JP3990638B2 - Slider peeling method - Google Patents

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Description

【0001】
【発明の技術分野】
本発明は、磁気ヘッドアッセンブリにおいて、スライダが特性不良であった場合に部材再利用のため実行されるスライダ剥離方法に関する。
【0002】
【従来技術及びその問題点】
ハードディスクドライブ(HDD)で使用されるいわゆる磁気ヘッドアッセンブリは、例えば図10に示すように、ロードビーム203に例えばスポット溶接により固定された、可撓性を有する金属薄板からなるフレキシャ202を備え、このフレキシャ202の先端部に、電気磁気変換素子が一体形成されたスライダ201を接着して、ロードビーム203の弾性力と、スライダ201と回転するハード磁気ディスクとの間に発生する流体力とのバランスで、スライダ201のABS(Air Bearing Surface)面とハード磁気ディスクとの間隔を保っている。このような従来の磁気ヘッドアッセンブリは、例えば特開平7-73625号公報、特開平10-269538号公報、特開2000-21709号公報、特開2000-105913号公報等に開示されている。
【0003】
この種の磁気ヘッドアッセンブリは、出荷前に、動的な特性検査が行われる。動的な特性検査は、ロードビーム203に固定されたフレキシャ202にスライダ201を接着した状態でスピンスタンド等に装着され、ハード磁気ディスクを回転させた状態で行われる。この動的な特性検査は最終的な検査であるから、特性が基準を満足しなければ不良と判断される。従来では、動的特性不良と判断されると、不良の原因がスライダ201に存在する場合であっても磁気ヘッドアッセンブリすべてを破棄しており、歩留まりが低下していた。
【0004】
そこで最近では、不良の原因がスライダ201に存在する場合には、フレキシャ202からスライダ201を剥離して、フレキシャ202及びロードビーム203を再利用することが望まれている。
【0005】
しかしながら、フレキシャ202はロードビーム203に比して非常に薄く脆弱であるため、ロードビーム203に固定した状態のフレキシャ202からスライダ201を剥離しようとするとフレキシャ202が容易に変形してしまい、フレキシャ202及びロードビーム203を再利用することが難しかった。また、従来ではフレキシャ202の表面に、スライダ201(電気磁気変換素子)とこの磁気ヘッドアッセンブリが装着される装置の回路系とを接続するフレキシブル配線基板が装着されており、フレキシャ202からスライダ201を剥離しようとすると、フレキシブル配線基板の配線パターンがスライダ201と一緒に剥がれてしまい、再利用がより一層困難となっていた。
【0006】
【発明の目的】
本発明は、上述の従来課題に鑑みてなされたもので、フレキシャ及び配線パターンを変形させることなく、フレキシャからスライダを剥がすことが可能なスライダ剥離方法を提供することを目的とする。
【0007】
【発明の概要】
本発明は、スライダのボンディング接着部に予め切り込みを入れておけば、スライダを剥がす際にフレキシャや配線パターンに加わる応力が小さくなって、フレキシャや配線パターンの変形を防止できることに着目している。しかし、ボンディング接着部を形成する材料にはAuが多用されており、Auボンディング接着部に切り込みを入れようとすると、Au自体の展性及び延性により、切り込みが入らなかったり、切り込みを入れた部分が広がって隣りのAuボンディング接着部とくっついてしまったりなど、上手くいかない。本発明者は、通常のカッターではなく、超音波振動を与えながら部材を切断する超音波カッターを用いれば、AuやAg、Cu、半田のような展性や延性を有する金属材料であっても、切り込みを形成できることを見出した。
【0008】
すなわち本発明は、電気磁気変換素子を一体に備えるスライダと、このスライダをAu、Ag、Cuのいずれかよりなるボンディング接着部で接着した可撓性のフレキシャと、このフレキシャの表面に接着されていて、前記ボンディング接着部を介して前記電気磁気変換素子に電気的に接続するフレキシブル配線基板とを備えた磁気ヘッドアッセンブリにおいて、前記スライダが特性不良であった場合に前記フレキシャから該スライダを剥がす方法であって、フレキシャを、スライダのボンディング接着部を設けた面とは反対の面側で押さえて固定する工程と、フレキシャを固定した状態で、超音波カッターによりボンディング接着部に切り込みを形成し、該切込部の先端にボンディング接着部とフレキシャの接合部分を残す工程と、フレキシャを固定した状態で、ボンディング接着部に形成した切込部の先端を支点にして前記スライダを起立させ、該スライダをボンディング接着部から離れる方向に引っ張ることにより、ボンディング接着部と共にフレキシャから剥がす工程と、を含むことを特徴としている。
【0009】
スライダを剥がす工程では、ボンディング接着部の一部を前記フレキシブル配線基板の上に残して、スライダとボンディング接着部をフレキシャから剥がすことが好ましい。超音波カッターは、例えばフレキシャの表面に対して略平行に移動させ、これによりボンディング接着部に切り込みを形成することが好ましい。
【0010】
スライダは、ボンディング接着部とは別に樹脂接着剤により接着されていることが多い。このように樹脂接着剤が用いられている場合には、少なくとも超音波カッターによる切り込み形成工程の後に、樹脂接着剤の接着強度を低下させる加熱工程を行なうことが好ましい。
【0011】
以上の工程によれば、フレキシャを変形させることなく、さらに、フレキシャ表面に装着されたフレキシブル配線基板の配線パターンを剥がすことなく、スライダ及びボンディング接着部を容易にフレキシャから剥離することが可能になる。そして、スライダ及びボンディング接着部を剥離した後のフレキシャを再利用することができ、歩留まりの改善につながる。
【0012】
超音波カッターには、ボンディング接着部に対して切り込みを容易に形成できるように、超硬合金、ルビー、ジルコニアまたはダイヤモンド等の硬質材料から形成された刃を有する超音波カッターを用いることが好ましい。
【0014】
【発明の実施の形態】
図1は、本発明の適用対象となる、ハードディスクドライブ用の磁気ヘッドアッセンブリ(完成状態)の一実施形態を示している。磁気ヘッドアッセンブリ1は、電気磁気変換素子(磁気ヘッド)13が組み込まれたスライダ11と、このスライダ11を固定したフレキシャ21を備えている。フレキシャ21は、板ばね状の可撓性を有する薄い金属板であって、ロードビーム31の先端部に、ロードビーム31に対してスライダ11を弾性的に浮遊支持した状態で装着されている。このフレキシャ21の表面には、フレキシブル配線基板(FPC)22、23が接着剤による貼り付け等により固定されている。
【0015】
フレキシブル配線基板22、23は、図2に拡大して示すように、フレキシャ21の先端部に配置された端子部22a、22b、23a、23bを有し、これら端子部22a、22b、23a、23bから両側縁部に別れた後に両側縁部に沿って延び、フレキシャ21の後端縁部からさらに引き出され、中継用フレキシブル配線基板24を介して一つにまとめられている。磁気ヘッドアッセンブリ1が搭載されるハード磁気ディスク装置の制御回路(電子部品)には、中継用フレキシブル配線基板24の端部の各端子が接続される。上記各端子部22a、22b、23a、23bには、ボンディング接着部25によりスライダ11が接着されており、電気磁気変換素子13の各端子(図示せず)が導通する。本実施形態のボンディング接着部25は、Auにより形成されている。
【0016】
次に、磁気ヘッドアッセンブリ1の動的な特性検査工程について説明する。
磁気ヘッドアッセンブリ1の動的な特性検査は、フレキシャ21をロードビーム31に装着した完成状態の磁気ヘッドアッセンブリ1を、スピンスタンド等の検査機に装着して実施する。動的な特性検査の結果、良品と判定された磁気ヘッドアッセンブリ1は、製品となる。
【0017】
図3に、動的な特性を検査する検査装置の実施形態を示した。検査装置100は、ディスク状の磁気記録媒体(以下、磁気ディスクと呼ぶ)103に情報を記録したり、この磁気ディスク103の情報を再生したりするための磁気ヘッドを、磁気ディスク103を回転させて浮上させた状態で特性を検査する装置である。この検査装置100は、図3にその要部を示すように、スピンドルモータ101によって回転駆動される磁気ディスク103と、磁気ヘッドアッセンブリを固定するアーム105と、アーム105を精密移動するアクチュエータとして、モータ107、運動変換機構部109及びクロスローラーテーブル111を有している。なお、これらの部材は、図示しないベースフレーム上に装着されている。
【0018】
モータ107は、ブラケット113を介してベース115に固定されている。ベース115はブラケット113との間に空間を形成しており、この空間に運動変換機構部109が配置されている。ベース115は、ベースフレームに対して必要に応じて位置調整可能に装着されている。モータ107は、たとえば直流モータ(DCモータ)、ステッピングモータを使用することができ、アーム105に装着された磁気ヘッド(スライダ)を磁気ディスク103の直径方向(X方向)に微動、つまり所定のトラックにトラッキングできる回転精度を有している。運動変換機構部109は、クランク機構によって、モータの回転運動をアーム105のX方向直線運動に変換する構成である。
【0019】
アーム105は、クロスローラーテーブル111により、X方向に沿って、スライド可能に支持されている。アーム105の先端部には、コ字形状の、磁気ヘッドアッセンブリを着脱するための取付部106a、106bを有している。この取付部106a、106bには、2枚の磁気ヘッドアッセンブリをそれぞれ着脱自在に保持することができる。例えば、この実施形態では、ロードビーム31を取付部106a、106bに差し込み、取付部106a、106bにねじ121a、121bをねじ込むことにより、取付部106a、106bに対して着脱自在に固定する。スライダ11、11は、所定の間隔をおいて対面している。中継用フレキシブル配線基板24の端部端子が、書き込み/読み込み部(R/W制御部)131の入出力端子に接続される。
【0020】
以上のように磁気ヘッドアッセンブリが検査装置100に装着された状態で、この検査装置100により、スライダ11が磁気ディスク103の所定トラックまで駆動され、書き込み/読み込み部131により、スライダ11の磁気ヘッドによる磁気ディスク103への書き込み/読み込みが制御される。さらに、スライダ11の磁気ヘッドで読み込まれた信号からスライダ11等の特性を解析部132で解析し、少なくとも、所定の特性を満足しているか否かの解析結果を検査結果として結果表示部133に表示する。なお、結果は、表示するだけでなく、記録媒体に記録し、または印刷してもよい。
【0021】
この検査装置による検査結果、もしスライダ11が不良と判定された場合には、スライダ11をフレキシャ21から剥がして破棄し、フレキシャ21及びロードビーム31はリワーク品として再利用する。
【0022】
以下では、本発明の特徴部分である、スライダ11の剥離方法の一実施形態について説明する。本実施形態は、スライダ11をフレキシャ21から剥がす前にボンディング接着部25に切り込みを形成すること、及び、この切り込みを超音波カッター40により形成することに特徴を有している。
【0023】
先ず、図4に示すように、スライダ11の後端側(ボンディング接着部25を設けた面と反対側)にて、フレキシャ21をフレキシャ押え26で固定する。フレキシャ押え26には、フレキシャ21を固定するための適度な荷重を与える。
【0024】
次に、図5に示すように、刃具40aをボンディング接着部25に対向させた状態で超音波カッター40をフレキシャ21の表面と略平行(実際には約10°程度傾斜)にして図5の矢印方向に移動させ、ボンディング接着部25に切込部α(図6)を形成する。この切込部αは、図6に示すように、ボンディング接着部25とフレキシャ21との境界面付近に形成されることが好ましい。切込部αを形成する替わりに、ボンディング接着部25とフレキシャ21を完全に切り離しても差し支えない。ここで、超音波カッター40をフレキシャ21の表面と略平行に移動させる理由は、ボンディング接着部25をフレキシャ21上に必要以上に残さないようにするためである。ボンディング接着部25が必要以上に残ってしまうと、新たな(代替)スライダを搭載しづらく、フレキシャ21を再利用ができない場合がある。
【0025】
本実施形態では、上記超音波カッター40として、その刃具40aが超硬合金、ルビー、ジルコニアまたはダイヤモンド等の硬質材料から形成されている超音波カッターを用いる。
【0026】
切込部αを形成したら、図7に示すように、スライダ11の側面11aを挟んで起立させ、図示矢印方向にスライダ11を引っ張る。すると、ボンディング接着部25とフレキシャ21との接着が切込部αから分断され、ボンディング接着部25の切断片25’を残して、スライダ11がボンディング接着部25と一緒にフレキシャ21から剥がれる。この分断の際、切込部αが存在することによってフレキシャ21及びフレキシブル配線基板22、23へ加わる応力が抑えられると共に、フレキシャ21がフレキシャ押え26で固定されているので、フレキシブル配線基板22、23の各端子22a、22b、23a、23bがボンディング接着部25と一緒に剥がれてしまうことも、フレキシャ21が変形してしまうこともない。図8に、上記工程に従ってスライダ11を剥離した後のフレキシャ表面を示す。
【0027】
以上のように本実施形態によれば、超音波カッター40によりボンディング接着部25に切込部αを予め形成し、この切込部αが形成されている状態でスライダ11をフレキシャ21から剥がすので、フレキシャ21及びフレキシブル配線基板22、23を変形させることなく、スライダ11をフレキシャ21から容易に剥離することができる。よって、スライダ11が動的な特性検査において不良と判断された場合であっても、スライダ11を剥離することで、フレキシャ21(フレキシブル配線基板22、23を含む)及びロードビーム31を再利用することができ、歩留まりが改善される。なお、図9は、ボンディング接着部25に切込部を形成せずにスライダ11をフレキシャ21から剥離した後のフレキシャ表面を示している。この場合には、フレキシブル配線基板22の端子22a、22bが剥がれてしまっており、該フレキシブル配線基板22及びフレキシャ21の再利用は不可能である。
【0028】
本実施形態ではボンディング接着部25がAuにより形成されているが、ボンディング接着部25がAu、Ag、Cuまたは半田のような展性及び延性を有する金属材料で形成されている場合、その展性及び延性により、超音波振動を用いない通常のカッターではボンディング接着部25に切込部αを形成することができない。これに対し、本実施形態のように超音波カッター40を用いれば、展性及び延性を有する金属材料からなるボンディング接着部25にも切込部αを容易に形成することができる。このように通常のスピードで切断を試みても切断に要する力が加わらずにただつぶれるだけである上記金属材料が超音波カッター40によって容易に切断される理由は、超音波振動する刃具40aの早い動きに同金属材料が追従できず(慣性により動かず)、刃具40aと同金属材料との間に十分な力が加わるためだと考えられる。本発明は、Au、Ag、Cuまたは半田のような展性及び延性を有する金属材料からなるボンディング接着部25を設けた磁気ヘッドアッセンブリに対して、特に有効である。勿論、Au、Ag、Cuまたは半田以外の金属材料によってボンディング接着部25が形成された磁気ヘッドアッセンブリに対しても本発明は適用可能である。
【0029】
また本実施形態では、ボンディング接着部25のみでスライダ11をフレキシャ21に固定してあるが、実際には、ボンディング接着部25以外に補助接着部(主に樹脂接着)を設けてあるものが多い。このような補助接着部が設けられている場合には、スライダ11を剥がす前に、補助接着部を加熱するなどしてフレキシャ21との接着強度を弱めておくことが好ましい。より好ましくは、切込部αを形成した後に上記加熱工程を行なうのがよい。
【0030】
以上、図示実施形態に基づいて本発明を説明したが、本発明はその範囲を逸脱しない限りにおいて変更可能であり、図示実施形態に限定されるものではない。
【0031】
【発明の効果】
本発明のスライダ剥離方法によれば、スライダのボンディング接着部に予め切り込みを形成して該ボンディング接着部とフレキシャとの接着強度を弱めておくので、フレキシャや該フレキシャ表面の配線パターンを変形させることなくスライダを該フレキシャから容易に剥離することができ、フレキシャ(フレキシブル配線基板含む)及びロードビームの再利用が可能になる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明によるスライダ剥離方法の実施対象となる、磁気ヘッドアッセンブリ(完成状態)の一実施形態を示す平面図である。
【図2】図1のスライダ周辺部を示す拡大平面図である。
【図3】磁気ヘッドアッセンブリの動的な特性検査で使用する、検査装置の一実施形態を示す概略斜視図である。
【図4】本発明によるスライダ剥離方法の一工程を示す斜視図である。
【図5】図4に示す工程の次工程を示す(a)斜視図、(b)断面図である。
【図6】図5に示す工程で形成された切込部を示す断面図である。
【図7】図5に示す工程の次工程を示す斜視図である。
【図8】図7に示す工程によりスライダを剥がした後のフレキシャ表面を示す平面図である。
【図9】従来の剥離方法によりスライダを剥がした後のフレキシャ表面を示す平面図である。
【図10】従来の磁気ヘッドアッセンブリを示す斜視図である。
【符号の説明】
1 磁気ヘッドアッセンブリ
11 スライダ
21 フレキシャ
22 23 フレキシブル配線基板(FPC)
22a 23a 22b 23b 端子部
24 中継用フレキシブル配線基板
25 ボンディング接着部
25’ 切断片
26 フレキシャ押え
31 ロードビーム
40 超音波カッター
40a 刃具
100 検査装置
α 切込部
[0001]
TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION
The present invention relates to a slider peeling method executed for reusing a member in a magnetic head assembly when the slider has poor characteristics.
[0002]
[Prior art and its problems]
A so-called magnetic head assembly used in a hard disk drive (HDD) includes, for example, a flexure 202 made of a flexible thin metal plate fixed to a load beam 203 by spot welding, for example, as shown in FIG. A slider 201 integrally formed with an electromagnetism conversion element is bonded to the tip of the flexure 202 to balance the elastic force of the load beam 203 and the fluid force generated between the slider 201 and the rotating hard magnetic disk. Thus, the distance between the ABS (Air Bearing Surface) surface of the slider 201 and the hard magnetic disk is maintained. Such conventional magnetic head assemblies are disclosed in, for example, JP-A-7-73625, JP-A-10-269538, JP-A-2000-21709, JP-A-2000-105913, and the like.
[0003]
This type of magnetic head assembly is subjected to dynamic characteristic inspection before shipment. The dynamic characteristic inspection is performed in a state in which the slider 201 is attached to the flexure 202 fixed to the load beam 203 and attached to a spin stand or the like and the hard magnetic disk is rotated. Since this dynamic characteristic inspection is a final inspection, if the characteristic does not satisfy the standard, it is determined as defective. Conventionally, when it is determined that the dynamic characteristic is defective, even if the cause of the defect exists in the slider 201, all the magnetic head assemblies are discarded, and the yield is lowered.
[0004]
Therefore, recently, when the cause of the failure exists in the slider 201, it is desired to remove the slider 201 from the flexure 202 and reuse the flexure 202 and the load beam 203.
[0005]
However, since the flexure 202 is very thin and fragile as compared with the load beam 203, the flexure 202 is easily deformed when the slider 201 is peeled from the flexure 202 fixed to the load beam 203. And it was difficult to reuse the load beam 203. Conventionally, a flexible wiring board that connects the slider 201 (electromagnetic transducer) and a circuit system of a device to which the magnetic head assembly is mounted is mounted on the surface of the flexure 202, and the slider 201 is moved from the flexure 202. When it is attempted to peel off, the wiring pattern of the flexible wiring board is peeled off together with the slider 201, making reuse more difficult.
[0006]
OBJECT OF THE INVENTION
The present invention has been made in view of the above-described conventional problems, and an object thereof is to provide a slider peeling method capable of peeling a slider from a flexure without deforming the flexure and a wiring pattern.
[0007]
SUMMARY OF THE INVENTION
The present invention focuses on the fact that if a slit is previously cut into the bonding bonding portion of the slider, the stress applied to the flexure and the wiring pattern is reduced when the slider is peeled off, and deformation of the flexure and the wiring pattern can be prevented. However, Au is frequently used as a material for forming the bonding adhesion portion, and when the cut is made in the Au bonding adhesion portion, the cut or no cut portion is caused by the malleability and ductility of Au itself. It spreads out and sticks to the adjacent Au bonding adhesion part. If the present inventor uses not an ordinary cutter but an ultrasonic cutter that cuts a member while applying ultrasonic vibration, even if it is a metal material having malleability and ductility such as Au, Ag, Cu, and solder. And found that a cut can be formed.
[0008]
That is, the present invention includes a slider integrally provided with an electro-magnetic transducer, a flexible flexure in which the slider is bonded by a bonding adhesive portion made of Au, Ag, or Cu, and the surface of the flexure. In a magnetic head assembly including a flexible wiring board electrically connected to the electro-magnetic transducer through the bonding adhesion portion, a method of peeling the slider from the flexure when the slider has poor characteristics Then, the step of fixing the flexure on the surface opposite to the surface on which the bonding bonding portion of the slider is provided, and the flexure is fixed, and an incision is formed in the bonding bonding portion with an ultrasonic cutter , a step of leaving a joint portion of a bonding adhesive portion and the flexure at the distal end of該切write unit, flexible In a state of fixing the turbocharger, and the tip of the cutting portion formed in the bonding adhesive portion as a fulcrum is raised the slider, by pulling away the slider from the bonding adhesive portion, the step of peeling the flexure with bonding adhesive portion It is characterized by including.
[0009]
In the step of peeling off the slider, it is preferable that a part of the bonding adhesion portion is left on the flexible wiring board, and the slider and the bonding adhesion portion are peeled off from the flexure. The ultrasonic cutter is preferably moved, for example, substantially parallel to the surface of the flexure, thereby forming a cut in the bonding portion.
[0010]
In many cases, the slider is bonded by a resin adhesive separately from the bonding bonding portion. Thus, when the resin adhesive is used, it is preferable to perform the heating process which reduces the adhesive strength of a resin adhesive at least after the notch formation process by an ultrasonic cutter.
[0011]
According to the above steps, the slider and the bonding adhesive portion can be easily peeled off from the flexure without deforming the flexure and without peeling off the wiring pattern of the flexible wiring board mounted on the surface of the flexure. . Then, the flexure after the slider and the bonding bonded portion are peeled can be reused, leading to an improvement in yield.
[0012]
As the ultrasonic cutter, it is preferable to use an ultrasonic cutter having a blade formed of a hard material such as cemented carbide, ruby, zirconia, or diamond so that a cut can be easily formed in the bonding bonded portion.
[0014]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
FIG. 1 shows an embodiment of a magnetic head assembly (completed state) for a hard disk drive to which the present invention is applied. The magnetic head assembly 1 includes a slider 11 in which an electro-magnetic transducer (magnetic head) 13 is incorporated, and a flexure 21 to which the slider 11 is fixed. The flexure 21 is a thin metal plate having a flexible shape like a leaf spring, and is attached to the tip end portion of the load beam 31 in a state where the slider 11 is elastically supported in a floating manner with respect to the load beam 31. Flexible wiring boards (FPC) 22 and 23 are fixed to the surface of the flexure 21 by bonding with an adhesive or the like.
[0015]
As shown in an enlarged view in FIG. 2, the flexible wiring boards 22 and 23 have terminal portions 22a, 22b, 23a, and 23b disposed at the distal end portion of the flexure 21, and these terminal portions 22a, 22b, 23a, and 23b. After being separated into both side edges, it extends along both side edges, is further pulled out from the rear end edge of the flexure 21, and is integrated together via the relay flexible wiring board 24. Each terminal at the end of the flexible wiring board for relay 24 is connected to a control circuit (electronic component) of the hard magnetic disk drive on which the magnetic head assembly 1 is mounted. The slider 11 is bonded to the terminal portions 22a, 22b, 23a, and 23b by a bonding adhesive portion 25, and the terminals (not shown) of the electro-magnetic transducer 13 are conducted. The bonding adhesion part 25 of this embodiment is formed of Au.
[0016]
Next, the dynamic characteristic inspection process of the magnetic head assembly 1 will be described.
The dynamic characteristic inspection of the magnetic head assembly 1 is performed by mounting the completed magnetic head assembly 1 with the flexure 21 mounted on the load beam 31 on an inspection machine such as a spin stand. As a result of the dynamic characteristic inspection, the magnetic head assembly 1 determined to be non-defective is a product.
[0017]
FIG. 3 shows an embodiment of an inspection apparatus for inspecting dynamic characteristics. The inspection apparatus 100 rotates a magnetic disk 103 with a magnetic head for recording information on a disk-shaped magnetic recording medium (hereinafter referred to as a magnetic disk) 103 and reproducing information on the magnetic disk 103. It is a device that inspects the characteristics in the state of floating. As shown in FIG. 3, the inspection apparatus 100 includes a magnetic disk 103 that is rotated by a spindle motor 101, an arm 105 that fixes a magnetic head assembly, and an actuator that moves the arm 105 precisely. 107, a motion conversion mechanism 109 and a cross roller table 111 are provided. These members are mounted on a base frame (not shown).
[0018]
The motor 107 is fixed to the base 115 via a bracket 113. A space is formed between the base 115 and the bracket 113, and the motion conversion mechanism 109 is disposed in this space. The base 115 is attached to the base frame so that the position can be adjusted as necessary. For example, a direct current motor (DC motor) or a stepping motor can be used as the motor 107. The magnetic head (slider) mounted on the arm 105 is finely moved in the diameter direction (X direction) of the magnetic disk 103, that is, a predetermined track. The rotation accuracy can be tracked. The motion conversion mechanism unit 109 is configured to convert the rotational motion of the motor into the X-direction linear motion of the arm 105 by a crank mechanism.
[0019]
The arm 105 is slidably supported along the X direction by the cross roller table 111. At the tip of the arm 105, there are mounting portions 106a and 106b for attaching and detaching the U-shaped magnetic head assembly. Two magnetic head assemblies can be detachably held on the attachment portions 106a and 106b. For example, in this embodiment, the load beam 31 is inserted into the attachment portions 106a and 106b, and the screws 121a and 121b are screwed into the attachment portions 106a and 106b, thereby being detachably fixed to the attachment portions 106a and 106b. The sliders 11 and 11 face each other at a predetermined interval. An end terminal of the relay flexible wiring board 24 is connected to an input / output terminal of a writing / reading unit (R / W control unit) 131.
[0020]
With the magnetic head assembly mounted on the inspection apparatus 100 as described above, the inspection apparatus 100 drives the slider 11 to a predetermined track of the magnetic disk 103, and the writing / reading unit 131 uses the magnetic head of the slider 11. Writing / reading on the magnetic disk 103 is controlled. Further, the characteristics of the slider 11 and the like are analyzed by the analysis unit 132 from the signal read by the magnetic head of the slider 11, and the analysis result whether or not at least the predetermined characteristic is satisfied is displayed as a test result on the result display unit 133. indicate. The result may be recorded on a recording medium or printed as well as displayed.
[0021]
If it is determined that the slider 11 is defective, the slider 11 is peeled off from the flexure 21 and discarded, and the flexure 21 and the load beam 31 are reused as rework products.
[0022]
Below, one Embodiment of the peeling method of the slider 11 which is the characterizing part of this invention is described. The present embodiment is characterized in that a cut is formed in the bonding adhesive portion 25 before the slider 11 is peeled off from the flexure 21 and that this cut is formed by the ultrasonic cutter 40.
[0023]
First, as shown in FIG. 4, the flexure 21 is fixed by the flexure presser 26 on the rear end side of the slider 11 (the side opposite to the surface on which the bonding adhesive portion 25 is provided). An appropriate load for fixing the flexure 21 is given to the flexure presser 26.
[0024]
Next, as shown in FIG. 5, the ultrasonic cutter 40 is made substantially parallel to the surface of the flexure 21 with the cutting tool 40a facing the bonding adhesive portion 25 (actually about 10 ° inclined). By moving in the direction of the arrow, a cut portion α (FIG. 6) is formed in the bonding adhesion portion 25. As shown in FIG. 6, the cut portion α is preferably formed in the vicinity of the boundary surface between the bonding bonded portion 25 and the flexure 21. Instead of forming the cut portion α, the bonding adhesive portion 25 and the flexure 21 may be completely separated. Here, the reason why the ultrasonic cutter 40 is moved substantially parallel to the surface of the flexure 21 is to prevent the bonding adhesion portion 25 from remaining on the flexure 21 more than necessary. If the bonding adhesion portion 25 remains more than necessary, it may be difficult to mount a new (alternative) slider and the flexure 21 may not be reused.
[0025]
In the present embodiment, as the ultrasonic cutter 40, an ultrasonic cutter in which the cutting tool 40a is formed of a hard material such as cemented carbide, ruby, zirconia, or diamond is used.
[0026]
After the cut portion α is formed, as shown in FIG. 7, the slider 11 is erected with the side surface 11a interposed therebetween, and the slider 11 is pulled in the direction of the arrow shown in the drawing. Then, the bonding between the bonding bonding portion 25 and the flexure 21 is cut off from the cut portion α, and the slider 11 is peeled off from the flexure 21 together with the bonding bonding portion 25 while leaving a cut piece 25 ′ of the bonding bonding portion 25. At the time of the division, the stress applied to the flexure 21 and the flexible wiring boards 22 and 23 is suppressed by the presence of the cut portion α, and the flexure 21 is fixed by the flexure presser 26. The terminals 22a, 22b, 23a, and 23b are not peeled off together with the bonding adhesive portion 25, and the flexure 21 is not deformed. FIG. 8 shows the surface of the flexure after the slider 11 is peeled according to the above process.
[0027]
As described above, according to the present embodiment, the cut portion α is formed in the bonding adhesion portion 25 by the ultrasonic cutter 40 in advance, and the slider 11 is peeled from the flexure 21 in a state where the cut portion α is formed. The slider 11 can be easily peeled from the flexure 21 without deforming the flexure 21 and the flexible wiring boards 22 and 23. Therefore, even when the slider 11 is determined to be defective in the dynamic characteristic inspection, the flexure 21 (including the flexible wiring boards 22 and 23) and the load beam 31 are reused by peeling the slider 11. And the yield is improved. FIG. 9 shows the surface of the flexure after the slider 11 is peeled off from the flexure 21 without forming a notch in the bonding bonding portion 25. In this case, the terminals 22a and 22b of the flexible wiring board 22 are peeled off, and the flexible wiring board 22 and the flexure 21 cannot be reused.
[0028]
In the present embodiment, the bonding bonding portion 25 is formed of Au. However, when the bonding bonding portion 25 is formed of a metal material having malleability and ductility such as Au, Ag, Cu, or solder, the malleability is high. In addition, due to ductility, a normal cutter that does not use ultrasonic vibration cannot form the cut portion α in the bonding adhesion portion 25. On the other hand, when the ultrasonic cutter 40 is used as in the present embodiment, the cut portion α can be easily formed in the bonding adhesion portion 25 made of a metal material having malleability and ductility. The reason why the metal material that is simply crushed without applying the force required for cutting even when attempting to cut at a normal speed is easily cut by the ultrasonic cutter 40 is that the cutting tool 40a that vibrates ultrasonically is fast. This is probably because the metal material cannot follow the movement (it does not move due to inertia), and a sufficient force is applied between the cutting tool 40a and the metal material. The present invention is particularly effective for a magnetic head assembly provided with a bonding adhesion portion 25 made of a metal material having malleability and ductility such as Au, Ag, Cu, or solder. Of course, the present invention can also be applied to a magnetic head assembly in which the bonding adhesion portion 25 is formed of a metal material other than Au, Ag, Cu, or solder.
[0029]
Further, in this embodiment, the slider 11 is fixed to the flexure 21 only by the bonding adhesive portion 25. However, in reality, there are many cases where an auxiliary adhesive portion (mainly resin bonding) is provided in addition to the bonding adhesive portion 25. . In the case where such an auxiliary bonding portion is provided, it is preferable to weaken the bonding strength with the flexure 21 by heating the auxiliary bonding portion before the slider 11 is peeled off. More preferably, the heating step is performed after the cut portion α is formed.
[0030]
As mentioned above, although this invention was demonstrated based on illustration embodiment, this invention can be changed unless it deviates from the range, and is not limited to illustration embodiment.
[0031]
【The invention's effect】
According to the slider peeling method of the present invention, a notch is formed in advance in the bonding bonding portion of the slider to weaken the bonding strength between the bonding bonding portion and the flexure, so that the flexure and the wiring pattern on the flexure surface can be deformed. Therefore, the slider can be easily separated from the flexure, and the flexure (including the flexible wiring board) and the load beam can be reused.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a plan view showing an embodiment of a magnetic head assembly (completed state), which is a target for carrying out a slider peeling method according to the present invention.
FIG. 2 is an enlarged plan view showing a peripheral portion of the slider in FIG. 1;
FIG. 3 is a schematic perspective view showing an embodiment of an inspection apparatus used for dynamic characteristic inspection of a magnetic head assembly.
FIG. 4 is a perspective view showing one step of a slider peeling method according to the present invention.
5A is a perspective view and FIG. 5B is a cross-sectional view showing a step subsequent to the step shown in FIG. 4;
6 is a cross-sectional view showing a cut portion formed in the step shown in FIG. 5. FIG.
7 is a perspective view showing a step subsequent to the step shown in FIG. 5. FIG.
8 is a plan view showing the surface of the flexure after the slider is peeled off by the process shown in FIG.
FIG. 9 is a plan view showing the surface of the flexure after the slider is peeled off by a conventional peeling method.
FIG. 10 is a perspective view showing a conventional magnetic head assembly.
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Magnetic head assembly 11 Slider 21 Flexure 22 23 Flexible wiring board (FPC)
22a 23a 22b 23b Terminal portion 24 Relay flexible wiring board 25 Bonding adhesive portion 25 ′ Cutting piece 26 Flexure presser 31 Load beam 40 Ultrasonic cutter 40a Cutting tool 100 Inspection device α Cutting portion

Claims (5)

電気磁気変換素子を一体に備えるスライダと、このスライダをAu、Ag、Cuのいずれかよりなるボンディング接着部で接着した可撓性のフレキシャと、このフレキシャの表面に接着されていて、前記ボンディング接着部を介して前記電気磁気変換素子に電気的に接続するフレキシブル配線基板とを備えた磁気ヘッドアッセンブリにおいて、前記スライダが特性不良であった場合に前記フレキシャから該スライダを剥がす方法であって、
前記フレキシャを、前記スライダのボンディング接着部を設けた面とは反対の面側で押さえて固定する工程と、
前記フレキシャを固定した状態で、超音波カッターにより前記ボンディング接着部に切り込みを形成し、該切込部の先端に前記ボンディング接着部と前記フレキシャの接合部分を残す工程と、
前記フレキシャを固定した状態で、前記ボンディング接着部に形成した切込部の先端を支点にして前記スライダを起立させ、該スライダを前記ボンディング接着部から離す方向に引張することにより前記ボンディング接着部と共に前記フレキシャから剥がす工程と、
を含むことを特徴とするスライダ剥離方法。
A slider provided integrally with an electromagnetism conversion element, a flexible flexure in which the slider is bonded by a bonding adhesive portion made of Au, Ag, or Cu, and bonded to the surface of the flexure. In a magnetic head assembly comprising a flexible wiring board electrically connected to the electro-magnetic transducer through a section, the slider is peeled off from the flexure when the slider has poor characteristics,
Pressing and fixing the flexure on the side of the slider opposite to the side on which the bonding adhesive portion is provided; and
In a state where the flexure is fixed , forming an incision in the bonding adhesive portion with an ultrasonic cutter , leaving a bonding portion between the bonding adhesive portion and the flexure at the tip of the incision portion ;
With the flexure fixed, together with the bonding adhesive part, the slider is raised with the tip of the notch formed in the bonding adhesive part as a fulcrum, and the slider is pulled away from the bonding adhesive part. Peeling from the flexure;
A slider peeling method comprising:
請求項1記載のスライダ剥離方法において、前記スライダを剥がす工程では、前記ボンディング接着部の一部を前記フレキシブル配線基板の上に残して、前記スライダと前記ボンディング接着部を前記フレキシャから剥がすスライダ剥離方法。2. The slider peeling method according to claim 1 , wherein in the step of peeling off the slider, a part of the bonding adhesion portion is left on the flexible wiring board, and the slider and the bonding adhesion portion are peeled off from the flexure. . 請求項1または2記載のスライダ剥離方法において、前記超音波カッターを前記フレキシャの表面に対して略平行に移動させ、前記ボンディング接着部に切り込みを形成するスライダ剥離方法。3. The slider peeling method according to claim 1, wherein the ultrasonic cutter is moved substantially parallel to the surface of the flexure to form a cut in the bonding adhesion portion. 4. 請求項1ないし3のいずれか一項に記載のスライダ剥離方法において、前記スライダは前記ボンディング接着部とは別に樹脂接着剤により接着されており、少なくとも前記超音波カッターによる切り込み形成工程の後に、前記樹脂接着剤の接着強度を低下させる加熱工程を有するスライダ剥離方法。The slider peeling method according to any one of claims 1 to 3, wherein the slider is bonded with a resin adhesive separately from the bonding bonding portion, and at least after the notch forming step by the ultrasonic cutter, The slider peeling method which has a heating process which reduces the adhesive strength of a resin adhesive. 請求項1ないし4のいずれか一項に記載のスライダ剥離方法において、前記超音波カッターには、超硬合金、ルビー、ジルコニアまたはダイヤモンドから形成された刃を有する超音波カッターを用いるスライダ剥離方法。The slider peeling method according to any one of claims 1 to 4, wherein the ultrasonic cutter uses an ultrasonic cutter having a blade formed of cemented carbide, ruby, zirconia, or diamond.
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