JP3855331B2 - Solid-state imaging device and driving method thereof - Google Patents

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Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、固体撮像装置およびその駆動方法に関し、特に画素そのものが増幅機能を持ち、かつ画素の信号を電圧で出力する増幅型固体撮像装置およびその駆動方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
増幅型固体撮像装置としては、BASIS(Base Stored Image Senser)、BCMD(Bulk Charge Modulation Device) 、CMOSのAPS(Active Pixel Sensor) などが知られている。これらの増幅型固体撮像装置では、画素そのものに増幅機能を持たせるために、MOS構造等の能動素子を用いて画素を構成していることから、能動素子の特性(しきい値電圧Vth等)のバラツキがそのまま画像信号に乗ってきてしまう。この特性のバラツキは、画素それぞれに固定の値を持つため、画面上に固定パターンノイズ(FPN;Fixed Patern Noise)として現れる。
【0003】
この画素の特性バラツキに起因する固定パターンノイズを除去すべくなされた増幅型固体撮像装置の従来例を図8に示す。同図において、行列状に多数配列された画素101は、列単位で各出力端が垂直信号線102に接続されている。そして、各垂直信号線102の一端には、各画素101の信号を読み出すための垂直出力回路103が各列ごとに接続されている。なお、図8には、ある列の垂直出力回路103の具体的な回路構成のみを示す。
【0004】
この垂直出力回路103において、垂直信号線102の一端にはNchMOSトランジスタからなるサンプルホールドスイッチ104s,104rの各一端が接続されている。また、垂直信号線102の一端と基準電位VSSとの間には、NchMOSトランジスタからなるスイッチ105が接続されている。サンプルホールドスイッチ104s,104rの各他端間には、NchMOSトランジスタからなるスイッチ105s,106,105rが直列に接続されている。
【0005】
サンプルホールドスイッチ104s,104rの各他端と基準電位VSSとの間に、キャパシタ107s,107rが接続されている。サンプルホールドスイッチ104s,104rの各他端にはさらに、PchMOSトランジスタからなるソースフォロワ108s,108rの各ゲートが接続されている。これらソースフォロワ108s,108rの各一端は基準電位VSSに接続され、その各他端と2本の水平信号線110s,110rとの間にはPchMOSトランジスタからなる水平選択スイッチ109s,109rが接続されている。
【0006】
次に、上記構成の従来装置における固定パターンノイズの除去のための回路動作について説明する。
【0007】
水平ブランキング期間において、垂直走査によってある行が選択されると、その選択された行の画素101の画素リセット前の明時の信号成分(以下、信号レベル成分と称する)と画素リセット後の暗時の信号成分(以下、基準レベル成分と称する)とが順にサンプルホールドスイッチ104s,104rによってサンプリングされ、かつキャパシタ107s,107rにホールドされる。
【0008】
次に、水平有効期間において、水平走査によってある列が選択され、その選択された列の水平選択スイッチ109s,109rがオン状態になることにより、キャパシタ107s,107rにホールドされた信号レベル成分および基準レベル成分が水平信号線110s,110rに読み出され、さらに水平出力回路111を介して外部回路へ出力される。そして、外部回路において、両出力の差分がとられることにより、両出力に共通に乗っているノイズ成分が相殺される。その結果、画素101のしきい値電圧Vthなどの特性バラツキに起因する固定パターンノイズの除去された信号が得られることになる。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上述した従来の増幅型固体撮像装置では、画素101の特性バラツキに起因する固定パターンノイズについては除去できるものの、垂直信号線102と水平信号線110s,110rとの間の垂直出力回路103において、信号レベル成分と基準レベル成分を別々のサンプルホールドスイッチ104s,104rでサンプルホールドしているので、これらサンプルホールドスイッチ104s,104rのスイッチングに伴ってオフセット性のノイズが発生し、このノイズ成分が回路の特性バラツキによって列間で異なる場合には、画面上に縦筋状の固定パターンノイズとして現れることになる。
【0010】
本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、画素の特性バラツキに起因する固定パターンノイズのみならず、回路の特性バラツキに起因する縦筋状の固定パターンノイズをも抑制することが可能な固体撮像装置およびその駆動方法を提供することにある。
【0011】
【課題を解決するための手段】
本発明による固体撮像装置は、行列状に配列された複数の画素と、これら画素の各出力端が列単位で接続された垂直信号線に一端が接続された第1のスイッチ手段と、この第1のスイッチ手段の他端と基準電位点との間に接続された第2のスイッチ手段と、第1のスイッチ手段の他端に各一端が共通に接続された第1,第2の蓄電手段と、これら蓄電手段の各他端と基準電位点との間にそれぞれ接続された第3,第4のスイッチ手段と、第1,第2の蓄電手段の各他端と第1,第2の水平信号線との間に接続された第5,第6のスイッチ手段とを各列ごとに備えた構成となっている。
【0012】
本発明による駆動方法は、上記構成の固体撮像装置の駆動に当たり、水平ブランキング期間において、先ず、第1のスイッチ手段および第3のスイッチ手段をオン、第4のスイッチ手段をオフさせて信号レベル成分(明時の信号成分)を第1の蓄電手段にサンプルホールドし、続いて第1のスイッチ手段および前記第4のスイッチ手段をオン、第3のスイッチ手段をオフさせて基準レベル成分(暗時の信号成分)を第2の蓄電手段にサンプルホールドし、次に水平有効期間において、各列ごとに順に第5,第6のスイッチ手段および第2のスイッチ手段をオンさせて第1,第2の蓄電手段にサンプルホールドされている明時および暗時の各信号成分を第1,第2の水平信号線に読み出すようにする。
【0013】
上記構成の固体撮像装置およびその駆動方法において、水平ブランキング期間において先ず、第1のスイッチ手段させて信号レベル成分をサンプリングし、かつ第3のスイッチ手段をオン、第4のスイッチ手段をオフさせ、第1の蓄電手段の出力端を基準電位とすることで第1の蓄電手段にホールドする。このとき、第1のスイッチ手段のスイッチングに伴うノイズ成分が第1の蓄電手段に乗ってくる。続いて、同様にして、第1のスイッチ手段させて基準レベル成分をサンプリングし、かつ第4のスイッチ手段をオン、第3のスイッチ手段をオフさせ、第2の蓄電手段の出力端を基準電位とすることで第2の蓄電手段にホールドする。このときも、第1のスイッチ手段のスイッチングに伴うノイズ成分が第2の蓄電手段に乗ってくる。
【0014】
次に、水平有効期間において、各列ごとに順に第5,第6のスイッチ手段をオンさせて水平選択し、同時に第2のスイッチ手段をオンさせ、第1,第2の蓄電手段の各入力端を基準電位とすることで、第1,第2の蓄電手段にサンプルホールドされている信号レベル成分および基準レベル成分を第1,第2の水平信号線に読み出す。このとき、信号レベル成分および基準レベル成分には、第1のスイッチ手段のスイッチングに伴うノイズ成分が共通に乗っている。したがって、後段の回路において、信号レベル成分と基準レベル成分の差分をとることにより、第1のスイッチ手段のスイッチングに伴うノイズ成分がキャンセルされる。その結果、画素の特性バラツキに起因する固定パターンノイズのみならず、回路の特性バラツキに起因する縦筋状の固定パターンノイズをも抑制できる。
【0015】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しつつ詳細に説明する。
【0016】
図1は、本発明の一実施形態を示す概略構成図である。図1において、画素(ピクセル)11が行列状に多数配列されており、これら画素11の出力端が列単位で垂直信号線12-1〜12-nに接続されている。画素11の各々からは、信号が電圧として垂直信号線12-1〜12-nに出力される。垂直信号線12-1〜12-nの各一端には、各列ごとに信号レベル成分と基準レベル成分とを出力する垂直出力回路13-1〜13-nが接続されている。
【0017】
垂直出力回路13-1〜13-nの各々には、水平シフトレジスタ14から列選択信号Col(1)〜Col(n)が与えられるとともに、リファレンス信号Ref(1)〜Ref(n)およびクランプ信号Clamp S(1)〜Clamp S(n),Clamp R(1)〜Clamp R(n)が各列ごとに与えられる。これらのタイミング信号は、水平シフトレジスタ14、あるいは他のタイミング発生回路(図示せず)で生成される。垂直出力回路13-1〜13-nから出力される信号レベル成分および基準レベル成分は、2本の水平信号線15s,15rを介して水平出力回路16に供給される。
【0018】
図2に、i列の垂直出力回路13-iおよび水平出力回路16の具体的な回路構成を示す。先ず、垂直出力回路13-iにおいて、垂直信号線12-iの一端にはNchMOSトランジスタからなるサンプルホールドスイッチ21の一端が接続されている。このサンプルホールドスイッチ21のゲートには、サンプルホールド信号SHが印加される。サンプルホールドスイッチ21の他端と基準電位Vrefとの間には、NchMOSトランジスタからなるリファレンススイッチ22が接続されている。このリファレンススイッチ22のゲートには、リファレンス信号Ref が印加される。
【0019】
サンプルホールドスイッチ21の他端にはさらに、第1,第2の蓄電手段であるキャパシタ23r,23sの各一端が接続されている。キャパシタ23r,23sの各他端と基準電位Vrefとの間には、NchMOSトランジスタからなるクランプスイッチ24r,24sが接続されている。これらクランプスイッチ24r,24sの各ゲートには、クランプ信号Clamp R ,Clamp S がそれぞれ印加される。
【0020】
キャパシタ23r,23sの各他端にはさらに、PchMOSトランジスタからなるソースフォロワ25r,25sの各ゲートが接続されている。これらソースフォロワ25r,25sの各ドレインは、負側電源VSSに接続されている。ソースフォロワ25r,25sの各ソースには、PchMOSトランジスタからなる水平選択スイッチ26r,26sの各ドレインが接続されている。これら水平選択スイッチ26r,26sの各ゲートには、列選択信号Col が印加される。水平選択スイッチ26r,26sの各ソースは、水平信号線15r,15sに接続されている。
【0021】
続いて、水平出力回路15において、水平信号線15r,15sの各一端にはキャパシタ27r,27sの各一端がそれぞれ接続されている。これらキャパシタ27r,27sの各一端と正側電源VDDとの間には、PchMOSトランジスタからなるスイッチ28r,28sが接続されている。また、キャパシタ27r,27sの各他端と基準電位Vrefとの間には、PchMOSトランジスタからなるクランプスイッチ29r,29sが接続されている。
【0022】
キャパシタ27r,27sの各他端にはさらに、ソースフォロワ回路30r,30sの各入力端、即ちNchMOSトランジスタからなる駆動トランジスタ31r,31sの各ゲートが接続されている。駆動トランジスタ31r,31sの各ドレインは正側電源VDDに接続され、各ソースはNchMOSトランジスタからなる負荷トランジスタ32r,32sを介して負側電源VSSに接続されている。そして、駆動トランジスタ31r,31sの各ソースは出力端子33r,33sに接続されている。
【0023】
次に、上記構成の垂直出力回路13-1〜13-nおよび水平出力回路16の回路動作について、図3のタイミングチャートを用いて図4の動作説明図を参照しつつ説明する。
【0024】
なお、図4において、VsigSは画素11の信号レベル成分、VsigRは画素11の基準レベル成分である。 vshはサンプルホールドスイッチ21のスイッチングに伴うオフセット性のノイズ、 vclampSはクランプスイッチ24sのスイッチングに伴うオフセット性のノイズ、 vclampRはクランプスイッチ24rのスイッチングに伴うオフセット性のノイズである。 g-sfcは垂直出力回路13のソースフォロワ25s,25rのゲイン、 g-sfCは水平出力回路16のソースフォロワ30s,30rのゲインである。sf-offset-Scは垂直出力回路13の信号レベル用のソースフォロワ25sのオフセット、sf-offset-Rcは垂直出力回路13の基準レベル用のソースフォロワ25rのオフセット、sf-offset-SCは水平出力回路16の信号レベル用のソースフォロワ30sのオフセット、sf-offset-RCは水平出力回路16の基準レベル用のソースフォロワ30rのオフセットである。
【0025】
水平ブランキング期間HBLKにおいて、サンプルホールド信号SHが“H”レベルになり、これに同期して各列のクランプ信号Clamp S(1),Clamp S(2),……が“H”レベルに、クランプ信号Clamp R(1),Clamp R(2),……が“L”レベルになると(時刻t1)、サンプルホールドスイッチ21およびクランプスイッチ24sがオン、クランプスイッチ24rがオフとなるため、画素11の信号レベル成分VsigSがキャパシタ23sにサンプルホールドされる。
【0026】
その際、図5(a)から明らかなように、サンプルホールドスイッチ21を先にオフさせ、その後クランプスイッチ24sをオフさせる(時刻t2)。このような位相関係にすることで、サンプルホールドスイッチ21のスイッチングに伴うノイズ(以下、スイッチングノイズと称する)はキャパシタ23sに乗ってくるが、クランプスイッチ24sのスイッチングノイズの影響は、キャパシタ23sの出力端の寄生容量をCo/キャパシタ23sの容量をCとすると、Co/Cとなるためほとんどない。この時刻t1〜時刻t2の期間が、画素11の信号レベル成分VsigSをサンプルホールドする期間となる。
【0027】
同様にして、サンプルホールド信号SHが“H”レベルになり、これに同期して各列のクランプ信号Clamp R(1),Clamp R(2),……が“H”レベルに、クランプ信号Clamp S(1),Clamp S(2),……が“L”レベルになると(時刻t3)、サンプルホールドスイッチ21およびクランプスイッチ24rがオン、クランプスイッチ24sがオフとなるため、画素11の基準レベル成分VsigRがキャパシタ23rにサンプルホールドされる。
【0028】
この基準レベル成分VsigRをサンプルホールドする場合にも、信号レベル成分VsigSをサンプルホールドする場合と同様に(図5(a)を参照)、サンプルホールドスイッチ21を先にオフさせ、その後クランプスイッチ24rをオフさせる(時刻t4)。この時刻t3〜時刻t4の期間が、画素11の基準レベル成分VsigRをサンプルホールドする期間となる。
【0029】
続いて、各列の垂直出力回路13-1〜13-nからの信号の読み出し動作に移行する。水平有効期間において、先ず、1列目の列選択信号Col(1)が“L”レベルとなり、1列目の垂直出力回路13-1が選択されることで、この垂直出力回路13-1の水平選択スイッチ26s,26rがオンとなる(時刻t5)。このとき、1列目のリファレンス信号Ref(1)が“H”レベルとなり、リファレンススイッチ22がオン状態となる。これにより、キャパシタ23s,23rにサンプルホールドされていた信号レベル成分VsigSおよび基準レベル成分VsigRは、ソースフォロワ25s,25rおよび水平選択スイッチ26s,26rを経て水平信号線15s,15rに出力される。
【0030】
そして、それまで“H”レベル状態にあったクランプ信号Clamp が“L”レベルに遷移し、クランプスイッチ29s,29rがオフ状態になることで、信号レベル成分VsigSおよび基準レベル成分VsigRがキャパシタ27s,27rにサンプルホールドされる。この際、ソースフォロワ25s,25rを構成するPMOSトランジスタのVthバラツキに起因するオフセットバラツキも同時にキャパシタ27s,27rにサンプルホールドされる。続いて、1列目のクランプ信号Clamp S(1),Clamp R(1)が“H”レベルに遷移し、クランプスイッチ24s,24rがオン状態となることで、ソースフォロワ25s,25rのオフセットバラツキ分が出力される(時刻t6)。
【0031】
なお、キャパシタ23s,23rにサンプルホールドしたデータを、読み出す前に破壊しないようにするためには、キャパシタ23s,23rの両端に接続されているリファレンススイッチ22とクランプスイッチ24s,24rとを同時にオン状態にしないようにする必要がある。すなわち、図5(b)から明らかなように、リファレンス信号Ref(i)を“L”レベルにした後、クランプ信号Clamp S(i),Clamp R(i)を“H”レベルに遷移させるようにすれば良い。
【0032】
上述したように、先ずキャパシタ23s,23rにサンプルホールドした信号レベル成分VsigSおよび基準レベル成分VsigRを出力した後、続いてソースフォロワ25s,25rのオフセットバラツキ成分を出力することで、水平出力回路16の両出力端子33s,33r間の電圧は、
g-sfC・g-sfc(VsigS−VsigR)+(sf-offset-SC)+(sf-offset-RC)…(1)
となる。
【0033】
すなわち、サンプルホールドスイッチ21のスイッチングに伴うオフセット性のノイズvsh が信号レベル系と基準レベル系で相殺され、信号レベル成分VsigSと基準レベル成分VsigRとの差に、垂直出力回路13のソースフォロワ25s,25rのゲインg-sfc および水平CCD5威出力回路16のソースフォロワ30s,30rのゲイン g-sfCが乗ぜられたものが出力されるため、サンプルホールドスイッチ21のスイッチングにより発生するオフセット性のバラツキに起因する固定パターンノイズを抑圧できる。なお、(1)式において、(sf-offset-SC)+(sf-offset-RC)は、全画素の信号に乗ってくる水平出力回路16のオフセット分であるので、固定パターンノイズにはならない。
【0034】
図6は、本発明の他の実施形態を示す概略構成図である。図6において、画素(ピクセル)51が行列状に多数配列されており、これら画素51の出力端が列単位で垂直信号線52-1〜52-nに接続されている。画素51の各々からは、信号が電圧として垂直信号線52-1〜52-nに出力される。垂直信号線52-1〜52-nの各一端には、各列ごとに信号レベル成分と基準レベル成分とを出力する垂直出力回路53-1〜53-nが接続されている。
【0035】
垂直出力回路53-1〜53-nの各々には、水平シフトレジスタ54から列選択信号Col(1)〜Col(n)が与えられるとともに、例えばパルス発生回路(図示せず)で生成されるリファレンス信号Ref およびクランプ信号Clamp S ,Clamp R が各列に共通に与えられる。垂直出力回路53-1〜53-nから出力される信号レベル成分および基準レベル成分は、2本の水平信号線55s,55rを介して水平出力回路56に供給される。
【0036】
上記構成の本実施形態と先の実施形態との違いは、先の実施形態では、リファレンス信号Ref(1)〜Ref(n)およびクランプ信号Clamp S(1)〜Clamp S(n),Clamp R(1)〜Clamp R(n)を各列ごとに独立に与えるようにしているのに対し、本実施形態では、リファレンス信号Ref およびクランプ信号Clamp S ,Clamp R を各列に共通に与えるようにしている点にある。なお、垂直出力回路53-1〜53-nおよび水平出力回路56としては、図2に示した先の実施形態の場合と同様の回路構成のものが用いられる。
【0037】
図7に、本実施形態に係るタイミングチャートを示す。垂直出力回路53-1〜53-nおよび水平出力回路56の基本的な回路動作は、先の実施形態の場合と同じである。ただし、上述したように、リファレンス信号Ref およびクランプ信号Clamp S ,R を各列共通にしている関係上、読み出し非選択の列のキャパシタ23s,23r(図2を参照)にサンプルホールドしたデータを破壊しないようにするために、リファレンス信号Ref とクランプ信号Clamp S ,R は、図5(c)に示す位相関係である必要がある。
【0038】
すなわち、時刻t7において、クランプ信号Clamp S ,R が先に“L”レベルに遷移した後、リファレンス信号Ref が“H”レベルに遷移することで、キャパシタ23s,23rの両端に接続されているリファレンススイッチ22とクランプスイッチ24s,24rが同時にオン状態にならないため、読み出し非選択の列のキャパシタ23s,23rの保持内容の破壊を確実に防止できる。
【0039】
なお、先の実施形態の場合には、リファレンス信号Ref(1)〜Ref(n)およびクランプ信号Clamp S(1)〜Clamp S(n),Clamp R(1)〜Clamp R(n)が各列独立であり、読み出し後(時刻t7)では、データが破壊されても構わないため、リファレンス信号Ref(1)〜Ref(n)とクランプ信号Clamp S(1)〜Clamp S(n),Clamp R(1)〜Clamp R(n)の位相関係は厳しくはなく、図5(b)に示すように、i列のクランプ信号Clamp S , R (i)の“L”レベルへの遷移とi+1列のリファレンス信号Ref(i+1)の“H”レベルへの遷移とが同タイミングであっても構わない。
【0040】
本実施形態の場合にも、先の実施形態の場合と同様に、サンプルホールドスイッチ21のスイッチングにより発生するオフセット性のバラツキに起因する固定パターンノイズを抑圧できる。また、リファレンス信号Ref およびクランプ信号Clamp S ,R を各列共通にしたことで、各列独立とした先の実施形態に比して、垂直出力回路53-1〜53-nの各々に対する配線系の構成を簡略化できる利点がある。
【0041】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、増幅型固体撮像装置において、各列ごとに設けられる垂直出力回路中のサンプルホールドスイッチを明時の信号レベル成分と暗時の基準レベル成分に共通化し、このサンプルホールドスイッチのスイッチングに伴うオフセット性のノイズが信号レベル成分および基準レベル成分の双方にに同じように乗るようにしたことにより、後段の回路で信号レベル成分および基準レベル成分の差分をとる際にこのノイズ成分をキャンセルできるので、画素の特性バラツキに起因する固定パターンノイズのみならず、回路の特性バラツキに起因する縦筋状の固定パターンノイズをも抑制できることになる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施形態を示す概略構成図である。
【図2】垂直出力回路および水平出力回路の具体的な回路構成を示す回路図である。
【図3】一実施形態に係るタイミングチャートである。
【図4】一実施形態に係る動作説明図である。
【図5】補足説明のためのタイミングチャートである。
【図6】本発明の他の実施形態を示す概略構成図である。
【図7】他の実施形態に係るタイミングチャートである。
【図8】従来例を示す回路図である。
【符号の説明】
11,51 画素 12-1〜12-n,52-1〜52-n 垂直信号線
13-1〜13-n,53-1〜53-n 垂直出力回路
14,54 水平シフトレジスタ
15r,15s,55r,55s 水平信号線
16,56 水平出力回路
[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a solid-state imaging device and a driving method thereof, and more particularly, to an amplification type solid-state imaging device and a driving method thereof in which a pixel itself has an amplification function and outputs a pixel signal as a voltage.
[0002]
[Prior art]
Known amplification type solid-state imaging devices include BASIS (Base Stored Image Senser), BCMD (Bulk Charge Modulation Device), and CMOS APS (Active Pixel Sensor). In these amplification type solid-state imaging devices, since the pixel is configured by using an active element such as a MOS structure in order to give the pixel itself an amplification function, characteristics of the active element (threshold voltage Vth, etc.) Variation will be on the image signal as it is. This variation in characteristics appears as fixed pattern noise (FPN) on the screen because each pixel has a fixed value.
[0003]
FIG. 8 shows a conventional example of an amplifying solid-state imaging device that is designed to remove fixed pattern noise caused by the characteristic variation of the pixels. In the drawing, a plurality of pixels 101 arranged in a matrix form have their output terminals connected to the vertical signal line 102 in column units. A vertical output circuit 103 for reading out the signal of each pixel 101 is connected to one end of each vertical signal line 102 for each column. FIG. 8 shows only a specific circuit configuration of the vertical output circuit 103 in a certain column.
[0004]
In the vertical output circuit 103, one end of each of the sample hold switches 104s and 104r made of NchMOS transistors is connected to one end of the vertical signal line 102. A switch 105 made of an Nch MOS transistor is connected between one end of the vertical signal line 102 and the reference potential VSS. Between the other ends of the sample hold switches 104s and 104r, switches 105s, 106 and 105r made of NchMOS transistors are connected in series.
[0005]
Capacitors 107s and 107r are connected between the other ends of the sample and hold switches 104s and 104r and the reference potential VSS. The other ends of the sample hold switches 104s and 104r are further connected to the gates of source followers 108s and 108r made of PchMOS transistors. One end of each of these source followers 108s and 108r is connected to a reference potential VSS, and a horizontal selection switch 109s and 109r made of a PchMOS transistor is connected between each other end and two horizontal signal lines 110s and 110r. Yes.
[0006]
Next, a circuit operation for removing fixed pattern noise in the conventional apparatus having the above configuration will be described.
[0007]
In a horizontal blanking period, when a certain row is selected by vertical scanning, a light signal component (hereinafter referred to as a signal level component) before pixel reset of the pixel 101 of the selected row and a dark after pixel reset are selected. The time signal components (hereinafter referred to as reference level components) are sequentially sampled by the sample and hold switches 104s and 104r and held in the capacitors 107s and 107r.
[0008]
Next, in a horizontal effective period, a certain column is selected by horizontal scanning, and the horizontal selection switches 109s and 109r of the selected column are turned on, whereby the signal level component held in the capacitors 107s and 107r and the reference Level components are read out to the horizontal signal lines 110 s and 110 r and further output to an external circuit via the horizontal output circuit 111. Then, in the external circuit, the difference between the two outputs is taken, so that the noise component riding on both the outputs is canceled out. As a result, a signal from which fixed pattern noise due to characteristic variations such as the threshold voltage Vth of the pixel 101 is removed can be obtained.
[0009]
[Problems to be solved by the invention]
However, in the above-described conventional amplification type solid-state imaging device, although it is possible to remove the fixed pattern noise caused by the characteristic variation of the pixel 101, in the vertical output circuit 103 between the vertical signal line 102 and the horizontal signal lines 110s and 110r. Since the signal level component and the reference level component are sampled and held by the separate sample and hold switches 104s and 104r, offset noise is generated along with the switching of the sample and hold switches 104s and 104r. If there is a difference between the columns due to the characteristic variation, it appears as fixed pattern noise in the form of vertical stripes on the screen.
[0010]
The present invention has been made in view of the above problems, and the object of the present invention is not only fixed pattern noise due to pixel characteristic variation but also vertical streak fixed pattern noise due to circuit characteristic variation. Another object of the present invention is to provide a solid-state imaging device and a driving method thereof that can suppress the above-described problem.
[0011]
[Means for Solving the Problems]
A solid-state imaging device according to the present invention includes a plurality of pixels arranged in a matrix, a first switch unit having one end connected to a vertical signal line in which output ends of these pixels are connected in units of columns, Second switch means connected between the other end of the first switch means and the reference potential point, and first and second power storage means each having one end connected in common to the other end of the first switch means And third and fourth switch means respectively connected between the other end of each of the power storage means and the reference potential point, and each of the other end of the first and second power storage means and the first and second The fifth and sixth switch means connected between the horizontal signal lines are provided for each column.
[0012]
In the driving method according to the present invention, in driving the solid-state imaging device having the above-described configuration, first, the first switch means and the third switch means are turned on, and the fourth switch means is turned off in the horizontal blanking period. The component (signal component at the time of light) is sampled and held in the first power storage means, then the first switch means and the fourth switch means are turned on, and the third switch means is turned off to turn on the reference level component (dark Time signal component) is sampled and held in the second power storage means, and then, in the horizontal effective period, the fifth, sixth switch means and second switch means are turned on in turn for each column. The light and dark signal components sampled and held by the two power storage means are read out to the first and second horizontal signal lines.
[0013]
In the solid-state imaging device having the above-described configuration and its driving method, first, in the horizontal blanking period, the first switch means is used to sample the signal level component, the third switch means is turned on, and the fourth switch means is turned off. Then, the output terminal of the first power storage unit is held at the first power storage unit by setting it as a reference potential. At this time, a noise component accompanying the switching of the first switch means comes on the first power storage means. Subsequently, similarly, the first switch means is used to sample the reference level component, the fourth switch means is turned on, the third switch means is turned off, and the output terminal of the second power storage means is connected to the reference potential. As a result, the second power storage means holds. Also at this time, a noise component accompanying the switching of the first switch means comes on the second power storage means.
[0014]
Next, in the horizontal effective period, the fifth and sixth switch means are sequentially turned on for each column to select the horizontal, and at the same time, the second switch means is turned on and each input of the first and second power storage means is made. By using the end as a reference potential, the signal level component and the reference level component sampled and held in the first and second power storage units are read out to the first and second horizontal signal lines. At this time, the signal level component and the reference level component are commonly accompanied by a noise component accompanying switching of the first switch means. Therefore, by taking the difference between the signal level component and the reference level component in the subsequent circuit, the noise component accompanying the switching of the first switch means is canceled. As a result, not only fixed pattern noise caused by pixel characteristic variation but also vertical streak fixed pattern noise caused by circuit characteristic variation can be suppressed.
[0015]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
[0016]
FIG. 1 is a schematic configuration diagram showing an embodiment of the present invention. In FIG. 1, a large number of pixels (pixels) 11 are arranged in a matrix, and output ends of these pixels 11 are connected to vertical signal lines 12-1 to 12-n in units of columns. From each of the pixels 11, a signal is output as a voltage to the vertical signal lines 12-1 to 12-n. Connected to one end of each of the vertical signal lines 12-1 to 12-n is a vertical output circuit 13-1 to 13-n that outputs a signal level component and a reference level component for each column.
[0017]
Each of the vertical output circuits 13-1 to 13-n is supplied with column selection signals Col (1) to Col (n) from the horizontal shift register 14, and also has reference signals Ref (1) to Ref (n) and clamps. Signals Clamp S (1) to Clamp S (n) and Clamp R (1) to Clamp R (n) are provided for each column. These timing signals are generated by the horizontal shift register 14 or another timing generation circuit (not shown). The signal level component and the reference level component output from the vertical output circuits 13-1 to 13-n are supplied to the horizontal output circuit 16 via the two horizontal signal lines 15s and 15r.
[0018]
FIG. 2 shows a specific circuit configuration of the vertical output circuit 13-i and the horizontal output circuit 16 in i columns. First, in the vertical output circuit 13-i, one end of a sample hold switch 21 made of an Nch MOS transistor is connected to one end of the vertical signal line 12-i. A sample hold signal SH is applied to the gate of the sample hold switch 21. A reference switch 22 composed of an Nch MOS transistor is connected between the other end of the sample hold switch 21 and the reference potential Vref. A reference signal Ref is applied to the gate of the reference switch 22.
[0019]
The other end of the sample hold switch 21 is further connected to one ends of capacitors 23r and 23s as first and second power storage means. Clamp switches 24r and 24s made of NchMOS transistors are connected between the other ends of the capacitors 23r and 23s and the reference potential Vref. Clamp signals Clamp R and Clamp S are applied to the gates of the clamp switches 24r and 24s, respectively.
[0020]
The other ends of the capacitors 23r and 23s are further connected to the gates of source followers 25r and 25s made of PchMOS transistors. The drains of these source followers 25r and 25s are connected to the negative power source VSS. Each source of the source followers 25r and 25s is connected to each drain of horizontal selection switches 26r and 26s made of PchMOS transistors. A column selection signal Col is applied to the gates of the horizontal selection switches 26r and 26s. The sources of the horizontal selection switches 26r and 26s are connected to the horizontal signal lines 15r and 15s.
[0021]
Subsequently, in the horizontal output circuit 15, one end of each of the capacitors 27r and 27s is connected to one end of each of the horizontal signal lines 15r and 15s. Switches 28r and 28s made of PchMOS transistors are connected between one end of each of the capacitors 27r and 27s and the positive power supply VDD. Also, clamp switches 29r and 29s made of PchMOS transistors are connected between the other ends of the capacitors 27r and 27s and the reference potential Vref.
[0022]
The other ends of the capacitors 27r and 27s are further connected to the input ends of the source follower circuits 30r and 30s, that is, the gates of the drive transistors 31r and 31s formed of NchMOS transistors. The drains of the drive transistors 31r and 31s are connected to the positive power supply VDD, and the sources are connected to the negative power supply VSS via load transistors 32r and 32s made of NchMOS transistors. The sources of the drive transistors 31r and 31s are connected to the output terminals 33r and 33s.
[0023]
Next, circuit operations of the vertical output circuits 13-1 to 13-n and the horizontal output circuit 16 configured as described above will be described with reference to the operation explanatory diagram of FIG. 4 using the timing chart of FIG.
[0024]
In FIG. 4, VsigS is a signal level component of the pixel 11, and VsigR is a reference level component of the pixel 11. vsh is offset noise accompanying switching of the sample hold switch 21, vclampS is offset noise accompanying switching of the clamp switch 24s, and vclampR is offset noise accompanying switching of the clamp switch 24r. g-sfc is the gain of the source followers 25s and 25r of the vertical output circuit 13, and g-sfC is the gain of the source followers 30s and 30r of the horizontal output circuit 16. sf-offset-Sc is the offset of the source follower 25s for the signal level of the vertical output circuit 13, sf-offset-Rc is the offset of the source follower 25r for the reference level of the vertical output circuit 13, and sf-offset-SC is the horizontal output The offset of the source follower 30s for the signal level of the circuit 16 and sf-offset-RC are the offset of the source follower 30r for the reference level of the horizontal output circuit 16.
[0025]
In the horizontal blanking period HBLK, the sample hold signal SH becomes “H” level, and the clamp signals Clamp S (1), Clamp S (2),. When the clamp signals Clamp R (1), Clamp R (2),... Become “L” level (time t1), the sample hold switch 21 and the clamp switch 24s are turned on, and the clamp switch 24r is turned off. The signal level component VsigS is sampled and held in the capacitor 23s.
[0026]
At this time, as apparent from FIG. 5A, the sample hold switch 21 is turned off first, and then the clamp switch 24s is turned off (time t2). With this phase relationship, noise accompanying switching of the sample hold switch 21 (hereinafter referred to as switching noise) rides on the capacitor 23s, but the effect of the switching noise of the clamp switch 24s is the output of the capacitor 23s. If the end parasitic capacitance is Co / capacitor 23s and C is C / C, there is almost no Co / C. The period from time t1 to time t2 is a period during which the signal level component VsigS of the pixel 11 is sampled and held.
[0027]
Similarly, the sample-and-hold signal SH becomes “H” level, and the clamp signals Clamp R (1), Clamp R (2),... When S (1), Clamp S (2),... Becomes “L” level (time t3), the sample hold switch 21 and the clamp switch 24r are turned on, and the clamp switch 24s is turned off. The component VsigR is sampled and held in the capacitor 23r.
[0028]
When sample-holding the reference level component VsigR, as in the case of sample-holding the signal level component VsigS (see FIG. 5A), the sample-hold switch 21 is turned off first, and then the clamp switch 24r is turned on. Turn off (time t4). The period from time t3 to time t4 is a period during which the reference level component VsigR of the pixel 11 is sampled and held.
[0029]
Subsequently, the operation shifts to a signal reading operation from the vertical output circuits 13-1 to 13-n of each column. In the horizontal effective period, first, the column selection signal Col (1) of the first column becomes “L” level, and the vertical output circuit 13-1 of the first column is selected. The horizontal selection switches 26s and 26r are turned on (time t5). At this time, the reference signal Ref (1) in the first column becomes “H” level, and the reference switch 22 is turned on. As a result, the signal level component VsigS and the reference level component VsigR sampled and held in the capacitors 23s and 23r are output to the horizontal signal lines 15s and 15r via the source followers 25s and 25r and the horizontal selection switches 26s and 26r.
[0030]
Then, the clamp signal Clamp that has been in the “H” level state transitions to the “L” level and the clamp switches 29 s and 29 r are turned off, so that the signal level component VsigS and the reference level component VsigR become the capacitors 27 s, Sampled and held at 27r. At this time, the offset variation caused by the Vth variation of the PMOS transistors constituting the source followers 25s and 25r is simultaneously sampled and held in the capacitors 27s and 27r. Subsequently, when the clamp signals Clamp S (1) and Clamp R (1) in the first column transition to the “H” level and the clamp switches 24s and 24r are turned on, the offset variation of the source followers 25s and 25r. Minutes are output (time t6).
[0031]
In order to prevent the data sampled and held in the capacitors 23s and 23r from being destroyed before being read, the reference switch 22 and the clamp switches 24s and 24r connected to both ends of the capacitors 23s and 23r are simultaneously turned on. It is necessary to avoid it. That is, as apparent from FIG. 5B, after the reference signal Ref (i) is set to the “L” level, the clamp signals Clamp S (i) and Clamp R (i) are changed to the “H” level. You can do it.
[0032]
As described above, the signal level component VsigS and the reference level component VsigR sampled and held first are output to the capacitors 23s and 23r, and then the offset variation components of the source followers 25s and 25r are output, whereby the horizontal output circuit 16 The voltage between the output terminals 33s and 33r is
g-sfC ・ g-sfc (VsigS−VsigR) + (sf-offset-SC) + (sf-offset-RC) (1)
It becomes.
[0033]
That is, the offset noise vsh accompanying the switching of the sample hold switch 21 is canceled between the signal level system and the reference level system, and the difference between the signal level component VsigS and the reference level component VsigR causes the source follower 25s, The output is obtained by multiplying the gain g-sfc of 25r and the gain g-sfC of the source followers 30s and 30r of the horizontal CCD 5 power output circuit 16 and is caused by the variation in offset characteristics caused by the switching of the sample hold switch 21. Fixed pattern noise can be suppressed. In the equation (1), (sf-offset-SC) + (sf-offset-RC) is an offset amount of the horizontal output circuit 16 riding on the signals of all pixels, and thus does not become fixed pattern noise. .
[0034]
FIG. 6 is a schematic configuration diagram showing another embodiment of the present invention. In FIG. 6, a large number of pixels (pixels) 51 are arranged in a matrix, and the output ends of these pixels 51 are connected to vertical signal lines 52-1 to 52-n in units of columns. From each of the pixels 51, a signal is output as a voltage to the vertical signal lines 52-1 to 52-n. Connected to one end of each of the vertical signal lines 52-1 to 52-n is a vertical output circuit 53-1 to 53-n for outputting a signal level component and a reference level component for each column.
[0035]
Each of the vertical output circuits 53-1 to 53-n receives column selection signals Col (1) to Col (n) from the horizontal shift register 54 and is generated by, for example, a pulse generation circuit (not shown). A reference signal Ref and clamp signals Clamp S and Clamp R are commonly applied to each column. The signal level component and the reference level component output from the vertical output circuits 53-1 to 53-n are supplied to the horizontal output circuit 56 via the two horizontal signal lines 55s and 55r.
[0036]
The difference between the present embodiment having the above configuration and the previous embodiment is that, in the previous embodiment, the reference signals Ref (1) to Ref (n) and the clamp signals Clamp S (1) to Clamp S (n), Clamp R While (1) to Clamp R (n) are independently given to each column, in this embodiment, the reference signal Ref and the clamp signals Clamp S and Clamp R are commonly given to each column. There is in point. As the vertical output circuits 53-1 to 53-n and the horizontal output circuit 56, those having the same circuit configuration as those of the previous embodiment shown in FIG. 2 are used.
[0037]
FIG. 7 shows a timing chart according to the present embodiment. The basic circuit operations of the vertical output circuits 53-1 to 53-n and the horizontal output circuit 56 are the same as those in the previous embodiment. However, as described above, because the reference signal Ref and the clamp signals Clamp S and R are common to each column, the data sampled and held in the capacitors 23s and 23r (see FIG. 2) in the read unselected column is destroyed. In order to avoid this, the reference signal Ref and the clamp signals Clamp S and R need to have the phase relationship shown in FIG.
[0038]
That is, at time t7, after the clamp signals Clamp S and R first transit to the “L” level, the reference signal Ref transits to the “H” level, whereby the reference connected to both ends of the capacitors 23s and 23r. Since the switch 22 and the clamp switches 24s and 24r are not turned on at the same time, it is possible to reliably prevent the contents held in the capacitors 23s and 23r in the read non-selected column from being destroyed.
[0039]
In the case of the previous embodiment, the reference signals Ref (1) to Ref (n), the clamp signals Clamp S (1) to Clamp S (n), and Clamp R (1) to Clamp R (n) Since it is column independent and data may be destroyed after reading (time t7), the reference signals Ref (1) to Ref (n) and the clamp signals Clamp S (1) to Clamp S (n), Clamp The phase relationship between R (1) to Clamp R (n) is not strict. As shown in FIG. 5B, the transition of the i-th row clamp signals Clamp S and R (i) to the “L” level and i + 1 The transition to the “H” level of the column reference signal Ref (i + 1) may be at the same timing.
[0040]
Also in this embodiment, fixed pattern noise caused by variation in offset characteristics caused by switching of the sample and hold switch 21 can be suppressed as in the case of the previous embodiment. Further, since the reference signal Ref and the clamp signals Clamp S and R are made common to the respective columns, the wiring system for each of the vertical output circuits 53-1 to 53-n is compared with the previous embodiment in which each column is independent. There is an advantage that the configuration can be simplified.
[0041]
【The invention's effect】
As described above, according to the present invention, in the amplification type solid-state imaging device, the sample hold switch in the vertical output circuit provided for each column is shared by the signal level component in the light and the reference level component in the dark. The difference between the signal level component and the reference level component is obtained in the subsequent circuit by causing the offset noise accompanying the switching of the sample hold switch to ride on both the signal level component and the reference level component in the same way. At this time, since this noise component can be canceled, not only fixed pattern noise caused by pixel characteristic variation but also vertical streak-like fixed pattern noise caused by circuit characteristic variation can be suppressed.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a schematic configuration diagram showing an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a circuit diagram showing specific circuit configurations of a vertical output circuit and a horizontal output circuit.
FIG. 3 is a timing chart according to one embodiment.
FIG. 4 is an operation explanatory diagram according to one embodiment.
FIG. 5 is a timing chart for supplementary explanation.
FIG. 6 is a schematic configuration diagram showing another embodiment of the present invention.
FIG. 7 is a timing chart according to another embodiment.
FIG. 8 is a circuit diagram showing a conventional example.
[Explanation of symbols]
11, 51 Pixels 12-1 to 12-n, 52-1 to 52-n Vertical signal lines 13-1 to 13-n, 53-1 to 53-n Vertical output circuits 14, 54 Horizontal shift registers 15r, 15s, 55r, 55s Horizontal signal lines 16, 56 Horizontal output circuit

Claims (6)

行列状に配列された複数の画素と、
前記複数の画素の各出力端が列単位で接続された垂直信号線に一端が接続された第1のスイッチ手段と、
前記第1のスイッチ手段の他端と基準電位点との間に接続された第2のスイッチ手段と、
前記第1のスイッチ手段の他端に各一端が共通に接続された第1,第2の蓄電手段と、
前記第1,第2の蓄電手段の各他端と基準電位点との間にそれぞれ接続された第3,第4のスイッチ手段と、
前記第1,第2の蓄電手段の各他端と第1,第2の水平信号線との間に接続された第5,第6のスイッチ手段と
を各列ごとに備えたことを特徴とする固体撮像装置。
A plurality of pixels arranged in a matrix;
First switch means having one end connected to a vertical signal line in which the output ends of the plurality of pixels are connected in columns;
Second switch means connected between the other end of the first switch means and a reference potential point;
First and second power storage means each having one end connected in common to the other end of the first switch means;
Third and fourth switch means respectively connected between the other ends of the first and second power storage means and a reference potential point;
A fifth and sixth switch means connected between each other end of the first and second power storage means and the first and second horizontal signal lines is provided for each column. Solid-state imaging device.
行列状に配列された複数の画素と、前記複数の画素の各出力端が列単位で接続された垂直信号線に一端が接続された第1のスイッチ手段と、前記第1のスイッチ手段の他端と基準電位点との間に接続された第2のスイッチ手段と、前記第1のスイッチ手段の他端に各一端が共通に接続された第1,第2の蓄電手段と、前記第1,第2の蓄電手段の各他端と基準電位点との間にそれぞれ接続された第3,第4のスイッチ手段と、前記第1,第2の蓄電手段の各他端と第1,第2の水平信号線との間に接続された第5,第6のスイッチ手段とを各列ごとに備えた固体撮像装置の駆動方法であって、
水平ブランキング期間において、先ず、前記第1のスイッチ手段および前記第3のスイッチ手段をオン、前記第4のスイッチ手段をオフさせて明時の信号成分を前記第1の蓄電手段にサンプルホールドし、続いて前記第1のスイッチ手段および前記第4のスイッチ手段をオン、前記第3のスイッチ手段をオフさせて暗時の信号成分を前記第2の蓄電手段にサンプルホールドし、
次に水平有効期間において、各列ごとに順に前記第5,第6のスイッチ手段および前記第2のスイッチ手段をオンさせて前記第1,第2の蓄電手段にサンプルホールドされている明時および暗時の各信号成分を前記第1,第2の水平信号線に読み出す
ことを特徴とする固体撮像装置の駆動方法。
A plurality of pixels arranged in a matrix, a first switch means having one end connected to a vertical signal line in which output ends of the plurality of pixels are connected in units of columns, and the first switch means A second switch means connected between one end and a reference potential point; first and second power storage means each having one end connected in common to the other end of the first switch means; and the first , Third and fourth switch means connected between the other end of the second power storage means and the reference potential point, respectively, and the other end of the first and second power storage means and the first and first A solid-state imaging device driving method comprising, for each column, fifth and sixth switch means connected between two horizontal signal lines,
In the horizontal blanking period, first, the first switch means and the third switch means are turned on, the fourth switch means is turned off, and the signal component at the time of light is sampled and held in the first power storage means. Subsequently, the first switch means and the fourth switch means are turned on, the third switch means is turned off, and the dark signal component is sampled and held in the second power storage means,
Next, in the horizontal effective period, the fifth and sixth switch means and the second switch means are sequentially turned on for each column, and the light is sampled and held in the first and second power storage means. A driving method of a solid-state imaging device, wherein each signal component in the dark is read out to the first and second horizontal signal lines.
前記第1のスイッチ手段および前記第3,第4のスイッチ手段をオフさせるとき、前記第1のスイッチ手段をオフさせた後前記第3,第4のスイッチ手段をオフさせる
ことを特徴とする請求項2記載の固体撮像装置の駆動方法。
When turning off the first switch means and the third and fourth switch means, the third switch means is turned off after turning off the first switch means. Item 3. A driving method of a solid-state imaging device according to Item 2.
前記第2のスイッチ手段をオフさせた後、前記第3,第4のスイッチ手段をオンさせる
ことを特徴とする請求項2記載の固体撮像装置の駆動方法。
3. The method for driving a solid-state imaging device according to claim 2, wherein after the second switch means is turned off, the third and fourth switch means are turned on.
前記第2のスイッチ手段および前記第3,第4のスイッチ手段を駆動する各タイミング信号を各列独立に与える
ことを特徴とする請求項2記載の固体撮像装置の駆動方法。
3. The method of driving a solid-state imaging device according to claim 2, wherein each timing signal for driving the second switch means and the third and fourth switch means is applied to each column independently.
前記第2のスイッチ手段および前記第3,第4のスイッチ手段を駆動する各タイミング信号を各列共通に与える
ことを特徴とする請求項2記載の固体撮像装置の駆動方法。
3. A method for driving a solid-state imaging device according to claim 2, wherein the timing signals for driving the second switch means and the third and fourth switch means are applied in common to each column.
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