JP4020305B2

JP4020305B2 - Test equipment

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Publication number: JP4020305B2
Application number: JP2002234309A
Authority: JP
Inventors: 清之杉原; 俊輔根井; 健二郎西野
Original assignee: Shibasoku Co Ltd
Current assignee: Shibasoku Co Ltd
Priority date: 2002-08-12
Filing date: 2002-08-12
Publication date: 2007-12-12
Anticipated expiration: 2022-08-12
Also published as: JP2004077166A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、試験装置に関し、例えばＰＤＰ（プラズマディスプレー）パネルドライブ用ＩＣ等の高電圧で動作する半導体素子の試験装置に適用することができる。本発明は、テストヘッド側に電流制限回路を設け、少なくとも試験電源装置の電流制御機構が機能するまでの間、この電流制限回路で短絡時の過大な電流を制限することにより、試験対象が短絡した場合等にあっても、各部の損傷を有効に回避することができるようにする。
【０００２】
【従来の技術】
従来、例えばＰＤＰ（プラズマディスプレー）パネルドライブ用ＩＣの様に、高電圧で動作する出力回路を有する半導体素子においては、高電圧の発生が可能な直流電源を有する試験装置を用いて直流特性を検査するようになされている。
【０００３】
図９は、このような試験装置において、直流特性の検査に係る構成を示すブロック図である。試験装置１は、高電圧を発生可能な試験用電源装置５を有してなる本体装置３、テストヘッド２、本体装置３とテストヘッド２とを接続するケーブル６Ｓ及び６Ｆ等により構成される。
【０００４】
ここでテストヘッド２は、複数のリレーＳｓ１〜Ｓｓｎ、Ｓｆ１〜Ｓｆｎ、プローブカード又はソケットボード等を有し、本体装置３から出力される制御信号によりリレーＳｓ１〜Ｓｓｎ、Ｓｆ１〜Ｓｆｎの設定が切り換えられる。これにより試験装置１では、プローブカードに保持された各プローバ又はソケットボードに取付けられたＩＣソケットを介して、試験用電源５から出力されてケーブル６Ｆを介して入力される試験用電圧又は試験用電流（以下、駆動用電源と呼ぶ）を試験対象４の対応する端子に選択的に供給するようになされている。
【０００５】
試験用電源装置５では、図示しないディジタルアナログ変換回路により基準電圧Ｖ_refが生成され、この基準電圧Ｖ_ref が入力抵抗Ｒ１を介して電力増幅器を含む差動増幅回路７に入力される。差動増幅回路７は、正側入力端が接地され、電流検出回路８を介して差動増幅結果をテストヘッド２に出力する。これにより試験用電源装置５は、テストヘッド２を介して基準電圧Ｖ_ref に応じた駆動用電源を試験対象４の対応する端子に印加するようになされている。
【０００６】
また試験用電源装置５は、ボルテージフォロワ回路構成の差動増幅回路９を介して、試験対象４の端子部分で検出される試験用電源装置５による駆動電圧を抵抗Ｒ２により差動増幅回路７に帰還し、これによりテストヘッド２、本体装置３とを接続するケーブル６Ｆ等による駆動用電源の電圧降下を補正するようになされている。また試験用電源装置５では、この差動増幅回路９の出力信号がアナログディジタル変換処理されて図示しない中央処理ユニットに出力され、これによりこの中央処理ユニットで、駆動用電源の電圧測定結果を取得できるようになされている。
【０００７】
また試験用電源装置５では、図示しないディジタルアナログ変換回路により基準電圧Ｉ_refが生成され、この基準電圧Ｉ_refが電流検出回路８に供給される。さらに電流検出回路８で差動増幅回路７から出力される駆動用電源の電流値が検出され、この電流値が基準電圧Ｉ_refに対応する電流値となるように、入力抵抗Ｒ１を介して差動増幅回路７に流入する電流が電流検出回路８で吸収される。これにより試験用電源装置５では、駆動用電源の電流値が基準電圧Ｉ_refに対応する電流値を超えようとする場合には、差動増幅回路７の出力電圧を低下させ、この電流値が基準電圧Ｉ_refにより指定される電流値を超えないように制御するようになされている。これらにより試験用電源装置５では、基準電圧Ｖ_ref、Ｉ_refの設定に応じて定電圧制御、定電流制御により駆動用電源を出力するようになされ、さらには基準電圧Ｉ_refの設定により、駆動用電源の過電流を防止する電流制御機構を構成するようになされている。
【０００８】
さらに試験用電源装置５では、このようにして電流検出回路８で検出される駆動用電源の電流値がアナログディジタル変換処理されて図示しない中央処理ユニットに出力され、これによりこの中央処理ユニットで、駆動用電源の電流値測定結果を取得できるようになされている。
【０００９】
また試験用電源装置５では、差動増幅回路９の入力側と電流検出回路８の出力側との間に、保護回路１０が接続されている。ここで保護回路１０は、一般的には複数個のダイオードの直列接続回路を互いに逆極性となるように並列接続して形成され、さらにはこのような複数ダイオードによる並列回路に、更に高抵抗を並列接続した回路により構成される。試験用電源装置５では、この保護回路１０により、試験用電源装置５内で、駆動用電源の帰還回路を形成し、これにより例えばテストヘッド２におけるリレーＳｓ１〜Ｓｓｎ、Ｓｆ１〜Ｓｆｎの不良、電流検出回路８の出力側からリレーＳｓ１〜Ｓｓｎ、Ｓｆ１〜Ｓｆｎまでの経路における異常の発生等により、差動増幅回路９による帰還ループがオープンになった場合等でも、差動増幅回路７から異常な高電圧が出力されたり、差動増幅回路９に異常な高電圧が印加されて差動増幅回路９が破損したりするのを防止するようになされている。
【００１０】
このような構成により、試験装置１では、試験対象４に一定電圧を印加した時に試験対象４に流れる電流を測定する電圧−電流特性を測定し、又は試験対象４に一定電流を印加したときに試験対象４に生ずる電圧降下を測定する電流−電圧特性を測定し、試験対象４の良否を検査することができるようになされている。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】
この様な試験装置を用いたデバイスの検査において、デバイスによっては検査中、すなわち試験対象４に高電圧を印加している際に、製造欠陥による耐圧不足などで試験対象４が破損し、電圧を印加している端子とグランドとの間が短絡状態になるものがある。この場合、瞬時的ではあるが、試験対象４には試験用電源装置５からテストヘッド内のリレーやプローバを介して極めて大きな短絡電流が流れることがある。
【００１２】
試験用電源装置５においては、電流検出回路８による電流制限回路により、この様な過大な電流を防止するようになされてはいるものの、この電流制限回路８が正常に機能するまでには若干の時間を要することから、短絡電流が急峻に立ち上がった場合には、電流制限回路８が正常に機能するまでの間、短絡発生直前に印加されていた電圧を、短絡回路のインピーダンスで除した値の過大な電流が流れることになる。
【００１３】
また一般に試験用電源装置５の出力側には無視できない大きさの浮遊容量がある。さらに、試験用電源装置５とテストヘッド２との間は数ｍのケーブルで接続されているから、この間にもかなり大きな浮遊容量が存在する。これらの浮遊容量は、短絡発生直前には、その時に印加されている駆動用電源の電圧により充電された状態にあり、相当量の電荷を蓄積している。試験装置１では、短絡事故発生時、この浮遊容量に充電された電荷が短絡回路を通して瞬時に放電することになり、仮に電流検出回路８による電流制御機構の動作に遅れ時間がないとしても、過大な電流が流れることになる。
【００１４】
またこのようなデバイスの不良による場合の他にも、一連の試験処理を実行する試験プログラムにおけるミス、制御系の誤動作等により、例えば駆動用電源を印加した状態でリレーが切り換えられ、これにより高電圧の駆動用電源が低電位に接続されている低インピーダンスの負荷に接続されるような場合にも、同様に、過大な電流が流れることになる。
【００１５】
試験用電源装置５は、この様な一時的な過大電流には耐えられる構造になってはいるものの、リレーやプローバなどにあっては、この様な一時的な過大電流に耐えられず、リレーにあっては接点の溶着又は溶断、プローバにあっては先端の溶融などの損傷を起こし、その結果、試験装置１が使用不能になって検査工程が止まるという不都合を生ずることになる。
【００１６】
本発明は以上の点を考慮してなされたもので、試験対象が短絡した場合、さらには試験装置の誤操作、誤動作等にあっても、各部の損傷を有効に回避することができる試験装置を提案しようとするものである。
【００１７】
【課題を解決するための手段】
かかる課題を解決するため請求項１の発明においては、試験対象の駆動用電源を定電流制御又は定電圧制御により出力する試験用電源装置と、前記試験用電源装置とケーブルにより接続されて前記試験対象に少なくとも前記駆動用電源を印加するテストヘッドとを有する試験装置に適用して、前記テストヘッドは、電源用のケーブルを前記試験対象の所定の端子に接続して前記所定の端子に前記駆動用電源を印加すると共に、前記所定の端子に電圧検出用のケーブルを接続し、前記試験用電源装置は、前記駆動用電源の出力端を前記電源用のケーブルに接続して、前記駆動用電源を前記電源用のケーブルに出力し、前記電圧検出用のケーブルを電圧検出端に接続して、前記電圧検出用のケーブルを介して検出される前記所定の端子における前記駆動用電源の電圧が所定電圧となるように、前記電源用のケーブルに出力する駆動用電源の電圧を制御し、前記駆動用電源の電流値を制限する電流制御機構を有し、前記試験用電源装置には、前記電源用のケーブルに出力する駆動用電源を前記入力端に帰還して、前記駆動用電源の高電圧の出力を防止する保護回路が設けられ、前記テストヘッドには、前記電源用のケーブルと前記所定の端子との間に、流れる電流を制限する第１の電流制限回路が設けられ、前記電圧検出用のケーブルと前記所定の端子との間に、流れる電流を制限する第２の電流制限回路が設けられる。
【００１８】
また請求項２の発明においては、請求項１の構成において、第１及び又は第２の電流制限回路は、インダクタンス素子と、インダクタンス素子の逆起電力の電圧を制限する逆起電力制限回路とにより形成される。
【００１９】
また請求項３の発明においては、請求項１の構成において、第１及び又は第２の電流制限回路は、順方向にバイアスされたトランジスタと、インピーダンス素子との直列回路である。
【００２０】
また請求項４の発明においては、請求項１の構成において、第１及び又は第２の電流制限回路は、順方向にバイアスされたトランジスタと、定電流ダイオードとの直列回路である。
【００２１】
請求項１の構成によれば、試験対象側で短絡事故等が発生した場合、試験用電源装置における電流制御機構が動作を開始するまでの間、第１及び第２の電流制限回路により夫々の経路に流れる電流を制限することができ、これにより各部の損傷を有効に回避することができる。
【００２２】
また請求項２の構成によれば、請求項１の構成において、第１及び又は第２の電流制限回路は、インダクタンス素子と、インダクタンス素子の逆起電力の電圧を制限する逆起電力制限回路とにより形成されることにより、インダクタンスによる逆起電力の影響を有効に回避して、簡易な構成で、試験対象が短絡した場合等にあっても、各部の損傷を有効に回避することができる。
【００２３】
また請求項３の構成によれば、請求項１の構成において、第１及び又は第２の電流制限回路は、順方向にバイアスされたトランジスタと、インピーダンス素子との直列回路であることにより、制限される電流値が、時間の経過と共に増大することの無い、ほぼ一定の電流制限回路とすることができる。これにより試験用電源装置の電流制限機構が機能するまでの時間が長い場合でも、試験対象の短絡などによる過電流を安全な値に制限し、各部の損傷を有効に回避することができる。
【００２４】
また請求項４の構成によれば、請求項１の構成において、第１及び又は第２の電流制限回路は、順方向にバイアスされたトランジスタと、定電流ダイオードとの直列回路であることにより、さらに一段と電流制限回路を設けたことによる各経路における抵抗値の増大を低減して、試験対象が短絡した場合等にあっても、各部の損傷を有効に回避することができる。
【００２５】
【発明の実施の形態】
以下、適宜図面を参照しながら本発明の実施の形態を詳述する。
【００２６】
（１）第１の実施の形態
（１−１）第１実施の形態の構成
図１は、本発明の第１の実施の形態に係る試験装置を示すブロック図である。この試験装置２１において、図９について上述した試験装置１と同一の構成は、対応する符号を付して示し、重複した説明は省略する。
【００２７】
この試験装置２１において、テストヘッド２２は、電流制限回路２３を介して試験用電源装置５に接続され、またこの電流制限回路２３と同一構成の電流制限回路２４を介してこの試験用電源装置５により印加される駆動電圧を試験用電源装置５に帰還する。
【００２８】
ここでこれら電流制限回路２３、２４は、それぞれダイオード２３Ｂ、２４Ｂ、抵抗２３Ｃ、２４Ｃを直列接続して逆起電力制限回路が形成され、この逆起電力制限回路と、コイル等によるインダクタンス素子とをそれぞれ並列に接続して形成される。これにより試験装置２１では、試験対象４側で短絡事故が発生した場合に、この電流制限回路２３、２４により過大な電流を制限し、リレーＳｓ１〜Ｓｓｎ、Ｓｆ１〜Ｓｆｎ、プローブ等の損傷を有効に回避するようになされている。
【００２９】
なおこれらの電流制限回路２３、２４は、試験用電源装置５から出力される駆動用電源が正極性の場合にのみ適用される構成であり、負極性に適用する場合には、電流制限回路２３、２４のダイオード２３Ｂ、２４Ｂを逆向きに配置することが必要である。
【００３０】
（１−２）第１の実施の形態の動作
以上の構成において、この試験装置２１においては、従来の試験装置１の構成に加えて、試験用電源装置５から試験対象４に至るまでの電源供給経路に、インダクタンス素子による電流制限回路２３が挿入されており、この電流制限回路２３を介して、試験用電源装置５から出力される駆動用電源が試験対象４に供給される。ここでインダクタンス素子に含まれる直流抵抗は小さな値であることにより、また正常な特性を有する試験対象４に駆動用電源を供給する場合には、駆動用電源の電流値においては急激に変化しないことにより、このように電流制限回路２３を介して駆動用電源を供給して、電流制限回路２３での電圧降下は無視することができる。また仮に電流制限回路２３で多少の電圧降下が発生したとしても、試験対象４に印加されている電圧が、電流制限回路２４、ボルテージフォロワ回路構成の差動増幅回路９を経て、差動増幅回路７に帰還されていることから、この試験対象４に印加される駆動用電源の電圧においては、所定の値に保持され、これにより従来の試験装置１と同様にして試験対象を検査することができる。
【００３１】
また、試験対象４が試験開始前から短絡状態にあったような場合には、試験用電源装置５の出力は、試験開始前における遮断状態から、試験開始指令により立ち上がるが、この立ち上がり時間はそれ程早くないことにより、従来の試験装置１と同様に、電流検出回路８による本来の電流制限回路が機能して、出力電流が安全な範囲に制限される。
【００３２】
これに対して試験対象４の試験中、即ち、試験用電源装置５から駆動用電源を供給している際に、試験対象４が短絡状態になったり、リレーの切り換えにより短絡状態になっている試験対象４の試験端子に駆動用電源が供給された場合、試験装置２１では、電源供給経路６Ｆ及び帰還経路６Ｓから試験対象４に対して短絡電流が流れ始める。しかしながらこの短絡電流の各経路には、インダクタンス素子による電流制限回路２３、２４が設けられていることにより、それぞれ各経路における電流は、急激な変化が抑圧され、短絡発生直前の値から時間と共に徐々に増加する様になり、その途中で試験用電源装置５による電流制限機能が動作を開始して、出力電流値が安全な範囲に制限される。
【００３３】
またこのように試験用電源装置５による電流制限機能が動作を開始したときに、インダクタンス素子に蓄えられたエネルギーが逆起電力制限回路により放電され、これにより各経路に流れる電流の電流制限動作が迅速かつ確実なものとされる。これによりこの試験装置２１においては、短絡事故が発生した場合におけるリレーＳｓ１〜Ｓｓｎ、Ｓｆ１〜Ｓｆｎ、プローブ等に与えるダメージを従来に比して格段的に低減し得、その分、各部の損傷を有効に回避できるようになされている。
【００３４】
すなわち短絡回路における直流抵抗をＲとおき、インダクタンス素子２３Ａ、、２４ＡのインダクタンスをＬとおくと、短絡事故による電流Ｉは、ｔ≪Ｌ／Ｒの範囲では、Ｉ＝（Ｖ／Ｌ）ｔ＋Ｉ_Oにより表すことができる。なおここでＶは、短絡事故時における駆動用電源の電圧、Ｉ_Oは、短絡事故発生直前の電流であり、ｔは短絡事故発生後の経過時間である。
【００３５】
これによりインダクタンスＬの値を適切に選択することにより、試験用電源装置５による保護機能が動作を開始するまでの間、一定値以上に電流Ｉが立ち上がらないようにすることができ、これにより各部の損傷を有効に回避することができる。
【００３６】
具体的に、Ｖ＝２００〔Ｖ〕、Ｌ＝２００〔μＨ〕に設定すると、試験用電源装置５による過電流制限値が１００〔ｍＡ〕、この過電流制限値を越えてから保護機能が動作するまでの時間が１００〔ｎＳ〕の場合、保護機能が動作する時点ｔ０までの間の電流Ｉについては、その最大値Ｉｍａｘを近似的にＩｍａｘ＝（２００〔Ｖ〕／２００〔μＨ〕）×１００〔ｎＳ〕＋１００〔ｍＡ〕＝２００〔ｍＡ〕により表すことができ、これにより十分に電流を抑圧できることが判る。
【００３７】
またこの実施の形態においては、このような電流制限回路２３、２４をテストヘッド２２側に設けたことにより、テストヘッド２２と本体装置３とを接続するケーブルの蓄積電荷による放電についても、過大な電流を防止することができる。すなわち、一例として、ケーブル６Ｆ、６Ｓのストレー容量を３０００〔ｐＦ〕、試験部品側の短絡抵抗を１０〔Ω〕、短絡発生直前の試験電圧を２００〔Ｖ〕とすると、試験用電源装置５による電流制限機能の動作に遅れ時間がなかったとしても電流制限回路２３、２４がない場合には、各経路に初期電流値２００〔Ｖ〕／１０〔Ω〕＝２０〔Ａ〕、時定数３０００〔ｐＦ〕×１０〔Ω〕＝３０〔ｎｓｅｃ〕で指数関数的に減衰する短絡電流が流れ、その結果、リレーやプローバを損傷するに至る。
【００３８】
これに対し、電流制限回路２３、２４を設けた場合、短絡発生時の電流は、２００〔Ｖ〕に充電された３０００〔ｐＦ〕のコンデンサの電荷を、２００〔μＨ〕のインダクタとこれに直列接続された１０〔Ω〕の抵抗によって放電させた時に流れる電流になる。
【００３９】
この場合、各経路の電流は、逆起電力制限回路を無視すると、インダクタンス、コンデンサ、抵抗の直列回路における過渡電流であることから、図２において、符号Ａにより示すように、時定数τにより包路線が表される角周波数ω_fの減衰振動となる。すなわち各経路の電流ｉは、ｉ＝（Ｅ／Ｌω_f）×ｅ^k×ｓｉｎω_fｔ（（１）式）により表される。なおここでｋ＝−ｔ／τであり、τ＝２Ｌ／Ｒ、ω_f ² ＝（１／ＬＣ）−（Ｒ／２Ｌ）² 、Ｌは電流制限回路のインダクタンス、Ｃはケーブル６Ｆ、６Ｓ等のストレー容量、Ｒは短絡回路の抵抗、ＥはＣの充電電圧である。
【００４０】
電流制限回路２３、２４のインダクタンス素子に並列にダイオードと抵抗との直列回路による逆起電力制限回路が接続されている場合、図２において符号Ｂにより示すように、各経路の電流は、短絡直後の最初のピークまでの間、上述したインダクタンス、コンデンサ、抵抗の直列回路における過渡電流ｉと同一となり、このピークを越えた後においては、ダイオードが導通して、インダクタンス素子に蓄えられたエネルギーが抵抗により吸収されることにより、電流は急激に減少する。この場合の最大電流Ｉ_maxは、（１) 式においてｔ＝１／４ｆを代入して求めることができ、上述の定数の場合、最大電流は、約６８６〔ｍＡ〕となる。これらにより試験装置１では、リレー、プローバに過大電流が流れるのを防止できることにより、これらの損傷を有効に回避することができる。
【００４１】
（１−３）第１の実施の形態の効果
以上の構成によれば、テストヘッド側に電流制限回路を設け、この電流制限回路で短絡時の過大な電流を制限することにより、駆動電源装置における電流制限機能が動作するまでの間、この電流制限回路で過大な電流を防止することができ、これにより試験対象が短絡した場合等にあっても、各部の損傷を有効に回避することができる。
【００４２】
また駆動用電源の供給経路と、この駆動用電源による駆動電圧の帰還経路とにこれら電流制限回路をそれぞれ設けることにより、本体装置３とテストヘッド２とを接続するケーブルの浮遊容量による短絡電流についても、過大な電流を防止することができ、これにより各部の損傷を有効に回避することができる。
【００４３】
またインダクタンス素子と、インダクタンス素子の逆起電力を制限する逆起電力制限回路とにより電流制限回路を構成することにより、確実に過電流を防止し、各部の損傷を有効に回避することができる。
【００４４】
（２）第２の実施の形態
図３は、本発明の第２の実施の形態の試験装置に適用される電流制限回路を示す接続図である。この試験装置では、第１の実施の形態に係る電流制限回路２３、２４に代えて、この電流制限回路３５がそれぞれ駆動用電源の供給経路と帰還経路とに配置される点を除いて第１の実施の形態に係る試験装置と同一に構成される。
【００４５】
ここでこの電流制限回路３５は、インダクタンス素子３６Ａ及び３７Ａの直列回路が電源の供給経路、帰還経路にそれぞれ配置され、このインダクタンス素子３６Ａ及び３７Ａに、抵抗３６Ｂ、ダイオード３６Ｃの直列回路による逆起電力制限回路、抵抗３７Ｂ、ダイオード３７Ｃの直列回路による逆起電力制限回路がそれぞれ配置される。
【００４６】
これによりこの実施の形態に係る試験装置では、試験対象に印加する駆動用電源の極性が正負何れの場合でも、第１の実施の形態と同様の効果を得ることができる。
【００４７】
（３）第３の実施の形態
この実施の形態においては、インダクタンス素子に代えて、抵抗とインダクタンス素子との直列回路により駆動用電源供給側の電流制限回路が構成される点を除いて第１又は第２の実施の形態に係る試験装置と同一に構成される。
【００４８】
すなわち上述したインダクタンス素子による電流制限回路においては、時間の経過と共に流れる電流が増大する。しかしながらインダクタンス素子に代えて、抵抗とインダクタンス素子との直列回路により電流制限回路を構成すれば、このように時間の経過により増大する電流値を制限することができる。
【００４９】
この実施の形態のようにインダクタンス素子に代えて、抵抗とインダクタンス素子との直列回路により電流制限回路を構成するようにしても、上述した実施の形態と同様の効果を得ることができ、さらには時間の経過により増大する電流値を制限することができる。
【００５０】
（４）第４の実施の形態
この実施の形態においては、インダクタンス素子に代えて、抵抗により帰還経路側の電流制限回路が構成される点を除いて第１、第２又は第３の実施の形態に係る試験装置と同一に構成される。
【００５１】
すなわち駆動電源側の電流制限回路と保護回路１０との組み合わせにより、正常に動作している状態で、保護回路１０を介して帰還経路に流れる電流が帰還経路での電圧降下を無視できる程度に小さい場合、帰還経路側の電流制限回路においては、適当な抵抗値の抵抗のみにより構成しても、何ら、正常な動作に影響を与えず、これにより簡易な構成で短絡等による過電流を防止することができる。
【００５２】
この実施の形態においては、帰還経路側の電流制限回路を抵抗により構成することにより、一段と簡易な構成により、上述の実施の形態と同様の効果を得ることができる。
【００５３】
（５）第５の実施の形態
図４は、本発明の第５の実施の形態に係る試験装置に適用される電流制限回路を示す接続図である。この試験装置では、第１の実施の形態に係る電流制限回路２３、２４に代えて、又は第４の実施の形態に係る抵抗による電流制限回路に代えて、この電流制限回路４０が駆動用電源の供給経路及び又は帰還経路に配置される点を除いて第１又は第４の実施の形態に係る試験装置と同一に構成される。
【００５４】
ここで電流制限回路４０は、エンハンスメント型ＭＯＳＦＥＴ４２と、ＭＯＳＦＥＴ４２のソースに接続されたインピーダンス素子である抵抗４１とによる直列回路が駆動用電源の供給経路と帰還経路とにそれぞれ設けられ、このＭＯＳＦＥＴ４２のゲートが抵抗４３を介してフローティング電源４４により順方向にバイアスされるようになされている。
【００５５】
これによりこの電流制限回路４０は、試験装置が正常に動作して流れる電流が少ない場合、ＭＯＳＦＥＴ４２が抵抗領域で動作し、ＭＯＳＦＥＴ４２のソース、ドレイン間の抵抗値が、いわゆるオン抵抗と称される値の小さな抵抗値に保持され、これにより通常の動作状態においては、電流制限回路４０による電圧降下を十分に小さな値に保持することができ、試験用電源装置５による駆動用電源の供給に何ら影響を与えないようになされている。
【００５６】
これに対して試験対象の短絡等により流れる電流が増大すると、これに対応して抵抗４１による電圧降下が増大し、これによりゲート、ソース間のバイアス電圧が減少し、これによりＭＯＳＦＥＴ４２が、飽和領域に動作領域を切り換える。この電流の増大による飽和領域への動作領域の切り換えにより、ＭＯＳＦＥＴ４２は、流れる電流を一定電流値に制限し、これにより過大な電流による各部の損傷を有効に回避するようになされている。
【００５７】
図５に示すＭＯＳＦＥＴ４２の特性曲線を用いてさらに詳しく説明すると、例えば抵抗４１の抵抗値を１０〔Ω〕、フローティング電源４４の電圧を４．５〔Ｖ〕とした場合、負荷電流（ドレイン電流）が０．０５〔Ａ〕、０．１〔Ａ〕、０．２〔Ａ〕の時、抵抗４１による電圧降下がそれぞれ０．５〔Ｖ〕、１〔Ｖ〕、２〔Ｖ〕であることにより、それぞれＶ_Gs＝４〔Ｖ〕、Ｖ_Gs＝３．５〔Ｖ〕、Ｖ_Gs＝２．５〔Ｖ〕による特性曲線において、ドレイン電流０．０５〔Ａ〕、０．１〔Ａ〕、０．２〔Ａ〕となる点が動作点となり、ぞれぞれＡ、Ｂ、Ｃ点となる。これらＡ、Ｂ、Ｃ点のうち、Ａ、Ｂ点は、抵抗領域であるのに対し、Ｃ点は飽和領域であり、これにより電流が増大するとＭＯＳＦＥＴ４２の動作点が抵抗領域から飽和領域に移って、流れる電流を制限できることが判る。
【００５８】
なお図６は、このような電流制限回路４０に適用されるフローティング電源４４の一例を示す接続図である。このフローティング電源４４は、発光ダイオード４６の出射光を直列接続されたフォトダイオード４７Ａ〜４７ｎで受光するように構成され、このフォトダイオード４７Ａ〜４７ｎによる直列回路の出力電圧を図示しない定電圧ダイオードにより安定化して電源として使用する。このような発光ダイオード４６とフォトダイオード４７Ａ〜４７ｎとによるフローティング電源においては、例えばＤＣ−ＤＣコンバータ等によるフローティング電源に比して、１次−２次間の結合容量が極めて小さい特徴がある。これによりこの電源制限回路４０によれば、１次−２次間の結合容量による充電電荷が短絡電流に重畳しないようになされている。またＭＯＳＦＥＴ４２のゲート電圧の変動を防止して、電流制限回路４０による電流制限の処理を確実に実行できるようになされている。
【００５９】
この実施の形態によれば、順方向にバイアスしたＦＥＴとインピーダンス素子との直列回路とにより電流制限回路を構成するようにしても、第１の実施の形態と同様の効果を得ることができる。またこのようにすれば、バイアス電圧の設定値及び抵抗４１の抵抗値により、制限する電流値を種々に設定することができ、さらに短絡時に流れる電流については時間が経過しても増大しないようにすることができ、これらにより上述の実施の形態に比してさらに一段と電流制限回路による電流の制限を確実なものとして、全体の動作を安定化することができる。
【００６０】
すなわち上述の実施の形態のように、インダクタンス素子により電流制限回路を構成して過電流を制限する方法では、インダクタンスの大きなインダクタンス素子を配置することが必要になる。この場合、試験用電源装置５側から見ると、負荷に大きなインダクタンスが接続されることになり、負荷電流の変動によりインダクタンス素子による電圧降下が発生したり、高域の周波数で位相遅れを発生して負帰還回路の位相マージンが減少したりし、これらにより動作が不安定になる恐れがある。
【００６１】
しかしながらこの実施の形態によればＭＯＳＦＥＴを使用することにより、インピーダンス素子は、ＦＥＴの動作点を飽和領域に移動させるだけの僅かな抵抗値の抵抗器、又はこのような抵抗器にインダクタンスの小さなインダクタンス素子を直列に接続して提供することができ、これにより試験用電源装置５を安定に動作させることができる。
【００６２】
かくするにつき、図４の回路においては、抵抗４１に代えて、抵抗とインダクタンス素子の直列回路を設けるようにしてもよい。このようにすれば、短絡事故発生直後の電流を、本来の制限電流に比べ小さい値にすることができ、より安全に電流制限動作を行うことが出来る。
【００６３】
なおこの場合、インダクタンス素子のインダクタンス値は、インダクタンス素子のみにより電流制限を行う場合に比べ、十分に小さい値でよい特徴がある。すなわちインダクタンス素子のみによる場合、短絡発生時、その時に印加されていた電圧の大部分がインダクタンス素子に印加される。これに対して抵抗とインダクタンス素子の直列回路を設ける場合、ＭＯＳＦＥＴのゲートに供給されている順方向バイアス電圧を若干減少させるだけの、僅かな電圧を負担するだけで、過電流を制限することができるからである。
【００６４】
なお図４に示す電流制限回路４０は、ＭＯＳＦＥＴ４２のドレーン側に加わる電圧が正極性となるように接続して使用しなければならず、これにより単極性用である。
【００６５】
（６）第６の実施の形態
図７は、本発明の第６の実施の形態の試験装置に適用される電流制限回路を示す接続図である。この試験装置では、第２、第３又は第４の実施の形態に係る電流制限回路に代えて、この電流制限回路５０が駆動用電源の供給経路及び又は帰還経路に配置される点を除いて第２、第３又は第４の実施の形態に係る試験装置と同一に構成される。
【００６６】
ここでこの電流制限回路５０は、フローティング電源５１、抵抗５２により順方向にバイアスされたエンハンスメント型ＭＯＳＦＥＴ５３と、抵抗によるインピーダンス素子５４との直列回路により第１の電流制限回路が構成され、またフローティング電源５１、抵抗５５により順方向にバイアスされたエンハンスメント型ＭＯＳＦＥＴ５６と、抵抗によるインピーダンス素子５７との直列回路により第２の電流制限回路が構成され、これら第１及び第２の電流制限回路がそれぞれ逆極性の電流に対して流れる電流を制限するように直列に接続して構成される。
【００６７】
この図７に示す構成によれば、試験対象に印加する駆動用電源の極性が正負何れの場合でも、第５の実施の形態と同様の効果を得ることができる。すなわちこの電流制限回路５０においては、試験対象に印加する駆動用電源の極性が正極性の場合、抵抗５７で生ずる電圧降下は、ＭＯＳＦＥＴ５６の順方向バイアス電圧を増加させ、これによりこのＭＯＳＦＥＴ５６については、何ら電流制限動作には寄与しない。しかしながら抵抗５４で生ずる電圧降下は、ＭＯＳＦＥＴ５３の順方向バイアス電圧を減少させ、これによりこの場合、ＭＯＳＦＥＴ５３により短絡時の電流が制限される。これとは逆に、駆動用電源の極性が逆極性の場合、ＭＯＳＦＥＴ５３においては、何ら電流制限動作には寄与しないのに対し、ＭＯＳＦＥＴ５６において、過電流を防止することができる。
【００６８】
（７）第７の実施の形態
この実施の形態においては、第６の実施の形態に適用した電流制限回路の抵抗５４、５７に代えて、インダクタンス素子又はインダクタンス素子と抵抗との直列回路等により電流制限回路を構成する。
【００６９】
このように第６の実施の形態における抵抗５４、５７に代えて、インダクタンス素子、又はインダクタンス素子と抵抗との直列回路等により電流制限回路を構成しても、第６の実施の形態との同様の効果を得ることができ、さらにはこれらインダクタンス素子又はインダクタンス素子と抵抗との直列回路において急激な電流の立ち上がりを抑圧することができる。
【００７０】
（８）第８の実施の形態
図８は、図４との対比により本発明の第８の実施の形態の試験装置に適用される電流制限回路を示す接続図である。この試験装置では、電流制限回路４０に代えて、この電流制限回路７０が駆動用電源の供給経路及び又は帰還経路に配置される点を除いて第５の実施の形態に係る試験装置と同一に構成される。またこの電流制限回路７０においては、抵抗４１に代えて定電流ダイオード７１が適用される点を除いて、第５の実施の形態に係る電流制限回路４０と同一に構成される。
【００７１】
すなわち図４の電流制限回路４０において、制限すべき電流値を小さい値に設定する場合には、インピーダンス素子４１の抵抗値を高い値にすることが必要になる。しかしながらこの種の試験装置においては、このような高い抵抗値を有する回路を駆動用電源の供給経路に設けることは、避けることが望まれる。また駆動用電源の帰還経路においても、駆動用電源の供給経路における抵抗値が大きくなって、供給経路における電圧降下が大きくなると、正常動作状態において、帰還経路における電圧降下が無視できない程度の大きな電流が保護回路１０に流れるようになる。これにより帰還経路においても、高い抵抗値を有する回路を設けることは適当ではない。
【００７２】
ここで定電流ダイオード７１は、通常、ゲートとソースを接続した接合型ＦＥＴで構成され、ドレイン及びソースがそれぞれアノード、カソードに設定される。定電流ダイオード７１は、アノード、カソード間の電圧がニー電圧に達するまでの間、Ｒｄｓ（ｏｎ）によりオン抵抗が示される低抵抗状態であり、アノード、カソード間の電圧に流れる電流が比例する。これに対してアノード、カソード間の電圧がニー電圧を越えると、定電流状態となり、アノード、カソード間電圧に対して流れる電流値が一定値に保持される。
【００７３】
これにより電流制限回路７０では、流れる電流が小さい場合には、定電流ダイオード７１がオン抵抗Ｒｄｓ（ｏｎ）による小さいな抵抗値を示し、流れる電流が増大して定電流ダイオード７１のアノード、カソード間電圧がニー電圧を越えると、定電流ダイオード７１による電圧降下が急激に増大し、これによりＦＥＴ４２の動作点を抵抗領域から飽和領域に切り換え、過電流を制限するようになされている。従って通常の動作状態においては、電流制限回路７０は、図４に示す構成に比して、一段と電流制限回路を経路に設けたことによる影響を少なくすることができるようになされている。
【００７４】
またこのように定電流ダイオードと高耐圧のＭＯＳＦＥＴのとの組み合わせにより電流制限回路を構成することにより、耐圧の低い定電流ダイオードを用いて、高電圧の試験用電源を制限する電流制限回路を構成することができる。
【００７５】
以上の構成によれば、インピーダンス素子に代えて定電流ダイオードにより電流制限回路を構成することにより、さらに一段と安定に試験装置を動作させることができる。
【００７６】
（９）他の実施の形態
なお上述の第８の実施の形態に係る電流制限回路は、図４を用いて説明した電流制限回路と同様に、単極性用である。定電流ダイオードと高耐圧のＭＯＳＦＥＴのとの組み合わせにより電流制限回路を構成して、両極性により使用する場合、図７に示す電流制限回路５０において、抵抗５４、５７をそれぞれ定電流ダイオードに置き換えることにより、対応することができる。
【００７７】
また上述の第８の実施の形態においては、定電流ダイオードにより電流制限回路を構成する場合について述べたが、本発明はこれに限らず、定電流ダイオードに代えて、ドレイン遮断電流Ｉ_DSSが制限する電流値にほぼ等しいＭＯＳＦＥＴを使用するようにしても、同様の効果を得ることができる。またこのような定電流ダイオードのソースに抵抗値の小さな抵抗を設け、この抵抗の抵抗値により制限する電流値を調整するようにしてもよい。
【００７８】
また上述の実施の形態においては、テストヘッドの試験用電源装置側に電流制限回路を設ける場合について述べたが、本発明はこれに限らず、テストヘッドにおける各リレーの試験対象側にそれぞれ設けるようにしてもよい。
【００７９】
また上述の実施の形態においては、比較的電圧の高い駆動用電源の供給を前提として、試験対象の短絡事故による各部の損傷を防止する場合について述べたが、本発明はこれに限らず、低電圧による駆動用電源の供給についても、広く適用することができる。
【００８０】
【発明の効果】
上述のように本発明によれば、テストヘッド側に電流制限回路を設け、この電流制限回路で短絡時の過大な電流を制限することにより、試験対象が短絡した場合等にあっても、各部の損傷を有効に回避することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施の形態に係る試験装置の主要な構成を示すブロック図である。
【図２】図１の試験装置の動作の説明に供する特性曲線図である。
【図３】本発明の第３の実施の形態に係る試験装置に適用される電流制限回路を示す接続図である。
【図４】本発明の第４の実施の形態に係る試験装置に適用される電流制限回路を示す接続図である。
【図５】図４の電流制限回路に適用されるＦＥＴの特性を示す特性曲線図である。
【図６】図４の電流制限回路に適用されるフローティング電源の一例を示す接続図である。
【図７】本発明の第６の実施の形態に係る試験装置に適用される電流制限回路を示す接続図である。
【図８】本発明の第８の実施の形態に係る試験装置に適用される電流制限回路を示す接続図である。
【図９】従来の試験装置を示すブロック図である。
【符号の説明】
１、２１……試験装置、２、２２、３２……テストヘッド、３……本体装置、４……試験対象、５……試験用電源装置、Ｓｓ１〜Ｓｓｎ、Ｓｆ１〜Ｓｆｎ……リレー、２３、２４、３５、５０、７０……電流制限回路、２３Ａ、２４Ａ、３６Ａ、３７Ａ……インダクタンス素子、２３Ｃ、２４Ｃ、３６Ｂ、３７Ｂ、４１、４３、５２、５４、５５、５７……抵抗、２３Ｂ、２４Ｂ、３６Ｃ、３７Ｃ……ダイオード、４２、５３、５６……ＦＥＴ、４４、５１……フローティング電源、７１……定電流ダイオード[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a test apparatus and can be applied to a test apparatus for semiconductor elements that operate at a high voltage, such as a PDP (plasma display) panel drive IC. The present invention provides a current limiting circuit on the test head side, and at least until the current control mechanism of the test power supply device functions, this current limiting circuit limits the excessive current at the time of the short circuit, thereby short-circuiting the test object. In such a case, damage to each part can be effectively avoided.
[0002]
[Prior art]
Conventionally, in a semiconductor element having an output circuit that operates at a high voltage, such as an IC for a PDP (plasma display) panel drive, a direct current characteristic is inspected using a test apparatus having a direct current power source capable of generating a high voltage. It is made to do.
[0003]
FIG. 9 is a block diagram showing a configuration relating to the DC characteristic inspection in such a test apparatus. The test apparatus 1 includes a main body device 3 having a test power supply device 5 capable of generating a high voltage, a test head 2, cables 6S and 6F connecting the main body device 3 and the test head 2, and the like.
[0004]
Here, the test head 2 has a plurality of relays Ss1 to Ssn, Sf1 to Sfn, a probe card or a socket board, and the settings of the relays Ss1 to Ssn and Sf1 to Sfn are switched by a control signal output from the main unit 3. It is done. As a result, in the test apparatus 1, the test voltage or the test voltage output from the test power source 5 and input via the cable 6 F via each prober held on the probe card or the IC socket attached to the socket board. A current (hereinafter referred to as a driving power source) is selectively supplied to a corresponding terminal of the test object 4.
[0005]
 The test power supply 5 is not shown.Digital analogReference voltage V by conversion circuit_refIs generated, and this reference voltage V_ref Is input to the differential amplifier circuit 7 including the power amplifier via the input resistor R1. The differential amplifier circuit 7 has a positive input terminal grounded, and outputs a differential amplification result to the test head 2 via the current detection circuit 8. As a result, the test power supply 5 is connected to the reference voltage V via the test head 2._ref The drive power supply according to the above is applied to the corresponding terminal of the test object 4.
[0006]
In addition, the test power supply device 5 supplies the drive voltage by the test power supply device 5 detected at the terminal portion of the test object 4 to the differential amplifier circuit 7 by the resistor R2 via the differential amplifier circuit 9 having a voltage follower circuit configuration. The voltage is fed back, thereby correcting the voltage drop of the driving power source due to the cable 6F connecting the test head 2 and the main body device 3 or the like. Further, in the test power supply device 5, the output signal of the differential amplifier circuit 9 is subjected to analog-digital conversion processing and output to a central processing unit (not shown), whereby the central processing unit obtains a voltage measurement result of the driving power supply. It has been made possible.
[0007]
In the test power supply device 5, a reference voltage I is obtained by a digital-analog conversion circuit (not shown)._refIs generated and this reference voltage I_refIs supplied to the current detection circuit 8. Further, the current value of the driving power source output from the differential amplifier circuit 7 is detected by the current detection circuit 8, and this current value is the reference voltage I._refSo that the current flowing into the differential amplifier circuit 7 via the input resistor R1 is absorbed by the current detection circuit 8. Thereby, in the test power supply device 5, the current value of the drive power supply is changed to the reference voltage I._refWhen the current value corresponding to is to be exceeded, the output voltage of the differential amplifier circuit 7 is lowered, and this current value is the reference voltage I_refThe current value specified by is controlled so as not to exceed. As a result, the test power supply 5 has the reference voltage V_ref, I_refThe driving power supply is output by constant voltage control and constant current control in accordance with the setting of the reference voltage I._refWith this setting, a current control mechanism for preventing an overcurrent of the driving power supply is configured.
[0008]
Further, in the test power supply device 5, the current value of the drive power supply detected by the current detection circuit 8 in this way is subjected to analog-digital conversion processing and output to a central processing unit (not shown). The current value measurement result of the drive power supply can be acquired.
[0009]
In the test power supply device 5, a protection circuit 10 is connected between the input side of the differential amplifier circuit 9 and the output side of the current detection circuit 8. Here, the protection circuit 10 is generally formed by connecting a series connection circuit of a plurality of diodes in parallel so as to have opposite polarities. Further, a higher resistance is added to the parallel circuit of the plurality of diodes. Consists of circuits connected in parallel. In the test power supply device 5, the protection circuit 10 forms a feedback circuit for the drive power supply in the test power supply device 5, and thus, for example, defects in the relays Ss 1 to Ssn and Sf 1 to Sfn in the test head 2 Even when the feedback loop of the differential amplifier circuit 9 is opened due to the occurrence of an abnormality in the path from the output side of the detection circuit 8 to the relays Ss1 to Ssn, Sf1 to Sfn, an abnormal condition is detected from the differential amplifier circuit 7. A high voltage is output or an abnormal high voltage is applied to the differential amplifier circuit 9 to prevent the differential amplifier circuit 9 from being damaged.
[0010]
With such a configuration, the test apparatus 1 measures the voltage-current characteristic for measuring the current flowing through the test object 4 when a constant voltage is applied to the test object 4 or when the constant current is applied to the test object 4. A current-voltage characteristic for measuring a voltage drop generated in the test object 4 is measured so that the quality of the test object 4 can be inspected.
[0011]
[Problems to be solved by the invention]
In the inspection of a device using such a test apparatus, depending on the device, during the inspection, that is, when a high voltage is applied to the test object 4, the test object 4 is damaged due to insufficient breakdown voltage due to a manufacturing defect, and the voltage is Some terminals are short-circuited between the applied terminal and ground. In this case, although it is instantaneous, a very large short-circuit current may flow to the test object 4 from the test power supply device 5 via a relay or a prober in the test head.
[0012]
In the test power supply device 5, such an excessive current is prevented by a current limiting circuit by the current detection circuit 8, but there is a slight amount until the current limiting circuit 8 functions normally. Since it takes time, when the short-circuit current rises sharply, the voltage applied immediately before the occurrence of the short-circuit is divided by the impedance of the short-circuit until the current limiting circuit 8 functions normally. Excessive current will flow.
[0013]
In general, there is a stray capacitance of a size that cannot be ignored on the output side of the test power supply device 5. Furthermore, since the test power supply device 5 and the test head 2 are connected by a cable of several meters, a considerably large stray capacitance also exists between them. These stray capacitances are in a state of being charged by the voltage of the driving power supply applied at that time immediately before the occurrence of a short circuit, and a considerable amount of electric charge is accumulated. In the test apparatus 1, when a short-circuit accident occurs, the charge charged in the stray capacitance is instantaneously discharged through the short-circuit, and even if there is no delay time in the operation of the current control mechanism by the current detection circuit 8, it is excessive. Current will flow.
[0014]
In addition to the case of such a device failure, for example, a relay in a state where a drive power supply is applied is switched due to a mistake in a test program for executing a series of test processes, a malfunction of a control system, etc. Similarly, when a voltage driving power source is connected to a low impedance load connected to a low potential, an excessive current flows.
[0015]
Although the test power supply 5 has a structure capable of withstanding such a temporary excessive current, a relay, a prober, or the like cannot withstand such a temporary excessive current. In such a case, damage such as welding or fusing of the contacts or melting of the tip of the prober is caused. As a result, the test apparatus 1 becomes unusable and the inspection process is stopped.
[0016]
The present invention has been made in consideration of the above points. A test apparatus capable of effectively avoiding damage to each part even when the test object is short-circuited, or even when the test apparatus is erroneously operated or malfunctioned. It is what we are going to propose.
[0017]
[Means for Solving the Problems]
 In order to solve this problem, in the invention of claim 1, the test objectThe drive ofA test apparatus comprising: a test power supply apparatus that outputs a dynamic power supply by constant current control or constant voltage control; and a test head that is connected to the test power supply apparatus by a cable and applies at least the drive power supply to the test object. ApplyThe test head connects a power cable to the predetermined terminal to be tested and applies the driving power to the predetermined terminal, and connects a voltage detection cable to the predetermined terminal,The test power supply isConnecting the output end of the driving power supply to the power supply cable, outputting the driving power supply to the power supply cable, connecting the voltage detection cable to the voltage detection end, and detecting the voltage Controlling the voltage of the driving power supply output to the power supply cable so that the voltage of the driving power supply at the predetermined terminal detected via the cable for power becomes a predetermined voltage;A current control mechanism for limiting a current value of the driving power supply;The test power supply apparatus is provided with a protection circuit that feeds back the drive power output to the power supply cable to the input terminal and prevents the drive power supply from being output at a high voltage.Test headInThe aboveBetween the power cable and the predetermined terminal,First current limiting circuit for limiting flowing currentIs provided,Between the voltage detection cable and the predetermined terminal,Second current limiting circuit for limiting flowing currentIs provided.
[0018]
According to a second aspect of the present invention, in the configuration of the first aspect, the first and / or second current limiting circuit includes an inductance element and a counter electromotive force limiting circuit that limits a voltage of the counter electromotive force of the inductance element. It is formed.
[0019]
According to a third aspect of the present invention, in the configuration of the first aspect, the first and / or second current limiting circuit is a series circuit of a forward biased transistor and an impedance element.
[0020]
According to a fourth aspect of the present invention, in the configuration of the first aspect, the first and / or second current limiting circuit is a series circuit of a forward-biased transistor and a constant current diode.
[0021]
 According to the configuration of claim 1TryWhen a short circuit accident occurs on the test subject side, the current flowing through each path may be limited by the first and second current limiting circuits until the current control mechanism in the test power supply device starts operating. This can effectively avoid damage to each part.
[0022]
According to the configuration of claim 2, in the configuration of claim 1, the first and / or second current limiting circuit includes an inductance element and a counter electromotive force limiting circuit for limiting a voltage of the counter electromotive force of the inductance element. Thus, it is possible to effectively avoid the influence of the counter electromotive force due to the inductance, and to effectively avoid damage to each part even when the test object is short-circuited with a simple configuration.
[0023]
According to the configuration of claim 3, in the configuration of claim 1, the first and / or second current limiting circuit is a series circuit of a forward-biased transistor and an impedance element. It is possible to provide a substantially constant current limiting circuit in which the current value to be applied does not increase with time. Thereby, even when the time until the current limiting mechanism of the test power supply device functions is long, the overcurrent due to the short circuit of the test target is limited to a safe value, and damage to each part can be effectively avoided.
[0024]
According to the configuration of claim 4, in the configuration of claim 1, the first and / or second current limiting circuit is a series circuit of a forward-biased transistor and a constant current diode. Furthermore, the increase in the resistance value in each path due to the provision of the current limiting circuit can be reduced, and even if the test object is short-circuited, damage to each part can be effectively avoided.
[0025]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings as appropriate.
[0026]
(1) First embodiment
(1-1) Configuration of the first embodiment
FIG. 1 is a block diagram showing a test apparatus according to the first embodiment of the present invention. In this test apparatus 21, the same configuration as that of the test apparatus 1 described above with reference to FIG.
[0027]
In the test apparatus 21, the test head 22 is connected to the test power supply apparatus 5 via the current limit circuit 23, and the test power supply apparatus 5 is connected via the current limit circuit 24 having the same configuration as the current limit circuit 23. Is fed back to the test power supply device 5.
[0028]
Here, the current limiting circuits 23 and 24 are diodes 23B and 24B and resistors 23C and 24C connected in series to form a counter electromotive force limiting circuit. The counter electromotive force limiting circuit and an inductance element such as a coil are connected to each other. Each is formed by connecting in parallel. Thereby, in the test apparatus 21, when a short circuit accident occurs on the test object 4 side, excessive current is limited by the current limiting circuits 23 and 24, and damage to the relays Ss1 to Ssn, Sf1 to Sfn, the probe, etc. is effective. Has been made to avoid.
[0029]
Note that these current limiting circuits 23 and 24 are applied only when the driving power source output from the test power source device 5 has a positive polarity, and when applied to the negative polarity, the current limiting circuit 23 , 24 diodes 23B, 24B need to be arranged in the opposite direction.
[0030]
(1-2) Operation of the first embodiment
In the above configuration, in this test apparatus 21, in addition to the configuration of the conventional test apparatus 1, a current limiting circuit 23 using an inductance element is inserted in the power supply path from the test power supply apparatus 5 to the test object 4. The driving power output from the test power supply device 5 is supplied to the test object 4 through the current limiting circuit 23. Here, the direct current resistance included in the inductance element is a small value, and when the driving power supply is supplied to the test object 4 having normal characteristics, the current value of the driving power supply does not change abruptly. Thus, the driving power supply is supplied through the current limiting circuit 23 in this way, and the voltage drop in the current limiting circuit 23 can be ignored. Even if a slight voltage drop occurs in the current limiting circuit 23, the voltage applied to the test object 4 passes through the current limiting circuit 24 and the differential amplifier circuit 9 having the voltage follower circuit configuration, and then the differential amplifier circuit. 7, the voltage of the driving power supply applied to the test object 4 is held at a predetermined value, so that the test object can be inspected in the same manner as the conventional test apparatus 1. it can.
[0031]
When the test object 4 is in a short-circuit state before the start of the test, the output of the test power supply device 5 rises from the shut-off state before the start of the test according to the test start command. Since it is not early, like the conventional test apparatus 1, the original current limiting circuit by the current detection circuit 8 functions and the output current is limited to a safe range.
[0032]
On the other hand, during the test of the test object 4, that is, when driving power is supplied from the test power supply device 5, the test object 4 is short-circuited or short-circuited by switching the relay. When driving power is supplied to the test terminal of the test object 4, in the test apparatus 21, a short-circuit current starts to flow from the power supply path 6 F and the feedback path 6 S to the test object 4. However, since current limiting circuits 23 and 24 using inductance elements are provided in each path of the short-circuit current, a sudden change in the current in each path is suppressed, and gradually from the value immediately before the occurrence of the short-circuit, with time. In the middle of this, the current limiting function by the test power supply device 5 starts operating, and the output current value is limited to a safe range.
[0033]
In addition, when the current limiting function by the test power supply device 5 starts operating as described above, the energy stored in the inductance element is discharged by the back electromotive force limiting circuit, and thereby the current limiting operation of the current flowing through each path is performed. It will be fast and reliable. Thereby, in this test apparatus 21, the damage given to the relays Ss1 to Ssn, Sf1 to Sfn, the probe, etc. when a short-circuit accident occurs can be remarkably reduced as compared with the prior art, and the damage to each part is accordingly reduced. It can be effectively avoided.
[0034]
That is, if the direct current resistance in the short circuit is R and the inductance of the inductance elements 23A, 24A is L, the current I due to the short circuit accident is I = (V / L) t + I in the range of t << L / R._OCan be represented by Here, V is the voltage of the driving power supply at the time of a short circuit accident, I_OIs the current immediately before the occurrence of the short circuit accident, and t is the elapsed time after the occurrence of the short circuit accident.
[0035]
Thus, by appropriately selecting the value of the inductance L, it is possible to prevent the current I from rising above a certain value until the protection function by the test power supply device 5 starts operating. Damage can be effectively avoided.
[0036]
Specifically, when V = 200 [V] and L = 200 [μH] are set, the overcurrent limit value by the test power supply 5 is 100 [mA], and the protection function operates after the overcurrent limit value is exceeded. When the time until the activation is 100 [nS], the maximum value Imax is approximately Imax = (200 [V] / 200 [μH]) × It can be expressed by 100 [nS] +100 [mA] = 200 [mA], and it can be seen that the current can be sufficiently suppressed.
[0037]
In this embodiment, since the current limiting circuits 23 and 24 are provided on the test head 22 side, the discharge due to the accumulated charge of the cable connecting the test head 22 and the main body device 3 is excessive. Current can be prevented. That is, as an example, assuming that the stray capacity of the cables 6F and 6S is 3000 [pF], the short-circuit resistance on the test component side is 10 [Ω], and the test voltage immediately before the occurrence of the short-circuit is 200 [V], the test power supply device 5 Even if there is no delay time in the operation of the current limiting function, if there is no current limiting circuit 23, 24, the initial current value 200 [V] / 10 [Ω] = 20 [A] for each path, and the time constant 3000 [ pF] × 10 [Ω] = 30 [nsec], an exponential decaying short circuit current flows, resulting in damage to the relay and prober.
[0038]
On the other hand, when the current limiting circuits 23 and 24 are provided, the current at the time of occurrence of the short circuit is such that the charge of the 3000 [pF] capacitor charged to 200 [V] is connected in series with the 200 [μH] inductor. It becomes a current that flows when it is discharged by a connected 10 [Ω] resistor.
[0039]
In this case, if the back electromotive force limiting circuit is ignored, the current in each path is a transient current in a series circuit of an inductance, a capacitor, and a resistor. Therefore, as shown by a symbol A in FIG. Angular frequency ω that represents the route_fOf damped oscillation. That is, the current i of each path is i = (E / Lω_f) × e^k× sinω_ft (Expression (1)). Here, k = −t / τ, τ = 2L / R, ω_f ² = (1 / LC)-(R / 2L)² , L is the inductance of the current limiting circuit, C is the stray capacitance of the cables 6F, 6S, etc., R is the resistance of the short circuit, and E is the charging voltage of C.
[0040]
When a back electromotive force limiting circuit composed of a series circuit of a diode and a resistor is connected in parallel to the inductance elements of the current limiting circuits 23 and 24, as indicated by a symbol B in FIG. Is the same as the transient current i in the series circuit of the inductance, the capacitor, and the resistance described above until after the first peak, and after exceeding this peak, the diode becomes conductive and the energy stored in the inductance element becomes the resistance. As a result, the current decreases rapidly. Maximum current I in this case_maxCan be obtained by substituting t = 1 / 4f in the equation (1). In the case of the above constant, the maximum current is about 686 [mA]. As a result, in the test apparatus 1, it is possible to effectively prevent such damage by preventing an excessive current from flowing through the relay and the prober.
[0041]
(1-3) Effects of the first embodiment
According to the above configuration, the current limiting circuit is provided on the test head side, and this current limiting circuit limits this excessive current at the time of a short circuit until the current limiting function in the drive power supply device operates. An excessive current can be prevented by the limiting circuit, so that damage to each part can be effectively avoided even when the test object is short-circuited.
[0042]
Further, by providing these current limiting circuits in the drive power supply path and the drive voltage feedback path of the drive power supply, respectively, the short-circuit current due to the stray capacitance of the cable connecting the main unit 3 and the test head 2 However, an excessive current can be prevented, and thereby damage of each part can be effectively avoided.
[0043]
Further, by configuring the current limiting circuit with the inductance element and the counter electromotive force limiting circuit that limits the counter electromotive force of the inductance element, it is possible to reliably prevent overcurrent and effectively avoid damage to each part.
[0044]
(2) Second embodiment
FIG. 3 is a connection diagram showing a current limiting circuit applied to the test apparatus according to the second embodiment of the present invention. In this test apparatus, in place of the current limiting circuits 23 and 24 according to the first embodiment, the current limiting circuit 35 is disposed in the drive power supply path and the feedback path, respectively. The same configuration as the test apparatus according to the embodiment.
[0045]
Here, in the current limiting circuit 35, a series circuit of inductance elements 36A and 37A is arranged in a power supply path and a feedback path, respectively. A back electromotive force limiting circuit including a limiting circuit, a resistor 37B, and a series circuit of a diode 37C is arranged.
[0046]
As a result, in the test apparatus according to this embodiment, the same effect as that of the first embodiment can be obtained regardless of whether the polarity of the driving power supply applied to the test target is positive or negative.
[0047]
(3) Third embodiment
In this embodiment, the current limiting circuit on the driving power supply side is constituted by a series circuit of a resistor and an inductance element instead of the inductance element, and the first or second embodiment is concerned. The same configuration as the test equipment.
[0048]
That is, in the current limiting circuit using the inductance element described above, the current flowing increases with time. However, if the current limiting circuit is constituted by a series circuit of a resistor and an inductance element instead of the inductance element, the current value that increases with the passage of time can be limited in this way.
[0049]
Even if the current limiting circuit is constituted by a series circuit of a resistor and an inductance element instead of the inductance element as in this embodiment, the same effects as those of the above-described embodiment can be obtained. The current value that increases with the passage of time can be limited.
[0050]
(4) Fourth embodiment
In this embodiment, the same configuration as the test apparatus according to the first, second, or third embodiment is provided except that a current limiting circuit on the feedback path side is configured by a resistor instead of the inductance element. Is done.
[0051]
In other words, the combination of the current limiting circuit on the drive power supply side and the protection circuit 10 is such that the current flowing through the feedback path through the protection circuit 10 is small enough to ignore the voltage drop in the feedback path in the state of normal operation. In this case, the current limiting circuit on the feedback path side does not affect the normal operation even if it is configured only by a resistor having an appropriate resistance value, thereby preventing an overcurrent due to a short circuit or the like with a simple configuration. be able to.
[0052]
In this embodiment, by configuring the current limiting circuit on the feedback path side with a resistor, the same effects as those of the above-described embodiment can be obtained with a simpler configuration.
[0053]
(5) Fifth embodiment
FIG. 4 is a connection diagram showing a current limiting circuit applied to the test apparatus according to the fifth embodiment of the present invention. In this test apparatus, instead of the current limiting circuits 23 and 24 according to the first embodiment, or instead of the current limiting circuit with a resistor according to the fourth embodiment, the current limiting circuit 40 is a driving power source. The test apparatus is configured in the same manner as the test apparatus according to the first or fourth embodiment except that it is arranged in the supply path and / or the return path.
[0054]
Here, in the current limiting circuit 40, a series circuit including an enhancement type MOSFET 42 and a resistor 41 which is an impedance element connected to the source of the MOSFET 42 is provided in each of a supply path and a feedback path for driving power, and the gate of the MOSFET 42 Is biased in the forward direction by a floating power supply 44 through a resistor 43.
[0055]
As a result, in the current limiting circuit 40, when the test apparatus operates normally and the flowing current is small, the MOSFET 42 operates in the resistance region, and the resistance value between the source and drain of the MOSFET 42 is a so-called on-resistance value. Thus, in a normal operation state, the voltage drop caused by the current limiting circuit 40 can be held at a sufficiently small value, which has no influence on the supply of drive power by the test power supply 5. It has been made not to give.
[0056]
On the other hand, when the current that flows due to a short circuit or the like to be tested increases, the voltage drop due to the resistor 41 increases correspondingly, thereby reducing the bias voltage between the gate and the source, thereby causing the MOSFET 42 to become saturated. Switch the operation area to. By switching the operation region to the saturation region due to this increase in current, the MOSFET 42 limits the flowing current to a constant current value, thereby effectively avoiding damage to each part due to excessive current.
[0057]
This will be described in more detail using the characteristic curve of the MOSFET 42 shown in FIG. 5. For example, when the resistance value of the resistor 41 is 10 [Ω] and the voltage of the floating power supply 44 is 4.5 [V], the load current (drain current) Is 0.05 [A], 0.1 [A], and 0.2 [A], the voltage drop due to the resistor 41 is 0.5 [V], 1 [V], and 2 [V], respectively. V_Gs= 4 [V], V_Gs= 3.5 [V], V_Gs= 2.5 [V] In the characteristic curve, the points where the drain currents are 0.05 [A], 0.1 [A], and 0.2 [A] are the operating points, and A, B, C points. Of these points A, B, and C, points A and B are in the resistance region, whereas point C is in the saturation region. As a result, when the current increases, the operating point of MOSFET 42 moves from the resistance region to the saturation region. It can be seen that the flowing current can be limited.
[0058]
FIG. 6 is a connection diagram showing an example of a floating power supply 44 applied to such a current limiting circuit 40. The floating power supply 44 is configured to receive light emitted from the light emitting diode 46 by photodiodes 47A to 47n connected in series, and the output voltage of the series circuit by the photodiodes 47A to 47n is stabilized by a constant voltage diode (not shown). To use as a power source. Such a floating power source including the light emitting diode 46 and the photodiodes 47A to 47n has a feature that the coupling capacity between the primary and secondary is extremely small as compared with a floating power source such as a DC-DC converter. As a result, according to the power supply limiting circuit 40, the charge due to the primary-secondary coupling capacitance is prevented from being superimposed on the short-circuit current. Further, the fluctuation of the gate voltage of the MOSFET 42 is prevented, and the current limiting process by the current limiting circuit 40 can be executed reliably.
[0059]
According to this embodiment, even if the current limiting circuit is constituted by a series circuit of a forward biased FET and an impedance element, the same effect as that of the first embodiment can be obtained. In this way, the current value to be limited can be variously set according to the set value of the bias voltage and the resistance value of the resistor 41, and the current flowing at the time of short circuit does not increase over time. As a result, the current can be more reliably limited by the current limiting circuit as compared with the above-described embodiment, and the entire operation can be stabilized.
[0060]
In other words, in the method of limiting the overcurrent by configuring a current limiting circuit with an inductance element as in the above-described embodiment, it is necessary to arrange an inductance element having a large inductance. In this case, when viewed from the test power supply device 5 side, a large inductance is connected to the load, a voltage drop due to the inductance element occurs due to a change in the load current, and a phase delay occurs at a high frequency. As a result, the phase margin of the negative feedback circuit may be reduced or the operation may become unstable.
[0061]
However, according to this embodiment, by using the MOSFET, the impedance element is a resistor having a slight resistance value that can move the operating point of the FET to the saturation region, or an inductance having a small inductance in such a resistor. Elements can be provided connected in series, whereby the test power supply device 5 can be stably operated.
[0062]
Accordingly, in the circuit of FIG. 4, a series circuit of a resistor and an inductance element may be provided instead of the resistor 41. In this way, the current immediately after the occurrence of the short circuit accident can be made smaller than the original limit current, and the current limit operation can be performed more safely.
[0063]
In this case, the inductance value of the inductance element is characterized by a sufficiently small value compared to the case where the current is limited only by the inductance element. That is, when only the inductance element is used, when the short circuit occurs, most of the voltage applied at that time is applied to the inductance element. On the other hand, when a series circuit of a resistor and an inductance element is provided, overcurrent can be limited only by burdening a slight voltage that slightly reduces the forward bias voltage supplied to the gate of the MOSFET. Because it can.
[0064]
Note that the current limiting circuit 40 shown in FIG. 4 must be connected and used so that the voltage applied to the drain side of the MOSFET 42 has a positive polarity.
[0065]
(6) Sixth embodiment
FIG. 7 is a connection diagram showing a current limiting circuit applied to the test apparatus according to the sixth embodiment of the present invention. In this test apparatus, instead of the current limiting circuit according to the second, third, or fourth embodiment, the current limiting circuit 50 is arranged in the drive power supply path and / or the feedback path. The same configuration as the test apparatus according to the second, third or fourth embodiment is provided.
[0066]
Here, in the current limiting circuit 50, a first current limiting circuit is configured by a series circuit of a floating power source 51, an enhancement type MOSFET 53 biased forward by a resistor 52, and an impedance element 54 by a resistor. 51, a series circuit of an enhancement type MOSFET 56 forward-biased by a resistor 55 and an impedance element 57 by a resistor constitutes a second current limiting circuit, and each of the first and second current limiting circuits has a reverse polarity. Are connected in series so as to limit the current flowing with respect to the current.
[0067]
According to the configuration shown in FIG. 7, the same effect as that of the fifth embodiment can be obtained regardless of whether the polarity of the driving power supply applied to the test object is positive or negative. That is, in this current limiting circuit 50, when the polarity of the driving power supply applied to the test object is positive, the voltage drop caused by the resistor 57 increases the forward bias voltage of the MOSFET 56. It does not contribute to the current limiting operation at all. However, the voltage drop caused by resistor 54 reduces the forward bias voltage of MOSFET 53, which in this case limits the current during short circuit by MOSFET 53. On the other hand, when the polarity of the driving power supply is reversed, the MOSFET 53 does not contribute to the current limiting operation at all, whereas the MOSFET 56 can prevent overcurrent.
[0068]
(7) Seventh embodiment
In this embodiment, instead of the resistors 54 and 57 of the current limiting circuit applied to the sixth embodiment, the current limiting circuit is configured by an inductance element or a series circuit of an inductance element and a resistor.
[0069]
As described above, even if the current limiting circuit is configured by an inductance element or a series circuit of an inductance element and a resistor instead of the resistors 54 and 57 in the sixth embodiment, the same as in the sixth embodiment. In addition, it is possible to suppress an abrupt rise in current in the inductance element or the series circuit of the inductance element and the resistor.
[0070]
(8) Eighth embodiment
FIG. 8 is a connection diagram showing a current limiting circuit applied to the test apparatus according to the eighth embodiment of the present invention in comparison with FIG. This test apparatus is the same as the test apparatus according to the fifth embodiment, except that this current limit circuit 70 is arranged in the drive power supply path and / or the feedback path instead of the current limit circuit 40. Composed. The current limiting circuit 70 has the same configuration as that of the current limiting circuit 40 according to the fifth embodiment except that a constant current diode 71 is applied instead of the resistor 41.
[0071]
That is, in the current limiting circuit 40 of FIG. 4, when the current value to be limited is set to a small value, the resistance value of the impedance element 41 needs to be set to a high value. However, in this type of test apparatus, it is desired to avoid providing a circuit having such a high resistance value in the supply path of the driving power supply. Also, in the feedback path of the drive power supply, if the resistance value in the supply path of the drive power supply increases and the voltage drop in the supply path increases, a large current that the voltage drop in the feedback path cannot be ignored in the normal operation state. Flows to the protection circuit 10. Accordingly, it is not appropriate to provide a circuit having a high resistance value also in the feedback path.
[0072]
Here, the constant current diode 71 is usually composed of a junction FET in which a gate and a source are connected, and a drain and a source are set to an anode and a cathode, respectively. The constant current diode 71 is in a low resistance state in which the on-resistance is indicated by Rds (on) until the voltage between the anode and the cathode reaches the knee voltage, and the current flowing through the voltage between the anode and the cathode is proportional. On the other hand, when the voltage between the anode and the cathode exceeds the knee voltage, a constant current state is established, and the current value flowing with respect to the voltage between the anode and the cathode is held at a constant value.
[0073]
Thereby, in the current limiting circuit 70, when the flowing current is small, the constant current diode 71 shows a small resistance value due to the on-resistance Rds (on), and the flowing current increases so that the current flows between the anode and the cathode of the constant current diode 71. When the voltage exceeds the knee voltage, the voltage drop due to the constant current diode 71 increases abruptly, thereby switching the operating point of the FET 42 from the resistance region to the saturation region and limiting the overcurrent. Therefore, in a normal operation state, the current limiting circuit 70 can reduce the influence of providing the current limiting circuit in the path as compared with the configuration shown in FIG.
[0074]
In addition, by configuring a current limiting circuit by combining a constant current diode and a high breakdown voltage MOSFET in this way, a current limiting circuit that limits a high voltage test power supply is configured using a constant current diode with a low breakdown voltage. can do.
[0075]
According to the above configuration, the test apparatus can be operated more stably by configuring the current limiting circuit with a constant current diode instead of the impedance element.
[0076]
(9) Other embodiments
Note that the current limiting circuit according to the above-described eighth embodiment is for unipolarity like the current limiting circuit described with reference to FIG. When a current limiting circuit is configured by a combination of a constant current diode and a high breakdown voltage MOSFET and used in both polarities, the resistors 54 and 57 are replaced with constant current diodes in the current limiting circuit 50 shown in FIG. This can be handled.
[0077]
Further, in the above-described eighth embodiment, the case where the current limiting circuit is configured by the constant current diode has been described. However, the present invention is not limited to this, and the drain cutoff current I_DSSThe same effect can be obtained even if a MOSFET that is substantially equal to the current value limited by is used. A resistor having a small resistance value may be provided at the source of such a constant current diode, and the current value limited by the resistance value of the resistor may be adjusted.
[0078]
In the above embodiment, the case where the current limiting circuit is provided on the test power supply device side of the test head has been described. However, the present invention is not limited to this, and the test head is provided on the test target side of each relay. It may be.
[0079]
Further, in the above-described embodiment, the case where damage to each part due to a short-circuit accident to be tested is prevented is described on the assumption that a driving power supply having a relatively high voltage is supplied. The present invention can also be widely applied to supply of driving power by voltage.
[0080]
【The invention's effect】
As described above, according to the present invention, the current limiting circuit is provided on the test head side, and the current limiting circuit limits the excessive current at the time of short-circuiting, so that even if the test object is short-circuited, each part Damage can be effectively avoided.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a block diagram showing a main configuration of a test apparatus according to a first embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a characteristic curve diagram for explaining the operation of the test apparatus of FIG.
FIG. 3 is a connection diagram showing a current limiting circuit applied to a test apparatus according to a third embodiment of the present invention.
FIG. 4 is a connection diagram showing a current limiting circuit applied to a test apparatus according to a fourth embodiment of the present invention.
5 is a characteristic curve diagram showing characteristics of an FET applied to the current limiting circuit of FIG. 4. FIG.
6 is a connection diagram illustrating an example of a floating power supply applied to the current limiting circuit of FIG. 4;
FIG. 7 is a connection diagram showing a current limiting circuit applied to a test apparatus according to a sixth embodiment of the present invention.
FIG. 8 is a connection diagram showing a current limiting circuit applied to a test apparatus according to an eighth embodiment of the present invention.
FIG. 9 is a block diagram showing a conventional test apparatus.
[Explanation of symbols]
1, 21... Test device, 2, 22, 32... Test head, 3... Main body device, 4 .. Test target, 5 .. Test power supply device, Ss1 to Ssn, Sf1 to Sfn. , 24, 35, 50, 70 ... current limiting circuit, 23A, 24A, 36A, 37A ... inductance element, 23C, 24C, 36B, 37B, 41, 43, 52, 54, 55, 57 ... resistor, 23B , 24B, 36C, 37C ... Diode, 42, 53, 56 ... FET, 44, 51 ... Floating power supply, 71 ... Constant current diode

Claims

A test power supply unit which outputs the constant current control or constant voltage control of the power supply driving motion of the test subject,
In a test apparatus having a test head connected to the test power supply apparatus by a cable and applying at least the driving power supply to the test object,
The test head is
Connecting a power cable to the predetermined terminal to be tested and applying the driving power to the predetermined terminal, and connecting a voltage detection cable to the predetermined terminal;
The test power supply is
Connecting the output end of the drive power supply to the power supply cable, and outputting the drive power supply to the power supply cable;
The voltage detection cable is connected to a voltage detection end, and the power supply voltage for the power supply at the predetermined terminal detected via the voltage detection cable is a predetermined voltage. Control the voltage of the driving power output to the cable,
A current control mechanism for limiting a current value of the driving power supply;
In the test power supply device,
A protection circuit is provided that feeds back the drive power output to the power supply cable to the input terminal to prevent high voltage output of the drive power supply,
The test head includes
A first current limiting circuit for limiting a flowing current is provided between the power cable and the predetermined terminal ,
A test apparatus, wherein a second current limiting circuit for limiting a flowing current is provided between the voltage detection cable and the predetermined terminal .

The first and / or second current limiting circuit includes:
An inductance element;
The test apparatus according to claim 1, wherein the test apparatus is formed by a back electromotive force limiting circuit that limits a back electromotive force voltage of the inductance element.

The first and / or second current limiting circuit includes:
The test apparatus according to claim 1, wherein the test apparatus is a series circuit of a forward-biased transistor and an impedance element.

The first and / or second current limiting circuit includes:
The test apparatus according to claim 1, wherein the test apparatus is a series circuit of a forward-biased transistor and a constant current diode.