JP3812932B2 - Slider transfer device - Google Patents

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JP3812932B2 JP2000024125A JP2000024125A JP3812932B2 JP 3812932 B2 JP3812932 B2 JP 3812932B2 JP 2000024125 A JP2000024125 A JP 2000024125A JP 2000024125 A JP2000024125 A JP 2000024125A JP 3812932 B2 JP3812932 B2 JP 3812932B2
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Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明はスライダ移送装置に関するもので、特に、ソリッドイマージョンレンズを搭載した浮上スライダの非接触移送装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
光ディスクの記録密度を向上させるには、短波長のレーザ光、開口数の大きな対物レンズを用いる必要がある。しかしながら、短波長のレーザ光を生成する半導体レーザを開発するのは容易なことではない。また、対物レンズの開口数を大きくするには、対物レンズの径を大きくすればよいが、光ヘッド自体が大型化して好ましくない。
【0003】
そこで、ソリッドイマージョンレンズを用いて光ディスクに情報を記録することが提案された。これは、対物レンズにより集光されたレーザ光を更に収束させるようにしたものであり、このソリッドイマージョンレンズを用いることにより、微小スポットを形成することができる。
【0004】
図5に従来におけるスライダ移送装置の概略構造が示されている。図5において、浮上スライダ52は、上記したソリッドイマージョンレンズを搭載し保持するものであり、この浮上スライダ52により記録時において光デイスク51とソリッドイマージョンレンズとの間の距離は50〜100nmとなる。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上記したソリッドイマージョンレンズを搭載した浮上スライダ52を、回転する光ディスク51上にローディングする場合、図6に示すように、浮上スライダ52が取り付けられたサスペンション53の支持部54を上下に可動することにより、遠くの位置から徐々に距離(高さ)を狭めディスク面に近づけていた。なお、図6は、従来におけるスライダ移送装置のスライダと面振れとの関係を時間軸上に示した図である。
【0006】
しかしながら、回転している光ディスクは面振れのため、上下に高速に振動しており、上記したスライダが正常にローディングして浮上する前に、衝突してしまうことが想定される。特に、ソリッドイマージョンレンズは、高密度に記録するために浮上量を小さくしなければならないため、接触もしくは衝突の可能性が高い。
【0007】
本発明は上記事情に鑑みてなされたものであり、スライダ、特にイマージョンレンズと光ディスクとの接触もしくは衝突を回避したスライダ移送装置を提供することを目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、本発明は、情報読取りまたは書込み手段を搭載したスライダを、ディスクに近接する方向の所定位置に移送するスライダ移送装置において、前記ディスクの面振れ量を検出する面振れ量検出手段と、前記検出した面振れ量に基づいて、前記ディスクと前記スライダとの間隔が目標間隔になるように前記スライダの移送量を制御する移送制御手段と、を備え、前記移送制御手段は、前記スライダを支持して前記ディスクに近接する方向に移動するZステージの移送量を制御するZステージ制御手段と、前記Zステージによって移動される前記スライダの位置を補正する位置補正コイルを、前記面倒れ量に基づいて制御する補正コイル制御手段と、からなることを特徴とする。
【0009】
上記構成により、ディスクの面振れ量を検出し、その面振れ量に基づいて、ディスクとスライダとの間隔が目標間隔になるようにスライダの移送量を制御することで、ディスクの面振れと同じようにスライダが上下しながらディスクに近づき、このことにより、スライダがディスクに接触もしくは衝突する可能性が低くなり、情報記録再生装置としての信頼性が向上する。
【0013】
また、本発明は、前述の特徴に加えて、前記位置補正コイルは、前記スライダの近傍に設けられ、直流電流を供給することにより、前記スライダの下降方向となる当該コイルの軸方向に磁界を発生させ、前記Zステージ制御手段は、前記ディスクから任意の距離だけ離れた位置を初期位置とし、前記ディスクの回転に伴い前記初期位置から前記ディスクに向かって前記スライダを所定の速度で降下させ、前記補正コイル制御手段は、前記位置補正コイルに電流を流すことによって発生する磁界により、前記スライダが該スライダを支持するサスペンションが持つ弾性力とつりあった状態を初期状態とし、前記Zステージの降下に連動して前記スライダが前記ディスクの面振れと一定間隔を維持して動くように、前記面振れに相当する交流電流を前記位置補正コイルに流れている直流電流に重畳し、前記Zステージが最終位置で停止したときに前記位置補正コイルに対する交流電流の重畳を停止することを特徴とする。
【0015】
また、本発明は、前述した特徴に加えて、前記スライダは、対物レンズで集光された光を収束するソリッドイマージョンレンズを保持する浮上スライダであることを特徴とする。
【0016】
このことにより、ディスクの面振れ量を検出し、その面振れ量に基づいて、ディスクとスライダとの間隔が目標間隔になるようにスライダの移送量を制御することにより、ディスクの面振れと同じようにスライダが上下しながらディスクに近づく。従って、スライダがディスクに接触もしくは衝突する可能性が低くなり、情報記録再生装置としての信頼性が向上する。このことは、特に高密度記録のために浮上量を小さくする必要があるソリッドイマージョンレンズを搭載した浮上スライダに用いて顕著な効果が得られる。
【0017】
【発明の実施の形態】
図1は本発明のスライダ移送装置の一実施形態を示す図である。図において、11は光ディスクであり、光ディスク11と所定の間隙をもって浮上スライダ12が位置する。浮上スライダ12は、適当な弾性を持つサスペンション13によって支持され、サスペンション13はZ方向に上下動可能なアクチュエータならびに支持部によって保持されている。以降、このアクチュエータならびに支持部は、便宜上移動Zステージ14と称し説明を行う。15はローディング制御回路である。ローディング制御回路15には、移動Zステージ14からZステージ位置信号が、また、レーザ干渉型変位計17から面振れ信号がそれぞれ供給され、これら信号に基づき後述するようにZステージ制御信号ならびに補正コイル制御信号を生成し、それぞれ、移動Zステージ14ならびに位置補正コイル16に供給する。
【0018】
16は本発明により付加される位置補正コイルである。位置補正コイル16は、上記した移動Zステージ14に支持され、移動Zステージ14と共に上下動するか、あるいは図示せぬフレームの一部に固定されてもよい。この位置補正コイル16に、ローディング制御回路15によって補正コイル制御信号として所定の電流が供給されるとZ方向(コイルの軸方向)の磁界が発生する。上記した浮上スライダ12あるいはサスペンション13の一部は磁性体で形成されており、位置補正コイル16によって発生される磁界によるZ方向の力を受け、光ディスク11の面振れと一定間隔を維持して動くように浮上スライダ12が制御される。
【0019】
レーザ干渉型変位計17は、光ディスク11の上面に適当な間隔をもって配置され、レーザ干渉の原理に従い光ディスク11の面振れ量を測定し、面振れ信号としてローディング制御回路15に供給する。なお、ディスクが透明であれば下面に配置することも可能である。
【0020】
図3は、図1に示す本発明実施形態の動作を説明するために引用した図であり、主にローディング制御回路15による制御の流れを示す。
【0021】
以下、図3を参照しながら図1に示す本発明実施形態の動作について詳細に説明する。まず、初期状態(a)において、移動Zステージ14は光ディスク11から離れた初期位置で静止している。また、位置補正コイル16には直流電流が供給され、それにより発生する直流磁界により、浮上スライダ12に設けられた磁性体片21に吸引力が働き、サスペンション13の弾力性とつり合った状態になっている。
【0022】
次に(b)において、光ディスク11の回転に伴いレーザ干渉型変位計17により面振れを測定する。ローディング制御回路15は、浮上スライダ12がそれと一定間隔を保って動くように位置補正コイル16に電流を流す。すなわち、ローディング制御回路15は、Zステージ制御信号を供給することにより移動Zステージ14を一定速度で降ろし、ローディング動作を始める。このことにより、移動Zステージ14は、初期位置から光ディスク11に向かって所定の速度で降下する。ローディング制御回路15は、更に、浮上スライダ12が光ディスク11の面振れと一定間隔を保って動くように、面振れに相当する交流電流を直流電流に重量し、位置補正コイル16に補正コイル制御信号として供給する。
【0023】
(c)において、移動Zステージ14の位置が下がり、光ディスク11と浮上スライダ12の間のギャップが狭くなるに従い、浮上スライダ12は、光ディスク11の回転による浮上力を受けるようになる。なお、移動Zステージ14を降ろすと、浮上力とサスペンシヨン13の弾力性のつりあう一定のギャップが保たれるようになり、ローディングが完了する。この状態では位置補正コイル16による位置補正は不要になるのため交流電流の供給を停止する。すなわち、移動Zステージ14は、引き続き降下した後、所定のギャップが得られる最終位置で停止し、移動ステージ14が最終位置で停止した後、位置補正コイル16に対する補正コイル制御信号の供給も停止する。
【0024】
このように位置補正コイル16の制御を行うことにより光ディスク11と浮上スライダ12の相対位置が小さい状態のままローディング制御が可能となるため、接触もしくは衝突を回避できる。
【0025】
図2は本発明におけるスライダ移送装置の他の実施形態を示す図である。図中、図1に示す符号と同一番号が付された構成要素は図1に示すそれと同じである。ここで、図1に示す実施形態との差異は、面振れに加えて光ディスク11と浮上スライダ12とのギャップ検出を行うことにある。すなわち、レーザ干渉型変位計17は、面振れ、浮上スライダ12の両方の測定光を用い、面振れと浮上スライダ12の変位の差からギャップを測定する。他は、図1に示す実施形態と同様である。
【0026】
図4に、図2に示す本発明実施形態のローディング動作が示されている。
以下、図4を参照しながら図2に示す本発明実施形態の動作について詳細に説明する。まず、初期状態(a)において、移動Zステージ14は光ディスク11から離れた初期位置で静止している。また、位置補正コイル16には直流電流が供給され、それにより発生する直流磁界により、浮上スライダ12に設けられた磁性体片21に吸引力が働き、サスペンション13の弾性力とつり合った状態になっている。
【0027】
次に、(b)において、光ディスク11の回転に伴い、光ディスク面と浮上スライダ12間のギャップを測定し、位置補正コイル16の磁界によりそのギャップが設定した目標値になるようにフィードバッグ制御する。同時に移動Zステージ14を一定速度で降ろし、ローディング動作を始める。すなわち、ローディング制御回路15は、移動Zステージ14にZステージ制御信号を供給し、このことにより、移動Zステージ14は、初期位置から光ディスク11に向かって所定の速度で降下する。また、位置補正コイル16は、移動Zステージ14の降下に連動して、各々のZ位置においてあらかじめ設定した適切な目標値に変えていく。
【0028】
(c)において、移動Zステージ14の位置が下がり、光ディスク11と浮上スライダ12の間のギャップが狭くなるに従い、浮上スライダ12は、光ディスク11の回転による浮上力を受けるようになる。なお、移動Zステージ14を降ろすと、浮上力とサスペンションの弾性力のつりあう一定のギャップが保たれるようになり、ここでローディングが完了する。すなわち、移動Zステージ14は、引き続き降下した後所定のギャップが得られる最終位置で停止する。移動ステージ14が最終位置で停止した後、位置補正コイル16に対する補正コイル制御信号の供給も停止する。
【0029】
このように位置補正コイル16の制御を行うことにより光ディスク11と浮上スライダ12の相対位置が小さい状態のままローディング制御が可能となるため、接触もしくは衝突を回避できる。
【0030】
以上説明のように本発明は、図1に実施形態として示すように、浮上スライダ12あるいはその支持部であるサスペンション13に高速に上下動可能な移動Zステージ15を設けるとともに、レーザ干渉型変位計17により光ディスク11の面振れを測定し、ローディング制御回路15により、その時間波形に応じた信号を浮上スライダ12に加えながら浮上スライダ12を光ディスク11に近づけてローディングすることにより、あるいは、図2に実施形態として示すように、レーザ干渉型変位計17により光ディスク11と浮上スライダ12間のギャップを測定し、ローディング制御回路15がそのスペースが一定になるように浮上スライダ12の高さを制御した後、一定スペース量を徐々に小さくして浮上スライダ12をローディングすることにより、浮上スライダ12、特にイマージョンレンズと光ディスク11との接触もしくは衝突を回避したスライダ移送装置を提供するものであり、このことにより、いずれの実施形態も光ディスク11の面振れと同じように浮上スライダ12が上下しながら光ディスク11に近づくため、接触もしくは衝突の可能性が低くなる。このことは図7に示されており、図6に示す例と比較してその接触、もしくは衝突の可能性が低くなることがわかる。
【0031】
なお、本発明実施形態においては、面振れ、あるいはギャップ検出を行うのにレーザ干渉型変位計17を用いたが、他に周知となっている光てこ方式、あるいは静電容量方式を用いた変位計を用いても同様の結果が得られる。
【0032】
【発明の効果】
以上説明のように本発明は、ディスクの面振れ量を検出し、その面振れ量に基づいて、ディスクとスライダとの間隔が目標間隔になるようにスライダの移送量を制御することにより、ディスクの面振れと同じようにスライダが上下しながらディスクに近づく。従って、スライダがディスクに接触もしくは衝突する可能性が低くなり、情報記録再生装置としての信頼性が向上する。
【0033】
なお、本発明は、特に高密度記録のために浮上量を小さくする必要があるソリッドイマージョンレンズを搭載した浮上スライダに用いて顕著な効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明におけるスライダ移送装置の一実施形態を示す図である。
【図2】本発明におけるスライダ移送装置の他の実施形態を示す図である。
【図3】図1に示す実施形態の動作を説明するために引用した図である。
【図4】図2に示す実施形態の動作を説明するために引用した図である。
【図5】従来におけるスライダ移送装置の概略構造を示す図である。
【図6】従来におけるスライダ移送装置のスライダと面振れとの関係を時間軸上に示した図である。
【図7】本発明におけるスライダ移送装置のスライダと面振れとの関係を時間軸上に示した図である。
【符号の説明】
11…光ディスク
12…浮上スライダ
13…サスペンション
14…移動Zステージ
15…ローディング制御回路
16…位置補正コイル
17…レーザ干渉型変位計
21…磁性体片
[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a slider transfer device, and more particularly to a non-contact transfer device for a flying slider equipped with a solid immersion lens.
[0002]
[Prior art]
In order to improve the recording density of an optical disk, it is necessary to use a short wavelength laser beam and an objective lens having a large numerical aperture. However, it is not easy to develop a semiconductor laser that generates laser light with a short wavelength. In order to increase the numerical aperture of the objective lens, the diameter of the objective lens may be increased. However, the optical head itself is undesirably enlarged.
[0003]
Therefore, it has been proposed to record information on an optical disk using a solid immersion lens. In this case, the laser beam condensed by the objective lens is further converged, and a minute spot can be formed by using this solid immersion lens.
[0004]
FIG. 5 shows a schematic structure of a conventional slider transfer device. In FIG. 5, the flying slider 52 mounts and holds the above-described solid immersion lens, and the distance between the optical disk 51 and the solid immersion lens is 50 to 100 nm during recording by the flying slider 52.
[0005]
[Problems to be solved by the invention]
By the way, when the flying slider 52 mounted with the above-described solid immersion lens is loaded onto the rotating optical disk 51, the support portion 54 of the suspension 53 to which the flying slider 52 is attached is moved up and down as shown in FIG. As a result, the distance (height) was gradually narrowed from a distant position to approach the disc surface. FIG. 6 is a diagram showing the relationship between the slider and the surface runout of the conventional slider transfer device on the time axis.
[0006]
However, the rotating optical disk vibrates up and down at high speed due to surface wobbling, and it is assumed that the above-mentioned slider collides before it normally loads and floats. In particular, a solid immersion lens has a high possibility of contact or collision because the flying height must be reduced in order to record at high density.
[0007]
The present invention has been made in view of the above circumstances, and an object of the present invention is to provide a slider transfer device that avoids contact or collision between a slider, particularly an immersion lens, and an optical disk.
[0008]
[Means for Solving the Problems]
In order to solve the above-described problems, the present invention provides a surface runout that detects the amount of runout of the disk in a slider transport device that transports a slider equipped with information reading or writing means to a predetermined position in a direction close to the disk. An amount detection means; and a transfer control means for controlling the transfer amount of the slider so that the distance between the disk and the slider becomes a target interval based on the detected amount of surface deflection , and the transfer control means Comprises a Z stage control means for controlling the transfer amount of the Z stage that moves in the direction approaching the disk while supporting the slider, and a position correction coil for correcting the position of the slider moved by the Z stage, Correction coil control means for controlling based on the surface tilt amount .
[0009]
With the above configuration, the amount of surface runout of the disk is detected, and the amount of slider movement is controlled based on the amount of surface runout so that the distance between the disk and the slider becomes the target distance. Thus, the slider approaches the disk while moving up and down, and this reduces the possibility that the slider will contact or collide with the disk, improving the reliability of the information recording / reproducing apparatus.
[0013]
Further, according to the present invention, in addition to the above-described features, the position correction coil is provided in the vicinity of the slider, and by supplying a direct current, a magnetic field is generated in the axial direction of the coil that is the downward direction of the slider. The Z stage control means sets the position separated from the disk by an arbitrary distance as an initial position, and lowers the slider at a predetermined speed from the initial position toward the disk as the disk rotates, The correction coil control means sets an initial state where the slider is balanced with an elastic force of a suspension supporting the slider by a magnetic field generated by passing a current through the position correction coil. The AC current corresponding to the surface runout is interlocked so that the slider moves while maintaining a certain distance from the disc runout. Superimposed on a DC current flowing in the position correction coil, wherein the Z stage is characterized by stopping the superposition of the alternating current to the position correction coil when stopping at a final position.
[0015]
In addition to the above-described features, the present invention is characterized in that the slider is a flying slider that holds a solid immersion lens that converges light collected by the objective lens.
[0016]
As a result, the amount of surface deflection of the disk is detected, and the amount of movement of the slider is controlled based on the amount of surface deflection so that the distance between the disk and the slider becomes the target distance. As the slider moves up and down, it approaches the disk. Therefore, the possibility that the slider contacts or collides with the disk is reduced, and the reliability as the information recording / reproducing apparatus is improved. This is particularly effective when used in a flying slider equipped with a solid immersion lens that requires a small flying height for high-density recording.
[0017]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
FIG. 1 is a view showing an embodiment of a slider transfer device of the present invention. In the figure, reference numeral 11 denotes an optical disk, and the flying slider 12 is positioned with a predetermined gap from the optical disk 11. The flying slider 12 is supported by a suspension 13 having an appropriate elasticity, and the suspension 13 is held by an actuator that can move up and down in the Z direction and a support portion. Hereinafter, the actuator and the support portion will be referred to as the moving Z stage 14 for convenience. Reference numeral 15 denotes a loading control circuit. The loading control circuit 15 is supplied with a Z stage position signal from the moving Z stage 14 and a surface shake signal from the laser interference displacement meter 17, and based on these signals, a Z stage control signal and a correction coil are described later. Control signals are generated and supplied to the moving Z stage 14 and the position correction coil 16, respectively.
[0018]
Reference numeral 16 denotes a position correction coil added according to the present invention. The position correction coil 16 may be supported by the moving Z stage 14 described above and move up and down together with the moving Z stage 14 or may be fixed to a part of a frame (not shown). When a predetermined current is supplied to the position correction coil 16 as a correction coil control signal by the loading control circuit 15, a magnetic field in the Z direction (coil axial direction) is generated. A part of the flying slider 12 or the suspension 13 described above is formed of a magnetic material, and receives the Z-direction force generated by the magnetic field generated by the position correction coil 16, and moves while maintaining a certain distance from the surface deflection of the optical disk 11. Thus, the flying slider 12 is controlled.
[0019]
The laser interference type displacement meter 17 is arranged on the upper surface of the optical disk 11 with an appropriate interval, measures the amount of surface vibration of the optical disk 11 according to the principle of laser interference, and supplies it to the loading control circuit 15 as a surface vibration signal. If the disk is transparent, it can be arranged on the lower surface.
[0020]
FIG. 3 is a diagram cited for explaining the operation of the embodiment of the present invention shown in FIG. 1 and mainly shows the flow of control by the loading control circuit 15.
[0021]
Hereinafter, the operation of the embodiment of the present invention shown in FIG. 1 will be described in detail with reference to FIG. First, in the initial state (a), the moving Z stage 14 is stationary at an initial position away from the optical disk 11. Further, a direct current is supplied to the position correction coil 16, and a direct magnetic field generated thereby causes an attractive force to act on the magnetic piece 21 provided on the flying slider 12, so that the position correction coil 16 balances with the elasticity of the suspension 13. It has become.
[0022]
Next, in (b), the surface shake is measured by the laser interference displacement meter 17 as the optical disk 11 rotates. The loading control circuit 15 supplies a current to the position correction coil 16 so that the flying slider 12 moves at a constant interval. That is, the loading control circuit 15 supplies the Z stage control signal to lower the moving Z stage 14 at a constant speed and starts the loading operation. As a result, the movable Z stage 14 descends from the initial position toward the optical disc 11 at a predetermined speed. The loading control circuit 15 further weights the alternating current corresponding to the surface shake to the direct current so that the flying slider 12 moves with a certain distance from the surface shake of the optical disc 11, and sends a correction coil control signal to the position correction coil 16. Supply as.
[0023]
In (c), as the position of the moving Z stage 14 is lowered and the gap between the optical disk 11 and the flying slider 12 is narrowed, the flying slider 12 receives a flying force due to the rotation of the optical disk 11. When the moving Z stage 14 is lowered, a constant gap is maintained that balances the levitation force and the elasticity of the suspension 13, and the loading is completed. In this state, since the position correction by the position correction coil 16 is not necessary, the supply of alternating current is stopped. That is, the moving Z stage 14 continues to descend and then stops at the final position where a predetermined gap is obtained. After the moving stage 14 stops at the final position, the supply of the correction coil control signal to the position correction coil 16 also stops. .
[0024]
By controlling the position correction coil 16 in this way, loading control can be performed while the relative position between the optical disk 11 and the flying slider 12 is small, so that contact or collision can be avoided.
[0025]
FIG. 2 is a view showing another embodiment of the slider transfer device according to the present invention. In the figure, the components denoted by the same reference numerals as those shown in FIG. 1 are the same as those shown in FIG. Here, the difference from the embodiment shown in FIG. 1 is that a gap between the optical disc 11 and the flying slider 12 is detected in addition to the surface deflection. That is, the laser interference type displacement meter 17 measures the gap from the difference between the surface deflection and the displacement of the flying slider 12 using the measurement light of both the surface deflection and the flying slider 12. Others are the same as the embodiment shown in FIG.
[0026]
FIG. 4 shows the loading operation of the embodiment of the present invention shown in FIG.
Hereinafter, the operation of the embodiment of the present invention shown in FIG. 2 will be described in detail with reference to FIG. First, in the initial state (a), the moving Z stage 14 is stationary at an initial position away from the optical disk 11. Further, a DC current is supplied to the position correction coil 16, and a DC magnetic field generated thereby causes an attractive force to act on the magnetic piece 21 provided on the flying slider 12, so that the position correction coil 16 balances with the elastic force of the suspension 13. It has become.
[0027]
Next, in (b), as the optical disk 11 rotates, the gap between the optical disk surface and the flying slider 12 is measured, and feedback control is performed so that the gap becomes the set target value by the magnetic field of the position correction coil 16. . At the same time, the moving Z stage 14 is lowered at a constant speed, and the loading operation is started. In other words, the loading control circuit 15 supplies a Z stage control signal to the moving Z stage 14, whereby the moving Z stage 14 descends from the initial position toward the optical disk 11 at a predetermined speed. Further, the position correction coil 16 is changed to an appropriate target value set in advance at each Z position in conjunction with the lowering of the moving Z stage 14.
[0028]
In (c), as the position of the moving Z stage 14 is lowered and the gap between the optical disk 11 and the flying slider 12 is narrowed, the flying slider 12 receives a flying force due to the rotation of the optical disk 11. When the movable Z stage 14 is lowered, a constant gap is maintained that balances the floating force and the elastic force of the suspension, and the loading is completed here. That is, the moving Z stage 14 continues to descend and stops at the final position where a predetermined gap is obtained. After the moving stage 14 stops at the final position, the supply of the correction coil control signal to the position correction coil 16 is also stopped.
[0029]
By controlling the position correction coil 16 in this way, loading control can be performed while the relative position between the optical disk 11 and the flying slider 12 is small, so that contact or collision can be avoided.
[0030]
As described above, according to the present invention, as shown in the embodiment in FIG. 1, the floating slider 12 or the suspension 13 that is a supporting portion thereof is provided with the movable Z stage 15 that can move up and down at high speed, and the laser interference displacement meter. 17, the surface vibration of the optical disk 11 is measured, and the loading control circuit 15 loads the flying slider 12 close to the optical disk 11 while applying a signal corresponding to the time waveform to the flying slider 12, or FIG. As shown in the embodiment, after the gap between the optical disk 11 and the flying slider 12 is measured by the laser interference displacement meter 17 and the height of the flying slider 12 is controlled by the loading control circuit 15 so that the space is constant. Load the flying slider 12 by gradually reducing the amount of space. Accordingly, a slider transfer device that avoids contact or collision between the flying slider 12, particularly the immersion lens, and the optical disk 11 is provided. Since the flying slider 12 approaches the optical disk 11 while moving up and down, the possibility of contact or collision is reduced. This is shown in FIG. 7, and it can be seen that the possibility of contact or collision is lower than in the example shown in FIG.
[0031]
In the embodiment of the present invention, the laser interference type displacement meter 17 is used to detect the surface shake or the gap, but other known displacement methods using an optical lever method or a capacitance method are used. Similar results can be obtained using a meter.
[0032]
【The invention's effect】
As described above, the present invention detects the amount of surface vibration of the disk, and controls the amount of slider movement so that the distance between the disk and the slider becomes the target distance based on the amount of surface vibration. The slider moves closer to the disk while moving up and down in the same way as the surface runout. Therefore, the possibility that the slider contacts or collides with the disk is reduced, and the reliability as the information recording / reproducing apparatus is improved.
[0033]
The present invention is particularly effective when used for a flying slider equipped with a solid immersion lens that requires a small flying height for high-density recording.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a diagram showing an embodiment of a slider transfer device according to the present invention.
FIG. 2 is a view showing another embodiment of the slider transfer device according to the present invention.
FIG. 3 is a diagram cited for explaining the operation of the embodiment shown in FIG. 1;
4 is a diagram cited for explaining the operation of the embodiment shown in FIG. 2; FIG.
FIG. 5 is a diagram showing a schematic structure of a conventional slider transfer device.
FIG. 6 is a diagram showing a relationship between a slider and a surface runout of a conventional slider transfer device on a time axis.
FIG. 7 is a diagram showing a relationship between a slider and a surface runout of the slider transfer device according to the present invention on a time axis.
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF SYMBOLS 11 ... Optical disk 12 ... Flying slider 13 ... Suspension 14 ... Moving Z stage 15 ... Loading control circuit 16 ... Position correction coil 17 ... Laser interference type displacement meter 21 ... Magnetic material piece

Claims (3)

情報読取りまたは書込み手段を搭載したスライダを、ディスクに近接する方向の所定位置に移送するスライダ移送装置において、
前記ディスクの面振れ量を検出する面振れ量検出手段と、
前記検出した面振れ量に基づいて、前記ディスクと前記スライダとの間隔が目標間隔になるように前記スライダの移送量を制御する移送制御手段と、を備え、
前記移送制御手段は、
前記スライダを支持して前記ディスクに近接する方向に移動するZステージの移送量を制御するZステージ制御手段と、
前記Zステージによって移動される前記スライダの位置を補正する位置補正コイルを、前記面倒れ量に基づいて制御する補正コイル制御手段と、からなることを特徴とするスライダ移送装置。
In a slider transfer device for transferring a slider equipped with information reading or writing means to a predetermined position in a direction close to the disk,
A surface shake amount detecting means for detecting a surface shake amount of the disk;
Transport control means for controlling the transport amount of the slider based on the detected surface deflection amount so that the distance between the disk and the slider becomes a target interval ;
The transfer control means includes
Z stage control means for controlling the transfer amount of the Z stage that supports the slider and moves in a direction close to the disk;
And a correction coil control means for controlling a position correction coil for correcting the position of the slider moved by the Z stage based on the surface tilt amount .
前記位置補正コイルは、前記スライダの近傍に設けられ、直流電流を供給することにより、前記スライダの下降方向となる当該コイルの軸方向に磁界を発生させ、
前記Zステージ制御手段は、前記ディスクから任意の距離だけ離れた位置を初期位置とし、前記ディスクの回転に伴い前記初期位置から前記ディスクに向かって前記スライダを所定の速度で降下させ、
前記補正コイル制御手段は、前記位置補正コイルに電流を流すことによって発生する磁界により、前記スライダが該スライダを支持するサスペンションが持つ弾性力とつりあった状態を初期状態とし、前記Zステージの降下に連動して前記スライダが前記ディスクの面振れと一定間隔を維持して動くように、前記面振れに相当する交流電流を前記位置補正コイルに流れている直流電流に重畳し、前記Zステージが最終位置で停止したときに前記位置補正コイルに対する交流電流の重畳を停止することを特徴とする請求項1に記載のスライダ移送装置。
The position correction coil is provided in the vicinity of the slider, and generates a magnetic field in the axial direction of the coil which is a descending direction of the slider by supplying a direct current.
The Z stage control means sets a position separated from the disk by an arbitrary distance as an initial position, and lowers the slider at a predetermined speed from the initial position toward the disk as the disk rotates.
The correction coil control means sets an initial state in which the slider is balanced with an elastic force of a suspension supporting the slider by a magnetic field generated by passing a current through the position correction coil. In conjunction with this, an alternating current corresponding to the surface vibration is superimposed on a direct current flowing in the position correction coil so that the slider moves while maintaining a certain distance from the surface vibration of the disk. The slider transfer device according to claim 1 , wherein superposition of an alternating current to the position correction coil is stopped when stopped at a position .
前記スライダは、対物レンズで集光された光を収束するソリッドイマージョンレンズを保持する浮上スライダであることを特徴とする請求項1または2に記載のスライダ移送装置。The slider, the slider transfer device according to claim 1 or 2, characterized in that a flying slider which holds a solid immersion lens which converges the light condensed by the objective lens.
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