JP3855287B2 - Ozone generator - Google Patents

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JP3855287B2
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克治 山本
和弘 設楽
宏樹 広瀬
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石川島播磨重工業株式会社
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Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は脱臭・殺菌作用などを有するオゾンを発生するオゾン生成装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
強力な酸化力を有し、脱臭・殺菌剤等として用いられるオゾンは、一般に無声放電を利用して生成されており、そのための装置も種々提案されているが、本発明者らはこのオゾンを生成する装置の一つとして先に図4に示すような構造のオゾン生成装置を提案している(特願平5−65494号)。
【0003】
図示するように、このオゾン発生装置は、誘電体膜6を備えた平板状の電極1を複数枚上下多段に積層すると共に、これら電極1間にそれぞれ額縁状のスペーサ2を介して放電ギャップ3を区画形成した積層型の反応器4を備えて構成されている。そして、この反応器4を構成する各平板電極1に高電圧線Vとアース線Aを交互に接続してアース電極と高電圧電極が対向するように形成した状態とした後、これに高電圧を印加して放電を行うと同時に、各放電ギャップ3にそれぞれ純酸素ガスあるいは空気等の酸素含有原料ガスを通過させることで原料ガスから酸素の同素体であるオゾンを連続的に生成するものである。尚、図中5は、放電による電極の加熱を防止すべく冷却水や冷却ガス等の冷媒を流すために、各平板電極1内に形成された冷媒流路である。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、このような構造をしたオゾン生成装置では以下に示すような不都合点があった。
【0005】
1.先ず、各放電ギャップ3がそれぞれ独立し、個々の放電ギャップ3を流路として原料ガスを流すようになっていることから、図示するように、それぞれの原料ガス入口8とオゾン出口9に原料ガスを供給する配管8aと、オゾンを取り出す配管9aとを放電ギャップ3と略同じ数だけ接続する必要があるため、多数の配管や継手の組み込み作業が必要となり、製造効率が良くなかった。しかも、これら配管8a、9a、特に、オゾンを取り出す側の配管9aはオゾンに対する耐食性に優れたテフロン等の高価な樹脂製のものが数多く必要とされることから製造部品コストが高くなってしまうといった欠点があった。
【0006】
2.また、従来のオゾン生成装置では反応器4自体が一応、ケーシング(図示せず)などで覆われているものの、基本的に大気中に開放された状態となっていることから、その周囲に空気中の水分が、平板電極1内を流れる冷却水等の冷媒によって冷却されてその反応器4表面に結露し、これによって電極1に印加している高電圧がリークしてしまうおそれがあった。
【0007】
3.さらに、図示するように、この反応器4を構成する各放電ギャップ3は、これを区画形成すべく各電極1の外縁部に位置するガスケットなどのスペーサ2を上下押え板7,7とボルトナット7aによって上下から圧縮することで気密性が保持されるようになっていることから、その間隔の大きさや幅を均一にするための寸法調整が困難であり、その調整作業には高度な熟練度を要するといった不都合があった。
【0008】
そこで、本発明はこのような課題を有効に解決するために案出されたものであり、その主な目的は製造が容易で、しかも安価に得ることができる新規なオゾン生成装置を提供するものである。
【0009】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために第一の発明は、平板電極を上下多段に積層すると共に、これら各平板電極間にオゾンを生成すべく放電ギャップを区画形成し、最上下に位置する平板電極に、それぞれ原料ガス入口又はオゾン出口を形成すると共に、この最上下平板電極間に位置する各平板電極に、上記放電ギャップ間をそれぞれ連通すべく連通孔を穿孔して反応器を構成し、この反応器の上記原料ガス入口及びオゾン出口にそれぞれ原料ガス供給管及びオゾン取出管を接続してなるものである。従って、反応器内の各放電ギャップ間が全て連通されて一つの流路を形成することとなるため、必要とする配管の数や継手の組み込み作業が少なくなって製造が容易となると共に、製造コストも安価に抑えることができる。
【0010】
また、第二の発明では、この反応器自体を密閉容器に収容し、この密閉容器内に直接原料ガスを供給して原料ガスの流路として用いたことから、上述した効果に加えて、この原料ガスの露点を管理するだけで、反応器表面への結露が防止され、これによる高電圧のリーク等の不都合を未然に防止できる。
【0011】
さらに、第三の発明では、上記反応容器の放電ギャップを区画形成するために、従来のガスケットに代えて、額縁状のセラミック製スペーサを用いたことから、従来のような圧縮による放電ギャップの寸法調整が不要となり、高精度の反応器を容易に得ることができ、さらにこのスペーサと平板電極同士を200℃以下の低温焼成型の無機接着剤で接合したため、放電ギャップの気密性を容易確実に保持することができる。
【0012】
また、第四の発明では、従来と同様に、各平板電極に、冷却水を流すための冷却水路又は冷却風を流すための冷却風路を形成することで、電極を直接冷却することができるため、発熱に伴うオゾン生成率の低下を未然に防止することができる。
【0013】
【発明の実施の形態】
次に、本発明を実施する好適一形態を説明する。
【0014】
図1は本発明に係るオゾン生成装置の一形態を示す構成図である。
【0015】
まず、図中4は本発明装置を構成する反応器であり、この反応器4は平板電極1,1を複数枚上下多段に積層すると共に、これら各平板電極1,1間に、樹脂製ガスケットなどからなる額縁状のスペーサ2を介して放電ギャップ3が区画形成されている。また、この各平板電極1,1の表面には誘電体膜6が被覆形成されると共に、各平板電極1,1には交互にアース電線Aと高電圧電線が接続されてアース電極と高電圧電極が交互に形成されており、このアース電極と高電圧電極間に高電圧を印加することで、放電ギャップ3内に放電が発生されるようになっている。
【0016】
また、最上部に位置する平板電極1には、その側面から下面側にかけて連通された原料ガス入口8が穿孔されると共に、原料ガスを供給するための原料ガス供給管8aが接続されており、この平板電極1の下面に位置する放電ギャップ3側に原料ガスを供給するように反応器4が構成される。一方、反応容器4の下部に位置する平板電極1側にもその外側からその上面側にかけて連通されたオゾン出口9が穿孔されると共に、オゾンを取り出すためのオゾン取出管9aが接続されており、この平板電極1の下面に位置する放電ギャップ3側のガスを反応器4外へ取り出すようになっている。さらに、これら最上下に位置する平板電極1,1間の各平板電極1,…には、これを上下に貫通するような連通孔10が、各平板電極1の対角付近に交互にそれぞれ穿孔されており、各平板電極1,…の上下に位置する放電ギャップ3,3がこの連通孔10によって上下に連通されている。
従って、原料ガス供給管8aから原料ガス入口8側に供給された原料ガスは、滞留することなく、図示矢印に示すように各放電ギャップ3を蛇行するように下方に流れた後、最下部に位置する平板電極1に形成されたオゾン出口9を通過してオゾン取出管9aから反応器4の外へ流れることになる。ここで、本発明装置に用いる原料ガスとしては、純酸素ガスや空気等のオゾンの原料となる酸素を含むものをいい、特に具体的に限定されるものではない。また、平板電極1の積層枚数も少なくとも3枚以上あれば本発明の効果が得られることから、3枚以上であればその数は勿論、大きさや形状、板厚等は特に限定されるものではない。さらに、この平板電極1を構成する材質も導電性を有するものであれば、特に限定されるものでもないが、例えば、鉄、銅、アルミニウム等の良導電体単体あるいはこれらの合金であれば、加工性やコスト的にも適している。
【0017】
そして、このような状態で、上述したように各平板電極1,1間に高電圧を印加し、放電ギャップ3内に放電を発生させることで、これらの放電ギャップ3内を流れる原料ガスが徐々にオゾンに変換され、オゾン取出管9aから取り出されることになる。
【0018】
このように本発明は各平板電極1に連通孔10を形成して隣り合う放電ギャップ3を連通させて、順次原料ガスを流すようにしたことから、原料ガスの流路の数を大幅に減少することができる。すなわち、本形態では原料ガスの流路が一つになるため、これに原料ガスを供給する原料ガス供給管8aと、オゾンを取り出すオゾン取出管9aの数がそれぞれ1本ずつで済むことになる。従って、従来のものに比較して構造がシンプルとなって装置全体の製造効率が上昇すると同時に、高価な配管を多数使用する必要が無くなって製造コストの低減も達成される。尚、図中7,7はこの反応器4を固定する押え板、5は放電に伴う平板電極1の加熱を防止するための冷却水や冷却ガスを流すための冷媒流路であり、これらの構造は特に従来のものと大きく異なるものではない。
【0019】
次に、図2は本発明の第二の形態を示したものであり、放電ギャップ3を区画形成するためのスペーサ2の材質として硬質のセラミック材を用いると共に、このスペーサ2とその上下に位置する平板電極1,1同士を200℃以下の低温焼成型の無機接着剤12で接合したものである。すなわち、上述したように、従来の反応器ではスペーサとして樹脂系のガスケット等のような比較的可撓性を有する材料を用い、押え板7,7で圧縮することによってこのガスケットを潰し、その反発力によって放電ギャップ3の気密性を保つようしていたが、このような方法では、気密性と放電ギャップ3の間隔のバランスが難しいといった不都合があった。さらに、PTFE等の樹脂系ガスケットを使用した場合、放電によりガスケット自体が浸食されてしまうため、交換(メンテナンス)の頻度が多くなる。そこで、本形態ではスペーサ2として高耐久性、高硬度の特長を有するセラミック材を用いたことから、放電ギャップ3の寸法調整が不要となって高精度の反応器を容易に得ることができる上に、放電による劣化に伴うメンテナンス頻度を少なくすることができる。そして、このセラミック製スペーサと平板電極同士を200℃以下の低温焼成型の無機接着剤12で接合することにより、放電ギャップ3の気密性を容易確実に保持することができる。具体的には、上述したような低温焼成型の無機接着剤をペースト状にしてその接合部に塗布にした後、加熱することで、接着と共に、気密性を保持することが可能となる。
【0020】
次に、図3は本発明の第三の形態を示したものである。図示するように本形態は、上述したような構成をした反応器4全体を密閉容器11内に収容すると共に、この密閉容器11の区画壁に原料ガスを供給する原料ガス供給管8aを直接接続して、密閉容器11内を原料ガスの通路として用いたものであり、これによって原料ガスの露点を管理するだけで、反応器4表面への結露が防止され、高電圧のリーク等の不都合を未然に防止できる。すなわち、従来の装置は、その反応器4が一応、ケーシングなどに収容されている場合があるものの、基本的に大気開放されて大気中に曝された状態となっているため、これを湿潤雰囲気などで使用した際に、その雰囲気中の水分が平板電極1内を流れる冷却水などの冷媒によって冷却されて平板電極1の表面に結露してしまい、この結露部分から電極に印加された高電圧がリークする虞があったが、本形態のように反応器4全体を密閉容器11内に収容し、この密閉容器11内に直接原料ガスを供給すれば、この原料ガスの露点を予め管理しさえしておけば、いかなる湿潤雰囲気下でも結露によるリークなどが発生せず、安全に使用することが可能となる。特に本形態では、平板電極1を冷却するための冷媒として、露点の低い冷媒、例えば、アンモニアやフロンなどのような露点の低い冷媒を用いた場合にはその効果が顕著に現れる。尚、通常、このようなオゾン生成装置に用いられる原料ガスはその露点が−50℃以下のものが使用されていることから、通常の使用ではさらに原料ガスの露点を調整する必要等はない。しかもこのような構成とすることにより、反応器4内の気密性が低下して内部の高濃度オゾンが漏れだしたとしても、大気中に拡散することがなくなり、高い安全性を維持することも可能となる。
【0021】
また、密閉容器の内圧と放電ギャップの内圧が同じになるため、放電ギャップの気密性が容易に保持できる。
【0022】
【発明の効果】
以上要するに本発明によれば、以下の如く優れた効果を発揮する。
【0023】
1.先ず、反応器を構成する平板電極のうち最上下の平板電極に挟まれた電極に、それぞれ連通孔を形成したことから、必要とする配管及び継ぎ手の数を大幅に減少することが可能となる。従って、配管組立に要する時間が短縮されて製造効率が上昇すると共に、高価な配管の数を減って製造コストが大幅に低減される。
【0024】
2.放電ギャップを区画形成するスペーサとしてセラミック製のものを用い、これを200℃以下の低温焼成型の無機接着剤で平板電極側に接合したため、放電ギャップの寸法調整が容易となり、高精度高品質の反応器を容易に得ることができる。
【0025】
3.反応器全体を密閉容器に入れ、この密閉容器内に直接原料ガスを流すように構成したことから、湿潤雰囲気下での使用においても密閉容器への結露による高電圧の短絡事故が未然に防止されると同時に、万が一反応器内の高濃度オゾンが漏れだしてもそのまま大気中に拡散することが無くなり、信頼性及び安全性が保証される。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係るオゾン生成装置の第一の形態を示す構成図である。
【図2】本発明に係るオゾン生成装置の第二の形態を示す構成図である。
【図3】本発明に係るオゾン生成装置の第三の形態を示す構成図である。
【図4】従来のオゾン生成装置の一例を示す構成図である。
【符号の説明】
1 平板電極
2 スペーサ
3 放電ギャップ
4 反応器
5 冷媒流路
8 原料ガス入口
8a 原料ガス供給管
9 オゾン出口
9a オゾン取出管
10 連通孔
11 密閉容器
[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to an ozone generator that generates ozone having a deodorizing and sterilizing action.
[0002]
[Prior art]
Ozone, which has a strong oxidizing power and is used as a deodorizing / disinfecting agent, is generally generated by using silent discharge, and various devices have been proposed for this purpose. As one of the generating apparatuses, an ozone generating apparatus having a structure as shown in FIG. 4 has been proposed (Japanese Patent Application No. 5-65494).
[0003]
As shown in the figure, this ozone generator stacks a plurality of plate-like electrodes 1 each having a dielectric film 6 in upper and lower stages and discharge gaps 3 between the electrodes 1 via frame-like spacers 2. Is provided with a stacked type reactor 4 in which is formed. Then, after the high voltage line V and the ground line A are alternately connected to the flat plate electrodes 1 constituting the reactor 4 so that the ground electrode and the high voltage electrode face each other, At the same time as discharge is performed, ozone is continuously generated from the source gas by passing an oxygen-containing source gas such as pure oxygen gas or air through each discharge gap 3. . In the figure, reference numeral 5 denotes a refrigerant flow path formed in each plate electrode 1 in order to flow a refrigerant such as cooling water or a cooling gas in order to prevent heating of the electrode due to discharge.
[0004]
[Problems to be solved by the invention]
Incidentally, the ozone generator having such a structure has the following disadvantages.
[0005]
1. First, since each discharge gap 3 is independent and the source gas flows through each discharge gap 3 as a flow path, the source gas is introduced into each source gas inlet 8 and ozone outlet 9 as shown in the figure. Since it is necessary to connect the piping 8a for supplying ozone and the piping 9a for taking out ozone by the substantially same number as the discharge gap 3, a large number of pipes and joints must be assembled, resulting in poor manufacturing efficiency. In addition, these pipes 8a and 9a, in particular, the pipe 9a on the ozone extraction side, require a large number of expensive resin products such as Teflon having excellent corrosion resistance against ozone, resulting in an increase in manufacturing component costs. There were drawbacks.
[0006]
2. In the conventional ozone generator, although the reactor 4 itself is temporarily covered with a casing (not shown) or the like, it is basically open to the atmosphere. The water inside is cooled by a coolant such as cooling water flowing in the plate electrode 1 and condensed on the surface of the reactor 4, which may cause leakage of the high voltage applied to the electrode 1.
[0007]
3. Further, as shown in the figure, each discharge gap 3 constituting the reactor 4 is provided with a spacer 2 such as a gasket positioned on the outer edge of each electrode 1 to form a partition, and the upper and lower press plates 7 and 7 and bolts and nuts. Since the airtightness is maintained by compressing from above and below by 7a, it is difficult to adjust the size to make the gap size and width uniform. There was an inconvenience of requiring.
[0008]
Accordingly, the present invention has been devised in order to effectively solve such problems, and its main purpose is to provide a novel ozone generator that is easy to manufacture and can be obtained at low cost. It is.
[0009]
[Means for Solving the Problems]
The first invention for solving the above problems, as well as laminating the flat plate electrodes above and below the multi-stage, the discharge gap to generate ozone between respective plate electrodes is partitioned form, the plate electrode located on the outermost upper and lower, Each of the raw material gas inlet or the ozone outlet is formed, and a communication hole is formed in each flat plate electrode positioned between the uppermost flat plate electrodes so as to communicate between the discharge gaps . each of the above raw material gas inlet and ozone outlet is made by connecting the source gas supply pipe and the ozone removing tube. Accordingly, all the discharge gaps in the reactor are all connected to form a single flow path, so that the number of necessary pipes and the fitting work of the joints are reduced, and the manufacturing becomes easy. Cost can also be kept low.
[0010]
In the second invention , the reactor itself is housed in a sealed container, and the raw material gas is supplied directly into the sealed container and used as a flow path for the raw material gas. By simply controlling the dew point of the raw material gas, dew condensation on the reactor surface can be prevented, and inconveniences such as high voltage leakage can be prevented beforehand.
[0011]
Further, in the third invention , since the frame-shaped ceramic spacer is used in place of the conventional gasket in order to form the discharge gap of the reaction vessel, the size of the discharge gap by compression as in the prior art is used. No adjustment is required, and a high-accuracy reactor can be easily obtained. Furthermore, since this spacer and the flat plate electrodes are joined with a low-temperature firing type inorganic adhesive at 200 ° C. or lower, the airtightness of the discharge gap can be easily and reliably obtained. Can be held.
[0012]
In the fourth aspect of the invention , as in the prior art , each plate electrode can be directly cooled by forming a cooling water passage for flowing cooling water or a cooling air passage for flowing cooling air. Therefore, it is possible to prevent the ozone generation rate from decreasing due to heat generation.
[0013]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Next, a preferred embodiment for carrying out the present invention will be described.
[0014]
FIG. 1 is a block diagram showing an embodiment of an ozone generator according to the present invention.
[0015]
First, reference numeral 4 in the figure denotes a reactor constituting the apparatus of the present invention. This reactor 4 is formed by laminating a plurality of flat plate electrodes 1 and 1 in a plurality of upper and lower stages, and a resin gasket between the flat plate electrodes 1 and 1. A discharge gap 3 is defined by a frame-shaped spacer 2 made up of, for example. Further, the dielectric film 6 is coated formed on the surface of the respective plate electrodes 1,1, the high and the ground electrode are connected alternately to the ground wire A and the high-voltage electric wire V to each plate electrodes 1,1 The voltage electrodes are alternately formed, and a discharge is generated in the discharge gap 3 by applying a high voltage between the ground electrode and the high voltage electrode.
[0016]
The flat plate electrode 1 positioned at the uppermost part is connected to a raw material gas inlet 8 that is connected from the side surface to the lower surface side and connected to a raw material gas supply pipe 8a for supplying the raw material gas, The reactor 4 is configured to supply a source gas to the discharge gap 3 side located on the lower surface of the flat plate electrode 1 . On the other hand, an ozone outlet 9 communicating from the outer side to the upper surface side of the flat plate electrode 1 located at the bottom of the reaction vessel 4 is also perforated, and an ozone extraction pipe 9a for taking out ozone is connected. The gas on the discharge gap 3 side located on the lower surface of the plate electrode 1 is taken out of the reactor 4. Further, each plate electrode 1,... Between these uppermost plate electrodes 1, 1 is provided with communication holes 10 penetrating up and down alternately in the vicinity of the diagonal of each plate electrode 1. The discharge gaps 3, 3 positioned above and below the respective plate electrodes 1,...
Therefore, the source gas supplied from the source gas supply pipe 8a to the source gas inlet 8 side flows downward to meander through the discharge gaps 3 as shown by the arrows in the drawing without staying, and then flows to the bottom. It passes through the ozone outlet 9 formed in the plate electrode 1 positioned and flows out of the reactor 4 from the ozone extraction pipe 9a. Here, the source gas used in the apparatus of the present invention refers to a gas containing oxygen that is a raw material for ozone such as pure oxygen gas or air, and is not particularly limited. Further, since the effect of the present invention can be obtained if the number of laminated plate electrodes 1 is at least 3 or more, the number, the number, the shape, the plate thickness, etc. are not particularly limited if the number is 3 or more. Absent. Furthermore, the material constituting the plate electrode 1 is not particularly limited as long as it has conductivity, but for example, a good conductor alone such as iron, copper, aluminum, or an alloy thereof, Suitable for workability and cost.
[0017]
In such a state, as described above, a high voltage is applied between the flat plate electrodes 1 and 1 to generate a discharge in the discharge gap 3, so that the source gas flowing in the discharge gap 3 gradually increases. It is converted into ozone and is taken out from the ozone extraction pipe 9a.
[0018]
As described above, since the present invention is such that the communication holes 10 are formed in the respective plate electrodes 1 and the adjacent discharge gaps 3 are communicated to sequentially flow the source gas, thereby greatly reducing the number of source gas flow paths. can do. That is, in this embodiment, since the flow path of the raw material gas is one, the number of the raw material gas supply pipe 8a for supplying the raw material gas to this and the number of the ozone extraction pipes 9a for taking out ozone are one each. . Accordingly, the structure is simpler than the conventional one, and the manufacturing efficiency of the entire apparatus is increased. At the same time, it is not necessary to use many expensive pipes, and the manufacturing cost can be reduced. In the figure, 7 and 7 are pressing plates for fixing the reactor 4, and 5 is a refrigerant flow path for flowing cooling water and cooling gas for preventing the heating of the plate electrode 1 due to discharge. The structure is not particularly different from the conventional one.
[0019]
Next, FIG. 2 shows a second embodiment of the present invention, in which a hard ceramic material is used as a material for the spacer 2 for partitioning the discharge gap 3, and the spacer 2 and its upper and lower positions are used. The flat plate electrodes 1 and 1 to be bonded together are bonded at a low temperature firing type inorganic adhesive 12 of 200 ° C. or lower. That is, as described above, in a conventional reactor, a relatively flexible material such as a resin-based gasket is used as a spacer, and the gasket is crushed by compressing it with the presser plates 7 and 7, and the repulsion thereof. Although the airtightness of the discharge gap 3 is maintained by force, such a method has a disadvantage that it is difficult to balance the airtightness and the interval between the discharge gaps 3. Furthermore, when a resin-based gasket such as PTFE is used, the gasket itself is eroded by electric discharge, so the frequency of replacement (maintenance) increases. Therefore, in this embodiment, since the ceramic material having the characteristics of high durability and high hardness is used as the spacer 2, it is not necessary to adjust the dimensions of the discharge gap 3 and a highly accurate reactor can be easily obtained. In addition, it is possible to reduce the frequency of maintenance accompanying deterioration due to discharge. The ceramic spacer and the flat plate electrode are bonded to each other with a low-temperature firing type inorganic adhesive 12 of 200 ° C. or less, so that the airtightness of the discharge gap 3 can be easily and reliably maintained. Specifically, the low-temperature firing type inorganic adhesive as described above is made into a paste and applied to the joint, and then heated, whereby it is possible to maintain airtightness together with adhesion.
[0020]
Next, FIG. 3 shows a third embodiment of the present invention. As shown in the figure, this embodiment accommodates the entire reactor 4 having the above-described configuration in a sealed container 11 and directly connects a source gas supply pipe 8a for supplying a source gas to the partition wall of the sealed container 11. Thus, the inside of the sealed container 11 is used as a raw material gas passage, and by this, only the dew point of the raw material gas is managed, so that dew condensation on the surface of the reactor 4 is prevented and inconveniences such as high voltage leakage are caused. It can be prevented beforehand. That is, in the conventional apparatus, although the reactor 4 may be accommodated in a casing or the like, the reactor 4 is basically open to the atmosphere and exposed to the atmosphere. When this is used, the moisture in the atmosphere is cooled by a coolant such as cooling water flowing in the plate electrode 1 to cause condensation on the surface of the plate electrode 1, and a high voltage applied to the electrode from this condensation portion. However, if the entire reactor 4 is accommodated in the sealed container 11 and the raw material gas is supplied directly into the sealed container 11 as in this embodiment, the dew point of this raw material gas is controlled in advance. As long as this is done, leakage due to condensation does not occur in any wet atmosphere, and it can be used safely. In particular, in this embodiment, when a refrigerant having a low dew point, for example, a refrigerant having a low dew point such as ammonia or chlorofluorocarbon, is used as the refrigerant for cooling the flat plate electrode 1, the effect appears remarkably. In general, since the source gas used in such an ozone generator has a dew point of −50 ° C. or lower, there is no need to further adjust the source gas dew point in normal use. In addition, by adopting such a configuration, even if the airtightness in the reactor 4 is reduced and internal high-concentration ozone leaks out, it does not diffuse into the atmosphere, and high safety can be maintained. It becomes possible.
[0021]
Further, since the internal pressure of the sealed container and the internal pressure of the discharge gap are the same, the airtightness of the discharge gap can be easily maintained.
[0022]
【The invention's effect】
In short, according to the present invention, the following excellent effects are exhibited.
[0023]
1. First, since the communication holes are formed in the electrodes sandwiched between the uppermost flat plate electrodes among the flat plate electrodes constituting the reactor, the number of necessary pipes and joints can be greatly reduced. . Therefore, the time required for the pipe assembly is shortened to increase the production efficiency, and the number of expensive pipes is reduced to greatly reduce the production cost.
[0024]
2. As a spacer for forming the discharge gap, a ceramic one is used, and this is joined to the flat plate electrode side with a low-temperature firing type inorganic adhesive of 200 ° C. or less, so that the discharge gap can be easily adjusted in size, and high-precision and high-quality. The reactor can be easily obtained.
[0025]
3. Since the entire reactor is placed in a sealed container and the raw material gas is allowed to flow directly into the sealed container, high-voltage short-circuit accidents due to condensation on the sealed container can be prevented even when used in a humid atmosphere. At the same time, even if high-concentration ozone in the reactor leaks out, it does not diffuse into the atmosphere as it is, and reliability and safety are guaranteed.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a configuration diagram showing a first embodiment of an ozone generator according to the present invention.
FIG. 2 is a block diagram showing a second embodiment of the ozone generator according to the present invention.
FIG. 3 is a block diagram showing a third embodiment of the ozone generator according to the present invention.
FIG. 4 is a configuration diagram showing an example of a conventional ozone generator.
[Explanation of symbols]
1 Plate electrode 2 Spacer 3 Discharge gap 4 Reactor 5 Refrigerant flow path 8 Source gas inlet
8a Raw material gas supply pipe 9 Ozone outlet
9a Ozone extraction pipe
10 communication hole
11 Airtight container

Claims (4)

平板電極を上下多段に積層すると共に、これら各平板電極間にオゾンを生成すべく放電ギャップを区画形成し、最上下に位置する平板電極に、それぞれ原料ガス入口又はオゾン出口を形成すると共に、この最上下平板電極間に位置する各平板電極に、上記放電ギャップ間をそれぞれ連通すべく連通孔を穿孔して反応器を構成し、この反応器の上記原料ガス入口及びオゾン出口にそれぞれ原料ガス供給管及びオゾン取出管を接続してなることを特徴とするオゾン生成装置。The plate electrodes are laminated in multiple upper and lower stages, a discharge gap is defined between the plate electrodes to generate ozone, and a raw material gas inlet or an ozone outlet is formed in the plate electrode located at the lowermost position. Each flat plate electrode located between the uppermost flat plate electrodes is formed with a communication hole to communicate between the discharge gaps, and a reactor is configured. The raw material gas is supplied to the raw material gas inlet and the ozone outlet of the reactor , respectively. An ozone generator characterized by connecting a tube and an ozone extraction tube. 請求項1記載の反応容器を密閉容器内に収容し、この密閉容器に原料ガスを供給する原料ガス供給管を接続すると共に、上記反応器のオゾン出口にオゾンを取り出すオゾン取出管を密閉容器を貫通させて接続してなることを特徴とするオゾン生成装置。The reaction vessel according to claim 1 is accommodated in a closed vessel, and a raw material gas supply pipe for supplying a raw material gas is connected to the closed vessel, and an ozone extraction pipe for taking out ozone at the ozone outlet of the reactor is provided with a closed vessel. An ozone generator characterized by being penetrated and connected. 上記反応容器の放電ギャップを区画形成すべく、各平板電極間に額縁状のセラミック製スペーサを介在させると共に、このスペーサと平板電極同士を200℃以下の低温焼成型の無機接着剤で接合したことを特徴とする請求項1又は2に記載のオゾン生成装置。 In order to partition the discharge gap of the reaction vessel, a frame-shaped ceramic spacer is interposed between the flat plate electrodes, and the spacer and the flat plate electrodes are joined to each other with a low-temperature firing type inorganic adhesive of 200 ° C. or less. The ozone generator of Claim 1 or 2 characterized by these . 上記各平板電極に、冷却水を流すための冷却水路又は冷却風を流すための冷却風路を形成したことを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載のオゾン生成装置。 The ozone generator according to any one of claims 1 to 3, wherein a cooling water passage for flowing cooling water or a cooling air passage for flowing cooling air is formed in each of the plate electrodes .
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