JP3924668B2 - Reflow device - Google Patents

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JP3924668B2
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巌穂 森本
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Senju Metal Industry Co Ltd
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Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えばプリント基板に電子部品などをはんだ付けするリフロー装置に関する。詳しくは、はんだ付けのさいに発生するヒュームを基板と接触させることなくすみやかに炉外に排出し得るリフロー装置、また排出したヒュームを有効に処理装置まで導き、処理しうるリフロー装置に関する。
【0002】
なお、本明細書において前後は、図1を基準にいうものとし、図1の左を後、右を前というものとする。
【0003】
【従来の技術】
従来のリフロー装置として、例えば、図3に示したものがある。このリフロー装置は、炉(21)と、炉(21)を貫通して上側が基板搬送路となされた基板搬送用コンベヤ(22)と、炉(21)内におけるコンベヤ(22)の基板搬送路の上方に設けられた複数のファン(24)と、炉(21)内におけるコンベヤ(22)の上方かつファン(24)の下方に配された複数のヒータ(23)と、炉(21)内の雰囲気を抜き出す往路(29)および抜き出した雰囲気を再び炉(21)に供給する復路(27)よりなる循環路と、循環路中に設けられた冷却コイル(28)と、復路(27)中に設けられたファン装置(30)とを備えている。
【0004】
このリフロー装置においては、炉(21)内のヒュームを含んだ雰囲気を往路(29)に導き入れ、冷却コイル(28)によってヒュームをタール状にし、あるいは凝縮させ、凝縮等したヒュームを冷却コイル(28)に付着させてヒュームを回収する。ヒュームが回収された後の雰囲気は、復路(27)によって炉(21)内に供給される。
【0005】
なお、図3に示したリフロー装置において冷却コイル(28)に代えてフィルタが設けられていることがある。
【0006】
また、さらに、他のリフロー装置として図4に示したものがある。この図においても左を後、右を前というものとする。
【0007】
このリフロー装置は、炉(31)と、炉(31)の加熱部に接続されたヒューム排出管(32)と、ヒューム排出管(32)内に設けられたシロッコファン(35)と、ヒューム排出管(32)内に設けられた電熱ヒータ(33)と、ヒューム排出管(32)内における電熱ヒータ(33)下流側に設けられた触媒(34)とを備えたものである。また、排出管(32)には、空気供給管(36)および可燃材料供給管(37)が接続されている。なお、図示は省略したが、炉(31)内において基板(w) を前進させる搬送装置が設けられている。
【0008】
このリフロー装置は、ファン(35)により炉(31)内部のヒュームを含んだ雰囲気を抜き出し、電熱ヒータ(33)および触媒(34)によりヒュームを酸化処理している。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、現在では基板表面の実装密度を高くすることが要求されている。このためには、実装部品を小型化することや配線寸法を微細化して配線密度を高くすることが必要となるが、これらを実現するためには、はんだ面積を縮小しなければならない。このため、クリーンな環境においてはんだ付けを行う必要が生じ、はんだ付けを行う炉内のクリーン度を、例えばクラス1000程度にすることが要求されている。
【0010】
しかし、上記2つの従来のリフロー装置は以下に述べるような問題を有し、高いクリーン度を達成することはできない。
【0011】
図3に示した従来のリフロー装置においては、フィルタを用いる場合、ヒュームが凝縮等し、フィルタに付着して目づまりをおこし、そのままでは使えなくなるという問題がある。
【0012】
また、冷却コイルによる場合は、冷却コイル表面に、凝縮したヒュームを付着させることにより除去するため、付着物の堆積とともに冷却能力が低下し、ヒュームを完全に除去することができなくなる。
【0013】
さらに、フィルタおよび冷却コイルにより回収したヒュームは、凝縮等してフィルタや冷却コイルにタール状に付着しているため、付着物の除去が困難であり、リフロー装置のメンテナンスに手間がかかるという問題もある。また、付着物の除去のさいは、リフロー装置を停止する必要があるため、装置の稼働時間が短くなるという問題もある。
【0014】
このように、炉内の雰囲気を循環させて、循環中に雰囲気中のヒュームを除去する熱風循環式リフロー炉においては、高いクリーン度を達成することができない。
【0015】
図4に示した従来のリフロー装置においては、炉(31)内前方および後方から中央に向かう気流が発生する。このため炉(31)内における予熱部後部で大量に発生したヒュームが炉(31)における本加熱部から予熱部、すなわち高温部から低温部へと流れて炉(31)内のクリーン度が低下し、炉(31)内で搬送される基板(w) や炉(31)内壁にヒュームが付着することがあるという問題がある。
【0016】
本発明は、上記問題を解決することを課題としたものであり、高いクリーン度を達成することができかつメンテナンスの容易なリフロー装置を提供することを目的とする。
【0017】
【課題を解決するための手段および発明の効果】
上記課題を解決するために、本発明によるリフロー装置は、炉内においてはんだのフラックス成分などから発生したヒュームを処理するリフロー装置であって、
前後両端が開口して後端が基板入口、前端が基板出口となされ、内部に予熱部、本加熱部、および冷却部が設けられている炉を備えたリフロー装置において、
炉内の基板を炉壁に埋設された電熱ヒータにより予熱部、本加熱部において輻射加熱する加熱装置と、
炉に接続されたヒューム排出管と、
ヒューム排出管内の温度をヒュームの凝縮温度以上に保つ手段と、
炉内で発生したヒュームを炉内の雰囲気とともにヒューム排出管に強制的にかつ連続的に排出する排出手段と、
ヒューム排出管に接続されて排出管から排出されたヒュームを連続的に熱分解するヒューム処理装置とを備え、
ヒューム排出管が、炉における本加熱部と冷却部との間に接続され、炉内の後側から前側に向かう雰囲気の流れを形成しつつ、ヒューム処理後の雰囲気を外部に排出することを特徴とするものである。
【0018】
このリフロー装置においては、ヒュームは炉から強制的に炉外に排出され、処理装置によってヒュームを処理された後の雰囲気は、外部に排出されるので、ヒュームが再び炉内に送られることがなく、炉内において高いクリーン度を達成することができる。
【0019】
さらに、このリフロー装置においては、ヒュームは、炉から排出された後、ヒューム排出管内においては凝縮温度以上に保たれているのでヒュームがヒューム排出管内で凝縮せず、ヒューム排出管を詰まらせることがない。従って、ヒューム排出管内においてヒュームが凝縮して発生した付着物の除去作業というメンテナンスを行う必要がなく、装置の稼働時間が長くなる。
【0020】
また、ヒュームは排出手段によって炉から連続的にかつ強制的に排出され、その上処理装置によって連続的に処理されるので、ヒュームによる環境汚染が防止されるとともに、装置の稼働時間を長くすることができる。
【0021】
しかも、基板は、炉壁に埋設された加熱装置により加熱される、すなわち、炉内において熱風を循環させることなく加熱されるので、たとえ、炉内に微量のヒュームが残っていても、そのヒュームが基板に吹き付けられることがない。
【0022】
また、炉内おけるヒューム発生部分の内壁温度がヒュームの凝縮温度より高いので、炉内壁面にヒュームが付着することがなく、炉のメンテナンスが容易である。
【0023】
そのうえ、通常ヒュームは、予熱部後部、および本加熱部において発生するが、排出管がこのヒューム発生部分と冷却部との間に接続されているので凝縮する前のヒュームを効率よく排出できる。
【0024】
さらに、ヒューム排出管が、ヒューム発生部分より後側にかつ冷却部より前側に接続されているので、ヒュームが炉内の前側に逆流せず、基板が強制冷却される前にヒュームが炉外に排出されるので、ヒュームが基板に付着することがない。
【0025】
しかも、このリフロー装置においては、炉内の後側から前側に向かって雰囲気が流れる。したがって、炉内後側に予熱部を、炉内前側に本加熱部を設ける通常のリフロー装置に適用すれば、ヒュームが炉内において高温側から低温側すなわち本加熱部側から予熱部側に流れることがなく、ヒュームが炉内で凝縮することがない。
【0026】
【発明の実施の形態】
以下、図1および図2を参照して本発明のリフロー装置について説明する。
【0027】
リフロー装置は、図示は省略した、例えば、鉄板製の外装パネル内に配されたものであり、図1に示したように、前後両端が開口して後端が基板入口(8) 、前端が基板出口(9) となされている筒状の炉(1) と、一端が炉(1) の上部に接続されたヒューム排出管(3) と、ヒューム排出管(3) の他端に接続されたヒューム処理装置(4) とを備えている。処理装置(4) は、ヒュームを加熱することにより分解または燃焼させて処理するものであり、通常外装パネル外に設けられる。なお、図示は省略したが、基板入口(8) から炉(1) 内に基板(w) を搬入し、炉(1) 内において基板(w) を前進させて基板出口(9) から炉(1) 外に基板(w) を搬出する基板搬送装置が設けられている。
【0028】
炉(1) は、複数の筒状断熱体(1a)(1b)を前後に並べて構成された加熱部(1c)と、加熱部(1c)の後端に接続された入口側筒状金属体(1d)と、加熱部(1c)の前端に接続された出口側筒状金属体(1e)とを備えている。
【0029】
前後端に位置する筒状断熱体(1a)をのぞいた筒状断熱体(1b)の表面近傍には、それぞれ電熱ヒータ(加熱装置)(2) が埋設され、加熱部(1c)内における後側部分が予熱部、前側部分が本加熱部となされている。また、詳細な図示は省略したが、入口側筒状金属体(1d)には入口パージ部が、出口側筒状金属体(1e)における排出管(3) が接続された部分より前側には、冷却部および出口パージ部が形成されている。なお、電熱ヒータ、外装パネル、入口パージ部、冷却部および出口パージ部等の構成は、通常のはんだリフロー炉に用いられる公知のものと変わりない。また、図示は省略したが、炉(1) には、雰囲気を供給する供給装置が取り付けられている。
【0030】
そして、出口側筒状金属体(1e)における加熱部(1c)よりの部分にヒューム排出管(3) の一端が接続されている。ヒューム排出管(3) は、例えばステンレス製である。そして、排出管(3) の外周全長にわたってシーズヒータ(5) が設けられているとともに排出管(3) の外周およびヒータ(5) が、断熱材(6) により覆われており、ヒューム排出管(3) 内の温度がヒュームの凝縮温度以上に保たれるようになされている。
【0031】
また、ヒューム排出管(3) の長さ方向におけるほぼ中央には絞り部(3a)が設けられ、この絞り部(3a)よりも炉(1) 側にインジェクタ(排出手段)(7) が、ヒューム排出管(3) 内部に突出するようにかつインジェクタ(7) から吹き出される高圧気体が、処理装置(4) に向かって流れるように配されている。また、ヒューム排出管(3) におけるインジェクタ(7) よりヒューム処理装置(4) 側に、空気供給管(10)が接続されている。なお、インジェクタ(7) は図示しない高圧気体供給源に接続されている。
【0032】
ヒューム処理装置(4) は、金属製、例えばステンレス製の後端閉鎖管(4a)と、後端閉鎖管(4a)の外周を覆う断熱材(4b)と、後端閉鎖管(4a)内に配された電熱ヒータ(4c)とを備えている。また、電熱ヒータ(4c)は、複数の穴があけられた複数の円板状碍子(図示せず)により支持されている。なお、電熱ヒータ(4c)は図示しない適当な電源に接続されている。
【0033】
上記のリフロー装置においては、基板(w) が炉(1) 内を通過する間に予熱処理、本加熱処理などが行われて基板(w) に電子部品などがはんだ付けされる。そして、以下のようにして炉(1) 内においてはんだ付けの際に、はんだのフラックス成分などから発生したヒュームが処理される。
【0034】
インジェクタ(7) から高圧気体が吹き出されると絞り部(3a)でこの高圧気体の流速が高められて絞り部(3a)における圧力が低下する。すると、炉(1) 内のヒュームを含有した雰囲気がヒューム排出管(3) に吸い込まれてヒューム処理装置(4) へと送られる。なお、ヒューム排出管(3) を覆う断熱材(6) の厚みは、ヒューム排出管(3) 内の温度をヒュームの凝縮温度以上(通常180℃、最大300℃)に保ちうる厚みである。インジェクタ(7) から常時高圧気体を吹き出すことにより炉(1) 内のヒュームは連続して炉(1) 外、すなわちヒューム排出管(3) へと排出される。
【0035】
ヒューム処理装置(4) 内の温度は、常時、ヒュームの分解温度以上(通常700℃)に保たれており、排出管(3) から送られてきたヒュームが連続的に熱分解されて処理装置(4) の前端開口から処理装置(4) 外部に排出される。すなわち、炉(1) から排出された雰囲気および処理後のヒュームは再びリフロー装置内に戻ることがない。
【0036】
また、炉(1) における加熱部(1c)の炉壁に電熱ヒータ(2) が埋設され、加熱部(1c)内壁面の温度がヒュームの凝縮温度以上であるので加熱部(1) 内壁面にヒュームが付着などすることがない。
【0037】
加熱部(1c)内のヒュームは、炉(1) の上部に接続された排出管(3) に吸い込まれるので加熱部(1c)内において雰囲気は上昇のみし、ヒュームが、炉(1) 内を搬送されている基板(w) を横切って下降することがなく、加熱部(1c)内の温度に関わらず、基板(w) にヒュームが接触することがない。
【0038】
なお、上記の装置において空気供給管(10)によって排出管(3) 内に空気を送り込むようにしてもよい。そうすれば処理装置(4) 内においてヒュームの一部の成分を燃焼させることができる。また、処理装置(4) 内に例えば熱電対などの温度検知手段を設け、処理装置(4) 内の温度を適切に制御するようにしてもよい。
【0039】
本発明のリフロー装置の各部構成は上記のものに限られるものではない。例えば、炉(1) は、適切に内部の基板を加熱しうるものであればよい。さらに、シーズヒータ(5) に代えて他のヒータを設けて排出管(3) 内の温度をヒュームの凝縮温度以上に保つようにしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の1実施形態のリフロー装置の縦断面図である。
【図2】同リフロー装置における処理装置の一部拡大断面図である。
【図3】従来のリフロー装置の縦断面図である。
【図4】他の従来のリフロー装置の縦断面である。
【符号の説明】
(1) 炉
(2) 加熱装置(電熱ヒータ)
(3) ヒューム排出管
(4) ヒューム処理装置
(5) シーズヒータ
(6) 断熱材
(7) 排出手段としてのインジェクタ
(8) 基板入口
(9) 基板出口
(w) 基板
[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a reflow apparatus for soldering electronic components or the like to a printed circuit board, for example. More specifically, the present invention relates to a reflow apparatus that can quickly discharge fumes generated during soldering to the outside of the furnace without contacting the substrate, and a reflow apparatus that can efficiently guide the discharged fumes to the processing apparatus and process them.
[0002]
In the present specification, the terms before and after refer to FIG. 1, and the left in FIG. 1 is the rear and the right is the front.
[0003]
[Prior art]
An example of a conventional reflow apparatus is shown in FIG. This reflow apparatus includes a furnace (21), a substrate transfer conveyor (22) penetrating the furnace (21) and having a substrate transfer path on the upper side, and a substrate transfer path of the conveyor (22) in the furnace (21). A plurality of fans (24) provided above, a plurality of heaters (23) disposed above the conveyor (22) in the furnace (21) and below the fan (24), and the furnace (21) The return path (29) for extracting the atmosphere of the gas and the return path (27) for supplying the extracted atmosphere to the furnace (21) again, the cooling coil (28) provided in the circulation path, and the return path (27) And a fan device (30).
[0004]
In this reflow apparatus, the atmosphere containing fumes in the furnace (21) is introduced into the forward path (29), and the fumes are tarred or condensed by the cooling coils (28), and the condensed fumes are cooled by the cooling coils ( Fume is collected by adhering to 28). The atmosphere after the fumes are collected is supplied into the furnace (21) by the return path (27).
[0005]
In the reflow apparatus shown in FIG. 3, a filter may be provided instead of the cooling coil (28).
[0006]
Furthermore, another reflow apparatus is shown in FIG. Also in this figure, the left is the rear and the right is the front.
[0007]
This reflow device comprises a furnace (31), a fume discharge pipe (32) connected to the heating section of the furnace (31), a sirocco fan (35) provided in the fume discharge pipe (32), and a fume discharge. An electric heater (33) provided in the pipe (32) and a catalyst (34) provided on the downstream side of the electric heater (33) in the fume discharge pipe (32) are provided. An air supply pipe (36) and a combustible material supply pipe (37) are connected to the discharge pipe (32). Although not shown in the figure, a transfer device for advancing the substrate (w) in the furnace (31) is provided.
[0008]
In this reflow apparatus, an atmosphere containing fumes inside the furnace (31) is extracted by a fan (35), and the fumes are oxidized by an electric heater (33) and a catalyst (34).
[0009]
[Problems to be solved by the invention]
Now, it is required to increase the mounting density of the substrate surface. For this purpose, it is necessary to reduce the size of the mounted components and to increase the wiring density by reducing the wiring dimensions, but in order to realize these, the solder area must be reduced. For this reason, it is necessary to perform soldering in a clean environment, and the degree of cleanliness in the furnace where soldering is performed is required to be, for example, about class 1000.
[0010]
However, the above two conventional reflow devices have the following problems and cannot achieve a high degree of cleanliness.
[0011]
In the conventional reflow apparatus shown in FIG. 3, when a filter is used, there is a problem that fumes are condensed and adhered to the filter, causing clogging, and cannot be used as it is.
[0012]
Further, in the case of using the cooling coil, the condensed fume is removed by adhering to the surface of the cooling coil, so that the cooling ability is reduced as the deposits are deposited, and the fumes cannot be completely removed.
[0013]
Furthermore, since the fumes collected by the filter and the cooling coil are condensed and attached to the filter and the cooling coil in a tar shape, it is difficult to remove the deposits, and the maintenance of the reflow apparatus is troublesome. is there. Further, when removing the deposits, it is necessary to stop the reflow device, so that the operation time of the device is shortened.
[0014]
Thus, in a hot air circulation reflow furnace that circulates the atmosphere in the furnace and removes fumes in the atmosphere during the circulation, high cleanliness cannot be achieved.
[0015]
In the conventional reflow apparatus shown in FIG. 4, an air flow is generated from the front and rear in the furnace (31) toward the center. Therefore, a large amount of fumes generated in the rear part of the preheating part in the furnace (31) flows from the main heating part to the preheating part, that is, from the high temperature part to the low temperature part in the furnace (31), and the cleanliness in the furnace (31) decreases. However, there is a problem that fumes may adhere to the substrate (w) and the inner wall of the furnace (31) conveyed in the furnace (31).
[0016]
An object of the present invention is to provide a reflow apparatus that can achieve a high degree of cleanliness and can be easily maintained.
[0017]
[Means for Solving the Problems and Effects of the Invention]
In order to solve the above problems, a reflow apparatus according to the present invention is a reflow apparatus for processing fumes generated from a flux component of solder in a furnace,
In a reflow apparatus including a furnace in which both front and rear ends are open, the rear end is a substrate inlet, the front end is a substrate outlet, and a preheating unit, a main heating unit, and a cooling unit are provided therein.
A heating device that radiates and heats the substrate in the furnace in the preheating section and the main heating section with an electric heater embedded in the furnace wall ;
A fume discharge pipe connected to the furnace;
Means for keeping the temperature in the fume discharge pipe above the fume condensation temperature;
A discharge means for forcibly and continuously discharging fumes generated in the furnace together with the atmosphere in the furnace into a fume discharge pipe;
A fume treatment device connected to the fume discharge pipe and continuously pyrolyzing the fumes discharged from the discharge pipe;
A fume discharge pipe is connected between the main heating unit and the cooling unit in the furnace, and discharges the atmosphere after the fume treatment to the outside while forming a flow of the atmosphere from the rear side to the front side in the furnace. It is what.
[0018]
In this reflow apparatus, the fumes are forcibly discharged from the furnace to the outside, and the atmosphere after the fumes are processed by the processing apparatus is discharged to the outside, so that the fumes are not sent again into the furnace. High cleanliness can be achieved in the furnace.
[0019]
Furthermore, in this reflow device, after the fumes are discharged from the furnace, the fume discharge pipe is kept at a temperature equal to or higher than the condensation temperature, so the fumes are not condensed in the fume discharge pipe and may clog the fume discharge pipe. Absent. Therefore, it is not necessary to perform maintenance work for removing the deposits generated by the condensation of the fumes in the fume discharge pipe, and the operation time of the apparatus becomes longer.
[0020]
In addition, since fumes are continuously and forcibly discharged from the furnace by the discharge means and processed continuously by the processing equipment, environmental pollution due to fumes is prevented and the operating time of the equipment is lengthened. Can do.
[0021]
Moreover, since the substrate is heated by a heating device embedded in the furnace wall, that is, heated without circulating hot air in the furnace, even if a small amount of fume remains in the furnace, the fumes Is not sprayed onto the substrate.
[0022]
Further, since the inner wall temperature of the fume generating portion in the furnace is higher than the fume condensation temperature, fume does not adhere to the inner wall surface of the furnace, and the furnace maintenance is easy.
[0023]
In addition, normally fumes are generated in the rear part of the preheating part and in the main heating part. Since the discharge pipe is connected between the fume generating part and the cooling part, the fumes before condensation can be efficiently discharged.
[0024]
Furthermore, since the fume discharge pipe is connected to the rear side of the fume generation part and to the front side of the cooling part, the fume does not flow back to the front side in the furnace, and the fume is brought out of the furnace before the substrate is forcibly cooled. Since it is discharged, fume does not adhere to the substrate.
[0025]
Moreover, in this reflow device, the atmosphere flows from the rear side to the front side in the furnace. Therefore, if it is applied to a normal reflow apparatus in which a preheating part is provided on the rear side in the furnace and a main heating part is provided on the front side in the furnace, the fume flows from the high temperature side to the low temperature side, that is, from the main heating part side to the preheating part side. And fume does not condense in the furnace.
[0026]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
The reflow apparatus of the present invention will be described below with reference to FIGS.
[0027]
The reflow apparatus is not shown in the figure, for example, and is disposed in an outer panel made of iron plate. As shown in FIG. 1, the front and rear ends are open, the rear end is the substrate inlet (8), and the front end is A cylindrical furnace (1), which is the substrate outlet (9), a fume discharge pipe (3) with one end connected to the top of the furnace (1), and the other end of the fume discharge pipe (3) And a fume processing device (4). The processing device (4) is for processing by decomposing or burning the fume by heating, and is usually provided outside the exterior panel. Although illustration is omitted, the substrate (w) is carried into the furnace (1) from the substrate inlet (8), and the substrate (w) is advanced in the furnace (1) and the furnace ( 1) A substrate transfer device for unloading the substrate (w) is provided outside.
[0028]
The furnace (1) includes a heating unit (1c) configured by arranging a plurality of cylindrical heat insulators (1a) and (1b) in front and back, and an inlet-side cylindrical metal body connected to the rear end of the heating unit (1c). (1d) and an outlet side cylindrical metal body (1e) connected to the front end of the heating section (1c).
[0029]
An electric heater (heating device) (2) is embedded in the vicinity of the surface of the cylindrical heat insulator (1b) excluding the cylindrical heat insulator (1a) located at the front and rear ends, respectively. The side part is a preheating part, and the front part is a main heating part. Although not shown in detail, the inlet-side cylindrical metal body (1d) has an inlet purge portion, and the outlet-side cylindrical metal body (1e) has a front side of the portion where the discharge pipe (3) is connected. A cooling part and an outlet purge part are formed. The configurations of the electric heater, the exterior panel, the inlet purge unit, the cooling unit, the outlet purge unit, and the like are the same as known ones used in ordinary solder reflow furnaces. Although not shown, a supply device for supplying an atmosphere is attached to the furnace (1).
[0030]
Then, one end of the fume discharge pipe (3) is connected to a portion from the heating part (1c) in the outlet side cylindrical metal body (1e). The fume discharge pipe (3) is made of, for example, stainless steel. A sheathed heater (5) is provided over the entire outer periphery of the discharge pipe (3), and the outer periphery of the discharge pipe (3) and the heater (5) are covered with a heat insulating material (6). (3) The temperature inside is kept above the fume condensation temperature.
[0031]
In addition, a throttle part (3a) is provided in the center of the length direction of the fume discharge pipe (3), and an injector (discharge means) (7) is provided closer to the furnace (1) than the throttle part (3a). The high-pressure gas that protrudes into the fume discharge pipe (3) and blows out from the injector (7) is arranged to flow toward the processing device (4). In addition, an air supply pipe (10) is connected to the fume treatment device (4) side from the injector (7) in the fume discharge pipe (3). The injector (7) is connected to a high-pressure gas supply source (not shown).
[0032]
The fume treatment device (4) is made of a metal, for example, a stainless steel rear end closing tube (4a), a heat insulating material (4b) covering the outer periphery of the rear end closing tube (4a), and a rear end closing tube (4a). And an electric heater (4c). The electric heater (4c) is supported by a plurality of disc-like insulators (not shown) having a plurality of holes. The electric heater (4c) is connected to an appropriate power source (not shown).
[0033]
In the above reflow apparatus, pre-heat treatment, main heat treatment, and the like are performed while the substrate (w) passes through the furnace (1), and electronic components and the like are soldered to the substrate (w). Then, fumes generated from the flux component of the solder and the like are processed during soldering in the furnace (1) as follows.
[0034]
When high-pressure gas is blown from the injector (7), the flow rate of the high-pressure gas is increased at the throttle portion (3a), and the pressure at the throttle portion (3a) is reduced. Then, the atmosphere containing fumes in the furnace (1) is sucked into the fume discharge pipe (3) and sent to the fume treatment device (4). The thickness of the heat insulating material (6) covering the fume discharge pipe (3) is such a thickness that the temperature inside the fume discharge pipe (3) can be maintained at the fume condensation temperature or higher (usually 180 ° C., maximum 300 ° C.). By constantly blowing high pressure gas from the injector (7), the fumes in the furnace (1) are continuously discharged out of the furnace (1), that is, into the fume discharge pipe (3).
[0035]
The temperature inside the fume processing device (4) is always kept above the fume decomposition temperature (usually 700 ° C), and the fume sent from the discharge pipe (3) is continuously pyrolyzed to treat the processing device. It is discharged from the front end opening of (4) to the outside of the processing device (4). That is, the atmosphere exhausted from the furnace (1) and the fumes after the treatment do not return to the reflow apparatus again.
[0036]
In addition, since the electric heater (2) is embedded in the furnace wall of the heating section (1c) in the furnace (1) and the temperature of the inner wall surface of the heating section (1c) is equal to or higher than the fume condensation temperature, the inner wall surface of the heating section (1) No fume adheres to the surface.
[0037]
The fumes in the heating section (1c) are sucked into the discharge pipe (3) connected to the top of the furnace (1), so the atmosphere only rises in the heating section (1c), and the fumes are moved into the furnace (1). The substrate (w) is not lowered across the substrate (w), and no fume comes into contact with the substrate (w) regardless of the temperature in the heating section (1c).
[0038]
In the above apparatus, air may be sent into the discharge pipe (3) by the air supply pipe (10). Then, a part of the components of the fume can be burned in the processing device (4). Further, a temperature detecting means such as a thermocouple may be provided in the processing apparatus (4), and the temperature in the processing apparatus (4) may be controlled appropriately.
[0039]
Each part structure of the reflow apparatus of this invention is not restricted to said thing. For example, the furnace (1) only needs to be capable of appropriately heating the internal substrate. Furthermore, instead of the sheathed heater (5), another heater may be provided to keep the temperature in the discharge pipe (3) at or above the fume condensation temperature.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a longitudinal sectional view of a reflow apparatus according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a partially enlarged cross-sectional view of a processing apparatus in the reflow apparatus.
FIG. 3 is a longitudinal sectional view of a conventional reflow apparatus.
FIG. 4 is a longitudinal section of another conventional reflow apparatus.
[Explanation of symbols]
(1) Furnace
(2) Heating device (electric heater)
(3) Hume discharge pipe
(4) Fume processing equipment
(5) Seed heater
(6) Insulation material
(7) Injector as discharge means
(8) Board entrance
(9) Substrate exit
(w) Board

Claims (1)

炉内においてはんだのフラックス成分などから発生したヒュームを処理するリフロー装置であって、
前後両端が開口して後端が基板入口、前端が基板出口となされ、内部に予熱部、本加熱部、および冷却部が設けられている炉を備えたリフロー装置において、
炉内の基板を炉壁に埋設された電熱ヒータにより予熱部、本加熱部において輻射加熱する加熱装置と、
炉に接続されたヒューム排出管と、
ヒューム排出管内の温度をヒュームの凝縮温度以上に保つ手段と、
炉内で発生したヒュームを炉内の雰囲気とともにヒューム排出管に強制的にかつ連続的に排出する排出手段と、
ヒューム排出管に接続されて排出管から排出されたヒュームを連続的に熱分解するヒューム処理装置とを備え、
ヒューム排出管が、炉における本加熱部と冷却部との間に接続され、炉内の後側から前側に向かう雰囲気の流れを形成しつつ、ヒューム処理後の雰囲気を外部に排出することを特徴とするリフロー装置。
A reflow device for processing fumes generated from solder flux components in a furnace,
In a reflow apparatus including a furnace in which both front and rear ends are open, the rear end is a substrate inlet, the front end is a substrate outlet, and a preheating unit, a main heating unit, and a cooling unit are provided therein.
A heating device that radiates and heats the substrate in the furnace in the preheating section and the main heating section with an electric heater embedded in the furnace wall ;
A fume discharge pipe connected to the furnace;
Means for keeping the temperature in the fume discharge pipe above the fume condensation temperature;
A discharge means for forcibly and continuously discharging fumes generated in the furnace together with the atmosphere in the furnace into a fume discharge pipe;
A fume treatment device connected to the fume discharge pipe and continuously pyrolyzing the fumes discharged from the discharge pipe;
A fume discharge pipe is connected between the main heating unit and the cooling unit in the furnace, and discharges the atmosphere after the fume treatment to the outside while forming a flow of the atmosphere from the rear side to the front side in the furnace. Reflow device.
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