JP3852739B2 - Sliding member and surface treatment method thereof - Google Patents
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、内燃機関等の摺動部に適用される化成処理技術の一つであるＢＦコート処理を応用したものであり、皮膜の表層部に金属粒子を析出及び複合化させる表面処理に関する。更に詳しくは、自動車のエンジン用ピストンの表面に、軟質の金属粒子を分散させた表面皮膜を形成して摺動特性を改善させる技術に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来は、エンジン用ピストンの摺動面等には、特開平１１−１９３４７８号公報に記載されているＢＦコート処理を用いた摺動皮膜を形成している。このＢＦコート処理は、フッ素化合物及びケイフッ化アンモニウムを含む処理液にアルミニウム合金部材等の被処理物を浸漬することによって、その表面に摺動皮膜を形成させる表面処理技術である。この表面処理によれば、アルミニウム合金部材の表面に形成した摺動皮膜は、１μｍ以下の微小結晶が無数に集積した集合体で、１〜２０μｍの厚さを有し、かつ、この微小結晶が優先的に摩耗することによって相手材との初期なじみ性を向上させている。
【０００３】
しかし、上記摺動皮膜は、比較的硬質な皮膜であるため、相手材がアルミニウム合金など軟質な部材の場合は、初期なじみ性を向上させる効果が小さい。
一方、これに対してスズめっきは、一般に内燃機関の部品であるアルミニウム製又はアルミニウム合金製ピストンのスカート部に適用される表面処理である。スズ（Ｓｎ）は、軟質な金属であり、初期なじみ性を持たせる効果はあるが、耐摩耗性は劣っている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、上記課題を解決し、相手材が軟質な部材の場合でも高い初期なじみ性を有し、かつ耐摩耗性に優れた摺動皮膜を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
本発明に係る摺動部材は、被処理物の母材と、該母材の表面層に形成され、かつ、その表面部に金属粒子が分散した化成皮膜とを備えている。この金属粒子は、銅、スズ、銀、亜鉛、コバルト又は鉄の少なくともいずれかであることが好ましい。
上記化成皮膜の表面部には、軟質な金属粒子が多数分散しているため、この金属粒子が相手材と摺動することによって、摺動特性を向上させることができる。本発明に係る摺動部材の表面処理方法は、上記目的を達成するため、マグネシウムイオン、アンモニウムイオン及びフッ化物イオンを含む水溶液に金属塩を添加することによって処理液を作製するステップと、この処理液中に被処理物を浸漬するステップとを含んでなる。
【０００６】
上記表面処理方法によれば、従来用いていた設備をそのまま用いることができて、処理コストが安価になる。また、処理方法が簡単であり、そして、被処理物の表面層に化成皮膜を効率的に形成することができる。該化成皮膜の表面部には、上記金属塩に含まれている金属イオンが析出することによって形成された金属粒子が分散して設けられている。このため、化成皮膜自身の耐久性を保持しつつ、同時に、初期なじみ性を向上させることが可能である。上記水溶液の濃度は、そのＰＨが２〜５となる程度が好ましい。また、上記被処理物を浸漬する際における処理液の温度は、７０〜９８℃が好ましく、更に好ましくは８０〜９５℃である。そして、上記金属塩は、銅、亜鉛、コバルト及び鉄の少なくともいずれかの金属の塩を含んでいるものを用いる。例えば、ケイフッ化銅、塩化銅、硝酸銅、ケイフッ化亜鉛、塩化コバルト（II）、塩化鉄（III）などである。なお、上記被処理物には、アルミニウム部材又はアルミニウム合金部材を好適に用いることができる。
さらに、本発明に係る摺動部材の表面処理方法の一態様では、ケイフッ化マグネシウム及びケイフッ化アンモニウムを溶解した水溶液に、金属塩としてケイフッ化銅、塩化銅又は硝酸銅のいずれかを添加することによって処理液を作製するステップと、７０〜９８℃の処理液中にアルミニウム合金部材を浸漬するステップとを含んでいる。
【０００７】
上記表面処理方法によれば、アルミニウム合金部材の表層部に化成皮膜を効率的に形成させることができ、この化成皮膜の表面部には銅粒子が適度に分散及び析出している。即ち、化成皮膜の生成と金属粒子の析出及び複合化を同時に行うことができ、該複合化によって、皮膜に機能を付加させることができる。上記ケイフッ化マグネシウムの溶解量は水１００重量部に対して０．１〜２０重量部、及びケイフッ化アンモニウムの溶解量は水１００重量部に対して０．０５〜１０重量部とし、上記金属塩の添加量を水１００重量部に対して０．０５〜５重量部とすることが好ましい。なお、上記化成皮膜の厚さは保護性があるため、一定の厚さ、例えば１〜１０μｍを保持することができる。
【０００８】
そして、本発明に係る摺動部材では、上述したいずれかの表面処理方法によってその表面層に化成皮膜を形成している。
この摺動部材は、エンジン用ピストンなどに好適に用いることができ、耐摩耗性を有すると共に初期なじみ性を備えている。
【０００９】
【発明の実施の形態】
以下に、本発明に係るについて、図面を用いて詳細に説明する。
本発明に係る表面処理は、アルミニウム部材又はアルミニウム合金部材の表面層に、Ｓｎ，Ａｇ，Ｃｕ等の軟質な金属粒子を分散析出させたＢＦコート皮膜を形成する方法である。この処理によって、皮膜に耐摩耗性を与えると共に、スズめっきと同程度の初期なじみ性を付与することができる。
【００１０】
［表面処理工程の概要］
上記表面処理の工程を大まかに説明する。まず、マグネシウムイオン（Ｍｇ2+）、アンモニウムイオン（ＮＨ3+）及びフッ化物イオン（Ｆ-）の群から選択される一又は二以上のイオンを含む溶液に、析出させようとする金属イオンを供給できる金属塩を添加する。次いで、この溶液を適当な温度に加熱して処理液を作成し、該処理液中に被処理材を浸漬して一定時間保持することによって、該被処理材の表面が処理液によってエッチングされると同時に、処理液中の金属イオンが析出して金属粒子が分散したＢＦコート皮膜がその表面層に生成される。
この処理方法によって生成した皮膜は、その表面付近に金属粒子が取り込まれた化成皮膜であるため、化成皮膜自身の耐久性を保持しつつ表面の軟質な金属粒子によって初期なじみ性を改善することができる。
【００１１】
以下に、各工程ごとに更に詳細な説明を行う。
［被処理物］
本発明に係る表面処理を適用する被処理物は、アルミニウム部材又はアルミニウム合金部材である。具体的には、純アルミニウム部材、アルミニウム展伸材、アルミニウム鋳物又はアルミニウム・ダイカスト材などを好適に用いることができる。また、表面処理を施す前に行う前処理としては、上記被処理物の表面に付着した油等を除去するだけでも良いが、有機溶剤や脱脂剤等を用いてアルカリ・エッチングや酸洗処理を施しても良い。
【００１２】
［処理液］
本発明に用いる処理液は、マグネシウムイオン、アンモニウムイオン及びフッ化物イオンを含む水溶液に、析出させようとする金属イオンを供給できる金属塩を添加して加熱したものである。
上記水溶液は、ＰＨが１〜５好ましくは１．５〜３．５の範囲の濃度を有し、例えば水１００重量部に対して、０．１〜２０重量部のケイフッ化マグネシウム（ＭｇＳｉＦ6・６Ｈ2Ｏ）と、０．０５〜１０重量部のケイフッ化アンモニウム（（ＮＨ4）2ＳｉＦ6）とを加えた混合溶液を好適に用いることができる。
上記の金属塩は、例えば銅イオンを供給できる金属塩であるケイフッ化銅（ＣｕＳｉＦ6・４Ｈ2Ｏ）、塩化銅（ＣｕＣｌ2・２Ｈ2Ｏ）、又は硝酸銅（Ｃｕ（ＮＯ3）2・６Ｈ2Ｏ）などを好適に用いることができる。また、これら以外の金属塩としては、亜鉛イオンを析出させる場合は、例えばケイフッ化亜鉛（ＺｎＳｉＦ6・４Ｈ2Ｏ）、塩化亜鉛や炭酸亜鉛などが好ましく、コバルトイオンを析出させる場合は、例えば塩化コバルト（II）や炭酸コバルト（II）などが好ましい。そして、鉄イオンを析出させる場合は、例えば塩化鉄（III）や黄血ソーダなどが好ましい。上記金属塩の添加量は、水１００重量部に対して０．０５〜５重量部、好ましくは０．１〜１重量部である。
なお、上記加熱温度は、７０〜９８℃が好ましく、更に好ましくは８０〜９５℃で、特に９０℃が好ましい。加熱温度が７０℃未満の場合は、ケイフッ化物の分解が少なく反応性が低いという問題があり、一方、９８℃を超えると、部分的に沸騰が起こり熱効率が低下するという問題がある。
【００１３】
［皮膜の形成］
上記処理液中に被処理物を一定時間の間浸漬させることによって、被処理物の表面層が処理液によってエッチングされ、該表面層に化成皮膜が生成されると共に、該化成皮膜の表面部に金属粒子が分散して析出する。この金属粒子は、水溶液中の金属イオンの析出によって生成するものである。該化成皮膜は保護性を有し、その成長が一定厚さまでに達すると、被処理物のエッチングを阻害して、金属粒子の析出と化成皮膜の成長が停止する。上記の浸漬時間は、１〜１０分間、好ましくは３〜８分間であり、このうち特に５分間が好ましい。
【００１４】
［皮膜の構造］
本発明に係る処理方法を用いて形成した化成皮膜は、図１に示すように、被処理物１の表面層に形成した化成皮膜３である。この化成皮膜３は、ＮＨ4ＭｇＡｌＦ6であり、その厚さは１〜１０μｍ、好ましくは２〜８μｍである。この化成皮膜３の表面部には、処理液中の金属イオンが析出して生成した金属粒子５が分散している。この金属粒子５としては、軟質なＣｕ，Ｓｎ，ＡｇやＺｎ，Ｃｏ，Ｆｅ等の粒子が好ましく、粒径は０．１〜１μｍが好ましい。また、金属粒子５の分散量としては、化成皮膜３の表面の面積率で５０〜１００％が好ましい。また、被処理物１の母材７中には共晶シリコン９の結晶が形成されている。
上記化成皮膜によれば、化成皮膜３自身の耐久性を保持しつつ、軟質な金属粒子５によって初期なじみ性を改善することが可能である。
【００１５】
上記構成を有するによる作用を以下に説明する。
【実施例】
まず、１重量部のケイフッ化マグネシウムと０．５重量部のケイフッ化アンモニウムを１００重量部の水に溶解して水溶液を作製した。次いで、この水溶液にケイフッ化銅の水溶液０．３重量部を添加し、９０℃に加熱して処理液を作製した。
そして、上記処理液に被処理物であるアルミニウム合金部材（ＡＣ８Ａ）を５分間浸漬させることによって、その表面部に金属粒子を分散させた化成皮膜を上記アルミニウム合金部材の表層部に形成した。
一方、比較例として、上記ケイフッ化銅の金属塩を添加しない状態の水溶液にアルミニウム合金（ＡＣ８Ａ）を５分間浸漬して、金属粒子が分散していない従来の化成皮膜を形成した。
【００１６】
上記本発明例に係る化成皮膜の断面写真を写真２と写真４に、比較例に係る化成皮膜の断面写真を写真１と写真３に示す。
また、上記で用いたアルミニウム合金及び化成皮膜をＸ線回析して得られたグラフを図２〜図４に示す。図２はアルミニウム合金母材（ＡＣ８Ａ材）７をＸ線回析した結果を示すグラフ、図３は従来の処理方法によって生成させた化成皮膜（ＮＨ4ＭｇＳｉＦ6）をＸ線回析したグラフ、及び図４は本発明例に係る処理方法によって生成させた化成皮膜３をＸ線回析したグラフである。
図２から判るように、アルミニウム合金母材７にはＳｉが若干含有されており、また、図３と図４とを比較すると、本発明例に係る化成皮膜３には、従来の皮膜にはない銅粒子５が含まれていることが判る。
図５及び図６は、本発明例に係る化成皮膜を示す組織写真であり、図７及び図８は、従来（比較例）の化成皮膜を示す組織写真である。
【００１７】
【発明の効果】
本発明に係る摺動部材の表面処理方法によれば、相手材がアルミニウム合金などの軟質な部材であっても、初期なじみ性を向上させることができ、また、優れた耐摩耗性を備えている。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る化成皮膜の断面構造を示す概略図である。
【図２】本発明例に係るアルミニウム合金母材のＸ線回析結果を示すグラフである。
【図３】本発明例に係る化成皮膜をＸ線回析した結果を示すグラフである。
【図４】従来の化成皮膜をＸ線回析した結果を示すグラフである。
【図５】本発明例に係る化成皮膜の断面を示す、倍率が４００倍の組織写真である。
【図６】実施例に係る化成皮膜の断面を示す、倍率が２０００倍の組織写真である。
【図７】比較例に係る化成皮膜の断面を示す、倍率が４００倍の組織写真である。
【図８】比較例に係る化成皮膜の断面を示す、倍率が２０００倍の組織写真である。
【符号の説明】
１ 被処理物
３ 化成皮膜
５ 金属粒子
７ 母材
９ 共晶シリコン[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention is an application of BF coating, which is one of chemical conversion treatment techniques applied to sliding parts of internal combustion engines and the like, and relates to surface treatment for depositing and combining metal particles on the surface layer part of a coating. More specifically, the present invention relates to a technique for improving sliding characteristics by forming a surface film in which soft metal particles are dispersed on the surface of an automobile engine piston.
[0002]
[Prior art]
Conventionally, a sliding film using a BF coating treatment described in JP-A-11-193478 is formed on the sliding surface of an engine piston. This BF coating treatment is a surface treatment technique in which a sliding film is formed on the surface of an object to be treated such as an aluminum alloy member immersed in a treatment liquid containing a fluorine compound and ammonium silicofluoride. According to this surface treatment, the sliding film formed on the surface of the aluminum alloy member is an aggregate in which countless microcrystals of 1 μm or less are accumulated, and has a thickness of 1 to 20 μm. By preferentially wearing, the initial compatibility with the counterpart material is improved.
[0003]
However, since the above-mentioned sliding film is a relatively hard film, when the counterpart material is a soft member such as an aluminum alloy, the effect of improving the initial conformability is small.
On the other hand, tin plating is a surface treatment generally applied to the skirt portion of an aluminum or aluminum alloy piston that is a component of an internal combustion engine. Tin (Sn) is a soft metal and has an effect of imparting initial conformability, but is inferior in wear resistance.
[0004]
[Problems to be solved by the invention]
An object of the present invention is to solve the above-mentioned problems, and to provide a sliding film having high initial conformability even when the counterpart material is a soft member and excellent in wear resistance.
[0005]
[Means for Solving the Problems]
The sliding member according to the present invention includes a base material of an object to be processed and a chemical conversion film formed on the surface layer of the base material and having metal particles dispersed on the surface portion thereof. The metal particles are preferably at least one of copper, tin, silver, zinc, cobalt, or iron.
Since a large number of soft metal particles are dispersed on the surface portion of the chemical conversion film, the sliding characteristics can be improved by sliding the metal particles against the counterpart material. In order to achieve the above object, the surface treatment method for a sliding member according to the present invention includes a step of preparing a treatment liquid by adding a metal salt to an aqueous solution containing magnesium ions, ammonium ions and fluoride ions, and this treatment. Immersing the workpiece in the liquid.
[0006]
According to the above surface treatment method, the conventionally used equipment can be used as it is, and the processing cost is reduced. Further, the treatment method is simple, and a chemical conversion film can be efficiently formed on the surface layer of the workpiece. On the surface portion of the chemical conversion film, metal particles formed by precipitation of metal ions contained in the metal salt are provided in a dispersed manner. For this reason, it is possible to improve the initial conformability while maintaining the durability of the chemical conversion film itself. The concentration of the aqueous solution is preferably such that the pH is 2-5. Moreover, 70-98 degreeC is preferable and, as for the temperature of the process liquid at the time of immersing the said to-be-processed object, More preferably, it is 80-95 degreeC. And the said metal salt uses what contains the salt of the metal of at least any one of copper, zinc, cobalt, and iron. For example, copper silicofluoride, copper chloride, copper nitrate, zinc silicofluoride, cobalt chloride (II), iron chloride (III) and the like. Note that an aluminum member or an aluminum alloy member can be suitably used as the object to be processed.
Furthermore, in one aspect of the surface treatment method for a sliding member according to the present invention, one of copper silicofluoride, copper chloride or copper nitrate is added as a metal salt to an aqueous solution in which magnesium silicofluoride and ammonium silicofluoride are dissolved. And a step of immersing the aluminum alloy member in the treatment liquid at 70 to 98 ° C.
[0007]
According to the surface treatment method, a chemical conversion film can be efficiently formed on the surface layer portion of the aluminum alloy member, and copper particles are appropriately dispersed and deposited on the surface portion of the chemical conversion film. That is, the formation of a chemical conversion film and the precipitation and compounding of metal particles can be performed simultaneously, and the function can be added to the film by the compounding. The amount of magnesium silicofluoride dissolved is 0.1-20 parts by weight with respect to 100 parts by weight of water, and the amount of ammonium silicofluoride dissolved is 0.05-10 parts by weight with respect to 100 parts by weight of water. It is preferable to add 0.05 to 5 parts by weight with respect to 100 parts by weight of water. In addition, since the thickness of the said chemical conversion film has protection, it can hold | maintain a fixed thickness, for example, 1-10 micrometers.
[0008]
And in the sliding member which concerns on this invention, the chemical conversion film is formed in the surface layer by one of the surface treatment methods mentioned above.
This sliding member can be suitably used for an engine piston or the like, and has wear resistance and initial conformability.
[0009]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
The surface treatment according to the present invention is a method of forming a BF coat film in which soft metal particles such as Sn, Ag, and Cu are dispersed and deposited on the surface layer of an aluminum member or an aluminum alloy member. By this treatment, the coating film can be provided with wear resistance and at the same time initial conformability as that of tin plating.
[0010]
[Outline of surface treatment process]
The surface treatment process will be roughly described. First, a metal ion to be deposited on a solution containing one or more ions selected from the group of magnesium ion (Mg 2+ ), ammonium ion (NH 3+ ) and fluoride ion (F − ) Add a metal salt that can be supplied. Next, this solution is heated to an appropriate temperature to prepare a treatment liquid, and the surface of the material to be treated is etched by the treatment liquid by immersing the material in the treatment liquid and holding it for a certain period of time. At the same time, metal ions in the treatment liquid are precipitated and a BF coat film in which metal particles are dispersed is generated on the surface layer.
The film produced by this treatment method is a chemical film in which metal particles are incorporated in the vicinity of the surface, so that the initial conformability can be improved by the soft metal particles on the surface while maintaining the durability of the chemical film itself. it can.
[0011]
Hereinafter, a more detailed description will be given for each step.
[Processed object]
The workpiece to which the surface treatment according to the present invention is applied is an aluminum member or an aluminum alloy member. Specifically, a pure aluminum member, an aluminum wrought material, an aluminum casting, an aluminum die-cast material, or the like can be suitably used. In addition, as a pretreatment to be performed before the surface treatment, it is only necessary to remove oil or the like adhering to the surface of the object to be treated, but alkali etching or pickling treatment is performed using an organic solvent or a degreasing agent. You may give it.
[0012]
[Treatment solution]
The treatment liquid used in the present invention is a solution obtained by adding a metal salt capable of supplying metal ions to be deposited to an aqueous solution containing magnesium ions, ammonium ions and fluoride ions and heating them.
The aqueous solution has a pH in the range of 1 to 5, preferably 1.5 to 3.5. For example, 0.1 to 20 parts by weight of magnesium silicofluoride (MgSiF 6. 6H 2 O) and a mixed solution of 0.05 to 10 parts by weight of ammonium silicofluoride ((NH 4 ) 2 SiF 6 ) can be preferably used.
The above metal salt is, for example, copper silicofluoride (CuSiF 6 .4H 2 O), copper chloride (CuCl 2 .2H 2 O), or copper nitrate (Cu (NO 3 ) 2. 6H 2 O) can be preferably used. Further, as metal salts other than these, when zinc ions are precipitated, for example, zinc silicofluoride (ZnSiF 6 .4H 2 O), zinc chloride, zinc carbonate, etc. are preferable. Cobalt (II) and cobalt carbonate (II) are preferred. When iron ions are precipitated, for example, iron (III) chloride or yellow blood soda is preferable. The amount of the metal salt added is 0.05 to 5 parts by weight, preferably 0.1 to 1 part by weight with respect to 100 parts by weight of water.
The heating temperature is preferably 70 to 98 ° C, more preferably 80 to 95 ° C, and particularly preferably 90 ° C. When the heating temperature is less than 70 ° C., there is a problem that the silicofluoride is hardly decomposed and the reactivity is low. On the other hand, when it exceeds 98 ° C., there is a problem that boiling occurs partially and the thermal efficiency is lowered.
[0013]
[Formation of film]
By immersing the object to be treated in the treatment liquid for a certain period of time, the surface layer of the object to be treated is etched by the treatment liquid, and a chemical conversion film is formed on the surface layer, and on the surface portion of the chemical conversion film. Metal particles are dispersed and deposited. These metal particles are generated by precipitation of metal ions in an aqueous solution. The chemical conversion film has a protective property. When the growth reaches a certain thickness, the etching of the object to be processed is inhibited, and the deposition of metal particles and the growth of the chemical conversion film are stopped. The immersion time is 1 to 10 minutes, preferably 3 to 8 minutes, and among these, 5 minutes is particularly preferable.
[0014]
[Coating structure]
The chemical conversion film formed using the processing method according to the present invention is a
According to the chemical conversion film, the initial conformability can be improved by the
[0015]
The effect | action by having the said structure is demonstrated below.
【Example】
First, 1 part by weight of magnesium silicofluoride and 0.5 part by weight of ammonium silicofluoride were dissolved in 100 parts by weight of water to prepare an aqueous solution. Next, 0.3 part by weight of an aqueous solution of copper fluorosilicate was added to this aqueous solution and heated to 90 ° C. to prepare a treatment solution.
And the aluminum alloy member (AC8A) which is a to-be-processed object was immersed in the said process liquid for 5 minutes, and the chemical conversion film which disperse | distributed the metal particle to the surface part was formed in the surface layer part of the said aluminum alloy member.
On the other hand, as a comparative example, an aluminum alloy (AC8A) was immersed for 5 minutes in an aqueous solution in which the metal salt of copper fluorosilicate was not added to form a conventional chemical conversion film in which metal particles were not dispersed.
[0016]
Photographs 2 and 4 show cross-sectional photographs of the chemical conversion film according to the above-described example of the present invention, and photographs 1 and 3 show cross-sectional photographs of the chemical conversion film according to the comparative example.
Moreover, the graph obtained by carrying out the X ray diffraction of the aluminum alloy and chemical conversion film which were used above is shown in FIGS. FIG. 2 is a graph showing the results of X-ray diffraction of an aluminum alloy base material (AC8A material) 7, and FIG. 3 is a graph of X-ray diffraction analysis of a chemical conversion film (NH 4 MgSiF 6 ) produced by a conventional processing method. FIG. 4 is a graph obtained by X-ray diffraction analysis of the
As can be seen from FIG. 2, the aluminum
5 and 6 are structural photographs showing the chemical conversion film according to the present invention example, and FIGS. 7 and 8 are structural photographs showing the conventional chemical film (comparative example).
[0017]
【The invention's effect】
According to the surface treatment method for a sliding member according to the present invention, even if the counterpart material is a soft member such as an aluminum alloy, the initial conformability can be improved, and excellent wear resistance is provided. Yes.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a schematic view showing a cross-sectional structure of a chemical conversion film according to the present invention.
FIG. 2 is a graph showing an X-ray diffraction result of an aluminum alloy base material according to an example of the present invention.
FIG. 3 is a graph showing the results of X-ray diffraction of a chemical conversion film according to an example of the present invention.
FIG. 4 is a graph showing the results of X-ray diffraction of a conventional chemical conversion film.
FIG. 5 is a structure photograph at a magnification of 400 times showing a cross section of a chemical conversion film according to an example of the present invention.
FIG. 6 is a structure photograph showing a cross section of a chemical conversion film according to an example at a magnification of 2000 times.
FIG. 7 is a structure photograph of 400 times magnification showing a cross section of a chemical conversion film according to a comparative example.
FIG. 8 is a structural photograph at a magnification of 2000 times showing a cross section of a chemical conversion film according to a comparative example.
[Explanation of symbols]
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