JP3879177B2 - 光ファイバグレーティングの製造方法 - Google Patents

光ファイバグレーティングの製造方法 Download PDF

Info

Publication number
JP3879177B2
JP3879177B2 JP11970897A JP11970897A JP3879177B2 JP 3879177 B2 JP3879177 B2 JP 3879177B2 JP 11970897 A JP11970897 A JP 11970897A JP 11970897 A JP11970897 A JP 11970897A JP 3879177 B2 JP3879177 B2 JP 3879177B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
optical fiber
refractive index
index difference
fiber grating
temperature
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP11970897A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH10310442A (ja
Inventor
真二 石川
徹 岩島
道子 春本
享 井上
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sumitomo Electric Industries Ltd
Original Assignee
Sumitomo Electric Industries Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sumitomo Electric Industries Ltd filed Critical Sumitomo Electric Industries Ltd
Priority to JP11970897A priority Critical patent/JP3879177B2/ja
Publication of JPH10310442A publication Critical patent/JPH10310442A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3879177B2 publication Critical patent/JP3879177B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Manufacture, Treatment Of Glass Fibers (AREA)
  • Light Guides In General And Applications Therefor (AREA)
  • Diffracting Gratings Or Hologram Optical Elements (AREA)
  • Optical Fibers, Optical Fiber Cores, And Optical Fiber Bundles (AREA)
  • Re-Forming, After-Treatment, Cutting And Transporting Of Glass Products (AREA)

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、光ファイバ網内のフィルタ、合分波器および分散補償器等に用いられる光ファイバグレーティングの製造方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
光ファイバグレーティングは、光ファイバの少なくともコア領域に、その光軸方向に周期的な屈折率変化を与えたものであって、波長に応じて伝搬光を透過または反射させるものであり、フィルタ、合分波器および分散補償器等の種々の応用がなされている。この光ファイバグレーティングは、図11に示すように、石英系光ファイバの少なくともコア領域に予めGe(ゲルマニウム)元素を添加しておき、これに所定の波長の光を照射させて干渉縞を形成し、その干渉縞による光エネルギ強度分布に応じた屈折率変化を起こさせることにより形成するのが一般的である。ここで、所定の波長の光を照射することにより光ファイバ中のGe欠陥が発生して、このGe欠陥により屈折率変化が生じるものと考えられている。
【0003】
また、このGe欠陥は経時変化を起こし、光ファイバグレーティングの特性は経時劣化することが知られている。そこで、製造直後に初期劣化を起こさせることにより、市場における作動時には経時劣化を十分に少なくさせる技術が、特開平6−118257号公報や特開平7−187695号公報に開示されている。
【0004】
これらに開示された技術によれば、規格化屈折率差ηが
【数3】
Figure 0003879177
なる関係式で表されると仮定している。ここで、tは時間変数であり、Aおよびαそれぞれは温度の関数である。規格化屈折率差ηは、グレーティング形成直後の屈折率差で規格化した時間t経過後の屈折率差、すなわち、(時間t経過後の屈折率差)/(グレーティング形成直後の屈折率差)を表す。また、屈折率差は、光ファイバグレーティングにおける屈折率の最大値および最小値の差を表す。
【0005】
そして、温度が高いほど規格化屈折率差ηが大きく変化することを利用して、作動温度に比較して高温の環境下において初期劣化を起こさせることにより、作動時における経時劣化を抑えようとするものである。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記従来技術では、 (3)式で表される規格化屈折率差ηの経時変化の式において、Aおよびαの2つのパラメータが温度に依存している。したがって、初期劣化に要する温度と時間を決定するのが困難であり、実際、上記文献ではこれら初期劣化条件についての開示が十分にはなされていない。
【0007】
本発明は、上記問題点を解消する為になされたものであり、初期劣化の条件をより簡易かつ具体的に求めて、作動時における経時劣化を低減することができる光ファイバグレーティングの製造方法を提供することを目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】
本発明に係る光ファイバグレーティングの製造方法は、石英系光ファイバの少なくともコア領域にGe元素を添加し、所定の強度分布の照射光を石英系光ファイバに照射してその強度分布に応じた屈折率変化を有する光ファイバグレーティングを形成し、作動温度(絶対温度)T2 および作動時間t3 の条件下において許容される光ファイバグレーティングの規格化屈折率差Ηに対して、 (1)式を満たす値η1 に規格化屈折率差ηが到達するまで光ファイバグレーティングを加熱処理することを特徴とする。
【0009】
ここで、作動温度T2 は、光ファイバグレーティングの使用環境下における温度であり、作動時間t3 は、光ファイバグレーティングが使用される時間である。規格化屈折率差とは、所定の基準時刻における屈折率差で規格化した或時間経過後の屈折率差をいい、屈折率差とは、光ファイバグレーティングにおける屈折率の最大値および最小値の差をいう。規格化屈折率差Ηは、作動温度T2 において作動時間t3 経過した後の屈折率差を作動前の屈折率差で規格化したものであり、規格化屈折率差η1 は、加熱処理後の屈折率差を加熱処理前の屈折率差で規格化したものである。また、定数A1 ,B1 ,A2 およびB2 それぞれは、温度に依存しない一定数である。
【0010】
この光ファイバグレーティングの製造方法によれば、石英系光ファイバに形成された光ファイバグレーティングは、作動温度T2 および作動時間t3 の条件下において許容される規格化屈折率差Ηに対して (1)式を満たす値η1 に規格化屈折率差ηが到達するまで加熱処理されて初期劣化を受ける。このように加熱処理された光ファイバグレーティングの作動温度T2 および作動時間t3 の条件下における劣化は、規格化屈折率差が値Ηまでに留まり、これにより、所望の信頼性が得られることになる。
【0011】
また、値η1 に基づいて (2)式を満たすよう求められた初期劣化温度(絶対温度)T1 および初期劣化時間t1 の条件下に光ファイバグレーティングを加熱処理することを特徴とする。この場合には、求められた初期劣化温度T1 および初期劣化時間t1 の条件下に光ファイバグレーティングを加熱処理することにより、所望の信頼性が得られることになる。
【0012】
また、初期劣化温度T1 は作動温度T2 よりも40℃以上高いことを特徴とする。この場合には、初期劣化時間t1 が48時間以下で済み好適である。
【0013】
【発明の実施の形態】
以下、添付図面を参照して本発明の実施の形態を詳細に説明する。尚、図面の説明において同一の要素には同一の符号を付し、重複する説明を省略する。
【0014】
本発明に係る光ファイバグレーティングの製造方法は、石英系光ファイバの少なくともコア領域に予めGe元素を添加しておき、所定の波長(例えば波長260nm未満)の光を照射して干渉縞を形成し、その干渉縞による光エネルギ強度分布に応じた屈折率変化を起こさせることで光ファイバグレーティングを形成した後に、規格化屈折率差ηに関して初期劣化を起こさせるものである。
【0015】
まず、本発明に係る光ファイバグレーティングの製造方法における規格化屈折率差ηの経時変化を表す式について説明する。ここでは、n次の化学反応を考慮した速度論に基づいて解析を行い、その解析に基づいて規格化屈折率差ηの経時変化を表す式を導く。
【0016】
一般に、n次の化学反応における反応速度Ra は、
【数4】
Figure 0003879177
で表される。ここで、Kは反応速度定数であり、nは反応次数であり、Cは反応物濃度であり、tは時間変数である。反応物濃度Cは、光ファイバ中のGe欠陥の濃度に相当する。この (4)式より、
【数5】
Figure 0003879177
が得られ、これを積分すると、
【数6】
Figure 0003879177
が得られる。ここで、C0 は、反応物濃度Cの初期値、すなわち、時刻t=0における反応物濃度Cの値である。
【0017】
また、反応物濃度Cを初期値C0 で規格化し、規格化反応物濃度Ci を、
【数7】
Figure 0003879177
で表すと、 (6)式は、
【数8】
Figure 0003879177
と表される。
【0018】
以下では、以上のn次の化学反応の速度論的解析に基づいて、光ファイバグレーティングの規格化屈折率差ηの経時変化を、
【数9】
Figure 0003879177
で表すものとする。このとき、反応速度Ra は、規格化屈折率差ηの時間微分に相当し、また、上記 (4)式は、
【数10】
Figure 0003879177
と表すこともできる。以下に述べるように、この (9)式および(10)式により十分に正確に規格化屈折率差ηの経時劣化を表すことができる。
【0019】
図1は、各温度(120℃,170℃,220℃,280℃)における光ファイバグレーティングの規格化屈折率差ηの経時変化の実測値を示すとともに、その実測値を(10)式でフィッティングした線を示すグラフである。ここで用いた光ファイバグレーティングは、石英系光ファイバにGe元素を添加して紫外光照射により作製したものである。この図において、横軸は、規格化屈折率差ηの対数値であり、縦軸は、反応速度Ra すなわち規格化屈折率差ηの劣化速度(時間微分)の対数値である。また、図中の各点は、実測値を示し、実線は、その実測値を(10)式でフィッティングした線である。これらの図に示すように、実測値とフィッティング線とは良く一致している。以上のように、規格化屈折率差ηの時間依存は、 (9)式および(10)式により良く表されることが判る。
【0020】
図2は、図1に示したフィッティング線における反応速度定数Kおよび反応次数nそれぞれを各温度につき示した図表である。この図表の各列それぞれは、順に、摂氏温度、絶対温度、絶対温度の逆数、反応速度定数Kの対数値、反応次数nおよび反応速度定数Kが記されている。この図表から判るように、反応速度定数Kおよび反応次数nそれぞれは、温度に依存しており、温度が低いほど、反応速度定数Kは小さくなる傾向が見られ、また、反応次数nは大きくなる傾向が見られる。
【0021】
図3は、反応速度定数Kの温度依存を示すグラフであり、図4は、反応次数nの温度依存を示すグラフである。これらの図それぞれにおいて、縦軸は、反応速度定数Kおよび反応次数nそれぞれを指数表記したものであり、横軸は、絶対温度Tの逆数(1/T)である。これらの図から判るように、反応速度定数Kおよび反応次数nの何れも、絶対温度Tに対してアレニウス則によく従っていることが判る。
【0022】
すなわち、反応速度定数Kは、
【数11】
Figure 0003879177
なる式で表され、また、反応次数nは、
【数12】
Figure 0003879177
なる式で表される。以下では、(11)式を
【数13】
Figure 0003879177
で表し、また、(12)式を
【数14】
Figure 0003879177
で表す。ここで、A1(=8.39×106),B1(=−8.14×103),A2(=4.2573) およびB2(=951.59) それぞれは、温度に依存しない定数である。したがって、規格化屈折率差ηは、これら(13)式および(14)式を用いて (9)式で表されることになる。
【0023】
以上の結果に基づいて、規格化屈折率差ηの経時劣化を各温度について予想したものが図5および図6である。図5は、初期劣化を行わない場合の規格化屈折率差ηの予測経時劣化を示すグラフであり、図6は、温度80℃で48時間に亘り初期劣化を行った場合のその後の規格化屈折率差ηの予測経時劣化を示すグラフである。それぞれ、温度20℃,40℃,60℃および80℃それぞれの場合について記している。
【0024】
ここで、図6に示すグラフは、以下のようにして求めた。図7は、初期劣化を行う場合の規格化屈折率差ηの経時劣化の算出方法の説明図である。この図において、初期劣化を行う際の温度をT1 とし、光ファイバグレーティングの使用時の作動温度をT2 とし、上記 (9)式、(13)式および(14)式に基づいて温度T1 およびT2 それぞれにおける光ファイバグレーティングの規格化屈折率差ηの経時変化を示している。
【0025】
先ず、初期劣化(温度T1 =80℃,時間t1 =48時間)の後の規格化屈折率差η1 を、
【数15】
Figure 0003879177
で求め、η1=0.92 を得る。続いて、光ファイバグレーティングの使用環境下における作動温度T2 において規格化屈折率差がη1 となるのに要する時間t2 を、
【数16】
Figure 0003879177
なる式から求める。そして、この規格化屈折率差η1 を新たな規格化の基準として、作動温度T2 において更に時間t3 経過後における規格化屈折率差Ηを、
【数17】
Figure 0003879177
で求める。図6は、各作動温度T2 (=20℃,40℃,60℃,80℃それぞれ)において、この(17)式で表される時間t3 と規格化屈折率差Ηとの関係を示すものである。
【0026】
初期劣化を行わない場合の規格化屈折率差ηは、図5に示すように、作動温度20℃であっても僅か1年経過すれば、4%以上の劣化が起こると予想され、作動温度が更に高ければ経時劣化は更に大きい。一方、初期劣化を行った後の規格化屈折率差ηは、図6に示すように、作動温度20℃で25年経過しても僅か0.8%程度の劣化に留まることが予想され、十分な信頼性が保証されることが判る。しかし、初期劣化(80℃,48時間)を行ったとしても、作動温度40℃で25年経過しても約4%劣化することが予想され、作動温度60℃で25年経過すれば8%以上劣化することが予想され、また、作動温度80℃で25年経過すれば12%以上劣化することが予想される。このように、実際に光ファイバグレーティングが作動する温度および時間を考慮することなく一律に初期劣化条件を定めるのは妥当ではない。
【0027】
そこで、本発明に係る光ファイバグレーティングの製造方法では、上記 (9)式に基づいて、実際に光ファイバグレーティングが用いられる作動温度と作動時間とを考慮した上で、初期劣化条件(初期劣化後の規格化屈折率差η1 、初期劣化温度T1 、初期劣化時間t1 )を適切に調整する。以下、図7を参照しながら、初期劣化条件の求め方を説明する。
【0028】
先ず、光ファイバグレーティングの用途や使用環境などを考慮して、作動温度T2 および作動時間t3 を定め、また、作動時間t3 経過後において許容される規格化屈折率差Ηを定める。そして、これらの条件の下に、初期劣化後の規格化屈折率差η1 を、
【数18】
Figure 0003879177
なる2つの関係式が共に満たされるよう求める。
【0029】
この(18)式の解は、予め計算により求めておけばよい。図8は、作動時間t3 =25年とした場合における初期劣化後の規格化屈折率差η1 と作動時間t3 経過後の規格化屈折率差Ηとの関係を各作動温度T2 (20℃,40℃,60℃,80℃)毎に示したグラフである。また、図9は、作動時間t3 が25年で規格化屈折率差の変化量(1−Η)が1%以下を達成するために要求される初期劣化後の規格化屈折率差η1 を各作動温度T2 に対して示したグラフである。
【0030】
これらの図から判るように、例えば、一般に要求される信頼性基準(作動時間t3 が25年で規格化屈折率差の変化量(1−Η)が1%以下)を達成するためには、作動温度20℃の場合には初期劣化後の規格化屈折率差η1 が約92.5%以下になるように、作動温度40℃の場合には初期劣化後の規格化屈折率差η1 が約89.0%以下になるように、作動温度60℃の場合には初期劣化後の規格化屈折率差η1 が約85.0%以下になるように、また、作動温度80℃の場合には初期劣化後の規格化屈折率差η1 が約80.8%以下になるように、それぞれ初期劣化を行う必要がある。
【0031】
以上のようにして、初期劣化後の規格化屈折率差η1 は、光ファイバグレーティングの使用環境下における作動温度T2 、作動時間t3 および許容される規格化屈折率差Ηに基づいて決定される。そして、このようにして求められた規格化屈折率差η1 に到達するまで、規格化屈折率差ηをモニタしながら光ファイバグレーティングの初期劣化すなわち加熱処理を行えばよい。
【0032】
あるいは、この初期劣化後の規格化屈折率差η1 を達成し得る初期劣化温度T1 および初期劣化時間t1 を(15)式に基づいて決定し、この条件の下に初期劣化を行ってもよい。この場合、初期劣化温度T1 および初期劣化時間t1 は一意的には定まらない。図10は、初期劣化温度T1 と初期劣化時間t1 との関係を(15)式に基づいて求めた結果を示すグラフである。この図は、作動時間t3 を25年とし、作動温度T2 を20℃とし、許容される規格化屈折率差Ηの変化量を1%とした場合の図であり、横軸は、初期劣化温度T1 と作動温度T2 との差を示す。この図に示すように、初期劣化温度T1 が高いほど、初期劣化時間t1 が短くて済む。例えば、初期劣化温度T1 が作動温度T2 より40℃以上高い場合には、初期劣化時間t1 が48時間以下で済むので好適である。また、初期劣化温度T1 が作動温度T2 より50℃以上高い場合には、初期劣化時間t1 が19時間以下で済むので更に好適である。
【0033】
【発明の効果】
以上、詳細に説明したとおり、本発明によれば、石英系光ファイバに形成された光ファイバグレーティングは、作動温度T2 および作動時間t3 の条件下において許容される規格化屈折率差Ηに対して (1)式を満たす値η1 に規格化屈折率差ηが到達するまで加熱処理されて初期劣化を受ける。このように加熱処理された光ファイバグレーティングの作動温度T2 および作動時間t3 の条件下における劣化は、規格化屈折率差が値Ηまでに留まり、これにより、所望の信頼性が得られることになる。
【0034】
また、値η1 に基づいて (2)式を満たすよう求められた初期劣化温度T1 および初期劣化時間t1 の条件下に光ファイバグレーティングを加熱処理する場合には、加熱処理時に規格化屈折率差ηの値をモニタすることなく、所望の信頼性が得られることになる。また、初期劣化温度T1 は作動温度T2 よりも40℃以上高い場合には、初期劣化時間t1 が48時間以下で済み好適である。
【0035】
以上のように (1)式および (2)式に基づいて初期劣化条件を求めることにしたので、光ファイバグレーティングを初期劣化条件を、より簡易かつ具体的に求めることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】各温度それぞれにおける光ファイバグレーティングの規格化屈折率差ηの経時劣化の実験値およびフィッティング線を示すグラフである。
【図2】図1中のフィッティング線における反応速度定数Kおよび反応次数nを各温度について示した図表である。
【図3】反応速度定数Kの温度依存を示すグラフである。
【図4】反応次数nの温度依存を示すグラフである。
【図5】初期劣化を行わない場合の規格化屈折率差ηの予測経時劣化を示すグラフである。
【図6】温度80℃で48時間に亘り初期劣化を行った後の規格化屈折率差ηの予測経時劣化を示すグラフである。
【図7】初期劣化を行う場合の規格化屈折率差ηの経時劣化の算出方法の説明図である。
【図8】初期劣化後の規格化屈折率差η1 と作動時間t3 経過後の規格化屈折率差Ηとの関係を各作動温度毎に示したグラフである。
【図9】作動時間t3 が25年で規格化屈折率差の変化量(1−Η)が1%以下となるために要求される初期劣化後の規格化屈折率差η1 を各作動温度T2 に対して示したグラフである。
【図10】初期劣化温度T1 と初期劣化時間t1 との関係を示すグラフである。
【図11】光ファイバグレーティングの形成方法の説明図である。

Claims (3)

  1. 石英系光ファイバの少なくともコア領域にGe元素を添加し、所定の強度分布の照射光を前記石英系光ファイバに照射して前記強度分布に応じた屈折率変化を有する光ファイバグレーティングを形成し、作動温度(絶対温度)T2 および作動時間t3 の条件下において許容される前記光ファイバグレーティングの規格化屈折率差Ηに対して、
    Figure 0003879177
    なる関係式を満たす値η1 に規格化屈折率差ηが到達するまで前記光ファイバグレーティングを加熱処理することを特徴とする光ファイバグレーティングの製造方法。
  2. 前記値η1 に基づいて
    Figure 0003879177
    なる関係式を満たすよう求められた初期劣化温度(絶対温度)T1 および初期劣化時間t1 の条件下に前記光ファイバグレーティングを加熱処理することを特徴とする請求項1記載の光ファイバグレーティングの製造方法。
  3. 前記初期劣化温度T1 は前記作動温度T2 よりも40℃以上高いことを特徴とする請求項2記載の光ファイバグレーティングの製造方法。
JP11970897A 1997-05-09 1997-05-09 光ファイバグレーティングの製造方法 Expired - Fee Related JP3879177B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP11970897A JP3879177B2 (ja) 1997-05-09 1997-05-09 光ファイバグレーティングの製造方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP11970897A JP3879177B2 (ja) 1997-05-09 1997-05-09 光ファイバグレーティングの製造方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH10310442A JPH10310442A (ja) 1998-11-24
JP3879177B2 true JP3879177B2 (ja) 2007-02-07

Family

ID=14768139

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP11970897A Expired - Fee Related JP3879177B2 (ja) 1997-05-09 1997-05-09 光ファイバグレーティングの製造方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3879177B2 (ja)

Also Published As

Publication number Publication date
JPH10310442A (ja) 1998-11-24

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100251611B1 (ko) 광파이버그레이팅제조방법
Rathje et al. Continuous anneal method for characterizing the thermal stability of ultraviolet Bragg gratings
KR100351218B1 (ko) 복사선유도굴절율변화를이용한광소자,복사선유도굴절율변화를이용한광소자제조방법및광소자안정화방법
EP3126911A1 (en) Writing of high mechanical strength fiber bragg gratings using ultrafast pulses and a phase mask
JP3879177B2 (ja) 光ファイバグレーティングの製造方法
Lerner et al. An intrinsic sensitivity calibration scheme for high temperature measurements using femtosecond point-by-point written fiber Bragg gratings
CA2750461C (en) A process and system for manufacturing stable fiber bragg gratings (fbgs)
JP3796957B2 (ja) 光ファイバグレーティングのエージング条件を決定する方法及び光ファイバグレーティングの製造方法
JPH07244210A (ja) 光導波路型回折格子の作製方法及びその作製用光導波路
JPH10339821A (ja) 光導波路型グレーティングの製造方法
Gunawardena et al. Thermal decay analysis of fiber Bragg gratings at different temperature annealing rates using demarcation energy approximation
Viswanathan et al. Accelerated-aging studies of chirped Bragg gratings written in deuterium-loaded germano-silicate fibers
JP3941168B2 (ja) 光導波路型グレーティングの作製方法
Mezentsev et al. Micro-fabrication of advanced photonic devices by means of direct point-by-point femtosecond inscription in silica
De Oliveira et al. Strongly regenerated Bragg gratings in standard single-mode fibres
KR100342491B1 (ko) 광섬유 격자 열처리 방법
de Moura et al. Fiber Bragg gratings in visible spectrum range with different writing times followed by regeneration heating
Blanchet et al. Radiation Responses of Fiber Random Gratings
Lefebvre et al. Reliability characterization of fiber Bragg grating
Chan et al. Simultaneous measurement of curvature and temperature for LPG bending sensor
JP2004325796A (ja) 光導波路型回折格子素子製造方法
Paixão et al. Thermal stability of fiber Bragg gratings inscribed in microstructured polymer optical fibers with a single UV laser pulse
de Moura et al. Fiber bragg gratings in the visible region of the spectrum: writing and regeneration
Nellen et al. Mechanical and optical reliability of fiber Bragg grating strain and temperature sensors at high temperature
Bueno et al. Hydrogen influence on regenerated FBGs produced by the phase mask technique with 266 nm femtosecond pulses

Legal Events

Date Code Title Description
A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20051219

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20060829

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20060921

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20061017

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20061030

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091117

Year of fee payment: 3

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101117

Year of fee payment: 4

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111117

Year of fee payment: 5

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111117

Year of fee payment: 5

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121117

Year of fee payment: 6

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees