JP3962913B2 - 高速切削加工ですぐれた耐摩耗性を発揮する硬質被覆層を切削工具表面に形成する方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
この発明は、一段とすぐれた高温硬さおよび耐熱性を有し、したがって特に各種の鋼や鋳鉄などの高熱発生を伴う高速切削加工で、すぐれた耐摩耗性を発揮する硬質被覆層を切削工具表面に形成する方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
一般に、切削工具には、各種の鋼や鋳鉄などの被削材の旋削加工や平削り加工にバイトの先端部に着脱自在に取り付けて用いられるスローアウエイチップ、前記被削材の穴あけ切削加工などに用いられるドリルやミニチュアドリル、さらに前記被削材の面削加工や溝加工、肩加工などに用いられるソリッドタイプのエンドミルなどがあり、また前記スローアウエイチップを着脱自在に取り付けて前記ソリッドタイプのエンドミルと同様に切削加工を行うスローアウエイエンドミル工具などが知られている。
【0003】
さらに、例えば図2に概略説明図で示される物理蒸着装置の1種であるアークイオンプレーティング装置内に炭化タングステン(以下、WCで示す)基超硬合金や炭窒化チタン(以下、TiCNで示す)基サーメットからなる切削工具を装入し、ヒータで装置内を、例えば400℃の温度に加熱した状態で、アノード電極と所定組成を有するAl−Ti−Zr合金がセットされたカソード電極(蒸発源)との間に、例えば電流:90Aの条件でアーク放電を発生させ、同時に装置内に反応ガスとして窒素ガスを導入して、例えば2Paの反応雰囲気とし、一方上記切削工具には、例えば−100Vのバイアス電圧を印加した条件で、前記切削工具の表面に、
組成式:(Al1-(X+Y)TiX ZrY)N(ただし、原子比で、Xは0.35〜0.60、Y:0.01〜0.15を示す)を満足するAlとTiとZrの複合窒化物[以下、(Al,Ti,Zr)Nで示す]層からなる硬質被覆層を1〜15μmの平均層厚で形成する方法が知られている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
近年の切削加工装置の高性能化はめざましく、一方で切削加工に対する省力化および省エネ化、さらに低コスト化の要求は強く、これに伴い、切削加工は高速化の傾向にあるが、上記の従来切削工具においては、これを通常の切削加工条件で用いた場合には問題はないが、これを高い発熱を伴う高速切削条件で用いた場合には、これを構成する硬質被覆層の摩耗が著しく促進されるようになることから、比較的短時間で使用寿命に至るのが現状である。
【0005】
【課題を解決するための手段】
そこで、本発明者等は、上述のような観点から、特に上記の従来切削工具の硬質被覆層である(Al,Ti,Zr)N層に着目し、高速切削加工ですぐれた耐摩耗性を発揮する(Al,Ti,Zr)N層を開発すべく、研究を行った結果、(a)上記の図2に示されるアークイオンプレーティング装置を用いて形成された従来硬質被覆層である(Al,Ti,Zr)N層は、厚さ全体に亘って均質な高温硬さと耐熱性、強度と靭性、さらに高温強度を有するが、例えば図1(a)に概略平面図で、同(b)に概略正面図で示される構造のアークイオンプレーティング装置、すなわち装置中央部に切削工具装着用回転テーブルを設け、前記回転テーブルを挟んで、一方側に上記の従来(Al,Ti,Zr)N層の形成にカソード電極(蒸発源)として用いられたAl−Ti−Zr合金に相当する相対的にTi含有量の高いAl−Ti−Zr合金、他方側に相対的にTi含有量の低いAl−Ti−Zr合金をいずれもカソード電極(蒸発源)として対向配置したアークイオンプレーティング装置を用い、この装置の前記回転テーブル上に、前記回転テーブルの中心軸から半径方向に離れた位置に前記切削工具を装着し、この状態で装置内の反応雰囲気を窒素ガス雰囲気として前記回転テーブルを回転させると共に、蒸着形成される硬質被覆層の層厚均一化を図る目的で切削工具自体も自転させながら、前記の両側のカソード電極(蒸発源)とアノード電極との間にアーク放電を発生させる条件で(Al,Ti,Zr)N層を形成すると、前記切削工具の表面には、回転テーブル上の中心軸から半径方向に離れた位置に配置された前記切削工具が上記の一方側の相対的にTi含有量の高いAl−Ti−Zr合金のカソード電極(蒸発源)に最も接近した時点で層中にTi最高含有点が形成され、また前記前記切削工具が上記の他方側の相対的にTi含有量の低いAl−Ti−Zr合金のカソード電極に最も接近した時点で層中にTi最低含有点が形成されることから、上記回転テーブルの回転によって層中には厚さ方向にそって前記Ti最高含有点とTi最低含有点が所定間隔をもって交互に繰り返し現れると共に、前記Ti最高含有点から前記Ti最低含有点、前記Ti最低含有点から前記Ti最高含有点へTi含有量が連続的に変化する成分濃度分布構造をもった(Al,Ti,Zr)N層が形成されるようになること。
【0006】
(b)上記(a)の繰り返し連続変化成分濃度分布構造の(Al,Ti,Zr)N層において、例えば対向配置のカソード電極(蒸発源)のそれぞれの組成を調製すると共に、切削工具が装着されている回転テーブルの回転速度を制御して、
上記Ti最高含有点が、組成式:(Al1-(X+Y)TiX ZrY)N(ただし、原子比で、Xは0.35〜0.60、Y:0.01〜0.15を示す)、
上記Ti最低含有点が、組成式:(Al1-(X+Y)TiX ZrY)N(ただし、原子比で、Xは0.05〜0.30、Y:0.01〜0.15を示す)、
をそれぞれ満足し、かつ隣り合う上記Ti最高含有点とTi最低含有点の厚さ方向の間隔を0.01〜0.1μm、
となるようにすると、上記Ti最低含有点部分では、上記の従来(Al,Ti,Zr)N層に比してAl含有量が相対的に高くなることから、より一段とすぐれた高温硬さと耐熱性を示し、一方上記Ti最高含有点部分は、前記従来(Al,Ti,Zr)N層と同等の組成、すなわち前記Ti最低含有点部分に比して相対的にAl含有量が低く、Ti含有量の高い組成をもつので、高強度と高靭性を保持し、かつこれらTi最高含有点とTi最低含有点の間隔をきわめて小さくしたことから、層全体の特性として高強度と高靭性を保持し、かつZrによる高温強度も保持した状態ですぐれた高温硬さと耐熱性を具備するようになり、したがって、かかる構成の(Al,Ti、Zr)N層を硬質被覆層として形成してなる切削工具は、高い発熱を伴う鋼や鋳鉄などの高速切削加工ですぐれた耐摩耗性を発揮するようになること。
以上(a)および(b)に示される研究結果を得たのである。
【0007】
この発明は、上記の研究結果に基づいてなされたものであって、アークイオンプレーティング装置内の回転テーブル上に、前記回転テーブルの中心軸から半径方向に離れた位置にWC基超硬合金および/またはTiCN基サーメットからなる切削工具を自転自在に装着し、
上記アークイオンプレーティング装置内の反応雰囲気を窒素ガス雰囲気として、上記回転テーブルを挟んで対向配置したTi最高含有点形成用Al−Ti−Zr合金のカソード電極およびTi最低含有点形成用Al−Ti−Zr合金のカソード電極と、これらカソード電極のそれぞれに並設されたアノード電極との間にアーク放電を発生させ、
もって、上記回転テーブル上で自転しながら回転する上記切削工具の表面に、
厚さ方向にそって、Ti最高含有点とTi最低含有点とが所定間隔をおいて交互に繰り返し存在し、かつ前記Ti最高含有点から前記Ti最低含有点、前記Ti最低含有点から前記Ti最高含有点へTi含有量が連続的に変化する成分濃度分布構造を有し、
さらに、上記Ti最高含有点が、組成式:(Al1-(X+Y)TiX ZrY)N(ただし、原子比で、Xは0.35〜0.60、Y:0.01〜0.15を示す)、
上記Ti最低含有点が、組成式:(Al1-(X+Y)TiX ZrY)N(ただし、原子比で、Xは0.05〜0.30、Y:0.01〜0.15を示す)、
をそれぞれ満足し、かつ隣り合う上記Ti最高含有点とTi最低含有点の間隔が、0.01〜0.1μmである、
(Al,Ti,Zr)Nからなる硬質被覆層を1〜15μmの全体平均層厚で物理蒸着することからなる、高速切削加工ですぐれた耐摩耗性を発揮する硬質被覆層を切削工具表面に形成する方法に特徴を有するものである。
【0008】
つぎに、この発明の硬質被覆層形成方法において、形成される硬質被覆層の構成を上記の通りに限定した理由を説明する。
(a)Ti最低含有点の組成
Ti最低含有点の(Al,Ti,Zr)NにおけるAl成分は高温硬さおよび耐熱性を向上させ、一方同Ti成分は、強度および靭性を向上させ、さらに同Zr成分は層の高温強度を一段と向上させる作用があるので、前記Ti最低含有点では相対的にTi含有量を低くし、Al含有量を高くして、高熱発生を伴う高速切削に適応するすぐれた高温硬さと耐熱性を具備するようにしたものであるが、Tiの割合を示すX値がAlとZrの合量に占める割合(原子比)で0.05未満になると、相対的にAlの割合が多くなり過ぎて、高強度および高靭性を有するTi最高含有点が隣接して存在しても層自体の強度および靭性の低下は避けられず、この結果チッピングなどが発生し易くなり、一方Tiの割合を示すX値が同0.30を越えると、相対的にAlの割合が少なくなり過ぎて、高速切削に要求されるすぐれた高温硬さおよび耐熱性を確保することができなくなるものであり、またZrの割合を示すY値がAlとTiの合量に占める割合(原子比)で0.01未満では所望の高温強度を確保することができず、この結果チッピングが発生し易くなり、一方同Y値が0.15を超えても、所望の高温強度を確保することが困難になることから、X値を0.05〜0.30、Y値を0.01〜0.15とそれぞれ定めた。
【0009】
(b)Ti最高含有点の組成
上記の通りTi最低含有点は高温硬さおよび耐熱性のすぐれたものであるが、反面強度および靭性の劣るものであるため、このTi最低含有点の強度および靭性不足を補う目的で、上記の従来(Al,Ti,Zr)N層と同等の組成、すなわち相対的にTi含有割合が高く、一方Al含有量が低く、これによって高強度および高靭性を有するようになるTi最高含有点を厚さ方向に交互に介在させるものであり、したがってTiの割合を示すX値がAlおよびZr成分との合量に占める割合(原子比)で0.35未満では、所望のすぐれた強度および靭性を確保することができず、一方同X値が0.60を越えると、Alに対するTiの割合が多くなり過ぎて、Ti最高含有点に所望の高温硬さおよび耐熱性を具備せしめることができなくなることから、Ti最高含有点でのTiの割合を示すX値を0.35〜0.60と定めた。
また、Ti最高含有点におけるZr成分は、上記の通り高温強度を向上させ、もって耐チッピング性の向上に寄与する作用をもつものであり、したがってY値が0.01未満では所望の高温強度向上効果が得られず、一方Y値が0.15を超えても、所望の高温強度を確保することが困難になることから、Y値を0.01〜0.15と定めた。
【0010】
(c)Ti最低含有点とTi最高含有点間の間隔
その間隔が0.01μm未満ではそれぞれの点を上記の組成で明確に形成することが困難であり、この結果層に所望のすぐれた高温硬さと耐熱性、さらに高強度と高靭性を確保することができなくなり、またその間隔が0.1μmを越えるとそれぞれの点がもつ欠点、すなわちTi最低含有点であれば強度および靭性不足、Ti最高含有点であれば高温硬さと耐熱性不足が層内に局部的に現れ、これが原因で切刃にチッピングが発生し易くなったり、摩耗進行が促進されるようになることから、その間隔を0.01〜0.1μmと定めた。
【0011】
(d)硬質被覆層の全体平均層厚
その層厚が1μm未満では、所望の耐摩耗性を確保することができず、一方その平均層厚が15μmを越えると、切刃にチッピングが発生し易くなることから、その平均層厚を1〜15μmと定めた。
【0012】
【発明の実施の形態】
つぎに、この発明の硬質被覆層形成方法を実施例により具体的に説明する。
(実施例1)
原料粉末として、いずれも1〜3μmの平均粒径を有するWC粉末、TiC粉末、VC粉末、TaC粉末、NbC粉末、Cr3 C2 粉末、およびCo粉末を用意し、これら原料粉末を、表1に示される配合組成に配合し、ボールミルで72時間湿式混合し、乾燥した後、100MPa の圧力で圧粉体にプレス成形し、この圧粉体を6Paの真空中、温度:1405℃に1時間保持の条件で焼結し、焼結後、切刃部分にR:0.03のホーニング加工を施すことにより、切削工具としてISO規格・CNMG120408の形状をもったWC基超硬合金製のスローアウエイチップ(以下、チップ工具という)A−1〜A−10を形成した。
【0013】
また、原料粉末として、いずれも0.5〜2μmの平均粒径を有するTiCN(重量比でTiC/TiN=50/50)粉末、Mo2 C粉末、ZrC粉末、NbC粉末、TaC粉末、WC粉末、Co粉末、およびNi粉末を用意し、これら原料粉末を、表2に示される配合組成に配合し、ボールミルで48時間湿式混合し、乾燥した後、100MPaの圧力で圧粉体にプレス成形し、この圧粉体を2kPaの窒素雰囲気中、温度:1500℃に1時間保持の条件で焼結し、焼結後、切刃部分にR:0.03のホーニング加工を施すことにより、切削工具としてISO規格・CNMG120408の形状をもったTiCN系サーメット製のチップ工具B−1〜B−6を形成した。
【0014】
ついで、上記のチップ工具A−1〜A−10およびB−1〜B−6のそれぞれを、アセトン中で超音波洗浄し、乾燥した状態で、図1に示されるアークイオンプレーティング装置内の回転テーブル上に、前記回転テーブルの中心軸から半径方向に離れた位置に自転自在に装着し、一方側のカソード電極(蒸発源)として、種々の成分組成をもったTi最低含有点形成用Al−Ti−Zr合金、他方側のカソード電極(蒸発源)として、種々の成分組成をもったTi最高含有点形成用Al−Ti−Zr合金を前記回転テーブルを挟んで対向配置し、またボンバート洗浄用金属Tiも装着し、まず装置内を排気して0.5Pa以下の真空に保持しながら、ヒーターで装置内を500℃に加熱した後、前記回転テーブル上で自転しながら回転するチップ工具に−1000Vの直流バイアス電圧を印加し、かつカソード電極の前記金属Tiとアノード電極との間に100Aの電流を流してアーク放電を発生させ、もってチップ工具表面をTiボンバート洗浄し、ついで装置内に反応ガスとして窒素ガスを導入して2.5Paの反応雰囲気とすると共に、前記回転テーブル上で自転しながら回転するチップ工具に−50Vの直流バイアス電圧を印加し、かつそれぞれのカソード電極(前記Ti最低含有点形成用Al−Ti−Zr合金およびTi最高含有点形成用Al−Ti−Zr合金)とアノード電極との間に150Aの電流を流してアーク放電を発生させる条件で本発明法1〜16を実施し、もって前記チップ工具の表面に、厚さ方向に沿って表3,4に示される目標組成のTi最低含有点とTi最高含有点とが交互に、同じく表3,4に示される目標間隔で繰り返し存在し、かつ前記Ti最高含有点から前記Ti最低含有点、前記Ti最低含有点から前記Ti最高含有点へTi含有量が連続的に変化する成分濃度分布構造を有し、かつ同じく表3,4に示される目標全体層厚の硬質被覆層を蒸着形成した。
【0015】
また、比較の目的で、これらチップ工具A−1〜A−10およびB−1〜B−6を、アセトン中で超音波洗浄し、乾燥した状態で、それぞれ図2に示される通常のアークイオンプレーティング装置に装入し、カソード電極(蒸発源)として種々の成分組成をもったAl−Ti−Zr合金を装着し、またボンバート洗浄用金属Tiも装着し、まず、装置内を排気して0.5Pa以下の真空に保持しながら、ヒーターで装置内を400℃に加熱した後、前記チップ工具に−1000Vの直流バイアス電圧を印加し、かつカソード電極の前記金属Tiとアノード電極との間に100Aの電流を流してアーク放電を発生させ、もってチップ工具表面をTiボンバート洗浄し、ついで装置内に反応ガスとして窒素ガスを導入して2Paの反応雰囲気とすると共に、前記チップ工具に印加するバイアス電圧を−100Vに下げて、前記カソード電極とアノード電極との間にアーク放電を発生させる条件で従来法1〜16を実施し、もって前記チップ工具A−1〜A−10およびB−1〜B−6のそれぞれの表面に、表5,6に示される目標組成および目標層厚を有し、かつ厚さ方向に沿って実質的に組成変化のない(Al,Ti,Zr)N層からなる硬質被覆層を蒸着形成した。
【0016】
つぎに、上記本発明法1〜16および従来法1〜16により得られたチップ工具ついて、これを工具鋼製バイトの先端部に固定治具にてネジ止めした状態で、
被削材:JIS・S10Cの丸棒、
切削速度:365m/min.、
切り込み:1.5mm、
送り:0.21mm/rev.、
切削時間:5分、
の条件での炭素鋼の乾式高速連続旋削加工試験、
被削材:JIS・SCM440の長さ方向等間隔4本縦溝入り丸棒、
切削速度:315m/min.、
切り込み:2.5mm、
送り:0.23mm/rev.、
切削時間:5分、
の条件での合金鋼の乾式高速断続旋削加工試験、さらに、
被削材:JIS・FC250の長さ方向等間隔4本縦溝入り丸棒、
切削速度:340m/min.、
切り込み:3mm、
送り:0.24mm/rev.、
切削時間:8分、
の条件での鋳鉄の乾式高速断続旋削加工試験を行い、いずれの旋削加工試験でも切刃の逃げ面摩耗幅を測定した。この測定結果を表7に示した。
【0017】
【表1】
【0018】
【表2】
【0019】
【表3】
【0020】
【表4】
【0021】
【表5】
【0022】
【表6】
【0023】
【表7】
【0024】
(実施例2)
原料粉末として、平均粒径:5.5μmを有する中粗粒WC粉末、同0.8μmの微粒WC粉末、同1.3μmのTaC粉末、同1.2μmのNbC粉末、同1.2μmのZrC粉末、同2.3μmのCr3C2粉末、同1.5μmのVC粉末、同1.0μmの(Ti,W)C粉末、および同1.8μmのCo粉末を用意し、これら原料粉末をそれぞれ表8に示される配合組成に配合し、さらにワックスを加えてアセトン中で48時間ボールミル混合し、減圧乾燥した後、100MPaの圧力で所定形状の各種の圧粉体にプレス成形し、これらの圧粉体を、6Paの真空雰囲気中、7℃/分の昇温速度で1370〜1470℃の範囲内の所定の温度に昇温し、この温度に1時間保持後、炉冷の条件で焼結して、直径が8mm、13mm、および26mmの3種のエンドミル工具形成用丸棒焼結体を形成し、さらに前記の3種の丸棒焼結体から、研削加工にて、表8に示される組合せで、切刃部の直径×長さがそれぞれ6mm×13mm、10mm×22mm、および20mm×45mmの寸法、並びにいずれもねじれ角:30度の4枚刃スクエア形状をもったエンドミル工具C−1〜C−8を切削工具としてそれぞれ製造した。
【0025】
ついで、これらのエンドミル工具C−1〜C−8の表面をアセトン中で超音波洗浄し、乾燥した状態で、同じく図1に示されるアークイオンプレーティング装置に装入し、上記実施例1と同一の条件で本発明法17〜24を実施し、もって、前記エンドミル工具の表面に、厚さ方向に沿って表9に示される目標組成のTi最低含有点とTi最高含有点とが交互に、同じく表9に示される目標間隔で繰り返し存在し、かつ前記Ti最高含有点から前記Ti最低含有点、前記Ti最低含有点から前記Ti最高含有点へTi含有量が連続的に変化する成分濃度分布構造を有し、かつ同じく表9に示される目標全体層厚の硬質被覆層を蒸着形成した。
【0026】
また、比較の目的で、上記のエンドミル工具C−1〜C−8の表面をアセトン中で超音波洗浄し、乾燥した状態で、同じく図2に示される通常のアークイオンプレーティング装置に装入し、上記実施例1における厚さ方向に沿って実質的に組成変化のない(Al,Ti,Zr)N層からなる硬質被覆層の形成条件と同一の条件で従来法17〜24を実施し、もって前記エンドミル工具の表面に表10に示される目標組成および目標層厚を有し、かつ厚さ方向に沿って実質的に組成変化のない(Al,Ti,Zr)N層からなる硬質被覆層を蒸着を蒸着形成した。
【0027】
つぎに、上記本発明法17〜24および従来法17〜24により得られたエンドミル工具ついて、これらのうち本発明法17〜19および従来法17〜19により得られたエンドミル工具については、
被削材:平面寸法:100mm×250mm、厚さ:50mmのJIS・S20Cの板材、
切削速度:280m/min.、
軸方向切り込み:4.5mm、
径方向切り込み:0.18mm、
テーブル送り:200mm/分、
の条件での炭素鋼の湿式高速側面切削加工試験、本発明法20〜22および従来法20〜22により得られたエンドミル工具については、
被削材:平面寸法:100mm×250mm、厚さ:50mmのJIS・SCM440の板材、
切削速度:265m/min.、
軸方向切り込み:7.3mm、
径方向切り込み:0.28mm、
テーブル送り:220mm/分、
の条件での合金鋼の湿式高速側面切削加工試験、本発明法23.24および従来法23.24により得られたエンドミル工具については、
被削材:平面寸法:100mm×250mm、厚さ:50mmのJIS・FC250の板材、
切削速度:300m/min.、
軸方向切り込み:14mm、
径方向切り込み:0.35mm、
テーブル送り:110mm/分、
の条件での鋳鉄の湿式高速側面切削加工試験をそれぞれ行い、いずれの側面切削加工試験(いずれの試験も水溶性切削油使用)でも切刃部の外周刃の逃げ面摩耗幅が使用寿命の目安とされる0.1mmに至るまでの切削長を測定した。この測定結果を表9、10にそれぞれ示した。
【0028】
【表8】
【0029】
【表9】
【0030】
【表10】
【0031】
(実施例3)
上記の実施例2で製造した直径が8mm(エンドミル工具C−1〜C−3形成用)、13mm(エンドミル工具C−4〜C−6形成用)、および26mm(エンドミル工具C−7、C−8形成用)の3種の丸棒焼結体を用い、この3種の丸棒焼結体から、研削加工にて、溝形成部の直径×長さがそれぞれ4mm×13mm(ドリル工具D−1〜D−3)、8mm×22mm(ドリル工具D−4〜D−6)、および16mm×45mm(ドリル工具D−7、D−8)の寸法、並びにいずれもねじれ角:30度の2枚刃形状をもったドリル工具D−1〜D−8を切削工具としてそれぞれ製造した。
【0032】
ついで、これらのドリル工具D−1〜D−8の切刃に、ホーニングを施し、アセトン中で超音波洗浄し、乾燥した状態で、同じく図1に示されるアークイオンプレーティング装置に装入し、上記実施例1と同一の条件で本発明法25〜32を実施し、もって、前記ドリル工具の表面に、、厚さ方向に沿って表11に示される目標組成のTi最低含有点とTi最高含有点とが交互に同じく表11に示される目標間隔で繰り返し存在し、かつ前記Ti最高含有点から前記Ti最低含有点、前記Ti最低含有点から前記Ti最高含有点へTi含有量が連続的に変化する成分濃度分布構造を有し、かつ同じく表11に示される目標全体層厚の硬質被覆層を蒸着形成した。
【0033】
また、比較の目的で、上記のドリル工具D−1〜D−8の表面に、ホーニングを施し、アセトン中で超音波洗浄し、乾燥した状態で、同じく図2に示される通常のアークイオンプレーティング装置に装入し、上記実施例1における厚さ方向に沿って実質的に組成変化のない(Al,Ti,Zr)N層からなる硬質被覆層の形成条件と同一の条件で従来法25〜32を実施し、前記ドリル工具の表面に表12に示される目標組成および目標層厚を有し、かつ厚さ方向に沿って実質的に組成変化のない(Al,Ti,Zr)N層からなる硬質被覆層を蒸着形成した。
【0034】
つぎに、上記本発明法25〜32および従来法25〜32により得られたドリル工具ついて、これらのうち本発明法25〜27および従来法25〜27により得られたドリル工具については、
被削材:平面寸法:100mm×250厚さ:50mmのJIS・S20Cの板材、
切削速度:178m/min.、
送り:0.21mm/rev、
穴深さ:10mm
の条件での炭素鋼の湿式高速穴あけ切削加工試験、本発明法28〜30および従来法28〜30により得られたドリル工具については、
被削材:平面寸法:100mm×250mm、厚さ:50mmのJIS・SCM440の板材、
切削速度:180m/min.、
送り:0.20mm/rev、
穴深さ:15mm
の条件での合金鋼の湿式高速穴あけ切削加工試験、本発明法31,32および従来法31,32により得られたドリル工具については、
被削材:平面寸法:100mm×250mm、厚さ:50mmのJIS・FC250の板材、
切削速度:220m/min.、
送り:0.24mm/rev、
穴深さ:30mm
の条件での鋳鉄の湿式高速穴あけ切削加工試験、をそれぞれ行い、いずれの湿式高速穴あけ切削加工試験(水溶性切削油使用)でも先端切刃面の逃げ面摩耗幅が0.3mmに至るまでの穴あけ加工数を測定した。この測定結果を表11、12にそれぞれ示した。
【0035】
【表11】
【0036】
【表12】
【0037】
なお、上記本発明法1〜32で得られた各種の切削工具の硬質被覆層におけるTi最低含有点とTi最高含有点の組成、並びに上記従来法1〜32で得られた各種の切削工具の硬質被覆層の組成をオージェ分光分析装置を用いて測定したところ、それぞれ目標組成と実質的に同じ組成を示した。
また、上記本発明法1〜32で得られた各種の切削工具の硬質被覆層におけるTi最低含有点とTi最高含有点間の間隔、およびこれの全体層厚、並びに上記従来法1〜32で得られた各種の切削工具の硬質被覆層の厚さを、走査型電子顕微鏡を用いて断面測定したところ、いずれも目標値と実質的に同じ値を示した。
【0038】
【発明の効果】
表3〜12に示される結果から、本発明法1〜32により厚さ方向にTi最低含有点とTi最高含有点とが交互に所定間隔をおいて繰り返し存在し、かつ前記Ti最高含有点から前記Ti最低含有点、前記Ti最低含有点から前記Ti最高含有点へTi含有量が連続的に変化する成分濃度分布構造を有する(Al,Ti,Zr)N層からなる硬質被覆層を形成してなる切削工具は、いずれも鋼や鋳鉄の切削加工を高い発熱を伴う高速で行っても、すぐれた耐摩耗性を発揮するのに対して、従来法1〜32により厚さ方向に沿って実質的に組成変化のない(Al,Ti,Zr)N層からなる硬質被覆層を形成してなる切削工具においては、高温を伴う高速切削加工では前記硬質被覆層の高温硬さおよび耐熱性不足が原因で切刃の摩耗進行が速く、比較的短時間で使用寿命に至ることが明らかである。
上述のように、この発明の硬質被覆層形成方法によれば、特に各種の鋼や鋳鉄などの高速切削加工でもすぐれた耐摩耗性を発揮する硬質被覆層を切削工具表面に形成することができ、この結果の切削工具は切削加工の省力化および省エネ化、さらに低コスト化に十分満足に対応できるものである。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明硬質被覆層形成方法の実施装置であるアークイオンプレーティング装置を示し、(a)は概略平面図、(b)は概略正面図である。
【図2】従来硬質被覆層形成方法の実施装置である通常のアークイオンプレーティング装置の概略説明図である。
Claims (1)
- アークイオンプレーティング装置内の回転テーブル上に、前記回転テーブルの中心軸から半径方向に離れた位置に炭化タングステン基超硬合金および/または炭窒化チタン系サーメットからなる切削工具を自転自在に装着し、
上記アークイオンプレーティング装置内の反応雰囲気を窒素ガス雰囲気として、上記回転テーブルを挟んで対向配置したTi最高含有点形成用Al−Ti−Zr合金のカソード電極およびTi最低含有点形成用Al−Ti−Zr合金のカソード電極と、これらカソード電極のそれぞれに並設されたアノード電極との間にアーク放電を発生させ、
もって、上記回転テーブル上で自転しながら回転する上記切削工具の表面に、
厚さ方向にそって、Ti最高含有点とTi最低含有点とが所定間隔をおいて交互に繰り返し存在し、かつ前記Ti最高含有点から前記Ti最低含有点、前記Ti最低含有点から前記Ti最高含有点へTi含有量が連続的に変化する成分濃度分布構造を有し、
さらに、上記Ti最高含有点が、組成式:(Al1-(X+Y)TiX ZrY)N(ただし、原子比で、Xは0.35〜0.60、Y:0.01〜0.15を示す)、
上記Ti最低含有点が、組成式:(Al1-(X+Y)TiX ZrY)N(ただし、原子比で、Xは0.05〜0.30、Y:0.01〜0.15を示す)、
をそれぞれ満足し、かつ隣り合う上記Ti最高含有点とTi最低含有点の間隔が、0.01〜0.1μmである、
(Al,Ti,Zr)Nからなる硬質被覆層を1〜15μmの全体平均層厚で物理蒸着すること、
を特徴とする高速切削加工ですぐれた耐摩耗性を発揮する硬質被覆層を切削工具表面に形成する方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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