JP3948547B2 - Multi-value non-volatile memory - Google Patents

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    • G11C11/56Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using storage elements with more than two stable states represented by steps, e.g. of voltage, current, phase, frequency

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Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
この発明は多値不揮発性メモリに関し、特に8値メモリセルが格子配列されてなるメモリアレイをその基本構成要素とし、その欠陥救済技術に利用して特に有効な技術に関する。
【0002】
【従来の技術】
コントロールゲート及びフローティングゲートを備える2層ゲート構造型メモリセルがある。また、該2層ゲート構造型メモリセルからなり、例えばそのしきい値電圧が4段階に切り換えられることでそれぞれ2ビットの記憶データを保持しうる4値メモリセルがあり、このような4値メモリセルが格子配列されてなるメモリアレイをその基本構成要素とする多値フラッシュメモリがある。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
本願発明者等は、この発明に先立って上記のような多値フラッシュメモリにおいて8値を記憶させ、1つのメモリセルで3ビットを記憶させることを検討した。この場合、従来のように1つのメモリセルに同じYアドレスを割り当てると、3個のメモリセルを選択して9ビットの記憶データの記憶が可能になるが、一般には8ビット(1バイト)単位でデータの入出力を行うので、記憶容量の1/9もが無駄になってしまう。
【0004】
そこで、メモリセルの記憶情報を有効に利用できるよう異なるYアドレスを割り当ているというYアドレスの多値化を検討した。ただし、Yアドレスを連続して割り当てると、救済単位が3Yアドレス単位となり、救済回路でのYアドレスと救済アドレスとの一致/不一致を検出回路と、Yゲート信号発生回路が複雑になってしまうという問題が生じる。
【0005】
つまり、1つのメモリセルに記憶された3ビットのうち、1ビットでも不良があればそのメモリセルを不良として、冗長用のメモリセルに置き換える必要があるが、上記のように1つのメモリセルに3Yアドレスを割り当てると、全ビットについて比較し、かつ、不良ビットとそれが属するメモリセルの複数アドレスを検知する必要がある。例えば図6に示すように、救済アドレスヒューズ(address fuze) にメモリセルに対応した3アドレス分の不良アドレスYfuzが格納されるので、それをアドレス(address)変換回路によりYred=Yfuz+0〜Yfuz2に変換し、Yアドレスカウンタ(Y address counter)で形成されたアドレス信号Yaddを受ける救済比較回路に供給する必要がある。救済比較回路では、上記アドレス信号Yaddと、救済アドレスYredの全ビットが一致したときに救済アドレスと判定することになる。
【0006】
この発明の目的は、3ビット/1セル化と欠陥救済を簡単な回路で実現した多値不揮発性メモリを提供することにある。この発明の前記ならびにその他の目的と新規な特徴は、この明細書の記述及び添付図面から明らかになるであろう。
【0007】
【課題を解決するための手段】
本願において開示される発明のうち代表的なものの概要を簡単に説明すれば、次の通りである。すなわち、1つのメモリセルに3ビットの記憶情報を格納し、それぞれビットに異なるYアドレスが割り当て、1つのメモリセルの上記各ビットを指定する第1アドレス信号を、3進のカンウタで形成された2ビットのアドレス信号とし、1つのメモリセルを選択する第2アドレス信号を上記3進のカウンタのキャリー信号を入力とする2進のカウンタで形成された複数ビットのアドレス信号とし、上記第2アドレス信号に対応して救済比較回路及び救済アドレス記憶回路と、それに対応した冗長回路を設ける。
【0008】
【発明の実施の形態】
図1には、この発明が適用された多値フラッシュメモリ(半導体記憶装置)の一実施例のブロック図が示されている。同図をもとに、まずこの実施例の多値フラッシュメモリの構成及び動作の概要について説明する。なお、図1の各ブロックを構成する回路素子は、特に制限されないが、公知のMOSFET(金属酸化物半導体型電界効果トランジスタ。この明細書では、MOSFETをして絶縁ゲート型電界効果トランジスタの総称とする)集積回路の製造技術により、単結晶シリコンのような1個の半導体基板面上に形成される。
【0009】
図1において、この実施例の多値フラッシュメモリは、特に制限されないが、そのいずれか一方が選択的に活性状態とされる一対のメモリアレイARYL(第1のメモリアレイ)及びARYR(第2のメモリアレイ)と、これらのメモリアレイの間に挟まれるように配置されるラッチ部LTとを備える。このうち、メモリアレイARYL及びARYRは、後述するように、図の垂直方向に平行して配置される所定数のワード線と、図の水平方向に平行して配置される所定数のグローバルデータ線とをそれぞれ含む。各メモリアレイを構成するワード線及びグローバルデータ線の交点近傍には、フローティングゲート及びコントロールゲートを有する2層ゲート構造型メモリセルがそれぞれ格子配置される。
【0010】
この実施例において、メモリアレイARYL及びARYRは、階層データ線方式をとり、そのメモリセルは、それぞれm+1個を単位としてセルブロックにグループ分割される。また、各セルブロックを構成するm+1個のメモリセルのドレインは、対応するローカルデータ線にそれぞれ共通結合され、そのソースは、対応するソース線に共通結合される。さらに、各セルブロックのローカルデータ線は、そのゲートに所定のブロック選択信号を受けるNチャンネル型のスイッチMOSFETを介して対応するグローバルデータ線に結合され、各セルブロックのソース線は、そのゲートに他の所定のブロック選択信号を受けるNチャンネル型のスイッチMOSFETを介して共通ソース線に結合される。
【0011】
一方、メモリアレイARYL及びARYRを構成するメモリセルは、8値メモリセルとされ、そのしきい値電圧は、保持すべき3ビットの記憶データの論理値に応じて8段階に切り換えられる。メモリアレイARYL及びARYRの具体的構成及びメモリセルの動作特性等については、後で詳細に説明する。
【0012】
メモリアレイARYL及びARYRを構成するワード線は、その下方においてXアドレスデコーダXDL又はXDRに結合され、選択的に所定の選択又は非選択レベルとされる。XアドレスデコーダXDL及びXDRには、XアドレスバッファXBから所定ビットの内部Xアドレス信号が共通に供給されるとともに、メモリ制御回路CTLから内部制御信号XGが共通に供給される。また、XアドレスバッファXBには、データ入出力端子IO0〜IO7からデータ入出力回路IO及びマルチプレクサMXを介してXアドレス信号が供給され、メモリ制御回路CTLから内部制御信号XL1及びXL2が供給される。
【0013】
ここで、Xアドレス信号は、8を超えるビット数とされ、データ入出力端子IO0〜IO7から2回のサイクルに分けて時分割的に供給される。このうち、1回目のサイクルで入力されるXアドレス信号の下位ビットは、内部制御信号XL1に従ってXアドレスバッファXBの下位ビットに取り込まれ、2回目のサイクルで入力される上位ビットは、内部制御信号XL2に従ってXアドレスバッファXBの上位ビットに取り込まれる。XアドレスバッファXBは、これらのXアドレス信号をもとにそれぞれ非反転及び反転信号からなる内部Xアドレス信号を形成して、XアドレスデコーダXDL及びXDRに供給する。
【0014】
XアドレスデコーダXDL及びXDRは、内部制御信号XGのハイレベルを受けて選択的に動作状態となり、XアドレスバッファXBから供給される内部Xアドレス信号をデコードして、メモリアレイARYL又はARYRの対応するワード線及びブロック選択信号を所定の選択又は非選択レベルとする。
【0015】
次に、メモリアレイARYL及びARYRを構成するグローバルデータ線は、その内側においてラッチ部LTの対応する単位回路に結合される。ラッチ部LTは、後述するように、メモリアレイARYL及びARYRの隣接データ線つまり隣接グローバルデータ線に対応して設けられる所定数の単位回路を備え、これらの単位回路のそれぞれは、4個つまり第1ないし第4のラッチと、それぞれ対応して設けられるプリチャージ回路及びYゲート回路とを含む。各単位回路のYゲート回路には、YアドレスデコーダYDから対応するカラム選択信号がそれぞれ供給される。また、YアドレスデコーダYDには、YアドレスカウンタYCから所定ビットの内部Yアドレス信号が供給されるとともに、メモリ制御回路CTLから内部制御信号YGが供給される。
【0016】
ラッチ部LTの各単位回路の第1ないし第4のラッチは、メモリアレイARYL又はARYRのいずれが活性状態とされるかに応じて選択的にデータラッチ書き込みデータ又は読み出しデータの上位、中位及び下位ビットを所定の組み合わせで保持する3と、ベリファイ動作に用いられる1つのセンスラッチから構成される。各単位回路のプリチャージ回路は、メモリアレイARYL又はARYRの対応するデータ線のプリチャージ動作に供され、Yゲート回路は、YアドレスデコーダYDから供給されるカラム選択信号に従って対応するラッチと図示されないコモンIO線との間を選択的に接続状態とする。
【0017】
YアドレスカウンタYCは、図示されない内部クロック信号に従って歩進動作を行い、所定ビットの内部Yアドレス信号を形成して、YアドレスデコーダYDに供給する。この実施例では、後述するように2つのカウンタの組み合わせにより構成される。つまり、下位2ビットの第1Yアドレス信号は、3進のカウンタにより形成され、かかる3進のカウンタのキャリー信号が上位の複数ビットからなる第2Yアドレス信号を形成する2進カウンタに供給される。YアドレスデコーダYDは、内部制御信号YGのハイレベルを受けて選択的に動作状態となり、YアドレスカウンタYCから供給される上記第1と第2Yアドレス信号デコードして、前記Yゲート回路に供給されるカラム選択信号の対応するビットを順次択一的にハイレベルとする。
【0018】
マルチプレクサMXは、その左側に設けられる第1の入出力端子と、その右側に設けられる第2の出力端子,第3の入出力端子ならびに第4の出力端子とを備える。このうち、第1の入出力端子は、データ入出力回路IOの右側の入出力端子に結合され、第3の入出力端子は、図示されない8組のコモンIO線を介してラッチ部LTに結合される。また、第2の出力端子は、コマンドレジスタCRの入力端子に結合され、第4の出力端子は、XアドレスバッファXBの入力端子に結合される。データ入出力回路IOの左側の入出力端子は、データ入出力端子IO0〜IO7に結合される。
【0019】
マルチプレクサMXは、外部のアクセス装置からデータ入出力端子IO0〜IO7ならびにデータ入出力回路IOを介して入力されるXアドレス信号,書き込みデータならびにコマンドデータを、対応するXアドレスバッファXB,ラッチ部LTあるいはコマンドレジスタCRに伝達するとともに、ラッチ部LTの指定された8個のラッチから出力される計8ビットの出力データをデータ入出力回路IOに伝達する。また、データ入出力回路IOは、外部のアクセス装置からデータ入出力端子IO0〜IO7を介して入力されるXアドレス信号,書き込みデータならびにコマンドデータをマルチプレクサMXに伝達するとともに、ラッチ部LTからマルチプレクサMXを介して出力される出力データをデータ入出力端子IO0〜IO7を介してアクセス装置に出力する。
【0020】
一方、コマンドレジスタCRは、データ入出力端子IO0〜IO7からデータ入出力回路IOならびにマルチプレクサMXを介して入力される所定ビットのコマンドデータを内部制御信号CLに従って取り込み、保持するとともに、メモリ制御回路CTLに伝達する。また、内部電圧発生回路VGは、外部端子VCCを介して供給される電源電圧VCCと、外部端子VSSを介して供給される接地電位VSSとをもとに各種内部電圧を生成し、各部に供給する。
【0021】
メモリ制御回路CTLは、外部のアクセス装置から起動制御信号として供給されるチップイネーブル信号CEB(ここで、それが有効とされるとき選択的にロウレベルとされるいわゆる反転信号等については、その名称の末尾にBを付して表す。以下同様),ライトイネーブル信号WEB,出力イネーブル信号OEB,リセット信号RESB,コマンドイネーブル信号CDEBならびにクロック信号SCと、コマンドレジスタCRから供給されるコマンドデータとをもとに、上記各種の内部制御信号等を選択的に形成し、多値フラッシュメモリの各部に供給する。また、レディー/ビジー信号R/BBを選択的にロウレベルとして、多値フラッシュメモリの使用状況を外部のアクセス装置に知らせる。
【0022】
図2には、図1の多値フラッシュメモリのメモリアレイARYLの一実施例の部分的な回路図が示され、図3には、メモリアレイARYL及びARYRを構成する2層ゲート構造型メモリセルのしきい値電圧の一実施例の分布特性図が示されている。これらの図をもとに、この実施例の多値フラッシュメモリのメモリアレイARYL及びARYRの具体的構成及び動作ならびに2層ゲート構造型メモリセルのしきい値電圧の分布特性について説明する。
【0023】
なお、図2には、メモリアレイARYLの左端に配置されるセルブロックCBL00〜CBL0nと、その右端に配置されるセルブロックCBLk0〜CBLknとが例示される。以下、同図に示される部分を例に、メモリアレイARYLに関する具体的説明を進める。メモリアレイARYRについては、これと対称的な構成とされるため類推されたい。以下の回路図において、そのチャネル(バックゲート)部に矢印が付されるMOSFETはPチャンネル型であって、矢印の付されないNチャンネルMOSFETと区別して示される。
【0024】
図2において、メモリアレイARYLは、いわゆるAND(アンド)型アレイ構造とされ、図の垂直方向に平行して配置される合計(k+1)×(m+1)本のワード線WL00〜WL0mないしWLk0〜WLkmと、図の水平方向に平行して配置されるn+1本のグローバルデータ線DLL0〜DLLnとを含む。これらのワード線及びグローバルデータ線の交点近傍には、それぞれコントロールゲート及びフローティングゲートを有する合計(k+1)×(m+1)×(n+1)個の2層ゲート構造型メモリセルMCが格子状に配置される。
【0025】
この実施例において、多値フラッシュメモリは階層データ線方式をとり、メモリアレイARYLを構成するメモリセルMCは、同一列に配置されるm+1個を単位として、それぞれ合計(k+1)×(n+1)個のセルブロックCBL00〜CBL0nないしCBLk0〜CBLknにグループ分割される。
【0026】
メモリアレイARYLの各セルブロックを構成するそれぞれm+1個のメモリセルMCのドレインは、対応するローカルデータ線LDL00〜LDL0nないしLDLk0〜LDLknに共通結合され、そのソースは、対応するソース線SLL00〜SLL0nないしSLLk0〜SLLknに共通結合される。ローカルデータ線LDL00〜LDL0nないしLDLk0〜LDLknは、Nチャンネル型の選択MOSFETNM1を介して対応するグローバルデータ線DLL0〜DLLnにそれぞれ結合され、ソース線SLL00〜SLL0nないしSLLk0〜SLLknは、Nチャンネル型の選択MOSFETNM2を介して対応する共通ソース線SSL0〜SSLkにそれぞれ結合される。
【0027】
メモリアレイARYLの同一行に配置されるn+1個のセルブロックCBL00〜CBL0nないしCBLk0〜CBLknの選択MOSFETNM1のゲートには、XアドレスデコーダXDLから対応するブロック選択信号MDL0〜MDLkがそれぞれ共通に供給され、n+1個の選択MOSFETNM2のゲートには、対応するブロック選択信号MSL0〜MSLkがそれぞれ共通に供給される。また、メモリアレイARYLの同一行に配置されるn+1個のメモリセルMCのコントロールゲートは、対応するワード線WL00〜WL0mないしWLk0〜WLkmにそれぞれ共通結合される。
【0028】
ここで、メモリアレイARYL及びARYRを構成する2層ゲート構造型メモリセルMCは、図3に例示されているように、8値メモリセルとされ、そのしきい値電圧は、消去状態に対応するしきい値電圧と、書き込み状態に対応するしきい値電圧とをそれぞれ目標値とすべく8段階に分布する。このため、各メモリセルMCは、1個でそれぞれ3ビットの記憶データを保持するものとなり、各分布領域における記憶データの論理値は、順次それぞれ“111”,“110”,“101”、“100”、“011”,“010”,“001”、“000”とされる。
【0029】
上記1つのメモリセルに記憶される3ビットの記憶情報“XXX”は、上位ビットにY=3n+2(n=0〜)のYアドレスが割り当てられ、中位ビットにY=3n+1(n=0〜)のYアドレスが割り当てられ、そして、下位ビットにY=3n(n=0〜)のYアドレスが割り当てられて多値化される。これにより、8ビット単位での記憶情報に対しても、無駄なくメモリセルに情報ビットの記憶が可能となるものである。
【0030】
図2において、読み出しモード時又は書き込みモードのベリファイ動作時、メモリアレイARYL及びARYRを構成するメモリセルMCは、そのコントロールゲートつまり対応するワード線WL00〜WL0mないしWLk0〜WLkmが読み出しワード線電圧で選択状態とされることでそれぞれ選択的にオン状態となり、対応するグローバルデータ線DLL0〜DLLnのプリチャージ電位を選択的に引き抜いて、各グローバルデータ線にその保持データの論理値に対応した読み出し信号を出力する。
【0031】
図4には、この発明に係る多値不揮発性メモリの救済回路の一実施例のブロック図が示されている。Yアドレスカウンタ(Y address counter)は、下位2ビットのYアドレス信号Yadd1と、上位のYアドレス信号Yadd2から構成される。上記下位2ビットのYアドレス信号Yadd1は、3進のカウンタにより形成される信号であり、2ビットの信号のうち、00で1つのメモリセルに記憶れる3ビットの記憶情報のうち上記下位ビットを指定し、01が中位ビットを指定し、10が上位ビットを指定し、11は不使用とされる。
【0032】
上記3進のカウンタのキャリー信号を2進のカウンタに供給して、上記上位のYアドレス信号Yadd2が形成される。このため、上位のYアドレス信号Yadd2は、2進の信号とされる。このアドレス信号Yadd2は、上記3ビットの記憶情報を記憶する1つのメモリセルに一対一に対応した信号とされる。このことから、救済比較回路には、上記アドレス信号Yadd2のみが供給される。救済アドレスヒューズ(address fuze) は、上記メモリセルのそれぞれに対応して割り当てられたYアドレスYadd2に対応した救済アドレスYfuzが記憶される。
【0033】
上記Yアドレスカウンタ(Y address counter)で形成された下位2ビットのYアドレス信号Yadd1と、上位のYアドレス信号Yadd2及び救済比較回路の出力信号は、Yデコーダに供給される。救済比較回路の出力信号が不一致ならば、上記アドレス信号Yadd1とYadd2をデコードしてY選択信号を形成する。救済比較回路の出力信号が一致ならば、上記アドレス信号Yadd1とYad2のデコード出力を無効とし、冗長メモリセルの選択に切り換える。
【0034】
この実施例では、Yアドレスカウンタで形成される内部のYアドレス信号を2つに分け、下位ビットを1つのメモリセルの記憶情報に対応した3進のカウンタで形成し、残りの上位側のアドレス信号をメモリセルに対応した2進のカウンタで形成することにより、救済比較回路では、上記下位ビットを無視して、上位側のアドレス信号と救済アドレスヒューズ回路で形成された救済アドレスとを比較するだけでよい。そして、前記図6のようなアドレス変換回路も不要になるものである。
【0035】
図5には、この発明に係る多値不揮発性メモリのYゲート回路の一実施例の概略回路図が示されている。センスラッチ(sense latch)は、2つのCMOSインバータ回路の入力と出力とを交差接続してなるCMOSラッチ回路からなり、1つのIO線に対して、センスラッチが3アドレス単位(Y=n,n+3、n+6)、他のIO線でも3アドレス単位(Y=n+1、n+4,n+7)で構成される。これに対応して、Yゲート(Gate)信号発生回路も3アドレス単位となる。これにより、Yゲート回路の回路面積が小さくなる。4つのセンスラッチのうち、1つがベリファイ動作を行ない、他の3つが3ビットのデータを保持するデータラッチとして使用される。
【0036】
以上の実施例から得られる作用効果は、下記の通りである。すなわち、1つのメモリセルに3ビットの記憶情報を格納し、それぞれビットに異なるYアドレスが割り当て、1つのメモリセルの上記各ビットを指定する第1アドレス信号を、3進のカンウタで形成された2ビットのアドレス信号とし、1つのメモリセルを選択する第2アドレス信号を上記3進のカウンタのキャリー信号を入力とする2進のカウンタで形成された複数ビットのアドレス信号とし、上記第2アドレス信号に対応して救済比較回路及び救済アドレス記憶回路と、それに対応した冗長回路を設けることにより、情報ビットの効率的な記憶と欠陥救済を簡単な回路で実現できるという効果が得られる。
【0037】
以上、本発明者によってなされた発明を実施例に基づき具体的に説明したが、この発明は、上記実施例に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能であることは言うまでもない。例えば、図1において、多値フラッシュメモリは、データ入出力端子IO0〜IO7は、データ入力端子又はデータ出力端子としてそれぞれ専用化してもよい。メモリアレイARYL及びARYRならびにその周辺部は、任意数のメモリマットに分割することができる。多値フラッシュメモリのブロック構成や起動制御信号及び内部制御信号等の名称及び組み合わせならびにその有効レベル等は、種々の実施形態をとりうる。
【0038】
図2において、メモリアレイARYL及びARYRは、任意数の冗長素子を含むことができるし、その関連部も同様である。また、メモリアレイARYL及びARYRは、AND型アレイ構造又は階層データ線方式をとることを必須条件とはしないし、階層ワード線方式をとることもできる。このような多値フラッシュメモリを含むシングルチップマイクロコンピュータ等にも適用できる。この発明は、8値メモリセルが格子配列されてなるメモリアレイとデータラッチ及びセンスラッチとを備える半導体記憶装置ならびにこれを含む装置又はシステムに広く適用できる。
【0039】
【発明の効果】
本願において開示される発明のうち代表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、下記の通りである。すなわち、1つのメモリセルに3ビットの記憶情報を格納し、それぞれビットに異なるYアドレスが割り当て、1つのメモリセルの上記各ビットを指定する第1アドレス信号を、3進のカンウタで形成された2ビットのアドレス信号とし、1つのメモリセルを選択する第2アドレス信号を上記3進のカウンタのキャリー信号を入力とする2進のカウンタで形成された複数ビットのアドレス信号とし、上記第2アドレス信号に対応して救済比較回路及び救済アドレス記憶回路と、それに対応した冗長回路を設けることにより、情報ビットの効率的な記憶と欠陥救済を簡単な回路で実現できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明が適用された多値フラッシュメモリの一実施例を示すブロック図である。
【図2】図1の多値フラッシュメモリのメモリアレイの一実施例を示す部分的な回路図である。
【図3】図2のメモリアレイを構成する2層ゲート構造型メモリセルのしきい値電圧の一実施例を示す分布特性図である。
【図4】この発明に係る多値不揮発性メモリの救済回路の一実施例を示すブロック図である。
【図5】この発明に係る多値不揮発性メモリのYゲート回路の一実施例を示すス概略回路図である。
【図6】この発明に先立って検討された多値不揮発性メモリの救済回路の一例を示すブロック図である。
【符号の説明】
ARYL,ARYR……メモリアレイ、XDL,XDR……Xアドレスデコーダ、XB……Xアドレスバッファ、LT……ラッチ部、YD……Yアドレスデコーダ、YC……Yアドレスカウンタ、MX……マルチプレクサ、IO……入出力バッファ、CR……コマンドレジスタ、VG……内部電圧発生回路、CTL……メモリ制御回路、SC……シリアルクロック信号又はその入力端子、CEB……チップイネーブル信号又はその入力端子、WEB……ライトイネーブル信号又はその入力端子、OEB……出力イネーブル信号又はその入力端子、RESB……リセット信号又はその入力端子、CDEB……コマンドイネーブル信号又はその入力端子、R/BB……レディー/ビジー信号又はその出力端子、IO0〜IO7……入力又は出力データあるいはその入出力端子、VCC……電源電圧又はその入力端子、VSS……接地電位又はその入力端子。
CBL00〜CBL0nないしCBLk0〜CBLkn……セルブロック、LDL00〜LDL0nないしLDLk0〜LDLkn……ローカルデータ線、SLL00〜SLL0nないしSLLk0〜SLLkn……ソース線、WL00〜WL0mないしWLk0〜WLkm……ワード線、DLL0〜DLLn,DLR0〜DLRn……グローバルデータ線、MDL0〜MDLk,MSL0〜MSLk……ブロック選択信号、SLL0〜SLLk……共通ソース線。
[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a multi-level nonvolatile memory, and more particularly to a technology that is particularly effective when used as a defect relieving technology, with a memory array in which 8-level memory cells are arranged in a lattice as a basic component.
[0002]
[Prior art]
There is a two-layer gate structure type memory cell having a control gate and a floating gate. In addition, there is a quaternary memory cell comprising the two-layer gate structure type memory cell and capable of holding stored data of 2 bits, for example, by switching its threshold voltage in four stages. There is a multi-value flash memory whose basic component is a memory array in which cells are arranged in a grid.
[0003]
[Problems to be solved by the invention]
Prior to the present invention, the inventors of the present application studied storing eight values in the multi-level flash memory as described above and storing three bits in one memory cell. In this case, if the same Y address is assigned to one memory cell as in the prior art, three memory cells can be selected and 9-bit storage data can be stored, but in general, in units of 8 bits (1 byte) Since data is input / output, 1/9 of the storage capacity is wasted.
[0004]
In view of this, multi-valued Y addresses have been studied in which different Y addresses are assigned so that the memory cell memory information can be used effectively. However, if Y addresses are assigned consecutively, the relief unit becomes a 3Y address unit, and the coincidence / mismatch between the Y address and the relief address in the relief circuit becomes complicated and the Y gate signal generation circuit becomes complicated. Problems arise.
[0005]
That is, out of the 3 bits stored in one memory cell, if even one bit is defective, it is necessary to make the memory cell defective and replace it with a redundant memory cell. When the 3Y address is assigned, it is necessary to compare all the bits and detect a plurality of addresses of the defective bit and the memory cell to which it belongs. For example, as shown in FIG. 6, since the defective address Yfuz for three addresses corresponding to the memory cell is stored in the relief address fuse (address fuze), it is converted into Yred = Yfuz + 0 to Yfuz2 by the address conversion circuit. However, it is necessary to supply to the repair comparison circuit that receives the address signal Yadd formed by the Y address counter. In the repair comparison circuit, when all the bits of the address signal Yadd and the repair address Yred match, the repair address is determined.
[0006]
SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a multi-value non-volatile memory that realizes 3-bit / 1-cell and defect relief with a simple circuit. The above and other objects and novel features of the present invention will be apparent from the description of this specification and the accompanying drawings.
[0007]
[Means for Solving the Problems]
The outline of a typical invention among the inventions disclosed in the present application will be briefly described as follows. That is, 3-bit storage information is stored in one memory cell, and different Y addresses are assigned to the respective bits. The first address signal designating each bit of one memory cell is formed by a ternary counter. The second address is a 2-bit address signal, a second address signal for selecting one memory cell is a multi-bit address signal formed by a binary counter that receives the carry signal of the ternary counter, and the second address Corresponding to the signal, a repair comparison circuit and a repair address storage circuit, and a corresponding redundant circuit are provided.
[0008]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
FIG. 1 is a block diagram showing an embodiment of a multi-value flash memory (semiconductor memory device) to which the present invention is applied. First, the outline of the configuration and operation of the multilevel flash memory of this embodiment will be described with reference to FIG. The circuit elements constituting each block in FIG. 1 are not particularly limited, but are known MOSFETs (metal oxide semiconductor field effect transistors. In this specification, MOSFETs are collectively referred to as insulated gate field effect transistors). It is formed on the surface of a single semiconductor substrate such as single crystal silicon by an integrated circuit manufacturing technique.
[0009]
In FIG. 1, the multi-value flash memory of this embodiment is not particularly limited, but a pair of memory arrays ARYL (first memory array) and ARYR (second memory array) in which one of them is selectively activated. Memory array) and a latch part LT arranged to be sandwiched between these memory arrays. Among these, the memory arrays ARYL and ARYR are, as will be described later, a predetermined number of word lines arranged in parallel with the vertical direction of the figure and a predetermined number of global data lines arranged in parallel with the horizontal direction of the figure. And each. Two-layer gate structure type memory cells having floating gates and control gates are arranged in the vicinity of the intersections of the word lines and global data lines constituting each memory array.
[0010]
In this embodiment, the memory arrays ARYL and ARYR have a hierarchical data line system, and the memory cells are grouped into cell blocks in units of m + 1. The drains of the m + 1 memory cells constituting each cell block are commonly coupled to corresponding local data lines, and the sources thereof are commonly coupled to corresponding source lines. Further, the local data line of each cell block is coupled to the corresponding global data line via an N-channel type switch MOSFET that receives a predetermined block selection signal at its gate, and the source line of each cell block is connected to its gate. It is coupled to the common source line via an N-channel type switch MOSFET that receives another predetermined block selection signal.
[0011]
On the other hand, the memory cells constituting the memory arrays ARYL and ARYR are 8-level memory cells, and their threshold voltages are switched in 8 steps according to the logical value of the 3-bit stored data to be held. The specific configuration of the memory arrays ARYL and ARYR and the operation characteristics of the memory cells will be described later in detail.
[0012]
The word lines constituting the memory arrays ARYL and ARYR are coupled to the X address decoder XDL or XDR below and selectively set to a predetermined selection or non-selection level. The X address decoders XDL and XDR are commonly supplied with an internal X address signal of a predetermined bit from the X address buffer XB and are commonly supplied with an internal control signal XG from the memory control circuit CTL. The X address buffer XB is supplied with X address signals from the data input / output terminals IO0 to IO7 via the data input / output circuit IO and the multiplexer MX, and is supplied with internal control signals XL1 and XL2 from the memory control circuit CTL. .
[0013]
Here, the X address signal has a number of bits exceeding 8, and is supplied in a time division manner from the data input / output terminals IO0 to IO7 in two cycles. Of these, the lower bits of the X address signal input in the first cycle are taken into the lower bits of the X address buffer XB according to the internal control signal XL1, and the upper bits input in the second cycle are the internal control signal It is taken into the upper bits of the X address buffer XB according to XL2. The X address buffer XB forms internal X address signals composed of non-inverted and inverted signals based on these X address signals, and supplies them to the X address decoders XDL and XDR.
[0014]
The X address decoders XDL and XDR are selectively activated in response to the high level of the internal control signal XG, decode the internal X address signal supplied from the X address buffer XB, and correspond to the memory array ARYL or ARYR. The word line and block selection signal are set to a predetermined selection or non-selection level.
[0015]
Next, the global data lines constituting the memory arrays ARYL and ARYR are coupled to the corresponding unit circuits of the latch unit LT inside. As will be described later, the latch unit LT includes a predetermined number of unit circuits provided corresponding to the adjacent data lines of the memory arrays ARYL and ARYR, that is, the adjacent global data lines. First to fourth latches, and a precharge circuit and a Y gate circuit provided in correspondence with each other are included. A corresponding column selection signal is supplied from the Y address decoder YD to the Y gate circuit of each unit circuit. The Y address decoder YD is supplied with an internal Y address signal of a predetermined bit from the Y address counter YC and with an internal control signal YG from the memory control circuit CTL.
[0016]
The first to fourth latches of each unit circuit of the latch unit LT are selectively connected to the upper, middle, and data latch write data or read data according to which of the memory arrays ARYL or ARYR is activated. It consists of 3 holding lower bits in a predetermined combination and one sense latch used for verify operation. The precharge circuit of each unit circuit is used for the precharge operation of the corresponding data line of the memory array ARYL or ARYR, and the Y gate circuit is not shown as a corresponding latch according to the column selection signal supplied from the Y address decoder YD. A connection is made selectively to the common IO line.
[0017]
The Y address counter YC performs a stepping operation according to an internal clock signal (not shown), forms an internal Y address signal of a predetermined bit, and supplies it to the Y address decoder YD. In this embodiment, it is constituted by a combination of two counters as will be described later. That is, the lower Y-bit first Y address signal is formed by a ternary counter, and the carry signal of the ternary counter is supplied to a binary counter that forms a second Y address signal composed of upper bits. The Y address decoder YD selectively operates in response to the high level of the internal control signal YG, decodes the first and second Y address signals supplied from the Y address counter YC, and supplies them to the Y gate circuit. The corresponding bits of the column selection signal are sequentially set to the high level.
[0018]
The multiplexer MX includes a first input / output terminal provided on the left side thereof, and a second output terminal, a third input / output terminal, and a fourth output terminal provided on the right side thereof. Among these, the first input / output terminal is coupled to the input / output terminal on the right side of the data input / output circuit IO, and the third input / output terminal is coupled to the latch unit LT via eight sets of common IO lines (not shown). Is done. The second output terminal is coupled to the input terminal of the command register CR, and the fourth output terminal is coupled to the input terminal of the X address buffer XB. The left input / output terminal of data input / output circuit IO is coupled to data input / output terminals IO0-IO7.
[0019]
The multiplexer MX receives an X address signal, write data, and command data input from an external access device via the data input / output terminals IO0 to IO7 and the data input / output circuit IO, and the corresponding X address buffer XB, latch portion LT or In addition to transmitting to the command register CR, a total of 8-bit output data output from the eight designated latches of the latch unit LT is transmitted to the data input / output circuit IO. The data input / output circuit IO transmits an X address signal, write data, and command data input from an external access device via the data input / output terminals IO0 to IO7 to the multiplexer MX and from the latch portion LT to the multiplexer MX. The output data output via is output to the access device via the data input / output terminals IO0 to IO7.
[0020]
On the other hand, the command register CR fetches and holds command data of a predetermined bit input from the data input / output terminals IO0 to IO7 via the data input / output circuit IO and the multiplexer MX according to the internal control signal CL, and also stores the memory control circuit CTL. To communicate. The internal voltage generation circuit VG generates various internal voltages based on the power supply voltage VCC supplied through the external terminal VCC and the ground potential VSS supplied through the external terminal VSS, and supplies the internal voltages to each unit. To do.
[0021]
The memory control circuit CTL is supplied with a chip enable signal CEB supplied as an activation control signal from an external access device (here, a so-called inversion signal or the like that is selectively set to a low level when it is enabled has its name) Based on the write enable signal WEB, output enable signal OEB, reset signal RESB, command enable signal CDEB, clock signal SC, and command data supplied from the command register CR In addition, the various internal control signals and the like are selectively formed and supplied to each part of the multilevel flash memory. In addition, the ready / busy signal R / BB is selectively set to the low level to notify the external access device of the use state of the multi-level flash memory.
[0022]
FIG. 2 shows a partial circuit diagram of an embodiment of the memory array ARYL of the multilevel flash memory of FIG. 1, and FIG. 3 shows a two-layer gate structure type memory cell constituting the memory arrays ARYL and ARYR. A distribution characteristic diagram of one embodiment of the threshold voltage is shown. Based on these drawings, the specific configuration and operation of the memory arrays ARYL and ARYR of the multilevel flash memory of this embodiment and the threshold voltage distribution characteristics of the two-layer gate structure type memory cells will be described.
[0023]
FIG. 2 illustrates cell blocks CBL00 to CBL0n arranged at the left end of the memory array ARYL and cell blocks CBLk0 to CBLkn arranged at the right end thereof. Hereinafter, a specific description of the memory array ARYL will be given by taking the part shown in the figure as an example. Since the memory array ARYR has a symmetrical configuration, it should be analogized. In the following circuit diagrams, MOSFETs with an arrow attached to the channel (back gate) portion are P-channel type, and are distinguished from N-channel MOSFETs without an arrow.
[0024]
In FIG. 2, the memory array ARYL has a so-called AND type array structure, and a total of (k + 1) × (m + 1) word lines WL00 to WL0m to WLk0 to WLkm arranged in parallel in the vertical direction of the figure. And n + 1 global data lines DLL0 to DLLn arranged in parallel in the horizontal direction of the figure. Near the intersection of these word lines and global data lines, a total of (k + 1) × (m + 1) × (n + 1) two-layer gate structure type memory cells MC each having a control gate and a floating gate are arranged in a lattice pattern. The
[0025]
In this embodiment, the multi-level flash memory employs a hierarchical data line system, and the memory cells MC constituting the memory array ARYL have a total of (k + 1) × (n + 1) memory cells in units of m + 1 arranged in the same column. Cell blocks CBL00 to CBL0n to CBLk0 to CBLkn.
[0026]
The drains of m + 1 memory cells MC constituting each cell block of the memory array ARYL are commonly coupled to corresponding local data lines LDL00 to LDL0n to LDLk0 to LDLkn, and their sources are connected to corresponding source lines SLL00 to SLL0n to Commonly coupled to SLLk0 to SLLkn. Local data lines LDL00 to LDL0n to LDLk0 to LDLkn are coupled to corresponding global data lines DLL0 to DLLn via N channel type selection MOSFETs NM1, respectively, and source lines SLL00 to SLL0n to SLLk0 to SLLkn are N channel type selections. Coupled to corresponding common source lines SSL0 to SSLk through MOSFET NM2.
[0027]
Corresponding block selection signals MDL0 to MDLk are respectively supplied from the X address decoder XDL to the gates of the selection MOSFETs NM1 of the n + 1 cell blocks CBL00 to CBL0n to CBLk0 to CBLkn arranged in the same row of the memory array ARYL. Corresponding block selection signals MSL0 to MSLk are commonly supplied to the gates of the n + 1 selection MOSFETs NM2. Control gates of n + 1 memory cells MC arranged in the same row of memory array ARYL are commonly coupled to corresponding word lines WL00 to WL0m to WLk0 to WLkm, respectively.
[0028]
Here, the two-layer gate structure type memory cell MC constituting the memory arrays ARYL and ARYR is an 8-level memory cell as illustrated in FIG. 3, and the threshold voltage thereof corresponds to the erased state. The threshold voltage and the threshold voltage corresponding to the write state are distributed in eight stages so as to be the target values. For this reason, each memory cell MC holds 3 bits of stored data, and the logical values of the stored data in each distribution area are “111”, “110”, “101”, “ 100 ”,“ 011 ”,“ 010 ”,“ 001 ”,“ 000 ”.
[0029]
In the 3-bit storage information “XXX” stored in the one memory cell, Y addresses of Y = 3n + 2 (n = 0 to) are assigned to the upper bits, and Y = 3n + 1 (n = 0 to 0) are assigned to the middle bits. ) Y address is assigned, and Y = 3n (n = 0 to) Y address is assigned to the lower bits to be multi-valued. As a result, information bits can be stored in the memory cells without waste even for the storage information in units of 8 bits.
[0030]
In FIG. 2, at the time of verify operation in the read mode or write mode, the memory cells MC constituting the memory arrays ARYL and ARYR have their control gates, that is, the corresponding word lines WL00 to WL0m to WLk0 to WLkm selected by the read word line voltage. Each of the global data lines DLL0 to DLLn is selectively pulled out, and a read signal corresponding to the logical value of the stored data is applied to each global data line. Output.
[0031]
FIG. 4 is a block diagram showing an embodiment of a relief circuit for a multi-value nonvolatile memory according to the present invention. The Y address counter is composed of a lower 2-bit Y address signal Yadd1 and an upper Y address signal Yadd2. The lower 2-bit Y address signal Yadd1 is a signal formed by a ternary counter. Of the 2-bit signal, the lower-order bit of the 3-bit stored information stored in one memory cell is stored as 00. 01 designates the middle bit, 10 designates the upper bit, and 11 is not used.
[0032]
The carry signal of the ternary counter is supplied to the binary counter to form the upper Y address signal Yadd2. Therefore, the upper Y address signal Yadd2 is a binary signal. The address signal Yadd2 is a signal corresponding to one memory cell that stores the 3-bit storage information. Therefore, only the address signal Yadd2 is supplied to the repair comparison circuit. The relief address fuse (address fuze) stores a relief address Yfuz corresponding to the Y address Yadd2 assigned to each of the memory cells.
[0033]
The lower 2-bit Y address signal Yadd1 formed by the Y address counter (Y address counter), the upper Y address signal Yadd2, and the output signal of the repair comparison circuit are supplied to the Y decoder. If the output signals of the repair comparison circuit do not match, the address signals Yadd1 and Yadd2 are decoded to form a Y selection signal. If the output signals of the repair comparison circuit match, the decode output of the address signals Yadd1 and Yad2 is invalidated and switched to the selection of redundant memory cells.
[0034]
In this embodiment, the internal Y address signal formed by the Y address counter is divided into two, the lower bits are formed by a ternary counter corresponding to the storage information of one memory cell, and the remaining higher address By forming the signal with a binary counter corresponding to the memory cell, the relief comparison circuit ignores the lower bit and compares the higher address signal with the relief address formed by the relief address fuse circuit. Just do it. The address conversion circuit as shown in FIG. 6 is also unnecessary.
[0035]
FIG. 5 is a schematic circuit diagram showing one embodiment of the Y gate circuit of the multi-value nonvolatile memory according to the present invention. The sense latch is composed of a CMOS latch circuit in which the inputs and outputs of two CMOS inverter circuits are cross-connected, and the sense latch has three address units (Y = n, n + 3) for one IO line. , N + 6), and other IO lines are also configured in three address units (Y = n + 1, n + 4, n + 7). Correspondingly, the Y gate signal generation circuit is also composed of three address units. This reduces the circuit area of the Y gate circuit. Of the four sense latches, one performs a verify operation, and the other three are used as data latches that hold 3-bit data.
[0036]
The effects obtained from the above embodiments are as follows. That is, 3-bit storage information is stored in one memory cell, and different Y addresses are assigned to the respective bits. The first address signal designating each bit of one memory cell is formed by a ternary counter. The second address is a 2-bit address signal, a second address signal for selecting one memory cell is a multi-bit address signal formed by a binary counter that receives the carry signal of the ternary counter, and the second address By providing a repair comparison circuit and a repair address memory circuit corresponding to the signal and a redundant circuit corresponding to the circuit, it is possible to realize an efficient storage of information bits and defect repair with a simple circuit.
[0037]
As mentioned above, the invention made by the present inventor has been specifically described based on the embodiments. However, the present invention is not limited to the above-described embodiments, and various modifications can be made without departing from the scope of the invention. Needless to say. For example, in FIG. 1, in the multilevel flash memory, the data input / output terminals IO0 to IO7 may be dedicated as data input terminals or data output terminals, respectively. Memory arrays ARYL and ARYR and their peripheral parts can be divided into an arbitrary number of memory mats. The block configuration of the multi-level flash memory, the names and combinations of the start control signal, the internal control signal, and the like, and their effective levels can take various embodiments.
[0038]
In FIG. 2, the memory arrays ARYL and ARYR can include an arbitrary number of redundant elements, and the related parts thereof are also the same. Further, the memory arrays ARYL and ARYR do not have to have an AND type array structure or a hierarchical data line system, but can also have a hierarchical word line system. The present invention can also be applied to a single chip microcomputer including such a multi-level flash memory. The present invention can be widely applied to a semiconductor memory device including a memory array in which 8-level memory cells are arranged in a grid, a data latch and a sense latch, and a device or system including the same.
[0039]
【The invention's effect】
The effects obtained by the representative ones of the inventions disclosed in the present application will be briefly described as follows. That is, 3-bit storage information is stored in one memory cell, and different Y addresses are assigned to the respective bits. The first address signal designating each bit of one memory cell is formed by a ternary counter. The second address is a 2-bit address signal, a second address signal for selecting one memory cell is a multi-bit address signal formed by a binary counter that receives the carry signal of the ternary counter, and the second address By providing a repair comparison circuit and a repair address storage circuit corresponding to the signal and a redundant circuit corresponding to the circuit, efficient storage of information bits and defect repair can be realized with a simple circuit.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a block diagram showing an embodiment of a multi-value flash memory to which the present invention is applied.
FIG. 2 is a partial circuit diagram showing an embodiment of a memory array of the multi-level flash memory of FIG. 1;
FIG. 3 is a distribution characteristic diagram showing an example of threshold voltages of a two-layer gate structure type memory cell constituting the memory array of FIG. 2;
FIG. 4 is a block diagram showing an embodiment of a relief circuit for a multi-value nonvolatile memory according to the present invention.
FIG. 5 is a schematic circuit diagram showing one embodiment of a Y gate circuit of the multi-value nonvolatile memory according to the present invention.
FIG. 6 is a block diagram showing an example of a relief circuit for a multi-level nonvolatile memory studied prior to the present invention.
[Explanation of symbols]
ARYL, ARYR: Memory array, XDL, XDR: X address decoder, XB: X address buffer, LT: Latch unit, YD: Y address decoder, YC: Y address counter, MX: Multiplexer, IO ... I / O buffer, CR ... Command register, VG ... Internal voltage generation circuit, CTL ... Memory control circuit, SC ... Serial clock signal or its input terminal, CEB ... Chip enable signal or its input terminal, WEB ...... Write enable signal or its input terminal, OEB ... Output enable signal or its input terminal, RESB ... Reset signal or its input terminal, CDEB ... Command enable signal or its input terminal, R / BB ... Ready / busy Signal or its output terminal, IO0 to IO7 ... Input or output data Data or input and output terminals thereof, VCC ...... supply voltage or the input terminal, VSS ...... ground potential or the input terminal.
CBL00 to CBL0n to CBLk0 to CBLkn ... cell block, LDL00 to LDL0n to LDLk0 to LDLkn ... local data line, SLL00 to SLL0n to SLLk0 to SLLkn ... source line, WL00 to WL0m to WLk0 to WLkm ... word line, DLL0 ... DLLn, DLR0 to DLRn... Global data line, MDL0 to MDLk, MSL0 to MSLk... Block selection signal, SLL0 to SLLk.

Claims (1)

1つのメモリセルに3ビットの記憶情報が格納され、かつ、それぞれビットに異なるYアドレスが割り当てられてなる多値不揮発性メモリであって、
上記各ビットを指定する第1アドレス信号は、3進のカンウタで形成された2ビットのアドレス信号とし、
1つのメモリセルを選択する第2アドレス信号を上記3進のカウンタのキャリー信号を入力とする2進のカウンタで形成された複数ビットのアドレス信号とし、
上記第2アドレス信号に対応して救済比較回路及び救済アドレス記憶回路と、それに対応した冗長回路を設けてなることを特徴とする多値不揮発性メモリ。
A multi-value nonvolatile memory in which 3 bits of storage information is stored in one memory cell, and different Y addresses are assigned to each bit,
The first address signal designating each bit is a 2-bit address signal formed by a ternary counter,
A second address signal for selecting one memory cell is a multi-bit address signal formed by a binary counter that receives the carry signal of the ternary counter;
A multi-value nonvolatile memory comprising a relief comparison circuit and a relief address storage circuit corresponding to the second address signal, and a redundancy circuit corresponding thereto.
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