JP4067178B2 - Laser beam irradiation device - Google Patents

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Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、カテーテル等の体腔内へ挿入可能な本体の先端部よりレーザ光を照射するためのレーザ光照射装置に関し、詳しくは、レーザ焼灼治療や検査を行うためのレーザ光照射装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来より体腔内部に生じた癌や腫瘍等の病変部を焼灼治療する目的で、種々の装置が開発されている。この中で、例えば、特開平4−285550号や特開平5−237132号には、形状記憶材料を用いてレーザ光の照射方向を変えるものが開示されている。
【0003】
これらの装置は、レーザ光を導く光ファイバを、例えば形状記憶合金の変形力によって湾曲させ、その先端(出射端)の向きを変えさせることにより、レーザ光を目的の方向へ照射するというものである。これらの装置を用いれば、光ファイバのレーザ光出射端の向きを制御することが可能となり、レーザ光を所定の部位に照射することが出来るという特徴があった。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
これら従来例の装置では、レーザ光照射方向を変えるために、光ファイバそのものを湾曲させる仕組みとなっている。しかし、光ファイバは最小曲率半径より小さく曲げることはできず、また体腔内、特に脈管内等の狭い空間の中では湾曲の角度が大きく制限され、レーザ光を挿入軸方向の側方に向けるような使い方は困難であった。
【0005】
本発明においては、挿入部の前方と側方へのレーザ光の照射が切り替えでき、管腔臓器内や脈管内のように狭い空間でも挿入部周囲の管腔組織内壁に照射が可能なレーザ光照射装置を提供することを目的とする。
【0006】
また、本発明においては、挿入部の前方から側方へレーザ光を照射走査することが可能で、かつレーザ光を体腔内に照射走査するための機構を簡素でかつ小型のものとし、患者への負担が軽く、かつ信頼性の高いレーザ光照射装置を提供することを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】
このような目的は、下記(1)〜(5)の発明により達成される。
【0008】
(1)長尺な挿入部と、該挿入部内にレーザ光を導光する導光手段と、前記挿入部の先端近傍に設けられたレーザ光反射手段とを有し、前記レーザ光反射手段は平板状に形成した形状記憶合金からなるカンチレバーと反射表面とを備え、前記カンチレバーを加熱により変形させる加熱手段を更に有し、前記挿入部の先端にはレーザ光が透過する先端キャップを有、前記カンチレバーは、前記加熱手段の加熱による温度に応じて、レーザ光を軸方と側方向前方の間の任意の向きに照射可能であることを特徴とするレーザ光照射装置。
【0009】
(2)前記カンチレバーが全方位性形状記憶合金であることを特徴とする上記(1)記載のレーザ光照射装置。
【0010】
(3)前記カンチレバーが二方向性形状記憶合金であることを特徴とする上記(1)記載のレーザ光照射装置。
【0011】
(4)前記カンチレバーが一方向性形状記憶合金であって、前記レーザ光反射手段が前記カンチレバーを湾曲させるような力を加えるバイアスバネ材を更に有することを特徴とする上記(1)記載のレーザ光照射装置。
【0012】
(5)前記カンチレバーの周囲に冷却用流動体を供給・排出する冷却手段を更に有することを特徴とする上記(1)記載のレーザ光照射装置。
【0013】
【発明の実施の形態】
以下、本発明のレーザ光照射装置について、添付図面に示す好適実施例を参照しつつ、詳細に説明する。
【0014】
図1、図2は、本発明に係るレーザ光照射装置の先端部の構成を説明するための図であり、図1は側方へレーザ光を照射する状態を示すものであり、図2は前方へ照射する状態を示すものである。また、図3は図2の状態の正面図およびそのA−A断面図であり、図4は図1の状態の正面図およびそのB−B断面図である。
【0015】
図1乃至図4において、レーザ光照射装置1は、体腔内への挿入部であるカテーテル2の内部に、レーザ光照射装置1の基端に接続される図示しないレーザ光源より発生するレーザ光を導光する光ファイバ3が挿入されており、カテーテル2の先端にはレーザ光が透過するようアクリル樹脂や石英等の光透過性材料からなる先端キャップ4が取り付けてある。
【0016】
カンチレバー5は、全方位性形状記憶合金からなるアクチュエータであり、カンチレバー5のレーザ光が照射される表面にはレーザ光を効率的に反射できるよう、反射表面6が設けてある。また、加熱手段として、通電用のリード線7が、カンチレバー5に接続されるよう設けられている。リード線7を介してカンチレバー5に電流を流すことにより、形状記憶合金自体が自己発熱し、変形に必要なだけの熱量が得られる仕組みである。
【0017】
光ファイバ3のレーザ光出射端にはコリメート用のレンズ8が設けられている。通常の光ファイバでは、出射されたレーザ光は光ファイバのコアの屈折率で決まる開口角度(40度前後)で広がってしまう。これでは、出射されたレーザ光のごく一部しか反射表面に達しないだけでなく、反射した後のレーザ光のプロファイルも著しく低下する。コリメート用のレンズ8は、レーザ光の拡散を出来るだけ抑制し、収束光を出射するためのものである。
【0018】
コリメート用のレンズ8を取り付けた状態での光ファイバ3の出射端の直径は1.5mm、カンチレバー5上に設けられた反射表面6の大きさは1mm×1mmであり、これらが外径(直径)3mmのカテーテル2に内蔵されている。
【0019】
カテーテル2は、光ファイバ3の周囲に空隙を有するように形成され、周囲の空隙は給気用ルーメン10aおよび排気用ルーメン10bとして作用することができる。カテーテル2の内孔には、仕切壁11が形成されており、この仕切壁11が、光ファイバ3を固定しつつ、給気用ルーメン10aと排気用ルーメン10bとを分離して形成する。これらルーメン10a、10bを介して、カテーテル2の基端部より図示しない冷却流体循環装置から、冷却流体として二酸化炭素ガスを循環させる。本装置の冷却に用いられる二酸化炭素ガスは、カテーテル2の内部を流通するのみであり、カテーテル2の外部に漏れ出ることはない。
【0020】
カンチレバー5はリード線7により通電されていない状態(加熱がない状態)では、図2に示すように、まっすぐに延びた状態になっている。反射表面6はレーザ光の照射範囲から完全に外れており(図3)、この状態では、レーザ光はカテーテル軸方向先端の向き(前方)に照射されることになる。
【0021】
リード線7に電流を流し、形状記憶合金を自己発熱させ、徐々に温度を上昇させていくと、カンチレバー5は図1および図4のように、レーザ光の光軸と約45度で交わるような形状となる。本実施例では、このときの温度は約80度であるが、加熱はカンチレバー5近傍のごく局所的なものであるため、カテーテル2の外部まで加熱されることはない。このとき、カテーテル2の先端方向から光ファイバ3の出射端の方を見た状態を図示すると、図4のように、光ファイバ3の出射端はカンチレバー5の反射表面6の陰に隠れた状態となる。レーザ光は反射表面6で反射され、その結果カテーテル2の軸から90度側方へ照射されるようになる。
【0022】
本実施例では、形状記憶合金として全方位性形状記憶合金を用いたため、加熱による温度に応じて、カンチレバー5は図1の状態と図2の状態の間の任意の角度を取ることが出来る。このとき、レーザ光はカテーテル2の軸方向前方と側方の間の任意の向きに照射されることとなる。
【0023】
リード線7による通電を停止し、加熱をやめると、形状記憶合金はカテーテル2のルーメンを通って通気された二酸化炭素ガスの流れによって急速に冷やされ、これに伴って形状記憶合金は常温での形(真っ直ぐな状態)にもどる。この通気冷却によりカンチレバー5の温度を急速に低下させることが可能となるため、自然冷却時と比べてカンチレバー5を急速に常温時の角度に復帰させ、ひいてはレーザ光の走査速度を向上させることが出来る。
【0024】
ここで、リード線7への通電を断続的に繰り返すことにより、カテーテル2から外部へ照射されるレーザ光を走査することができる。また、ある向きに照射を固定したい場合は、形状記憶合金の温度が一定となるように通電量を調整すればよい。
【0025】
本実施例においては、形状記憶合金として全方位性形状記憶合金を用いたが、二方向性形状記憶合金を用いることも出来る。二方向性形状記憶合金は、カンチレバーで保持できる角度が特定の二つの角度(通常は、まっすぐの状態とレーザ光に対して45度の状態)に限られ、その間の任意の角度を保持することは出来ないが、それ以外は同様の仕組みでレーザ光の照射に用いることが出来る。
【0026】
さらに、形状記憶合金として一方向性形状記憶合金を用い、これを湾曲させるような力を加えるバイアスバネ材をカンチレバーに積層し、組み合わされた構造を用いることもできる。このように構成すれば、バイアスバネでカンチレバーが湾曲したことにより得られるカンチレバーの角度と、加熱手段で加熱されたときに形状記憶合金が記憶していたカンチレバーの角度との2つの角度が得られるため、加熱の程度に応じてレーザ光がカンチレバー上の反射表面に入射する角度が変わり、レーザ光を2方向へ照射することが出来る。
【0027】
なお、カンチレバー5に用いる形状記憶合金としては、NiTi系合金、Cu−Zn−Al系合金等が好ましい。また、これらの形状記憶合金の変態点は40度〜80度程度であることが好ましい。変態温度は、カテーテル2の外へ熱が漏れることなく、かつ非加温時に変形する虞の無い温度が選択されるべきである。
【0028】
また、反射表面6は、カンチレバー5の表面に電気絶縁膜を介して金属薄膜を形成する事によって得ることが出来る。具体的には、Al、Ti、Pt、Au等の金属を蒸着することによって、反射率の高い反射表面が好適に得られる。また、形状記憶合金の表面を鏡面処理する事によって、形状記憶合金そのものを反射表面として利用することも出来る。
【0029】
なお、以上説明した本発明の実施例は、本発明の理解を容易にするために記載されたものであって、本発明を実施例に限定するものではない。したがって、上記実施例に開示された各要素は、本発明の技術的範囲に属するすべての設計変更や均等物をも含むものである。
【0030】
たとえば、本実施例はカテーテルを用いたレーザ焼灼治療や検査の場面で本発明によるレーザ光照射装置を用いる場合について説明したが、機械の内部検査に用いるレーザポインタやレーザマーカなど、工業分野での利用に応用してもかまわない。
【0031】
【発明の効果】
以上述べたように、本発明によれば、病変部へのレーザ光の走査が形状記憶合金によって駆動されるカンチレバーの角度変化によって実現されるため、体腔内へ挿入されるカテーテルの本体は動かすことなく、一定の範囲にレーザ光を照射することが可能となる。すなわち、管腔臓器内等の狭い空間でもレーザ光の走査照射が可能となり、効率的かつ安全にレーザ光による治療や検査が出来るようになる。
【0032】
また、形状記憶合金への加熱に、形状記憶合金自身の自己発熱を利用したため、発熱用のヒータ等を別途設ける必要が無く、ヒータを屈曲・変形させるような内部損失がないため、効率的な駆動力を得ることができる。また、レーザ光を走査する機構が非常に簡素でかつ小型であるため、レーザ光照射装置を内蔵するカテーテルも細径のものを用いることができ、治療、検査を受ける患者の身体的負担を軽減することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明のレーザ光照射装置の実施例を示す先端部の透視図である。
【図2】本発明のレーザ光照射装置の実施例を示す先端部の透視図である。
【図3】図2の状態の正面図および側面断面図である。
【図4】図1の状態の正面図および側面断面図である。
【符号の説明】
1 レーザ光照射装置
2 カテーテル
3 光ファイバ
4 先端キャップ
5 カンチレバー
6 反射表面
7 リード線
8 レンズ
[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a laser beam irradiation apparatus for irradiating a laser beam from a distal end portion of a main body that can be inserted into a body cavity such as a catheter, and more particularly to a laser beam irradiation apparatus for performing laser ablation treatment or examination.
[0002]
[Prior art]
Conventionally, various devices have been developed for the purpose of cauterizing a lesion such as a cancer or a tumor that has occurred inside a body cavity. Among these, for example, Japanese Patent Laid-Open Nos. 4-285550 and 5-237132 disclose ones that change the irradiation direction of laser light using a shape memory material.
[0003]
These devices irradiate laser light in a target direction by bending the optical fiber that guides the laser light, for example, by the deformation force of the shape memory alloy and changing the direction of the tip (exit end). is there. If these apparatuses are used, the direction of the laser light emitting end of the optical fiber can be controlled, and a laser beam can be irradiated to a predetermined part.
[0004]
[Problems to be solved by the invention]
In these conventional apparatuses, the optical fiber itself is bent in order to change the laser light irradiation direction. However, the optical fiber cannot be bent smaller than the minimum radius of curvature, and the bending angle is greatly limited in a narrow space such as a body cavity, particularly in a vessel, so that the laser beam is directed to the side in the insertion axis direction. It was difficult to use.
[0005]
In the present invention, laser light irradiation can be switched between the front and side of the insertion portion, and the inner wall of the luminal tissue around the insertion portion can be irradiated even in a narrow space such as in a hollow organ or a vascular vessel. An object is to provide an irradiation apparatus.
[0006]
In the present invention, the laser beam can be irradiated and scanned from the front side to the side of the insertion portion, and the mechanism for irradiating and scanning the laser beam into the body cavity can be made simple and small. An object of the present invention is to provide a laser beam irradiation apparatus that is light in weight and highly reliable.
[0007]
[Means for Solving the Problems]
Such an object is achieved by the following inventions (1) to (5).
[0008]
(1) It has a long insertion part, a light guide means for guiding laser light in the insertion part, and a laser light reflection means provided near the tip of the insertion part, the laser light reflection means provided with a cantilever made of a flat plate shape forming a shape memory alloy and the reflective surface, further comprising a heating means for deforming by heating the cantilever, have a tip cap to the laser light is transmitted to the distal end of the insertion portion, The cantilever is capable of irradiating a laser beam in an arbitrary direction between an axial direction and a front side in a lateral direction in accordance with a temperature generated by heating of the heating unit.
[0009]
(2) The laser beam irradiation apparatus according to (1), wherein the cantilever is an omnidirectional shape memory alloy.
[0010]
(3) The laser beam irradiation apparatus according to (1), wherein the cantilever is a bidirectional shape memory alloy.
[0011]
(4) The laser according to (1), wherein the cantilever is a unidirectional shape memory alloy, and the laser light reflecting means further includes a bias spring material that applies a force to bend the cantilever. Light irradiation device.
[0012]
(5) The laser beam irradiation apparatus according to (1), further comprising cooling means for supplying and discharging a cooling fluid around the cantilever.
[0013]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Hereinafter, the laser beam irradiation apparatus of the present invention will be described in detail with reference to the preferred embodiments shown in the accompanying drawings.
[0014]
1 and 2 are diagrams for explaining the configuration of the tip of the laser beam irradiation apparatus according to the present invention. FIG. 1 shows a state in which the laser beam is irradiated to the side, and FIG. The state of irradiating forward is shown. 3 is a front view of the state of FIG. 2 and its AA sectional view, and FIG. 4 is a front view of the state of FIG. 1 and its BB sectional view.
[0015]
1 to 4, the laser light irradiation device 1 emits laser light generated from a laser light source (not shown) connected to the proximal end of the laser light irradiation device 1 inside a catheter 2 that is an insertion portion into a body cavity. An optical fiber 3 for guiding light is inserted, and a distal end cap 4 made of a light transmissive material such as acrylic resin or quartz is attached to the distal end of the catheter 2 so that laser light can pass therethrough.
[0016]
The cantilever 5 is an actuator made of an omnidirectional shape memory alloy, and a reflective surface 6 is provided on the surface of the cantilever 5 irradiated with the laser light so that the laser light can be efficiently reflected. Further, a lead wire 7 for energization is provided as a heating means so as to be connected to the cantilever 5. By passing an electric current through the lead wire 7 to the cantilever 5, the shape memory alloy itself self-heats and a heat quantity necessary for deformation is obtained.
[0017]
A collimating lens 8 is provided at the laser light emitting end of the optical fiber 3. In a normal optical fiber, the emitted laser light spreads at an opening angle (around 40 degrees) determined by the refractive index of the core of the optical fiber. In this case, not only a part of the emitted laser beam reaches the reflection surface, but also the profile of the laser beam after reflection is significantly lowered. The collimating lens 8 is for suppressing the diffusion of laser light as much as possible and emitting convergent light.
[0018]
The diameter of the exit end of the optical fiber 3 with the collimating lens 8 attached is 1.5 mm, and the size of the reflecting surface 6 provided on the cantilever 5 is 1 mm × 1 mm. These are the outer diameters (diameters). Built in a 3 mm catheter 2.
[0019]
The catheter 2 is formed to have a gap around the optical fiber 3, and the surrounding gap can act as an air supply lumen 10a and an exhaust lumen 10b. A partition wall 11 is formed in the inner hole of the catheter 2, and the partition wall 11 separates the air supply lumen 10 a and the exhaust lumen 10 b while fixing the optical fiber 3. Through these lumens 10a and 10b, carbon dioxide gas is circulated as a cooling fluid from a cooling fluid circulation device (not shown) from the proximal end of the catheter 2. The carbon dioxide gas used for cooling the apparatus only flows through the inside of the catheter 2 and does not leak out of the catheter 2.
[0020]
When the cantilever 5 is not energized by the lead wire 7 (there is no heating), the cantilever 5 is in a state of extending straight as shown in FIG. The reflecting surface 6 is completely out of the irradiation range of the laser beam (FIG. 3), and in this state, the laser beam is irradiated in the direction of the distal end in the catheter axial direction (forward).
[0021]
When a current is passed through the lead wire 7 to self-heat the shape memory alloy and the temperature is gradually raised, the cantilever 5 intersects the optical axis of the laser beam at about 45 degrees as shown in FIGS. Shape. In this embodiment, the temperature at this time is about 80 ° C. However, since the heating is very local in the vicinity of the cantilever 5, it is not heated to the outside of the catheter 2. At this time, when the state where the exit end of the optical fiber 3 is viewed from the distal direction of the catheter 2 is illustrated, the exit end of the optical fiber 3 is hidden behind the reflecting surface 6 of the cantilever 5 as shown in FIG. It becomes. The laser light is reflected by the reflecting surface 6 and as a result, is emitted 90 degrees laterally from the axis of the catheter 2.
[0022]
In this embodiment, since the omnidirectional shape memory alloy is used as the shape memory alloy, the cantilever 5 can take an arbitrary angle between the state of FIG. 1 and the state of FIG. 2 according to the temperature by heating. At this time, the laser light is emitted in an arbitrary direction between the front and side in the axial direction of the catheter 2.
[0023]
When the energization by the lead wire 7 is stopped and the heating is stopped, the shape memory alloy is rapidly cooled by the flow of carbon dioxide gas vented through the lumen of the catheter 2, and accordingly, the shape memory alloy is cooled at room temperature. Return to shape (straight). Since the temperature of the cantilever 5 can be rapidly lowered by this air cooling, the cantilever 5 can be quickly returned to the normal temperature angle as compared with the case of natural cooling, thereby improving the scanning speed of the laser beam. I can do it.
[0024]
Here, the laser beam emitted from the catheter 2 to the outside can be scanned by intermittently energizing the lead wire 7. Moreover, when it is desired to fix the irradiation in a certain direction, the energization amount may be adjusted so that the temperature of the shape memory alloy becomes constant.
[0025]
In this embodiment, an omnidirectional shape memory alloy is used as the shape memory alloy, but a bi-directional shape memory alloy can also be used. Bidirectional shape memory alloys can be held by a cantilever only in two specific angles (usually straight and 45 degrees to the laser beam), and hold any angle between them. However, other than that, it can be used for laser light irradiation with the same mechanism.
[0026]
Furthermore, a unidirectional shape memory alloy is used as the shape memory alloy, and a bias spring material that applies a force for curving the same is laminated on the cantilever, and a combined structure can also be used. If comprised in this way, two angles, the angle of the cantilever obtained when the cantilever is bent by the bias spring and the angle of the cantilever stored by the shape memory alloy when heated by the heating means, can be obtained. Therefore, the angle at which the laser beam is incident on the reflective surface on the cantilever changes depending on the degree of heating, and the laser beam can be irradiated in two directions.
[0027]
The shape memory alloy used for the cantilever 5 is preferably a NiTi alloy, a Cu—Zn—Al alloy, or the like. Further, the transformation point of these shape memory alloys is preferably about 40 to 80 degrees. The transformation temperature should be selected such that heat does not leak out of the catheter 2 and that there is no possibility of deformation when not warmed.
[0028]
The reflective surface 6 can be obtained by forming a metal thin film on the surface of the cantilever 5 via an electrical insulating film. Specifically, a reflective surface with high reflectivity can be suitably obtained by depositing a metal such as Al, Ti, Pt, or Au. Further, the shape memory alloy itself can be used as a reflective surface by mirror-treating the surface of the shape memory alloy.
[0029]
The embodiments of the present invention described above are described for easy understanding of the present invention, and the present invention is not limited to the embodiments. Therefore, each element disclosed in the above embodiment includes all design changes and equivalents belonging to the technical scope of the present invention.
[0030]
For example, in the present embodiment, the case where the laser light irradiation apparatus according to the present invention is used in a laser ablation treatment or inspection scene using a catheter has been described. You may apply to.
[0031]
【The invention's effect】
As described above, according to the present invention, since the scanning of the laser beam to the lesion is realized by the angle change of the cantilever driven by the shape memory alloy, the body of the catheter inserted into the body cavity is moved. It is possible to irradiate the laser beam to a certain range. That is, it becomes possible to scan and irradiate laser light even in a narrow space such as in a luminal organ, so that treatment and examination with laser light can be performed efficiently and safely.
[0032]
In addition, because the shape memory alloy itself is used for heating the shape memory alloy, there is no need to provide a heater for heat generation separately, and there is no internal loss that causes the heater to bend and deform. A driving force can be obtained. In addition, since the laser beam scanning mechanism is very simple and compact, a catheter with a built-in laser beam irradiation device can be used with a small diameter, reducing the physical burden on patients undergoing treatment and examination. It becomes possible to do.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a perspective view of a tip portion showing an embodiment of a laser beam irradiation apparatus of the present invention.
FIG. 2 is a perspective view of a tip portion showing an embodiment of a laser beam irradiation apparatus of the present invention.
3 is a front view and a side sectional view of the state of FIG.
4 is a front view and a side cross-sectional view of the state shown in FIG. 1. FIG.
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Laser beam irradiation apparatus 2 Catheter 3 Optical fiber 4 Tip cap 5 Cantilever 6 Reflective surface 7 Lead wire 8 Lens

Claims (6)

長尺な挿入部と、該挿入部内にレーザ光を導光する導光手段と、前記挿入部の先端近傍に設けられたレーザ光反射手段とを有し、前記レーザ光反射手段は平板状に形成した形状記憶合金からなるカンチレバーと反射表面とを備え、前記カンチレバーを加熱により変形させる加熱手段を更に有し、前記挿入部の先端にはレーザ光が透過する先端キャップを有、前記カンチレバーは、前記加熱手段の加熱による温度に応じて、レーザ光を軸方と側方向前方の間の任意の向きに照射可能であることを特徴とするレーザ光照射装置。A long insertion portion; a light guide means for guiding laser light in the insertion portion; and a laser light reflection means provided in the vicinity of the distal end of the insertion portion. The laser light reflection means has a flat plate shape. and a formed shape memory composed of an alloy cantilever and the reflective surface, further comprising a heating means for deforming by heating the cantilever, have a tip cap to the laser light is transmitted to the distal end of the insertion portion, the cantilever The laser beam irradiation apparatus can irradiate the laser beam in an arbitrary direction between the axial direction and the front in the lateral direction in accordance with the temperature of the heating means . 前記加熱手段は前記形状記憶合金への通電により自己発熱を発生させる手段であることを特徴とする請求項1記載のレーザ光照射装置。2. The laser light irradiation apparatus according to claim 1, wherein the heating means is means for generating self-heating by energizing the shape memory alloy. 前記カンチレバーが全方位性形状記憶合金であることを特徴とする請求項1または2に記載のレーザ光照射装置。3. The laser beam irradiation apparatus according to claim 1, wherein the cantilever is an omnidirectional shape memory alloy. 前記カンチレバーが二方向性形状記憶合金であることを特徴とする請求項1または2に記載のレーザ光照射装置。3. The laser beam irradiation apparatus according to claim 1, wherein the cantilever is a bi-directional shape memory alloy. 前記カンチレバーが一方向性形状記憶合金であって、前記レーザ光反射手段が前記カンチレバーを湾曲させるような力を加えるバイアスバネ材を更に有することを特徴とする請求項1ないしのいずれかに記載のレーザ光照射装置。The said cantilever is a unidirectional shape memory alloy, The said laser beam reflection means further has the bias spring material which applies the force which curves the said cantilever, The Claim 1 thru | or 2 characterized by the above-mentioned. Laser light irradiation device. 前記カンチレバーの周囲に冷却用流動体を供給・排出する冷却手段を更に有することを特徴とする請求項1ないし5のいずれかに記載のレーザ光照射装置。6. The laser beam irradiation apparatus according to claim 1, further comprising cooling means for supplying and discharging a cooling fluid around the cantilever.
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