JP3847242B2 - Semiconductor device and manufacturing method thereof - Google Patents

Semiconductor device and manufacturing method thereof Download PDF

Info

Publication number
JP3847242B2
JP3847242B2 JP2002299459A JP2002299459A JP3847242B2 JP 3847242 B2 JP3847242 B2 JP 3847242B2 JP 2002299459 A JP2002299459 A JP 2002299459A JP 2002299459 A JP2002299459 A JP 2002299459A JP 3847242 B2 JP3847242 B2 JP 3847242B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
lead
die pad
wire
wires
terminal
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP2002299459A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP2004133799A (en
Inventor
岳雄 越智
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panasonic Corp
Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Panasonic Corp
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Panasonic Corp, Matsushita Electric Industrial Co Ltd filed Critical Panasonic Corp
Priority to JP2002299459A priority Critical patent/JP3847242B2/en
Publication of JP2004133799A publication Critical patent/JP2004133799A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP3847242B2 publication Critical patent/JP3847242B2/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/49Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of a plurality of wire connectors
    • H01L2224/491Disposition
    • H01L2224/4912Layout
    • H01L2224/49171Fan-out arrangements

Landscapes

  • Credit Cards Or The Like (AREA)
  • Lead Frames For Integrated Circuits (AREA)

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、無線通信機能を有する半導体装置に関し、詳しくは、生産性が高く、製造コストの安価な半導体装置及びその製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
図4に、従来例の非接触ICタグの構成を示す。21は半導体チップであり、21aは半導体チップ21の第1の端子、21bは第2の端子である。また、配線基板22上に、第1のリード23、第2のリード24、及びダイパッド25が形成されている。
【0003】
図4に示すように、半導体チップ21はダイパッド25上に載置されている。また、半導体チップ21の第1の端子21a、第2の端子21bは、それぞれ第1のリード23の内部端子(左側の端子)、第2のリード24の内部端子とワイヤ26を介して接続されている。さらに、半導体チップ21とダイパッド25は、ワイヤ26を含めて封止樹脂27により封止されている。一方、金属線コイル29の第1の端子29a、第2の端子29bは、それぞれ第1のリード23の外部端子(右側の端子)、第2のリード24の外部端子にハンダにより接続されている。これら構成部材は、最終的に外装樹脂28でモールドされ、非接触ICタグが形成されている。
【0004】
この非接触ICタグは、金属線コイル29がアンテナとして機能し、設備本体のリーダーライターと非接触で通信することができる。
【0005】
このような従来例の非接触ICタグでは、下記の理由から製造コストが上昇する問題がある。
【0006】
▲1▼配線基板、金属線コイル、封止樹脂、外装樹脂等、多くの構成部材を用いている。
【0007】
▲2▼配線基板と金属線コイルの接続や、外装樹脂によるモールド等を含み、製造工程が煩雑である。
【0008】
▲3▼配線基板の取り扱い(分割、包装)に工数がかかるため、製造コストが高価である。
【0009】
▲4▼配線基板が高価である。
【0010】
このようなコスト上昇の対策として、特許文献1に記載のように、パターニングにより予め配線基板にコイル状のアンテナ回路を形成することで、金属線コイルを不要とする手段がある。
【0011】
【特許文献1】
特開平10−150068号公報(第4頁、第1図)
【0012】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、この手段によれば、アンテナ回路を形成するスペースが必要となるため、配線基板のサイズが大きくなり、その価格が高くなる問題がある。
【0013】
また、非接触ICタグを製造するにあたり、通常の半導体パッケージで使用するプラスチックモールドパッケージを用いると、パッケージに要するコストを最も安価とすることができるため理想的であるが、次の理由により、プラスチックモールドパッケージを用いることは、極めて困難である。即ち、アンテナの通信距離は一般にコイルの巻き数と径に比例するが、リード線でコイルを形成する場合、コイルの巻き数と径を大きくするとリード線の長さ(以下、リード長という。)は必然的に長くなるため、リード線の強度不足から、プラスチックモールドパッケージにおける封止樹脂のトランスファーモールドや取り扱いの際に、リード線の変形やそれによるショート等が生じ、得られる非接触ICタグの無線通信特性が不安定となり易くなる。
【0014】
このため、従来は、プラスチックモールドパッケージを用いる場合、長距離の通信に対応したアンテナ回路を有する非接触ICタグを製造することは困難であった。
【0015】
本発明は、このような従来技術における問題点を解決し、低コストかつ長通信距離の可能な非接触ICタグを提供することを目的とする。
【0016】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために本発明の半導体装置においては、ダイパッドと、ダイパッド上に載置された半導体チップを備える。ここで、ダイパッドの周囲に複数のリード線が配置されている。複数のリード線がワイヤを介して直列に接続され、複数のリード線とワイヤによりダイパッドの周囲にコイル状回路が形成されている。また、半導体チップ、ダイパッド、複数のリード線、及びワイヤが封止樹脂により封止されている。
【0017】
また、上記目的を達成するために本発明の半導体装置の製造方法においては、半導体チップを、複数のリード線とダイパッドが接続されたリードフレームのダイパッド上に載置する工程と、リードフレームの複数のリード線をワイヤを介して直列に接続し、複数のリード線とワイヤによって、コイル状回路を形成する工程と、半導体チップ、ダイパッド、複数のリード線、及びワイヤを封止樹脂により封止する工程と、リード線とダイパッドをリードフレームから分離する工程とを備える。
【0018】
これらの構成によれば、各リード線はリードフレームから分離されるまでリードフレームに接続されて保持される。したがって、コイル状回路の全長が長くなっても、例えば、プラスチックモールドパッケージにおける封止樹脂のトランスファーモールドや取り扱いの際に、リード線が変形せず、生産性が高く、製造コストの安価な半導体装置を提供することができる。
【0019】
【発明の実施の形態】
図1に、本実施の形態における非接触式ICタグのリードフレーム部の構造を示す。リードフレーム2は、ダイパッド4と接続され、ダイパッド4の周囲に配置された複数のリード線を有する。これら複数のリード線によって、リードフレーム2の上部に第1のリード群3aが構成され、リードフレーム2の下部に第2のリード群3bが構成されている。以下、これら複数のリード線について、第1のリード群3aのダイパッド4側(内側)から順にそれぞれ、リード線10a、リード線20a、リード線30aと呼び、また、第2のリード群3bのダイパッド4側から順にそれぞれ、リード線10b、リード線20b、リード線30bと呼ぶこととする。
【0020】
この状態では、各リード線はリードフレーム2に接続され、コイル形状を形成していないので、アンテナとしての機能はない。また、各リード線の全長は短く、その両端がリードフレーム2と接続されているため、各リード線の強度は高く、その形状も安定している。
【0021】
図2に、非接触式ICタグの構造を示す。このように、半導体チップ1が中央部に配置されたダイパッド4上に載置されている。
【0022】
また、半導体チップ1の第1の端子1a、第2の端子1bが、それぞれリード線10aの右側の端子、リード線30bの右側の端子とワイヤ5を介して接続されている。
【0023】
また、リード線10aの左側の端子、リード線20aの右側の端子が、それぞれリード線10bの左側の端子、リード線10bの右側の端子とワイヤ5を介して接続されている。
【0024】
また、リード線20aの左側の端子、リード線30aの右側の端子が、それぞれリード線20bの左側の端子、リード線20bの右側の端子とワイヤ5を介して接続されている。
【0025】
また、リード線30aの左側の端子が、リード線30bの左側の端子とワイヤ5を介して接続されている。
【0026】
そして、半導体チップ1、ダイパッド4、第1のリード群3a、第2のリード群3b、及びワイヤ5は封止樹脂6により封止され、固定されている。
【0027】
図2の状態で、各リード線は、複数のワイヤ5を介して直列に接続されて一本の導線を構成している。この導線により、コイル状回路が形成され、アンテナの機能を有するようになる。そして、図2に示す非接触ICタグは、設備本体のリーダーライターと非接触で通信することが可能となる。
【0028】
図3に、図2に示した非接触式ICタグの製造工程を示す。以下、この非接触式ICタグの製造方法について、図3を参照しながら説明する。
【0029】
まず、図3(a)に示すように、半導体チップ1をリードフレーム2に接続されたダイパッド4上に載置する。
【0030】
次に、図3(b)に示すように、各リード線をワイヤ5を介して直列に接続して一本の導線を構成し、この導線によって図2に示したコイル状回路を形成する。
【0031】
次いで、図3(c)に示すように、コイル状回路の第1の端子13a、第2の端子13bを、それぞれ半導体チップ1の第1の端子1a、第2の端子1bとワイヤ5を介して接続する。
【0032】
続いて、図3(d)に示すように、半導体チップ1、第1のリード群3a、第2のリード群3b、ダイパッド4、及びワイヤ5を封止樹脂6を用いて封止する。
【0033】
この段階では、各リード線はリードフレーム2に接続され、コイル形状を形成していないので、アンテナの機能はない。また、各リード線の全長が短く、その両端がリードフレーム2に接続されているため、各リード線の強度が高く、形状は安定しており、上記した各製造工程における取り扱いや樹脂の封止によるリード線の変形とそれに伴うショートを防ぐことができる。
【0034】
その後、各リード線、及びダイパッド4をリードフレーム2から分離し、非接触ICタグが完成する。
【0035】
この状態で、各リード線はリードフレーム2から分離され、かつ複数のワイヤを介して直列に接続されてコイル状回路を形成し、アンテナ回路の機能を有するようになる。
【0036】
従来例では、リード線が製造工程の最初からコイル形状を形成しているため、リード長が長くなり、リード線の強度が不足し、各製造工程における取り扱いや、樹脂の封止によるリード線の変形とそれに伴うショートが発生し、非接触ICタグにおいて無線通信特性が不安定となる場合があるが、本実施の形態によれば、リード線が損傷を受ける恐れがなくなってから、リード線によりコイル形状が形成されるため、得られる非接触ICタグに良好な通信特性が得られる。
【0037】
また、本実施の形態によれば、このように従来の安価なプラスチックパッケージにおける技術、設備、材料を活用して非接触式ICタグを製造できるため、極めて低コストで非接触ICタグを生産することができる。
【0038】
なお、本実施の形態においては、6本のリード線を用いてアンテナ回路を形成したが、さらに多数のリード線を用いて非接触式ICタグの無線通信機能を強化することもできる。また、リード線の形状はコイル形状に限らず、アンテナ回路を形成する多様な形状とすることができる。
【0039】
また、複数のリード線とワイヤを用いてアンテナ回路を形成する本発明の技術的思想は、上述した非接触ICタグに限定されず、非接触ICカード等、無線通信機能を必要とする多様な半導体装置へ適用することができる。
【0040】
【発明の効果】
本発明によれば、生産性が高く、製造コストが安価であって、かつ長通信距離の可能な半導体装置を安定して生産することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の非接触式ICタグのリードフレーム部の構成を示す平面図
【図2】本発明の非接触式ICタグの全体構成を示す平面図
【図3】本発明の非接触式ICタグの製造方法の各工程を示す平面図
【図4】従来例の非接触式ICタグの全体構成を示す平面図
【符号の説明】
1、21 半導体チップ
1a、21a 半導体チップの第1の端子
1b、21b 半導体チップの第2の端子
2 リードフレーム
3a 第1のリード群
3b 第2のリード群
4、25 ダイパッド
5、26 ワイヤ
6、27 封止樹脂
21a 半導体チップの第1の端子
21b 半導体チップの第2の端子
22 配線基板
23 第1のリード
24 第2のリード
28 外装樹脂
29 金属線コイル
29a 金属線コイルの第1の端子
29b 金属線コイルの第2の端子
10a、20a、30a、10b、20b、30b リード線
[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a semiconductor device having a wireless communication function, and more particularly, to a semiconductor device with high productivity and low manufacturing cost and a manufacturing method thereof.
[0002]
[Prior art]
FIG. 4 shows a configuration of a conventional non-contact IC tag. 21 is a semiconductor chip, 21a is a first terminal of the semiconductor chip 21, and 21b is a second terminal. A first lead 23, a second lead 24, and a die pad 25 are formed on the wiring board 22.
[0003]
As shown in FIG. 4, the semiconductor chip 21 is placed on the die pad 25. The first terminal 21 a and the second terminal 21 b of the semiconductor chip 21 are connected to the internal terminal (left terminal) of the first lead 23 and the internal terminal of the second lead 24 via wires 26, respectively. ing. Further, the semiconductor chip 21 and the die pad 25 are sealed with a sealing resin 27 including the wire 26. On the other hand, the first terminal 29a and the second terminal 29b of the metal wire coil 29 are connected to the external terminal (right terminal) of the first lead 23 and the external terminal of the second lead 24 by soldering, respectively. . These components are finally molded with the exterior resin 28 to form a non-contact IC tag.
[0004]
In this non-contact IC tag, the metal wire coil 29 functions as an antenna, and can communicate with the reader / writer of the equipment body in a non-contact manner.
[0005]
Such a conventional non-contact IC tag has a problem that the manufacturing cost increases for the following reasons.
[0006]
(1) Many components such as a wiring board, a metal wire coil, a sealing resin, and an exterior resin are used.
[0007]
{Circle around (2)} The manufacturing process is complicated, including the connection between the wiring board and the metal wire coil, the molding with the exterior resin, and the like.
[0008]
{Circle around (3)} Manufacturing costs are expensive because it takes man-hours to handle (divide and package) the wiring board.
[0009]
(4) The wiring board is expensive.
[0010]
As a countermeasure against such an increase in cost, there is a means that eliminates the need for a metal wire coil by forming a coil-shaped antenna circuit on a wiring board in advance by patterning as described in Patent Document 1.
[0011]
[Patent Document 1]
Japanese Patent Laid-Open No. 10-150068 (page 4, FIG. 1)
[0012]
[Problems to be solved by the invention]
However, according to this means, there is a problem that a space for forming the antenna circuit is required, which increases the size of the wiring board and increases its price.
[0013]
Further, when manufacturing a non-contact IC tag, it is ideal to use a plastic mold package used in a normal semiconductor package because the cost required for the package can be minimized. It is extremely difficult to use a mold package. That is, the communication distance of the antenna is generally proportional to the number of turns and the diameter of the coil, but when forming the coil with lead wires, the length of the lead wire (hereinafter referred to as the lead length) is increased when the number of turns and the diameter of the coil are increased. Is inevitably long, so that lead wires are deformed or short-circuited during transfer molding and handling of sealing resin in plastic mold packages due to insufficient strength of lead wires. Wireless communication characteristics tend to be unstable.
[0014]
For this reason, conventionally, when a plastic mold package is used, it has been difficult to manufacture a non-contact IC tag having an antenna circuit that supports long-distance communication.
[0015]
An object of the present invention is to solve such problems in the prior art and to provide a non-contact IC tag that can be manufactured at a low cost and has a long communication distance.
[0016]
[Means for Solving the Problems]
In order to achieve the above object, a semiconductor device of the present invention includes a die pad and a semiconductor chip placed on the die pad. Here, a plurality of lead wires are arranged around the die pad. A plurality of lead wires are connected in series via wires, and a coiled circuit is formed around the die pad by the plurality of lead wires and wires. Further, the semiconductor chip, the die pad, the plurality of lead wires, and the wire are sealed with a sealing resin.
[0017]
In order to achieve the above object, in the method of manufacturing a semiconductor device of the present invention, a step of placing a semiconductor chip on a die pad of a lead frame in which a plurality of lead wires and a die pad are connected, and a plurality of lead frames The lead wires are connected in series via wires, and a coil-shaped circuit is formed by a plurality of lead wires and wires, and the semiconductor chip, die pad, the plurality of lead wires and wires are sealed with a sealing resin. And a step of separating the lead wire and the die pad from the lead frame.
[0018]
According to these configurations, each lead wire is connected to and held by the lead frame until it is separated from the lead frame. Therefore, even when the overall length of the coiled circuit becomes long, for example, the lead wire is not deformed during transfer molding or handling of the sealing resin in a plastic mold package, and the semiconductor device has high productivity and low manufacturing cost. Can be provided.
[0019]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
FIG. 1 shows the structure of the lead frame portion of the non-contact IC tag in the present embodiment. The lead frame 2 is connected to the die pad 4 and has a plurality of lead wires arranged around the die pad 4. The plurality of lead wires form a first lead group 3 a at the top of the lead frame 2, and a second lead group 3 b at the bottom of the lead frame 2. Hereinafter, the plurality of lead wires will be referred to as the lead wire 10a, the lead wire 20a, and the lead wire 30a in order from the die pad 4 side (inner side) of the first lead group 3a, and the die pad of the second lead group 3b. The four leads are referred to as a lead wire 10b, a lead wire 20b, and a lead wire 30b, respectively.
[0020]
In this state, since each lead wire is connected to the lead frame 2 and does not form a coil shape, it does not function as an antenna. Moreover, since the total length of each lead wire is short and both ends thereof are connected to the lead frame 2, the strength of each lead wire is high and its shape is stable.
[0021]
FIG. 2 shows the structure of a non-contact IC tag. Thus, the semiconductor chip 1 is placed on the die pad 4 disposed in the center.
[0022]
Further, the first terminal 1 a and the second terminal 1 b of the semiconductor chip 1 are connected to the right terminal of the lead wire 10 a and the right terminal of the lead wire 30 b via the wire 5, respectively.
[0023]
Further, the left terminal of the lead wire 10a and the right terminal of the lead wire 20a are connected to the left terminal of the lead wire 10b and the right terminal of the lead wire 10b through the wire 5, respectively.
[0024]
Also, the left terminal of the lead wire 20a and the right terminal of the lead wire 30a are connected to the left terminal of the lead wire 20b and the right terminal of the lead wire 20b through the wire 5, respectively.
[0025]
Further, the left terminal of the lead wire 30 a is connected to the left terminal of the lead wire 30 b via the wire 5.
[0026]
The semiconductor chip 1, the die pad 4, the first lead group 3 a, the second lead group 3 b, and the wire 5 are sealed and fixed by a sealing resin 6.
[0027]
In the state of FIG. 2, each lead wire is connected in series via a plurality of wires 5 to constitute one conductor. A coiled circuit is formed by this conducting wire, and has a function of an antenna. The non-contact IC tag shown in FIG. 2 can communicate with the reader / writer of the equipment body in a non-contact manner.
[0028]
FIG. 3 shows a manufacturing process of the non-contact type IC tag shown in FIG. Hereinafter, a method for manufacturing the non-contact type IC tag will be described with reference to FIG.
[0029]
First, as shown in FIG. 3A, the semiconductor chip 1 is placed on the die pad 4 connected to the lead frame 2.
[0030]
Next, as shown in FIG. 3B, each lead wire is connected in series via the wire 5 to form one conductor, and the coil-like circuit shown in FIG. 2 is formed by this conductor.
[0031]
Next, as shown in FIG. 3C, the first terminal 13 a and the second terminal 13 b of the coiled circuit are respectively connected to the first terminal 1 a and the second terminal 1 b of the semiconductor chip 1 and the wire 5. Connect.
[0032]
Subsequently, as shown in FIG. 3D, the semiconductor chip 1, the first lead group 3 a, the second lead group 3 b, the die pad 4, and the wire 5 are sealed with a sealing resin 6.
[0033]
At this stage, since each lead wire is connected to the lead frame 2 and does not form a coil shape, there is no function of the antenna. In addition, each lead wire has a short overall length and both ends thereof are connected to the lead frame 2, so that the strength of each lead wire is high and the shape is stable. Handling and resin sealing in each manufacturing process described above It is possible to prevent the lead wire from being deformed and the accompanying short circuit.
[0034]
Thereafter, each lead wire and the die pad 4 are separated from the lead frame 2 to complete a non-contact IC tag.
[0035]
In this state, each lead wire is separated from the lead frame 2 and connected in series via a plurality of wires to form a coiled circuit, and has a function of an antenna circuit.
[0036]
In the conventional example, since the lead wire forms the coil shape from the beginning of the manufacturing process, the lead length becomes long and the strength of the lead wire is insufficient, and handling of each manufacturing process and the lead wire by resin sealing In some cases, the wireless communication characteristics may become unstable in the non-contact IC tag due to deformation and a short circuit that accompanies it. However, according to the present embodiment, the lead wire is not damaged, Since the coil shape is formed, good communication characteristics can be obtained in the obtained non-contact IC tag.
[0037]
In addition, according to the present embodiment, a non-contact IC tag can be manufactured by utilizing the technology, equipment, and materials in the conventional inexpensive plastic package as described above, so that the non-contact IC tag is produced at an extremely low cost. be able to.
[0038]
In this embodiment mode, the antenna circuit is formed using six lead wires. However, the wireless communication function of the non-contact IC tag can be enhanced by using a larger number of lead wires. Further, the shape of the lead wire is not limited to the coil shape, and can be various shapes for forming the antenna circuit.
[0039]
Further, the technical idea of the present invention in which an antenna circuit is formed using a plurality of lead wires and wires is not limited to the above-mentioned non-contact IC tag, but various wireless communication functions such as a non-contact IC card are required. It can be applied to a semiconductor device.
[0040]
【The invention's effect】
According to the present invention, a semiconductor device having high productivity, low manufacturing cost, and long communication distance can be stably produced.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a plan view showing a configuration of a lead frame portion of a non-contact IC tag according to the present invention. FIG. 2 is a plan view showing an overall configuration of a non-contact IC tag according to the present invention. FIG. 4 is a plan view showing the overall structure of a conventional non-contact IC tag. DESCRIPTION OF SYMBOLS
1, 21 Semiconductor chip 1a, 21a First terminal 1b, 21b of semiconductor chip Second terminal 2 of semiconductor chip Lead frame 3a First lead group 3b Second lead group 4, 25 Die pad 5, 26 Wire 6, 27 Sealing resin 21a First terminal 21b of semiconductor chip Second terminal 22 of semiconductor chip Wiring substrate 23 First lead 24 Second lead 28 Exterior resin 29 Metal wire coil 29a First terminal 29b of metal wire coil Second terminal 10a, 20a, 30a, 10b, 20b, 30b of metal wire coil Lead wire

Claims (2)

ダイパッドと、前記ダイパッド上に載置された半導体チップを備えた半導体装置であって、
前記ダイパッドの周囲に複数のリード線が配置され、
前記複数のリード線がワイヤを介して直列に接続され、前記複数のリード線とワイヤにより前記ダイパッドの周囲にコイル状回路が形成され、
前記半導体チップ、前記ダイパッド、前記複数のリード線、及び前記ワイヤが封止樹脂により封止されていることを特徴とする半導体装置。
A semiconductor device comprising a die pad and a semiconductor chip mounted on the die pad,
A plurality of lead wires are arranged around the die pad,
The plurality of lead wires are connected in series via wires, and a coiled circuit is formed around the die pad by the plurality of lead wires and wires,
The semiconductor device, wherein the semiconductor chip, the die pad, the plurality of lead wires, and the wire are sealed with a sealing resin.
半導体チップを、複数のリード線とダイパッドが接続されたリードフレームの前記ダイパッド上に載置する工程と、
前記複数のリード線をワイヤを介して直列に接続し、前記複数のリード線と前記ワイヤによって、コイル状回路を形成する工程と、
前記半導体チップ、前記ダイパッド、前記複数のリード線、及び前記ワイヤを封止樹脂により封止する工程と、
前記リード線と前記ダイパッドを前記リードフレームから分離する工程とを備えたことを特徴とする半導体装置の製造方法。
Placing a semiconductor chip on the die pad of a lead frame to which a plurality of lead wires and a die pad are connected;
Connecting the plurality of lead wires in series via wires, and forming a coiled circuit with the plurality of lead wires and the wires; and
Sealing the semiconductor chip, the die pad, the plurality of lead wires, and the wire with a sealing resin;
A method of manufacturing a semiconductor device, comprising: separating the lead wire and the die pad from the lead frame.
JP2002299459A 2002-10-11 2002-10-11 Semiconductor device and manufacturing method thereof Expired - Fee Related JP3847242B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2002299459A JP3847242B2 (en) 2002-10-11 2002-10-11 Semiconductor device and manufacturing method thereof

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2002299459A JP3847242B2 (en) 2002-10-11 2002-10-11 Semiconductor device and manufacturing method thereof

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2004133799A JP2004133799A (en) 2004-04-30
JP3847242B2 true JP3847242B2 (en) 2006-11-22

Family

ID=32288583

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2002299459A Expired - Fee Related JP3847242B2 (en) 2002-10-11 2002-10-11 Semiconductor device and manufacturing method thereof

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3847242B2 (en)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPWO2006085363A1 (en) * 2005-02-09 2008-06-26 株式会社ルネサステクノロジ Semiconductor device and electronic circuit

Also Published As

Publication number Publication date
JP2004133799A (en) 2004-04-30

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US7112875B1 (en) Secure digital memory card using land grid array structure
EP1855316B1 (en) Stackable integrated circuit package
CN102201386B (en) QFN semiconductor package and fabricating method thereof
US20050156292A1 (en) Reduced size semiconductor package with stacked dies
JP2000133767A (en) Laminated semiconductor package and its manufacture
US6084293A (en) Stacked semiconductor device
US11942263B2 (en) Supportable package device and package assembly
US7719845B1 (en) Chamfered memory card module and method of making same
JP3847242B2 (en) Semiconductor device and manufacturing method thereof
US7095103B1 (en) Leadframe based memory card
JP2981194B2 (en) Semiconductor chip package
JP2006107420A (en) Memory card structure and its manufacturing method
US5200806A (en) Lead frame having a plurality of island regions and a suspension pin
US6376903B1 (en) Semiconductor chip package with multilevel leads
CN101271888A (en) Integrated circuit package and manufacturing method thereof
US7193304B2 (en) Memory card structure
JP4514497B2 (en) Manufacturing method of semiconductor device
CN102306641B (en) Storage module and packaging method
US20060006508A1 (en) Semiconductor device in which semiconductor chip is mounted on lead frame
JP2990645B2 (en) Lead frame for semiconductor integrated circuit and semiconductor integrated circuit
JP2000242753A (en) Non-contact data carrier
JP2004515064A (en) Chip module and chip card module for manufacturing chip card
US7201327B1 (en) Memory card and its manufacturing method
US6579746B2 (en) Method and apparatus for coupling a semiconductor die to die terminals
JP2998726B2 (en) Semiconductor device and manufacturing method thereof

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20041224

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20060810

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20060817

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20060822

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090901

Year of fee payment: 3

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100901

Year of fee payment: 4

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110901

Year of fee payment: 5

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120901

Year of fee payment: 6

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees