JP3924685B2 - Method and apparatus for forming a film on a substrate of a plate-shaped recording medium - Google Patents

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Description

この発明は、CD(コンパクトディスク)、DVD(デジタル多用途ディスク)、ブルーレイディスク等の板状記録媒体の基板上に膜を形成する方法と装置に関する。   The present invention relates to a method and apparatus for forming a film on a substrate of a plate-shaped recording medium such as a CD (compact disc), a DVD (digital versatile disc), or a Blu-ray disc.

従来、CD、DVD、ブルーレイディスク等の板状記録媒体は、ポリカーボネイトなどの樹脂基板上に、記録層や、接着層や、カバー層(透明)などの種々の層が形成されている。記録層は、有機色素膜によって形成されている。カバー層は、透明な紫外線硬化樹脂や熱硬化樹脂の膜によって形成されている。接着剤層にも、透明の樹脂製接着剤が使用されて所定の範囲に塗布形成されている。   Conventionally, in a plate-like recording medium such as a CD, DVD, and Blu-ray disc, various layers such as a recording layer, an adhesive layer, and a cover layer (transparent) are formed on a resin substrate such as polycarbonate. The recording layer is formed of an organic dye film. The cover layer is formed of a transparent ultraviolet curable resin or thermosetting resin film. Also for the adhesive layer, a transparent resin adhesive is used and applied to a predetermined range.

これらの種々の層は、前記基板を高速で回転(3000〜10000rpm)させると共に、基板の回転中心付近に膜形成のための液を供給し、この膜形成用の液を遠心力で広げて基板上に所定の膜厚の液膜(液体の膜を意味する)を形成し、次いで、紫外線の照射や加熱によって液膜を硬化させる手法がとられている。このような方法をスピンコート法と呼び、スピンコータと呼ばれる装置が用いられている(例えば特許文献1参照)。 These various layers rotate the substrate at a high speed (3000 to 10000 rpm), supply a liquid for forming a film near the center of rotation of the substrate, and spread the film forming liquid by centrifugal force to form a substrate. A method is employed in which a liquid film (meaning a liquid film) having a predetermined thickness is formed thereon, and then the liquid film is cured by irradiation with ultraviolet rays or heating. Such a method is called a spin coating method, and an apparatus called a spin coater is used (for example, see Patent Document 1).

特開平9−161328号公報、段落(0022〜0024、0029、図1)JP-A-9-161328, paragraph (0022-0024, 0029, FIG. 1)

前記のスピンコータを用いたスピンコート法による手法は、設備が複雑で大掛かりとなり勝ちである問題があるのみならず、基板上に形成する膜厚の制御が難しい問題があった。前記のように、膜形成用の液を遠心力によって基板の外周方向へ広げるために、膜の厚さが基板の外周に向かって厚くなる傾向が避けられず、厳しい膜厚精度の要求に応じるのが極めて困難であった。   The above-described spin coating method using a spin coater has not only the problem that the equipment is complicated and large, but it is difficult to control the film thickness to be formed on the substrate. As described above, in order to spread the film-forming liquid toward the outer periphery of the substrate by centrifugal force, the tendency of the film thickness to increase toward the outer periphery of the substrate is unavoidable, and the demand for strict film thickness accuracy is met. It was extremely difficult.

基板を高速で回転して膜形成用の液を広げるので、液は基板の外周縁のみならず外周端面まで流れ、更に基板から外側に振り切られる。このため。液膜の形成後に、基板の外周縁および外周端面の液膜を洗浄により除去する必要が生じている。そして、基板から外側に振り切られた液は、ブロアによって吸引して設備の外などへ放出しているので、環境を汚染し、かつ材料(膜形成用の液の組成物)の無駄も無視できないほどに多大であった。実際の設備では、液膜の形成に必要な量の5〜10倍の液を基板上に供給して広げているので、80〜90%の液が無駄に消費されている。   Since the film-forming liquid is spread by rotating the substrate at a high speed, the liquid flows not only to the outer peripheral edge of the substrate but also to the outer peripheral end surface, and is further shaken off from the substrate. For this reason. After the formation of the liquid film, it is necessary to remove the liquid film on the outer peripheral edge and the outer peripheral end surface of the substrate by cleaning. And since the liquid shaken off from the substrate is sucked by the blower and discharged to the outside of the equipment, the environment is polluted and the waste of the material (liquid composition for film formation) cannot be ignored. It was so great. In actual equipment, since 5 to 10 times the amount of liquid necessary for forming the liquid film is supplied and spread on the substrate, 80 to 90% of the liquid is wasted.

この発明は、このような状況に鑑みて成されたもので、板状記録板体の基板上に各種の層を形成するための膜を正確に形成でき、しかも材料の無駄や環境の汚染のないようにした、新規な方法と装置を提供することを目的としている。   The present invention has been made in view of such a situation, and can accurately form a film for forming various layers on the substrate of the plate-like recording plate, and further, waste of materials and contamination of the environment can be prevented. It is an object to provide a novel method and apparatus which is not present.

この発明は、膜形成のための液をインクジェットプリンタによって基板上に供給することを基本とするものである。即ち、請求項1の発明は、板状記録媒体の基板上に、記録層、接着層、カバー層等のための各種の膜を形成する方法において、
基板の外面に、膜形成領域の縁に沿って、インクジェットプリンタを用いて膜形成用の紫外線硬化性の液を塗布し、塗布した前記液を硬化させて液止め堰を形成し、
次いで、基板に振動を与えながら、前記液止め堰で囲まれた膜形成領域に、インクジェットプリンタを用いて膜形成用の紫外線硬化性の液を塗布し、振動により平滑化して所定の膜厚の液膜を形成し、
更に、膜形成領域に塗布し平滑化した前記液膜を硬化させて、記録層、接着層、カバー層等を構成する膜とすることを特徴とする板状記録媒体の基板上に膜を形成する方法である。
また、前記膜形成領域に形成した液膜は、真空雰囲気に収容して液膜中の気泡を除き、その後に硬化させるようにすることもできる。
更に、前記液止め堰の形成から液膜の硬化までの工程を複数回繰り返すことで、
板状記録媒体の基板上に膜を形成することもできる。
The present invention is basically based on supplying a liquid for film formation onto a substrate by an ink jet printer. That is, the invention of claim 1 is a method for forming various films for a recording layer, an adhesive layer, a cover layer, etc. on a substrate of a plate-shaped recording medium.
The outer surface of the substrate, along the edge of the film forming region, by using an inkjet printer by applying the ultraviolet-curable liquid for film forming, a liquid dammed formed by curing a coated the liquid,
Next, while applying vibration to the substrate, an ultraviolet curable liquid for film formation is applied to the film formation region surrounded by the liquid stop weir using an inkjet printer, and smoothed by vibration to have a predetermined film thickness. Forming a liquid film,
Further, formed by curing the liquid film smoothed is applied to the film forming region, a recording layer, an adhesive layer, a film on a substrate of the plate-like recording medium, characterized in that the film forming the cover layer or the like It is a method to do.
Further, the liquid film formed in the film forming region can be stored in a vacuum atmosphere to remove bubbles in the liquid film and then cured.
Furthermore, by repeating the process from the formation of the liquid stop weir to the curing of the liquid film a plurality of times,
A film can also be formed on the substrate of the plate-shaped recording medium.

また、請求項4の発明は、板状記録媒体の基板上に、記録層、接着層、カバー層等のための各種の膜を形成する装置において、
基板を支持する複数のトレーが、搬送ラインに沿って移動可能に設けられていると共に、搬送ラインの適所に、
基板の膜形成領域の縁に沿って膜形成用の紫外線硬化性の液を塗布するためのインクジェットプリンタと、塗布した膜形成用の液を硬化させる手段とを備えた液止め堰形成ステーションと、
前記トレーに振動を与える手段と、前記液止め堰で囲まれた膜形成領域に膜形成用の紫外線硬化性の液を塗布するためのインクジェットプリンタとを備えた液膜形成ステーションと、
液膜形成ステーションで形成された液膜を硬化させる手段を備えた硬化ステーションとが並設してあることを特徴とする板状記録媒体の基板上に膜を形成する装置である。
この装置の場合、前記液膜形成ステーションと硬化ステーションの間に、更に、液膜形成ステーションで形成された液膜中の気泡を除去する手段を備えた脱気ステーションを設置することもできる。
According to a fourth aspect of the present invention, there is provided an apparatus for forming various films for a recording layer, an adhesive layer, a cover layer, etc. on a substrate of a plate-shaped recording medium.
A plurality of trays supporting the substrate are provided so as to be movable along the transfer line, and at appropriate positions on the transfer line,
An ink jet printer for applying an ultraviolet curable liquid for film formation along the edge of the film forming region of the substrate, and a liquid stop weir forming station comprising means for curing the applied film forming liquid;
A liquid film forming station comprising: means for applying vibration to the tray; and an ink jet printer for applying an ultraviolet curable liquid for film formation to a film forming region surrounded by the liquid stop weir;
An apparatus for forming a film on a substrate of a plate-shaped recording medium, wherein a curing station provided with means for curing a liquid film formed at the liquid film forming station is provided side by side.
In the case of this apparatus, a deaeration station provided with means for removing bubbles in the liquid film formed at the liquid film forming station may be installed between the liquid film forming station and the curing station.

この発明によって基板上に塗布された液が膜を形成するに至る過程を模式的に示すと図1のようになる。図において、10が板状記録媒体の基板であり、11がインクジェットプリンタから噴射された紫外線硬化性の液のドットであり、12が振動によって平滑化された液膜である。(尚、基板10に対して、ドット11、液膜12が相対的なサイズで描かれているものではない)膜形成用の紫外線硬化性の液は、(a)のように、インクジェットプリンタを用いてドット11として基板10上の膜形成領域Sに塗布されるので、インクジェットプリンタの移動制御によって、膜形成領域Sを正確に制御でき、必要な領域に液の塗布を行うことができる。 FIG. 1 schematically shows a process in which the liquid applied on the substrate according to the present invention forms a film. In the figure, 10 is a substrate of a plate-shaped recording medium, 11 is a dot of ultraviolet curable liquid ejected from an ink jet printer, and 12 is a liquid film smoothed by vibration. (Note that the dots 11 and the liquid film 12 are not drawn in a relative size with respect to the substrate 10) The ultraviolet curable liquid for forming the film is an inkjet printer as shown in (a). Since the dot 11 is applied to the film forming region S on the substrate 10, the film forming region S can be accurately controlled by the movement control of the ink jet printer, and the liquid can be applied to a necessary region.

基板10に紫外線硬化性の液をインクジェットプリンタを用いて塗布する際に、基板10は矢示Vのように振動させるので、前記ドット11も基板10と共に振動して、隣接するドット11と合体する。多数のドット11が合体することによって、ドット11の頂部が平滑化されて、(b)のように、基板10の上に所定の厚さtの液膜12を形成することができる。 When the ultraviolet curable liquid is applied to the substrate 10 by using an ink jet printer, the substrate 10 is vibrated as indicated by an arrow V. Therefore, the dots 11 also vibrate together with the substrate 10 and merge with adjacent dots 11. To do. By combining a large number of dots 11, the top of the dots 11 is smoothed, and a liquid film 12 having a predetermined thickness t can be formed on the substrate 10 as shown in FIG.

このように、振動によって平滑化された液膜12を紫外線や赤外線を照射して硬化させることで、基板10上に、記録層、接着層またはカバー層等を構成する膜を形成することができる。インクジェットプリンタで噴射する液は、目的とする膜の種類に従って適宜選択する。記録層を形成する場合には有機色素液とされ、接着層を形成する場合には透明接着液とされ、カバー層を形成する場合には透明樹脂液とされる。   In this way, a film constituting a recording layer, an adhesive layer, a cover layer, or the like can be formed on the substrate 10 by curing the liquid film 12 smoothed by vibration by irradiation with ultraviolet rays or infrared rays. . The liquid ejected by the ink jet printer is appropriately selected according to the type of the target film. When forming the recording layer, it is an organic dye liquid, when forming the adhesive layer, it is a transparent adhesive liquid, and when forming the cover layer, it is a transparent resin liquid.

前記ドット11の高さhや、裾の面積sは、噴射する液の粘度や、噴射する液の量で変化する。したがって、目的とする膜の種類や厚さによって、インクジェットプリンタで噴射する紫外線硬化性の液の量やドット11の密度を変化させることになる。また、前記厚さtが目的とする膜に必要な厚さに満たない場合もある。そのような場合には、平滑化された液膜の形成から硬化の過程を複数回繰り返して必要な厚さにすることができる。 The height h of the dot 11 and the area s of the skirt vary depending on the viscosity of the liquid to be ejected and the amount of the liquid to be ejected. Therefore, the amount of the ultraviolet curable liquid ejected by the ink jet printer and the density of the dots 11 are changed depending on the type and thickness of the target film. In some cases, the thickness t is less than the thickness required for the target film. In such a case, the process of forming a smoothed liquid film and curing can be repeated a plurality of times to obtain the required thickness.

前記液膜の形成に先立って、膜形成領域の縁に沿って液止め堰を形成する場合は、図2のように模式的に表すことができる。図の(a)および(b)に示すように、はじめに基板10の膜形成領域Sの縁に沿ってインクジェットプリンタから膜形成用の紫外線硬化性の液や熱硬化性の液を噴射して基板10上に塗布し、紫外線や赤外線を照射して硬化させることで、膜形成領域Sの縁に液止め堰13を形成することができる。 Prior to the formation of the liquid film, when the liquid stop weir is formed along the edge of the film formation region, it can be schematically represented as shown in FIG. As shown in FIGS. 4A and 4B, first, an ultraviolet curable liquid or a thermosetting liquid for film formation is ejected from the ink jet printer along the edge of the film formation region S of the substrate 10 to form the substrate. The liquid stop weir 13 can be formed at the edge of the film forming region S by applying the material on the surface 10 and curing it by irradiating ultraviolet rays or infrared rays.

液止め堰13を形成した後は、前記と同様であり、液止め堰13で囲まれている膜形成領域S内に、図の(c)のようにインクジェットプリンタから膜形成用の液を噴射してドット11の形で基板10上に塗布すると共に、基板10を矢示Vのように振動させることで、膜形成領域Sに表面が平滑化された液膜12が形成される。はじめに液止め堰13を形成すると、膜形成用の液の塗布領域を膜形成領域Sからはみ出ないように制限できるので、膜形成領域の管理上有効である。   After the liquid stop weir 13 is formed, it is the same as described above, and the film forming liquid is ejected from the ink jet printer into the film forming region S surrounded by the liquid stop weir 13 as shown in FIG. Then, the liquid film 12 whose surface is smoothed is formed in the film forming region S by applying the dot 11 in the form of the dot 11 on the substrate 10 and vibrating the substrate 10 as indicated by the arrow V. When the liquid stop weir 13 is formed first, it is possible to limit the application area of the liquid for film formation so as not to protrude from the film formation area S, which is effective in managing the film formation area.

液膜12を形成した後に、この液膜を硬化させることで、基板10上に、記録層、接着層、カバー層等の各種の層を構成する膜を形成することができる。   After the liquid film 12 is formed, the liquid film is cured to form films constituting various layers such as a recording layer, an adhesive layer, and a cover layer on the substrate 10.

このように、この発明では、膜形成用の紫外線硬化性の液をインクジェットプリンタで噴射して基板上に塗布して膜形成領域の縁に沿って液止め堰を形成し、該液止め堰で囲まれている膜形成領域内にインクジェットプリンタから紫外線硬化性の液をドットの形で塗布し、振動で平滑化して液膜とした後、必要な場合には気泡を除き、そして液膜を硬化させるようにすることで、膜形成用の前記液を膜形成領域からはみ出さないように制限できるので膜を形成する領域を任意かつ正確にできて、しかも不要な部分には液を塗布しないので洗浄の必要もなくすることができ、膜形成領域の管理上有効である。また、膜の厚さは基板の全面に亘って正確かつ均一にすることができる。そして、設備の簡素化に寄与するのみならず、材料の無駄や環境の汚染も無くすることができる。 As described above, according to the present invention, an ultraviolet curable liquid for forming a film is ejected by an ink jet printer and applied onto a substrate to form a liquid stop weir along the edge of the film forming region. Apply UV curable liquid in the form of dots from the inkjet printer in the enclosed film formation area , smooth it by vibration to form a liquid film, remove bubbles if necessary, and cure the liquid film By doing so, the liquid for film formation can be restricted so as not to protrude from the film formation area, so that the area for forming the film can be arbitrarily and accurately, and the liquid is not applied to unnecessary portions. It can be no need for cleaning, Ru management effective der film formation region. Further, the thickness of the film can be made accurate and uniform over the entire surface of the substrate. In addition to contributing to simplification of equipment, waste of materials and environmental pollution can be eliminated.

以下、この発明の実施の形態を添付の図を参照して説明する。   Embodiments of the present invention will be described below with reference to the accompanying drawings.

図3は、前記基板10を支持するトレー20が、図示しないリニアコンベアによって直線的な搬送ラインLに沿って移動するようにした実施装置の構成を表している。搬送ラインLには、基板供給ステーション30、液膜形成ステーション40、脱気ステーション50、硬化ステーション60、基板排出ステーション70が等間隔で設けられている。トレー20は、各ステーションにおいて停止しながら、基板排出ステーション70の方向へ順次移動するように構成されている。   FIG. 3 shows a configuration of an implementation apparatus in which the tray 20 that supports the substrate 10 is moved along a linear conveyance line L by a linear conveyor (not shown). In the transfer line L, a substrate supply station 30, a liquid film forming station 40, a deaeration station 50, a curing station 60, and a substrate discharge station 70 are provided at equal intervals. The tray 20 is configured to sequentially move toward the substrate discharge station 70 while stopping at each station.

基板供給ステーション30と基板排出ステーション70の外側には、真空チャックなどの基板ハンドリング手段を備えた移載装置が設置されている。基板供給ステーション30では、移載装置によって基板10が1枚づつトレー20に順次供給され、基板排出ステーション70では、移載装置によって基板10がトレー20から順次排出できるように構成されている。   Outside the substrate supply station 30 and the substrate discharge station 70, a transfer device provided with substrate handling means such as a vacuum chuck is installed. The substrate supply station 30 is configured to sequentially supply the substrates 10 one by one to the tray 20 by the transfer device, and the substrate discharge station 70 is configured to sequentially discharge the substrates 10 from the tray 20 by the transfer device.

液膜形成ステーション40は、複数基(図は7基の場合を示している)のインクジェットプリンタ41と、図4に表れている超音波振動子42が設置されて、トレー20に支持されている基板10に対して振動を与えながら、膜形成用の紫外線硬化性の、液の塗布ができるようになっている。複数基のインクジェットプリンタ41は、図3の矢示43の方向で往復移動ができるようになっており、そして、各インクジェットプリンタ41のプリンタヘッド44は矢示43に直交する矢示45(図4)の方向で往復移動ができるようにされており、トレー20に支持された基板10の上面は、少なくとも1基のインクジェットプリンタ41のプリンタヘッド44でカバーできるようになっている。 In the liquid film forming station 40, a plurality of inkjet printers 41 (shown in the case of seven) and the ultrasonic vibrator 42 shown in FIG. While applying vibration to the substrate 10, it is possible to apply an ultraviolet curable liquid for film formation. The plurality of inkjet printers 41 can reciprocate in the direction of arrow 43 in FIG. 3, and the printer head 44 of each inkjet printer 41 has an arrow 45 (see FIG. 4) orthogonal to the arrow 43. The top surface of the substrate 10 supported by the tray 20 can be covered with the printer head 44 of at least one ink jet printer 41.

各インクジェットプリンタ41の動作を制御するPCボード46は、膜形成用の液の塗布を総合的に管理するパーソナルコンピュータでなる制御装置47に接続されている。また、各プリンタヘッド44は、膜形成用の紫外線硬化性の(例えば、液の粘度20mpa.s)を貯留している液タンク48と接続されており、膜形成用の前記液が過不足なくプリンタヘッド44に供給できるようになっている。 The PC board 46 that controls the operation of each ink jet printer 41 is connected to a control device 47 that is a personal computer that comprehensively manages the application of the liquid for film formation. Further, each printer head 44, the ultraviolet curable liquid for film formation (e.g., viscosity 20mpa.s liquid) is connected to a liquid tank 48 that stores the said liquid is excessive or insufficient for the film forming Without being supplied to the printer head 44.

前記超音波振動子42は、液膜形成ステーション40に移動してくるトレー20に対して結合および離脱が可能に設置されている。トレー20がステーションに停止すると超音波振動子42がトレー20と結合し、そして、トレー20が搬送ラインLに沿って移動を開始する時には、超音波振動子42がトレー20から離脱して、トレー20の移動に支障が生じないようにされている。   The ultrasonic transducer 42 is installed so that it can be coupled and detached from the tray 20 moving to the liquid film forming station 40. When the tray 20 stops at the station, the ultrasonic vibrator 42 is coupled to the tray 20, and when the tray 20 starts to move along the transport line L, the ultrasonic vibrator 42 is detached from the tray 20, The movement of 20 is not hindered.

次に、前記脱気ステーション50は、図5に示したように、ドーム型の真空チャンバ51がトレー20の上部に設置されている。真空チャンバ51は、排気ポンプなどの真空源52と接続されて内部空気の排気ができるようになっている。そして、真空チャンバ51は、矢示53のように、トレー20に対して昇降可能とされており、降下すると、下部の開口縁54がトレー20の上面に接し、上昇すると、開口縁54がトレー20から離れてトレー20の移動に支障が生じないようになっている。   Next, as shown in FIG. 5, the deaeration station 50 has a dome-shaped vacuum chamber 51 installed at the top of the tray 20. The vacuum chamber 51 is connected to a vacuum source 52 such as an exhaust pump so that the internal air can be exhausted. The vacuum chamber 51 can be moved up and down with respect to the tray 20 as indicated by an arrow 53. When the vacuum chamber 51 is lowered, the lower opening edge 54 is in contact with the upper surface of the tray 20, and when it is raised, the opening edge 54 is moved to the tray 20. The movement of the tray 20 is prevented from being hindered away from the 20.

硬化ステーション60は、図6に示したように、紫外線ランプ61と、凹面を備えた反射鏡62が設置されている。紫外線ランプ61から放射された紫外線63がトレー20上に支持された基板10に照射できるようになっている。紫外線63を照射するようにしたこの装置は、前記インクジェットプリンタ41を介して紫外線硬化性の液を噴射して基板10上に塗布し、そして硬化させて所定の領域に、所定の厚さで膜を形成できるようにしたものである。尚、インクジェットプリンタ41を介して前記基板10上に紫外線硬化性の液により液膜を形成する技術として、例えば特開平11−259913号公報に示される周知技術を用いることができる。 As shown in FIG. 6, the curing station 60 is provided with an ultraviolet lamp 61 and a reflecting mirror 62 having a concave surface. The ultraviolet rays 63 emitted from the ultraviolet lamp 61 can be applied to the substrate 10 supported on the tray 20. This apparatus, which irradiates ultraviolet rays 63, sprays ultraviolet curable liquid onto the substrate 10 through the ink jet printer 41, and cures it to form a film with a predetermined thickness in a predetermined region. Can be formed. As a technique for forming a liquid film with an ultraviolet curable liquid on the substrate 10 via the inkjet printer 41, for example, a known technique disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 11-259913 can be used.

次に、装置の動作を説明すると、液膜形成ステーション40に基板10が搬送されてくると、インクジェットプリンタ41と超音波振動子42が動作して、図1で説明したように、基板10の膜形成領域に、膜形成用の液をドット11の形で塗布すると共に、振動によってドット11を平滑化して、所定の厚さの液膜12が形成される。 Next, the operation of the apparatus will be described. When the substrate 10 is conveyed to the liquid film forming station 40, the ink jet printer 41 and the ultrasonic vibrator 42 operate, and as described in FIG. A film forming liquid is applied to the film forming region in the form of dots 11, and the dots 11 are smoothed by vibration to form a liquid film 12 having a predetermined thickness.

膜形成領域に液膜12が形成された基板10は次に脱気ステーション50に搬送される。ここでは、真空チャンバ51が降下して基板10が真空雰囲気中に保持される。基板10が真空雰囲気中に保持されると、液膜12に混入している気泡は真空雰囲気側に移動するので、液膜12から気泡が除去される。 Substrate 10 liquid film 12 is formed on the film formation region is then conveyed to a degassing station 50. Here, the vacuum chamber 51 is lowered and the substrate 10 is held in a vacuum atmosphere. When the substrate 10 is held in a vacuum atmosphere, the bubbles mixed in the liquid film 12 move to the vacuum atmosphere side, so that the bubbles are removed from the liquid film 12.

このようにして気泡が除去された液膜12が形成されている基板10は、次に硬化ステーション60へと搬送される。ここでは、紫外線ランプ61が点灯されて紫外線63が液膜12に照射される。紫外線硬化性の液からなる液膜12は紫外線63の照射を受けて硬化し、基板10上に固定され、記録層、カバー層、接着層などの各種の層を構成する膜が形成される。   The substrate 10 on which the liquid film 12 from which bubbles have been removed in this way is formed is then transported to the curing station 60. Here, the ultraviolet lamp 61 is turned on and the liquid film 12 is irradiated with the ultraviolet ray 63. The liquid film 12 made of an ultraviolet curable liquid is cured by being irradiated with the ultraviolet light 63 and fixed on the substrate 10 to form films constituting various layers such as a recording layer, a cover layer, and an adhesive layer.

図7は、基板10上に形成する膜の領域を表している。図の(a)は記録層を構成する膜14の領域を表しており、(b)はカバー層や接着層を構成する膜15の領域を表している。(a)の膜14の場合、基板10の中心部10aと外周縁部10bに膜14を形成しない領域がある。また、(b)の場合、基板10の外周縁部10bに膜15を形成しない領域がある。(a)の膜14の形成領域および(b)の膜15の形成領域に対する膜形成用の紫外線硬化性の液の塗布は、各インクジェットプリンタ41のPCボード46が接続された制御装置47で正確に制御することができる。そして、基板10の中心部10aや外周縁部10bの膜を形成しない領域には膜形成用の液を塗布しないので、従来のような不要部分の洗浄も行わないようにできる。 FIG. 7 shows a region of the film formed on the substrate 10. (A) of FIG. 7 represents the region of the film 14 constituting the recording layer, represents a (b) the area of the membrane 15 constituting the cover layer and the adhesive layer. In the case of the film 14 of (a), there is a region where the film 14 is not formed in the central portion 10 a and the outer peripheral edge portion 10 b of the substrate 10. In the case of (b), there is a region where the film 15 is not formed on the outer peripheral edge portion 10 b of the substrate 10. The application of the ultraviolet curable liquid for film formation to the formation region of the film 14 in (a) and the formation region of the film 15 in (b) is accurately performed by the control device 47 to which the PC board 46 of each inkjet printer 41 is connected. Can be controlled. And since the film forming liquid is not applied to the region of the substrate 10 where the film of the central portion 10a and the outer peripheral edge portion 10b is not formed, it is possible to prevent unnecessary portions from being cleaned as in the conventional case.

液膜形成ステーション40から硬化ステーション62への1回の通過で、必要な膜厚が確保できない場合には、基板排出ステーション70で回収した基板10を、再び基板供給ステーション30に供給して、同様の膜形成動作を繰り返し、必要な膜厚にすることができる。また、基板供給ステーション30と基板排出ステーション70の間に、液膜形成ステーション40、脱気ステーション50、硬化ステーション60のセットを複数セット設置し、複数回の膜形成動作が自動的に行われるようにすることもできる。尚、インクジェットプリンタ41を介して塗布する膜形成用の液の種類や、膜の厚さなどによっては、液膜12の中に気泡が混入しない場合もある。したがって、そのような場合には、脱気ステーション50を動作させないようにしたり、脱気ステーション50を省いて装置を構成することもできる。   If the required film thickness cannot be ensured by a single pass from the liquid film forming station 40 to the curing station 62, the substrate 10 collected at the substrate discharge station 70 is supplied again to the substrate supply station 30 and the same. This film forming operation can be repeated to obtain the required film thickness. In addition, a plurality of sets of the liquid film forming station 40, the deaeration station 50, and the curing station 60 are installed between the substrate supply station 30 and the substrate discharge station 70 so that a plurality of film forming operations are automatically performed. It can also be. Depending on the type of film forming liquid applied via the ink jet printer 41, the thickness of the film, etc., bubbles may not be mixed into the liquid film 12. Therefore, in such a case, the deaeration station 50 can be prevented from operating, or the apparatus can be configured without the deaeration station 50.

また、塗布する液は、紫外線硬化性の液に限られるものでもない。熱硬化性の液を用いることも可能である。熱硬化性の液が用いられる場合には、前記硬化ステーション60を構成した紫外線ランプ61を赤外線ランプに代える(例えば特開平11−259913号公報参照)Further, the liquid to be applied is not limited to the ultraviolet curable liquid. It is also possible to use a thermosetting liquid. When a thermosetting liquid is used, the ultraviolet lamp 61 constituting the curing station 60 is replaced with an infrared lamp ( see, for example, JP-A-11-259913) .

更に、リニアコンベアによる直線的な搬送ラインLは、回転テーブルによる環状の搬送ライン(図8参照)とすることもできる。   Furthermore, the linear conveyance line L by a linear conveyor can also be made into the cyclic | annular conveyance line (refer FIG. 8) by a rotary table.

図8は、この発明の、別の実施形態の装置としての構成を表している。図2で説明した液止め堰13を形成できるようにした装置である。 FIG. 8 shows a configuration of the present invention as an apparatus according to another embodiment. 3 is a device that can form the liquid stop weir 13 described in FIG. 2.

装置は、図示しない回転テーブルによって、トレー20が環状の搬送ラインMに沿って移動できるようになっている。環状の搬送ラインMに対して、基板供給ステーション30が設けられていると共に、基板供給ステーション30から時計回りの方向に、等間隔で、液止め堰形成ステーション80、脱気ステーション50、硬化ステーション60、基板排出ステーション70が順次設けられている。   In the apparatus, the tray 20 can be moved along an annular conveyance line M by a rotary table (not shown). A substrate supply station 30 is provided for the annular transfer line M, and a liquid stop weir forming station 80, a deaeration station 50, and a curing station 60 are arranged at regular intervals in the clockwise direction from the substrate supply station 30. A substrate discharge station 70 is sequentially provided.

液止め堰形成ステーション80は、図9のように、トレー20を矢示81のように回転させる駆動シャフト82がトレー20と結合および離脱可能に設けてある。また、トレー20の上側には、2基のインクジェットプリンタ83と2基の紫外線スポットランプ84が設けてある。   As shown in FIG. 9, the liquid stop weir forming station 80 is provided with a drive shaft 82 that rotates the tray 20 as indicated by an arrow 81 so that the drive shaft 82 can be coupled to and detached from the tray 20. Further, two inkjet printers 83 and two ultraviolet spot lamps 84 are provided on the upper side of the tray 20.

各インクジェットプリンタ83と紫外線スポットランプ84は、制御装置85によって、矢示86(図8)の方向で位置設定ができるようにされている。また、各インクジェットプリンタ83のプリンタヘッド87は矢示86と直交する矢示88(図9)の方向で往復移動するようになっている。   Each inkjet printer 83 and ultraviolet spot lamp 84 can be set in the direction of arrow 86 (FIG. 8) by the control device 85. Further, the printer head 87 of each ink jet printer 83 reciprocates in the direction of an arrow 88 (FIG. 9) orthogonal to the arrow 86.

液膜形成ステーション40、脱気ステーション50および硬化ステーション60は、図3で説明した装置と同様に構成されているので、説明は省略する。   The liquid film forming station 40, the deaeration station 50, and the curing station 60 are configured in the same manner as the apparatus described with reference to FIG.

この装置の場合、基板供給ステーション30のトレー20に供給された基板10は、先ず、液止め堰形成ステーション80に搬送される。液止め堰形成ステーション80に基板10が搬送されると、駆動シャフト82がトレー20と結合し、トレー20と基板10を回転させる。この状態で、位置設定された2基のインクジェットプリンタ83および紫外線スポットランプ84が動作し、膜形成用の液が、基板10に向けて噴射、塗布されると共に、紫外線スポットランプ84から照射された紫外線が紫外線スポット89(図8参照)となって塗布された液に当たり、これを硬化させる。この結果、図2で説明したように、基板10の膜形成領域の縁に沿って環状の液止め堰13が半径方向内外に二重に形成される。 In the case of this apparatus, the substrate 10 supplied to the tray 20 of the substrate supply station 30 is first transported to the liquid stop weir forming station 80. When the substrate 10 is transported to the liquid stop weir forming station 80, the drive shaft 82 is coupled to the tray 20 and rotates the tray 20 and the substrate 10. In this state, the two inkjet printers 83 and the ultraviolet spot lamps 84 that have been set are operated, and the film forming liquid is sprayed and applied toward the substrate 10 and irradiated from the ultraviolet spot lamps 84. The ultraviolet light hits the applied liquid as an ultraviolet spot 89 (see FIG. 8), and is cured. As a result, as described with reference to FIG. 2, the annular liquid stop weirs 13 are double formed in the radial direction along the edge of the film forming region of the substrate 10.

このようにして、膜形成領域の縁に沿って液止め堰13が形成された基板10は、以後、液膜形成ステーション40、脱気ステーション50、硬化ステーション60へと順次搬送される。各ステーションにおいては、図3で説明した装置の場合と同様で、液止め堰13で囲まれた領域(膜形成領域)に膜形成用の液がドット11の形で塗布され、振動によって平滑化された後、気泡が除去され、そして硬化される。   In this way, the substrate 10 on which the liquid stop weir 13 is formed along the edge of the film forming region is subsequently transferred to the liquid film forming station 40, the deaeration station 50, and the curing station 60 in sequence. In each station, as in the case of the apparatus described with reference to FIG. 3, the film forming liquid is applied in the form of dots 11 to the area (film forming area) surrounded by the liquid stop weir 13 and smoothed by vibration. After being done, the bubbles are removed and cured.

この図8の装置の場合も、液止め堰形成ステーション80から硬化ステーション60までの1回の通過で必要な膜厚が得られない場合がある。そのような場合には、トレー20が環状の搬送ラインMを複数回循環させて、液止め堰形成ステーション80から硬化ステーション60までを複数回通過するようにしたり、大径化した環状の搬送ラインMに、液止め堰形成ステーション80から硬化ステーション60までのセットを複数セット設置して、必要な膜圧が得られるようにすることができる。   In the case of the apparatus of FIG. 8 as well, the required film thickness may not be obtained by one pass from the liquid stop weir forming station 80 to the curing station 60. In such a case, the tray 20 circulates the annular conveyance line M a plurality of times so that it passes through the liquid stop weir forming station 80 to the curing station 60 a plurality of times, or the annular conveyance line having an increased diameter. A plurality of sets from the liquid stop weir forming station 80 to the curing station 60 can be installed in M so that the required film pressure can be obtained.

更に、前記液止め堰形成ステーション80において、インクジェットプリンタ83を介して膜形成用の液を、図10のように、膜形成領域Sの全領域に塗布するようにし、そして、膜形成領域Sの縁を逐次、紫外線スポット89の照射によって硬化させるようにすることもできる。この場合、膜形成領域Sに液膜12も形成されるので、所定の膜厚が得られた時点で、硬化ステーション60で液膜12を硬化させて、必要な膜を得ることができる。   Further, in the liquid stop weir forming station 80, the film forming liquid is applied to the entire area of the film forming area S as shown in FIG. It is also possible to cure the edges by irradiation of the ultraviolet spot 89 sequentially. In this case, since the liquid film 12 is also formed in the film formation region S, when the predetermined film thickness is obtained, the liquid film 12 is cured by the curing station 60, and a necessary film can be obtained.

最後に、前記液膜形成ステーション40において、基板10を振動させるために設置した超音波振動子42は、振動モータのような他の振動手段に代えることもできる。   Finally, in the liquid film forming station 40, the ultrasonic vibrator 42 installed to vibrate the substrate 10 can be replaced with other vibration means such as a vibration motor.

この出願の一つの発明の概念を説明する模式図で、(a)は基板上に液をドットの形で塗布した状態の図、(b)はドットを平滑化して液膜を形成した状態の図である。It is the model explaining the concept of one invention of this application, (a) is a figure of the state which apply | coated the liquid on the board | substrate in the shape of a dot, (b) is the state of smoothing a dot and forming the liquid film FIG. この出願の別の発明の概念を説明する模式図で、(a)は基板上に液止め堰を形成した平面図、(b)は同じく正面図、(c)は膜形成領域に液をドットの形で塗布した状態の図、(d)はドットを平滑化して液膜を形成した状態の図である。It is the model explaining the concept of another invention of this application, (a) is the top view which formed the liquid stop dam on a board | substrate, (b) is a front view similarly, (c) is a liquid dot to a film formation area. The figure of the state apply | coated in the form of (d) is a figure of the state which smoothed the dot and formed the liquid film. この出願の発明を実施した装置の構成図である。It is a block diagram of the apparatus which implemented invention of this application. 図3の装置の液膜ステーションの構成を説明する図である。It is a figure explaining the structure of the liquid film station of the apparatus of FIG. 図3の装置の脱気ステーションの構成を説明する図である。It is a figure explaining the structure of the deaeration station of the apparatus of FIG. 図3の装置の硬化ステーションの構成を説明する図である。It is a figure explaining the structure of the hardening station of the apparatus of FIG. 基板の膜形成領域を示した平面図であり、(a)は記録層を構成する膜の図であり、(b)はカバー層、接着層を構成する膜の図である。It is a top view which showed the film | membrane formation area of the board | substrate, (a) is a figure of the film | membrane which comprises a recording layer, (b) is the figure of the film | membrane which comprises a cover layer and an adhesive layer. この出願の発明を実施した他の装置の構成図である。It is a block diagram of the other apparatus which implemented invention of this application. 図8の液止め堰形成ステーションの構成を説明する図である。It is a figure explaining the structure of the liquid stop weir formation station of FIG. 図8の液止め堰形成ステーションで膜形成領域の全面に膜を形成する場合を説明する図である。It is a figure explaining the case where a film | membrane is formed in the whole surface of a film | membrane formation area in the liquid stop dam formation station of FIG.

符号の説明Explanation of symbols

10 基板
10a 中心部
10b 外周縁部
11 ドット
12 液膜
13 液止め堰
14 膜
15 膜
20 トレー
30 基板供給ステーション
40 液膜形成ステーション
41 インクジェットプリンタ
42 超音波振動子
44 プリンタヘッド
46 PCボード
47 制御装置
48 液タンク
50 脱気ステーション
51 真空チャンバ
52 真空源
54 開口縁
60 硬化ステーション
61 紫外線ランプ
62 反射鏡
63 紫外線
70 基板排出ステーション
80 液止め堰形成ステーション
82 駆動シャフト
83 インクジェットプリンタ
84 紫外線スポットランプ
85 制御装置
87 プリンタヘッド
89 紫外線スポット
S 膜形成領域
V 振動
L 直線的な搬送ライン
M 環状の搬送ライン
h ドットの高さ
s ドットの裾の面積
t 液膜の厚さ
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Substrate 10a Center part 10b Outer peripheral edge part 11 Dot 12 Liquid film 13 Liquid stop weir 14 Film 15 Film 20 Tray 30 Substrate supply station 40 Liquid film formation station 41 Inkjet printer 42 Ultrasonic vibrator 44 Printer head 46 PC board 47 Control device 48 Liquid tank 50 Deaeration station 51 Vacuum chamber 52 Vacuum source 54 Opening edge 60 Curing station 61 UV lamp 62 Reflector 63 UV 70 Substrate discharge station 80 Liquid stop weir forming station 82 Drive shaft 83 Inkjet printer 84 Ultraviolet spot lamp 85 Controller 87 Printer head 89 Ultraviolet spot S Film formation region V Vibration L Linear transport line M Annular transport line h Dot height s Dot hem area t Liquid film thickness

Claims (5)

板状記録媒体の基板(10)上に、記録層、接着層、カバー層等のための各種の膜を形成する方法において、
基板(10)の外面に、膜形成領域の縁に沿って、インクジェットプリンタ(83)を用いて膜形成用の紫外線硬化性の液を塗布し、塗布した前記液を硬化させて液止め堰(13)を形成し、
次いで、基板(10)に振動を与えながら、前記液止め堰(13)で囲まれた膜形成領域に、インクジェットプリンタ(41)を用いて膜形成用の紫外線硬化性の液を塗布し、振動により平滑化して所定の膜厚の液膜(12)を形成し、
更に、膜形成領域に塗布し平滑化した前記液膜(12)を硬化させて、記録層、接着層、カバー層等を構成する膜とすることを特徴とする板状記録媒体の基板上に膜を形成する方法。
In a method of forming various films for a recording layer, an adhesive layer, a cover layer, etc. on a substrate (10) of a plate-like recording medium,
The outer surface of the substrate (10), along the edge of the film forming region, using an inkjet printer (83) and applying a UV curable liquid for film forming, coating and said liquid is caused by the liquid dammed cure ( 13)
Next, while applying vibration to the substrate (10), an ultraviolet curable liquid for film formation is applied to the film formation region surrounded by the liquid stopping weir (13) using an ink jet printer (41), and vibration is applied. To form a liquid film (12) having a predetermined film thickness
Further, by curing the smoothed is applied to the film forming region liquid film (12), the recording layer, the adhesive layer, on a substrate of the plate-like recording medium, characterized in that the film forming the cover layer or the like A method of forming a film.
前記膜形成領域に形成した液膜(12)は、真空雰囲気に収容して液膜中の気泡が除かれる請求項1に記載の板状記録媒体の基板上に膜を形成する方法。 The method of forming a film on a substrate of a plate-shaped recording medium according to claim 1 , wherein the liquid film (12) formed in the film forming region is accommodated in a vacuum atmosphere to remove bubbles in the liquid film. 前記液止め堰(13)の形成から液膜の硬化までの工程を複数回繰り返す請求項1または2に記載の板状記録媒体の基板上に膜を形成する方法。 The method of forming a film on a substrate of a plate-shaped recording medium according to claim 1 or 2 , wherein the steps from the formation of the liquid stop weir (13) to the curing of the liquid film are repeated a plurality of times. 板状記録媒体の基板(10)上に、記録層、接着層、カバー層等のための各種の膜を形成する装置において、
基板(10)を支持する複数のトレー(20)が、搬送ラインに沿って移動可能に設けられていると共に、搬送ラインの適所に、
基板(10)の膜形成領域の縁に沿って膜形成用の紫外線硬化性の液を塗布するためのインクジェットプリンタ(83)と、塗布した膜形成用の液を硬化させる手段(84)とを備えた液止め堰形成ステーション(80)と、
前記トレー(20)に振動を与える手段(42)と、前記液止め堰(13)で囲まれた膜形成領域に膜形成用の紫外線硬化性の液を塗布するためのインクジェットプリンタ(41)とを備えた液膜形成ステーション(40)と、
液膜形成ステーション(40)で形成された液膜(12)を硬化させる手段(61、62)を備えた硬化ステーション(60)とが並設してあることを特徴とする板状記録媒体の基板上に膜を形成する装置。
In an apparatus for forming various films for a recording layer, an adhesive layer, a cover layer, etc. on a substrate (10) of a plate-like recording medium,
A plurality of trays (20) supporting the substrate (10) are provided so as to be movable along the transfer line, and at appropriate positions on the transfer line,
An inkjet printer (83) for applying an ultraviolet curable liquid for film formation along the edge of the film formation region of the substrate (10), and means (84) for curing the applied film formation liquid A liquid stop weir forming station (80),
A means (42) for applying vibration to the tray (20), and an ink jet printer (41) for applying an ultraviolet curable liquid for film formation to a film formation region surrounded by the liquid stop weir (13). A liquid film forming station (40) comprising:
A plate-like recording medium comprising a curing station (60) provided with means (61, 62) for curing the liquid film (12) formed at the liquid film forming station (40). An apparatus for forming a film on a substrate.
前記液膜形成ステーション(40)と硬化ステーション(60)の間に、更に、液膜形成ステーション(40)で形成された液膜(12)中の気泡を除去する手段(51、52)を備えた脱気ステーション(50)が設置されている請求項4に記載の板状記録媒体の基板上に膜を形成する装置。 Means (51, 52) for removing bubbles in the liquid film (12) formed at the liquid film forming station (40) is further provided between the liquid film forming station (40) and the curing station (60). The apparatus for forming a film on a substrate of a plate-like recording medium according to claim 4 , wherein a deaeration station (50) is installed.
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