JP3961072B2 - Semiconductor device and timing adjustment method thereof - Google Patents

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Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、各種DRAM又はこれを一部として含む半導体装置及びそのタイミング調整方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
図9は、従来のDRAMの概略構成を示す。以下一般に、低レベル‘L’がアクティブ状態である信号には*を付して表す。
コマンドデコーダ1に供給されるチップセレクト信号*CS、ロウアドレスストローブ信号*RAS、コラムアドレスストローブ信号*CAS及びライトイネーブル信号*WE、並びに、必要な場合には更に他の信号の論理値の組み合わせに応じて、コマンドデコーダ1から1つ以上のコマンドがタイミング調整回路2へ供給され、所定のタイミングでこのコマンドが活性化され非活性化され、DRAM制御信号としてDRAMコア3へ供給される。このタイミングは、コマンド発生時点又はクロックCLKiのエッジの時点を遅延回路で遅延させて生成される。クロックCLKiは、外部CLKをクロックバッファ回路4に供給して得られる。
【0003】
ロウアドレスストローブ信号*RASが高レベル‘H’の期間においてタイミング調整回路2から制御信号PRがプリチャージ回路5へ供給され、メモリセルアレイ6内のビット線BL及び*BLが例えば電位VDD/2にプリチャージされる。CAS系のデータバスDB及びデータI/Oバッファ回路13のプリチャージは、コラムアドレスストローブ信号*CASが‘H’の期間において行われる。
【0004】
ロウアドレスストローブ信号*RASが低レベル‘L’に遷移すると、次のようなRAS系の一連の動作がクロックCLKiと非同期で行われる。すなわち、タイミング調整回路2からの信号により上位アドレスA23〜A12がロウアドレスバッファレジスタ7に保持され、ロウデコーダ8でデコードされる。タイミング調整回路2からの信号RXにより、選択されたワード線WLが高電圧にされ、セル6aの電荷がビット線BLに読み出される。タイミング調整回路2からの制御信号SAP(センスアンプ列9のpMOSトランジスタのオン/オフ用)及びSAN(センスアンプ列9のnMOSトランジスタのオン/オフ用)によりセンスアンプ列9が活性化さてビット線BLと*BLとの微小電位差が増幅される。この活性化開始時点が早過ぎると、ビット線BLと*BLとの微小電位差が小さ過ぎてノイズにより増幅方向が逆になる虞がある。
【0005】
コラムアドレスストローブ信号*CASが‘L’に遷移すると、CAS系の一連の動作が開始される。コラムアドレスストローブ信号*CASの立ち下がり時にライトイネーブル信号*WEが‘H’であれば読み出し動作が開始され、‘L’であれば書き込み動作が開始される。タイミング調整回路2からの信号により下位アドレスA11〜A0がコラムアドレスバッファレジスタ10に保持され、コラムデコーダ11でデコードされて、コラムゲート列12内の1つのコラムゲートが選択され、ビット線BL及び*BLがデータバスDBに接続される。読み出し動作のときには、ビット線BL及び*BL上のデータがデータI/Oバッファ回路13を介して読み出され、書き込みのときにはデータバスDB上のデータがビット線BL及び*BLを通ってセル6aに書き込まれる。次に、ワード線WLが低レベルにされ、制御信号SAP及びSANが非活性化されてセンスアンプ列9が非活性になる。
【0006】
シンクロナスDRAMやランバスDRAMなどの同期式DRAMでは、CAS系の動作をクロックに同期してパイプライン処理することにより高速化を図っている。しかし、RAS系については、同期式DRAMであっても非同期式DRAMと同様に、タイミング調整回路2において、トランジスタ、キャパシタ及び配線等の負荷を用いた信号遅延により、信号の活性化及び非活性化のタイミング調整を行っている。このタイミング調整の設計は、シミュレーションを用いて行われ、タイミング調整が高精度で行われるが、製造プロセスのばらつきや電源電圧の変動等を考慮する必要があり、設計期間が長くなってコスト増加の原因となる。
【0007】
汎用DRAMのように1品種で大量生産されるものについては、設計期間を長くとれるので、あまり問題にならないが、ASICのような短納期かつ小量生産のDRAM/ロジック混載チップについては問題となる。この問題は、動作クロック周波数が高くなるほど著しくなる。このようなチップの設計期間短縮方法として、RAS系についても、論理回路の動作クロックと同じクロックで同期動作させる方法が提案されている。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、クロック周波数が例えば100MHzでは、10ns単位のタイミング設計となり、クロックの立ち上がりと立ち下がりを利用しても5ns単位でしかタイミング調整ができず、DRAMの動作の高速化の要求を満たすことができない。
【0009】
本発明の目的は、このような問題点に鑑み、調整精度が比較的高いタイミング設計を短期間で行うことが可能な半導体装置及びそのタイミング調整方法を提供することにある。
【0010】
【課題を解決するための手段及びその作用効果】
本発明の第1態様では
供給されるDRAM制御信号に応じて制御コマンドを発するコマンドデコーダと、
DRAMコアと、
該制御コマンドを所定期間アクティブにしたものをDRAM制御信号として該DRAMコアに供給するタイミング調整回路と、
を備えた半導体装置において、該タイミング調整回路は、供給される基準クロックに対し位相がシフトした互いに異なる第1〜nクロックを生成し、所定動作のサイクルにおいて、該第1〜nクロックの1つの所定番目から該第1〜nクロックの1つの所定番目までの間、該制御コマンドをアクティブにすることにより該DRAM制御信号を生成し、更に、該タイミング調整回路は、
該第1〜nクロックの1つを計数する第1カウンタと、
該第1〜nクロックの1つを計数する第2カウンタと、
該第1カウンタの計数値が第1値になってから該第2カウンタの計数値が第2値になる迄の間、該制御コマンドをアクティブにすることにより該DRAM制御信号を生成するタイミングバッファ回路と、
を有する。
【0011】
この半導体装置によれば、タイミング調整が第1〜nクロック生成回路内の遅延段の整数倍で(デジタル的に)行われるので、タイミング設計において製造プロセスのばらつきや電源電圧の変動を敏感に考慮する必要がなく、タイミング設計期間を短縮して製造コストを低減することができ、特に短納期かつ小量生産のASICに適用して効果的である。また、例えば基準クロックが100MHzかつn=6の場合、10/6=1.7nsec単位でタイミング調整の設計を行うことができ、比較的高い精度で制御コマンドの活性化及び非活性化のタイミング調整を行うことができるという効果を奏する。
【0013】
本発明の第2態様の半導体装置は、上記第1態様と次の点で異なる。すなわち、この第2態様の上記タイミング調整回路は、
上記第1〜nクロックと上記基準クロックのうちの1つを共通クロックとして計数する共通カウンタと、
該共通カウンタの計数値が第1値の間のみ該第1〜nクロックの1つを有効にして出力する第1論理ゲートと、
該共通カウンタの計数値が第2値の間のみ該第1〜nクロックの1つを有効にして出力する第2論理ゲートと、
該第1論理ゲートの出力が活性になってから該第2論理ゲートの出力が活性になる迄の間、上記制御コマンドをアクティブにすることにより上記DRAM制御信号を生成するタイミングバッファ回路とを有する。
【0014】
この半導体装置によれば、共通カウンタの出力を複数又は全てのコマンド調整用に共通に用いることができるので、構成が簡単になるという効果を奏する。
本発明の第3態様では、上記第1又は2態様において、上記タイミング調整回路は、上記制御コマンドが発せられている期間のみ、生成された上記DRAM制御信号を有効にして出力する論理ゲートを有する。
【0015】
本発明の第4態様では、上記第2態様において、上記制御コマンドが発せられている間のみ上記共通クロックを上記第1カウンタへ供給する論理ゲートを有する。
この半導体装置によれば、制御コマンド出力部の論理ゲート段数を上記第3態様の場合よりも少なくすることができ、また、制御コマンドが発せられている期間のみクロックがカウンタで計数されるので、消費電力を低減することができるという効果を奏する。
【0016】
本発明の第5態様では、上記第2態様において、上記コマンドデコーダは、上記制御コマンドが発せられている間のみ、上記第1カウンタの計数値が第1値になっていることを有効にして上記タイミングバッファ回路へ供給する論理ゲートを有する。
本発明の第6態様では上記第1〜5のいずれかの態様において、上記カウンタはいずれもループカウンタである。
【0017】
この半導体装置によれば、構成が簡単になるという効果を奏する。
本発明の第7態様では、上記第6態様において、上記カウンタの少なくとも1つについて、該カウンタの複数ビットの出力が供給されそのうちの1ビットの出力を選択制御入力値に応じ選択して出力する選択回路と、
該選択制御入力値を記憶して出力するタイミング設定部とを有する。
【0018】
本発明の第8態様では、上記第2態様において、上記第1〜nクロックの1つを選択制御入力値に応じ選択して上記第1論理ゲート又は上記第2論理ゲートへのクロックとして供給する選択回路と、
該選択制御入力値を記憶して出力するタイミング設定部とを有する。
【0019】
本発明の第9態様では、上記第7又は8態様において、上記タイミング設定部はレジスタである。
この半導体装置によれば、タイミング設定部に対する設定及びその変更を容易に行うことができるという効果を奏する。
【0020】
本発明の第10態様では、上記第1〜9のいずれかの態様において、上記DRAMをアクセスするMPUを備えている。
本発明の第11態様の半導体装置のタイミング調整方法では、製造プロセスの条件に応じて上記第7又は8態様のタイミング設定部の出力を出荷前に定める。
この半導体装置のタイミング調整方法によれば、回路の設計変更をすることなく半導体装置の製造の歩留りを向上させることが可能となるという効果を奏する。
【0021】
本発明の第12態様の半導体装置のタイミング調整方法では、要求される動作速度に応じて上記第7又は8態様のタイミング設定部の出力を出荷前に定める。
この半導体装置のタイミング調整方法によっても、回路の設計変更をすることなく半導体装置の製造の歩留りを向上させることが可能となるという効果を奏する。
【0022】
【発明の実施の形態】
以下、図面に基づいて本発明の実施形態を説明する。
[第1実施形態]
図1は、本発明の第1実施形態に係る半導体装置20の概略構成を示す。図9と同一部分には、同一符号を付している。
【0023】
この半導体装置20は、コマンドデコーダ1、DRAMコア3、クロックバッファ回路4及びタイミング調整回路22からなるDRAMと、CPU又はメモリコントローラ等の論理回路24と、その他の論理回路25とが混載されたASICである。
論理回路24及び25は、クロックCLKiに同期して動作する。論理回路24からコマンドデコーダ1へチップセレクト信号*CS、ロウアドレスストローブ信号*RAS、コラムアドレスストローブ信号*CAS及びライトイネーブル信号*WEが供給され、例えばクロックCLKiの立ち上がり時点でのこれらの論理値の組み合わせに応じたコマンドがコマンドデコーダ1から発行される。このコマンドは、上述の制御信号SAN、SAP、PR又はPXに対応したコマンドSANC、SAPC、PRC又はPXC等であり、以下これらの任意の1つをCNTCと表記し、コマンドCNTCに対応したDRAM制御信号をCNTと表記する。
【0024】
多位相クロック生成回路26は、例えばクロックCLKiを2m、4m、6m、・・・、2(n−1)m及び2nm個のインバータに通して遅延させることにより、クロックCLKiの位相をθ〜nθシフトさせたクロックφ1〜φnを生成する。ここにmは自然数である。多位相クロック生成回路26は、クロックφnの位相をクロックCLKiの位相に一致させるDLL回路であってもよい。この場合、nθ=2πとなるように自動調整される。n=6、nθ=2πの場合のクロックφ1〜φ6をクロックCLKiと共に図3に示す。クロックCLKi及びφ1〜φ6の周期Tは互いに等しい。
【0025】
図1において、タイミング調整回路22は、多位相クロック生成回路26で生成されたクロックφ1〜φnをカウンタ回路28で計数して、制御信号CNTの活性化時点及び非活性化時点のタイミングを決定し、その信号をタイミングバッファ回路27に供給してこのタイミングの制御信号CNTを生成し、DRAMコア3に供給する。タイミングバッファ回路27の一部であるタイミングバッファ回路271は、カウンタ回路28の一部であるカウンタ281及び282により制御される。
【0026】
図2は、図1中のタイミング調整回路22の一部の構成例を示す。
タイミングバッファ回路271は、インバータ31の入力端及び出力端にそれぞれインバータ32の出力端及び入力端が接続されたフリップフロップ30を備えている。フリップフロップ30の入力端はpMOSトランジスタ33A、33B及びnMOSトランジスタ35のドレインに接続され、pMOSトランジスタ33A及び33Bのソースは電源供給線VDDに接続され、nMOSトランジスタ35のソースはグランド線に接続されている。フリップフロップ30の出力はアンドゲート36の一方の入力端に供給され、アンドゲート36の他方の入力端には制御コマンドCNTCが供給される。
【0027】
ループカウンタ281及び282はいずれも、その内容が1ビットのみ残りのビットと異なる値になっており、リセットパルスRSTで例えば図示のように、‘00・・・1’と初期化される。ループカウンタ281及び282のクロック入力端CKにはそれぞれ、クロックφ3及びφ4が供給されている。
pMOSトランジスタ33Aのゲートには、負のリセットパルス*RSTが供給され、これによりフリップフロップ30の出力が‘L’に初期化される。nMOSトランジスタ35のゲートにはループカウンタ281の第1ビットの出力が活性化タイミング信号CNT1として供給されている。ループカウンタ281は、リセットパルスRSTで初期化された後、最初のクロックφ3のパルスで‘10・・・0’となり、これによりnMOSトランジスタ35がオンになって、フリップフロップ30の出力が‘H’になる。pMOSトランジスタ33Bのゲートにはループカウンタ282の第2ビットの出力が非活性化タイミング信号CNT2として供給されている。ループカウンタ282は、リセットパルスRSTで初期化された後、クロックφ4の2個のパルスで‘01・・・0’となり、これによりpMOSトランジスタ33Bがオンになって、フリップフロップ30の出力が‘L’となる。
【0028】
制御コマンドCNTCは例えば、図3に示す如く、メモリ動作サイクルの開始時点であるロウアドレスストローブ信号*RASの立ち下がりに同期して立ち上がり、これによりアンドゲート36が開かれ、フリップフロップ30の出力がアンドゲート36を通り制御信号CNTとして取り出される。制御コマンドCNTCは、次のロウアドレスストローブ信号*RASの立ち下がり時まで、例えばコマンドデコーダ1から制御コマンドPRCが発行される時点で‘L’になる。
【0029】
他のコマンドのタイミング調整も図2と同様の回路で行われる。
本第1実施形態によれば、多位相クロック生成回路26から出力される所定位相のクロックをカウンタで計数して制御コマンドCNTCの活性化及び非活性化の時点を調整しているので、すなわちタイミング調整を多位相クロック生成回路26内の遅延段の整数倍で(デジタル的に)行っているので、タイミング設計において製造プロセスのばらつきや電源電圧の変動を敏感に考慮する必要がない。また、例えばクロックCLKiが100MHzかつn=6の場合、10/6=1.7nsec単位でタイミング調整の設計を行うことができ、比較的高い精度でコマンドの活性化及び非活性化のタイミング調整を行うことができる。
【0030】
[第2実施形態]
上記第1実施形態では、ロウアドレスストローブ信号*RASの立ち下がりから次の立ち下がりまでのRASサイクルでループカウンタ281及び282の内容がいずれも1巡以上しないようにビット長を長くしなければならない。
そこで、第2実施形態のカウンタ回路28Aでは、図4に示す如く、ループカウンタ281でクロックCLKiを計数し、ループカウンタ281の所定ビット出力とクロックφ3とをアンドゲート37に供給して活性化タイミング信号CNT1を生成し、ループカウンタ281の所定ビット出力とクロックφ4とをアンドゲート37に供給して非活性化タイミング信号CNT2を生成している。
【0031】
このようにすれば、ループカウンタ281の出力を他の全てのコマンド調整用にも共通に用いることができるので、カウンタ回路28Aの構成が簡単になる。
他の点は、図2の場合と同一である。
[第3実施形態]
図5は、本発明の第3実施形態に係るタイミング調整回路22の概略構成を示す。
【0032】
この回路では、図4のアンドゲート36の替わりに、カウンタ回路28Bにアンドゲート283を用い、これにクロックCLKiと制御コマンドCNTCとを供給し、アンドゲート283の出力をループカウンタ281で計数している。
この構成によれば、フリップフロップ30の出力を直接、制御信号CNTとして用いることができ、図4のアンドゲート36による遅延を考慮する必要がない。また、制御コマンドCNTCが‘H’の期間のみクロックCLKiがアンドゲート283を通ってループカウンタ281で計数されるので、カウンタ回路28Bの消費電力を低減することができる。
【0033】
また、図4のpMOSトランジスタ33A、33B及びnMOSトランジスタ35をそれぞれnMOSトランジスタ35A、35B及びpMOSトランジスタ33で置き換え、電源配線を逆にして、フリップフロップ30から、負論理の制御信号*CNTを出力している。
他の点は、図4の場合と同一である。
【0034】
[第4実施形態]
図6は、本発明の第4実施形態に係るDRAM制御回路の概略構成を示す。
この回路では、図4のアンドゲート36の替わりに、コマンドデコーダ1Aにアンドゲート1aを用い、ループカウンタ281の出力と制御コマンドCNTCとをアンドゲート1aに供給している。この場合、アンドゲート1aと図1のコマンドデコーダ1とでコマンドデコーダ1Aが構成されている。
【0035】
制御信号CNTの活性化期間がクロックCLKiの1サイクル以下の場合には、図示のようにアンドゲート1aの出力をアンドゲート37とアンドゲート38とで共通に用いることができる。
また、ループカウンタ281はクロックCLKi及びφ1〜φ6のうちの1つを計数すればよく、図6ではクロックφ2を計数し、その所定の1周期のうちのクロックφ3の立ち上がりから、次のクロックCLKiの周期のクロックφ1の立ち上がりまでの期間、制御信号CNTを活性化している。
【0036】
この第4実施形態によっても、フリップフロップ30の出力を直接、制御信号CNTとして用いることができ、図4のアンドゲート36による遅延を考慮する必要がない。
[第5実施形態]
DRAMの動作速度が低くても充分な用途に対しては、タイミング調整回路22のタイミングマージンが広くなるように設計することにより、半導体装置製造の歩留りを向上させることができる。しかし、用途に応じて設計変更するのは煩雑である。
【0037】
そこで、この第5実施形態では図7に示す如く、カウンタ回路28Dに選択回路284A、284B、285A、285B及びタイミング設定部286を備えている。そして、ループカウンタ281の出力の各ビットを選択回路284A及び285Aに供給し、クロックφ1〜φ6を選択回路284B及び285Bに供給し、タイミング設定部286の出力で選択回路284A、284B、285A及び285Bの各々について任意の1入力を選択できるようにしている。
【0038】
タイミング設定部286は、例えばヒューズを選択的にレーザ光線で融断することにより出力が設定可変となっている。半導体チップのパッケージ前に、用途に応じ又は製造プロセスの条件に応じてこの設定を行うことにより、回路の設計変更をすることなく半導体装置の製造の歩留りを向上させることが可能となる。
他の点は図4と同一構成である。
【0039】
[第6実施形態]
図8は、本発明の第6実施形態に係るDRAM制御回路の一部を示す。
この回路は、図7の回路に図6の考え方を適用し、かつ、図7のタイミング設定部286の1種としてタイミング設定レジスタ286Aを用いている。
この第6実施形態によれば、タイミング設定レジスタ286Aに対する設定及びその変更を容易に行うことができる。
【0040】
図8中、コマンドデコーダ1Bのアンドゲート261A及び261Bからそれぞれ出力されるCNT1及びCNT2Aは活性化粗タイミング信号である。
なお、本発明には外にも種々の変形例が含まれる。
例えば、*RAS系のみについてタイミング調整回路22を用いる構成であってもよい。この場合、請求項1又は2中の「所定動作のサイクル」は、*RASサイクルではなく*RASが低レベルの期間となり、*RASが‘H’の期間、リセット信号RSTをアクティブにすることにより、ループカウンタのビット長を短くすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1実施形態に係る半導体装置の概略構成図である。
【図2】図1中のタイミング調整回路22の一部の構成例を示す図である。
【図3】図1及び図2の回路の動作を示すタイミングチャートである。
【図4】本発明の第2実施形態に係るタイミング調整回路の一部を示す図である。
【図5】本発明の第3実施形態に係るタイミング調整回路の一部を示す図である。
【図6】本発明の第4実施形態に係るDRAM制御回路の一部を示す図である。
【図7】本発明の第5実施形態に係るタイミング調整回路の一部を示す図である。
【図8】本発明の第6実施形態に係るDRAM制御回路の一部を示す図である。
【図9】従来のDRAMの概略構成を示すブロック図である。
【符号の説明】
1 コマンドデコーダ
2、22 タイミング調整回路
3 DRAMコア
20 半導体装置
24、25 論理回路
26 多位相クロック生成回路
27、271、271A、271B タイミングバッファ回路
28、28A〜28D カウンタ回路
281、282 ループカウンタ
284A、284B、285A、285B 選択回路
286 タイミング設定部
286A タイミング設定レジスタ
30 フリップフロップ
[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to various DRAMs or a semiconductor device including the same as a part thereof and a timing adjustment method thereof.
[0002]
[Prior art]
FIG. 9 shows a schematic configuration of a conventional DRAM. In general, a signal in which the low level “L” is in the active state is indicated by *.
A combination of a chip select signal * CS, a row address strobe signal * RAS, a column address strobe signal * CAS and a write enable signal * WE supplied to the command decoder 1, and further logical values of other signals if necessary. In response, one or more commands are supplied from the command decoder 1 to the timing adjustment circuit 2, and the commands are activated and deactivated at a predetermined timing, and supplied to the DRAM core 3 as DRAM control signals. This timing is generated by delaying a command generation time or an edge time of the clock CLKi by a delay circuit. The clock CLKi is obtained by supplying the external CLK to the clock buffer circuit 4.
[0003]
The control signal PR is supplied from the timing adjustment circuit 2 to the precharge circuit 5 while the row address strobe signal * RAS is at the high level “H”, and the bit lines BL and * BL in the memory cell array 6 are set to the potential VDD / 2, for example. Precharged. The CAS data bus DB and the data I / O buffer circuit 13 are precharged while the column address strobe signal * CAS is 'H'.
[0004]
When the row address strobe signal * RAS transitions to a low level 'L', the following series of RAS operations are performed asynchronously with the clock CLKi. That is, the higher addresses A23 to A12 are held in the row address buffer register 7 by the signal from the timing adjustment circuit 2 and decoded by the row decoder 8. The selected word line WL is set to a high voltage by the signal RX from the timing adjustment circuit 2, and the charge of the cell 6a is read to the bit line BL. The sense amplifier row 9 is activated by the control signals SAP (for turning on / off the pMOS transistors in the sense amplifier row 9) and SAN (for turning on / off the nMOS transistors in the sense amplifier row 9) from the timing adjustment circuit 2, and the bit line A minute potential difference between BL and * BL is amplified. If the activation start point is too early, the minute potential difference between the bit lines BL and * BL is too small and the amplification direction may be reversed due to noise.
[0005]
When the column address strobe signal * CAS changes to 'L', a series of operations of the CAS system is started. If the write enable signal * WE is 'H' at the fall of the column address strobe signal * CAS, the read operation is started, and if it is 'L', the write operation is started. The lower addresses A11 to A0 are held in the column address buffer register 10 by the signal from the timing adjustment circuit 2, decoded by the column decoder 11, and one column gate in the column gate row 12 is selected, and the bit lines BL and * BL is connected to the data bus DB. In the read operation, the data on the bit lines BL and * BL is read through the data I / O buffer circuit 13, and in the write operation, the data on the data bus DB passes through the bit lines BL and * BL to the cell 6a. Is written to. Next, the word line WL is set to a low level, the control signals SAP and SAN are deactivated, and the sense amplifier array 9 is deactivated.
[0006]
In synchronous DRAMs such as synchronous DRAMs and Rambus DRAMs, the speed of CAS-type operations is increased by pipeline processing in synchronization with a clock. However, for the RAS system, even in the case of a synchronous DRAM, the timing adjustment circuit 2 activates and deactivates a signal by signal delay using a load such as a transistor, a capacitor, and a wiring, as in the case of an asynchronous DRAM. The timing is adjusted. This timing adjustment design is performed using simulation, and the timing adjustment is performed with high accuracy.However, it is necessary to consider variations in the manufacturing process, fluctuations in the power supply voltage, etc., which increases the design period and increases costs. Cause.
[0007]
For general-purpose DRAMs that are mass-produced in one type, the design period can be extended, so this is not a problem, but for short-time and small-volume production DRAM / logic mixed chips such as ASIC, there is a problem. . This problem becomes more serious as the operating clock frequency increases. As a method for shortening the design period of such a chip, a method is also proposed in which the RAS system is operated synchronously with the same clock as the operation clock of the logic circuit.
[0008]
[Problems to be solved by the invention]
However, when the clock frequency is 100 MHz, for example, the timing is designed in units of 10 ns, and timing adjustment can be performed only in units of 5 ns even if the rising and falling edges of the clock are used, and the demand for speeding up the operation of the DRAM cannot be satisfied. .
[0009]
In view of such problems, an object of the present invention is to provide a semiconductor device and a timing adjustment method thereof capable of performing timing design with relatively high adjustment accuracy in a short period of time.
[0010]
[Means for solving the problems and their effects]
In the first aspect of the present invention ,
A command decoder that issues a control command in response to a supplied DRAM control signal;
DRAM core,
A timing adjustment circuit that supplies the DRAM core as a DRAM control signal with the control command active for a predetermined period;
In the semiconductor device, the timing adjustment circuit generates different first to n clocks whose phases are shifted with respect to a supplied reference clock, and one of the first to n clocks is generated in a predetermined operation cycle. The DRAM control signal is generated by activating the control command during a period from a predetermined number to a predetermined number of the first to n clocks , and the timing adjustment circuit further includes:
A first counter for counting one of the first to n clocks;
A second counter for counting one of the first to n clocks;
A timing buffer that generates the DRAM control signal by activating the control command from when the count value of the first counter becomes the first value until the count value of the second counter becomes the second value Circuit,
Have
[0011]
According to this semiconductor device, timing adjustment is performed in an integral multiple of the delay stage in the first to n-th clock generation circuits (digitally). Therefore, manufacturing process variations and power supply voltage variations are sensitively considered in timing design. Therefore, it is possible to reduce the manufacturing cost by shortening the timing design period, and it is particularly effective when applied to an ASIC having a short delivery time and a small volume production. For example, when the reference clock is 100 MHz and n = 6, the timing adjustment can be designed in units of 10/6 = 1.7 nsec, and the timing adjustment for the activation and deactivation of the control command can be performed with relatively high accuracy. There is an effect that can be performed.
[0013]
The semiconductor device according to the second aspect of the present invention differs from the first aspect in the following points. That is, the timing adjustment circuit of the second aspect is
A common counter that counts one of the first to n clocks and the reference clock as a common clock;
A first logic gate that enables and outputs one of the first to n clocks only while the count value of the common counter is a first value;
A second logic gate that enables and outputs one of the first to n clocks only while the count value of the common counter is a second value;
A timing buffer circuit for generating the DRAM control signal by activating the control command from when the output of the first logic gate is activated until the output of the second logic gate is activated; .
[0014]
According to this semiconductor device, the output of the common counter can be used in common for a plurality of or all of the command adjustments, so that the configuration is simplified.
In a third aspect of the present invention, in the first or second aspect, the timing adjustment circuit has a logic gate that validates and outputs the generated DRAM control signal only during a period in which the control command is issued. .
[0015]
According to a fourth aspect of the present invention, in the second aspect, the logic gate supplies the common clock to the first counter only while the control command is issued.
According to this semiconductor device, the number of logic gate stages of the control command output unit can be reduced as compared with the case of the third aspect , and the clock is counted by the counter only during the period when the control command is issued. The power consumption can be reduced.
[0016]
In a fifth aspect of the present invention, in the second aspect, the command decoder enables the count value of the first counter to be the first value only while the control command is issued. A logic gate for supplying the timing buffer circuit;
In the sixth aspect of the present invention, in any of the first to fifth aspects, the counter is a loop counter.
[0017]
According to this semiconductor device, the configuration is simplified.
According to a seventh aspect of the present invention, in the sixth aspect, a multi-bit output of the counter is supplied to at least one of the counters, and one-bit output is selected and output according to a selection control input value. A selection circuit;
A timing setting unit for storing and outputting the selection control input value.
[0018]
According to an eighth aspect of the present invention, in the second aspect, one of the first to n clocks is selected according to a selection control input value and supplied as a clock to the first logic gate or the second logic gate. A selection circuit;
A timing setting unit for storing and outputting the selection control input value.
[0019]
In a ninth aspect of the present invention, in the seventh or eighth aspect, the timing setting unit is a register.
According to this semiconductor device, it is possible to easily set and change the timing setting unit.
[0020]
According to a tenth aspect of the present invention, there is provided an MPU for accessing the DRAM according to any one of the first to ninth aspects .
In the semiconductor device timing adjustment method according to the eleventh aspect of the present invention, the output of the timing setting section according to the seventh or eighth aspect is determined before shipment according to the conditions of the manufacturing process.
According to this semiconductor device timing adjustment method, it is possible to improve the manufacturing yield of the semiconductor device without changing the circuit design.
[0021]
In the semiconductor device timing adjustment method of the twelfth aspect of the present invention, the output of the timing setting unit of the seventh or eighth aspect is determined before shipment in accordance with the required operation speed.
This method of adjusting the timing of the semiconductor device also has the effect of improving the yield of manufacturing the semiconductor device without changing the circuit design.
[0022]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
[First Embodiment]
FIG. 1 shows a schematic configuration of a semiconductor device 20 according to the first embodiment of the present invention. The same parts as those in FIG. 9 are denoted by the same reference numerals.
[0023]
The semiconductor device 20 includes an ASIC in which a DRAM including a command decoder 1, a DRAM core 3, a clock buffer circuit 4, and a timing adjustment circuit 22, a logic circuit 24 such as a CPU or a memory controller, and other logic circuits 25 are mounted together. It is.
The logic circuits 24 and 25 operate in synchronization with the clock CLKi. A chip select signal * CS, a row address strobe signal * RAS, a column address strobe signal * CAS and a write enable signal * WE are supplied from the logic circuit 24 to the command decoder 1, and for example, these logical values at the rising edge of the clock CLKi are supplied. A command corresponding to the combination is issued from the command decoder 1. This command is a command SANNC, SAPC, PRC or PXC corresponding to the above-described control signals SAN, SAP, PR or PX. Hereinafter, any one of these will be referred to as CNTC, and DRAM control corresponding to the command CNTC. The signal is denoted as CNT.
[0024]
The multi-phase clock generation circuit 26 delays the clock CLKi through, for example, 2m, 4m, 6m,..., 2 (n−1) m and 2 nm inverters, thereby changing the phase of the clock CLKi to θ˜nθ. Shifted clocks φ1 to φn are generated. Here, m is a natural number. The multi-phase clock generation circuit 26 may be a DLL circuit that matches the phase of the clock φn with the phase of the clock CLKi. In this case, automatic adjustment is performed so that nθ = 2π. Clocks φ1 to φ6 in the case of n = 6 and nθ = 2π are shown in FIG. 3 together with the clock CLKi. The clocks CLKi and φ1 to φ6 have the same period T.
[0025]
In FIG. 1, the timing adjustment circuit 22 counts the clocks φ1 to φn generated by the multiphase clock generation circuit 26 by the counter circuit 28, and determines the timings of activation and deactivation of the control signal CNT. The signal is supplied to the timing buffer circuit 27 to generate the control signal CNT at this timing and supplied to the DRAM core 3. The timing buffer circuit 271 that is a part of the timing buffer circuit 27 is controlled by counters 281 and 282 that are a part of the counter circuit 28.
[0026]
FIG. 2 shows a configuration example of a part of the timing adjustment circuit 22 in FIG.
The timing buffer circuit 271 includes a flip-flop 30 in which the output terminal and the input terminal of the inverter 32 are connected to the input terminal and the output terminal of the inverter 31, respectively. The input terminal of the flip-flop 30 is connected to the drains of the pMOS transistors 33A and 33B and the nMOS transistor 35, the sources of the pMOS transistors 33A and 33B are connected to the power supply line VDD, and the source of the nMOS transistor 35 is connected to the ground line. Yes. The output of the flip-flop 30 is supplied to one input terminal of the AND gate 36, and the control command CNTC is supplied to the other input terminal of the AND gate 36.
[0027]
Each of the loop counters 281 and 282 has a value different from the remaining bits by only one bit, and is initialized to “00... 1” by a reset pulse RST, for example, as illustrated. Clocks φ3 and φ4 are supplied to clock input terminals CK of the loop counters 281 and 282, respectively.
A negative reset pulse * RST is supplied to the gate of the pMOS transistor 33A, whereby the output of the flip-flop 30 is initialized to 'L'. The output of the first bit of the loop counter 281 is supplied to the gate of the nMOS transistor 35 as the activation timing signal CNT1. The loop counter 281 is initialized by the reset pulse RST, and then becomes “10... 0” by the first pulse φ3, whereby the nMOS transistor 35 is turned on and the output of the flip-flop 30 becomes “H”. 'become. The output of the second bit of the loop counter 282 is supplied to the gate of the pMOS transistor 33B as the deactivation timing signal CNT2. After being initialized by the reset pulse RST, the loop counter 282 becomes “01... 0” by two pulses of the clock φ4, thereby turning on the pMOS transistor 33B and the output of the flip-flop 30 being “ L '.
[0028]
For example, as shown in FIG. 3, the control command CNTC rises in synchronization with the fall of the row address strobe signal * RAS at the start of the memory operation cycle, whereby the AND gate 36 is opened and the output of the flip-flop 30 is It passes through the AND gate 36 and is taken out as a control signal CNT. The control command CNTC becomes 'L' when the control command PRC is issued from the command decoder 1, for example, until the next row address strobe signal * RAS falls.
[0029]
The timing adjustment of other commands is also performed by the same circuit as in FIG.
According to the first embodiment, the timing of activation and deactivation of the control command CNTC is adjusted by counting the clocks of a predetermined phase output from the multi-phase clock generation circuit 26 with the counter, that is, the timing Since the adjustment is performed (digitally) by an integral multiple of the delay stage in the multi-phase clock generation circuit 26, it is not necessary to sensitively consider variations in manufacturing processes and power supply voltage variations in timing design. For example, when the clock CLKi is 100 MHz and n = 6, the timing adjustment can be designed in units of 10/6 = 1.7 nsec, and the timing adjustment for command activation and deactivation can be performed with relatively high accuracy. It can be carried out.
[0030]
[Second Embodiment]
In the first embodiment, the bit length must be increased so that the contents of the loop counters 281 and 282 do not exceed one round in the RAS cycle from the fall of the row address strobe signal * RAS to the next fall. .
Therefore, in the counter circuit 28A of the second embodiment, as shown in FIG. 4, the clock CLKi is counted by the loop counter 281 and the predetermined bit output of the loop counter 281 and the clock φ3 are supplied to the AND gate 37 to activate the timing. The signal CNT1 is generated, and a predetermined bit output of the loop counter 281 and the clock φ4 are supplied to the AND gate 37 to generate the deactivation timing signal CNT2.
[0031]
In this way, the output of the loop counter 281 can be used in common for all other command adjustments, so that the configuration of the counter circuit 28A is simplified.
Other points are the same as in the case of FIG.
[Third Embodiment]
FIG. 5 shows a schematic configuration of the timing adjustment circuit 22 according to the third embodiment of the present invention.
[0032]
In this circuit, an AND gate 283 is used for the counter circuit 28B in place of the AND gate 36 in FIG. 4, the clock CLKi and the control command CNTC are supplied thereto, and the output of the AND gate 283 is counted by the loop counter 281. Yes.
According to this configuration, the output of the flip-flop 30 can be directly used as the control signal CNT, and there is no need to consider the delay caused by the AND gate 36 in FIG. Further, since the clock CLKi is counted by the loop counter 281 through the AND gate 283 only when the control command CNTC is “H”, the power consumption of the counter circuit 28B can be reduced.
[0033]
Also, the pMOS transistors 33A and 33B and the nMOS transistor 35 in FIG. 4 are replaced with the nMOS transistors 35A and 35B and the pMOS transistor 33, respectively, the power supply wiring is reversed, and the negative logic control signal * CNT is output from the flip-flop 30. ing.
Other points are the same as in the case of FIG.
[0034]
[Fourth Embodiment]
FIG. 6 shows a schematic configuration of a DRAM control circuit according to the fourth embodiment of the present invention.
In this circuit, an AND gate 1a is used for the command decoder 1A instead of the AND gate 36 of FIG. 4, and the output of the loop counter 281 and the control command CNTC are supplied to the AND gate 1a. In this case, the AND gate 1a and the command decoder 1 of FIG. 1 constitute a command decoder 1A.
[0035]
When the activation period of the control signal CNT is one cycle or less of the clock CLKi, the output of the AND gate 1a can be commonly used by the AND gate 37 and the AND gate 38 as shown.
The loop counter 281 only needs to count one of the clock CLKi and φ1 to φ6. In FIG. 6, the clock φ2 is counted, and the next clock CLKi is counted from the rising edge of the clock φ3 in the predetermined period. The control signal CNT is activated during the period up to the rising edge of the clock φ1 of the period.
[0036]
Also in the fourth embodiment, the output of the flip-flop 30 can be directly used as the control signal CNT, and there is no need to consider the delay caused by the AND gate 36 in FIG.
[Fifth Embodiment]
For applications that are sufficient even if the operation speed of the DRAM is low, the yield of the semiconductor device manufacturing can be improved by designing the timing adjustment circuit 22 so that the timing margin is widened. However, it is complicated to change the design according to the application.
[0037]
Therefore, in the fifth embodiment, as shown in FIG. 7, the counter circuit 28D includes selection circuits 284A, 284B, 285A, 285B and a timing setting unit 286. Then, each bit of the output of the loop counter 281 is supplied to the selection circuits 284A and 285A, and the clocks φ1 to φ6 are supplied to the selection circuits 284B and 285B. Any one input can be selected for each of the above.
[0038]
The timing setting unit 286 has a variable output setting by selectively fusing a fuse with a laser beam, for example. By performing this setting before the semiconductor chip package according to the application or according to the conditions of the manufacturing process, it is possible to improve the manufacturing yield of the semiconductor device without changing the circuit design.
The other points are the same as in FIG.
[0039]
[Sixth Embodiment]
FIG. 8 shows a part of a DRAM control circuit according to the sixth embodiment of the present invention.
This circuit applies the concept of FIG. 6 to the circuit of FIG. 7, and uses a timing setting register 286A as one type of the timing setting unit 286 of FIG.
According to the sixth embodiment, it is possible to easily set and change the timing setting register 286A.
[0040]
In FIG. 8, CNT1 and CNT2A output from the AND gates 261A and 261B of the command decoder 1B are activation coarse timing signals.
Note that the present invention includes various other modifications.
For example, a configuration using the timing adjustment circuit 22 only for the * RAS system may be used. In this case, the “cycle of the predetermined operation” in claim 1 or 2 is not a * RAS cycle but is a period in which * RAS is at a low level, and the reset signal RST is activated during a period in which * RAS is 'H'. The bit length of the loop counter can be shortened.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a schematic configuration diagram of a semiconductor device according to a first embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a diagram illustrating a configuration example of a part of the timing adjustment circuit 22 in FIG. 1;
FIG. 3 is a timing chart showing the operation of the circuit of FIGS. 1 and 2;
FIG. 4 is a diagram showing a part of a timing adjustment circuit according to a second embodiment of the present invention.
FIG. 5 is a diagram showing a part of a timing adjustment circuit according to a third embodiment of the present invention.
FIG. 6 is a diagram showing a part of a DRAM control circuit according to a fourth embodiment of the present invention.
FIG. 7 is a diagram showing a part of a timing adjustment circuit according to a fifth embodiment of the present invention.
FIG. 8 is a diagram showing a part of a DRAM control circuit according to a sixth embodiment of the present invention;
FIG. 9 is a block diagram showing a schematic configuration of a conventional DRAM.
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Command decoder 2, 22 Timing adjustment circuit 3 DRAM core 20 Semiconductor device 24, 25 Logic circuit 26 Multiphase clock generation circuit 27, 271, 271A, 271B Timing buffer circuit 28, 28A-28D Counter circuit 281, 282 Loop counter 284A, 284B, 285A, 285B selection circuit 286 timing setting unit 286A timing setting register 30 flip-flop

Claims (12)

供給されるDRAM制御信号に応じて制御コマンドを発するコマンドデコーダと、
DRAMコアと、
該制御コマンドを所定期間アクティブにしたものをDRAM制御信号として該DRAMコアに供給するタイミング調整回路と、
を備えた半導体装置において、該タイミング調整回路は、供給される基準クロックに対し位相がシフトした互いに異なる第1〜nクロックを生成し、所定動作のサイクルにおいて、該第1〜nクロックの1つの所定番目から該第1〜nクロックの1つの所定番目までの間、該制御コマンドをアクティブにすることにより該DRAM制御信号を生成し、更に、該タイミング調整回路は、
該第1〜nクロックの1つを計数する第1カウンタと、
該第1〜nクロックの1つを計数する第2カウンタと、
該第1カウンタの計数値が第1値になってから該第2カウンタの計数値が第2値になる迄の間、該制御コマンドをアクティブにすることにより該DRAM制御信号を生成するタイミングバッファ回路と、
を有することを特徴とする半導体装置。
A command decoder that issues a control command in response to a supplied DRAM control signal;
DRAM core,
A timing adjustment circuit that supplies the DRAM core as a DRAM control signal with the control command active for a predetermined period;
In the semiconductor device, the timing adjustment circuit generates different first to n clocks whose phases are shifted with respect to a supplied reference clock, and one of the first to n clocks is generated in a predetermined operation cycle. The DRAM control signal is generated by activating the control command during a period from a predetermined number to a predetermined number of the first to n clocks , and the timing adjustment circuit further includes:
A first counter for counting one of the first to n clocks;
A second counter for counting one of the first to n clocks;
A timing buffer that generates the DRAM control signal by activating the control command from when the count value of the first counter becomes the first value until the count value of the second counter becomes the second value Circuit,
Wherein a has a.
供給されるDRAM制御信号に応じて制御コマンドを発するコマンドデコーダと、
DRAMコアと、
該制御コマンドを所定期間アクティブにしたものをDRAM制御信号として該DRAMコアに供給するタイミング調整回路と、
を備えた半導体装置において、該タイミング調整回路は、供給される基準クロックに対し位相がシフトした互いに異なる第1〜nクロックを生成し、所定動作のサイクルにおいて、該第1〜nクロックの1つの所定番目から該第1〜nクロックの1つの所定番目までの間、該制御コマンドをアクティブにすることにより該DRAM制御信号を生成し、更に、該タイミング調整回路は、
第1〜nクロックと上記基準クロックのうちの1つを共通クロックとして計数する共通カウンタと、
共通カウンタの計数値が第1値の間のみ第1〜nクロックの1つを有効にして出力する第1論理ゲートと、
共通カウンタの計数値が第2値の間のみ第1〜nクロックの1つを有効にして出力する第2論理ゲートと、
第1論理ゲートの出力が活性になってから第2論理ゲートの出力が活性になる迄の間、上記制御コマンドをアクティブにすることにより上記DRAM制御信号を生成するタイミングバッファ回路と、
を有することを特徴とする半導体装置。
A command decoder that issues a control command in response to a supplied DRAM control signal;
DRAM core,
A timing adjustment circuit that supplies the DRAM core as a DRAM control signal with the control command active for a predetermined period;
The timing adjustment circuit generates different first to n clocks whose phases are shifted with respect to a supplied reference clock, and one of the first to n clocks is generated in a predetermined operation cycle. The DRAM control signal is generated by activating the control command during a period from a predetermined number to a predetermined number of the first to n clocks, and the timing adjustment circuit further includes :
A common counter for counting one of the first 1~n clock and the reference clock as a common clock,
A first logic gate count of the common counter enable and output one of said first 1~n clock only during the first value,
A second logic gate count of the common counter output enable one of said first 1~n clock only during the second value,
And a timing buffer circuit for generating the DRAM control signal by the output of the second logic gate the output of said first logic gate becomes active is to be active during the above control commands until the activity,
Semi conductor arrangement you, comprising a.
上記タイミング調整回路は、上記制御コマンドが発せられている期間のみ、生成された上記DRAM制御信号を有効にして出力する論理ゲートを有することを特徴とする請求項1又は2に記載の半導体装置。 3. The semiconductor device according to claim 1, wherein the timing adjustment circuit includes a logic gate that validates and outputs the generated DRAM control signal only during a period in which the control command is issued. 上記制御コマンドが発せられている間のみ上記共通クロックを上記第1カウンタへ供給する論理ゲートを有することを特徴とする請求項記載の半導体装置。 3. The semiconductor device according to claim 2 , further comprising a logic gate that supplies the common clock to the first counter only while the control command is issued. 上記コマンドデコーダは、上記制御コマンドが発せられている間のみ、上記第1カウンタの計数値が第1値になっていることを有効にして上記タイミングバッファ回路へ供給する論理ゲートを有することを特徴とする請求項記載の半導体装置。The command decoder has a logic gate that enables the count value of the first counter to be the first value and supplies the timing buffer circuit to the timing buffer circuit only while the control command is issued. The semiconductor device according to claim 2 . 上記カウンタはいずれもループカウンタであることを特徴とする請求項1乃至のいずれか1つに記載の半導体装置。The semiconductor device according to any one of claims 1 to 5, characterized in that the counter is each a loop counter. 上記カウンタの少なくとも1つについて、該カウンタの複数ビットの出力が供給されそのうちの1ビットの出力を選択制御入力値に応じ選択して出力する選択回路と、
該選択制御入力値を記憶して出力するタイミング設定部と、
を有することを特徴とする請求項記載の半導体装置。
For at least one of the counters, a selection circuit for supplying a multi-bit output of the counter and selecting and outputting a 1-bit output of the counter according to a selection control input value;
A timing setting unit for storing and outputting the selection control input value;
The semiconductor device according to claim 6, further comprising:
上記第1〜nクロックの1つを選択制御入力値に応じ選択して上記第1論理ゲート又は上記第2論理ゲートへのクロックとして供給する選択回路と、
該選択制御入力値を記憶して出力するタイミング設定部と、
を有することを特徴とする請求項記載の半導体装置。
A selection circuit that selects one of the first to n clocks according to a selection control input value and supplies the selected clock as a clock to the first logic gate or the second logic gate;
A timing setting unit for storing and outputting the selection control input value;
The semiconductor device according to claim 2, further comprising:
上記タイミング設定部はレジスタであることを特徴とする請求項7又は8記載の半導体装置。9. The semiconductor device according to claim 7 , wherein the timing setting unit is a register. 上記DRAMをアクセスするMPUを備えていることを特徴とする請求項1乃至のいずれか1つに記載の半導体装置。The semiconductor device according to any one of claims 1 to 9, characterized in that it comprises an MPU that accesses the DRAM. 製造プロセスの条件に応じて請求項7又は8のタイミング設定部の出力を出荷前に定めることを特徴とする半導体装置のタイミング調整方法。A timing adjustment method for a semiconductor device, characterized in that the output of the timing setting unit according to claim 7 or 8 is determined before shipment in accordance with conditions of a manufacturing process. 要求される動作速度に応じて請求項7又は8のタイミング設定部の出力を出荷前に定めることを特徴とする半導体装置のタイミング調整方法。9. A method of adjusting a timing of a semiconductor device, wherein the output of the timing setting unit according to claim 7 or 8 is determined before shipment in accordance with a required operation speed.
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