JP2002015410A - Method and device for adjusting load of magnetic head device - Google Patents

Method and device for adjusting load of magnetic head device

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JP2002015410A
JP2002015410A JP2000197128A JP2000197128A JP2002015410A JP 2002015410 A JP2002015410 A JP 2002015410A JP 2000197128 A JP2000197128 A JP 2000197128A JP 2000197128 A JP2000197128 A JP 2000197128A JP 2002015410 A JP2002015410 A JP 2002015410A
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JP
Japan
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load
head
magnetic head
laser
arm
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JP2000197128A
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Japanese (ja)
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Akihiro Hosokawa
明博 細川
Satoru Yamaguchi
哲 山口
Makoto Ohashi
誠 大橋
Mitsuo Hayashi
光雄 林
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TDK Corp
Original Assignee
TDK Corp
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Publication date
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  • Adjustment Of The Magnetic Head Position Track Following On Tapes (AREA)
  • Supporting Of Heads In Record-Carrier Devices (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method for adjusting the load of a magnetic head device on a magnetic disk at the stage of HGA, HAA, or HAS. SOLUTION: The load of a magnetic head device 95 on a magnetic disk is adjusted. The magnetic head device 95 includes a head support 1 and a magnetic head 2. The head support 1 includes a flexible body 12 and a load beam 11. One end of the load beam 11 is free. One side of the flexible body 12 is connected to the free end of the load beam 11. The magnetic head 2 is attached to the flexible body 12. Bending for a load adjustment is added to the load beam 11, and a bending area 6 is irradiated with a laser LA.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、浮上型磁気ヘッド
装置の荷重を調整する方法及び装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method and an apparatus for adjusting the load of a flying magnetic head device.

【0002】[0002]

【従来の技術】浮上型磁気ディスク装置において、磁気
ヘッドを支持する構造は、磁気ヘッドをジンバルに取り
付けたヘッド.ジンバル組立体(Head Gimbal Assembl
y、以下HGAと称する)、HGAをアームに取り付け
たヘッド.アーム組立体(Head Arm Assembly、以下H
AAと称する)、及び、複数のHAAをスタックしたヘ
ッド.スタック組立体(Head Stack Assembly、以下H
SAと称する)の3つの態様に分けられる。
2. Description of the Related Art In a floating magnetic disk drive, a structure for supporting a magnetic head is a head having a magnetic head mounted on a gimbal. Gimbal assembly (Head Gimbal Assembl)
y, hereinafter referred to as HGA), a head having an HGA attached to an arm. Head Arm Assembly (hereinafter H)
AA), and a head in which a plurality of HAAs are stacked. Stack Assembly (H)
SA).

【0003】浮上型の磁気ディスク装置では、高密度記
録再生及び安定した浮上特性を達成するため、磁気ヘッ
ドから磁気ディスクに加わる荷重が所定の値に設定され
ていることが基本的な要求事項となる。
[0003] In a floating type magnetic disk drive, a basic requirement is that a load applied from a magnetic head to a magnetic disk is set to a predetermined value in order to achieve high density recording / reproducing and stable flying characteristics. Become.

【0004】従来は、HGAの段階で荷重を所定値に修
正していた。しかし、最近は、HAA、HSAでの仕上
がり規格が、狭く、かつ、厳しくなっており、HGAの
段階で、荷重が規格内の値に調整されていても、HGA
からHAA、更にはHSAに至るまでの工程において、
荷重が所定値からずれてしまい、HAA、HSAの段階
で、規格内に入らなくなることがある。
Conventionally, the load was corrected to a predetermined value at the stage of HGA. However, recently, the finish standards for HAA and HSA have become narrow and strict, and even if the load is adjusted to a value within the standards at the HGA stage,
In the process from to HAA and further to HSA,
The load may deviate from the predetermined value, and may not be within the standard at the stage of HAA and HSA.

【0005】HAA、HSAの段階で、荷重が所定の角
度内にないとして、不良品扱いにすることは、複雑なプ
ロセスを経て製造された高価な磁気ヘッド、及び、高価
なジンバル及びロードビームの廃棄、更には、HGA、
HAA及びHSAの組立コストを無にすることを意味す
るから、許されない。
[0005] At the stage of HAA and HSA, if the load is not within a predetermined angle and the product is treated as a defective product, it is necessary to use an expensive magnetic head manufactured through a complicated process, and an expensive gimbal and load beam. Disposal, and even HGA,
It is not allowed because it means to eliminate the cost of assembling HAA and HSA.

【0006】また、従来は、HGAの段階において、押
圧治具を用いた機械的押圧によって、荷重ずれを修正し
ていた。この押圧治具を用いた調整方法では、ロードビ
ームの軸線上の1点を支点にして、他点を押圧すること
によって、ロードビームを曲げ、それによって磁気ヘッ
ドの荷重を調整する。
[0006] Conventionally, at the stage of HGA, the load deviation has been corrected by mechanical pressing using a pressing jig. In the adjusting method using this pressing jig, the load beam is bent by pressing one point on the axis of the load beam as a fulcrum and pressing the other point, thereby adjusting the load of the magnetic head.

【0007】しかしながら、機械的押圧により、ロード
ビームに大きな曲げ変位を与えても、ロードビームの有
する復元力のために、曲げが元に戻る。このことは、所
定の荷重を与える曲げ変位よりも、著しく大きな曲げ変
位で曲げなければならないことを意味する。この大きな
曲げ変位内に、他の構成部分が存在する場合は、必要な
曲げ変位をとることができなくなる。
However, even if a large bending displacement is applied to the load beam by mechanical pressing, the bending returns to the original state due to the restoring force of the load beam. This means that the bending must be performed with a bending displacement that is significantly larger than the bending displacement that applies a predetermined load. If other components exist within this large bending displacement, the necessary bending displacement cannot be obtained.

【0008】[0008]

【発明が解決しようとする課題】本発明の課題は、HG
Aの段階で、小さな曲げ変位を与えるだけで、大きな荷
重変化量を確保し得る磁気ヘッド装置のための荷重調整
方法及び装置を提供することである。
An object of the present invention is to provide an HG
An object of the present invention is to provide a load adjustment method and apparatus for a magnetic head device which can secure a large load change amount by giving only a small bending displacement at the stage A.

【0009】本発明のもう一つの課題は、HAAの段階
で、荷重を調整する方法及び装置を提供することであ
る。
Another object of the present invention is to provide a method and apparatus for adjusting the load at the stage of HAA.

【0010】本発明のもう一つの課題は、腕片に小さな
曲げ変位を与えるだけで、必要な曲げ変位量を確保し得
るHAAの調整方法及び装置を提供することである。
Another object of the present invention is to provide a method and an apparatus for adjusting an HAA which can secure a required amount of bending displacement by giving only a small bending displacement to an arm piece.

【0011】本発明の更にもう一つの課題は、HSAの
段階で、荷重を調整する方法及び装置を提供することで
ある。
Yet another object of the present invention is to provide a method and apparatus for adjusting the load at the stage of HSA.

【0012】本発明の更にもう一つの課題は、HSAの
段階で、ブロックを構成する腕片に小さな曲げ変位を与
えるだけで、必要な曲げ変位量を確保し得る調整方法及
び装置を提供することである。
Still another object of the present invention is to provide an adjusting method and an apparatus which can secure a necessary amount of bending displacement by giving a small bending displacement to an arm piece constituting a block at the stage of HSA. It is.

【0013】[0013]

【課題を解決するための手段】上述した課題を解決する
ため、本発明に係る荷重調整方法は、まず、HGAの段
階において、磁気ヘッド装置の荷重を調整するのに適用
される。前記磁気ヘッド装置は、ヘッド支持体と、磁気
ヘッドとを含む。前記ヘッド支持体は、可撓体と、ロー
ドビームとを含む。
In order to solve the above-mentioned problems, a load adjusting method according to the present invention is applied to adjust the load of a magnetic head device in an HGA stage. The magnetic head device includes a head support and a magnetic head. The head support includes a flexible body and a load beam.

【0014】前記ロードビームは、一端が自由端であ
り、前記可撓体は、一面が前記ロードビームの自由端側
に接続されている。前記磁気ヘッドは、前記可撓体の他
面に取り付けられている。
One end of the load beam is a free end, and one surface of the flexible body is connected to the free end of the load beam. The magnetic head is attached to the other surface of the flexible body.

【0015】荷重調整に亜縦、前記ロードビームを曲げ
を加える。ロードビームに荷重調整のための曲げを加え
た場合、ロードビームには曲げに応じた応力が発生す
る。本発明では、ロードビームの曲げ領域にレーザを照
射する。これにより、レーザを照射された曲げ領域にお
ける応力が、レーザの照射に伴う熱により、開放され
る。このため、このレーザ照射を受けた曲げ領域では、
ロードビームの復元量が小さくなり、加えられた曲げ角
度に近い角度で曲ることになる。このことは、ロードビ
ームに与えられる曲げ変化量が小さくとも、ロードビー
ムに対し、大きな曲げ角度を付与できることを意味す
る。よって、ロードビームを、小さな曲げ角度で曲げる
だけで、大きな荷重変化量を確保することができる。
The load beam is bent vertically to adjust the load. When bending for load adjustment is applied to the load beam, a stress corresponding to the bending is generated in the load beam. In the present invention, the laser is irradiated to the bending region of the load beam. Thereby, the stress in the bending region irradiated with the laser is released by the heat accompanying the laser irradiation. For this reason, in the bending region that has been subjected to this laser irradiation,
The amount of restoration of the load beam is reduced, and the bending is performed at an angle close to the added bending angle. This means that a large bending angle can be given to the load beam even if the amount of bending change given to the load beam is small. Therefore, a large load change can be ensured only by bending the load beam at a small bending angle.

【0016】本発明は、更に、HAAに適用される調整
方法を開示する。前記HAAは、腕片と、ヘッド支持体
と、磁気ヘッドとを含む。前記ヘッド支持体は、一端が
前記腕片に固定されている。前記磁気ヘッドは前記ヘッ
ド支持体の他端側に取り付けられている。
The present invention further discloses an adjustment method applied to HAA. The HAA includes an arm piece, a head support, and a magnetic head. One end of the head support is fixed to the arm piece. The magnetic head is attached to the other end of the head support.

【0017】上記構成のHAAにおいて、腕片またはヘ
ッド支持体に曲げを加え、腕片またはヘッド支持体の曲
げ領域にレーザを照射する。
In the HAA configured as described above, a bend is applied to the arm piece or the head support, and a laser is irradiated to the bending area of the arm piece or the head support.

【0018】腕片またはヘッド支持体に曲げを加えた場
合、腕片またはヘッド支持体には曲げに応じた応力が発
生する。本発明では、曲げ領域にレーザを照射する。こ
れにより、レーザを照射された曲げ領域における応力
が、レーザの照射に伴う熱により、開放される。このた
め、このレーザ照射を受けた曲げ領域では、腕片または
ヘッド支持体の復元量が小さくなり、加えられた曲げ角
度に近い角度で曲ることになる。このことは、腕片また
はヘッド支持体に与えられる曲げ変化量が小さくとも、
腕片またはヘッド支持体に対し、大きな曲げ角度を付与
できることを意味する。よって、腕片またはヘッド支持
体を、小さな曲げ角度で曲げるだけでよい。
When a bend is applied to the arm piece or the head support, a stress corresponding to the bending is generated in the arm piece or the head support. In the present invention, a laser is applied to the bending region. Thereby, the stress in the bending region irradiated with the laser is released by the heat accompanying the laser irradiation. For this reason, in the bending area which has been subjected to the laser irradiation, the restoration amount of the arm piece or the head support is small, and the bending is performed at an angle close to the added bending angle. This means that even if the amount of bending change given to the arm piece or the head support is small,
This means that a large bending angle can be given to the arm piece or the head support. Thus, it is only necessary to bend the arm piece or the head support at a small bending angle.

【0019】本発明は、更に、HSAに適用される荷重
調整方法を開示する。前記HSAは、ブロックと、ヘッ
ド支持体と、磁気ヘッドとを含む。
The present invention further discloses a load adjusting method applied to the HSA. The HSA includes a block, a head support, and a magnetic head.

【0020】前記ブロックは、複数の腕片を有し、前記
複数の腕片は間隔を隔てて順次に配列されている。前記
ヘッド支持体は、前記腕片のそれぞれ毎に備えられ、一
端が前記腕片に固定されている。前記磁気ヘッドは、前
記ヘッド支持体のそれぞれ毎に備えられ、前記ヘッド支
持体の他端側に取り付けられている。
The block has a plurality of arm pieces, and the plurality of arm pieces are sequentially arranged at intervals. The head support is provided for each of the arm pieces, and one end is fixed to the arm pieces. The magnetic head is provided for each of the head supports, and is attached to the other end of the head support.

【0021】上記構成のHSAにおいて、腕片またはヘ
ッド支持体に曲げを加え、腕片またはヘッド支持体の曲
げ領域にレーザを照射する。
In the above-described HSA, a bending is applied to the arm piece or the head support, and a laser is irradiated to the bending area of the arm piece or the head support.

【0022】腕片またはヘッド支持体に曲げを加えた場
合、腕片またはヘッド支持体には曲げに応じた応力が発
生する。本発明では、曲げ領域にレーザを照射する。こ
れにより、レーザを照射された曲げ領域における応力
が、レーザの照射に伴う熱により、開放される。このた
め、このレーザ照射を受けた曲げ領域では、腕片または
ヘッド支持体の復元量が小さくなり、加えられた曲げ角
度に近い角度で曲ることになる。このことは、腕片また
はヘッド支持体に与えられる曲げ変化量が小さくとも、
腕片またはヘッド支持体に対し、大きな曲げ角度を付与
できることを意味する。よって、腕片またはヘッド支持
体を、小さな曲げ角度で曲げるだけでよい。
When a bend is applied to the arm piece or the head support, a stress corresponding to the bending is generated in the arm piece or the head support. In the present invention, a laser is applied to the bending region. Thereby, the stress in the bending region irradiated with the laser is released by the heat accompanying the laser irradiation. For this reason, in the bending area which has been subjected to the laser irradiation, the restoration amount of the arm piece or the head support is small, and the bending is performed at an angle close to the added bending angle. This means that even if the amount of bending change given to the arm piece or the head support is small,
This means that a large bending angle can be given to the arm piece or the head support. Thus, it is only necessary to bend the arm piece or the head support at a small bending angle.

【0023】レーザを利用して熱応力を開放する技術
は、例えば、特開平3ー178021号公報、特開平1
0ー269538号公報等に開示されている。しかしな
がら、これらの先行技術文献は、ロードビームに磁気ヘ
ッドを搭載する前に、ロードビームを曲げる技術を開示
するものであって、HSAについての曲げ技術を開示す
るものではない。仮に、これらの先行技術の適用によっ
て、ロードビームを曲げた後でも、その後のHGAの組
立工程、HAAの組立工程及びHSAの組立工程におい
て、荷重が所定値からずれることがあるので、最終的な
調整手段とはならない。
Techniques for releasing thermal stress using a laser are disclosed in, for example, Japanese Patent Application Laid-Open Nos.
No. 0-269538. However, these prior art documents disclose a technique for bending the load beam before mounting the magnetic head on the load beam, but do not disclose a bending technique for the HSA. Even if the load beam is bent by the application of these prior arts, the load may deviate from a predetermined value in the subsequent steps of assembling the HGA, the HAA, and the HSA. It does not serve as an adjustment means.

【0024】本発明の他の目的、構成及び効果について
は、実施の形態である添付図を参照して詳しく説明す
る。
Other objects, configurations and effects of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings which are embodiments.

【0025】[0025]

【発明の実施の形態】図1は本発明に係る荷重調整方法
の実施に直接に用いられる荷重調整装置の構成を示す
図、図2は図1に図示された荷重調整装置を部分的に拡
大して示す図である。図示された荷重調整装置は、レー
ザ発振装置91と、修正装置92と、荷重測定装置93
と、制御装置94とを含み、磁気ヘッド装置95の荷重
を調整する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS FIG. 1 is a view showing a configuration of a load adjusting device directly used for carrying out a load adjusting method according to the present invention, and FIG. 2 is a partially enlarged view of the load adjusting device shown in FIG. FIG. The illustrated load adjustment device includes a laser oscillation device 91, a correction device 92, and a load measurement device 93.
And a control device 94 for adjusting the load of the magnetic head device 95.

【0026】図3は本発明に係る荷重調整方法が適用さ
れる磁気ヘッド装置の正面図、図4は図3に図示された
磁気ヘッド装置の底面図である。図において図1、2に
図示された構成部分と同一の構成部分については、同一
の参照符号を付してある。
FIG. 3 is a front view of a magnetic head device to which the load adjusting method according to the present invention is applied, and FIG. 4 is a bottom view of the magnetic head device shown in FIG. In the drawings, the same components as those shown in FIGS. 1 and 2 are denoted by the same reference numerals.

【0027】磁気ヘッド装置95は、HGAであり、ヘ
ッド支持体1と、磁気ヘッド2とを含む。ヘッド支持体
1は、ロードビーム11と、可撓体12とを含む。ロー
ドビーム11は、中央を通る長手方向軸線Lの自由端近
傍に突起部111を有する。図示されたロードビーム1
1は、幅方向の両側に折り曲げ部118を有しており、
この折り曲げ部118により、剛性を増加させてある。
また、記録媒体(図示しない)に対する磁気ヘッド2の
追従性を向上させるため、ロードビーム11に孔112
を設けてある。さらに、ロードビーム11の取り付け部
117に座金115を設置し、位置決め装置に対する取
り付け用の孔116を設け、その近傍にロードビーム1
1の全体の弾性を増すための孔113が設けられてい
る。
The magnetic head device 95 is an HGA, and includes a head support 1 and a magnetic head 2. The head support 1 includes a load beam 11 and a flexible body 12. The load beam 11 has a protrusion 111 near the free end of the longitudinal axis L passing through the center. Load beam 1 shown
1 has bent portions 118 on both sides in the width direction,
The bending portion 118 increases the rigidity.
In order to improve the ability of the magnetic head 2 to follow a recording medium (not shown), a hole 112 is formed in the load beam 11.
Is provided. Further, a washer 115 is provided on the mounting portion 117 of the load beam 11, a hole 116 for mounting the positioning beam to the positioning device is provided, and the load beam 1
1 is provided with a hole 113 for increasing the overall elasticity.

【0028】可撓体12は薄いバネ板材で構成され、一
方の面がロードビーム11の突起部111を有する側の
面に取り付けられ、突起部111から押圧荷重を受けて
いる。可撓体12の他方の面には、磁気ヘッド2が取り
付けられている。可撓体12は、接続点13において、
ロードビーム11の突起部111を有する側に、カシメ
等の手段により貼り合わされている。カシメの代わり
に、スポット溶着等の手段を用いてもよい。
The flexible body 12 is made of a thin spring plate, and one surface is attached to the surface of the load beam 11 on the side having the projection 111, and receives a pressing load from the projection 111. The magnetic head 2 is mounted on the other surface of the flexible body 12. The flexible body 12 at the connection point 13
The load beam 11 is attached to the side of the load beam 11 having the protrusion 111 by caulking or the like. Instead of caulking, a means such as spot welding may be used.

【0029】可撓体12は、中央に舌状部120を有す
る。舌状部120は、一端が可撓体12の横枠部121
に結合されている。可撓体12の横枠部121は両端が
外枠部123、124に連なっている。外枠部123、
124と舌状部120との間には、舌状部120の周り
に、溝122が形成されている。舌状部120の一面に
は磁気ヘッド2が接着剤などで取り付けられ、突起部1
11の先端がバネ接触している。配線3は磁気ヘッド2
に備えられた磁気変換素子の取出電極に接続される。
The flexible body 12 has a tongue 120 at the center. One end of the tongue-shaped portion 120 has a horizontal frame portion 121 of the flexible body 12.
Is joined to. Both ends of the horizontal frame portion 121 of the flexible body 12 are connected to the outer frame portions 123 and 124. Outer frame part 123,
A groove 122 is formed between the tongue 120 and the tongue 120. The magnetic head 2 is attached to one surface of the tongue-shaped portion 120 with an adhesive or the like, and the protrusion 1
11 are in spring contact. The wiring 3 is a magnetic head 2
Is connected to the extraction electrode of the magnetic transducer provided in the device.

【0030】再び、図1及び図2を参照して説明する。
図1及び図2に図示された荷重調整装置は、磁気ディス
クに対する磁気ヘッド装置の荷重を調整するために用い
られる。荷重はヘッド支持体1に対する磁気ヘッド2の
組立状態、ヘッド支持体1の曲り、更には、配線3によ
る荷重等の影響を受けて、さまざまに変化する。本発明
に係る荷重調整方法及び荷重調整装置によれば、荷重
を、要求される値に確実に設定することができる。
The description will be continued with reference to FIGS. 1 and 2 again.
1 and 2 is used to adjust the load of the magnetic head device on the magnetic disk. The load changes variously under the influence of the assembled state of the magnetic head 2 with respect to the head support 1, the bending of the head support 1, and the load due to the wiring 3. According to the load adjustment method and the load adjustment device according to the present invention, the load can be reliably set to a required value.

【0031】レーザ発振装置91は、ロードビーム11
の曲げ領域6にレーザLAを照射する。レーザ発振装置
91は、YAGレーザを含め、各種のものを用いること
ができる。図示されたレーザ発振装置91は、レーザ発
振部911と、レーザ照射部912とを含む。レーザ照
射部912は、ロードビーム11の曲げ領域6に向けら
れている。
The laser oscillating device 91 includes the load beam 11
Is irradiated with the laser LA. As the laser oscillation device 91, various devices including a YAG laser can be used. The illustrated laser oscillation device 91 includes a laser oscillation unit 911 and a laser irradiation unit 912. The laser irradiation unit 912 is directed to the bending area 6 of the load beam 11.

【0032】修正装置92は、ロードビーム11に荷重
調整のための曲げを加える。図示された修正装置92
は、モータ等を含む駆動部921と、駆動部921によ
って駆動される可動腕922とを有する。可動腕922
は、ロードビーム11を保持して、P1方向もしくはP
2方向に直線的に移動する。
The correcting device 92 applies a bending to the load beam 11 for adjusting the load. Correction device 92 shown
Has a drive unit 921 including a motor and the like, and a movable arm 922 driven by the drive unit 921. Movable arm 922
Holds the load beam 11 in the P1 direction or P1
It moves linearly in two directions.

【0033】図2に拡大して示すように、修正装置92
の可動腕922により、ロードビーム11を挟み込み、
可動腕922をP1方向またはP2方向に直線的に移動
させる。これにより、ロードビーム11がP1方向また
はP2方向に曲げられる。この曲げにより荷重が調整さ
れる。
As shown on an enlarged scale in FIG.
The load beam 11 is sandwiched by the movable arm 922 of
The movable arm 922 is moved linearly in the direction P1 or P2. Thereby, the load beam 11 is bent in the P1 direction or the P2 direction. The load is adjusted by this bending.

【0034】従来は、上述の機械的な曲げによっての
み、荷重を調整していた。本発明では、これとは異なっ
て、ロードビーム11に機械的な曲げを与えながら、ロ
ードビーム11の曲げ領域6にレーザLAを照射する。
より具体的には、図4に図示するように、ロードビーム
11に設けられた孔113の周りの曲げ領域6にレーザ
LAを照射する。剛性を高めるために設けた折り曲げ部
118のある部分は曲りにくいが、孔113の周りには
折り曲げ部118が存在せず、曲り易い。即ち、曲げ領
域6となる。
Conventionally, the load was adjusted only by the mechanical bending described above. In the present invention, unlike this, the laser LA is applied to the bending region 6 of the load beam 11 while mechanically bending the load beam 11.
More specifically, as shown in FIG. 4, the laser LA is applied to the bending area 6 around the hole 113 provided in the load beam 11. Although a portion having a bent portion 118 provided for increasing rigidity is hard to bend, the bent portion 118 does not exist around the hole 113 and is easily bent. That is, it becomes the bending area 6.

【0035】ロードビーム11に機械的な曲げを加えた
場合、ロードビーム11に曲げに応じた応力が発生す
る。本発明において、ロードビーム11の曲げ領域6に
レーザLAを照射するので、レーザLAを照射された曲
げ領域6における応力が、レーザLAの照射に伴う熱に
より、開放される。このため、このレーザLA照射を受
けた曲げ領域6では、ロードビーム11の復元量が小さ
くなり、加えられた曲げ角度に近い角度で曲ることにな
る。このことは、ロードビーム11に与えられる曲げ変
化量が小さくとも、ロードビーム11に対し、大きな曲
げ角度を付与できることを意味する。
When a mechanical bending is applied to the load beam 11, a stress corresponding to the bending is generated in the load beam 11. In the present invention, since the laser LA is applied to the bending area 6 of the load beam 11, the stress in the bending area 6 irradiated with the laser LA is released by the heat accompanying the laser LA irradiation. For this reason, in the bending area 6 that has been irradiated with the laser LA, the restoration amount of the load beam 11 is small, and the bending is performed at an angle close to the added bending angle. This means that a large bending angle can be given to the load beam 11 even if the amount of bending change given to the load beam 11 is small.

【0036】図1の実施例では、更に、荷重測定装置9
3と、制御装置94とを含んでいる。荷重測定装置93
は、磁気ヘッド2に接触して、磁気ヘッド2から加わる
荷重を検出する。このような荷重測定装置93の典型的
なものは、ロードセルである。図示された荷重測定装置
93は、回路部931と、一本または複数本の変位測定
用接触子を有するロードセル部932とを含む。ロード
セル部932の接触子が磁気ヘッド2の媒体対向面、例
えば空気ベアリング面に接触する。荷重測定装置93に
よって得られた荷重検出信号は、制御装置94に供給さ
れる。
In the embodiment shown in FIG. 1, a load measuring device 9 is further provided.
3 and a control device 94. Load measuring device 93
Detects the load applied from the magnetic head 2 in contact with the magnetic head 2. A typical example of such a load measuring device 93 is a load cell. The illustrated load measuring device 93 includes a circuit section 931 and a load cell section 932 having one or a plurality of displacement measuring contacts. The contact of the load cell section 932 contacts the medium facing surface of the magnetic head 2, for example, the air bearing surface. The load detection signal obtained by the load measuring device 93 is supplied to the control device 94.

【0037】制御装置94は、荷重測定装置93から供
給される荷重検出信号に基づき、レーザ発振装置91、
及び、修正装置92を制御する。制御装置94は、一般
には、コンピュータによって構成される。
The control device 94 controls the laser oscillation device 91, based on the load detection signal supplied from the load measurement device 93.
And, it controls the correction device 92. The control device 94 is generally configured by a computer.

【0038】従って、制御装置94に荷重情報テーブル
を持つことにより、ロードビーム11の曲げによる荷重
が適正な値になったことを判定し、判定結果に基づい
て、修正装置92の動作を停止させることにより、荷重
調整を自動的に実行することができるようになる。修正
装置92の動作停止とともに、レーザ発振装置91のレ
ーザ発振を停止させることもできる。
Accordingly, by having the load information table in the control device 94, it is determined that the load due to the bending of the load beam 11 has become an appropriate value, and the operation of the correction device 92 is stopped based on the determination result. Thus, the load adjustment can be automatically performed. The laser oscillation of the laser oscillation device 91 can be stopped together with the operation stop of the correction device 92.

【0039】次に、実測データを参照して、本発明の効
果を更に具体的に説明する。表1は修正量(mm)と荷
重変化量(g)との関係を示す実測データである。表1
は、図1、図2に示す構成の装置において、修正装置9
2の可動腕922をP1方向に駆動し、ロードビーム1
1に曲げを生じさせた場合の変位量を、正の修正量(m
m)として表示してある。また、修正装置92の可動腕
922をP2方向に駆動し、ロードビーム11に曲げを
生じさせた場合の変位量を、負の修正量(mm)として
表示してある。修正量0(mm)は可動腕922からロ
ードビーム11に曲げが生じていない状態に対応する。
表1において、レーザ無しとはロードビーム11の曲げ
領域6にレーザLAを照射しない(従来技術)ことを意
味し、レーザ有りはロードビーム11の曲げ領域6にレ
ーザLAを照射した(本発明)ことを意味する。
Next, the effects of the present invention will be described more specifically with reference to actually measured data. Table 1 is actually measured data showing the relationship between the correction amount (mm) and the load change amount (g). Table 1
Is a device having the configuration shown in FIGS.
The second movable arm 922 is driven in the P1 direction to load beam 1
1 is a positive correction amount (m
m). Further, the amount of displacement when the movable arm 922 of the correcting device 92 is driven in the P2 direction to cause the load beam 11 to bend is displayed as a negative correcting amount (mm). The correction amount 0 (mm) corresponds to a state in which the load beam 11 is not bent from the movable arm 922.
In Table 1, the absence of the laser means that the laser beam LA is not applied to the bending area 6 of the load beam 11 (prior art), and the presence of the laser means that the bending area 6 of the load beam 11 is irradiated with the laser LA (the present invention). Means that.

【0040】図5は表1のデータをグラフ化して示す図
である。図5において、横軸に修正量(mm)をとり、
縦軸に荷重変化量(g)をとってある。図5の曲線L1
5、L16は、表1のレーザ有りの特性であり、曲線L
25、L26は表1のレーザ無しの特性である。
FIG. 5 is a graph showing the data of Table 1. In FIG. 5, the horizontal axis represents the correction amount (mm),
The vertical axis indicates the load change (g). Curve L1 in FIG.
5, L16 are the characteristics of Table 1 with laser, and the curve L
25 and L26 are the characteristics of Table 1 without laser.

【0041】表1及び図5を参照すると明らかなよう
に、レーザ有り(特性L15、L16)の場合は、レー
ザ無し(特性L25、L26)の場合と比較して、ロー
ドビーム11の小さな曲げで、大きな荷重変化量を生じ
させることができる。例えば、修正量2(mm)の場合
の荷重変化量は、レーザ無しの場合、0.01(g)で
あるが、レーザ有りの場合はその約54倍の0.54
(g)にもなる。修正量6(g)の場合の荷重変化量
は、レーザ無しの場合は0.56(g)であるが、レー
ザ有りの場合はその約6倍の3.19(g)にもなる。
As is clear from Table 1 and FIG. 5, when the laser beam is used (characteristics L15 and L16), the load beam 11 is bent with a smaller bend than when the laser beam is not used (characteristics L25 and L26). Thus, a large load change can be caused. For example, when the correction amount is 2 (mm), the load change amount is 0.01 (g) when there is no laser, but is about 54 times 0.54 when the laser is present.
(G). The load change amount when the correction amount is 6 (g) is 0.56 (g) when there is no laser, but it is approximately six times as large as 3.19 (g) when there is a laser.

【0042】図6はHAAに適用される荷重調整方法の
実施に直接に用いられる荷重調整装置の構成を示す図で
ある。図において、図1に図示された構成部分と同一の
構成部分については、同一の参照符号を付してある。磁
気ヘッド装置95はHAAである。
FIG. 6 is a diagram showing a configuration of a load adjusting device directly used for implementing the load adjusting method applied to the HAA. In the figure, the same components as those shown in FIG. 1 are denoted by the same reference numerals. The magnetic head device 95 is an HAA.

【0043】図7はHAAの正面図、図8は図7に図示
されたHAAの側面図である。図示されたHAA95
は、ヘッド支持体1と、磁気ヘッド2と、腕片51とを
含む。腕片51は、適当な非磁性金属材料、例えば、ア
ルミ合金等を用いて一体成形されている。腕片51に
は、取り付け孔52が備えられている。取り付け孔52
は、磁気ディスク装置に含まれる位置決め装置に取り付
けるために用いられる。HAAは、調整のための支持具
7に固定されている(図6参照)。
FIG. 7 is a front view of the HAA, and FIG. 8 is a side view of the HAA shown in FIG. HAA95 shown
Includes a head support 1, a magnetic head 2, and an arm piece 51. The arm piece 51 is integrally formed using a suitable non-magnetic metal material, for example, an aluminum alloy. The arm piece 51 has a mounting hole 52. Mounting hole 52
Is used for attaching to a positioning device included in a magnetic disk drive. The HAA is fixed to a support 7 for adjustment (see FIG. 6).

【0044】ヘッド支持体1は、一端が腕片51に、例
えばボール接続構造等によって固定されている。ヘッド
支持体1は、ロードビーム11と、可撓体12とを含
む。このHAA95は、その複数枚がスタックされ、H
SAを構成する。
The head support 1 has one end fixed to the arm piece 51 by, for example, a ball connection structure. The head support 1 includes a load beam 11 and a flexible body 12. The HAA 95 is formed by stacking a plurality of
Configure SA.

【0045】レーザ発振装置91は、腕片51の曲げ領
域6にレーザLAを照射する。修正装置92は、腕片5
1に曲げを加える。図示された修正装置92は、モータ
等を含む駆動部921と、駆動部921によって駆動さ
れる可動腕922とを有する。
The laser oscillation device 91 irradiates the laser LA to the bending area 6 of the arm piece 51. The correction device 92 includes the arm piece 5
Add a bend to 1. The illustrated correction device 92 includes a driving unit 921 including a motor and the like, and a movable arm 922 driven by the driving unit 921.

【0046】測定装置93は、磁気ヘッド2に接触し
て、磁気ヘッド2から加わる荷重を検出する。その詳細
については、既に、図1、2を参照して説明した通りで
ある。測定装置93によって得られた検出信号は、制御
装置94に供給される。制御装置94は、測定装置93
から供給される信号に基づき、レーザ発振装置91、及
び、修正装置92を制御する。
The measuring device 93 contacts the magnetic head 2 and detects a load applied from the magnetic head 2. The details thereof are as already described with reference to FIGS. The detection signal obtained by the measuring device 93 is supplied to the control device 94. The control device 94 includes a measuring device 93
The laser oscillation device 91 and the correction device 92 are controlled based on the signal supplied from.

【0047】図9は図6に示した荷重調整装置を用いた
荷重調整方法を説明する拡大図である。図9に示すよう
に、修正装置92の可動腕922により、腕片51を上
下方向から挟み込み、可動腕922を方向P1または方
向P2に直線的に移動させる。これにより、腕片51が
方向P1または方向P2に曲げられる。この曲げにより
荷重が調整される。
FIG. 9 is an enlarged view for explaining a load adjusting method using the load adjusting device shown in FIG. As shown in FIG. 9, the arm 51 is sandwiched from above and below by the movable arm 922 of the correction device 92, and the movable arm 922 is moved linearly in the direction P1 or the direction P2. Thereby, the arm piece 51 is bent in the direction P1 or the direction P2. The load is adjusted by this bending.

【0048】この場合、本発明では、腕片51に機械的
な曲げを与えながら、腕片51の曲げ領域6にレーザL
Aを照射する。腕片51に機械的な曲げを加えた場合、
腕片51には曲げに応じた応力が発生する。本発明にお
いて、腕片51の曲げ領域6にレーザLAを照射するの
で、レーザLAを照射された曲げ領域6における応力
が、レーザLAの照射に伴う熱により、開放される。こ
のため、レーザLA照射を受けた曲げ領域6では、腕片
51の復元量が小さくなり、加えられた曲げ角度に近い
角度で曲ることになる。このことは、腕片51に与えら
れる曲げ変化量が小さくとも、腕片51に対し、大きな
曲げ角度を付与できることを意味する。レーザLAは、
照射を受けた部分に溶断、変色等を与えないような条件
で照射される。このような条件は、レーザ出力の調整、
焦点の変更等によって容易に設定できる。
In this case, according to the present invention, the laser beam L is applied to the bending area 6 of the arm piece 51 while mechanically bending the arm piece 51.
A is irradiated. When a mechanical bend is applied to the arm piece 51,
A stress corresponding to the bending is generated in the arm piece 51. In the present invention, since the laser LA is applied to the bending area 6 of the arm piece 51, the stress in the bending area 6 irradiated with the laser LA is released by the heat accompanying the laser LA irradiation. For this reason, in the bending area 6 which has been irradiated with the laser LA, the restoration amount of the arm piece 51 is small, and the bending is performed at an angle close to the added bending angle. This means that a large bending angle can be given to the arm piece 51 even if the bending change amount given to the arm piece 51 is small. Laser LA is
Irradiation is performed under conditions that do not cause fusing, discoloration, or the like to the irradiated portion. Such conditions include laser power adjustment,
It can be easily set by changing the focus.

【0049】腕片51の曲げは、測定装置93によっ
て、荷重変化として検出される。測定装置93によって
得られた荷重検出信号は、制御装置94に供給される。
制御装置94は、測定装置93から供給される信号に基
づき、レーザ発振装置91、及び、修正装置92を制御
する。従って、制御装置94に荷重情報テーブルを持つ
ことにより、腕片51の曲げにより、荷重が適正な値に
なったことを判定し、判定結果に基づいて、修正装置9
2の動作を停止させることにより、荷重を自動的に調整
することができるようになる。修正装置92の動作停止
とともに、レーザ発振装置91のレーザ発振を停止させ
ることもできる。
The bending of the arm piece 51 is detected by the measuring device 93 as a change in load. The load detection signal obtained by the measuring device 93 is supplied to the control device 94.
The control device 94 controls the laser oscillation device 91 and the correction device 92 based on the signal supplied from the measurement device 93. Therefore, by providing the load information table in the control device 94, it is determined that the load has become an appropriate value due to the bending of the arm piece 51, and the correcting device 9 is determined based on the determination result.
By stopping the operation of 2, the load can be automatically adjusted. The laser oscillation of the laser oscillation device 91 can be stopped together with the operation stop of the correction device 92.

【0050】HAAの場合も、図1、2を参照して説明
したように、ヘッド支持体1のロードビーム11を曲
げ、ロードビーム11の曲げ領域にレーザLAを照射す
ることができる。
Also in the case of HAA, as described with reference to FIGS. 1 and 2, the load beam 11 of the head support 1 can be bent, and the bending area of the load beam 11 can be irradiated with the laser LA.

【0051】図10はHSAに適用される調整方法、及
び、その実施に直接用いられる荷重調整装置の構成を示
す図である。図示された荷重調整装置は、レーザ発振装
置91と、修正装置92と、測定装置93と、制御装置
94とを含む。磁気ヘッド装置95はHSAである。以
下、磁気ヘッド装置95をHSAと称する事とする。
FIG. 10 is a diagram showing an adjusting method applied to the HSA and a configuration of a load adjusting device directly used for implementing the adjusting method. The illustrated load adjusting device includes a laser oscillating device 91, a correcting device 92, a measuring device 93, and a control device 94. The magnetic head device 95 is an HSA. Hereinafter, the magnetic head device 95 is referred to as an HSA.

【0052】図11は本発明に係る調整方法が適用され
るHSA95の正面図、図12は図11に図示されたH
SA95の側面図である。図示されたHSA95は、ヘ
ッド支持体1と、磁気ヘッド2と、ブロック5とを含
む。ブロック5は、複数の腕片51を有する。複数の腕
片51は間隔D1を隔てて順次に配列されている。腕片
51は、基体50の外周面に突出して設けられている。
基体50及び腕片51は適当な非磁性金属材料、例え
ば、アルミ合金等を用いて一体成形されている。図示実
施例では、腕片51は2本であるが、その個数は増加で
きる。
FIG. 11 is a front view of the HSA 95 to which the adjusting method according to the present invention is applied, and FIG. 12 is a view showing the HSA shown in FIG.
It is a side view of SA95. The illustrated HSA 95 includes a head support 1, a magnetic head 2, and a block 5. The block 5 has a plurality of arm pieces 51. The plurality of arm pieces 51 are sequentially arranged with an interval D1. The arm piece 51 is provided to protrude from the outer peripheral surface of the base 50.
The base 50 and the arm piece 51 are integrally formed using a suitable non-magnetic metal material, for example, an aluminum alloy. In the illustrated embodiment, the number of the arm pieces 51 is two, but the number can be increased.

【0053】基体50には、腕片51の配列方向に平行
な取り付け孔52が設けられている。取り付け孔52
は、磁気ディスク装置に含まれる位置決め装置に取り付
けるために用いられる。更に、基体50には、コイル支
持部53及びボイスコイル54が備えられている。
The base 50 is provided with a mounting hole 52 parallel to the direction in which the arm pieces 51 are arranged. Mounting hole 52
Is used for attaching to a positioning device included in a magnetic disk drive. Further, the base 50 is provided with a coil support 53 and a voice coil 54.

【0054】ヘッド支持体1は、腕片51のそれぞれ毎
に備えられ、一端が腕片51に、例えばボール接続構造
等によって固定されている。ヘッド支持体1は、ロード
ビーム11と、可撓体12とを含む。図示実施例では、
ヘッド支持体1は、腕片51の片面にのみ設けられてい
るが、腕片51が3枚以上備えられている場合は、腕片
51の両面に備えられることが多い。
The head support 1 is provided for each of the arm pieces 51, and one end is fixed to the arm piece 51 by, for example, a ball connection structure. The head support 1 includes a load beam 11 and a flexible body 12. In the illustrated embodiment,
The head support 1 is provided only on one side of the arm piece 51, but is often provided on both sides of the arm piece 51 when three or more arm pieces 51 are provided.

【0055】磁気ヘッド2は、ヘッド支持体1のそれぞ
れ毎に、その他端側に取り付けられている。取り付け側
とは反対側の表面が、空気ベアリング面となる。磁気ヘ
ッド2は、ヘッド支持体1を構成する可撓体12に備え
られている。ヘッド支持体1と、磁気ヘッド2との組み
合わせがHGAと称され、HGAとアームとの組み合わ
せがHAAと称されることは、前述した通りである。
The magnetic heads 2 are attached to the other end of each of the head supports 1. The surface opposite to the mounting side is the air bearing surface. The magnetic head 2 is provided on a flexible body 12 constituting the head support 1. As described above, the combination of the head support 1 and the magnetic head 2 is called an HGA, and the combination of the HGA and the arm is called an HAA.

【0056】レーザ発振装置91は、腕片51の曲げ領
域6にレーザLAを照射する。レーザ発振装置91は、
YAGレーザを含め、各種のものを用いることができ
る。図示されたレーザ発振装置91は、レーザ発振部9
11と、レーザ照射部912とを含む。レーザ照射部9
12は、腕片51の曲げ領域6に向けられている。
The laser oscillation device 91 irradiates the bending area 6 of the arm piece 51 with the laser LA. The laser oscillation device 91
Various types including a YAG laser can be used. The illustrated laser oscillation device 91 includes a laser oscillation unit 9.
11 and a laser irradiation unit 912. Laser irradiation unit 9
12 is directed to the bending area 6 of the arm piece 51.

【0057】修正装置92は、腕片51に曲げを加え
る。図示された修正装置92は、モータ等を含む駆動部
921と、駆動部921によって駆動される可動腕92
2とを有する。測定装置93は、磁気ヘッド2に接触し
て、磁気ヘッド2から加わる荷重を検出する。測定装置
93によって得られた検出信号は、制御装置94に供給
される。
The correction device 92 applies a bending to the arm piece 51. The illustrated correction device 92 includes a driving unit 921 including a motor and the like, and a movable arm 92 driven by the driving unit 921.
And 2. The measuring device 93 detects the load applied from the magnetic head 2 by coming into contact with the magnetic head 2. The detection signal obtained by the measuring device 93 is supplied to the control device 94.

【0058】制御装置94は、測定装置93から供給さ
れる信号に基づき、レーザ発振装置91、及び、修正装
置92を制御する。制御装置94は、一般には、コンピ
ュータによって構成される。
The control device 94 controls the laser oscillation device 91 and the correction device 92 based on the signal supplied from the measurement device 93. The control device 94 is generally configured by a computer.

【0059】図13は図10に示した荷重調整装置を用
いた荷重調整方法を説明する拡大図である。図13に示
すように、修正装置92の可動腕922により、腕片5
1を上下方向から挟み込み、可動腕922を方向P1ま
たは方向P2に直線的に移動させる。これにより、腕片
51が方向P1または方向P2に曲げられる。この曲げ
により荷重が調整される。
FIG. 13 is an enlarged view for explaining a load adjusting method using the load adjusting device shown in FIG. As shown in FIG. 13, the arm 5 is moved by the movable arm 922 of the correction device 92.
The movable arm 922 is linearly moved in the direction P1 or P2. Thereby, the arm piece 51 is bent in the direction P1 or the direction P2. The load is adjusted by this bending.

【0060】この場合、本発明では、腕片51に機械的
な曲げを与えながら、腕片51の曲げ領域6にレーザL
Aを照射する。腕片51に機械的な曲げを加えた場合、
腕片51には曲げに応じた応力が発生する。本発明にお
いて、腕片51の曲げ領域6にレーザLAを照射するの
で、レーザLAを照射された曲げ領域6における応力
が、レーザLAの照射に伴う熱により、開放される。こ
のため、このレーザLA照射を受けた曲げ領域6では、
腕片51の復元量が小さくなり、加えられた曲げ角度に
近い角度で曲ることになる。このことは、腕片51に与
えられる曲げ変化量が小さくとも、腕片51に対し、大
きな曲げ角度を付与できることを意味する。レーザLA
は、照射を受けた部分に溶断、変色等を与えないような
条件で照射される。このような条件は、レーザ出力の調
整、焦点の変更等によって容易に設定できる。
In this case, according to the present invention, the laser beam is applied to the bending area 6 of the arm piece 51 while mechanically bending the arm piece 51.
A is irradiated. When a mechanical bend is applied to the arm piece 51,
A stress corresponding to the bending is generated in the arm piece 51. In the present invention, since the laser LA is applied to the bending area 6 of the arm piece 51, the stress in the bending area 6 irradiated with the laser LA is released by the heat accompanying the laser LA irradiation. For this reason, in the bending area 6 that has been subjected to the laser LA irradiation,
The restoration amount of the arm piece 51 is reduced, and the arm piece 51 bends at an angle close to the added bending angle. This means that a large bending angle can be given to the arm piece 51 even if the bending change amount given to the arm piece 51 is small. Laser LA
Is irradiated under such a condition that the irradiated portion is not melted or discolored. Such conditions can be easily set by adjusting the laser output, changing the focus, and the like.

【0061】図14はHSAに対するレーザ照射方法の
一例を示す図である。HSAの場合、ブロック5に複数
の腕片51が間隔D1を隔てて配置されている。そこ
で、最上層に位置する腕片51を除き、腕片51の外側
から、間隔D1を通って、斜めにレーザLAを照射す
る。レーザ照射部922は、腕片51の両側に配置し、
腕片51の両側からレーザLAを照射することが好まし
い。最上層に位置する腕片51に対しては、上述したよ
うな制限を伴うことなく、レーザを照射できる。
FIG. 14 is a diagram showing an example of a laser irradiation method for HSA. In the case of HSA, a plurality of arm pieces 51 are arranged on the block 5 with an interval D1. Therefore, except for the arm piece 51 located on the uppermost layer, the laser LA is irradiated obliquely from the outside of the arm piece 51 through the interval D1. The laser irradiation units 922 are arranged on both sides of the arm piece 51,
It is preferable to irradiate the laser LA from both sides of the arm piece 51. The laser can be applied to the arm piece 51 located on the uppermost layer without the above-described limitation.

【0062】腕片51の曲げに伴う磁気ヘッド2の荷重
の変化は、測定装置93によって検出される。測定装置
93の検出装置932は、曲げ操作をしている間は退避
させておき、測定作業時に、測定位置まで進出させる。
測定装置93によって得られた検出信号は、制御装置9
4に供給される。制御装置94は、測定装置93から供
給される信号に基づき、レーザ発振装置91、及び、修
正装置92を制御する。
A change in the load of the magnetic head 2 accompanying the bending of the arm piece 51 is detected by the measuring device 93. The detecting device 932 of the measuring device 93 is retracted during the bending operation, and is advanced to the measuring position during the measuring operation.
The detection signal obtained by the measuring device 93 is
4 is supplied. The control device 94 controls the laser oscillation device 91 and the correction device 92 based on the signal supplied from the measurement device 93.

【0063】従って、制御装置94に荷重情報テーブル
を持つことにより、腕片51の曲げが、適正な荷重を得
る値になったことを判定し、判定結果に基づいて、修正
装置92の動作を停止させることにより、荷重を自動的
に調整することができるようになる。修正装置92の動
作停止とともに、レーザ発振装置91のレーザ発振を停
止させることもできる。HSAの場合も、図1、2を参
照して説明したように、ヘッド支持体1のロードビーム
11を曲げ、ロードビーム11の曲げ領域にレーザLA
を照射することができる。
Accordingly, by providing the load information table in the control device 94, it is determined that the bending of the arm piece 51 has reached a value for obtaining an appropriate load, and the operation of the correction device 92 is determined based on the determination result. By stopping, the load can be automatically adjusted. The laser oscillation of the laser oscillation device 91 can be stopped together with the operation stop of the correction device 92. Also in the case of HSA, as described with reference to FIGS. 1 and 2, the load beam 11 of the head support 1 is bent, and the laser LA
Can be irradiated.

【0064】[0064]

【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、次
のような効果を得ることができる。 (a)HGAの段階で、小さな曲げ変位を与えるだけ
で、大きな荷重の変化量を確保し得る荷重調整方法及び
装置を提供することができる。 (b)HAAの段階で、荷重を調整する方法及び装置を
提供することができる。 (c)HAAの段階で、腕片またはヘッド支持体に小さ
な曲げ変位を与えるだけで、必要な曲げ変位量を確保し
得る調整方法及び装置を提供することができる。 (d)HSAの段階で、荷重を調整する方法及び装置を
提供することができる。 (e)HSAの段階で、ブロックを構成する腕片に小さ
な曲げ変位を与えるだけで、必要な曲げ変位量を確保し
得る調整方法及び装置を提供することができる。
As described above, according to the present invention, the following effects can be obtained. (A) It is possible to provide a load adjusting method and apparatus capable of securing a large load change amount by giving only a small bending displacement at the stage of HGA. (B) A method and an apparatus for adjusting a load at the stage of HAA can be provided. (C) It is possible to provide an adjustment method and an apparatus that can secure a necessary amount of bending displacement by giving only a small bending displacement to the arm piece or the head support at the stage of HAA. (D) It is possible to provide a method and an apparatus for adjusting a load at the stage of HSA. (E) At the stage of HSA, it is possible to provide an adjustment method and an apparatus that can secure a necessary amount of bending displacement by only giving a small bending displacement to an arm piece constituting a block.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明に係るHGA調整方法に直接用いられる
荷重調整装置の構成を示す図である。
FIG. 1 is a diagram showing a configuration of a load adjusting device used directly in an HGA adjusting method according to the present invention.

【図2】図1に図示された荷重調整装置を部分的に拡大
して示す図である。
FIG. 2 is a partially enlarged view showing the load adjusting device shown in FIG. 1;

【図3】本発明に係るHGA調整方法が適用される磁気
ヘッド装置(HGA)の正面図である。
FIG. 3 is a front view of a magnetic head device (HGA) to which the HGA adjustment method according to the present invention is applied.

【図4】図3に図示された磁気ヘッド装置(HGA)の
底面図である。
FIG. 4 is a bottom view of the magnetic head device (HGA) shown in FIG. 3;

【図5】表1のデータをグラフ化して示す図である。FIG. 5 is a graph showing the data of Table 1.

【図6】本発明に係るHAA調整方法の実施に直接に用
いられる荷重調整装置の構成を示す図である。
FIG. 6 is a diagram showing a configuration of a load adjusting device directly used for implementing the HAA adjusting method according to the present invention.

【図7】本発明に係る調整方法が適用されるHAAの正
面図である。
FIG. 7 is a front view of an HAA to which the adjustment method according to the present invention is applied.

【図8】図7に図示されたHAAの側面図である。FIG. 8 is a side view of the HAA shown in FIG. 7;

【図9】図6に示した荷重調整装置を用いた荷重調整方
法を説明する拡大図である。
FIG. 9 is an enlarged view for explaining a load adjusting method using the load adjusting device shown in FIG. 6;

【図10】本発明に係るHSA調整方法の実施に直接に
用いられる荷重調整装置の構成を示す図である。
FIG. 10 is a diagram showing a configuration of a load adjusting device directly used for implementing the HSA adjusting method according to the present invention.

【図11】本発明に係る調整方法が適用されるHSAの
正面図である。
FIG. 11 is a front view of an HSA to which the adjustment method according to the present invention is applied.

【図12】図11に図示されたHSAの側面図である。FIG. 12 is a side view of the HSA shown in FIG. 11;

【図13】図10に示した荷重調整装置を用いた荷重調
整方法を説明する拡大図である。
FIG. 13 is an enlarged view for explaining a load adjusting method using the load adjusting device shown in FIG.

【図14】図10に示す荷重調整におけるレーザの照射
方法を示す図である。
FIG. 14 is a view showing a laser irradiation method in the load adjustment shown in FIG.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

91 レーザ発振装置 92 荷重調整装置 93 荷重測定装置 94 制御装置 95 磁気ヘッド装置 Reference Signs List 91 laser oscillation device 92 load adjustment device 93 load measurement device 94 control device 95 magnetic head device

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 大橋 誠 東京都中央区日本橋一丁目13番1号 ティ ーディーケイ株式会社内 (72)発明者 林 光雄 東京都中央区日本橋一丁目13番1号 ティ ーディーケイ株式会社内 Fターム(参考) 5D042 AA07 BA08 CA01 CA04 CA08 DA02 DA20 5D059 AA01 BA01 CA16 DA18 DA22 DA40 EA07  ────────────────────────────────────────────────── ─── Continued on the front page (72) Inventor Makoto Ohashi 1-1-13 Nihonbashi, Chuo-ku, Tokyo TDK Corporation (72) Inventor Mitsuo Hayashi 1-13-1 Nihonbashi, Chuo-ku, Tokyo TDK F term in reference (reference) 5D042 AA07 BA08 CA01 CA04 CA08 DA02 DA20 5D059 AA01 BA01 CA16 DA18 DA22 DA40 EA07

Claims (10)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 磁気ディスクに対する磁気ヘッド装置の
荷重を調整する方法であって、 前記磁気ヘッド装置は、ヘッド支持体と、磁気ヘッドと
を含み、 前記ヘッド支持体は、可撓体と、ロードビームとを含
み、 前記ロードビームは、一端が自由端であり、 前記可撓体は、一面が前記ロードビームの自由端側に接
続されており、 前記磁気ヘッドは、前記可撓体の他面に取り付けられて
おり、 前記ロードビームを曲げ、その曲げ領域にレーザを照射
するステップを含む方法。
1. A method for adjusting a load of a magnetic head device on a magnetic disk, wherein the magnetic head device includes a head support and a magnetic head, wherein the head support includes a flexible body, a load, The load beam has one end at a free end, the flexible body has one surface connected to the free end side of the load beam, and the magnetic head has the other surface at the flexible body. And bending the load beam and irradiating the bending area with a laser.
【請求項2】 請求項1に記載された方法であって、 前記ロードビームは、前記自由端の近傍に突起部を有
し、 前記可撓体は、一面が前記ロードビームの前記突起部を
有する側の面に取り付けられ、かつ、前記突起部から荷
重を受ける方法。
2. The method according to claim 1, wherein the load beam has a protrusion near the free end, and one surface of the flexible body has the protrusion of the load beam. A method of attaching to a surface on the side having the projection and receiving a load from the projection.
【請求項3】 磁気ディスクに対する磁気ヘッド装置の
荷重を調整する方法であって、 前記磁気ヘッド装置は、ヘッドアーム組立体を含んでお
り、 前記ヘッドアーム組立体は、腕片と、ヘッド支持体と、
磁気ヘッドとを含んでおり、 前記ヘッド支持体は、一端が前記腕片に固定されてお
り、 前記磁気ヘッドは、前記ヘッド支持体の他端側に取り付
けられており、 前記腕片または前記ヘッド支持体に曲げを加え、 曲げ領域にレーザを照射するステップを含む方法。
3. A method for adjusting a load of a magnetic head device on a magnetic disk, wherein the magnetic head device includes a head arm assembly, wherein the head arm assembly includes an arm piece and a head support. When,
A magnetic head, wherein the head support has one end fixed to the arm piece, the magnetic head is attached to the other end side of the head support, and the arm piece or the head Applying a bend to the support and irradiating the bend area with a laser.
【請求項4】 磁気ディスクに対する磁気ヘッド装置の
荷重を調整する方法であって、 前記磁気ヘッド装置は、ヘッド.スタック組立体を含ん
でおり、 前記ヘッド.スタック組立体は、ブロックと、ヘッド支
持体と、磁気ヘッドとを含んでおり、 前記ブロックは、複数の腕片を有し、前記複数の腕片は
間隔を隔てて順次に配列されており、 前記ヘッド支持体は、前記腕片のそれぞれ毎に備えら
れ、一端が前記腕片に固定されており、 前記磁気ヘッドは、前記ヘッド支持体のそれぞれ毎に備
えられ、前記ヘッド支持体の他端側に取り付けられてお
り、 前記腕片または前記ヘッド支持体に曲げを加え、 曲げ領域にレーザを照射するステップを含む方法。
4. A method for adjusting a load of a magnetic head device on a magnetic disk, wherein the magnetic head device comprises a head. A stack assembly, said head. The stack assembly includes a block, a head support, and a magnetic head, wherein the block has a plurality of arm pieces, and the plurality of arm pieces are sequentially arranged at intervals. The head support is provided for each of the arm pieces, and one end is fixed to the arm piece. The magnetic head is provided for each of the head supports, and the other end of the head support is provided. A method, comprising: applying a bend to the arm or the head support; and irradiating a bend area with a laser.
【請求項5】 請求項3または4の何れかに記載された
方法であって、 前記ヘッド支持体は、ロードビームと、可撓体とを含
み、 前記ロードビームは、一端が自由端であり、 前記可撓体は、一面が前記ロードビームの自由端側に接
続されており、 前記磁気ヘッドは、前記可撓体の他面に取り付けられて
いる方法。
5. The method according to claim 3, wherein the head support includes a load beam and a flexible body, and the load beam has a free end at one end. The method wherein the flexible body has one surface connected to the free end side of the load beam, and the magnetic head is attached to the other surface of the flexible body.
【請求項6】 請求項5に記載された方法であって、 前記ロードビームは、前記自由端の近傍に突起部を有
し、 前記可撓体は、一面が前記ロードビームの前記突起部を
有する側の面に取り付けられ、かつ、前記突起部から押
圧荷重を受ける方法。
6. The method according to claim 5, wherein the load beam has a protrusion near the free end, and one surface of the flexible body has the protrusion of the load beam. A method of attaching to the surface on the side having the pressure and receiving a pressing load from the protrusion.
【請求項7】 修正装置と、レーザ発振装置とを含み、
磁気ディスクに対する磁気ヘッド装置の荷重を調整する
装置であって、 前記磁気ヘッド装置は、ヘッド支持体と、磁気ヘッドと
を含み、 前記ヘッド支持体は、ロードビームと、可撓体とを含
み、 前記ロードビームは、一端が自由端であり、 前記可撓体は、前記ロードビームの自由端側に接続され
ており、 前記磁気ヘッドは、前記可撓体の一面に取り付けられて
おり、 前記荷重調整装置は、前記ロードビームに荷重調整のた
めの曲げを加えるものであり、 前記レーザ発振装置は、前記ロードビームの曲げ領域に
レーザを照射するものである装置。
7. A correcting device, comprising: a laser oscillating device;
An apparatus for adjusting a load of a magnetic head device on a magnetic disk, wherein the magnetic head device includes a head support and a magnetic head, wherein the head support includes a load beam and a flexible body, One end of the load beam is a free end; the flexible body is connected to a free end side of the load beam; the magnetic head is mounted on one surface of the flexible body; The adjusting device is for applying a bending to the load beam for adjusting a load, and the laser oscillation device is for irradiating a laser to a bending region of the load beam.
【請求項8】 修正装置と、レーザ発振装置とを含み、
磁気ディスクに対する磁気ヘッド装置の荷重を調整する
装置であって、 前記磁気ヘッド装置は、ヘッドアーム組立体を含み、 前記ヘッドアーム組立体は、腕片と、ヘッド支持体と、
磁気ヘッドとを含み、 前記ヘッド支持体は、一端が前記腕片に固定されてお
り、 前記磁気ヘッドは、前記ヘッド支持体の他端側に取り付
けられており、 前記修正装置は、前記腕片または前記ヘッド支持体に曲
げを加えるものであり、 前記レーザ発振装置は、曲げ領域にレーザを照射するも
のである装置。
8. A device including a correction device and a laser oscillation device,
An apparatus for adjusting a load of a magnetic head device on a magnetic disk, wherein the magnetic head device includes a head arm assembly, wherein the head arm assembly includes an arm piece, a head support,
A magnetic head, wherein the head support has one end fixed to the arm piece; the magnetic head is attached to the other end side of the head support; and the correction device includes the arm piece. Alternatively, the head support is bent, and the laser oscillation device irradiates a laser to a bending area.
【請求項9】 修正装置と、レーザ発振装置とを含み、
磁気ディスクに対する磁気ヘッド装置の荷重を調整する
装置であって、 前記磁気ヘッド装置は、ヘッド.スタック組立体を含
み、 前記ヘッド.スタック組立体は、ブロックと、ヘッド支
持体と、磁気ヘッドとを含み、 前記ブロックは、複数の腕片を有し、前記複数の腕片は
間隔を隔てて順次に配列されており、 前記ヘッド支持体は、前記腕片のそれぞれ毎に備えら
れ、一端が前記腕片に固定されており、 前記磁気ヘッドは、前記ヘッド支持体のそれぞれ毎に備
えられ、前記ヘッド支持体の他端側に取り付けられてお
り、 前記修正装置は、前記腕片または前記ヘッド支持体に曲
げを加えるものであり、 前記レーザ発振装置は、曲げ領域にレーザを照射するも
のである装置。
9. A correction device comprising: a correction device; and a laser oscillation device.
An apparatus for adjusting a load of a magnetic head device on a magnetic disk, wherein the magnetic head device comprises a head. A head assembly. The stack assembly includes a block, a head support, and a magnetic head, wherein the block has a plurality of arm pieces, and the plurality of arm pieces are sequentially arranged at intervals. A support is provided for each of the arm pieces, one end is fixed to the arm piece, and the magnetic head is provided for each of the head supports, and is provided on the other end side of the head support. The correction device is attached, the correction device applies a bend to the arm piece or the head support, and the laser oscillation device irradiates a laser to a bending area.
【請求項10】 請求項7乃至9の何れかに記載された
装置であって、 更に、荷重測定装置と、制御装置とを含み、 前記荷重測定装置は、前記磁気ヘッドに接触して、前記
磁気ヘッドから加わる荷重を検出し、 前記制御装置は、前記荷重測定装置から供給される信号
に基づき、前記レーザ発振装置、及び、前記荷重調整装
置を制御する装置。
10. The device according to claim 7, further comprising a load measuring device and a control device, wherein the load measuring device contacts the magnetic head and An apparatus for detecting a load applied from a magnetic head, wherein the control device controls the laser oscillation device and the load adjustment device based on a signal supplied from the load measurement device.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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US7489473B2 (en) 2005-01-28 2009-02-10 Tdk Corporation Magnetic recording head having a switching layer which may be rendered non-magnetic by heating

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