JP4065180B2 - Resin sealing mold - Google Patents

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【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、プリント基板に装着されたチップ状の電子部品(以下「チップ」という。)を樹脂封止してパッケージを製造する際に使用される、樹脂封止金型に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来、金属板からなるリードフレーム上に装着されたチップを樹脂封止してパッケージを製造する場合には、金型によってリードフレームをクランプした状態で、金型に設けられたキャビティに溶融樹脂を注入し、これを硬化させている。この場合には、リードフレームがクランプされることによって、リードフレームと金型との間に隙間が生じない。したがって、リードフレームの上に樹脂が漏出してばりが発生することが防止される。
【0003】
しかし、近年、リードフレームに代えて、ガラスエポキシ板等の樹脂板をベース材に使用した多層のプリント基板(以下「基板」という。)が広く使用されている。この場合にも、リードフレームの場合と同様に、金型によって基板をクランプした状態で、金型に設けられたキャビティに溶融樹脂を注入し、これを硬化させている。ここで、基板の脆弱性から、適正なクランプ圧で基板をクランプすることにより、基板の変形や破損等と、金型・基板間における隙間の発生とを防止する必要がある。
また、基板が加熱される際に、ガラスエポキシ板と金属との熱膨張係数の差に起因して生じる反りを吸収して、金型・基板間における隙間の発生を防止する必要がある。この目的で、金型において、基板を挟持する挟持部と、基板を挟持しない被固定部とを設けている(例えば、特許文献1参照)。
【0004】
【特許文献1】
特開平10−284527号公報(第5−8頁、図1−図4)
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、金型・基板間における隙間の発生を防止するための上記従来の技術によれば、次のような問題がある。それは、基板における配線パターン及び外部接続用パッド(以下併せて「パターン」という。)の密度のばらつきに起因して、基板に対する適正なクランプ圧が確保されないおそれがあるという問題である。特に、近年広く使用されているBGA(Ball Grid Array) と呼ばれるパッケージでは、製品の多様化等に伴い基板のパターンについても粗いタイプから密なタイプまで、言い換えれば、パターンの密集部の面積が小さい基板から大きい基板まで多様化しているので、この問題が顕著になっている。以下、図4と図5とを参照して、発明が解決しようとする課題を説明する。
【0006】
図4(1)及び(2)は、BGAを製造する従来の場合における、パターンの密集部の面積が大きい基板と金型との位置関係をそれぞれ示す、平面図及びそのA−A線における部分断面図である。図5(1)及び(2)は、BGAを製造する従来の場合における、パターンの密集部の面積が小さい基板と金型との位置関係をそれぞれ示す、平面図及びそのB−B線における部分断面図である。
【0007】
図4及び図5に示されているように、下型51と上型52とによって、基板B1及びB2がそれぞれクランプされる。基板B1及びB2の上面53には、後述するワイヤが接続されるワイヤ用パッド54とそこから引き回される配線パターン55とが形成され、チップ56が装着されている。チップ56上の電極(図示なし)とワイヤ用パッド54とは、ワイヤ57により電気的に接続されている。基板B1及びB2の下面58には、突起状電極(図示なし)が接続される外部接続用パッド59が形成されている。ワイヤ用パッド54、配線パターン55、及び外部接続用パッド59は、例えば、厚さ18μm又は35μmの銅箔から構成されている。また、配線パターン55上には、ソルダーレジストと呼ばれる絶縁膜(図示なし)が形成されている。
上型52には、チップ56とワイヤ57とが収容されるようにキャビティ60が設けられ、キャビティ60に連通して、溶融樹脂(図示なし)が流動する樹脂流路61が設けられている。
【0008】
図4に示されている基板B1は、上面53における配線パターン55と下面58における外部接続用パッド59とが、いずれも密に形成されている。そして、上面53における配線パターン55は密集部62に密集しており、その密集部62は、上面53におけるキャビティ60及び樹脂流路61以外の大部分を占めている。また、外部接続用パッド59は、下面58のほぼ全面にわたって設けられており、いわゆる全面配置型の構成を採っている。
一方、図5に示されている基板B2は、上面53における配線パターン55と下面58における外部接続用パッド59とが、いずれも粗く形成されている。そして、上面53における配線パターン55は密集部63に密集しており、その密集部63は、上面53におけるチップ56の四辺に対応して設けられたワイヤ用パッド54と基板B2の外縁との間にのみ設けられている。また、外部接続用パッド59は、下面58の周辺部に設けられており、いわゆる周辺配置型の構成を採っている。
【0009】
ここで、それぞれ下型51と上型52とによって、同じクランプ圧により基板B1及びB2が型締めされた場合を考える。基板B1では、上面53と下面58とにおいてそれぞれ密に形成された配線パターン55と外部接続用パッド59とに対して、言い換えれば、大きい面積に対してクランプ圧が加えられる。一方、基板B2では、上面53と下面58とにおいてそれぞれ粗く形成された配線パターン55と外部接続用パッド59とに対して、言い換えれば、小さい面積に対してクランプ圧が加えられる。
したがって、仮に、基板B1に対して適正なクランプ圧になるように設定した場合には、基板B2に加えられるクランプ圧が過大になる。この場合には、基板B2の変形や破損、配線パターン55の断線等の問題が発生する。また、仮に、基板B2に対して適正なクランプ圧になるように設定した場合には、基板B1に加えられるクランプ圧が過小になる。この場合には、基板B1と上型52との間に隙間が生じて、基板B1の上に溶融樹脂が漏出してばりが発生するおそれがある。
【0010】
本発明は、上述の課題を解決するためになされたものであり、複数の機種の基板において形成されたパターンの密集部の面積が異なる場合において、基板に対する適正なクランプ圧を確保して、不良の発生を防止する樹脂封止金型を提供することを目的とする。
【0011】
【課題を解決するための手段】
【0012】
【0013】
上述した技術的課題を解決するために、本発明に係る樹脂封止金型は、パターンを有する基板上に装着されたチップ状の電子部品を基板が挟持された状態で樹脂封止することにより、パッケージを製造する際に使用される樹脂封止金型であって、樹脂封止金型が基板を挟持する型面において、基板におけるパターンが密集している密集部に重ならないようにして型面から所定の突出量だけ突出して設けられた凸部を備えるとともに、凸部は樹脂封止金型に組み込まれた別部材からなり、突出量は密集部における基板厚の増大量にほぼ等しくなるように調整可能であることを特徴とする。
【0014】
これによれば、基板におけるパターンの密集部に重ならないようにして型面から所定の突出量だけ突出して設けられた凸部の突出量は、密集部における基板厚の増大量にほぼ等しくなるように調整可能になっている。したがって、複数機種の基板において、密集部の面積が異なる場合、又は基板厚の増大量が異なる場合であっても、各機種の基板に対するクランプ圧が均一化される。
【0015】
また、本発明に係る樹脂封止金型は、上述の樹脂封止金型において、凸部は、樹脂封止金型が型締めされた状態で、弾性を利用して別部材の頂部が後退することにより増大量にほぼ等しい量だけ型面から突出していることを特徴とする。
【0016】
これによれば、樹脂封止金型が型締めされた状態で、凸部は、弾性を利用して基板厚の増大量にほぼ等しい量だけ型面から突出している。したがって、複数機種の基板において、密集部の面積が異なる場合、又は基板厚の増大量が異なる場合であっても、各機種の基板厚の増大量に合わせて突出量を調整することなく、各機種の基板に対するクランプ圧が均一化される。
【0017】
また、本発明に係る樹脂封止金型は、パターンを有する基板上に装着されたチップ状の電子部品を基板が挟持された状態で樹脂封止することにより、パッケージを製造する際に使用される樹脂封止金型であって、樹脂封止金型が基板を挟持する型面のうち少なくとも一方の型面において、少なくとも基板におけるパターンが密集している密集部に重なるようにして設けられた突出領域を備えるとともに、密集部のうち突出領域に重なる部分は、異なる複数機種の基板において共通していることを特徴とする。
【0018】
これによれば、密集部のうち異なる複数機種の基板において共通している部分が、凸部によって挟持される。したがって、複数機種の基板において、密集部の面積が異なる場合、又は基板厚の増大量が異なる場合であっても、各機種の基板に対するクランプ圧が均一化される。
【0019】
【発明の実施の形態】
(第1の実施形態)
以下、本発明の第1の実施形態に係る樹脂封止金型を、図1を参照して説明する。図1(1)及び(2)は、本実施形態に係る樹脂封止金型が、パターンの密集部の面積が大きい基板及び小さい基板に対して適用される状態を、それぞれ示す部分断面図である。
【0020】
図1において、下型1と上型2とによって、基板B1及びB2がそれぞれクランプされる。基板B1及びB2の上面3には、後述するワイヤが接続されるワイヤ用パッド4とそこから引き回される配線パターン5とが形成され、チップ6が装着されている。チップ6上の電極(図示なし)とワイヤ用パッド4とは、ワイヤ7を使用したワイヤボンディングにより電気的に接続されている。基板B1及びB2の下面8には、突起状電極(図示なし)が接続される外部接続用パッド9が形成されている。ワイヤ用パッド4、配線パターン5、及び外部接続用パッド9は、例えば、厚さ18μm又は35μmの銅箔から構成されている。また、配線パターン5上には、ソルダーレジストと呼ばれる絶縁膜(図示なし)が形成されている。
上型2には、チップ6とワイヤ7とワイヤ用パッド4とが収容されるようにして、キャビティ10が設けられている。また、キャビティ10に連通して、溶融樹脂(図示なし)が流動する樹脂流路11が設けられている。そして、溶融樹脂は、ポットにおいてプランジャ(いずれも図示なし)によって押圧されることにより、樹脂流路11を経由してキャビティ10に注入される。
【0021】
図1(1)に示されている基板B1は、図4に示されている基板B1と同じ基板である。すなわち、基板B1には、上面3における配線パターン5と下面8における外部接続用パッド9とがいずれも密に形成されているので、基板B1はこれらパターンの密集部の面積が大きい基板である。
このようなパターンの密集部の面積が大きい基板B1に対して、図1(1)の下型1と上型2とには、それぞれ凹部12,13が形成されている。凹部12,13の範囲は、それぞれ配線パターン5と外部接続用パッド9とが形成された範囲である。言い換えれば、凹部12,13は、平面視した場合に、基板B1におけるパターンの密集部に重なるようにして、設けられている。また、凹部12,13の深さは、それぞれ配線パターン5と外部接続用パッド9とによる基板厚の増大量にほぼ等しくなるようにして、設けられている。
【0022】
一方、図1(2)に示されている基板B2は、図5に示されている基板B2と同じ基板である。すなわち、基板B2には、上面3における配線パターン5と下面8における外部接続用パッド9とがいずれも粗く形成されているので、基板B2はこれらのパターンの密集部の面積が小さい基板である。また、基板B2は、いわゆる周辺配置型の構成を採っており、下面8の中央部14には外部接続用パッド9が形成されていない。
このようなパターンの密集部の面積が小さい基板B2に対して、図1(2)の下型1と上型2とには、それぞれ凹部15,16が、基板厚の増大量にほぼ等しくなるようにして形成されている。
【0023】
ここで、本実施形態に係る樹脂封止金型の特徴は、第1に、各基板B1,B2におけるパターンの密集部に応じて、それらの密集部にそれぞれ重なるようにして凹部12,13,15,16が設けられていることである。第2に、各凹部12,13,15,16は、密集部における基板厚の増大量にほぼ等しい深さを有することである。
これにより、パターンの密集部の面積が大きい基板B1と、密集部の面積が小さい基板B2とのいずれにおいても、金型の型面は、密集部におけるパターンのすべての部分と基板における密集部以外の部分とを併せた部分に対して、接触する。言い換えれば、それぞれ基板B1と基板B2とが型締めされる際に、クランプされる部分の面積には大差がないことになる。したがって、複数機種の基板に対して、パターンの密集部の面積によらず適正なクランプ圧が確保されるので、基板B1におけるばりの発生や、基板B2における変形、破損、及び配線パターン5の断線等が、防止される。
【0024】
(第2の実施形態)
以下、本発明の第2の実施形態に係る樹脂封止金型を、図2を参照して説明する。図2(1)及び(2)は、本実施形態に係る樹脂封止金型が、パターンの密集部の面積が大きい基板及び小さい基板に対して適用される状態を、それぞれ示す部分断面図である。
【0025】
図2(1)に示されているように、本実施形態においては、基板B1に対して第1の実施形態における凹部12,13は設けられていない。これらに代えて、パターンのない部分、例えば、基板B1の外周近傍、又は四隅において、下型1と上型2とにはそれぞれ貫通穴17が設けられ、各貫通穴17には昇降自在な可動ピン18が設けられている。同様に、基板B2に対しても、第1の実施形態における凹部15,16に代えて、下型1と上型2とにはそれぞれ貫通穴17が設けられ、各貫通穴17には昇降自在な可動ピン18が設けられている。
【0026】
各可動ピン18は、ばね等の弾性体(図示なし)を介して、それぞれ下型1と上型2とに、昇降自在に取り付けられている。また、各可動ピン18は、平面視した場合に、基板B1,B2においてパターンのない部分に重なるようにして、設けられている。そして、図2(1),(2)において、これらの可動ピン18は次のように動作する。
【0027】
まず、下型1と上型2とが型開きした状態では、各可動ピン18はばね等の弾性体によって押圧される。これにより、各可動ピン18の先端が、一定量だけ型面から突出する。
【0028】
次に、下型1上に基板B1又は基板B2が載置された状態で下型1と上型2とが型締めする。そして、可動ピン18は、基板B1又は基板B2を、パターンのない部分において所定のクランプ圧で、上下両方向からクランプする。
【0029】
以上説明したように、本実施形態によれば、パターンの密集部の面積が大きい基板B1と、密集部の面積が小さい基板B2とのいずれもが、パターンの密集部においては下型1と上型2とにより、可動ピン18が接触する部分においては可動ピン18により、それぞれクランプされる。これにより、第1の実施形態と同様に、基板B1,B2との間ではクランプされる部分の面積に大差がないことになるので、パターンの密集部の面積によらず適正なクランプ圧が確保される。したがって、基板B1におけるばりの発生や、基板B2における変形、破損、及び配線パターン5の断線等が、防止される。
【0030】
なお、本実施形態の説明では、可動ピン18を使用することとした。これに限らず、可動ピン18に代えて固定ピン又はブロック状の部材を、型面から基板厚の増大量にほぼ等しい量だけ突出するように調整して固定してもよい。ここで、基板厚の増大量は、配線パターン5及び外部接続用パッド9を形成する銅箔の厚さ(例えば、18μm又は35μm)に応じて、予め想定できる。したがって、固定ピン又はブロック等の固定部材を、銅箔の厚さに応じた量だけ型面から突出させるように調整して固定することにより、同様の効果が得られる。
【0031】
また、可動ピン18を、可撓性を有する材料から構成してもよい。この場合には、可動ピン18は、下型1と上型2とが型締めした状態で、その可動ピン18ピン自体の可撓性によって変形することにより、基板B1,B2を上下両方からクランプする。
【0032】
(第3の実施形態)
以下、本発明の第3の実施形態に係る樹脂封止金型を、図3を参照して説明する。図3(1)及び(2)は、本実施形態に係る樹脂封止金型が、パターンの密集部の面積が大きい基板及び小さい基板に対して適用される状態を、それぞれ示す平面図である。
【0033】
図3(1)に示されている基板B1は、図4に示されている基板B1と同じ基板であって、上面3において、大面積であるパターンの密集部19を有する。この密集部19は、基板B1の上面3におけるキャビティ10及び樹脂流路11以外の大部分を占めている。
一方、図3(2)に示されている基板B2は、図5に示されている基板B2と同じ基板であって、上面3において、小面積であるパターンの密集部20を有する。この密集部20は、基板B2の上面3において、チップ6の四辺に対応して設けられたワイヤ用パッド4と基板B2の外縁との間にのみ設けられている。また、密集部20は、基板B1における密集部19に含まれる。更に、密集部20は、同一サイズのキャビティが使用される同一サイズの基板であれば、基板B1及び基板B2だけでなく他の機種の基板においても、パターンが密集する部分として共通する部分である。
【0034】
本実施形態に係る樹脂封止金型、すなわち下型1と上型2とは、図3(1),(2)にそれぞれ示されているように、基板B1,B2に対して共通するクランプ部21を有する。このクランプ部21は、基板B1と基板B2との上面3からそれぞれ所定の突出量だけ突出する領域であって、キャビティ10及び樹脂流路11の近傍をそれぞれクランプする。また、クランプ部21は、チップ6の四辺と、基板B1及び基板B2を含む複数機種の基板の外縁との間において、共通する密集部20の大部分をクランプする。
【0035】
以上説明したように、本実施形態によれば、パターンの密集部の面積が大きい基板B1と密集部の面積が小さい基板B2とが、共通する密集部20において下型1と上型2とによってクランプされる。更に、これらの基板B1,B2と同一サイズのキャビティが使用される同一サイズの基板も、共通する密集部20においてクランプされる。これにより、パターンの密集部の面積が異なる複数機種の基板に対して、共通する密集部20において同一面積でクランプされることにより、適正なクランプ圧が確保される。したがって、パターンの密集部の面積が大きい基板B1におけるばりの発生や、密集部の面積が小さい基板B2における変形、破損、配線パターン5の断線等が、防止される。
【0036】
なお、ここまでの各実施形態においては、上型2にキャビティ10を設けた。これに限らず、下型1にキャビティを設けてもよい。また、下型1と上型2との双方にキャビティ10を設けることもできる。
【0037】
また、下型1と上型2とが対向する構成の金型だけでなく、水平方向に対向する金型等、相対向する金型に対して本発明を適用することができる。
【0038】
また、チップ6上の電極(図示なし)とワイヤ用パッド4との電気的な接続をワイヤボンディングにより行うこととした。これに限らず、他の接続方法、例えば、フリップチップボンディングによって行うこともできる。
【0039】
また、1個のキャビティ10に1個のチップ6が収容される場合について説明したが、多数個取り基板を使用して、1個の大型キャビティに1列又はマトリックス状に配置された複数個のチップが収容される場合においても、本発明を適用することができる。この場合には、その大型キャビティの周辺において、金型に凹部、可動ピン、固定部材、又はクランプ部を適宜設ければよい。
【0040】
また、基板を、樹脂板をベース材に使用した多層のプリント基板であることとした。これに限らず、シリコン基板、セラミックベース基板等にも、本発明を適用することができる。
【0041】
また、本発明は、上述の実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲内で、必要に応じて、任意にかつ適宜に組合せ・変更・選択を行って採用できるものである。
【0042】
【発明の効果】
本発明によれば、樹脂封止金型の型面に設けられた所定の凹部、凸部、又は突出領域により、複数機種の基板においてパターンの密集部の面積が異なる場合であっても、その面積の大小によらず、各機種の基板が挟持される圧力、すなわちクランプ圧が均一化される。したがって、パターンの密集部の面積が大きい基板におけるばりの発生や、密集部の面積が小さい基板における基板の変形、破損、及び配線パターンの断線等が、防止される。これにより、本発明は、基板に対する適正なクランプ圧を確保して、不良の発生を防止する樹脂封止金型を提供できるという、優れた実用的な効果を奏するものである。
【図面の簡単な説明】
【図1】 図1(1)及び(2)は、本発明の第1の実施形態に係る樹脂封止金型が、パターンの密集部の面積が大きい基板及び小さい基板に対して適用される状態を、それぞれ示す部分断面図である。
【図2】 図2(1)及び(2)は、本発明の第2の実施形態に係る樹脂封止金型が、パターンの密集部の面積が大きい基板及び小さい基板に対して適用される状態を、それぞれ示す部分断面図である。
【図3】 図3(1)及び(2)は、本発明の第3の実施形態に係る樹脂封止金型が、パターンの密集部の面積が大きい基板及び小さい基板に対して適用される状態を、それぞれ示す平面図である。
【図4】 図4(1)及び(2)は、BGAを製造する従来の場合における、パターンの密集部の面積が大きい基板と金型との位置関係をそれぞれ示す、平面図及びそのA−A線における部分断面図である。
【図5】 図5(1)及び(2)は、BGAを製造する従来の場合における、パターンの密集部の面積が小さい基板と金型との位置関係をそれぞれ示す、平面図及びそのB−B線における部分断面図である。
【符号の説明】
1 下型
2 上型
3 上面
4 ワイヤ用パッド
5 配線パターン(パターン)
6 チップ(電子部品)
7 ワイヤ
8 下面
9 外部接続用パッド(パターン)
10 キャビティ
11 樹脂流路
12,13,15,16 凹部
14 中央部
17 貫通穴
18 可動ピン(凸部)
19,20 密集部
21 クランプ部(突出領域)
B1,B2 基板
[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a resin-sealed mold used for manufacturing a package by resin-sealing chip-shaped electronic components (hereinafter referred to as “chips”) mounted on a printed circuit board.
[0002]
[Prior art]
Conventionally, when manufacturing a package by resin-sealing a chip mounted on a lead frame made of a metal plate, a molten resin is put into a cavity provided in the mold while the lead frame is clamped by the mold. Injected and cured. In this case, there is no gap between the lead frame and the mold by clamping the lead frame. Therefore, it is possible to prevent the resin from leaking onto the lead frame and causing flash.
[0003]
However, in recent years, multilayer printed boards (hereinafter referred to as “substrates”) using a resin plate such as a glass epoxy plate as a base material instead of a lead frame have been widely used. Also in this case, as in the case of the lead frame, the molten resin is injected into the cavity provided in the mold in a state where the substrate is clamped by the mold and is cured. Here, due to the weakness of the substrate, it is necessary to prevent the substrate from being deformed or damaged and the generation of a gap between the mold and the substrate by clamping the substrate with an appropriate clamping pressure.
Further, when the substrate is heated, it is necessary to absorb the warp caused by the difference in thermal expansion coefficient between the glass epoxy plate and the metal and prevent the generation of a gap between the mold and the substrate. For this purpose, the mold is provided with a clamping part that clamps the substrate and a fixed part that does not clamp the substrate (for example, see Patent Document 1).
[0004]
[Patent Document 1]
JP-A-10-284527 (page 5-8, FIGS. 1 to 4)
[0005]
[Problems to be solved by the invention]
However, according to the above conventional technique for preventing the generation of a gap between the mold and the substrate, there are the following problems. This is a problem that due to variations in the density of wiring patterns and external connection pads (hereinafter also referred to as “patterns”) on the substrate, an appropriate clamping pressure on the substrate may not be ensured. In particular, in a package called BGA (Ball Grid Array) which has been widely used in recent years, the area of the densely packed portion of the pattern is small from a rough type to a dense type as the product pattern is diversified. This problem has become prominent because of the diversification from substrates to large substrates. Hereinafter, the problem to be solved by the invention will be described with reference to FIGS.
[0006]
4 (1) and 4 (2) are a plan view and a part of the AA line showing the positional relationship between a substrate and a mold having a large area of a dense pattern area in the conventional case of manufacturing a BGA, respectively. It is sectional drawing. 5 (1) and 5 (2) are a plan view and a portion along the line BB showing the positional relationship between a substrate and a mold having a small area of a dense pattern portion in the conventional case of manufacturing a BGA, respectively. It is sectional drawing.
[0007]
As shown in FIGS. 4 and 5, the substrates B1 and B2 are clamped by the lower mold 51 and the upper mold 52, respectively. On the upper surfaces 53 of the substrates B1 and B2, a wire pad 54 to which a wire to be described later is connected and a wiring pattern 55 drawn from the wire pad 54 are formed, and a chip 56 is mounted. An electrode (not shown) on the chip 56 and the wire pad 54 are electrically connected by a wire 57. External connection pads 59 to which projecting electrodes (not shown) are connected are formed on the lower surfaces 58 of the substrates B1 and B2. The wire pad 54, the wiring pattern 55, and the external connection pad 59 are made of, for example, a copper foil having a thickness of 18 μm or 35 μm. In addition, an insulating film (not shown) called a solder resist is formed on the wiring pattern 55.
The upper mold 52 is provided with a cavity 60 so that the chip 56 and the wire 57 are accommodated, and is provided with a resin flow path 61 that communicates with the cavity 60 and in which a molten resin (not shown) flows.
[0008]
In the substrate B1 shown in FIG. 4, the wiring pattern 55 on the upper surface 53 and the external connection pads 59 on the lower surface 58 are both densely formed. The wiring patterns 55 on the upper surface 53 are concentrated in the dense portion 62, and the dense portion 62 occupies most of the upper surface 53 other than the cavity 60 and the resin flow path 61. Further, the external connection pads 59 are provided over almost the entire lower surface 58, and adopt a so-called entire surface arrangement type configuration.
On the other hand, in the substrate B2 shown in FIG. 5, the wiring pattern 55 on the upper surface 53 and the external connection pads 59 on the lower surface 58 are both roughly formed. The wiring patterns 55 on the upper surface 53 are concentrated in the dense portion 63, and the dense portion 63 is located between the wire pad 54 provided corresponding to the four sides of the chip 56 on the upper surface 53 and the outer edge of the substrate B 2. It is provided only in. Further, the external connection pad 59 is provided in the peripheral portion of the lower surface 58 and has a so-called peripheral arrangement type configuration.
[0009]
Here, consider a case where the substrates B1 and B2 are clamped by the same clamping pressure by the lower mold 51 and the upper mold 52, respectively. In the substrate B1, a clamping pressure is applied to the wiring pattern 55 and the external connection pad 59 that are densely formed on the upper surface 53 and the lower surface 58, in other words, to a large area. On the other hand, in the substrate B2, a clamping pressure is applied to the wiring pattern 55 and the external connection pad 59 that are formed roughly on the upper surface 53 and the lower surface 58, in other words, to a small area.
Accordingly, if the clamping pressure is set to be appropriate for the substrate B1, the clamping pressure applied to the substrate B2 becomes excessive. In this case, problems such as deformation and breakage of the substrate B2 and disconnection of the wiring pattern 55 occur. Further, if the clamp pressure is set to be appropriate for the substrate B2, the clamp pressure applied to the substrate B1 becomes too small. In this case, there is a possibility that a gap is generated between the substrate B1 and the upper mold 52, and the molten resin leaks onto the substrate B1 to generate flash.
[0010]
The present invention has been made to solve the above-mentioned problems, and in the case where the areas of dense portions of patterns formed on a plurality of types of substrates are different, ensuring an appropriate clamping pressure on the substrate, It aims at providing the resin sealing metal mold | die which prevents generation | occurrence | production of this.
[0011]
[Means for Solving the Problems]
[0012]
[0013]
In order to solve the technical problem described above, the resin-sealed mold according to the present invention is obtained by resin-sealing a chip-shaped electronic component mounted on a substrate having a pattern while the substrate is sandwiched. A resin-sealed mold used for manufacturing a package, wherein the mold is such that the resin-sealed mold does not overlap a dense portion where patterns on the board are densely placed on the mold surface sandwiching the board. The projection is provided with a projection protruding from the surface by a predetermined projection amount, and the projection is made of another member incorporated in the resin-sealing mold, and the projection amount is substantially equal to the increase in the substrate thickness at the dense portion. It is possible to adjust as follows.
[0014]
According to this, the protrusion amount of the protrusion provided to protrude from the mold surface by the predetermined protrusion amount so as not to overlap the dense portion of the pattern on the substrate is substantially equal to the increase amount of the substrate thickness in the dense portion. Can be adjusted. Therefore, even when the areas of the dense portions are different or the amount of increase in the substrate thickness is different in a plurality of types of substrates, the clamping pressure for the substrates of each model is made uniform.
[0015]
Further, the resin-sealed mold according to the present invention is the above-mentioned resin-sealed mold, wherein the convex portion is retracted from the top of another member using elasticity while the resin-sealed mold is clamped. In this case, the protrusion protrudes from the mold surface by an amount substantially equal to the increase amount.
[0016]
According to this, in a state where the resin-sealed mold is clamped, the convex portion protrudes from the mold surface by an amount substantially equal to the increase amount of the substrate thickness using elasticity. Therefore, in the case of multiple types of substrates, even if the area of the dense part is different or the amount of increase in the substrate thickness is different, without adjusting the protrusion amount according to the increase amount of the substrate thickness of each model, The clamping pressure for the model substrate is made uniform.
[0017]
The resin-sealed mold according to the present invention is used when a package is manufactured by resin-sealing chip-shaped electronic components mounted on a substrate having a pattern while the substrate is sandwiched. The resin sealing mold is provided so that the resin sealing mold overlaps at least a dense portion where patterns on the substrate are densely arranged on at least one of the mold surfaces sandwiching the substrate. In addition to including the protruding region, a portion of the dense portion that overlaps the protruding region is common to a plurality of different types of substrates.
[0018]
According to this, the part which is common in the board | substrates of different models among the dense parts is pinched by the convex part. Therefore, even when the areas of the dense portions are different or the amount of increase in the substrate thickness is different in a plurality of types of substrates, the clamping pressure for the substrates of each model is made uniform.
[0019]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
(First embodiment)
Hereinafter, a resin-sealed mold according to a first embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. FIGS. 1A and 1B are partial cross-sectional views showing a state where the resin-sealed mold according to the present embodiment is applied to a substrate having a large area of dense patterns and a small substrate, respectively. is there.
[0020]
In FIG. 1, the substrates B <b> 1 and B <b> 2 are clamped by the lower mold 1 and the upper mold 2, respectively. On the upper surface 3 of the substrates B1 and B2, a wire pad 4 to which a wire to be described later is connected and a wiring pattern 5 led from there are formed, and a chip 6 is mounted. An electrode (not shown) on the chip 6 and the wire pad 4 are electrically connected by wire bonding using a wire 7. External connection pads 9 to which projecting electrodes (not shown) are connected are formed on the lower surfaces 8 of the substrates B1 and B2. The wire pad 4, the wiring pattern 5, and the external connection pad 9 are made of, for example, a copper foil having a thickness of 18 μm or 35 μm. An insulating film (not shown) called a solder resist is formed on the wiring pattern 5.
The upper mold 2 is provided with a cavity 10 so as to accommodate the chip 6, the wire 7, and the wire pad 4. Further, a resin flow path 11 through which molten resin (not shown) flows is provided in communication with the cavity 10. And molten resin is inject | poured into the cavity 10 via the resin flow path 11 by being pressed by the plunger (all are not shown) in a pot.
[0021]
The substrate B1 shown in FIG. 1 (1) is the same substrate as the substrate B1 shown in FIG. That is, since the wiring pattern 5 on the upper surface 3 and the external connection pads 9 on the lower surface 8 are both densely formed on the substrate B1, the substrate B1 is a substrate having a large area of dense portions of these patterns.
Concave portions 12 and 13 are formed in the lower mold 1 and the upper mold 2 of FIG. The ranges of the recesses 12 and 13 are ranges in which the wiring patterns 5 and the external connection pads 9 are formed, respectively. In other words, the recesses 12 and 13 are provided so as to overlap the densely packed portions of the substrate B1 when viewed in plan. The depths of the recesses 12 and 13 are provided so as to be approximately equal to the increase in the substrate thickness due to the wiring pattern 5 and the external connection pad 9, respectively.
[0022]
On the other hand, the substrate B2 shown in FIG. 1 (2) is the same substrate as the substrate B2 shown in FIG. That is, since the wiring pattern 5 on the upper surface 3 and the external connection pads 9 on the lower surface 8 are both roughly formed on the substrate B2, the substrate B2 is a substrate in which the area of the dense portion of these patterns is small. The substrate B2 has a so-called peripheral arrangement type configuration, and the external connection pads 9 are not formed in the central portion 14 of the lower surface 8.
With respect to the substrate B2 where the area of the densely packed portion of such a pattern is small, the recesses 15 and 16 in the lower mold 1 and the upper mold 2 in FIG. It is formed in this way.
[0023]
Here, the first feature of the resin-sealed mold according to the present embodiment is that the concave portions 12, 13, and the concave portions 12, 13, respectively overlap with the dense portions according to the dense portions of the patterns in the substrates B 1, B 2. 15 and 16 are provided. Second, each recess 12, 13, 15, 16 has a depth that is approximately equal to the amount of increase in substrate thickness at the dense portion.
As a result, in both the substrate B1 where the area of the dense pattern portion is large and the substrate B2 where the area of the dense portion is small, the mold surface of the mold is other than all portions of the pattern in the dense portion and the dense portion in the substrate. The part combined with the part is in contact. In other words, when the substrate B1 and the substrate B2 are clamped, there is no great difference in the area of the clamped portion. Accordingly, an appropriate clamping pressure is ensured for a plurality of types of substrates regardless of the area of the densely packed portion of the pattern, so that the occurrence of flash on the substrate B1, deformation and breakage on the substrate B2, and disconnection of the wiring pattern 5 Etc. are prevented.
[0024]
(Second Embodiment)
Hereinafter, a resin-sealed mold according to the second embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. FIGS. 2A and 2B are partial cross-sectional views showing a state in which the resin-sealed mold according to the present embodiment is applied to a substrate having a large area of dense patterns and a small substrate, respectively. is there.
[0025]
As shown in FIG. 2A, in the present embodiment, the recesses 12 and 13 in the first embodiment are not provided for the substrate B1. Instead of these, through-holes 17 are provided in the lower mold 1 and the upper mold 2, respectively, in portions having no pattern, for example, in the vicinity of the outer periphery of the substrate B1 or at the four corners, and each through-hole 17 is movable up and down. Pins 18 are provided. Similarly, with respect to the substrate B2, instead of the recesses 15 and 16 in the first embodiment, the lower mold 1 and the upper mold 2 are provided with through holes 17, respectively, and the through holes 17 can be raised and lowered. A movable pin 18 is provided.
[0026]
Each movable pin 18 is attached to the lower mold 1 and the upper mold 2 via an elastic body (not shown) such as a spring so as to be movable up and down. In addition, each movable pin 18 is provided so as to overlap a portion having no pattern in the substrates B1 and B2 when viewed in plan. 2 (1) and 2 (2), these movable pins 18 operate as follows.
[0027]
First, in a state where the lower mold 1 and the upper mold 2 are opened, each movable pin 18 is pressed by an elastic body such as a spring. Thereby, the tip of each movable pin 18 protrudes from the mold surface by a certain amount.
[0028]
Next, the lower mold 1 and the upper mold 2 are clamped with the substrate B1 or the substrate B2 placed on the lower mold 1. And the movable pin 18 clamps the board | substrate B1 or the board | substrate B2 from the up-down both directions with a predetermined clamp pressure in the part without a pattern.
[0029]
As described above, according to the present embodiment, both the substrate B1 having a large area of the pattern dense portion and the substrate B2 having a small area of the dense portion have the lower mold 1 and the upper portion in the pattern dense portion. In the part which the movable pin 18 contacts with the type | mold 2, it is clamped by the movable pin 18, respectively. Thus, as in the first embodiment, there is no large difference in the area of the clamped portion between the substrates B1 and B2, so that an appropriate clamping pressure is ensured regardless of the area of the densely packed portion of the pattern. Is done. Therefore, the occurrence of flash on the substrate B1, deformation and damage on the substrate B2, and disconnection of the wiring pattern 5 are prevented.
[0030]
In the description of the present embodiment, the movable pin 18 is used. Not limited to this, instead of the movable pin 18, a fixed pin or a block-like member may be adjusted and fixed so as to protrude from the mold surface by an amount substantially equal to the increase amount of the substrate thickness. Here, the increase amount of the substrate thickness can be estimated in advance according to the thickness (for example, 18 μm or 35 μm) of the copper foil forming the wiring pattern 5 and the external connection pad 9. Therefore, the same effect can be obtained by adjusting and fixing a fixing member such as a fixing pin or a block so as to protrude from the mold surface by an amount corresponding to the thickness of the copper foil.
[0031]
Moreover, you may comprise the movable pin 18 from the material which has flexibility. In this case, the movable pin 18 is clamped from both above and below by being deformed by the flexibility of the movable pin 18 itself while the lower die 1 and the upper die 2 are clamped. To do.
[0032]
(Third embodiment)
Hereinafter, a resin-sealed mold according to a third embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. FIGS. 3A and 3B are plan views respectively showing a state in which the resin-sealed mold according to the present embodiment is applied to a substrate having a large area of dense patterns and a small substrate. .
[0033]
The substrate B1 shown in FIG. 3 (1) is the same substrate as the substrate B1 shown in FIG. 4, and has a dense area 19 of a pattern having a large area on the upper surface 3. The dense portion 19 occupies most of the upper surface 3 of the substrate B1 other than the cavity 10 and the resin flow path 11.
On the other hand, the substrate B2 shown in FIG. 3 (2) is the same substrate as the substrate B2 shown in FIG. 5, and has a dense area 20 with a pattern having a small area on the upper surface 3. This dense portion 20 is provided only between the wire pad 4 provided corresponding to the four sides of the chip 6 and the outer edge of the substrate B2 on the upper surface 3 of the substrate B2. The dense portion 20 is included in the dense portion 19 in the substrate B1. Further, the dense portion 20 is a portion common as a portion where patterns are densely arranged not only on the substrate B1 and the substrate B2 but also on other types of substrates as long as the same size substrate is used in which the same size cavity is used. .
[0034]
As shown in FIGS. 3 (1) and 3 (2), the resin-sealed mold according to the present embodiment, that is, the lower mold 1 and the upper mold 2 are clamps common to the substrates B1 and B2. Part 21. The clamp portion 21 is a region that protrudes from the upper surface 3 of the substrate B1 and the substrate B2 by a predetermined protrusion amount, and clamps the vicinity of the cavity 10 and the resin flow path 11, respectively. The clamp part 21 clamps most of the common dense part 20 between the four sides of the chip 6 and the outer edges of a plurality of types of boards including the board B1 and the board B2.
[0035]
As described above, according to the present embodiment, the substrate B1 having the large area of the pattern dense portion and the substrate B2 having the small area of the dense portion are separated by the lower mold 1 and the upper mold 2 in the common dense portion 20. Clamped. Furthermore, substrates of the same size in which cavities of the same size as those of the substrates B1 and B2 are used are clamped at the common dense portion 20. As a result, a plurality of types of substrates having different areas of pattern dense portions are clamped with the same area in the common dense portion 20, thereby ensuring an appropriate clamping pressure. Therefore, the occurrence of flash on the substrate B1 having a large area of dense patterns, deformation and breakage on the substrate B2 having a small area of dense areas, and disconnection of the wiring pattern 5 are prevented.
[0036]
In each of the embodiments so far, the cavity 10 is provided in the upper mold 2. However, the present invention is not limited to this, and a cavity may be provided in the lower mold 1. In addition, the cavity 10 can be provided in both the lower mold 1 and the upper mold 2.
[0037]
In addition, the present invention can be applied not only to a mold having a configuration in which the lower mold 1 and the upper mold 2 are opposed to each other, but also to molds that are opposed to each other such as a mold that is opposed in the horizontal direction.
[0038]
In addition, an electrical connection between an electrode (not shown) on the chip 6 and the wire pad 4 is performed by wire bonding. However, the present invention is not limited to this, and other connection methods such as flip chip bonding can be used.
[0039]
Further, the case where one chip 6 is accommodated in one cavity 10 has been described. However, a plurality of substrates are used, and a plurality of chips arranged in one row or matrix in one large cavity are used. Even when the chip is accommodated, the present invention can be applied. In this case, a concave portion, a movable pin, a fixed member, or a clamp portion may be appropriately provided in the mold around the large cavity.
[0040]
The substrate is a multilayer printed board using a resin plate as a base material. The present invention is not limited to this and can be applied to a silicon substrate, a ceramic base substrate, and the like.
[0041]
Further, the present invention is not limited to the above-described embodiment, and can be adopted by arbitrarily combining, changing, and selecting as necessary within a range not departing from the gist of the present invention. It is.
[0042]
【The invention's effect】
According to the present invention, even if the area of the dense portion of the pattern is different in a plurality of types of substrates due to the predetermined concave portion, convex portion, or protruding region provided on the mold surface of the resin-sealed mold, Regardless of the size of the area, the pressure at which the substrates of each model are clamped, that is, the clamping pressure is made uniform. Therefore, it is possible to prevent the occurrence of burrs on a substrate having a large area of dense patterns, deformation and breakage of the substrate on a substrate having a small area of dense areas, and disconnection of a wiring pattern. As a result, the present invention has an excellent practical effect that it can provide a resin-sealed mold that secures an appropriate clamping pressure against the substrate and prevents the occurrence of defects.
[Brief description of the drawings]
FIGS. 1 (1) and 1 (2) show a resin-sealed mold according to a first embodiment of the present invention, which is applied to a substrate having a large area of dense patterns and a substrate having a small area. It is a fragmentary sectional view showing a state, respectively.
2 (1) and 2 (2), the resin-sealed mold according to the second embodiment of the present invention is applied to a substrate with a large area of pattern dense portions and a small substrate. It is a fragmentary sectional view showing a state, respectively.
FIGS. 3 (1) and 3 (2) show a case where a resin-sealed mold according to a third embodiment of the present invention is applied to a substrate with a large area of pattern dense portions and a small substrate. It is a top view which shows a state, respectively.
FIGS. 4 (1) and 4 (2) are a plan view and its A-, respectively, showing a positional relationship between a substrate and a mold having a large area of pattern dense portions in a conventional case of manufacturing a BGA. It is a fragmentary sectional view in the A line.
FIGS. 5 (1) and 5 (2) are a plan view showing a positional relationship between a substrate having a small pattern dense area and a mold, respectively, in the conventional case of manufacturing a BGA, and FIG. It is a fragmentary sectional view in the B line.
[Explanation of symbols]
1 Lower mold 2 Upper mold 3 Top surface 4 Wire pad 5 Wiring pattern (pattern)
6 Chip (electronic component)
7 Wire 8 Lower surface 9 External connection pad (pattern)
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Cavity 11 Resin flow path 12, 13, 15, 16 Concave part 14 Center part 17 Through-hole 18 Movable pin (convex part)
19, 20 Dense part 21 Clamp part (protrusion area)
B1, B2 substrate

Claims (3)

パターンを有する基板上に装着されたチップ状の電子部品を前記基板が挟持された状態で樹脂封止することにより、パッケージを製造する際に使用される樹脂封止金型であって、
前記樹脂封止金型が前記基板を挟持する型面において、前記基板における前記パターンが密集している密集部に重ならないようにして前記型面から所定の突出量だけ突出して設けられた凸部を備えるとともに、
前記凸部は前記樹脂封止金型に組み込まれた別部材からなり、前記突出量は前記密集部における基板厚の増大量にほぼ等しくなるように調整可能であることを特徴とする樹脂封止金型。
A resin-sealed mold used for manufacturing a package by resin-sealing chip-shaped electronic components mounted on a substrate having a pattern in a state where the substrate is sandwiched,
On the mold surface where the resin-sealed mold sandwiches the substrate, a convex portion provided by projecting a predetermined amount of projection from the mold surface so as not to overlap the dense portion where the pattern on the substrate is dense With
The convex portion is made of another member incorporated in the resin sealing mold, and the protruding amount can be adjusted to be substantially equal to the increase amount of the substrate thickness in the dense portion. Mold.
請求項1記載の樹脂封止金型において、
前記凸部は、前記樹脂封止金型が型締めされた状態で、弾性を利用して前記別部材の頂部が後退することにより前記増大量にほぼ等しい量だけ前記型面から突出していることを特徴とする樹脂封止金型。
In the resin-sealed mold according to claim 1 ,
The convex portion protrudes from the mold surface by an amount substantially equal to the increased amount by retreating the top of the separate member using elasticity in a state where the resin-sealed mold is clamped. A resin-sealed mold characterized by
パターンを有する基板上に装着されたチップ状の電子部品を前記基板が挟持された状態で樹脂封止することにより、パッケージを製造する際に使用される樹脂封止金型であって、
前記樹脂封止金型が前記基板を挟持する型面のうち少なくとも一方の型面において、少なくとも前記基板における前記パターンが密集している密集部に重なるようにして設けられた突出領域を備えるとともに、
前記密集部のうち前記突出領域に重なる部分は、異なる複数機種の基板において共通していることを特徴とする樹脂封止金型。
A resin-sealed mold used for manufacturing a package by resin-sealing chip-shaped electronic components mounted on a substrate having a pattern in a state where the substrate is sandwiched,
The resin-sealed mold includes a protruding region provided on at least one mold surface of the mold surfaces sandwiching the substrate so as to overlap at least a dense portion where the pattern on the substrate is dense,
A portion of the dense portion that overlaps the protruding region is common to a plurality of different types of substrates.
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