JP3902063B2 - Resistance measurement device - Google Patents

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【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、一般ゴミ等の焼却灰を溶融処理するプラズマ式灰溶融炉に設けられた絶縁部の抵抗を測定するための抵抗値測定装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
一般廃棄物、例えば家庭ゴミは通常、焼却施設、例えばゴミ焼却炉において焼却される。これにより焼却灰が生じるが、焼却灰は比較的嵩張ると共に有害物質、例えばダイオキシンを含む場合がある。従って、現在では焼却灰を減容化および無害化するためにプラズマ式灰溶融炉を用いて焼却灰を溶融している。図７は、例えば特開平１１−５１３６１号公報に開示されるような一般的なプラズマ式灰溶融炉の縦断面図である。焼却施設、例えばゴミ焼却炉において生じた焼却灰は、次いで所定の前処理系に通された後に、図７に示す略円筒形のプラズマ式灰溶融炉１００の炉本体１１０内に投入される。炉本体１１０の壁部は耐火物３００と耐火物３００を被覆する鉄皮２００とから形成されている。後述するように鉄皮２００は上方鉄皮２１０と下方鉄皮２２０とから構成されている。次いで、炉本体１１０内にプラズマ発生用のガスを供給しつつ、炉頂電極１８０と炉底電極１９０とによって炉本体１１０にプラズマ９００を生じさせる。これにより、焼却灰は高温下において溶融スラグ９１０および溶融メタル９２０の二層になる。図７に示されるように炉本体１１０の側部には出滓口１４０が設けられている。上層である溶融スラグ９１０の一部は出滓口１４０およびこれに連通する出滓樋１５０を通ってスラグ排出系（図示しない）まで運搬され、種々の用途に利用される。
【０００３】
図８は一般的なプラズマ式灰溶融炉の壁部の部分拡大図である。図７および図８に示すように鉄皮２００の側方にはフランジ１２０が設けられている。理解を容易にするために図８においては耐火物３００を省略している。フランジ１２０は水平方向に配置される鉄製水平部材１２１、１２２を備えており、これら鉄製水平部材１２１、１２２はフランジ１２０の上方および下方に位置する上方鉄皮２１０および下方鉄皮２２０にそれぞれに結合している。図８から分かるように絶縁部分１２５が鉄製水平部材１２１、１２２の間に挟まれている。さらに、鉄製水平部材１２１、絶縁部分１２５、および鉄製水平部材１２２は適切な固定具、例えばネジ１２８とナット１２９とにより適切に固定されている。絶縁作用を確保するために、絶縁部分１２６がネジ１２８と鉄製水平部材１２２との間に、絶縁部分１２７がナット１２９と鉄製水平部材１２１との間に、絶縁部材１２４がネジ１２８と鉄製水平部材１２１および鉄製水平部材１２２との間にそれぞれ配置されている。従って、このような絶縁部材を含むフランジを以下、絶縁フランジ１２０と呼ぶ。
【０００４】
図７に示す炉頂電極１８０および炉底電極１９０の両方は黒鉛製電極であり、また炉本体１１０の最外方面は前述した鉄皮２００で被覆されている。従って、炉頂電極１８０がアース電位になるのを避けるために、上方絶縁スリーブ１６０が炉頂電極１８０と上方鉄皮２１０との間に設けられており、これにより炉頂電極１８０と上方鉄皮２１０との間を絶縁する。同様に下方絶縁スリーブ１７０が炉底電極１９０と下方鉄皮２２０との間に設けられ、これにより炉底電極１９０と下方鉄皮２２０との間を絶縁する。図７に示す上方絶縁スリーブ１６０および同様に下方絶縁スリーブ１７０はアルミナから形成されている。
【０００５】
プラズマ式灰溶融炉１００を長期間にわたって動作させる場合には、上方絶縁スリーブ１６０および下方絶縁スリーブ１７０ならびに絶縁フランジ１２０の絶縁性能が経時的に劣化する場合がある。このような場合にはプラズマ発生用の電流がアースである上方鉄皮２１０または下方鉄皮２２０に流れ、これにより電源故障などの不具合が発生する可能性がある。従って、絶縁スリーブの劣化を予め予測するために、これら絶縁スリーブ１６０、１７０および絶縁フランジ１２０の絶縁抵抗を把握する必要がある。
【０００６】
図９は従来技術におけるプラズマ式灰溶融炉の絶縁スリーブおよび絶縁フランジの抵抗値を測定する様子を示す略図である。図９に示すように従来技術においては、抵抗計５００のプローブ５１０、５２０を炉頂電極１８０および上方鉄皮２１０、炉底電極１９０および下方鉄皮２２０、または上方鉄皮２１０および下方鉄皮２２０に直接的に接触させることにより、絶縁スリーブ１６０などの絶縁抵抗を測定していた。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、抵抗計を用いた従来技術の絶縁スリーブなどの測定作用においては、測定するたびごとに灰溶融炉を停止する必要があるので、非効率的であると共にリアルタイムでの測定ができないという問題があった。また、従来技術においては、抵抗計を担持した操作者が灰溶融炉上において手動で測定していたので、測定値が人的誤差のためにばらつく可能性があると共に、高温下の高所で測定作業を行うので操作者が危険となる場合があった。従って、プラズマ式灰溶融炉１００の動作時であってもリアルタイムで抵抗を測定できるようにするのが好ましい。
【０００８】
それゆえ、本発明は、操作者の違いに基づく人的誤差を伴うことなしに、抵抗値を安全かつ灰溶融炉の動作時にリアルタイムで測定可能な抵抗値測定装置を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
前述した目的を達成するために請求項１に記載の発明によれば、第一および第二の電極と、これら電極周りにそれぞれ位置する第一および第二の鉄皮と、これら第一および第二の鉄皮の間を絶縁する絶縁フランジと、前記第一の電極と前記第一の鉄皮との間および前記第二の電極と前記第二の鉄皮との間をそれぞれ絶縁する第一および第二の絶縁スリーブとを含むプラズマ式灰溶融炉の前記第一および第二の絶縁スリーブのうちの一方の絶縁スリーブの抵抗値を測定する抵抗値測定装置において、インダクタンスと、コンデンサと、前記インダクタンスと前記コンデンサとを介して前記一方の絶縁スリーブに対応する電極と鉄皮とに直列に接続される高周波電源を具備し、該高周波電源により前記電極および前記鉄皮の間にかかる電圧と前記電極および前記鉄皮の間に流れる電流と前記電圧の前記電流に対する位相差とから前記絶縁スリーブの抵抗値を求めるようにした抵抗値測定装置が提供される。
【００１０】
すなわち請求項１に記載の発明によって、コンデンサによりプラズマ発生用電源の直流電圧が高周波電源に印加されるのを妨げると共にインダクタンスにより前記コンデンサに基づく電流位相のずれを補正できるので、操作者の違いに基づく人的誤差を伴うことなしに、経時劣化しうる一方の絶縁スリーブの抵抗値を安全かつ灰溶融炉の動作時にリアルタイムで測定することができる。従って、抵抗値測定時に灰溶融炉を停止させる必要が無くなる。これにより、絶縁スリーブの抵抗値の経時変化から絶縁スリーブの寿命および交換時期を予測することができる。
【００１１】
請求項２に記載の発明によれば、さらに、抵抗器を具備し、前記高周波電源が前記インダクタンスと前記コンデンサと前記抵抗器とを介して接続されている。すなわち請求項２に記載の発明によって、絶縁スリーブの抵抗値が極端に低下する場合、例えば短絡する場合に、高周波電源からの出力電流を制限することができる。
【００１２】
請求項３に記載の発明によれば、第一および第二の電極と、これら電極周りにそれぞれ位置する第一および第二の鉄皮と、これら第一および第二の鉄皮の間を絶縁する絶縁フランジと、前記第一の電極と前記第一の鉄皮との間および前記第二の電極と前記第二の鉄皮との間をそれぞれ絶縁する第一および第二の絶縁スリーブとを含むプラズマ式灰溶融炉の前記絶縁フランジの抵抗値を測定する抵抗値測定装置において、インダクタンスと、コンデンサと、前記インダクタンスと前記コンデンサとを介して前記第一の鉄皮と前記第二の鉄皮とに直列に接続される高周波電源を具備し、該高周波電源により前記第一の鉄皮および前記第二の鉄皮の間にかかる電圧と前記第一の鉄皮および前記第二の鉄皮の間に流れる電流と前記電圧の前記電流に対する位相差とから前記絶縁フランジの抵抗値を求めるようにした抵抗値測定装置が提供される。
【００１３】
すなわち請求項３に記載の発明によって、コンデンサによりプラズマ発生用電源の直流電圧が高周波電源に印加されるのを妨げると共にインダクタンスにより前記コンデンサに基づく電流位相のずれを補正できるので、操作者の違いに基づく人的誤差を伴うことなしに、経時劣化しうる絶縁フランジの抵抗値を安全かつ灰溶融炉の動作時にリアルタイムで測定することができる。従って、抵抗値測定時に灰溶融炉を停止させる必要が無くなる。これにより、絶縁フランジの抵抗値の経時変化から絶縁フランジの寿命および交換時期を予測することができる。
【００１４】
請求項４に記載の発明によれば、さらに、抵抗器を具備し、前記高周波電源が前記インダクタンスと前記コンデンサと前記抵抗器とを介して接続されている。すなわち請求項４に記載の発明によって、絶縁フランジの抵抗値が極端に低下する場合、例えば短絡する場合に、高周波電源からの出力電流を制限することができる。
【００１５】
請求項５に記載の発明によれば、第一および第二の電極と、これら電極周りにそれぞれ位置する第一および第二の鉄皮と、これら第一および第二の鉄皮の間を絶縁する絶縁フランジと、前記第一の電極と前記第一の鉄皮との間および前記第二の電極と前記第二の鉄皮との間をそれぞれ絶縁する第一および第二の絶縁スリーブとを含むプラズマ式灰溶融炉の前記第一および第二の絶縁スリーブの抵抗値を測定する抵抗値測定装置において、第一のインダクタンスと、第一のコンデンサと、前記第一のインダクタンスと前記第一のコンデンサとを介して前記第一の電極と前記第一の鉄皮とに直列に接続される第一の高周波電源と、第二のインダクタンスと、第二のコンデンサと、前記第二のインダクタンスと前記第二のコンデンサとを介して前記第二の電極と前記第二の鉄皮とに接続される第二の高周波電源とを具備し、前記第一の高周波電源により前記第一の電極および前記第一の鉄皮の間にかかる第一の電圧と前記第一の電極および前記第一の鉄皮の間に流れる第一の電流と前記第一の電圧の前記第一の電流に対する第一の位相差とから前記第一の絶縁スリーブの抵抗値を求めつつ、前記第二の高周波電源により前記第二の電極および前記第二の鉄皮の間にかかる第二の電圧と前記第二の電極および前記第二の鉄皮の間に流れる第二の電流と前記第二の電圧の前記第二の電流に対する第二の位相差とから前記第二の絶縁スリーブの抵抗値を求めるようにした抵抗値測定装置が提供される。
【００１６】
すなわち請求項５に記載の発明によって、第一および第二のコンデンサによりプラズマ発生用電源の直流電圧が高周波電源に印加されるのを妨げると共に第一および第二のインダクタンスにより前記第一および第二のコンデンサに基づく電流位相のずれを補正できるので、操作者の違いに基づく人的誤差を伴うことなしに、経時劣化しうる絶縁スリーブの抵抗値を安全かつ灰溶融炉の動作時にリアルタイムでかつ同時に測定することができる。従って、抵抗値測定時に灰溶融炉を停止させる必要が無くなる。これにより、これら絶縁スリーブの抵抗値の経時変化からこれら絶縁スリーブの寿命および交換時期を予測することができる。
【００１７】
請求項６に記載の発明によれば、さらに、第一の抵抗器と第二の抵抗器とを具備し、前記第一の高周波電源が前記第一のインダクタンスと前記第一のコンデンサと前記第一の抵抗器とを介して接続されており、前記第二の高周波電源が前記第二のインダクタンスと前記第二のコンデンサと前記第二の抵抗器とを介して接続されている。
すなわち請求項６に記載の発明によって、絶縁スリーブの抵抗値が極端に低下する場合、例えば短絡する場合に、高周波電源からの出力電流を制限することができる。
【００１８】
請求項７に記載の発明によれば、第一および第二の電極と、これら電極周りにそれぞれ位置する第一および第二の鉄皮と、これら第一および第二の鉄皮の間を絶縁する絶縁フランジと、前記第一の電極と前記第一の鉄皮との間および前記第二の電極と前記第二の鉄皮との間をそれぞれ絶縁する第一および第二の絶縁スリーブとを含むプラズマ式灰溶融炉の前記絶縁フランジの抵抗値を測定する抵抗値測定装置において、第一のインダクタンスと、第一のコンデンサと、前記第一のインダクタンスと前記第一のコンデンサとを介して前記第一の電極と前記第一の鉄皮とに直列に接続される第一の高周波電源と、第二のインダクタンスと、第二のコンデンサと、前記第二のインダクタンスと前記第二のコンデンサとを介して前記第二の電極と前記第二の鉄皮とに直列に接続される第二の高周波電源と、第三のインダクタンスと、第三のコンデンサと、前記第三のインダクタンスと前記第三のコンデンサとを介して前記第一の鉄皮と前記第二の鉄皮とに直列に接続される第三の高周波電源とを具備し、前記第一、第二および第三の高周波電源のそれぞれを異なる時刻に使用することによって、前記第一の高周波電源により前記第一の電極および前記第一の鉄皮の間にかかる第一の電圧と前記第一の電極および前記第一の鉄皮の間に流れる第一の電流と前記第一の電圧の前記第一の電流に対する第一の位相差とから求められる前記第一の絶縁スリーブの抵抗値と、前記第二の高周波電源により前記第二の電極および前記第二の鉄皮の間にかかる第二の電圧と前記第二の電極および前記第二の鉄皮の間に流れる第二の電流と前記第二の電圧の前記第二の電流に対する第二の位相差とから求められる前記第二の絶縁スリーブの抵抗値と、前記第三の高周波電源により前記第一の鉄皮および前記第二の鉄皮の間にかかる第三の電圧と前記第一の鉄皮および前記第二の鉄皮の間に流れる第三の電流と前記第三の電圧の前記第三の電流に対する第三の位相差とから求められる前記絶縁フランジの抵抗値とのうちの各抵抗値を異なる時刻に求めるようにした抵抗値測定装置が提供される。
【００１９】
すなわち請求項７に記載の発明によって、第一、第二および第三のコンデンサによりプラズマ発生用電源の直流電圧が高周波電源に印加されるのを妨げると共に第一、第二および第三のインダクタンスにより前記第一、第二および第三のコンデンサに基づく電流位相のずれを補正できるので、操作者の違いに基づく人的誤差を伴うことなしに、経時劣化しうる絶縁スリーブまたは絶縁フランジの抵抗値を安全かつ灰溶融炉の動作時にリアルタイムで測定することができる。従って、抵抗値測定時に灰溶融炉を停止させる必要が無くなる。これにより、これら絶縁スリーブまたは絶縁フランジの抵抗値の経時変化からこれら絶縁スリーブまたは絶縁フランジの寿命および交換時期を予測することができる。
【００２０】
請求項８に記載の発明によれば、さらに、第一の抵抗器と第二の抵抗器と第三の抵抗器とを具備し、前記第一の高周波電源が前記第一のインダクタンスと前記第一のコンデンサと前記第一の抵抗器とを介して接続されており、前記第二の高周波電源が前記第二のインダクタンスと前記第二のコンデンサと前記第二の抵抗器とを介して接続されており、前記第三の高周波電源が前記第三のインダクタンスと前記第三のコンデンサと前記第三の抵抗器とを介して接続されている。
すなわち請求項８に記載の発明によって、絶縁スリーブまたは絶縁フランジの抵抗値が極端に低下する場合、例えば短絡する場合に、高周波電源からの出力電流を制限することができる。
【００２１】
請求項９に記載の発明によれば、さらに、前記位相差を表示する位相差表示装置に接続するための高電圧絶縁プローブを具備する。
すなわち請求項９に記載の発明によって、本発明の抵抗値測定装置の高電圧部分と位相差表示装置、例えばオシロスコープとを電気的に絶縁して、位相差表示装置が高電圧の影響を受けるのを妨げることができる。
【００２２】
請求項１０に記載の発明によれば、さらに、前記高周波電源の増幅部と電源部との間に絶縁トランスを具備する。
すなわち請求項１０に記載の発明によって、高電圧と所要電源との間を絶縁することができる。
【００２３】
【発明の実施の形態】
以下、添付図面を参照して本発明の実施形態を説明する。以下の図面において同一の部材には同一の参照符号が付けられている。理解を容易にするためにこれら図面は縮尺を適宜変更している。
図１は本発明の第一の実施形態に基づく抵抗値測定装置の略図である。図１における抵抗値測定装置２０は前述したプラズマ式灰溶融炉１００の炉頂電極１８０と上方鉄皮２１０とに接続されている。ここでプラズマ式灰溶融炉１００の炉本体１１０は炉頂電極１８０を備えた上方鉄皮２１０と炉底電極１９０を備えた下方鉄皮２２０とを含んでおり、上方鉄皮２１０と下方鉄皮２２０との間には絶縁フランジ１２０が配置されている。さらに、電極から炉本体１１０を絶縁するために、絶縁スリーブ１６０が上方鉄皮２１０と炉頂電極１８０との間に設けられており、下方絶縁スリーブ１７０が下方鉄皮２２０と炉底電極１９０との間に設けられている。さらにプラズマ式灰溶融炉１００の絶縁フランジ１２０によって、炉頂電極１８０を備えた上方鉄皮２１０と炉底電極１９０を備えた下方鉄皮２２０との間が電気的に絶縁されている。従って、抵抗値測定装置２０を接続することにより、抵抗値測定装置２０と炉頂電極１８０および上方鉄皮２１０との間で閉回路が形成される。これにより、本発明の抵抗値測定装置２０によって、炉頂電極１８０と上方鉄皮２１０との間に位置する絶縁スリーブ１６０の抵抗値を測定することができる。
【００２４】
図１に示すように抵抗値測定装置２０は高周波電源部３０と回路部４０と測定部５０とを含んでいる。抵抗値測定装置２０の高周波電源部３０においては信号発生器３１および増幅器３２により高周波電圧を発生させている。さらに抵抗値測定装置２０の高周波電源部３０および回路部４０は高電圧下で作動するので、高周波電源部３０および回路部４０には絶縁変圧器３３を介して電源を供給している。すなわち、絶縁変圧器３３を介して電源を供給することにより、炉頂電極１８０と高周波電源部３０および回路部４０がアース電位から絶縁できるため高電圧から所要電源を保護できる。
【００２５】
抵抗値測定装置２０の回路部４０はインダクタンスＬとコンデンサＣと抵抗器Ｒとを含んでおり、図１に示されるようにこれらインダクタンスＬとコンデンサＣと抵抗器Ｒとは高周波電源部３０に直列に接続されている。
【００２６】
抵抗値測定装置２０の測定部５０は第一および第二の高電圧絶縁プローブ５１、５２例えば光アイソレーションアンプと電流プローブ５３とを含んでおり、これらは接地されたオシロスコープ５４に接続されている。図１から分かるように第一の高電圧絶縁プローブ５１は増幅器３２により増幅された電圧Ｅ０を検出するよう接続されており、高電圧絶縁プローブ５２は炉頂電極１８０と上方鉄皮２１０との間の絶縁スリーブ１６０にかかる電圧Ｅｓを検出するように接続されている。第一および第二の高電圧絶縁プローブ５１、５２は内部に絶縁回路を含んでおり、接地する必要のあるオシロスコープ５４と高電圧部分とを電気的に絶縁している。これによりオシロスコープ５４が高電圧の影響を受けるのを妨げることができる。電流プローブ５３は回路部４０の電流Ｉｓを検出するよう接続されている。第一および第二の高電圧絶縁プローブ５１、５２により供給される電圧Ｅｓ、Ｅ０および電流はオシロスコープ５４において計測される。
【００２７】
図２はプラズマ式灰溶融炉の部分拡大図である。昇降フレーム６２の一端がプラズマ式灰溶融炉１００の外方に設置されるマスト６１に設けられている。昇降フレーム６２は油圧シリンダ６３によってマスト６１に沿って昇降可能になっている。昇降フレーム６２の他端には炉頂電極１８０に係合する銅製ホルダ６５と炉頂電極１８０に係合した後にこれを把持するための把持部６４とが設けられている。
【００２８】
図３（ａ）は昇降フレームの頂面図である。図３（ａ）から分かるようにホルダ６５の一部には給電端子６６が接続されている。給電端子６６にはさらに水冷ケーブル６７が接続されており、この水冷ケーブル６７によって給電端子６６およびホルダ６５を冷却している。図３（ｂ）はホルダおよび給電端子の拡大図である。理解を容易にするために図３（ｂ）においては昇降フレーム６２を省略している。図３（ｂ）に示すように、本発明の抵抗値測定装置２０の一端であるケーブル２９が接続部材６８を介して給電端子６６に接続されている。図３（ｂ）においては接続部材６８は例えばネジ留め作用により給電端子６６に接続されている。さらに本発明の抵抗値測定装置２０の他端である別のケーブル（図示しない）は上方鉄皮２１０に設けられた接続用プレート（図示しない）に同様な接続部材（図示しない）を介して接続されるか、または前記ケーブルが接続部材を介して上方鉄皮２１０に直接的に接続される。接続部材も例えばネジ留め作用を採用できる。
【００２９】
図４（ａ）は本発明の抵抗値測定装置をプラズマ式灰溶融炉に接続したときの等価回路を示す図である。図４（ａ）においてはプラズマ式灰溶融炉１００の絶縁スリーブ１６０は抵抗ＲｓとコンデンサＣｓとにより表されており、この絶縁スリーブ１６０に本発明の抵抗値測定装置２０が接続されている。図４（ａ）に示すように、絶縁スリーブ１６０に流れる電流Ｉｓは抵抗Ｒｓに流れる電流ＩｒとコンデンサＣｓに流れる電流Ｉｃとに分かれる。ここで抵抗値測定装置２０の回路部４０におけるコンデンサＣはプラズマ電源（図４（ａ）においては省略している）の直流電圧が高周波電源に印加されるのを防止する役目を果たす。さらに、回路部４０のインダクタンスＬはコンデンサＣによる電流位相のズレを補正するためにコンデンサＣと共振となるようになっている。すなわち高周波電源部３０によりＥ０ｃｏｓ（ωｔ）の電圧をかける場合にコンデンサＣとインダクタンスＬの間には ωＬ−１／ωＣ≒０ の関係がある。さらに、回路部４０の抵抗器Ｒは、絶縁スリーブ１６０の抵抗値が大幅に低下する場合、例えば短絡する場合に、高周波電源の出力電流を制限する役目を果たす。
【００３０】
前述したように本発明の抵抗値測定装置２０は測定部５０（図４（ａ）においては省略している）を含んでいる。測定部５０によって絶縁スリーブ１６０にかかる電圧Ｅｓが分かり、同様に測定部５０によって絶縁スリーブ１６０に流れる電流Ｉｓが分かる。これら電圧Ｅｓと電流Ｉｓとが測定部５０のオシロスコープ５４に表示される。図４（ｂ）はオシロスコープ５４に表示された絶縁スリーブにかかる電圧Ｅｓと時間ｔとの間の関係および絶縁スリーブに流れる電流Ｉｓと時間ｔとの関係を示す図である。図４（ｂ）に示すように、これら電圧Ｅｓと電流Ｉｓとの関係から電圧Ｅｓと電流Ｉｓとの間の位相差φを求めることができる。図４（ｃ）は絶縁スリーブ１６０を流れる電流Ｉｓと抵抗Ｒｓに流れる電流ＩｒとコンデンサＣｓに流れる電流Ｉｃとの関係を示す図である。従って、図４（ｂ）により得られた位相差φおよび図４（ｃ）から以下の関係式、
【００３１】
【数１】

Figure 0003902063
を用いて絶縁スリーブ１６０の抵抗Ｒｓを算出することができる。同様にして前述した関係式より絶縁スリーブ１６０のコンデンサＣｓを算出することもできる。
【００３２】
このようにして、本発明の抵抗値測定装置２０を用いることにより、コンデンサＣによりプラズマ発生用電源の直流電圧が高周波電源に印加されるのを妨げると共にインダクタンスＬにより前記コンデンサＣに基づく電流位相のずれを補正できるので、プラズマ式灰溶融炉１００の絶縁スリーブ１６０の抵抗値Ｒｓを安全かつリアルタイムで測定することができる。当然のことながら、このような測定作用はプラズマ式灰溶融炉１００の動作時であっても行うことができるので、抵抗値を測定するために灰溶融炉を停止させる必要が無くなる。また、本発明の抵抗値測定装置２０の場合には測定を自動的に行えると共に測定場所を固定できるので、測定者の違いに基づく人的誤差を排除することができる。さらに、本発明においては絶縁スリーブの抵抗値の経時変化から絶縁スリーブの寿命および交換時期を予測することができる。
【００３３】
図５（ａ）および図５（ｂ）は本発明の他の実施形態に基づく抵抗値測定装置の略図である。図５（ａ）および図５（ｂ）においては高周波電源部３０の一部および測定部５０を省略している。図５（ａ）における抵抗値測定装置２１は下方鉄皮２２０と炉底電極１９０とに接続されている。接続に用いられる接続部材などについては前述した第一の実施形態と同様であるので説明を省略する。絶縁フランジ１２０が存在するために閉回路を形成できるので、炉底電極１９０と下方鉄皮２２０との間に位置する下方絶縁スリーブ１７０の抵抗値を測定できる。従って、本実施形態の場合には、下方の絶縁スリーブ１７０の抵抗値を安全かつリアルタイムで測定することができると共に前述した実施形態と同様の効果が得られる。
【００３４】
図５（ｂ）における抵抗値測定装置２２は上方鉄皮２１０と下方鉄皮２２０とに接続されている。接続に用いられる接続部材などについては前述した第一の実施形態と同様であるので説明を省略する。絶縁スリーブ１６０および絶縁スリーブ１７０が存在するために閉回路を形成できるので、上方鉄皮２１０と下方鉄皮２２０との間に位置する絶縁フランジ１２０の抵抗を測定できる。従って、本実施形態の場合には、絶縁フランジ１２０の抵抗値を安全かつリアルタイムで測定することができると共に前述した実施形態と同様の効果が得られる。
【００３５】
当然のことながら、図１に示される抵抗値測定装置２０と図４（ａ）に示される抵抗値測定装置２１とを組み合わせることもできる。上方鉄皮２１０と下方鉄皮２２０との間には絶縁フランジ１２０が存在しているので、抵抗値測定装置２０と抵抗値測定装置２１との両方は互いに閉回路を形成できる。従って、この場合には上方の絶縁スリーブ１６０の抵抗値および下方の絶縁スリーブ１７０の抵抗値を同時に測定することができると共に前述した実施形態と同様の効果が得られる。
【００３６】
図６は本発明の追加の実施形態に基づく抵抗値測定装置の略図である。図６における抵抗値測定装置２３は三つの抵抗値測定部２３ａ、２３ｂ、２３ｃを含んでいる。図６に示されるように、抵抗値測定部２３ａは炉頂電極１８０と上方鉄皮２１０との間に接続されており、抵抗値測定部２３ｂは上方鉄皮２１０と下方鉄皮２２０との間に接続されており、抵抗値測定部２３ｃは炉底電極１９０と下方鉄皮２２０との間に接続されている。接続に用いられる接続部材などについては前述した第一の実施形態と同様であるので説明を省略する。これら抵抗値測定部２３ａ、２３ｂ、２３ｃのそれぞれは前述した実施形態と同様な高周波電源部、回路部および測定部を含んでいるがこれらの一部は図示しない。本実施形態においては、抵抗値測定部２３ａにより絶縁スリーブ１６０の抵抗値を測定し、抵抗値測定部２３ｂにより絶縁フランジ１２０の抵抗値を測定し、抵抗値測定部２３ｃにより絶縁スリーブ１７０の抵抗値を測定できる。本実施形態の抵抗値測定装置２３の使用時には、抵抗値測定部２３ａ、２３ｂ、２３ｃを異なる時刻に起動させ絶縁スリーブ１６０、絶縁フランジ１２０、絶縁スリーブ１７０の抵抗値を順番に測定している。これにより、抵抗値測定部２３ａ、２３ｂ、２３ｃが互いに短絡するのを妨げることができる。また、抵抗値測定部２３ａ、２３ｂ、２３ｃのうちの一つの抵抗値測定部を排除して、残りの抵抗値測定部に対応する絶縁スリーブまたは絶縁フランジの抵抗値を順番に測定してもよい。このような場合にも前述した実施形態と同様の効果を得ることができる。
【００３７】
当然のことながら、抵抗器を排除しつつコンデンサＣとインダクタンスＬを含む回路部を備えた抵抗値測定装置または抵抗値測定部は本発明の範囲に含まれる。さらには、当然のことながら、適切な切替手段を用いることにより、一つの抵抗値測定装置が絶縁スリーブ１６０、絶縁フランジ１２０および絶縁スリーブ１７０の抵抗値を順番に測定できるようにしてもよい。この場合には、例えば抵抗値測定装置を炉頂電極１８０と上方鉄皮２１０とに接続させて上方の絶縁スリーブ１６０の抵抗値を測定した後に、切替手段によって抵抗値測定装置を上方鉄皮２１０と下方鉄皮２２０とに接続させる。次いで絶縁フランジ１２０の抵抗値を測定した後に、抵抗値測定装置を下方鉄皮２２０と炉底電極１９０とに接続させて絶縁スリーブ１７０の抵抗値を測定できる。このような場合には前述した効果と同様の効果に加えて単一の抵抗値測定装置によって複数箇所の絶縁部分の抵抗値を測定することができる。
【００３８】
【発明の効果】
各請求項に記載の発明によれば、操作者の違いに基づく人的誤差を伴うことなしに、経時劣化しうる絶縁スリーブまたは絶縁フランジの抵抗値を安全かつ灰溶融炉の動作時にリアルタイムで測定することができるという共通の効果を奏しうる。
【００３９】
さらに、請求項２、４、６および８に記載の発明によれば、絶縁スリーブまたは絶縁フランジの抵抗値が極端に低下する場合、例えば短絡する場合に、高周波電源からの出力電流を制限することができるという効果を奏しうる。
さらに、請求項９に記載の発明によれば、本発明の抵抗値測定装置の高電圧部分と位相差表示装置とを電気的に絶縁して、位相差表示装置が高電圧の影響を受けるのを妨げることができるという効果を奏しうる。
さらに、請求項１０に記載の発明によれば、高電圧と所要電源との間を絶縁することができるという効果を奏しうる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第一の実施形態に基づく抵抗値測定装置の略図である。
【図２】プラズマ式灰溶融炉の部分拡大図である。
【図３】（ａ）昇降フレームの頂面図である。
（ｂ）ホルダおよび給電端子の拡大図である。
【図４】（ａ）本発明の抵抗値測定装置をプラズマ式灰溶融炉に接続したときの等価回路を示す図である。
（ｂ）絶縁スリーブにかかる電圧Ｅｓと絶縁スリーブに流れる電流Ｉｓとの関係を示す図である。
（ｃ）絶縁スリーブを流れる電流Ｉｓと抵抗Ｒｓに流れる電流ＩｒとコンデンサＣｓに流れる電流Ｉｃとの関係を示す図である。
【図５】（ａ）本発明の他の実施形態に基づく抵抗値測定装置の略図である。
（ｂ）本発明の他の実施形態に基づく抵抗値測定装置の略図である。
【図６】本発明の追加の実施形態に基づく抵抗値測定装置の略図である。
【図７】一般的なプラズマ式灰溶融炉の縦断面図である。
【図８】一般的なプラズマ式灰溶融炉の壁部の部分拡大図である。
【図９】図９は従来技術におけるプラズマ式灰溶融炉の絶縁スリーブの抵抗を測定する様子を示す略図である。
【符号の説明】
２０、２１、２２、２３…抵抗値測定装置
３０…高周波電源部
３１…信号発生器
３２…増幅器
３３…絶縁変圧器
４０…回路部
５０…測定部
５１、５２…高電圧絶縁プローブ
５３…電流プローブ
５４…オシロスコープ
１００…プラズマ式灰溶融炉
１１０…炉本体
１２０…絶縁フランジ
１６０…上方絶縁スリーブ
１７０…下方絶縁スリーブ
１８０…炉頂電極
１９０…炉底電極
２１０…上方鉄皮
２２０…下方鉄皮[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a resistance value measuring apparatus for measuring the resistance of an insulating portion provided in a plasma ash melting furnace for melting incineration ash such as general garbage.
[0002]
[Prior art]
General waste, such as household waste, is usually incinerated in an incineration facility, such as a garbage incinerator. This produces incinerated ash, which is relatively bulky and may contain harmful substances such as dioxins. Therefore, at present, incineration ash is melted by using a plasma type ash melting furnace in order to reduce the volume and make it harmless. FIG. 7 is a longitudinal sectional view of a general plasma ash melting furnace as disclosed in, for example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 11-51361. Incinerated ash generated in an incineration facility, for example, a garbage incinerator, is then passed through a predetermined pretreatment system, and then charged into the furnace body 110 of the substantially cylindrical plasma ash melting furnace 100 shown in FIG. The wall portion of the furnace body 110 is formed of a refractory 300 and an iron skin 200 that covers the refractory 300. As will be described later, the iron skin 200 is composed of an upper iron skin 210 and a lower iron skin 220. Next, plasma 900 is generated in the furnace body 110 by the furnace top electrode 180 and the furnace bottom electrode 190 while supplying a gas for generating plasma into the furnace body 110. As a result, the incinerated ash becomes two layers of molten slag 910 and molten metal 920 at a high temperature. As shown in FIG. 7, an outlet 140 is provided on the side of the furnace body 110. A part of the molten slag 910 which is the upper layer is conveyed to a slag discharge system (not shown) through the tap outlet 140 and the tap tap 150 communicating therewith, and is used for various applications.
[0003]
FIG. 8 is a partially enlarged view of a wall portion of a general plasma ash melting furnace. As shown in FIGS. 7 and 8, a flange 120 is provided on the side of the iron skin 200. In order to facilitate understanding, the refractory 300 is omitted in FIG. The flange 120 includes horizontal iron members 121 and 122 arranged in a horizontal direction, and the horizontal iron members 121 and 122 are coupled to an upper iron skin 210 and a lower iron skin 220 located above and below the flange 120, respectively. is doing. As can be seen from FIG. 8, the insulating portion 125 is sandwiched between the iron horizontal members 121 and 122. Furthermore, the iron horizontal member 121, the insulating portion 125, and the iron horizontal member 122 are appropriately fixed by appropriate fixing tools such as screws 128 and nuts 129. In order to ensure insulation, the insulating portion 126 is between the screw 128 and the iron horizontal member 122, the insulating portion 127 is between the nut 129 and the iron horizontal member 121, and the insulating member 124 is the screw 128 and the iron horizontal member. 121 and the horizontal member 122 made of iron. Therefore, a flange including such an insulating member is hereinafter referred to as an insulating flange 120.
[0004]
Both the furnace top electrode 180 and the furnace bottom electrode 190 shown in FIG. 7 are graphite electrodes, and the outermost surface of the furnace body 110 is covered with the above-described iron skin 200. Accordingly, in order to prevent the furnace top electrode 180 from reaching the ground potential, the upper insulating sleeve 160 is provided between the furnace top electrode 180 and the upper iron skin 210, whereby the furnace top electrode 180 and the upper iron skin 210 are provided. Insulate from 210. Similarly, a lower insulating sleeve 170 is provided between the furnace bottom electrode 190 and the lower iron skin 220, thereby insulating between the furnace bottom electrode 190 and the lower iron skin 220. The upper insulating sleeve 160 shown in FIG. 7 and similarly the lower insulating sleeve 170 are made of alumina.
[0005]
When the plasma ash melting furnace 100 is operated for a long period of time, the insulating performance of the upper insulating sleeve 160, the lower insulating sleeve 170, and the insulating flange 120 may deteriorate over time. In such a case, a current for plasma generation flows to the upper iron core 210 or the lower iron shell 220, which is the ground, and this may cause a malfunction such as a power failure. Therefore, it is necessary to grasp the insulation resistance of the insulation sleeves 160 and 170 and the insulation flange 120 in order to predict the deterioration of the insulation sleeve in advance.
[0006]
FIG. 9 is a schematic view showing how the resistance values of the insulating sleeve and the insulating flange of the plasma ash melting furnace in the prior art are measured. As shown in FIG. 9, in the prior art, the probes 510 and 520 of the resistance meter 500 are connected to the furnace top electrode 180 and the upper iron coat 210, the furnace bottom electrode 190 and the lower iron coat 220, or the upper iron coat 210 and the lower iron coat 220. The insulation resistance of the insulation sleeve 160 and the like was measured by bringing it into direct contact.
[0007]
[Problems to be solved by the invention]
However, in the measurement operation of the prior art insulation sleeve using an ohmmeter, it is necessary to stop the ash melting furnace every time it is measured, which is inefficient and cannot be measured in real time. there were. In the prior art, since the operator carrying the resistance meter manually measured on the ash melting furnace, the measurement value may vary due to human error, and at high temperatures under high temperatures. Since the measurement work is performed, the operator may become dangerous. Therefore, it is preferable that the resistance can be measured in real time even when the plasma ash melting furnace 100 is in operation.
[0008]
SUMMARY OF THE INVENTION Therefore, an object of the present invention is to provide a resistance value measuring apparatus capable of measuring a resistance value safely and in real time during operation of an ash melting furnace without causing human error based on differences in operators. .
[0009]
[Means for Solving the Problems]
In order to achieve the above-described object, according to the first aspect of the present invention, the first and second electrodes, the first and second iron skins respectively positioned around the electrodes, and the first and second An insulating flange that insulates between the two iron skins, and a first that insulates between the first electrode and the first iron skin and between the second electrode and the second iron skin, respectively. In a resistance value measuring apparatus for measuring the resistance value of one of the first and second insulating sleeves of a plasma ash melting furnace including a second insulating sleeve, an inductance, a capacitor, and the A high-frequency power source connected in series to an electrode corresponding to the one insulating sleeve and an iron skin via an inductance and the capacitor; a voltage applied between the electrode and the iron skin by the high-frequency power source; Resistance value from the phase difference to determine the resistance value of the insulating sleeve with respect to the current of the current and the voltage flowing between the electrode and the furnace shell measuring device is provided.
[0010]
That is, according to the first aspect of the present invention, it is possible to prevent the DC voltage of the plasma generating power source from being applied to the high frequency power source by the capacitor and to correct the current phase shift based on the capacitor by the inductance. The resistance value of one of the insulating sleeves, which can deteriorate over time, can be measured safely and in real time during operation of the ash melting furnace without any human error based on it. Therefore, it is not necessary to stop the ash melting furnace when measuring the resistance value. Thereby, the life and replacement time of the insulating sleeve can be predicted from the change over time of the resistance value of the insulating sleeve.
[0011]
According to the second aspect of the present invention, a resistor is further provided, and the high-frequency power source is connected via the inductance, the capacitor, and the resistor. That is, according to the second aspect of the present invention, when the resistance value of the insulating sleeve is extremely reduced, for example, when a short circuit occurs, the output current from the high frequency power source can be limited.
[0012]
According to the invention described in claim 3, the first and second electrodes, the first and second iron skins respectively positioned around these electrodes, and the first and second iron skins are insulated. An insulating flange, and first and second insulating sleeves for insulating between the first electrode and the first iron skin and between the second electrode and the second iron skin, respectively. In a resistance value measuring apparatus for measuring a resistance value of the insulating flange of a plasma ash melting furnace including an inductance, a capacitor, and the first iron skin and the second iron skin via the inductance and the capacitor A high-frequency power source connected in series with the first high-frequency power source, a voltage applied between the first iron skin and the second iron skin by the high-frequency power source, and the first iron skin and the second iron skin. The current flowing between and the current of the voltage That the phase difference from the insulation flange of resistance resistance measuring apparatus so as to obtain a is provided.
[0013]
That is, the invention according to claim 3 prevents the DC voltage of the plasma generating power source from being applied to the high-frequency power source by the capacitor and corrects the current phase shift based on the capacitor by the inductance. The resistance value of the insulating flange, which can deteriorate over time, can be measured safely and in real time during operation of the ash melting furnace without any human error based on it. Therefore, it is not necessary to stop the ash melting furnace when measuring the resistance value. Thereby, the life and replacement time of the insulating flange can be predicted from the change over time of the resistance value of the insulating flange.
[0014]
According to the fourth aspect of the present invention, a resistor is further provided, and the high-frequency power source is connected via the inductance, the capacitor, and the resistor. That is, according to the fourth aspect of the present invention, when the resistance value of the insulating flange is extremely reduced, for example, when a short circuit occurs, the output current from the high frequency power source can be limited.
[0015]
According to the fifth aspect of the present invention, the first and second electrodes, the first and second iron skins respectively positioned around the electrodes, and the first and second iron skins are insulated. An insulating flange, and first and second insulating sleeves for insulating between the first electrode and the first iron skin and between the second electrode and the second iron skin, respectively. In the resistance value measuring apparatus for measuring the resistance value of the first and second insulating sleeves of the plasma type ash melting furnace including the first inductance, the first capacitor, the first inductance, and the first A first high-frequency power source connected in series to the first electrode and the first iron skin via a capacitor; a second inductance; a second capacitor; the second inductance; Through the second capacitor A second high-frequency power source connected to the second electrode and the second iron skin, and the first high-frequency power source is provided between the first electrode and the first iron skin by the first high-frequency power source. Of the first insulating sleeve from the first current flowing between the first electrode and the first iron skin and the first phase difference of the first voltage with respect to the first current. While obtaining the resistance value, the second high-frequency power source causes a second voltage applied between the second electrode and the second iron skin to flow between the second electrode and the second iron skin. There is provided a resistance value measuring apparatus that obtains a resistance value of the second insulating sleeve from a second current and a second phase difference of the second voltage with respect to the second current.
[0016]
That is, according to the fifth aspect of the present invention, the first and second capacitors prevent the DC voltage of the plasma generating power source from being applied to the high frequency power source, and the first and second inductances allow the first and second inductances to be applied. The current phase shift due to the capacitor of the capacitor can be corrected, so that the resistance value of the insulating sleeve that can deteriorate over time can be safely and in real time simultaneously with the operation of the ash melting furnace without human error due to the difference in operator. Can be measured. Therefore, it is not necessary to stop the ash melting furnace when measuring the resistance value. As a result, it is possible to predict the lifespan and replacement time of these insulating sleeves from changes over time in the resistance values of these insulating sleeves.
[0017]
According to the sixth aspect of the present invention, the electronic device further includes a first resistor and a second resistor, and the first high-frequency power source includes the first inductance, the first capacitor, and the first resistor. The second high-frequency power source is connected via the second inductance, the second capacitor, and the second resistor.
That is, according to the sixth aspect of the present invention, when the resistance value of the insulating sleeve is extremely lowered, for example, when a short circuit occurs, the output current from the high frequency power source can be limited.
[0018]
According to the seventh aspect of the present invention, the first and second electrodes, the first and second iron skins respectively positioned around the electrodes, and the first and second iron skins are insulated. An insulating flange, and first and second insulating sleeves for insulating between the first electrode and the first iron skin and between the second electrode and the second iron skin, respectively. In the resistance value measuring apparatus for measuring the resistance value of the insulating flange of the plasma type ash melting furnace including the first inductance, the first capacitor, the first inductance and the first capacitor through the A first high-frequency power source connected in series with the first electrode and the first iron skin, a second inductance, a second capacitor, the second inductance and the second capacitor; Via the second electrode and the A second high-frequency power source connected in series with the second iron skin, a third inductance, a third capacitor, and the first iron through the third inductance and the third capacitor. A third high-frequency power source connected in series with the skin and the second iron skin, and using each of the first, second and third high-frequency power sources at different times, A first voltage applied between the first electrode and the first iron skin by a high-frequency power source, a first current flowing between the first electrode and the first iron skin, and the first The resistance value of the first insulating sleeve obtained from the first phase difference of the voltage of the first current with respect to the first current, and between the second electrode and the second iron skin by the second high-frequency power source. The second voltage applied to the second electrode and the second electrode A resistance value of the second insulating sleeve determined from a second current flowing between the skin and a second phase difference of the second voltage with respect to the second current, and the third high-frequency power source The third voltage applied between the first iron skin and the second iron skin, the third current flowing between the first iron skin and the second iron skin, and the third voltage A resistance value measuring device is provided in which each resistance value of the resistance value of the insulating flange obtained from the third phase difference with respect to the third current is obtained at different times.
[0019]
That is, according to the seventh aspect of the present invention, the first, second and third capacitors prevent the DC voltage of the plasma generating power source from being applied to the high frequency power source and the first, second and third inductances. Since the current phase shift based on the first, second and third capacitors can be corrected, the resistance value of the insulating sleeve or the insulating flange which can deteriorate over time can be obtained without causing human error based on the difference in operator. It can be measured in real time during the operation of the ash melting furnace safely. Therefore, it is not necessary to stop the ash melting furnace when measuring the resistance value. Thereby, the lifetime and replacement time of these insulation sleeves or insulation flanges can be predicted from the change over time of the resistance values of these insulation sleeves or insulation flanges.
[0020]
According to an eighth aspect of the present invention, the apparatus further comprises a first resistor, a second resistor, and a third resistor, wherein the first high-frequency power source includes the first inductance and the first resistor. One capacitor and the first resistor are connected, and the second high-frequency power source is connected via the second inductance, the second capacitor, and the second resistor. The third high frequency power source is connected via the third inductance, the third capacitor, and the third resistor.
That is, according to the eighth aspect of the present invention, when the resistance value of the insulating sleeve or the insulating flange is extremely reduced, for example, when a short circuit occurs, the output current from the high frequency power source can be limited.
[0021]
According to the ninth aspect of the present invention, a high voltage insulation probe for connecting to the phase difference display device for displaying the phase difference is further provided.
That is, according to the ninth aspect of the invention, the high voltage portion of the resistance value measuring device of the present invention and a phase difference display device, for example, an oscilloscope, are electrically insulated so that the phase difference display device is affected by the high voltage. Can be disturbed.
[0022]
According to the invention described in claim 10, an insulating transformer is further provided between the amplifying unit and the power source unit of the high frequency power source.
That is, the invention according to claim 10 can insulate between the high voltage and the required power source.
[0023]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the accompanying drawings. In the following drawings, the same members are denoted by the same reference numerals. In order to facilitate understanding, the scales of these drawings are appropriately changed.
FIG. 1 is a schematic diagram of a resistance value measuring apparatus according to a first embodiment of the present invention. The resistance value measuring apparatus 20 in FIG. 1 is connected to the top electrode 180 and the upper iron core 210 of the plasma ash melting furnace 100 described above. Here, the furnace main body 110 of the plasma ash melting furnace 100 includes an upper iron skin 210 having a furnace top electrode 180 and a lower iron skin 220 having a furnace bottom electrode 190. Insulating flange 120 is arranged between 220 and 220. Further, in order to insulate the furnace main body 110 from the electrodes, an insulating sleeve 160 is provided between the upper iron skin 210 and the furnace top electrode 180, and the lower insulating sleeve 170 is provided between the lower iron skin 220 and the furnace bottom electrode 190. It is provided between. Furthermore, the insulating iron 120 of the plasma ash melting furnace 100 electrically insulates the upper iron core 210 provided with the furnace top electrode 180 and the lower iron alloy 220 provided with the furnace bottom electrode 190. Therefore, by connecting the resistance value measuring device 20, a closed circuit is formed between the resistance value measuring device 20, the furnace top electrode 180 and the upper iron core 210. Thereby, the resistance value of the insulating sleeve 160 located between the furnace top electrode 180 and the upper iron core 210 can be measured by the resistance value measuring device 20 of the present invention.
[0024]
As shown in FIG. 1, the resistance value measuring apparatus 20 includes a high-frequency power supply unit 30, a circuit unit 40, and a measurement unit 50. In the high frequency power supply unit 30 of the resistance value measuring apparatus 20, a high frequency voltage is generated by a signal generator 31 and an amplifier 32. Furthermore, since the high frequency power supply unit 30 and the circuit unit 40 of the resistance value measuring apparatus 20 operate under a high voltage, power is supplied to the high frequency power supply unit 30 and the circuit unit 40 via the insulating transformer 33. That is, by supplying power through the insulating transformer 33, the furnace top electrode 180, the high frequency power supply unit 30 and the circuit unit 40 can be insulated from the ground potential, so that the required power supply can be protected from high voltage.
[0025]
The circuit unit 40 of the resistance value measuring apparatus 20 includes an inductance L, a capacitor C, and a resistor R. As shown in FIG. 1, the inductance L, the capacitor C, and the resistor R are in series with the high frequency power supply unit 30. It is connected to the.
[0026]
The measuring unit 50 of the resistance value measuring apparatus 20 includes first and second high-voltage insulation probes 51 and 52, for example, an optical isolation amplifier and a current probe 53, which are connected to a grounded oscilloscope 54. . As can be seen from FIG. 1, the first high voltage insulation probe 51 is connected to detect the voltage E 0 amplified by the amplifier 32, and the high voltage insulation probe 52 is connected between the furnace top electrode 180 and the upper iron skin 210. It connects so that the voltage Es concerning the insulation sleeve 160 may be detected. The first and second high-voltage insulation probes 51 and 52 include an insulation circuit inside, and electrically insulate the oscilloscope 54 and the high-voltage portion that need to be grounded. This can prevent the oscilloscope 54 from being affected by the high voltage. The current probe 53 is connected to detect the current Is of the circuit unit 40. The voltages Es, E0 and current supplied by the first and second high voltage insulation probes 51, 52 are measured by an oscilloscope 54.
[0027]
FIG. 2 is a partially enlarged view of the plasma ash melting furnace. One end of the elevating frame 62 is provided on the mast 61 installed outside the plasma ash melting furnace 100. The elevating frame 62 can be moved up and down along the mast 61 by a hydraulic cylinder 63. At the other end of the elevating frame 62, a copper holder 65 that engages with the furnace top electrode 180 and a gripping portion 64 for gripping the copper top electrode 180 after engaging with the furnace top electrode 180 are provided.
[0028]
FIG. 3A is a top view of the lifting frame. As can be seen from FIG. 3A, a feeding terminal 66 is connected to a part of the holder 65. A water cooling cable 67 is further connected to the power feeding terminal 66, and the power feeding terminal 66 and the holder 65 are cooled by the water cooling cable 67. FIG. 3B is an enlarged view of the holder and the power supply terminal. In order to facilitate understanding, the lifting frame 62 is omitted in FIG. As shown in FIG. 3B, the cable 29 that is one end of the resistance value measuring apparatus 20 of the present invention is connected to the power supply terminal 66 through the connection member 68. Figure 3 In (b), the connection member 68 is connected to the power supply terminal 66 by, for example, a screwing action. Further, another cable (not shown) which is the other end of the resistance value measuring apparatus 20 of the present invention is a connection member similar to a connection plate (not shown) provided on the upper iron shell 210. (Not shown) Or the cable is connected Material Via the upper iron skin 210. Connection Also the material For example, a screwing action can be adopted.
[0029]
FIG. 4A is a diagram showing an equivalent circuit when the resistance value measuring apparatus of the present invention is connected to a plasma ash melting furnace. In FIG. 4A, the insulating sleeve 160 of the plasma ash melting furnace 100 is represented by a resistor Rs and a capacitor Cs, and the resistance value measuring device 20 of the present invention is connected to the insulating sleeve 160. As shown in FIG. 4A, the current Is flowing through the insulating sleeve 160 is divided into a current Ir flowing through the resistor Rs and a current Ic flowing through the capacitor Cs. Here, the capacitor C in the circuit unit 40 of the resistance value measuring device 20 serves to prevent the DC voltage of the plasma power source (not shown in FIG. 4A) from being applied to the high frequency power source. In addition, the inductance L of the circuit unit 40 resonates with the capacitor C in order to correct a current phase shift caused by the capacitor C. That is, when a voltage of E0 cos (ωt) is applied by the high frequency power supply unit 30, the relationship between the capacitor C and the inductance L is ωL−1 / ωC≈0. Furthermore, the resistor R of the circuit unit 40 serves to limit the output current of the high-frequency power source when the resistance value of the insulating sleeve 160 is significantly reduced, for example, when short-circuited.
[0030]
As described above, the resistance value measuring apparatus 20 of the present invention includes the measuring unit 50 (not shown in FIG. 4A). The measuring unit 50 can determine the voltage Es applied to the insulating sleeve 160, and similarly the measuring unit 50 can determine the current Is flowing through the insulating sleeve 160. These voltage Es and current Is are displayed on the oscilloscope 54 of the measurement unit 50. FIG. 4B is a diagram showing the relationship between the voltage Es applied to the insulating sleeve displayed on the oscilloscope 54 and the time t, and the relationship between the current Is flowing through the insulating sleeve and the time t. As shown in FIG. 4B, the phase difference φ between the voltage Es and the current Is can be obtained from the relationship between the voltage Es and the current Is. FIG. 4C is a diagram showing the relationship between the current Is flowing through the insulating sleeve 160, the current Ir flowing through the resistor Rs, and the current Ic flowing through the capacitor Cs. Therefore, from the phase difference φ obtained by FIG. 4B and FIG.
[0031]
[Expression 1]
Figure 0003902063
Can be used to calculate the resistance Rs of the insulating sleeve 160. Similarly, the capacitor Cs of the insulating sleeve 160 can be calculated from the relational expression described above.
[0032]
In this way, by using the resistance value measuring apparatus 20 of the present invention, the capacitor C prevents the DC voltage of the plasma generating power source from being applied to the high frequency power source, and the inductance L reduces the current phase based on the capacitor C. Since the deviation can be corrected, the resistance value Rs of the insulating sleeve 160 of the plasma ash melting furnace 100 can be measured safely and in real time. As a matter of course, since such a measuring operation can be performed even when the plasma ash melting furnace 100 is in operation, it is not necessary to stop the ash melting furnace in order to measure the resistance value. Further, in the case of the resistance value measuring apparatus 20 of the present invention, the measurement can be automatically performed and the measurement location can be fixed, so that human error based on the difference between the measurers can be eliminated. Furthermore, in the present invention, the life and replacement time of the insulating sleeve can be predicted from the change over time of the resistance value of the insulating sleeve.
[0033]
5 (a) and 5 (b) are schematic diagrams of a resistance value measuring apparatus according to another embodiment of the present invention. 5A and 5B, a part of the high frequency power supply unit 30 and the measurement unit 50 are omitted. The resistance value measuring device 21 in FIG. 5A is connected to the lower iron skin 220 and the furnace bottom electrode 190. Since the connection member used for connection is the same as that of the first embodiment described above, description thereof is omitted. Since the insulating flange 120 is present, a closed circuit can be formed, so that the resistance value of the lower insulating sleeve 170 positioned between the furnace bottom electrode 190 and the lower iron core 220 can be measured. Therefore, in the case of the present embodiment, the resistance value of the lower insulating sleeve 170 can be measured safely and in real time, and the same effect as the above-described embodiment can be obtained.
[0034]
The resistance value measuring device 22 in FIG. 5B is connected to the upper iron skin 210 and the lower iron skin 220. Since the connection member used for connection is the same as that of the first embodiment described above, description thereof is omitted. Since the insulation sleeve 160 and the insulation sleeve 170 are present, a closed circuit can be formed, so that the resistance of the insulation flange 120 positioned between the upper iron skin 210 and the lower iron skin 220 can be measured. Therefore, in the case of the present embodiment, the resistance value of the insulating flange 120 can be measured safely and in real time, and the same effect as the above-described embodiment can be obtained.
[0035]
As a matter of course, the resistance value measuring device 20 shown in FIG. 1 and the resistance value measuring device 21 shown in FIG. 4A can be combined. Since the insulating flange 120 exists between the upper iron skin 210 and the lower iron skin 220, both the resistance value measuring device 20 and the resistance value measuring device 21 can form a closed circuit. Therefore, in this case, the resistance value of the upper insulating sleeve 160 and the resistance value of the lower insulating sleeve 170 can be measured simultaneously, and the same effect as the above-described embodiment can be obtained.
[0036]
FIG. 6 is a schematic diagram of a resistance measuring device according to an additional embodiment of the present invention. The resistance value measuring device 23 in FIG. 6 includes three resistance value measuring units 23a, 23b, and 23c. As shown in FIG. 6, the resistance value measurement unit 23 a is connected between the furnace top electrode 180 and the upper iron core 210, and the resistance value measurement unit 23 b is provided between the upper iron skin 210 and the lower iron skin 220. The resistance value measuring unit 23 c is connected between the furnace bottom electrode 190 and the lower iron core 220. Since the connection member used for connection is the same as that of the first embodiment described above, description thereof is omitted. Each of the resistance value measurement units 23a, 23b, and 23c includes the same high frequency power supply unit, circuit unit, and measurement unit as those in the above-described embodiment, but some of them are not shown. In the present embodiment, the resistance value of the insulating sleeve 160 is measured by the resistance value measuring unit 23a, the resistance value of the insulating flange 120 is measured by the resistance value measuring unit 23b, and the resistance value of the insulating sleeve 170 is measured by the resistance value measuring unit 23c. Can be measured. When the resistance value measuring apparatus 23 of the present embodiment is used, the resistance value measuring units 23a, 23b, and 23c are activated at different times to measure the resistance values of the insulating sleeve 160, the insulating flange 120, and the insulating sleeve 170 in order. Thereby, it can prevent that resistance value measurement part 23a, 23b, 23c mutually short-circuits. Alternatively, one of the resistance value measuring units 23a, 23b, and 23c may be excluded, and the resistance value of the insulating sleeve or the insulating flange corresponding to the remaining resistance value measuring units may be measured in order. . In such a case, the same effect as that of the above-described embodiment can be obtained.
[0037]
As a matter of course, a resistance value measuring apparatus or a resistance value measuring unit including a circuit unit including a capacitor C and an inductance L while excluding a resistor is included in the scope of the present invention. Furthermore, as a matter of course, one resistance value measuring device may be able to measure the resistance values of the insulating sleeve 160, the insulating flange 120, and the insulating sleeve 170 in order by using appropriate switching means. In this case, for example, the resistance value measuring device is connected to the furnace top electrode 180 and the upper iron core 210 and the resistance value of the upper insulating sleeve 160 is measured, and then the resistance value measuring device is changed by the switching means. And the lower iron skin 220 are connected. Next, after measuring the resistance value of the insulating flange 120, the resistance value of the insulating sleeve 170 can be measured by connecting a resistance value measuring device to the lower iron shell 220 and the furnace bottom electrode 190. In such a case, in addition to the effect similar to the effect mentioned above, the resistance value of the insulation part of several places can be measured with a single resistance value measuring apparatus.
[0038]
【The invention's effect】
According to the invention described in each claim, the resistance value of the insulating sleeve or the insulating flange which can be deteriorated with time can be measured safely and in real time during the operation of the ash melting furnace without human error based on the difference of the operator. The common effect of being able to do this can be achieved.
[0039]
Furthermore, according to the invention described in claims 2, 4, 6 and 8, when the resistance value of the insulating sleeve or the insulating flange is extremely lowered, for example, when short-circuited, the output current from the high frequency power source is limited. It is possible to produce an effect that
Further, according to the ninth aspect of the present invention, the high voltage portion of the resistance value measuring device of the present invention and the phase difference display device are electrically insulated, and the phase difference display device is affected by the high voltage. The effect that can be prevented can be produced.
Furthermore, according to the tenth aspect of the present invention, there is an effect that it is possible to insulate between the high voltage and the required power source.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a schematic diagram of a resistance value measuring apparatus according to a first embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a partially enlarged view of a plasma ash melting furnace.
FIG. 3 (a) is a top view of the lifting frame.
(B) It is an enlarged view of a holder and an electric power feeding terminal.
FIG. 4A is a diagram showing an equivalent circuit when the resistance value measuring apparatus of the present invention is connected to a plasma ash melting furnace.
(B) It is a figure which shows the relationship between the voltage Es concerning an insulation sleeve, and the electric current Is which flows into an insulation sleeve.
(C) It is a figure which shows the relationship between the electric current Is which flows through an insulation sleeve, the electric current Ir which flows through resistance Rs, and the electric current Ic which flows into the capacitor | condenser Cs.
FIG. 5 (a) is a schematic diagram of a resistance value measuring apparatus according to another embodiment of the present invention.
(B) It is the schematic of the resistance value measuring apparatus based on other embodiment of this invention.
FIG. 6 is a schematic diagram of a resistance measurement device according to an additional embodiment of the present invention.
FIG. 7 is a longitudinal sectional view of a general plasma ash melting furnace.
FIG. 8 is a partially enlarged view of a wall portion of a general plasma ash melting furnace.
FIG. 9 is a schematic view showing how the resistance of an insulating sleeve of a plasma ash melting furnace in the prior art is measured.
[Explanation of symbols]
20, 21, 22, 23 ... resistance value measuring apparatus
30 ... High frequency power supply
31 ... Signal generator
32 ... Amplifier
33 ... Insulation transformer
40. Circuit part
50 ... Measurement unit
51, 52 ... High voltage insulation probe
53 ... Current probe
54 ... Oscilloscope
100: Plasma ash melting furnace
110 ... furnace body
120 ... Insulating flange
160 ... Upper insulating sleeve
170 ... lower insulation sleeve
180: furnace top electrode
190 ... Furnace bottom electrode
210 ... Upper iron skin
220 ... lower iron skin

Claims (10)

第一および第二の電極と、これら電極周りにそれぞれ位置する第一および第二の鉄皮と、これら第一および第二の鉄皮の間を絶縁する絶縁フランジと、前記第一の電極と前記第一の鉄皮との間および前記第二の電極と前記第二の鉄皮との間をそれぞれ絶縁する第一および第二の絶縁スリーブとを含むプラズマ式灰溶融炉の前記第一および第二の絶縁スリーブのうちの一方の絶縁スリーブの抵抗値を測定する抵抗値測定装置において、
インダクタンスと、
コンデンサと、
前記インダクタンスと前記コンデンサとを介して前記一方の絶縁スリーブに対応する電極と鉄皮とに直列に接続される高周波電源を具備し、
該高周波電源により前記電極および前記鉄皮の間にかかる電圧と前記電極および前記鉄皮の間に流れる電流と前記電圧の前記電流に対する位相差とから前記絶縁スリーブの抵抗値を求めるようにした抵抗値測定装置。A first and a second electrode; a first and a second iron skin positioned around each of these electrodes; an insulating flange that insulates between the first and the second iron skin; and the first electrode, The first and second plasma ash melting furnaces including first and second insulating sleeves for insulating between the first iron skin and between the second electrode and the second iron skin, respectively. In the resistance value measuring apparatus for measuring the resistance value of one of the second insulating sleeves,
Inductance,
A capacitor,
A high-frequency power source connected in series with an electrode corresponding to the one insulating sleeve and the iron skin via the inductance and the capacitor;
A resistance obtained by obtaining a resistance value of the insulating sleeve from a voltage applied between the electrode and the iron skin by the high-frequency power source, a current flowing between the electrode and the iron skin, and a phase difference of the voltage with respect to the current. Value measuring device. さらに、抵抗器を具備し、前記高周波電源が前記インダクタンスと前記コンデンサと前記抵抗器とを介して接続されている請求項１に記載の抵抗値測定装置。The resistance value measuring apparatus according to claim 1, further comprising a resistor, wherein the high-frequency power source is connected via the inductance, the capacitor, and the resistor. 第一および第二の電極と、これら電極周りにそれぞれ位置する第一および第二の鉄皮と、これら第一および第二の鉄皮の間を絶縁する絶縁フランジと、前記第一の電極と前記第一の鉄皮との間および前記第二の電極と前記第二の鉄皮との間をそれぞれ絶縁する第一および第二の絶縁スリーブとを含むプラズマ式灰溶融炉の前記絶縁フランジの抵抗値を測定する抵抗値測定装置において、
インダクタンスと、
コンデンサと、
前記インダクタンスと前記コンデンサとを介して前記第一の鉄皮と前記第二の鉄皮とに直列に接続される高周波電源を具備し、
該高周波電源により前記第一の鉄皮および前記第二の鉄皮の間にかかる電圧と前記第一の鉄皮および前記第二の鉄皮の間に流れる電流と前記電圧の前記電流に対する位相差とから前記絶縁フランジの抵抗値を求めるようにした抵抗値測定装置。A first and a second electrode; a first and a second iron skin positioned around each of these electrodes; an insulating flange that insulates between the first and the second iron skin; and the first electrode, The insulating flange of the plasma ash melting furnace includes first and second insulating sleeves for insulating between the first iron skin and between the second electrode and the second iron skin, respectively. In a resistance value measuring apparatus for measuring resistance value,
Inductance,
A capacitor,
Comprising a high-frequency power source connected in series to the first iron skin and the second iron skin via the inductance and the capacitor;
The voltage applied between the first iron skin and the second iron skin by the high-frequency power source, the current flowing between the first iron skin and the second iron skin, and the phase difference of the voltage with respect to the current The resistance value measuring apparatus which calculates | requires the resistance value of the said insulation flange from these. さらに、抵抗器を具備し、前記高周波電源が前記インダクタンスと前記コンデンサと前記抵抗器とを介して接続されている請求項３に記載の抵抗値測定装置。The resistance value measuring apparatus according to claim 3, further comprising a resistor, wherein the high-frequency power source is connected via the inductance, the capacitor, and the resistor. 第一および第二の電極と、これら電極周りにそれぞれ位置する第一および第二の鉄皮と、これら第一および第二の鉄皮の間を絶縁する絶縁フランジと、前記第一の電極と前記第一の鉄皮との間および前記第二の電極と前記第二の鉄皮との間をそれぞれ絶縁する第一および第二の絶縁スリーブとを含むプラズマ式灰溶融炉の前記第一および第二の絶縁スリーブの抵抗値を測定する抵抗値測定装置において、
第一のインダクタンスと、
第一のコンデンサと、
前記第一のインダクタンスと前記第一のコンデンサとを介して前記第一の電極と前記第一の鉄皮とに直列に接続される第一の高周波電源と、
第二のインダクタンスと、
第二のコンデンサと、
前記第二のインダクタンスと前記第二のコンデンサとを介して前記第二の電極と前記第二の鉄皮とに接続される第二の高周波電源とを具備し、
前記第一の高周波電源により前記第一の電極および前記第一の鉄皮の間にかかる第一の電圧と前記第一の電極および前記第一の鉄皮の間に流れる第一の電流と前記第一の電圧の前記第一の電流に対する第一の位相差とから前記第一の絶縁スリーブの抵抗値を求めつつ、
前記第二の高周波電源により前記第二の電極および前記第二の鉄皮の間にかかる第二の電圧と前記第二の電極および前記第二の鉄皮の間に流れる第二の電流と前記第二の電圧の前記第二の電流に対する第二の位相差とから前記第二の絶縁スリーブの抵抗値を求めるようにした抵抗値測定装置。A first and a second electrode; a first and a second iron skin positioned around each of these electrodes; an insulating flange that insulates between the first and the second iron skin; and the first electrode, The first and second plasma ash melting furnaces including first and second insulating sleeves for insulating between the first iron skin and between the second electrode and the second iron skin, respectively. In the resistance value measuring apparatus for measuring the resistance value of the second insulating sleeve,
The first inductance,
A first capacitor;
A first high-frequency power source connected in series to the first electrode and the first iron skin via the first inductance and the first capacitor;
A second inductance,
A second capacitor,
A second high-frequency power source connected to the second electrode and the second iron skin via the second inductance and the second capacitor;
A first voltage applied between the first electrode and the first iron skin by the first high-frequency power source; a first current flowing between the first electrode and the first iron skin; While determining the resistance value of the first insulating sleeve from the first phase difference of the first voltage with respect to the first current,
A second voltage applied between the second electrode and the second iron skin by the second high-frequency power source; a second current flowing between the second electrode and the second iron skin; A resistance value measuring apparatus for obtaining a resistance value of the second insulating sleeve from a second phase difference of the second voltage with respect to the second current. さらに、第一の抵抗器と第二の抵抗器とを具備し、前記第一の高周波電源が前記第一のインダクタンスと前記第一のコンデンサと前記第一の抵抗器とを介して接続されており、前記第二の高周波電源が前記第二のインダクタンスと前記第二のコンデンサと前記第二の抵抗器とを介して接続されている請求項５に記載の抵抗値測定装置。And a first resistor and a second resistor, wherein the first high-frequency power source is connected via the first inductance, the first capacitor, and the first resistor. The resistance value measuring apparatus according to claim 5, wherein the second high-frequency power source is connected via the second inductance, the second capacitor, and the second resistor. 第一および第二の電極と、これら電極周りにそれぞれ位置する第一および第二の鉄皮と、これら第一および第二の鉄皮の間を絶縁する絶縁フランジと、前記第一の電極と前記第一の鉄皮との間および前記第二の電極と前記第二の鉄皮との間をそれぞれ絶縁する第一および第二の絶縁スリーブとを含むプラズマ式灰溶融炉の前記絶縁フランジの抵抗値を測定する抵抗値測定装置において、
第一のインダクタンスと、
第一のコンデンサと、
前記第一のインダクタンスと前記第一のコンデンサとを介して前記第一の電極と前記第一の鉄皮とに直列に接続される第一の高周波電源と、
第二のインダクタンスと、
第二のコンデンサと、
前記第二のインダクタンスと前記第二のコンデンサとを介して前記第二の電極と前記第二の鉄皮とに直列に接続される第二の高周波電源と、
第三のインダクタンスと、
第三のコンデンサと、
前記第三のインダクタンスと前記第三のコンデンサとを介して前記第一の鉄皮と前記第二の鉄皮とに直列に接続される第三の高周波電源とを具備し、
前記第一、第二および第三の高周波電源のそれぞれを異なる時刻に使用することによって、前記第一の高周波電源により前記第一の電極および前記第一の鉄皮の間にかかる第一の電圧と前記第一の電極および前記第一の鉄皮の間に流れる第一の電流と前記第一の電圧の前記第一の電流に対する第一の位相差とから求められる前記第一の絶縁スリーブの抵抗値と、前記第二の高周波電源により前記第二の電極および前記第二の鉄皮の間にかかる第二の電圧と前記第二の電極および前記第二の鉄皮の間に流れる第二の電流と前記第二の電圧の前記第二の電流に対する第二の位相差とから求められる前記第二の絶縁スリーブの抵抗値と、前記第三の高周波電源により前記第一の鉄皮および前記第二の鉄皮の間にかかる第三の電圧と前記第一の鉄皮および前記第二の鉄皮の間に流れる第三の電流と前記第三の電圧の前記第三の電流に対する第三の位相差とから求められる前記絶縁フランジの抵抗値とのうちの各抵抗値を異なる時刻に求めるようにした抵抗値測定装置。A first and a second electrode; a first and a second iron skin positioned around each of these electrodes; an insulating flange that insulates between the first and the second iron skin; and the first electrode, The insulating flange of the plasma ash melting furnace includes first and second insulating sleeves for insulating between the first iron skin and between the second electrode and the second iron skin, respectively. In a resistance value measuring apparatus for measuring resistance value,
The first inductance,
A first capacitor;
A first high-frequency power source connected in series to the first electrode and the first iron skin via the first inductance and the first capacitor;
A second inductance,
A second capacitor,
A second high-frequency power source connected in series to the second electrode and the second iron skin via the second inductance and the second capacitor;
A third inductance,
A third capacitor;
A third high-frequency power source connected in series to the first iron skin and the second iron skin via the third inductance and the third capacitor;
By using each of the first, second and third high frequency power supplies at different times, a first voltage applied between the first electrode and the first iron skin by the first high frequency power supply. And the first current flowing between the first electrode and the first iron skin, and the first phase difference of the first voltage with respect to the first current. A resistance value, a second voltage applied between the second electrode and the second iron skin by the second high-frequency power source, and a second voltage flowing between the second electrode and the second iron skin. And a resistance value of the second insulating sleeve determined from a second phase difference of the second voltage with respect to the second current, and the first high frequency power A third voltage applied between the second iron skin and the first iron skin And a resistance value of the insulating flange obtained from a third current flowing between the second iron skin and a third phase difference of the third voltage with respect to the third current. Is a resistance measurement device that calculates the values at different times. さらに、第一の抵抗器と第二の抵抗器と第三の抵抗器とを具備し、前記第一の高周波電源が前記第一のインダクタンスと前記第一のコンデンサと前記第一の抵抗器とを介して接続されており、前記第二の高周波電源が前記第二のインダクタンスと前記第二のコンデンサと前記第二の抵抗器とを介して接続されており、前記第三の高周波電源が前記第三のインダクタンスと前記第三のコンデンサと前記第三の抵抗器とを介して接続されている請求項７に記載の抵抗値測定装置。And a first resistor, a second resistor, and a third resistor, wherein the first high-frequency power source includes the first inductance, the first capacitor, and the first resistor. And the second high-frequency power source is connected via the second inductance, the second capacitor, and the second resistor, and the third high-frequency power source is connected to the second high-frequency power source. The resistance value measuring apparatus according to claim 7, which is connected via a third inductance, the third capacitor, and the third resistor. さらに、前記位相差を表示する位相差表示装置に接続するための高電圧絶縁プローブを具備する請求項１から８のいずれか一項に記載の抵抗値測定装置。Furthermore, the resistance value measuring apparatus as described in any one of Claim 1 to 8 provided with the high voltage insulation probe for connecting with the phase difference display apparatus which displays the said phase difference. さらに、前記高周波電源の増幅部と電源部との間に絶縁トランスを具備する請求項１から９のいずれか一項に記載の抵抗値測定装置。Furthermore, the resistance value measuring apparatus as described in any one of Claim 1 to 9 which comprises an insulation transformer between the amplification part of the said high frequency power supply, and a power supply part.
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