JP3855991B2 - Fan filter unit - Google Patents
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Description
本発明は、半導体工場、食品工場などの清浄空間を必要とするクリーンルームで使用されるファンフィルターユニットに関するものである。 The present invention relates to a fan filter unit used in a clean room requiring a clean space such as a semiconductor factory or a food factory.
従来、この種のファンフィルターユニットはファンとフィルターの間に二つの遮蔽板を有し、チャンバー内部及び遮蔽板に吸音材を貼着したものが知られている(例えば特許文献1参照)。 Conventionally, a fan filter unit of this type has two shielding plates between a fan and a filter, and a unit in which a sound absorbing material is attached to the inside of the chamber and the shielding plate is known (see, for example, Patent Document 1).
以下、この種のファンフィルターユニットについて、図7を参照しながら説明する。図7に示すように、上部に吸込口を有し、下部が開口した空気吹出用のチャンバー101の内部にファン102を取り付け、下部開口部にフィルター103を取り付けたファンフィルターユニットにおいて、ファン102とフィルター103の間に吸音材104を貼着した第一遮蔽板105を取り付けると共に、チャンバー101の側壁には第一遮蔽板105のフランジに一定の間隔をおいて第二遮蔽板106を配置したものであった。
このような従来のファンフィルターユニットでは、吹出し風速の均一化をはかるため二つの遮蔽板が必要であり、二つの遮蔽板による圧力損失が大きく、騒音が増加するという課題があり、圧力損失を小さくし、高効率、低騒音にすることが要求されている。 In such a conventional fan filter unit, two shielding plates are required to make the blowout air speed uniform, and there is a problem that the pressure loss due to the two shielding plates is large and noise increases, and the pressure loss is reduced. However, high efficiency and low noise are required.
また、遮蔽板を送風機の下流側に設けることにより、チャンバーの高さが高くなるという課題があり、チャンバーの高さを低くすることが要求されている。 Moreover, there exists a subject that the height of a chamber becomes high by providing a shielding board in the downstream of an air blower, and reducing the height of a chamber is requested | required.
また、複数の部品を用いることにより、組立て性、メンテナンス性が悪くなるという課題があり、組立て性、メンテナンス性を改善することが要求されている。 Moreover, there exists a subject that assembly property and maintainability worsen by using a some component, and improving assembly property and maintainability is requested | required.
本発明は、このような従来の課題を解決するものであり、低騒音で効率を向上し、チャンバー高さを低くし、かつ、吹出し風速の均一化をはかることができ、組立て性、メンテナンス性に優れた、ファンフィルターユニットを提供することを目的とする。 The present invention solves such a conventional problem, can improve efficiency with low noise, reduce the height of the chamber, and achieve uniform blown air speed, and is easy to assemble and maintain. An object of the present invention is to provide a fan filter unit that is superior to the above.
本発明のファンフィルターユニットは、上記目的を達成するために、上部にベルマウス状のオリフィスを形成した吸込口を有し、下部が開放している正方形または長方形のチャンバーを有し、このチャンバーの下部にフィルターが取り付けられ、チャンバー内部に複数の電動機によって駆動される複数のファンを有し、その複数の電動機が、チャンバーの側面または吸込口を有するチャンバー上部に取り付けられた一つの固定台に固定され、前記複数のファンの回転数が各々異なる定格回転数としたものである。 In order to achieve the above object, the fan filter unit of the present invention has a square or rectangular chamber having a suction port with a bell mouth-like orifice formed in the upper part and an open lower part. A filter is attached to the bottom, and there are multiple fans that are driven by multiple electric motors inside the chamber. The multiple electric motors are fixed to one fixed base attached to the upper side of the chamber that has the side of the chamber or a suction port. is the rotational speed of said plurality of fan is that the each different rated speed.
この手段により、複数のファンの回転数が近接しているときに生じるうなり音を抑制することができるファンフィルターユニットが得られる。 By this means, it is possible to obtain a fan filter unit that can suppress a beat sound generated when the rotational speeds of a plurality of fans are close to each other.
本発明によれば、複数のファンの回転数が各々異なる定格回転数とすることによって、複数のファンの回転数が近接しているときに生じるうなり音を抑制することができるファンフィルターユニットが得られる。 According to the present invention, by the rotational speed of the plurality of fans and each different rated speed, the fan filter unit which can suppress beat sound generated when the rotational speed of the plurality of fans are close Is obtained.
本発明の請求項1記載の発明は、複数の電動機が、チャンバーの側面または吸込口を有するチャンバー上部に取り付けられた一つの固定台に固定され、前記複数のファンの回転数が各々異なる定格回転数としたものであり、複数のファンの回転数が近接しているときに生じるうなり音を抑制することができ、また、一台あたりのファンの軸方向高さ及び、ファン外径が小さくなり、チャンバーの高さが低くなり、ファン裏側の低風速の領域を小さくし、風速分布を均一にすることができると共に、一つの固定台に複数の電動機が固定されているので、組立て性、メンテナンス性に優れている。 The invention of
(実施の形態1)
図1は本発明の実施の形態1におけるファンフィッルターユニットの平面図、図2はファンフィルターユニットの断面図である。
(Embodiment 1)
FIG. 1 is a plan view of a fan filter unit according to
図1、図2において、前記した図7と同じ構成については同じ符号を用い、説明を省略する。 1 and 2, the same components as those in FIG. 7 described above are denoted by the same reference numerals and description thereof is omitted.
図1、図2において、上部にベルマウス状のオリフィスを形成した吸込口1を有し、下部が開放している正方形または長方形のチャンバー101を有し、このチャンバー101の下部にフィルター103が取り付けられ、チャンバー101内部に複数の電動機2によって駆動される複数のファン102を有し、その複数の電動機2がチャンバー101の側面または吸込口1を有するチャンバー101の上部に取り付けられた一つの固定台3に固定され、複数のファン102の回転数が各々異なる定格回転数とすることによって、複数のファン102の回転数が近接しているときに生じるうなり音を抑制することができ、また、一台あたりのファンの軸方向高さ及び、ファン外径が小さくなり、チャンバー101の高さが低くなり、ファン裏側の低風速の領域を小さくし、風速分布を均一にすることができると共に、一つの固定台に複数の電動機が固定されているので、組立て性、メンテナンス性が改善されたファンフィルターユニットが得られる。
1 and 2, a square or
また、機外静圧が大きい場合、圧力損失の大きいフィルター103を取り付けている場合は、ファン102は遠心ファンを用いることで、必要な風量を確保し、低騒音、高効率を維持することができる。
In addition, when the external static pressure is large, or when the
また、機外静圧が小さくかつ、圧力損失の小さいフィルター103を取り付けている場合は、ファン102は軸流ファンを用いることで、ファン裏面の低風速の領域が非常に小さく、風速分布を均一にすることができると共に、機外静圧の低い領域での効率を高くすることができる。
In addition, when the
また、複数のファン102が各々異なる枚数を持つことによって、各ファン102から発生するNZ音(回転数N[sec−1]×Z[枚])の周波数が一致せずに、離散周波数騒音を低減することができる。
Moreover, by a plurality of
(実施の形態2)
図3は本発明の実施の形態2におけるファンフィルターユニットの斜視図、図4はファンフィルターユニットの断面図、図5は図4の断面図の仕切り板付近の詳細図、図6はファンフィルターユニットの背面図である。
(Embodiment 2)
3 is a perspective view of a fan filter unit according to
図3から図6において、前記した図7と同じ構成については同じ符号を用い、説明を省略する。 3 to 6, the same components as those in FIG. 7 described above are denoted by the same reference numerals and description thereof is omitted.
図3、図4において、ファン102の周囲にチャンバー101をファン102の数だけ分割する仕切り板4を設置し、複数のファン102の回転数が各々異なる定格回転数とすることによって、複数のファン102の回転数が近接しているときに生じるうなり音を抑制することができ、また、複数のファン102から流出した流れが互いに衝突するのを抑制し、流れの衝突による損失を低減すると共に、流れの衝突によって発生する乱流騒音を低減することができる。
3 and 4, the
また、この仕切り板の諸元を図5、図6により説明する。この仕切り板4の高さhはチャンバー101の吸込側面からファン102の最下端部までの距離Yと略同等となるように構成されている。
The specifications of the partition plate will be described with reference to FIGS. The height h of the
また、仕切り板の長さ:X、ファン外径:D2、チャンバーの対角の距離:Lとの割合が0.5D2≦X≦Lとなるように構成されている。 Further, the ratio between the partition plate length: X, the fan outer diameter: D2, and the diagonal distance of the chamber: L is configured to satisfy 0.5D2 ≦ X ≦ L.
また、機外静圧が大きい場合、圧力損失の大きいフィルター103を取り付けている場合は、ファン102は遠心ファンを用いることで、必要な風量を確保し、低騒音、高効率を維持することができる。
In addition, when the external static pressure is large, or when the
また、機外静圧が小さくかつ、圧力損失の小さいフィルター103を取り付けている場合は、ファン102は軸流ファンを用いることで、ファン裏面の低風速の領域が非常に小さく、風速分布を均一にすることができると共に、機外静圧の低い領域での効率を高くすることができる。
In addition, when the
また、複数のファン102が各々異なる枚数を持つことによって、各ファン102から発生するNZ音(回転数N[sec−1]×Z[枚])の周波数が一致せずに、離散周波数騒音を低減することができる。
Moreover, by a plurality of
また、隣り合う二つのファン、ファンa、ファンbの中心と仕切り板の距離:f1、f2、回転数:N1、N2の割合がf1:f2=N1:N2で構成されている。 Further, the ratio of the distance between the centers of two adjacent fans, the fan a and the fan b and the partition plate: f1, f2, and the rotation speeds: N1, N2 is configured as f1: f2 = N1: N2.
本発明にかかるファンフィルターユニットは、複数の電動機が、チャンバーの側面または吸込口を有するチャンバー上部に取り付けられた一つの固定台に固定されることによって、一台あたりのファンの軸方向高さ及び、ファン外径が小さくなり、チャンバーの高さが低くなり、ファン裏側の低風速の領域を小さくし、風速分布を均一にすることができると共に、一つの固定台に複数の電動機が固定されているので、組立て性、メンテナンス性に優れ、半導体工場や食品工場などの清浄空間を必要とするクリーンルームで使用されるファンフィルターユニットとして有用である。 In the fan filter unit according to the present invention, a plurality of electric motors are fixed to one fixed base attached to the side of the chamber or the upper part of the chamber having a suction port, whereby the axial height of the fan per unit and The fan outer diameter is reduced, the height of the chamber is lowered, the low wind speed area on the back side of the fan is reduced, the wind speed distribution can be made uniform, and a plurality of electric motors are fixed on one fixed base. Therefore, it is excellent in assemblability and maintainability and is useful as a fan filter unit used in a clean room requiring a clean space such as a semiconductor factory or a food factory.
1 吸込口
2 電動機
3 固定台
4 仕切り板
h 仕切り板の高さ
Y チャンバーの吸込側面からファンの最下端部までの距離
X 仕切り板の長さ
D2 ファン外径
L チャンバーの対角の距離
102a ファンa
102b ファンb
f1 ファンaの中心と仕切り板の距離
f2 ファンbの中心と仕切り板の距離
101 チャンバー
102 ファン
103 フィルター
104 吸音材
105 第一遮蔽板
106 第二遮蔽板
DESCRIPTION OF
102b Fan b
f1 Distance between the center of the fan a and the partition plate f2 Distance between the center of the fan b and the
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