JP3874637B2

JP3874637B2 - Glass element molding method and molding apparatus

Info

Publication number: JP3874637B2
Application number: JP2001291888A
Authority: JP
Inventors: 洋村越; 修作松村
Original assignee: Toshiba Machine Co Ltd
Current assignee: Shibaura Machine Co Ltd
Priority date: 2001-09-25
Filing date: 2001-09-25
Publication date: 2007-01-31
Anticipated expiration: 2021-09-25
Also published as: JP2003095672A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ガラス素子の成形方法及び成形装置に係わるもので、特に加熱チャンバーを形成する石英ガラス管の長寿命化に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
ガラスレンズなどの高精度が要求されるガラス素子の製造方法としては、研削・研磨により製造されるものと、リヒートプレスにより製造されるものの二種類に大別される。
【０００３】
一般に光学ガラス素子の製造方法としてガラス素材を研削・研磨して光学面を形成する方法が多く用いられる。しかし、研削・研磨による曲面形成には十数工程が必要であるうえに、作業者に有害なガラス研削粉が多量に発生する問題点、さらに、研削・研磨では、付加価値の高い非球面形状の光学面を持つガラスレンズを同じ精度で大量に製作することが困難であるという問題点を持っている。
【０００４】
それに対してリヒートプレスは、溶融したガラスを一度冷却して製作したガラス素材を加熱し、プレスすることにより型の形状をガラス素材に転写させ、ガラスレンズなどのガラス素子を成形する方法であり、曲面形成に必要な工程はプレス形成の一工程のみであるという利点がある。また、型を一度製作すれば、型の精度に準じた成形品がいくつも製作することも可能である。この場合、型の周りの雰囲気を不活性雰囲気もしくは真空雰囲気として型の長寿命化を図るようにしている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
近年、光通信分野や医療分野で、ガラス素子は非常に注目されている。中でも、熱膨張が少ない、不純物が少ない、紫外線透過率が良い等の理由から、石英ガラス素子が注目されている。そのためガラス素子は、マイクロレンズアレイ等形状の複雑なもの、また、大きさも超小型のものから大型のものまで各種必要となっている。
【０００６】
上述したように、リヒートプレスでは、型の間にガラス素材を置き、型の酸化を防止する目的で型およびガラス素材を含む成形室内を不活性ガス雰囲気にしたうえで、高周波加熱装置や赤外線ランプ等により加熱し、ガラス素材を型によりプレスした後、成形品を冷却して取り出す方法が取られるが、石英ガラスのように成形温度が約１４００度と高いガラス素材では、ガラス素材を加熱させる際に、成形室を構成する石英ガラス管の温度まで上昇し、石英ガラス管の結晶化が起きるために、石英ガラス管の寿命が短いという問題がある。
【０００７】
そこで、本発明は、ガラス素子をリヒートプレスにより成形する際に、成形室を構成する石英ガラス管の温度の上昇を防ぎ、石英ガラス管の寿命を長くする、ガラス素子成形方法を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
この課題を解決するために本発明は以下の構成を備える。
【００１０】
（１）成形室を構成する石英ガラス管内に一対の型間にガラス素材を配置し、これら一対の型及びガラス素材を加熱してガラス素材をプレス成形する工程と、成形後に徐冷する工程と、加熱・成形時及び徐冷時のみに、不活性ガスを前記一対の型を通すことなく加熱チャンバーの石英ガラス管の内壁に沿って流す工程とを備えたガラス素子の成形方法。
【００１２】
（２）成形室を構成する石英ガラス管内に配置され、ガラス素材をプレス成形するための一対の型と、これら一対の型及びガラス素材を加熱する加熱源と、不活性ガスを前記一対の型を通すことなく石英ガラス管の内壁に沿って流す不活性ガス供給路と、加熱・成形時及び徐冷時のみに不活性ガスがこの経路に沿って流れるように制御する制御手段を備えたガラス素子の成形装置。
【００１３】
【発明の実施の形態】
本発明は、成形室をＯ−リング等で大気から遮断したうえで、一対の型間にガラス素材を配置し、これらを加熱してプレス成形するガラス素子の成形方法において、一連の加熱・冷却工程、特に、型およびガラス素材の加熱・成形時および徐冷時に成形室を構成する石英ガラス管の内壁に沿って不活性ガスを流して石英ガラス管を冷却し、このことにより、成形室を構成する石英ガラス管の結晶化（クリストバライト）を防止し、白濁化を防ぎ、石英ガラス管の寿命を飛躍的に延ばす方法である。さらに型がある程度冷えてからは型を直接冷却することが可能なため、型の均熱性が悪化せず、冷却時間を短縮することもできる。
【００１４】
【実施例】
以下、本発明の実施例を、図面を参照し説明する。
【００１５】
図１はガラス素子３４の成形装置の１例を示す。この成形装置は、フレーム１の上部から固定軸２が下方に向かって伸びており、その下端にセラミック製の断熱筒３を介して上型組み立て４が図示しないボルト等により取り付けられている。上型組み立て４は、金属製又はセラミック・カーボン製のダイプレート５、セラミックや超硬合金などで作られた上型６、ならびにこの上型６をダイプレート５に取り付けると共に型の一部を形成する固定ダイ７からなっている。
【００１６】
フレーム１の下部にはサーボモータ８ａを駆動源とし、サーボモータ８ａの回転運動を直線運動推力に変換するスクリュージャッキ等の駆動装置８が設けられ、駆動装置８には荷重検出装置８ｂを介して移動軸９が取り付けられている。移動軸９は制御装置２９に入力したプログラムにより、速度、位置およびトルク制御可能に上下動し、固定軸２と対向して上方に向かって伸びている。移動軸９の上端には断熱筒３と同様の断熱筒１０が取り付けられている。下型組み立て１１は、ダイプレート１２、下型１３および移動ダイ１４からなっている。
【００１７】
固定軸２には図示しない駆動装置によって上下動させるブラケット１５が移動可能に結合されている。ブラケット１５には対をなす型組み立て４、１１の周囲を囲むフランジ付透明石英ガラス管１６が取り付けられている。ブラケット１５には石英ガラス管１６と外筒１８が取り付けられ、外筒１８にはランプユニット１９が取り付けられている。ランプユニット１９は、赤外線ランプ２０とその後方に配置された反射ミラー２１、さらに反射ミラー２１を冷却するための図示しない水冷パイプから構成されており、型組み立て４、１１を加熱するようになっている。
【００１８】
石英ガラス管１６の上端はブラケット１５に、はめ込まれたＯ−リングに気密当接している。また、フランジ付透明石英管１６の下端は、移動軸９が貫通している中間プレート１ａのＯ−リングに気密当接し、型組み立て４、１１の周囲に大気から遮断される成形室１７を形成するようになっている。
【００１９】
固定軸２、移動軸９、中間プレート１ａには、成形室１７内を不活性ガス雰囲気にしたり、型組み立て４、１１を冷却するための不活性ガス供給路及び石英ガラス管の内壁を冷却するための不活性ガス供給路が設けられ、これらはライン切換バルブ３７（図２，３参照）により切換可能となっている。
【００２０】
型組み立て４、１１を冷却するための不活性ガス供給路は、図２に示すように、固定軸２側に、型組み立て４内に不活性ガスを流すための経路２２ａ，２２ｂ，３５，２６を形成し、移動軸９側に、型組み立て１１内に不活性ガスを流すための経路２３ａ，２３ｂ，３６，２６を形成している。
【００２１】
石英ガラス管の内壁を冷却するための不活性ガス供給路は、図３に示すように、２４，２５，２６を形成し、型組み立て４、１１内を通すことなく、石英ガラス管の内壁を冷却するようになっている。これら不活性ガス供給路には、不活性ガスを図示しない流量コントロール計を介して所定流量供給されるようになっている。成形室１７へ供給された不活性ガスは、ガス排出路２６から排気される。なお、２８は下型組み立て１１の温度検出用熱電対、２９は温度検出用熱電対からの信号を受けて赤外線ランプ２０、駆動装置８、及びライン切換バルブ３７を制御する制御装置部、２７は真空排気口、３０は真空バルブ、３１はガス排気バルブ、３２は真空排気装置、３３は真空計である。
【００２２】
この実施例では、ガラス素材３４を型組み立て４、１１とともに所定温度まで加熱し、プレス成形し、その後、徐冷し、急冷する。その際、制御装置部２９で加熱・成形時及び徐冷時を検出し、切換バルブ３７を切り替えて、不活性ガスが図３に示す経路（型組み立て内を通らないで石英ガラス管内壁を通る経路）を通るようにし、急冷時には、切換バルブ３７を切り替えて、不活性ガスが図２に示す経路（型組み立て内を通る経路）を通るようにした。若しくは、いずれの場合も不活性ガスが図３に示す経路（型組み立て内を通らないで石英ガラス管内壁を通る経路）を通るようにした。
【００２３】
次に、本発明の実験例を説明する。
【００２４】
従来のガラス素子成形方法と本発明によるガラス素子成形方法との比較を、図１に示す装置で成形することにより行った。
【００２５】
ガラス素材である石英ガラス（ＥＳ：日本石英ガラス）を、金型温度２００℃から加熱し、加熱温度１４００℃、プレス時間１２０ｓｅｃで成形し、６５０℃まで徐冷し、２００℃まで急冷した場合、図４に示すような温度線図を描くが、それに準じた温度線図を描くように加熱テストを行った。
【００２６】
方法としては、図２に示すように、加熱時間Ａ・プレス時間Ｂ・徐冷時間Ｃ・急冷時間Ｄともに、型組み立て内を通る経路のみを使用した場合（パターン１：従来例）と、加熱時間Ａ・プレス時間Ｂ・徐冷時間Ｃには、図３に示すように、型組み立て内を通らないで石英ガラス管内壁を通る経路を用い、急冷時間Ｄのみ図２に示すように、型組み立て内を通るガス供給路を使用した場合（パターン２：実施例１）とでそれぞれ２００回ずつテストを行った。
その結果、パターン１の場合、石英ガラス管に明確な白濁が観察され、分析の結果、クリストバライトが発生していることが確認された。
それに比べ、パターン２の場合は、石英ガラス管には変化は見られなかった。
【００２７】
また、パターン１、パターン２・および、加熱時間Ａ・プレス時間Ｂ・徐冷時間Ｃ・急冷時間Ｄ全ての時間に於いて、図３に示すように、石英ガラス管に沿って不活性ガスを流した場合（パターン３：参考例）の時間を比較した。下記に結果を記す。
【００２８】
【表１】

【００２９】
この結果、パターン１の場合が最もテスト時間が早く、パターン３の場合が最も遅かった。さらにパターン３の場合は、２００℃冷却後の上下型の温度差が３０℃と大きく、次回の成形では上下の型の温度調節に支障をきたすことも確認された。
【００３０】
パターン２の場合、パターン１と比べると３分遅いが、石英ガラス管の寿命が長くなることから、トータルコストとしては安くなることが分かる。
【００３１】
さらに、流量コントロールを行うことにより、冷却中の金型温度差も解消されるため、１４００℃で成形時に、金型温度差をなくすことができる。
【００３２】
【発明の効果】
以上説明した様に、本発明のガラス素子の成形方法によれば、石英ガラスなどの高融点ガラスを成形する場合でも、石英ガラス管の結晶化を防止することが出来、石英ガラス管の寿命を長くすることができるため、ガラス素子の製作コストの削減が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明による光学素子の成形装置の実施例を示す概略断面図である。
【図２】ガラス成形方法の１例を示す図である。
【図３】ガラス成形方法の１例を示す図である。
【図４】ガラス成形の時間を示す図である。
【符号の説明】
１フレーム
1a 中間プレート
２固定軸
３断熱筒
４上型組み立て
５ダイプレート
６上型
７固定ダイ
８駆動装置
8a サーボモータ
8b 荷重検出器
９移動軸
１０断熱筒
１１下型組み立て
１２ダイプレート
１３下型
１４移動ダイ
１５ブラケット
１６石英ガラス管
１７成形室
１８外筒
１９ランプユニット
２０赤外線ランプ
２１反射ミラー
22a，22b，23a，23b，36 型組み立て内を通る経路
24，25，26 型組み立て内を通らないで石英ガラス管内壁を通る経路
２６ガス排出路
２７真空排気口
２８温度検出用熱電対
２９制御装置部
３０真空バルブ
３１ガス排気バルブ
３２真空排気装置
３３真空計
３４ガラス素材
３５上型ガス流路
３６下型ガス流路
３７ライン切替バルブ[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a glass element molding method and a molding apparatus, and more particularly to extending the life of a quartz glass tube forming a heating chamber.
[0002]
[Prior art]
Glass element manufacturing methods that require high accuracy such as glass lenses are roughly classified into two types: those manufactured by grinding / polishing and those manufactured by reheat press.
[0003]
In general, a method of forming an optical surface by grinding and polishing a glass material is often used as a method for manufacturing an optical glass element. However, the curved surface formation by grinding and polishing requires more than a dozen processes, and there is a problem that a large amount of glass grinding powder harmful to workers is generated. However, it is difficult to manufacture a large number of glass lenses having the same optical surface with the same accuracy.
[0004]
On the other hand, the reheat press is a method of forming a glass element such as a glass lens by heating the glass material produced by cooling the molten glass once, transferring the shape of the mold to the glass material by pressing, There is an advantage that the process necessary for forming the curved surface is only one process of press forming. In addition, once a mold is manufactured, it is possible to manufacture a number of molded products according to the accuracy of the mold. In this case, the atmosphere around the mold is set to an inert atmosphere or a vacuum atmosphere to extend the life of the mold.
[0005]
[Problems to be solved by the invention]
In recent years, glass elements have attracted a great deal of attention in the optical communication field and the medical field. Among these, quartz glass elements are attracting attention for reasons such as low thermal expansion, low impurities, and good ultraviolet transmittance. For this reason, various glass elements such as a microlens array having a complicated shape and an extremely small size to a large size are required.
[0006]
As described above, in the reheat press, a glass material is placed between molds, and the molding chamber containing the mold and the glass material is made an inert gas atmosphere for the purpose of preventing the mold from being oxidized. The glass material is pressed with a mold, and then the molded product is cooled and taken out. However, in the case of a glass material having a molding temperature as high as about 1400 ° C. like quartz glass, the glass material is heated. Furthermore, since the temperature of the quartz glass tube constituting the molding chamber rises and crystallization of the quartz glass tube occurs, there is a problem that the lifetime of the quartz glass tube is short.
[0007]
Therefore, the present invention provides a glass element molding method that prevents the temperature of the quartz glass tube constituting the molding chamber from rising when the glass element is molded by reheat press, and prolongs the life of the quartz glass tube. is there.
[0008]
[Means for Solving the Problems]
In order to solve this problem, the present invention has the following configuration.
[0010]
(1) A step of placing a glass material between a pair of molds in a quartz glass tube constituting a molding chamber, heating the pair of molds and the glass material to press-mold the glass material, and a step of gradually cooling after molding And a step of flowing an inert gas along the inner wall of the quartz glass tube of the heating chamber without passing through the pair of molds only at the time of heating / forming and slow cooling.
[0012]
(2) A pair of molds arranged in a quartz glass tube constituting a molding chamber for press-molding a glass material, a heating source for heating the pair of molds and the glass material, and an inert gas from the pair of molds Glass with an inert gas supply path that flows along the inner wall of the quartz glass tube without passing through, and a control means that controls the inert gas to flow along this path only during heating, molding, and slow cooling Element molding equipment.
[0013]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
The present invention is a series of heating and cooling in a glass element molding method in which a molding material is cut off from the atmosphere by an O-ring or the like, a glass material is placed between a pair of molds, and these are heated and press-molded. The quartz glass tube is cooled by flowing an inert gas along the inner wall of the quartz glass tube constituting the molding chamber at the time of heating, molding and slow cooling of the mold and the glass material. This is a method for preventing the crystallization (cristobalite) of the quartz glass tube to be formed, preventing white turbidity, and greatly extending the life of the quartz glass tube. Furthermore, since the mold can be directly cooled after the mold has cooled to some extent, the soaking property of the mold does not deteriorate and the cooling time can be shortened.
[0014]
【Example】
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.
[0015]
FIG. 1 shows an example of a molding device for the glass element 34. In this molding apparatus, a fixed shaft 2 extends downward from an upper part of a frame 1, and an upper mold assembly 4 is attached to a lower end thereof via a ceramic heat insulating cylinder 3 with a bolt (not shown) or the like. The upper die assembly 4 includes a metal or ceramic / carbon die plate 5, an upper die 6 made of ceramic or cemented carbide, and the upper die 6 attached to the die plate 5 to form a part of the die. It consists of a fixed die 7.
[0016]
Under the frame 1, a servo motor 8a is used as a drive source, and a drive device 8 such as a screw jack for converting the rotational motion of the servo motor 8a into a linear motion thrust is provided. The drive device 8 is connected via a load detection device 8b. A moving shaft 9 is attached. The moving shaft 9 moves up and down so that the speed, position and torque can be controlled by a program input to the control device 29, and extends upward facing the fixed shaft 2. A heat insulating cylinder 10 similar to the heat insulating cylinder 3 is attached to the upper end of the moving shaft 9. The lower mold assembly 11 includes a die plate 12, a lower mold 13, and a moving die 14.
[0017]
A bracket 15 that is moved up and down by a driving device (not shown) is movably coupled to the fixed shaft 2. A flanged transparent quartz glass tube 16 surrounding the periphery of the paired

mold assemblies

4 and 11 is attached to the bracket 15. A quartz glass tube 16 and an outer cylinder 18 are attached to the bracket 15, and a lamp unit 19 is attached to the outer cylinder 18. The lamp unit 19 includes an infrared lamp 20, a reflection mirror 21 disposed behind the infrared lamp 20, and a water cooling pipe (not shown) for cooling the reflection mirror 21, and heats the

mold assemblies

4 and 11. Yes.
[0018]
The upper end of the quartz glass tube 16 is in airtight contact with the bracket 15 and an O-ring fitted therein. Further, the lower end of the flanged transparent quartz tube 16 is in airtight contact with the O-ring of the intermediate plate 1a through which the moving shaft 9 passes, and forms a molding chamber 17 that is shielded from the atmosphere around the

mold assemblies

4 and 11. It is supposed to be.
[0019]
The fixed shaft 2, the moving shaft 9 and the intermediate plate 1 a have an inert gas atmosphere in the molding chamber 17, and an inert gas supply path for cooling the

mold assemblies

4 and 11 and an inner wall of the quartz glass tube. An inert gas supply path is provided, and these can be switched by a line switching valve 37 (see FIGS. 2 and 3).
[0020]
As shown in FIG. 2, the inert gas supply paths for cooling the

mold assemblies

4 and 11 are

paths

22a, 22b, 35, and 26 for flowing an inert gas into the mold assembly 4 on the fixed shaft 2 side. And a

path

23a, 23b, 36, 26 for flowing an inert gas into the mold assembly 11 is formed on the moving shaft 9 side.
[0021]
As shown in FIG. 3, the inert gas supply path for cooling the inner wall of the quartz glass tube forms 24, 25, and 26, and passes the inner wall of the quartz glass tube without passing through the

mold assemblies

4 and 11. It is designed to cool. A predetermined flow rate of the inert gas is supplied to these inert gas supply paths via a flow rate control meter (not shown). The inert gas supplied to the molding chamber 17 is exhausted from the gas discharge path 26. Reference numeral 28 denotes a thermocouple for detecting the temperature of the

lower mold assembly

11, 29 denotes a control unit that receives signals from the thermocouple for detecting temperature and controls the infrared lamp 20, the driving device 8, and the line switching valve 37, 27 A vacuum exhaust port, 30 is a vacuum valve, 31 is a gas exhaust valve, 32 is a vacuum exhaust device, and 33 is a vacuum gauge.
[0022]
In this embodiment, the glass material 34 is heated together with the

die assemblies

4 and 11 to a predetermined temperature, press-molded, and then slowly cooled and rapidly cooled. At that time, the controller 29 detects the time of heating / molding and the time of slow cooling, switches the switching valve 37, and the inert gas passes through the quartz glass tube inner wall without passing through the path shown in FIG. Path), and during rapid cooling, the switching valve 37 is switched so that the inert gas passes through the path shown in FIG. 2 (path through the mold assembly). Alternatively, in any case, the inert gas is allowed to pass through the path shown in FIG. 3 (the path passing through the inner wall of the quartz glass tube without passing through the mold assembly).
[0023]
Next, experimental examples of the present invention will be described.
[0024]
A comparison between the conventional glass element molding method and the glass element molding method according to the present invention was performed by molding with the apparatus shown in FIG.
[0025]
When quartz glass (ES: Nippon quartz glass), which is a glass material, is heated from a mold temperature of 200 ° C., molded at a heating temperature of 1400 ° C. and a press time of 120 sec, slowly cooled to 650 ° C., and rapidly cooled to 200 ° C., Although a temperature diagram as shown in FIG. 4 is drawn, a heating test was conducted so as to draw a temperature diagram corresponding to the temperature diagram.
[0026]
As shown in FIG. 2, the heating time A, the pressing time B, the slow cooling time C, and the rapid cooling time D are all used in the case where only the path through the die assembly is used (pattern 1: conventional example), and heating is performed. For time A, press time B, and slow cooling time C, as shown in FIG. 3, a route passing through the inner wall of the quartz glass tube without passing through the die assembly is used, and only the rapid cooling time D is shown in FIG. The test was performed 200 times each when the gas supply path passing through the assembly was used (Pattern 2: Example 1).
As a result, in the case of Pattern 1, clear turbidity was observed in the quartz glass tube, and as a result of analysis, it was confirmed that cristobalite was generated.
In contrast, in the case of Pattern 2, no change was observed in the quartz glass tube.
[0027]
Further, as shown in FIG. 3, an inert gas is supplied along the quartz glass tube at all times of pattern 1, pattern 2, and heating time A, pressing time B, slow cooling time C, and rapid cooling time D. The time when flowing (Pattern 3: Reference Example ) was compared. The results are shown below.
[0028]
[Table 1]

[0029]
As a result, the test time was the earliest for pattern 1 and the latest for pattern 3. Furthermore, in the case of Pattern 3, the temperature difference between the upper and lower molds after cooling at 200 ° C. was as large as 30 ° C., and it was confirmed that the next molding would hinder the temperature control of the upper and lower molds.
[0030]
In the case of the pattern 2, it is 3 minutes slower than the pattern 1, but it can be seen that the total cost is reduced because the life of the quartz glass tube is increased.
[0031]
Furthermore, by controlling the flow rate, the mold temperature difference during cooling is also eliminated, so that the mold temperature difference can be eliminated during molding at 1400 ° C.
[0032]
【The invention's effect】
As described above, according to the method for molding a glass element of the present invention, even when a high melting point glass such as quartz glass is molded, crystallization of the quartz glass tube can be prevented, and the lifetime of the quartz glass tube can be reduced. Since the length can be increased, the manufacturing cost of the glass element can be reduced.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a schematic cross-sectional view showing an embodiment of an optical element molding apparatus according to the present invention.
FIG. 2 is a diagram showing an example of a glass forming method.
FIG. 3 is a diagram showing an example of a glass forming method.
FIG. 4 is a diagram showing a glass forming time.
[Explanation of symbols]
1 frame
1a Intermediate plate 2 Fixed shaft 3 Thermal insulation cylinder 4 Upper die assembly 5 Die plate 6 Upper die 7 Fixed die 8 Drive unit
8a Servo motor
8b Load detector 9 Moving shaft 10 Heat insulating cylinder 11 Lower mold assembly 12 Die plate 13 Lower mold 14 Moving die 15 Bracket 16 Quartz glass tube 17 Molding chamber 18 Outer cylinder 19 Lamp unit 20 Infrared lamp 21 Reflecting mirror
Route through 22a, 22b, 23a, 23b, 36 type assembly
24, 25, 26 Route through the quartz glass tube inner wall without passing through the mold assembly 26 Gas exhaust passage 27 Vacuum exhaust port 28 Temperature detection thermocouple 29 Control unit 30 Vacuum valve 31 Gas exhaust valve 32 Vacuum exhaust device 33 Vacuum Total 34 Glass material 35 Upper gas flow path 36 Lower gas flow path 37 Line switching valve

Claims

A glass material is disposed between a pair of molds in a quartz glass tube constituting the molding chamber, a process of press-molding the glass material by heating the pair of molds and the glass material, a step of gradually cooling after the molding, And a step of flowing an inert gas along the inner wall of the quartz glass tube of the heating chamber without passing through the pair of molds only at the time of molding and slow cooling.

A pair of molds arranged in a quartz glass tube constituting the molding chamber and press-molding the glass material, a heating source for heating the pair of molds and the glass material, and an inert gas passing through the pair of molds Glass element molding comprising an inert gas supply path that flows along the inner wall of the quartz glass tube, and a control means for controlling the inert gas to flow along this path only during heating, molding, and slow cooling apparatus.