JP4027372B2 - Vertical wafer holder - Google Patents
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Description
本発明は半導体製造工程に於いてウェーハを保持する為の縦型ウェーハホルダに関するも
のである。
The present invention relates to a vertical wafer holder for holding a wafer in a semiconductor manufacturing process.
導体製造工程、特に縦型炉でウェーハを処理する場合、ウェーハは縦型ウェーハホルダに
より水平姿勢で多段に支持される。
When a wafer is processed in a conductor manufacturing process, particularly in a vertical furnace, the wafer is supported in multiple stages in a horizontal posture by a vertical wafer holder.
図5により従来の縦型ウェーハホルダを縦型炉との関連において説明する。 A conventional vertical wafer holder will be described with reference to FIG. 5 in relation to a vertical furnace.
図中、1は上端が閉塞された筒状のヒータ、2は該ヒータ1に同心に設けられ上端が閉塞
された外部反応管、3は該外部反応管2の内部に同心に設けられ上部が開放された内部反
応管であり、前記外部反応管2と内部反応管3との間には下端が閉塞された円筒状の空間
8が形成される。該空間8の下端には排気管9が連通され、前記内部反応管3の下端には
反応ガス導入管10が連通している。
In the figure, 1 is a cylindrical heater whose upper end is closed, 2 is an external reaction tube provided concentrically with the heater 1 and its upper end is closed, and 3 is provided concentrically within the
前記内部反応管3内部に縦型ウェーハホルダが装入される様になっており、該縦型ウェ
ーハホルダは主にボート4とボートキャップ6により構成されている。
A vertical wafer holder is inserted into the
前記ボート4は図示しないボートエレベータの昇降フランジ5にボートキャップ6を介
して立設される。又、前記昇降フランジ5には炉口蓋7が設けられ、該炉口蓋7により前
記外部反応管2の下端を気密に閉塞する様になっている。
The
前記ボート4は複数本の支柱11を有し、該支柱11に刻設された溝でウェーハ12を
保持する。前記ボートキャップ6は円柱状の空間を形成し、該ボートキャップ6の内部に
は柱状の断熱板ホルダ13が設けられ、該断熱板ホルダ13に所要枚数の断熱板14が水
平に保持されている。前記ボートキャップ6は下部に設けられた孔により内部反応管3内
部と連通している。前記ボートキャップ6は炉口部の断熱を行う。
The
前記ヒータ1により所定温度に加熱された炉内に、ウェーハ12が装填されたボート4
が炉内に装入され、炉内が真空引きされ、前記反応ガス導入管10より反応ガスが導入さ
れてウェーハ表面にCVD(Chemical VaporDeposition)処理
が行われ、排気ガスは前記排気管9より排気される。
A
Is charged into the furnace, the inside of the furnace is evacuated, the reaction gas is introduced from the reaction
処理が完了すると反応ガスの導入を停止し、不活性ガスを導入してガスパージし、その
後前記ボート4を引出していた。
When the treatment was completed, the introduction of the reaction gas was stopped, the inert gas was introduced and the gas was purged, and then the
上記した様に、前記ボートキャップ6は真空引きした時に内外圧差で損傷しない様に下
部の孔で内外が連通している。従って、ボートキャップ6の内部はウェーハ処理時には反
応ガスが充満し、ウェーハ処理後には不活性ガスでガスパージされる。このガスパージは
下部の孔を通して行われるが、ガスの流通が悪いのは避けられず、充分なガスパージが行
われない。この為、反応管内をガスパージ後ボート4を引出すと、ボートキャップ6内に
大気が流入し、該ボートキャップ6内に滞留していた反応ガスと大気とが反応して反応生
成物を生じ、反応生成物がパーティクル源としてボートキャップ6内に残留する。而して
、ウェーハの処理を数バッチに亘り処理するとボートキャップ6内に残留していたパーテ
ィクルが反応室内に拡散し、処理中のウェーハに付着汚染するという問題があった。
As described above, the inside and outside of the
本発明は斯かる実情に鑑み、ボートキャップ内でのパーティクルの発生を抑止し、パー
ティクルによるウェーハ汚染を防止するものである。
In view of such circumstances, the present invention suppresses the generation of particles in the boat cap and prevents wafer contamination by the particles.
本発明は、ウェーハを保持して縦型炉内に装入される縦型ウェーハホルダを全体に亘り開
放構造とし、下部所要範囲に断熱板を装填したことを特徴とするものである。
The present invention is characterized in that a vertical wafer holder that holds a wafer and is loaded into a vertical furnace has an open structure throughout, and a heat insulating plate is loaded in a lower required range.
本発明によれば、縦型ウェーハホルダ全体が開放構造であるのでウェーハ処理後のガスパ
ージが完全に行われパーティクルの原因となる反応ガスの残留がない。
According to the present invention, since the entire vertical wafer holder has an open structure, the gas purge after the wafer processing is completely performed, and there is no residual reaction gas that causes particles.
また本発明によれば、被処理基板の下方に位置し、熱遮断をする断熱板を開放的に保持
しているので、ガスパージの際にも反応ガスが滞留することなく、滞留した反応ガスに起
因するパーティクルの発生を抑止し得、又開放的に支持するので構造が簡単になり、部品
点数が減少し、装置の製作コストを低減することができる等の優れた効果を発揮する。
Further, according to the present invention, since the heat insulating plate that is located below the substrate to be processed and that blocks the heat is held open, the reaction gas does not stay even during the gas purge, so It is possible to suppress the generation of particles due to this, and since it is supported openly, the structure becomes simple, the number of parts is reduced, and the production cost of the apparatus can be reduced.
以下、図面を参照しつつ本発明の一実施例を説明する。 Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.
図1は本発明に係る縦型ウェーハホルダを具備した縦型炉であり、該縦型炉に於いて、図
5中で示したものと同一のものには同符号を付してある。
FIG. 1 shows a vertical furnace provided with a vertical wafer holder according to the present invention. In the vertical furnace, the same components as those shown in FIG.
又、本実施例に係る縦型ウェーハホルダ20について図2,図3により説明する。
A
該縦型ウェーハホルダ20は、従来例で示したボート4とボートキャップ6が一体構造と
なったものであり、ドーナッツ状のボート下フランジ15の周囲に沿って4本の棚柱16
がウェーハの出入りが可能な様に、略半円上に立設されている。前記棚柱16の中心に面
する側には、ウェーハの周縁が嵌入する溝17が所要のピッチで棚柱16の略全長に亘っ
て刻設されている。該棚柱16の上端にはボート上フランジ18が固着され、前記棚柱1
6の上端を支持する。
The
However, it is erected on a substantially semicircle so that the wafer can enter and exit. On the side facing the center of the
Support the upper end of 6.
上記構成の縦型ウェーハホルダ20の高さは、従来のボートキャップ6にボート4を立設
した場合のボートキャップ6、ボート4を合わせた高さと同一である。
The height of the
前記縦型ウェーハホルダ20の下部、即ち従来のボートキャップ6に相当する部分には断
熱板14を装填する。該所要枚数の断熱板14により断熱がなされる。又前記縦型ウェー
ハホルダ20で従来のボート4に相当する部分にはウェーハ12を装填する。断熱板14
、ウェーハ12を装填した状態で縦型ウェーハホルダ20を前記内部反応管3内に装入し
てウェーハの処理を行う。
A
With the
而して、前記断熱板14が装填される部分は完全に開放されているので、処理後ガスパー
ジした場合に反応ガスが滞留することがない。
Thus, the portion where the
次に、図4は他の実施例を示し、該他の実施例では縦型ウェーハホルダをボートとボート
載置台とで構成し、ボートは従来と同様にし、ボートキャップを開放構造のボート載置台
21に代えたものである。
Next, FIG. 4 shows another embodiment, in which the vertical wafer holder is composed of a boat and a boat mounting table, the boat is the same as the conventional one, and the boat cap has an open structure. 21 is substituted.
台フランジ22に台支柱23を所要本立設し、該台支柱23には断熱板保持溝24を所要
のピッチで刻設する。前記台支柱23の上端にはボート受座25を固着し、該ボート受座
25に前記ボート4が載置される。前記台支柱23は充分な強度を有すれば前記支柱11
と同形状でもよく、更に強度を高めたい場合は断面積を増大し、又、或は本数を増やす等
適宜変更する。
The
The cross-sectional area may be increased to increase the strength, or the number may be changed as appropriate.
前記台支柱23には所要枚数の断熱板14が装填される。断熱板14が装填されたボート
載置台21で断熱がなされる。
The
該ボート載置台21も断熱板14との周囲を囲繞する部材がなく、全く開放された構造で
あるので、ウェーハ処理後にガスパージした場合に反応ガスが滞留することなく、従って
ボートを引出した時に大気と反応ガスの接触で生ずるパーティクルの発生が防止される。
Since the boat mounting table 21 also has no member surrounding the
図4で示す他の実施例ではボート4とボート載置台21とを別々に取り扱うことができ、
又形状が小型化するので保守作業が容易となる。
In another embodiment shown in FIG. 4, the
Further, since the shape is reduced, maintenance work is facilitated.
1 ヒータ
2 外部反応管
3 内部反応管
4 ボート
12 ウェーハ
14 断熱板
20 縦型ウェーハホルダ
21 ボート載置台
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1
Claims (2)
Heat insulating plate holder below the baud preparative and the boat has become an integral structure, and the insulating plate in a groove provided in a plurality of supports of the heat insulating board holding section, so that its peripheral edge is held A predetermined number of the heat insulating plates are loaded in a groove that holds the peripheral edge of the heat insulating plate, the wafer is loaded into the boat, the boat is loaded into a vertical furnace, and the inside of the vertical furnace is heated. A method for manufacturing a semiconductor, comprising: heating a wafer by a reaction gas and processing a wafer by introducing a reaction gas; then stopping the introduction of the reaction gas and drawing the boat out of the vertical furnace.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005003020A JP4027372B2 (en) | 2005-01-07 | 2005-01-07 | Vertical wafer holder |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2005003020A JP4027372B2 (en) | 2005-01-07 | 2005-01-07 | Vertical wafer holder |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP20192493A Division JP3672583B2 (en) | 1993-07-22 | 1993-07-22 | Semiconductor manufacturing apparatus and semiconductor manufacturing method |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2007209513A Division JP4627309B2 (en) | 2007-08-10 | 2007-08-10 | Semiconductor manufacturing apparatus, semiconductor manufacturing method, and substrate holder to be processed |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JP2005191582A JP2005191582A (en) | 2005-07-14 |
JP4027372B2 true JP4027372B2 (en) | 2007-12-26 |
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Family Applications (1)
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JP2005003020A Expired - Lifetime JP4027372B2 (en) | 2005-01-07 | 2005-01-07 | Vertical wafer holder |
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Country | Link |
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-
2005
- 2005-01-07 JP JP2005003020A patent/JP4027372B2/en not_active Expired - Lifetime
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JP2005191582A (en) | 2005-07-14 |
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