っても、あるいは、いずれか一方に行ってもよく、胴型を用いる場合には、胴型に適用することも可能である。
ここで、誘導加熱の際にコイルに流す電流は、高周波電流であることが好ましい。低周波電流では装置が大がかりになり、また、人の可聴音域であるため騒音が問題となることがある。
【0021】
一方、プレス成形に供せられた成形型の温度は、溶融ガラスからの熱を受け取って、プレス成形前に比べて上昇している。従って、どの肉薄板状ガラスについても同等の温度条件でプレス成形するためには、次のプレス成形に供されるまでに、成形型が成形前の温度に戻っていることが好ましい。このとき、プレス成形に供されたのち次のプレス成形に供されるまでの時間に自然冷却してプレス成形前の温度に戻る場合以外は、何らかの冷却手段を講じて温度を戻してやることが好ましい。
冷却手段としては、成形型の中空部に水や空気を循環させる方法、水等の液体を成形型の中空部内面に吹き付けて気化させる方法などを採用することができる。液体を吹き付けて気化させる方法によると、液体の気化熱で成形型を冷却することができるため、液体を循環させる方法よりも少ない液量で冷却効果が得られる。従って、水等の気化熱を利用する方法は、冷却効果の観点ばかりでなく、冷却装置をより小さくすることができる観点からも好ましい。さらに、例えば上型の冷却に時間がかかり、成形後、次の成形までに所定の温度までに冷却出来ない場合等には、上型を複数個容易し、どれか1つの上型がプレス成形を行っているときに、他の上型を冷却しておき、複数個の上型を循環させてもよい。
【0022】
また、プレス成形においては、ガラスが軟化状態にあるときにプレスを終了するので、プレス成形終了時に、肉薄板状ガラスの温度が、成形型の温度より高く、この時点で肉薄板状ガラスと成形型は熱的に平衡状態に至っていない。しかし、成形型があらかじめ所定の温度に保たれているので、成形後冷却して得られた肉薄板状ガラスは、反り等の形状が一定した一定の形状をしており、研削・研磨しやすい形状となっている。また、肉薄板状ガラスと成形型は熱的に平衡状態に達するまで冷却する必要がないため、成形時間を短縮することもできる。
さらに、プレス時間を短くする目的で、肉薄板状ガラスの中心部が当該ガラス材料の軟化点以上の温度でプレス成形を終了してもよい。
また、プレス成形後の肉薄板状ガラスは軟化状態にあるので、プレス成形に次いで、肉薄板状ガラスの反りを修正する工程を行ってもよい。肉薄板状ガラスの反りを修正する工程とは、例えば、肉薄板状ガラスの片面にのみ空気等を吹きかける等、不均一に熱を奪ったり、上型と同様な成形面を有した成形型によって、再度プレスしたりすることによって、反りの大きさを修正する工程のことである。
【0023】
また、胴型を用いる場合、成形型の温度は、上、下型のプレス面の表面温度をガラス転移点近傍に設定し、このプレス面の表面温度よりも胴型の内表面温度を高く設定してもよい。
さらに、成形型は、耐熱性の材料、例えばグラファイト、タングステン合金、窒化物、炭化物、耐熱金属等で形成されるが、高周波加熱を行う場合には、これによって加熱できる耐熱金属等に限定される。その場合、特に鋳鉄が強度、耐久性に優れるため好ましい。
【0024】
上記の製造方法により得られた肉薄板状ガラスは、研削、研磨等の機械加工を経て、例えば情報記録媒体用ガラス基板となる。
以下、機械加工について詳しく説明する。機械加工については、具体的には、上記のガラスの表面を水洗浄し、以下の(1)荒ずり(粗研磨)、(2)砂掛け(精研削、ラッピング)、(3)第一研磨(ポリッシュ)、(4)第二研磨(ファイナル研磨、ポリッシュ)の各工程を経る。
【0025】
(1)荒ずり工程
まず、粒度の細かいダイヤモンド砥石で上記ガラス基板の両面を片面ずつ研削加工した。このときの荷重は100kg程度とした。これにより、ガラス基板両面の表面粗さをRmax(JIS B 0601で測定)で10μm程度に仕上げた。
次に、円筒状の砥石を用いてガラス基板の中央部分に孔を開けるとともに、外周端面も研削して直径を65mmφとした後、外周端面及び内周面に所定の面取り加工を施した。
【0026】
(2)砂掛け(ラッピング)工程
次に、ガラス基板に砂掛け加工を施した。この砂掛け工程は、寸法精度及び形状精度の向上を目的としている。砂掛け加工は、ラッピング装置を用いて行い、砥粒の粒度を#400、#1000と替えて2回行った。
詳しくは、はじめに、粒度#400のアルミナ砥粒を用い、荷重を100kg程度に設定して、内転ギアと外転ギアを回転させることによって、キャリア内に収納したガラス基板の両面を両精度0〜1μm、表面粗さ(Rmax)6μm程度にラッピングした。
次いで、アルミナ砥粒の粒度を#1000に替えてラッピングを行い、表面粗さ(Rmax)2μm程度とした。
上記砂掛け加工を終えたガラス基板を、中性洗剤、水の各洗浄槽に順次浸漬して、洗浄した。
【0027】
(3)第一研磨(ポリッシュ)工程
次に、第一研磨工程を施した。この第一研磨工程は、上述した砂掛け工程で残留したキズや歪みの除去を目的とするもので、研磨装置を用いて行った。
詳しくは、ポリシャ(研磨粉)として硬質ポリシャ(セリウムパッドMHCl:スピードファム社製)を用い、以下の研磨条件で第一研磨工程を実施した。
研磨液:酸化セリウム+水
荷重:300g/cm2 (L=238kg)
研磨時間:15分
除去量:30μm
下定盤回転数:40rpm
上定盤回転数:35rpm
内ギア回転数:14rpm
外ギア回転数:29rpm
上記第一研磨工程を終えたガラス基板を、中性洗剤、純水、純水、IPA(イソプロピレンアルコール)、IPA(蒸気乾燥)の各洗浄槽に順次浸漬して、洗浄した。
【0028】
(4)第二研磨工程
次に、第一研磨工程で使用した研磨装置を行い、ポリシャを硬質ポリシャから軟質ポリシャ(ポリラックス:スピードファム社製)に替えて、第二研磨工程を実施した。研磨条件は、荷重を100g/cm2 、研磨時間を5分、除去量を5μmとしたこと以外は、第一研磨工程と同様とした。
上記第二研磨工程を終えたガラス基板を、中性洗剤、中性洗剤、純水、純水、IPA(イソプロピルアルコール)、IPA(蒸気乾燥)の各洗浄槽に順次浸漬して、洗浄した。なお、各洗浄槽に超音波を印加した。
このようにして、外径65mmφ、中心部の孔径20mmφ、厚さ0.5mm、Rmax 40オングストローム、Ra8オングストローム程度の円板状の情報記録媒体用ガラス基板を得た。
【0029】
以上のような方法で製造された情報記録媒体用ガラス基板は、そのガラス基板上に下地層、磁性層、保護層、潤滑層を順次積層することにより、磁気記録媒体を構成する。
【0030】
ここで、磁気記録媒体のガラス基板の材質としては、たとえば、アルミノシリケートガラス、ソーダライムガラス、ソーダアルミノケイ酸ガラス、アルミノボロシリケートガラス、ボロシリケートガラス、石英ガラス、チェーンシリケートガラス、または、結晶化ガラス等のガラスセラミックなどが挙げられる。さらに、好ましくは、次のような組成のガラスが使用される。
(1)結晶化ガラス1
重量%表示で、SiO2 が60〜87%、Li2 Oが5〜20%、Na2 Oが0〜5%、K2 Oが0〜10%、Na2 OとK2 Oが合計で0.5〜10%、MgOが0.5〜7.5%、CaOが0〜9.5%、SrOが0〜15%、BaOが0〜13%、ZnOが0〜13%、B2 3 が0〜10%、Al2 3 が0〜10%、P2 5 が0.5〜8%、TiO2 が0〜5%、ZrO2 が0〜3%、SnO2 が0〜3%、As2 3 とSb2 3 が合計で0〜2%、、上記金属酸化物の1種以上の金属元素のフッ化物をFの合計量として0〜5%含有し、場合により着色成分として、V2 5 、CuO、MnO2 、Cr2 3 、CoO、MoO3 、NiO、Fe2 3 、TeO2 、CeO2 、Pr2 3 、Nd2 3 、Er2 3 の群より選ばれた少なくとも1種を0〜5%含有し、主結晶としてリチウムジシリケート、場合によりα−クリストバライト、α−クオーツ、リチウムモノシリケート、β−スポジューメン等を含有し、結晶粒の大きさが3.0μm以下である結晶化ガラス。
(2)結晶化ガラス2
重量%表示で、SiO2 が45〜75%、CaOが4〜30%、Na2 Oが2〜15%、K2 Oが0〜20%、Al2 3 が0〜7%、MgOが0〜2%、ZnOが0〜2%、SnO2 が0〜2%、Sb2 3 が0〜1%、B2 3 が0〜6%、ZrO2 が0〜12%、Li2 Oが0〜3%、上記金属酸化物の1種以上の金属元素のフッ化物をFの合計量として3〜12%含有し、場合により着色成分としてCr2 3 、Co3 4 等を含有し、主結晶としてカナサイト又はカリウム・フルオロ・リヒテライトを含有し、結晶粒の大きさが1.0μm以下である結晶化ガラス。
(3)ガラス3
重量%表示で、SiO2 が62〜75%、Al2 3 が4〜18%、ZrO2 が0〜15%、Li2 Oが3〜12%、Na2 Oが3〜13%含有するガラス。
【0031】
このようなガラス基板は、耐衝撃性や耐振動性等の向上を目的として、表面に低温イオン交換法による化学強化処理を施すことができる。ここで、化学強化方法としては、従来より公知の化学強化法であれば特に制限されないが、例えば、ガラス転移点の観点から転移温度を超えない領域でイオン交換を行う低温型化学強化などが好ましい。化学強化に用いるアルカリ溶融塩としては、硝酸カリウム、硝酸ナトリウム、あるいは、それらを混合した硝酸塩などが挙げられる。
【0032】
下地層としては、例えば、Cr、Mo、Ta、Ti、W、V、B、Alなどの非磁性金属から選ばれる少なくとも一種以上の材料からなる下地層等が挙げられる。Coを主成分とする磁性層の場合には、磁気特性向上等の観点からCr単体やCr合金であることが好ましい。また、下地層は単層とは限らず、同一又は異種の層を積層した複数層構造とすることもできる。例えば、Cr/Cr、Cr/CrMo、Cr/CrV、CrV/CrV、Al/Cr/CrMo、Al/Cr/Cr、Al/Cr/CrV、Al/CrV/CrV等の多層下地層等が挙げられる。
【0033】
磁性層としては、例えば、Coを主成分とするCoPt、CoCr、CoNi、CoNiCr、CoCrTa、CoPtCr、CoNiPtや、CoNiCrPt、CoNiCrTa、CoCrTaPt、CoCrPtSiOなどの磁性薄膜が挙げられる。磁性層は、磁性膜を非磁性膜(例えば、Cr、CrMo、CrVなど)で分割してノイズの低減を図った多層構成(例えば、CoPtCr/CrMo/CoPtCr、CoCrTaPt/CrMo/CoCrTaPtなど)としてもよい。磁気抵抗型ヘッド(MRヘッド)又は大型磁気抵抗型ヘッド(GMRヘッド)対応の磁性層としては、Co系合金に、Y、Si、希土類元素、Hf、Ge、Sn、Znから選択される不純物元素、又はこれらの不純物元素の酸化物を含有させたものなども含まれる。また、磁性層としては、上記の他、フェライト系、鉄−希土類系や、SiO2 、BNなどからなる非磁性膜中にFe、Co、FeCo、CoNiPt等の磁性粒子が分散された構造のグラニュラーなどであってもよい。また、磁性層は、内面型、垂直型のいずれの記録形式であってもよい。
【0034】
保護層としては、例えば、Cr膜、Cr合金膜、カーボン膜、ジルコニア膜、シリカ膜等が挙げられる。これらの保護層は、下地層、磁性層等とともにインライン型スパッタ装置で連続して形成できる。また、これらの保護層は、単層としてもよく、あるいは、同一又は異種の膜からなる多層構成としてもよい。さらに、上記保護層上に、あるいは上記保護層に替えて、他の保護層を形成してもよい。例えば、上記保護層に替えて、Cr膜の上にテトラアルコキシランをアルコール系の溶媒で希釈した中に、コロイダルシリカ微粒子を分散して塗布し、さらに焼成して酸化ケイ素(SiO2 )膜を形成してもよい。
【0035】
潤滑層は、例えば、液体潤滑剤であるパーフロロポリエーテル(PFPE)をフレオン系などの溶媒で希釈し、媒体表面にディッピング法、スピンコート法、スプレイ法によって塗布し、必要に応じ加熱処理を行って形成する。
【0036】
以上本発明について詳述し、上記の実施の形態は、ディスク状(円板状)ガラスをプレス成形する場合であるが、四角形などその他形状の肉薄板状ガラスをプレス成形する場合にも勿論本発明は適用できる。さらに、耐熱性固体潤滑剤粉末の付着装置も図2の噴射装置に限定されるものではない。
【0037】
【発明の効果】
以上のように本発明の肉薄板状ガラスの製造方法によれば、成形型の成形面に耐熱性固体潤滑剤粉末を付着させるようにしたので、溶融ガラスが高温であり、かつ成形型が高温に加熱される肉薄板状ガラスのプレス成形においても優れた離型性を得ることができ、かつ溶融ガラスの延びをよくして薄い板状ガラスを量産性よく得ることができる。さらに、耐熱性固体潤滑剤粉末は、付着、残留分の除去も容易であるため、作業効率を高めることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明による肉薄板状ガラスの製造方法の実施の形態を説明するための平面図。
【図2】本発明の実施の形態で使用される噴射装置を具体的に示す構成図。
【図3】図2の噴射装置のノズル先端の正面図。
【符号の説明】
11 下型
13 噴射装置
21 BN粉末
[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention can be used as a substrate for an information recording medium such as a magnetic recording medium, a magneto-optical recording medium, and an optical recording medium, or as a plate glass such as a camera filter or mask blank. The present invention relates to a method for producing the following thin sheet glass by press molding.
[0002]
[Prior art]
As a method of manufacturing a glass substrate for an information recording medium such as a magnetic recording medium, in addition to a method of cutting out from plate-like glass, a method of directly press-molding from molten glass using a mold, that is, a direct press method is adopted. Yes.
As a conventional example of the direct press method, Japanese Patent Laid-Open No. 7-133121 (Ohara Co., Ltd.) describes that the surface temperature of the upper and lower mold press surfaces is set in the vicinity of the glass transition point, and the inner surface temperature of the barrel mold is set. There is described a method of press-molding a disk-shaped glass product without hindering the extension of the glass in the mold direction by setting the surface temperature higher than the press surface.
[0003]
[Problems to be solved by the invention]
In order to form the molten glass into a thin sheet glass by the direct press method, a process of converting the molten glass gob having a small shape into a sheet glass having a large diameter, that is, a process of well stretching the molten glass in the outer peripheral direction is performed. At this time, in order to stretch the glass well, the temperature of the molten glass is usually set to a relatively high temperature. However, when the temperature of the molten glass is high, the glass is easily fused to the mold, and as a result, it is difficult to stretch the glass thinly.
Also, when forming thin sheet glass, unlike the case of forming thick glass, the contact area between the glass and the mold is large, so the mold receives heat from the hot molten glass and the temperature rises rapidly. Therefore, the burden on the mold is large, and as a result, the mold life is shortened.
[0004]
Japanese Patent Application Laid-Open No. 5-105458 (Corning) discloses a molding method in which a sufficient time is pressed until the temperature of the glass raw material is equal to or lower than the softening point and is in thermal equilibrium. 2 , BN (Boron Nitride), etc. in a solvent such as water or heat-resistant oil is applied to a mold, and a disk-shaped glass product is formed by forming a release layer on the mold surface as a solidified layer. Is described.
[0005]
However, graphite and MoS 2 Is unsuitable as a lubricant for a high-temperature mold because it loses its releasability at a low temperature (about 500 ° C.).
Further, the release material layer formed on the molding surface as the solidified layer is easily peeled off when exposed to high temperature, and particularly in the case of a thin plate glass product such as a disk glass product. Once the release material layer is peeled off, it is necessary to form a release material layer again after removing the remaining release material layer, which significantly increases the work efficiency.
[0006]
In particular, in recent years, in all fields including the field of information recording media such as magnetic disks, there is a tendency to demand a glass material having excellent mechanical strength and heat resistance even if it is a very thin flat plate. Since such glass materials are generally in a fairly high temperature range, it is indispensable for the lubricant to be excellent in heat resistance when producing a thin plate glass using the glass material. .
[0007]
[Means for Solving the Problems]
In order to solve the above-mentioned problems, the present invention provides a method for producing a thin sheet glass by press molding molten glass, and after applying heat-resistant solid lubricant powder to the molding surface of the mold, press molding is performed. It is set as the manufacturing method of the thin sheet glass performed.
[0008]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
The present invention is applied to a method for producing a thin sheet glass by press molding molten glass. Such molding is usually performed by pressing the lower mold with molten glass and then pressing it with the upper mold placed opposite to the lower mold. At this time, since the molten glass is adjusted to a certain viscosity, it has a thick repellent shape, but is stretched in the outer peripheral direction during pressing to be formed into a thin plate glass.
[0009]
The present invention provides a method for producing a thin sheet glass characterized in that, in the production process of the thin sheet glass, after the heat-resistant solid lubricant powder is adhered to the molding surface of the mold, press molding is performed. is there.
Here, the heat-resistant solid lubricant means a solid lubricant that does not lose its lubricity even at a temperature reached by a molding surface that contacts the glass of the mold during press molding. By using a solid lubricant that does not lose lubricity even at such a temperature, the molten glass can be well stretched in the outer peripheral direction, so that a very thin plate glass can be produced. Further, by interposing the heat-resistant solid lubricant between the mold and the molten glass, the amount of heat transferred from the glass to the mold can be reduced at the contact surface between the molten glass and the mold. For this reason, it is relieved that the temperature of the glass suddenly drops due to contact with the mold, and the glass solidified layer can be thinned. As the solidified layer becomes thick, a thin sheet glass having a desired thickness is obtained. It can be prevented from being lost. Furthermore, since there is little transfer of heat to the mold, the mold life can be extended by preventing the temperature of the mold from rising rapidly. Furthermore, even when the press is terminated when the glass is in a softened state, excellent releasability is exhibited when the mold is separated from the thin sheet glass.
[0010]
Here, the temperature reached by the molding surface of the mold during press molding varies depending on the type of glass, the temperature of the molten glass, the desired thickness and diameter of the thin sheet glass, and the like. Usually, the temperature is between the set temperature of the mold and the temperature of the molten glass, but in some cases, a temperature close to the temperature of the molten glass may be reached. Any solid lubricant that does not lose lubricity at such temperatures can be applied as a heat-resistant solid lubricant in the present invention. Among them, boron nitride (BN) that does not lose lubricity up to about 900 ° C., particularly α A type of boron nitride is preferably used.
[0011]
Next, it is preferable that the heat-resistant solid lubricant is adhered to the molding surface of the mold in a powder form. Since it can be made to adhere to a shaping | molding surface in the state containing gas, such as air, between powder particles as it is powder form, the heat insulation by having made the heat-resistant solid lubricant adhere can be improved more. In addition, by attaching it in powder form, it becomes possible to easily remove the heat-resistant solid lubricant remaining on the molding surface after molding by air injection or the like. Can be efficiently manufactured.
The particle size of the heat-resistant solid lubricant powder is not particularly limited. For example, in the case of BN powder, one having an average particle size of 5 to 15 μm can be used.
[0012]
The method for adhering the heat-resistant solid lubricant powder to the molding surface is not particularly limited. For example, in addition to the method of spraying with a gas such as air, a method of applying with a brush or the like can be mentioned. According to the method, it is easy to uniformly adhere to the molding surface, and the cooling effect of the molding surface by the gas injected at the same time can be used.
In order to uniformly adhere a predetermined amount of the heat-resistant solid lubricant powder to the molding surface of the mold, it is also preferable that the molding surface is appropriately formed into a rough surface. Further, as a means for uniformly attaching the heat resistant solid lubricant powder, it is also effective to adjust the water content of the heat resistant solid lubricant powder. When boron nitride powder is used as the heat-resistant solid lubricant powder, the water content is preferably less than 1% by weight.
[0013]
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a view for explaining an embodiment of the present invention, and is a plan view showing a thin-plate glass forming apparatus, particularly a lower mold apparatus. As shown in FIG. 1, a total of 16 lower molds 11 (heated to 410 ° C.) are arranged at equal intervals on the same circumference on the turntable 12, and the turntable 12 rotates by one pitch. Each of them passes through the positions A to P shown in the drawing in order to go through the following steps.
That is, heat-resistant solid lubricant powder is attached to the molding surface at position O, molten glass flowing down from the pipe is received at position A, press molding is performed at position C, and warp correction pressing is performed at positions D and E. The thin glass sheet is taken out at positions L to N.
[0014]
As described above, the BN powder is injected and adhered to the molding surface of the lower mold 11 at the position O by the injection device 13. FIG. 2 is a configuration diagram specifically showing the injection device 13. In the injection device 13, the BN powder 21 is built in the injection device main body 22, and an air inflow pipe 23 and an air and BN powder 21 outflow pipe 24 are connected to the injection device main body 22. At one end of the air inflow pipe 23, air is supplied at a pressure of 4 kg / cm, for example. 2 The other end is inserted into the deposited layer of the BN powder 21 in the injection device main body 22. Therefore, the pressure from the sequencer 25 is 4 kg / cm. 2 The air that has flowed out into the inflow pipe 23 in this way is injected from the hole 23a of the inflow pipe 23 in the injection device body 22 to wind up the BN powder 21 in the injection device body 22, and at the same time, the outlet valve 26 is opened to open the BN. It flows out to the outflow pipe 24 together with the powder 21. The outflowed air and BN powder are 4 kg / cm from the accelerator 27 on the outflow pipe 24. 2 1 is injected from the nozzle 28 at the tip of the outflow pipe 24 toward the molding surface of the lower mold 11 in FIG. As a result, BN powder adheres to the molding surface of the lower mold 11 and the lower mold 11 is cooled by heat exchange with the jet air. At this time, for example, by forming the molding surface of the lower mold 11 into a rough surface having a surface roughness (Ra) of 0.5 to 2.0 μm, adhesion of the BN powder can be improved.
[0015]
FIG. 3 is a front view of the tip opening of the nozzle 28 for injecting BN powder and air. As shown in this figure, the opening of the nozzle 28 is a mesh-like opening by attaching a mesh 29. Further, the central portion of the opening is closed by the closing member 30. Thus, it is preventing that BN powder and air concentrate on the center part of the molding surface of the lower mold | type 11 by setting it as a mesh-shaped opening part and plugging the center part.
[0016]
The molding surface of the lower die 11 is injected with BN powder once every time the lower die 11 reaches the position O. At this time, the water content of the BN powder is preferably less than 1% by weight. Furthermore, as the BN powder, purity: 98%, average particle size: 5 to 15 μm, specific surface area: 3 to 10 m 2 / G, bulk density: 0.2-0.6 g / cm Three , True specific gravity: 2.26 h-BN powder (manufactured by Mizushima Alloy Iron Co., Ltd., HP) was used.
[0017]
At position C in FIG. 1, although not shown, an upper die (heated to 400 ° C.) is arranged on the lower die 11 for press molding. Also for this upper mold, an injection device as shown in FIG. 2 is provided, and BN powder is injected and adhered to the molding surface.
[0018]
In the method as described above, a plurality of lower molds are arranged and designed such that a glass gob supply process, a press molding process, a molded product removal process, and the like are sequentially performed. For example, as shown in FIG. It is preferable to arrange individual lower molds on the circumference of the substrate and rotate the turntable so that the lower mold passes through each step, but it may be designed to move in a linear direction. Moreover, the number of the lower mold | types simultaneously provided to each process may be single or plural.
On the other hand, the upper mold is arranged to face the lower mold positioned in the press molding process. Therefore, at least the same number of upper molds as the lower molds used for one-time press molding are required, but a larger number may be provided.
[0019]
Next, the temperature of each molding surface of the lower mold and the upper mold needs to be adjusted to a predetermined temperature at the start of press molding.
Here, the predetermined temperature for the mold means a temperature suitable for molding the glass material into a thin plate. This temperature is a temperature that is appropriately determined depending on the glass type, the thickness, the size of the glass plate, and the like.
[0020]
Furthermore, in order to adjust the temperature of the molding surfaces of the lower mold and the upper mold at the start of press molding to the predetermined temperature, means for heating and cooling the lower mold and the upper mold as necessary are provided. It is done.
As a means for heating, for example, a method in which a plurality of nichrome heaters are arranged around the mold and heated, a current is passed through a coil arranged so as to surround the mold, and the mold made of a conductor is induction-heated. Although there are a method and a method of heating with gas, the method by induction heating is preferable in that uniform heating is possible. Unlike the method of heating a single mold with a plurality of heat sources as in the case of heating with a nichrome heater, induction heating can control one or two or more molds with a single coil. There is no problem of variation, and the mold can be heated uniformly by keeping the distance between the mold and the coil constant. In addition, when induction heating is used, induction heating may be performed on both the upper mold and the lower mold, or on either one, and when using a trunk mold, it is applied to the trunk mold. Is also possible.
Here, the current passed through the coil during induction heating is preferably a high-frequency current. At low frequency currents, the device becomes large and noise may be a problem because it is in the human audible range.
[0021]
On the other hand, the temperature of the molding die used for press molding receives heat from the molten glass and is higher than before press molding. Therefore, in order to perform press molding under the same temperature condition for any thin sheet glass, it is preferable that the mold is returned to the temperature before molding before the next press molding. At this time, it is preferable to return the temperature by taking some cooling means, except when it is naturally cooled to the temperature before press molding after being subjected to press molding and then returned to the temperature before press molding. .
As the cooling means, a method of circulating water or air in the hollow portion of the mold, a method of spraying a liquid such as water on the inner surface of the hollow portion of the mold, and the like can be employed. According to the method of spraying and vaporizing the liquid, the mold can be cooled by the heat of vaporization of the liquid, so that the cooling effect can be obtained with a smaller amount of liquid than the method of circulating the liquid. Therefore, the method of using the heat of vaporization such as water is preferable not only from the viewpoint of the cooling effect but also from the viewpoint of making the cooling device smaller. Furthermore, for example, when it takes time to cool the upper mold and it cannot be cooled to a predetermined temperature after molding, the upper mold can be easily formed, and one of the upper molds is press-molded. When performing the above, another upper mold may be cooled and a plurality of upper molds may be circulated.
[0022]
In press molding, the press is terminated when the glass is in a softened state. Therefore, at the end of press molding, the temperature of the thin sheet glass is higher than the temperature of the mold, and at this point, molding with the thin sheet glass is performed. The mold is not in thermal equilibrium. However, since the mold is maintained at a predetermined temperature in advance, the thin glass sheet obtained by cooling after molding has a constant shape such as warpage and is easy to grind and polish. It has a shape. Further, since it is not necessary to cool the thin sheet glass and the mold until the thermal equilibrium state is reached, the molding time can be shortened.
Furthermore, for the purpose of shortening the press time, the press molding may be terminated at a temperature at which the central portion of the thin sheet glass is equal to or higher than the softening point of the glass material.
Moreover, since the thin sheet glass after press molding is in a softened state, a step of correcting the warpage of the thin sheet glass may be performed after press molding. The process of correcting the warpage of the thin sheet glass is, for example, by blowing air on only one side of the thin sheet glass, taking heat non-uniformly, or by a molding die having a molding surface similar to the upper mold. This is a step of correcting the magnitude of the warp by pressing again.
[0023]
In addition, when using a body mold, the mold temperature is set so that the surface temperature of the upper and lower press surfaces is near the glass transition point, and the inner surface temperature of the body mold is set higher than the surface temperature of the press surface. May be.
Further, the mold is formed of a heat-resistant material such as graphite, tungsten alloy, nitride, carbide, refractory metal, etc., but when performing high-frequency heating, it is limited to a refractory metal that can be heated by this. . In that case, cast iron is particularly preferable because of its excellent strength and durability.
[0024]
The thin plate-like glass obtained by the above manufacturing method becomes a glass substrate for information recording media, for example, through mechanical processing such as grinding and polishing.
Hereinafter, machining will be described in detail. For machining, specifically, the above glass surface is washed with water, and (1) roughing (rough polishing), (2) sanding (fine grinding, lapping), and (3) first polishing. Steps (polishing) and (4) second polishing (final polishing, polishing) are performed.
[0025]
(1) Roughing process
First, both surfaces of the glass substrate were ground one by one with a fine diamond grindstone. The load at this time was about 100 kg. Thus, the surface roughness on both surfaces of the glass substrate was finished to about 10 μm by Rmax (measured by JIS B 0601).
Next, a hole was made in the central portion of the glass substrate using a cylindrical grindstone, and the outer peripheral end face was ground to a diameter of 65 mmφ, and then a predetermined chamfering process was performed on the outer peripheral end face and the inner peripheral face.
[0026]
(2) Sanding (wrapping) process
Next, the glass substrate was sanded. This sanding step is intended to improve dimensional accuracy and shape accuracy. The sanding process was performed using a lapping apparatus, and was performed twice with the grain size of the abrasive grains being changed to # 400 and # 1000.
Specifically, first, using alumina abrasive grains having a particle size of # 400, setting the load to about 100 kg, and rotating the inner and outer rotation gears, both the surfaces of the glass substrate housed in the carrier have both accuracy of 0. Lapping was performed to ˜1 μm and surface roughness (Rmax) of about 6 μm.
Subsequently, lapping was performed by changing the particle size of the alumina abrasive grains to # 1000 to obtain a surface roughness (Rmax) of about 2 μm.
The glass substrate that had been subjected to the sanding process was sequentially immersed in each washing bath of neutral detergent and water and washed.
[0027]
(3) First polishing process
Next, a first polishing step was performed. This first polishing step is intended to remove scratches and distortions remaining in the sanding step described above, and was performed using a polishing apparatus.
Specifically, a hard polisher (cerium pad MHCl: manufactured by Speed Fam Co., Ltd.) was used as the polisher (polishing powder), and the first polishing step was performed under the following polishing conditions.
Polishing liquid: Cerium oxide + water
Load: 300 g / cm 2 (L = 238kg)
Polishing time: 15 minutes
Removal amount: 30 μm
Lower platen rotation speed: 40rpm
Upper platen rotation speed: 35rpm
Inner gear speed: 14rpm
Outer gear speed: 29rpm
The glass substrate which finished the said 1st grinding | polishing process was immersed in each washing tank of neutral detergent, a pure water, a pure water, IPA (isopropylene alcohol), and IPA (steam drying) sequentially, and was wash | cleaned.
[0028]
(4) Second polishing step
Next, the polishing apparatus used in the first polishing step was performed, and the second polishing step was performed by changing the polisher from a hard polisher to a soft polisher (Porelax: manufactured by Speedfam). Polishing conditions are 100 g / cm load. 2 The first polishing step was the same as the polishing step except that the polishing time was 5 minutes and the removal amount was 5 μm.
The glass substrate after the second polishing step was washed by sequentially immersing it in each washing tank of neutral detergent, neutral detergent, pure water, pure water, IPA (isopropyl alcohol), and IPA (steam drying). In addition, the ultrasonic wave was applied to each washing tank.
In this manner, a disk-shaped glass substrate for information recording media having an outer diameter of 65 mmφ, a central hole diameter of 20 mmφ, a thickness of 0.5 mm, Rmax of 40 angstroms, and Ra8 angstroms was obtained.
[0029]
The glass substrate for an information recording medium manufactured by the method as described above constitutes a magnetic recording medium by sequentially laminating an underlayer, a magnetic layer, a protective layer, and a lubricating layer on the glass substrate.
[0030]
Here, as the material of the glass substrate of the magnetic recording medium, for example, aluminosilicate glass, soda lime glass, soda aluminosilicate glass, aluminoborosilicate glass, borosilicate glass, quartz glass, chain silicate glass, or crystallized glass Examples thereof include glass ceramics. Further, preferably, a glass having the following composition is used.
(1) Crystallized glass 1
SiO in weight% 2 60-87%, Li 2 O is 5 to 20%, Na 2 O is 0 to 5%, K 2 0 to 10% of O, Na 2 O and K 2 O in total 0.5-10%, MgO 0.5-7.5%, CaO 0-9.5%, SrO 0-15%, BaO 0-13%, ZnO 0-13 %, B 2 O Three 0-10%, Al 2 O Three 0-10%, P 2 O Five 0.5-8%, TiO 2 0-5%, ZrO 2 0 to 3%, SnO 2 0-3%, As 2 O Three And Sb 2 O Three 0 to 2% in total, 0 to 5% of the fluoride of one or more metal elements of the above metal oxide as a total amount of F, and optionally as a coloring component, V 2 O Five , CuO, MnO 2 , Cr 2 O Three , CoO, MoO Three , NiO, Fe 2 O Three , TeO 2 , CeO 2 , Pr 2 O Three , Nd 2 O Three , Er 2 O Three 0 to 5% of at least one selected from the group consisting of lithium disilicate as the main crystal, optionally containing α-cristobalite, α-quartz, lithium monosilicate, β-spodumene, etc. Crystallized glass whose length is 3.0 μm or less.
(2) Crystallized glass 2
SiO in weight% 2 Is 45 to 75%, CaO is 4 to 30%, Na 2 O is 2 to 15%, K 2 O is 0 to 20%, Al 2 O Three 0-7%, MgO 0-2%, ZnO 0-2%, SnO 2 0-2%, Sb 2 O Three 0-1%, B 2 O Three 0-6%, ZrO 2 0-12%, Li 2 O is contained in an amount of 0 to 3%, and fluoride of one or more metal elements of the above metal oxide is contained in an amount of 3 to 12% as a total amount of F. 2 O Three , Co Three O Four And the like, kanasite or potassium / fluoro / richerite as the main crystal, and the crystal grain size is 1.0 μm or less.
(3) Glass 3
SiO in weight% 2 62-75%, Al 2 O Three 4-18%, ZrO 2 0-15%, Li 2 3-12% O, Na 2 Glass containing 3 to 13% of O.
[0031]
Such a glass substrate can be subjected to chemical strengthening treatment by a low-temperature ion exchange method on the surface for the purpose of improving impact resistance, vibration resistance and the like. Here, the chemical strengthening method is not particularly limited as long as it is a conventionally known chemical strengthening method. For example, low-temperature chemical strengthening in which ion exchange is performed in a region not exceeding the transition temperature is preferable from the viewpoint of the glass transition point. . Examples of the alkali molten salt used for chemical strengthening include potassium nitrate, sodium nitrate, and nitrates obtained by mixing them.
[0032]
Examples of the underlayer include an underlayer made of at least one material selected from nonmagnetic metals such as Cr, Mo, Ta, Ti, W, V, B, and Al. In the case of a magnetic layer containing Co as a main component, Cr alone or a Cr alloy is preferable from the viewpoint of improving magnetic characteristics. Further, the underlayer is not limited to a single layer, and may have a multi-layer structure in which the same or different layers are stacked. Examples thereof include multilayer underlayers such as Cr / Cr, Cr / CrMo, Cr / CrV, CrV / CrV, Al / Cr / CrMo, Al / Cr / Cr, Al / Cr / CrV, and Al / CrV / CrV. .
[0033]
Examples of the magnetic layer include magnetic thin films such as CoPt, CoCr, CoNi, CoNiCr, CoCrTa, CoPtCr, CoNiPt containing Co as a main component, CoNiCrPt, CoNiCrTa, CoCrTaPt, and CoCrPtSiO. The magnetic layer may be a multilayer structure (for example, CoPtCr / CrMo / CoPtCr, CoCrTaPt / CrMo / CoCrTaPt, etc.) in which the magnetic film is divided by a non-magnetic film (for example, Cr, CrMo, CrV) to reduce noise. Good. As a magnetic layer corresponding to a magnetoresistive head (MR head) or a large magnetoresistive head (GMR head), an impurity element selected from Co, alloys, Y, Si, rare earth elements, Hf, Ge, Sn, Zn Or those containing oxides of these impurity elements. As the magnetic layer, in addition to the above, ferrite, iron-rare earth, and SiO 2 A granular material having a structure in which magnetic particles such as Fe, Co, FeCo, and CoNiPt are dispersed in a nonmagnetic film made of BN or the like may be used. Further, the magnetic layer may be of an internal type or a vertical type.
[0034]
Examples of the protective layer include a Cr film, a Cr alloy film, a carbon film, a zirconia film, and a silica film. These protective layers can be continuously formed together with the underlayer, the magnetic layer and the like by an in-line type sputtering apparatus. In addition, these protective layers may be a single layer, or may have a multilayer structure composed of the same or different films. Furthermore, another protective layer may be formed on the protective layer or instead of the protective layer. For example, instead of the protective layer, colloidal silica fine particles are dispersed and coated on a Cr film with tetraalkoxylane diluted with an alcohol solvent, and then fired to form silicon oxide (SiO 2). 2 ) A film may be formed.
[0035]
For example, the lubricating layer may be obtained by diluting perfluoropolyether (PFPE), which is a liquid lubricant, with a solvent such as Freon, and applying it to the surface of the medium by dipping, spin coating, or spraying. Go and form.
[0036]
The present invention has been described in detail above, and the above embodiment is a case where a disk-shaped (disk-shaped) glass is press-molded. The invention is applicable. Further, the heat-resistant solid lubricant powder adhesion device is not limited to the injection device shown in FIG.
[0037]
【The invention's effect】
As described above, according to the method for producing a thin sheet glass of the present invention, since the heat-resistant solid lubricant powder is adhered to the molding surface of the molding die, the molten glass is hot and the molding die is hot. Excellent release properties can be obtained even in press molding of a thin sheet glass heated to a high temperature, and a thin sheet glass can be obtained with high productivity by improving the elongation of the molten glass. Furthermore, since the heat-resistant solid lubricant powder can be easily adhered and removed, the working efficiency can be improved.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a plan view for explaining an embodiment of a method for producing a thin sheet glass according to the present invention.
FIG. 2 is a configuration diagram specifically showing an injection device used in the embodiment of the present invention.
FIG. 3 is a front view of a nozzle tip of the injection device of FIG. 2;
[Explanation of symbols]
11 Lower mold
13 Injection device
21 BN powder

Claims (5)

溶融ガラスをプレス成形して肉薄板状ガラスを製造する方法において、成形型の成形面を粗面加工し、その粗面加工された成形型の成形面に気体とともに耐熱性固体潤滑剤粉末を噴射して、前記気体と成形型との熱交換により前記成形型の冷却を行うとともに、前記耐熱性固体潤滑剤粉末を前記成形面に付着させることにより前記成形面における断熱性を高めた後、前記溶融ガラスを前記成形面で受け、プレス成形を行うこと、および前記成形後に前記成形面に残留している耐熱性固体潤滑剤粉末を除去した後に前記成形型を繰り返し用いること、ならびに前記肉薄板状ガラスが少なくとも研磨工程を行うことにより情報記録媒体用ガラス基板に加工されるものであることを特徴とする肉薄板状ガラスの製造方法。In a method for producing thin sheet glass by press molding molten glass, the molding surface of the mold is roughened, and a heat-resistant solid lubricant powder is injected along with gas onto the molding surface of the roughened mold. to, performs cooling of the mold by heat exchange with the mold and the gas, after increasing the thermal insulation in the molding surface by adhering the heat-resistant solid lubricant powder on the molding surface, wherein Receiving the molten glass on the molding surface, performing press molding, and repeatedly using the molding die after removing the heat-resistant solid lubricant powder remaining on the molding surface after the molding, and the thin plate shape A method for producing a thin glass sheet, wherein the glass is processed into a glass substrate for an information recording medium by performing at least a polishing step . 耐熱性固体潤滑剤粉末がBN粉末であることを特徴とする請求項1記載の肉薄板状ガラスの製造方法。  The method for producing a thin glass sheet according to claim 1, wherein the heat-resistant solid lubricant powder is BN powder. プレス成形後、軟化状態にある肉薄板状ガラスの反りを修正する工程を有することを特徴とする請求項1または2に記載の肉薄板状ガラスの製造方法。The method for producing a thin sheet glass according to claim 1 or 2 , further comprising a step of correcting warpage of the thin sheet glass in a softened state after press molding. 請求項1ないしのいずれか1項に記載の製造方法により肉薄板状ガラスを製造したのち、少なくとも研磨工程を行うことを特徴とする情報記録媒体用ガラス基板の製造方法。A method for producing a glass substrate for an information recording medium, wherein at least a polishing step is performed after producing a thin sheet glass by the production method according to any one of claims 1 to 3 . 請求項に記載の製造方法により情報記録媒体用ガラス基板を製造したのち、少なくとも磁性層を形成する工程を行うことを特徴とする情報記録媒体の製造方法。5. A method for producing an information recording medium, comprising producing at least a magnetic layer after producing a glass substrate for an information recording medium by the production method according to claim 4 .
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