JP3928373B2 - Sample stage - Google Patents
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Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は電子顕微鏡用の試料ステージにかかわり,特に半導体素子製造分野における検査観察用の電子顕微鏡用試料ステージに関する。
【0002】
【従来の技術】
電子顕微鏡用の試料ステージの案内機構には、従来より転がり案内機構が用いられている。しかし、転がり案内機構は、停止時の摺動方向の剛性が低く、微細振動が生じやすいという問題点があるため、近年、フッ素樹脂等の低摩擦係数材料を用い、固体滑りを利用した滑り案内機構の利用が提案されるに至っている。この種の機構を利用したステージの例としては,特開平7−27195号公報に記載のものなどがある。
【0003】
特開平7−27195号公報に記載のものでは,1軸ステージにおいて、固体滑りを利用した滑り案内機構によりテーブル移動方向と直行する水平および垂直方向の移動を拘束する機構構造において、滑りパッドの一部をヒンジ機構によって支持しつつバネで案内面に押し付ける機構を採用することによって、滑りパッドの磨耗等による経時変化に対しても高い移動精度を維持する方法が開示されている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
近年,電子顕微鏡は半導体素子の製造分野において検査・観察用途に多く用いられている。これらの用途に用いる電子顕微鏡は,シリコンウェハを切断せずに観察出来るように,少なくともウェハの直径を上回る可動範囲を持つ大型の試料ステージを備える必要がある。
【0005】
しかるに,このように大型の試料ステージは,機械共振周波数が低下するため,外部からの振動を拾いやすくなるという問題がある。半導体製造ラインは一般にクリーンルーム環境であるため,空調から生ずる50〜200Hz程度の振動のレベルが高く,上記の機械共振周波数がこの領域にまで低下するとその影響は深刻なものとなる。
【0006】
機械共振周波数を向上するためには、固体滑りを利用した案内機構の採用による案内剛性の向上が有効であるが、一方で、固体滑り案内はその剛性の高さゆえに、案内面の加工精度が低く平面度が悪いと、それに倣うことにより移動テーブルの歪が生じたり、あるいは滑りパッドの離れを生じて移動精度の低下を招きやすいという欠点がある。
【0007】
特開平7−27195号公報に開示された方法では,水平方向の拘束を行う滑りパッドの組の片側をヒンジ機構により可動としているため、滑りレールの取り付け平行度が悪くても滑りパッドの当たりが確保されるという効果があるが、一方で、垂直方向の拘束を4つのパッドで行っている為、滑りレール上面の平面度が悪いとパッドの一つが浮き上がるか、あるいは押し付け力が強い場合には、テーブルが歪んでしまうという問題を生ずる。
【0008】
また、これに加えて固体滑り案内では、摺動に伴う滑りパッドの磨耗により、長期的にテーブルの拘束位置が徐々に変化し、この結果、送りねじや送りナットに無理な力が加わったり、歪を生じやすいという欠点がある。
【0009】
特開平7−27195号公報に開示された方法では,滑りパッドの磨耗により、レールに対するテーブルの高さが徐々に下がり、また、ヒンジを設けたと反対側のレールの側にテーブルが寄って行く現象が生じ、この結果として送りねじに無理な曲げ力が加わるという問題がある。
【0010】
本発明の目的は,これらの問題点を解決し,微細振動に強い固体滑り案内機構を用いながら、パッドの浮き上がりやテーブルの歪がなく、滑りパッド磨耗に伴う送りねじや送りナットの歪を防ぐことのできる試料ステージの構造を実現することにある。
【0011】
【課題を解決するための手段】
本発明では、移動テーブルが3つのパッドによりベース上の水平面と滑り接触するようなステージ構成において、パッドのうちの2つが移動テーブルの移動方向に対し平行に位置するように配列するとともに、パッドの残りのひとつに近接した位置に垂直滑り案内面を設け、移動テーブルが別の2つのパッドにより垂直滑り案内面に滑り接触するように試料ステージを構成する。
【0012】
また,本発明では,ベース上に2本の水平滑り案内面を備えたステージ構成において、移動テーブルが2つのパッドにより片方の水平滑り案内面に滑り接触し、1つのパッドによりもう片方の水平滑り案内面に滑り接触し、後者の水平滑り案内面に近接した位置に設けた垂直滑り案内面と移動テーブルが2つのパッドにより滑り接触するように試料ステージを構成する。
【0013】
また、本発明では、上記の試料ステージ構成において、送りナットと移動テーブルの間に横ずれ吸収機構を設けた構成とする。
【0014】
一般に,滑り案内機構を利用した試料ステージにおいては、垂直方向の変位を拘束するパッドを4個所に設ける。その理由は、拘束が3個所のみであると、移動テーブルのオーバーハング量すなわち、3つの拘束点を頂点とする3角形の外側へのはみ出し部分が大きくなり,試料テーブルの厚み方向のたわみによる微細振動が生じやすくなるためである。
【0015】
このため、通常は、4点で垂直方向の拘束を行うが、良く知られているように部材を4点で拘束するのは過剰拘束であり、水平案内面の平面度が悪いと浮き上がりや試料テーブルの歪が生じやすい。これを避ける為に、水平案内面の加工精度や設置精度を高くとるのが普通であるが、それを行ったとしても、ベースを別の土台に取り付ける際に、土台の面精度が悪い為にベースに歪が生じ、水平案内面の平面度が劣化して、結果としてパッドの面当たりが劣化する現象などが起こりがちである。
【0016】
本発明ではこの問題を解決する為、図1に示す通り、移動テーブル2が、パッドA21、パッドB22、パッドC23の3箇所において水平滑り面A11、および水平滑り面B12に対し垂直方向に拘束される構造とし、さらにパッドD24、パッドE25により、移動テーブル2が垂直滑り面13に接触する構造を用いる。
【0017】
パッドD24、パッドE25は垂直方向に滑りが可能な為、移動状態では、移動テーブル2はパッドA21、パッドB22、パッドC23の3点のみによる垂直方向の拘束で常に安定な状態にある。このため、たとえ、水平滑り面A11、および水平滑り面B12の平面度が悪くても、過剰拘束によるテーブルの歪やパッドの浮き上がりが生じない。
【0018】
一方、停止状態では、パッドD24、パッドE25に静摩擦が働くので、移動テーブル2のたわみによる振動は防止される。
【0019】
また、固体滑り案内機構では、パッドの磨耗により、長期間の運転に伴ってパッドの厚みが減少し、これによって移動テーブルの拘束位置が次第に案内面に近づいていく現象が起こる。この際、送りナットと試料テーブルが剛に締結されていると、送りねじに曲げ力が加わったり、逆に、その反力によって試料テーブルのパッドの当たりが悪くなったりする現象が生じやすい。
【0020】
本発明ではこの問題を解決する為、図5および図6に示すように、送りナット4と移動テーブル2の締結部分に横ずれ吸収機構43を設ける。
【0021】
板バネA51は、水平面内で送りねじ3と垂直な方向にのみ変形が可能であるため、結合部材B54は送りナット4に固定された結合部材A53に対し、この方向にのみ可動に支持される。また、板バネB52は、鉛直方向にのみ変形が可能であるため、移動テーブル2に固定された結合部材C55に対し、結合部材B54は鉛直方向にのみ可動に支持される。
【0022】
この構造により、送りナット4は、送り方向と垂直な2方向に関して可動な状態で、移動テーブル2に締結されることになり、移動テーブル2の拘束位置が変化しても無理な力が送りナットや送りねじにかかることが防止される。
【0023】
【発明の実施の形態】
図1は本発明の第一の実施例である試料ステージを示す斜視図である。試料ステージ全体はベース1,移動テーブル2,及び移動テーブル2を移動させるための駆動・案内機構から構成されている。
【0024】
ベース1には、移動テーブル2を案内する為の水平案内面A11、水平案内面B12が設けられ、さらに水平案内面B12に近接した位置に垂直案内面13が設けられている。
【0025】
移動テーブル2には、水平案内面B12と滑り接触するパッドA21およびパッドB22、水平案内面A11と滑り接触するパッドC23、垂直案内面13と滑り接触するパッドD24、およびパッドE25が設けられ、さらに、これらのパッドに予圧、すなわち押し付け力を与える為の予圧手段A31および予圧手段B32が設けられている。
【0026】
図2は本実施例の断面図であり、図3は予圧手段A31を示す斜視図、図4は予圧手段B32を示す斜視図である。予圧手段A31および予圧手段B32には、支持部材33および車輪34が備えられている。車輪34は、支持部材33により回転可能に支持され、支持部材33に設けられた板バネ部分の効果により、ベース1に対し押し付けられる。
【0027】
通常、固体滑りパッドの静止最大摩擦係数は0.1から0.2程度である為、予圧手段A31の2つの車輪34の押し付け力を同程度にしておけば、側方への押し付け力によるパッドD24およびパッドE25の静止最大摩擦力は、下方への押し付け力に打ち勝つほど大きくはならないから、垂直方向に関し移動テーブル2は、パッドA21、パッドB22、およびパッドC23の接触によって定まる位置に安定することになる。
【0028】
図5は移動テーブル2を下側から見た斜視図、図6は移動テーブル2を真下から見た平面図である。送りナット4は、結合部材A53、結合部材B54、結合部材C55、および板バネA51、板バネB52より構成される横ずれ吸収機構43を介し、移動テーブル2に結合されている。
【0029】
送りナット4に固定された結合部材A53と結合部材B54は水平面内で送りねじ3と垂直な方向にのみ変形が可能な板バネA51で結合され、また、移動テーブル2に固定された結合部材C55と結合部材B54は、鉛直方向にのみ変形が可能な板バネB52によって結合されている。このため、送りナット4を、送り方向と垂直な2方向に関して可動な状態で移動テーブル2に結合することが可能となっている。
【0030】
図7および図8は、横ずれ吸収機構43の別の構造の例を示す図である。この例では、送りナット4に固定された結合部材A53と移動テーブル2に固定された結合部材C55を、両端に円形断面の2軸ヒンジ構造を有する連結棒56により結合している。2軸ヒンジの弾性たわみにより、前の例と同様に、送りナット4を、送り方向と垂直な2方向に関して可動な状態で移動テーブル2に結合することが可能である。
【0031】
図9は本発明の別の実施例であるXYステージを示す斜視図である。本実施例では、前の実施例である1軸の試料ステージと同じ構造のステージを2段に積み重ねてXYステージを構成している。積み重ね構造のXYステージは一般に背が高く、重量も大きくなるが、本実施例では、X移動テーブル41、およびY移動テーブル42のたわみによる微細振動の発生がないため、これらの部材を薄く設計することが可能である。また、ベース1のたわみによってもパッドの当たりの劣化等を生じることが少ない為、ベースの薄型化も可能であり、全体として薄型で軽量なXYステージが実現可能である。
【0032】
図10は本発明のさらに別の実施例であるXYステージを示す斜視図である。本実施例では、積み重ね構造のXYステージにおいて、上側のステージに送りねじを設けず、外部に設けた送り機構から押し棒56を介してY移動テーブル42を駆動する。X移動テーブルの移動に対応するため、押し方向と垂直な方向にスライドが可能なスライド結合部57を設けている。本実施例の効果も上記の実施例と同様であり、薄型で軽量なXYステージが実現可能である。
【0033】
【発明の効果】
本発明によれば,微細振動に強い固体滑り案内機構を用いながら、パッドの浮き上がりやテーブルの歪がなく、滑りパッド磨耗に伴う送りねじや送りナットの歪を防ぐことのできる試料ステージの構造が実現できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例である試料ステージを示す斜視図。
【図2】試料ステージを示す断面図。
【図3】与圧手段Aの構造の一例を示す斜視図。
【図4】与圧手段Bの構造の一例を示す斜視図。
【図5】試料テーブルの構造の一例を示す斜視図。
【図6】試料テーブルの構造の一例を示す平面図。
【図7】試料テーブルの構造の別の例を示す斜視図。
【図8】試料テーブルの構造の別の例を示す平面図。
【図9】本発明の別の実施例であるXYステージを示す斜視図。
【図10】本発明のさらに別の実施例であるXYステージを示す斜視図。
【符号の説明】
1…………ベース、
2………移動テーブル、
3………送りねじ、
4………送りナット、
11………水平滑り面A、
12………水平滑り面B、
13………垂直滑り面、
21………パッドA、
22………パッドB、
23………パッドC、
24………パッドD、
25………パッドE、
31………予圧手段A、
32………与圧手段B、
33………支持部材、
34………車輪、
41………X移動テーブル、
42………Y移動テーブル、
43………横ずれ吸収機構、
51………板バネA、
52………板バネB、
53………結合部材A、
54………結合部材B、
55………結合部材C、
56………押し棒、
57………スライド結合部。[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to an electron microscope sample stage, and more particularly to an electron microscope sample stage for inspection and observation in the field of manufacturing semiconductor devices.
[0002]
[Prior art]
Conventionally, a rolling guide mechanism has been used as a sample stage guide mechanism for an electron microscope. However, the rolling guide mechanism has a problem that the rigidity in the sliding direction at the time of stopping is low and fine vibrations are likely to occur. Therefore, in recent years, a sliding guide using a low-coefficient-of-friction material such as a fluororesin is used. The use of the mechanism has been proposed. An example of a stage using this type of mechanism is described in Japanese Patent Laid-Open No. 7-27195.
[0003]
In the one described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 7-27195, in a mechanism structure in which movement in the horizontal and vertical directions perpendicular to the table moving direction is constrained by a sliding guide mechanism using solid sliding in a single axis stage, A method is disclosed in which a high movement accuracy is maintained against changes with time due to wear or the like of a sliding pad by adopting a mechanism that presses against a guide surface with a spring while supporting a portion by a hinge mechanism.
[0004]
[Problems to be solved by the invention]
In recent years, electron microscopes are widely used for inspection and observation purposes in the field of semiconductor element manufacturing. The electron microscope used for these applications needs to include a large sample stage having a movable range exceeding at least the diameter of the wafer so that it can be observed without cutting the silicon wafer.
[0005]
However, such a large sample stage has a problem that it is easy to pick up external vibrations because the mechanical resonance frequency is lowered. Since the semiconductor production line is generally in a clean room environment, the level of vibration of about 50 to 200 Hz resulting from air conditioning is high, and when the mechanical resonance frequency is lowered to this region, the effect becomes serious.
[0006]
In order to improve the mechanical resonance frequency, it is effective to improve the guide rigidity by adopting the guide mechanism using solid slip. On the other hand, the solid slide guide has high rigidity, so the processing accuracy of the guide surface is low. If the flatness is low and the flatness is low, the movement table may be distorted by following the movement, or the sliding pad may be separated and the movement accuracy may be lowered.
[0007]
In the method disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 7-27195, one side of a set of sliding pads that perform horizontal restraint is movable by a hinge mechanism, so that even if the mounting parallelism of the sliding rail is poor, the sliding pad hits. However, if the flatness of the upper surface of the slide rail is poor, if one of the pads is lifted or if the pressing force is strong, it is effective. This causes a problem that the table is distorted.
[0008]
In addition to this, in solid sliding guides, the restraint position of the table gradually changes over the long term due to wear of the sliding pad accompanying sliding, and as a result, excessive force is applied to the feed screw and feed nut, There is a drawback that distortion tends to occur.
[0009]
In the method disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 7-27195, the height of the table with respect to the rail gradually decreases due to wear of the sliding pad, and the table approaches the side of the rail on the opposite side of the hinge. As a result, there is a problem that an excessive bending force is applied to the feed screw.
[0010]
The object of the present invention is to solve these problems and to prevent distortion of the feed screw and feed nut due to wear of the sliding pad without using the solid sliding guide mechanism that is resistant to fine vibrations and without causing pad lift and table distortion. It is to realize a structure of a sample stage that can be used.
[0011]
[Means for Solving the Problems]
In the present invention, in a stage configuration in which the moving table is in sliding contact with the horizontal surface on the base by three pads, two of the pads are arranged so as to be parallel to the moving direction of the moving table, and A vertical sliding guide surface is provided at a position close to the remaining one, and the sample stage is configured such that the moving table is in sliding contact with the vertical sliding guide surface by another two pads.
[0012]
Further, in the present invention, in a stage configuration having two horizontal sliding guide surfaces on the base, the moving table is in sliding contact with one horizontal sliding guide surface by two pads, and the other horizontal sliding guide is provided by one pad. The sample stage is configured so that it slides into contact with the guide surface, and the vertical slide guide surface provided at a position close to the latter horizontal slide guide surface and the moving table are in sliding contact with two pads.
[0013]
In the present invention, in the sample stage configuration described above, a lateral deviation absorbing mechanism is provided between the feed nut and the moving table.
[0014]
In general, a sample stage using a sliding guide mechanism is provided with four pads for restraining vertical displacement. The reason for this is that if there are only three constraints, the overhang amount of the moving table, that is, the protruding portion of the triangle with the three constraint points at the apex becomes large, and the fineness due to the deflection in the thickness direction of the sample table increases. This is because vibration tends to occur.
[0015]
For this reason, normally, vertical restraint is performed at four points, but as is well known, restraining a member at four points is over-constrained. Table distortion is likely to occur. In order to avoid this, it is normal to increase the processing accuracy and installation accuracy of the horizontal guide surface, but even if you do it, the surface accuracy of the base is poor when attaching the base to another base There is a tendency that the base is distorted, the flatness of the horizontal guide surface is deteriorated, and as a result, the surface contact of the pad is deteriorated.
[0016]
In the present invention, in order to solve this problem, as shown in FIG. 1, the moving table 2 is restrained in the vertical direction with respect to the horizontal sliding surface A11 and the horizontal sliding surface B12 at three locations of the pad A21, the pad B22, and the pad C23. Further, a structure in which the moving table 2 is in contact with the vertical sliding
[0017]
Since the pad D24 and the pad E25 can be slid in the vertical direction, in the moving state, the moving table 2 is always in a stable state due to the vertical restriction by only three points of the pad A21, the pad B22, and the pad C23. For this reason, even if the flatness of the horizontal sliding surface A11 and the horizontal sliding surface B12 is poor, table distortion and pad lifting due to excessive restraint do not occur.
[0018]
On the other hand, since static friction acts on the pad D24 and the pad E25 in the stopped state, vibration due to the deflection of the moving table 2 is prevented.
[0019]
Further, in the solid sliding guide mechanism, due to the wear of the pad, the thickness of the pad decreases with the long-term operation, and thereby the phenomenon that the restraining position of the moving table gradually approaches the guide surface occurs. At this time, if the feed nut and the sample table are rigidly fastened, a phenomenon in which a bending force is applied to the feed screw or, conversely, the contact of the pad of the sample table is likely to deteriorate due to the reaction force.
[0020]
In the present invention, in order to solve this problem, as shown in FIGS. 5 and 6, a lateral deviation
[0021]
Since the leaf spring A51 can be deformed only in the direction perpendicular to the
[0022]
With this structure, the feed nut 4 is fastened to the movable table 2 in a movable state in two directions perpendicular to the feed direction, and an unreasonable force is generated even if the restraining position of the movable table 2 changes. And the feed screw is prevented.
[0023]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
FIG. 1 is a perspective view showing a sample stage according to the first embodiment of the present invention. The entire sample stage includes a
[0024]
The
[0025]
The moving table 2 is provided with pads A21 and B22 that make sliding contact with the horizontal guide surface B12, a pad C23 that makes sliding contact with the horizontal guide surface A11, a pad D24 that makes sliding contact with the
[0026]
2 is a cross-sectional view of the present embodiment, FIG. 3 is a perspective view showing the preload means A31, and FIG. 4 is a perspective view showing the preload means B32. The preloading means A31 and the preloading means B32 are provided with a
[0027]
Usually, since the static maximum friction coefficient of the solid sliding pad is about 0.1 to 0.2, if the pressing force of the two
[0028]
5 is a perspective view of the movable table 2 as viewed from below, and FIG. 6 is a plan view of the movable table 2 as viewed from directly below. The feed nut 4 is coupled to the moving table 2 via a lateral
[0029]
The coupling member A53 and the coupling member B54 fixed to the feed nut 4 are coupled by a leaf spring A51 that can be deformed only in the direction perpendicular to the
[0030]
7 and 8 are diagrams showing examples of other structures of the lateral
[0031]
FIG. 9 is a perspective view showing an XY stage which is another embodiment of the present invention. In this embodiment, an XY stage is configured by stacking two stages having the same structure as the uniaxial sample stage of the previous embodiment. The stacked XY stage is generally tall and heavy, but in this embodiment, since there is no occurrence of fine vibration due to the deflection of the X moving table 41 and the Y moving table 42, these members are designed to be thin. It is possible. In addition, since the
[0032]
FIG. 10 is a perspective view showing an XY stage which is still another embodiment of the present invention. In the present embodiment, in the stacked XY stage, the Y moving table 42 is driven via the
[0033]
【The invention's effect】
According to the present invention, there is provided a sample stage structure that can prevent distortion of a feed screw and a feed nut due to wear of a sliding pad, without using a solid sliding guide mechanism that is resistant to fine vibrations, and without causing pad lift and table distortion. realizable.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a perspective view showing a sample stage according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a cross-sectional view showing a sample stage.
FIG. 3 is a perspective view showing an example of a structure of a pressurizing means A.
4 is a perspective view showing an example of a structure of a pressurizing means B. FIG.
FIG. 5 is a perspective view showing an example of a structure of a sample table.
FIG. 6 is a plan view showing an example of the structure of a sample table.
FIG. 7 is a perspective view showing another example of the structure of the sample table.
FIG. 8 is a plan view showing another example of the structure of the sample table.
FIG. 9 is a perspective view showing an XY stage which is another embodiment of the present invention.
FIG. 10 is a perspective view showing an XY stage which is still another embodiment of the present invention.
[Explanation of symbols]
1 …… Base,
2 ... Move table,
3 ... Feed screw,
4 ... Feed nut,
11 ... Horizontal sliding surface A,
12 ... Horizontal sliding surface B,
13 ... vertical sliding surface,
21 ... Pad A,
22 ... Pad B,
23 ... Pad C,
24 ... Pad D,
25 ... Pad E,
31 .... Preload means A,
32 .... Pressurizing means B,
33 ..... support member,
34 ......... wheel,
41 ... X Move table,
42 ......... Y moving table,
43 ......... Slip-absorption mechanism,
51 .... leaf spring A,
52 .... leaf spring B,
53 ..... Connecting member A,
54 ..... Connecting member B,
55... Connecting member C,
56 ……… a push rod,
57... Slide connecting part.
Claims (6)
前記移動テーブルは、
前記第二滑り案内面と滑り接触するように、前記移動テーブルの移動方向に沿って固定配列された第一パッドおよび第二パッドと、
前記第一滑り案内面と滑り接触するように、前記移動テーブルに固定された第三パッドと、
前記移動テーブルの移動方向と平行、かつ前記第一滑り案内面および前記第二滑り案内面と滑り接触する面と垂直であり第一パッドおよび前記第二パッドよりも前記第三パッドに近い方の前記移動テーブルの側面に、前記移動テーブルの移動方向に沿って固定配列された第四パッド及び第五パッドを備え、
前記ベースは前記第四パッド及び前記第五パッドと滑り接触する第三滑り案内面とを有し、
前記移動テーブルの移動方向に対し、前記第三パッドは前記第四パッドと前記第五パッドの間に配置されていることを特徴とする試料ステージ。In a sample stage having a moving table and a base on which the moving table is mounted, and having at least a first sliding guide surface and a second sliding guide surface arranged on the base,
The moving table is
A first pad and a second pad fixedly arranged along the moving direction of the moving table so as to make sliding contact with the second sliding guide surface;
A third pad fixed to the moving table so as to make sliding contact with the first sliding guide surface;
Parallel to the moving direction of the moving table and perpendicular to the first sliding guide surface and the sliding contact surface with the second sliding guide surface and closer to the third pad than the first pad and the second pad A fourth pad and a fifth pad fixedly arranged along a moving direction of the moving table on a side surface of the moving table;
The base has a third sliding guide surface in sliding contact with the fourth pad and the fifth pad,
The sample stage, wherein the third pad is arranged between the fourth pad and the fifth pad with respect to the moving direction of the moving table.
前記第四パッドと前記第五パッドは前記移動テーブルの側面のそれぞれ両端部に固定されていることを特徴とする試料ステージ。The sample stage according to claim 1,
The sample stage, wherein the fourth pad and the fifth pad are fixed to both ends of the side surface of the movable table.
前記第一パッド、第二パッド、及び第三パッドに予圧を与える第一予圧手段と、
前記第四パッド及び第五パッドに予圧を与える第二予圧手段を備えることを特徴とする試料ステージ。The sample stage according to claim 1,
First preloading means for applying preload to the first pad, the second pad, and the third pad;
A sample stage comprising a second preloading means for applying a preload to the fourth pad and the fifth pad.
送りナットが横ずれ吸収機構を介して前記移動テーブルに締結されていることを特徴とする試料ステージ。The sample stage according to claim 1,
A sample stage, wherein a feed nut is fastened to the moving table via a lateral displacement absorbing mechanism.
前記移動テーブル上に新たにベースを備え、該ベース上に前記移動テーブルの移動方向とは直交する方向に移動できる移動テーブルを搭載することを特徴とする試料ステージ。The sample stage according to claim 1,
A sample stage, further comprising a base on the moving table, wherein a moving table capable of moving in a direction perpendicular to the moving direction of the moving table is mounted on the base.
前記移動テーブルを移動させる移動手段を有し、
前記ベースは、前記第一滑り案内部と第二滑り案内部の間に該移動手段を搭載する移動手段設置部を備えることを特徴する試料ステージ。The sample stage according to claim 1,
Moving means for moving the moving table;
The sample stage is characterized in that the base includes a moving means installation portion for mounting the moving means between the first sliding guide portion and the second sliding guide portion.
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