JP3812144B2 - Manufacturing method of light emitting display - Google Patents

Manufacturing method of light emitting display Download PDF

Info

Publication number
JP3812144B2
JP3812144B2 JP14490198A JP14490198A JP3812144B2 JP 3812144 B2 JP3812144 B2 JP 3812144B2 JP 14490198 A JP14490198 A JP 14490198A JP 14490198 A JP14490198 A JP 14490198A JP 3812144 B2 JP3812144 B2 JP 3812144B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
emitting display
light emitting
manufacturing
solvent
light
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
JP14490198A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JPH11339957A (en
Inventor
貞男 神戸
浩史 木口
関  俊一
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Seiko Epson Corp
Original Assignee
Seiko Epson Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Seiko Epson Corp filed Critical Seiko Epson Corp
Priority to JP14490198A priority Critical patent/JP3812144B2/en
Publication of JPH11339957A publication Critical patent/JPH11339957A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP3812144B2 publication Critical patent/JP3812144B2/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K71/00Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
    • H10K71/40Thermal treatment, e.g. annealing in the presence of a solvent vapour
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K71/00Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
    • H10K71/10Deposition of organic active material
    • H10K71/12Deposition of organic active material using liquid deposition, e.g. spin coating
    • H10K71/15Deposition of organic active material using liquid deposition, e.g. spin coating characterised by the solvent used

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は発光ディスプレイの製造方法に係わり、更に詳しくは、吐出装置を用い、発光材料を吐出することにより発光層を形成する発光ディスプレイの製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
近年液晶表示体がワードプロセッサー、パーソナルコンピュータ等の表示部として盛んに用いられている。この液晶表示体は非発光素子であり明るさの点、特に反射型ディスプレイで用いるとき問題となっている。ここへきて薄型、軽量の特徴を有する有機の発光材料(以後有機ELという)を用いた発光ディスプレイが注目されている。この発光ディスプレイの断面図を図1に示す。図において1はアルミニウム電極を、2は有機EL材料を、3はITO透明電極を、4はガラス基板を、5は電源をそれぞれ示す。この発光ディスプレイの作成方法は以下の通りである。まず、透明基板上にスパッター法、又は蒸着法等によりITO透明電極を付ける。この後、ホトリソグラフィー法により所望の形状の電極とする。しかる後、スピンコート法、蒸着法、吐出法等により有機EL材をコートし、発光層とする。
【0003】
コートの仕方は上記方法が主であるが、最近はパターニングできる吐出法が注目されている。
【0004】
このようにして得た発光層の上に仕事関数の低い金属、例えばマグネシウム、アルミニウム、リチウム、カルシュウム、銀、あるいはこれらの合金を蒸着法、スパッター法等によりとばすことにより対向電極を得る。以上が基本の工程であるが、発光効率を上げるために、ITO透明電極を付けた後更に、ホール輸送材料、例えばN,N’−ジフェニル−N,N’−(2,4−ジメチルフェニル)−1、1’−ビフェニル−4,4’−ジアミンを蒸着法により付けても良い。また有機EL材料を付けた後、電子輸送材料を、例えば2−(4−ビフェニル)−5−(4−tert−ブチルフェニル)−1,3,4−オキシジアゾールを付けても良い。
【0005】
この対向する2種の電極に電界を印加することにより発光させることができる。この発光ディスプレイの特徴として、10ボルト以下の低電圧で駆動できることがある。
【0006】
この有望な技術に吐出装置を組み合わせることにより有機EL材料のパターニングが可能となり、フルカラーの発光ディスプレイを得ることが出来る。すなわち従来のホトリソグラフィー法による赤、緑、青のパターニングの代わりに、ディスペンサー、インクジェットプリンティング装置等の吐出装置を用い、赤、緑、青の有機EL材料を溶かした溶液を、適当なITO透明電極上に吐出し、溶媒を気散させパターニングした後、対向電極を蒸着(スパッター)する事により、フルカラーの発光ディスプレイを得ることが出来る。この吐出法による概念を図2を用い説明する。図において11はガラス基板を、12はTFT素子を、13はITO電極を、14は溶液を吐出するノズルを示す。図に示すノズルにより、赤、緑、青に対応した有機EL材料をITO電極上に、例えば、図に示すTFT素子により個々別々に駆動できるように形成されたITO電極上に、交互に赤、緑、青の有機EL材料が並置するように、吐出する事によりフルカラーディスプレイを作成できる。
【0007】
吐出装置を組み合わせてパターニングする方法の欠点として、極細のノズルから溶液を吐出するため、溶液の乾燥により、溶質が析出しノズルが詰まる欠点がある。この欠点を克服するために、グリセリンやジエチレングリコール、ジアミン、糖、あるいはこれら溶媒の誘導体等の高沸点の親水性溶媒を加えるている。
【0008】
この発光ディスプレイに用いられる有機EL材料としては低分子系有機EL材料、高分子系有機EL材料がある。高分子系材料としてはポリパラフェニレンビニレン系(以後PPVと略記する)の材料がその材料の安定性、発光効率、輝度等の点で優れており、注目されている。この材料は前駆体を用いることを特徴としており、溶液状態で原料を扱えることができ、スピンコート法、ディッピング法等により薄膜化出来る特徴がある。そして得られた膜を焼成することにより一重結合が二重結合となり溶媒に不溶となり、安定な膜となる。このときの二重結合のでき具合により、発光効率、輝度に差がでる。
【0009】
このPPV系材料を溶かした溶液を用い、吐出装置でパターニングしようとすると、一般的な水、メタノール等の低沸点溶媒では乾燥しやすく、ノズルの目詰まりを起こしやすい。このためグリセリンやエチレングリコール等の親水性高沸点溶媒を添加していた。これがPPV系材料を用い、吐出装置によりパターニングする場合の従来の例である。従来例の通りグリセリン等を入れたPPV系材料を溶かした溶液を吐出装置により吐出し、焼成するとグリセリン等の高沸点溶媒がなかなか抜けなく、一重結合が二重結合になりがたく、共役化しない現象が見られ、得られた発光材料は目的とする波長の光より短波長にシフトするか、ほとんど発光しない等の欠点があった。
【0010】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、吐出装置によるPPV材料を用いた有機EL発光ディスプレイの製造において、発光波長が低波長側にシフトし、ほとんど光らなくなるという問題を解決するためになされたもので、その目的は従来の製造方法をあまり変えることなく、PPV系の有機EL材料を吐出装置を用い吐出し、パターニングすることによりフルカラー発光ディスプレイを作成する製造方法を提供するためになされたものである。
【0011】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、請求項1の本発明の発光ディスプレイの製造方法は、吐出装置によりポリフェニレンビニレンの前駆体材料と高沸点溶媒を含む溶液を基板上に吐出した後、該基板を焼成する前に、室温での溶媒除去の工程、および乾燥する工程を入れることを特徴とする。乾燥温度は120度C以下が好適であり、この温度以下でポリパラフェニレンビニレン前駆体を処理すると二重結合を形成させることなく溶媒を除去できることがわかった。この温度以上で行うと反応が進み発光波長が低波長側にシフトし発光効率が極端に落ちることがわかった。
【0012】
そして請求項2は、この高沸点溶媒がグリセリン、ジエチレングリコール、トリエタノールアミン、糖であるか、こらら溶媒の誘導体であるか又はこれら溶媒の混合物であることを特徴としている。これら溶媒を加えることにより吐出装置のノズル中を常に湿潤にしておけるためノズルの目詰まりを起こすことなく長時間の使用に耐える。
【0013】
請求項3は溶媒の除去を室温、真空下で行うことを特徴としている。室温、真空下で行うため、PPVの前駆体の反応を起こさせることなく、高沸点溶媒を除去でき、発光波長のシフトがなく発光効率の良い発光ディスプレイを製造できる。
【0014】
請求項4は真空度を制限したもので、1mmHg以下の真空下で処理することにより、ほとんどの高沸点溶媒を高沸点溶媒の沸点以下の温度で処理できるようになり更に好適である。
【0015】
請求項5は溶媒除去後、痕跡の高沸点溶媒を除去するための工程であり、この工程をいれることにより、表示体の寿命や発光強度を更に増加させることができる。温度はあまり高いと、PPVの反応が進み良くなく、温度が低いと除去に時間がかかり良くない、120度C以下であれば可能であるが、70度C以下であれば尚よい。
【0016】
請求項6は吐出装置がインクジェットプリンティング装置であることを特徴としている。吐出装置としてはディスペンサー、インクジェットプリンティング装置等あるが、微細化、高速化の点でインクジェットプリンティング装置が好適である。
【0017】
【発明の実施の形態】
(実施例1)ポリパラフェニレンビニレンの前駆体である高分子電解質を0.5重量パーセント含む下記溶液を吐出装置にとり、ITO透明電極の付いた基板上に吐出した。
【0018】
溶液
水・・・・・・・・・・90重量パーセント
グリセリン・・・・・・10重量パーセント
吐出後該基板を1mmHgの真空下で100度Cで1時間乾燥した。乾燥後、1mmHgの真空下、170度Cに昇温し、170度Cで4時間焼成した。しかる後、蒸着機によりアルミニウム金属を2000オングストローム蒸着した。えられたパネルの蛍光スペクトルを調べたところ、蛍光スペクトルの最大発光波長は535nmであった。またこの発光ディスプレイを駆動したところ6ボルトで駆動できた、発光スペクトルはほぼ蛍光スペクトルと一致した。
【0019】
(比較例)実施例1と同様の方法により、吐出装置によりITO透明電付き極基板にポリパラフェニレンビニレンの前駆体溶液を吐出した後、直接1mmHgの真空下、170度Cで焼成した、このパネルの蛍光スペクトルの最大発光波長は485nmであり、発光強度は実施例1にくらべ一桁ほど悪かった。また20ボルトで駆動しても発光は観測されなかった。
(実施例2)
実施例1の前駆体溶液にポリパラフェニレンビニレンの前駆体内容物に対して、1,1,4,4−テトラフェニルブタジエン、ローダミンBを2重量パーセント添加した溶液を作った。この溶液と無添加の溶液をあわせて3原色の有機EL材料としインクジェットプリンティング装置のインクタンクに充填し、図2に示すように、TFT基板上に並置したITO電極上に赤、緑、青とモザイク上に打ち分けた。この後1mmHgの真空下で100度cで1時間乾燥した。乾燥後、他の乾燥機において窒素雰囲気下、大気圧中で4時間焼成した。
【0020】
焼成後、リチウム含有アルミニウムを2000オングストロームスパッタをし、対向電極とした。
【0021】
(実施例3)ポリパラフェニレンビニレンの前駆体である高分子電解質を0.5重量パーセント含む下記溶液を吐出装置にとり、ITO透明電極の付いた基板上に吐出した。
【0022】
溶液
水・・・・・・・・・・90重量パーセント
グリセリン・・・・・・10重量パーセント
吐出後該基板を0.01mmHgの真空下、室温で4時間溶媒除去した。溶媒除去後、そのまま、40度Cに温度を上げで30分間、乾燥した。乾燥後、窒素雰囲気下、170度Cで4時間焼成した。しかる後、蒸着機によりアルミニウム金属を2000オングストローム蒸着した。えられたパネルの蛍光スペクトルを調べたところ、蛍光スペクトルの最大発光波長は535nmであった。またこの発光ディスプレイを駆動したところ6ボルトで駆動できた、発光スペクトルはほぼ蛍光スペクトルと一致した。
【0023】
(実施例4)実施例1の前駆体溶液にポリパラフェニレンビニレンの前駆体内容物に対して、1,1,4,4−テトラフェニルブタジエン、ローダミンBをそれぞれ2重量パーセント添加した溶液を作った。この溶液と無添加の溶液をあわせて3原色の有機EL材料としインクジェットプリンティング装置のインクタンクに充填し、図2に示すように、TFT基板上に並置したITO電極上に赤、緑、青とモザイク上に打ち分けた。この後、0.01mmHgの真空下、室温で4時間溶媒を除去した。除去後、0.01mmHgの真空下、40度Cで30分間乾燥した。乾燥後、窒素雰囲気下、大気圧中で4時間焼成した。
【0024】
焼成後、アルミニウムを2000オングストロームスパッタをし、対向電極とした。
【0025】
【発明の効果】
以上、詳細な説明で明示したように、本発明によれば簡単な工程を従来の工程に加えることにより、従来の方法により作成された発光ディスプレイの発光スペクトルのピークが作成方法により適当に移動したり、発光強度が小さかったのに対し、発光強度を大きくでき、スペクトルの移動も少なくできる。またこの方法によりフルカラー発光ディスプレイが簡単に、安く提供出来る。
【図面の簡単な説明】
【図1】有機ELを用いた発光ディスプレイの断面図。
【図2】TFT基板上に有機EL材料を吐出する場合の概念図。
【符号の説明】
1・・・アルミニウム電極
2・・・有機EL材料
3・・・ITO透明電極
4・・・ガラス基板
5・・・電源
11・・ガラス基板
12・・TFT素子
13・・ITO電極
14・・ノズル
[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a method for manufacturing a light emitting display, and more particularly to a method for manufacturing a light emitting display in which a light emitting layer is formed by discharging a light emitting material using an ejection device.
[0002]
[Prior art]
In recent years, liquid crystal displays have been actively used as display units for word processors, personal computers, and the like. This liquid crystal display is a non-light emitting element, which is problematic in terms of brightness, particularly when used in a reflective display. A light emitting display using an organic light emitting material (hereinafter referred to as an organic EL) having thin and light features has been attracting attention. A cross-sectional view of this light emitting display is shown in FIG. In the figure, 1 is an aluminum electrode, 2 is an organic EL material, 3 is an ITO transparent electrode, 4 is a glass substrate, and 5 is a power source. The method of creating this light emitting display is as follows. First, an ITO transparent electrode is attached on a transparent substrate by sputtering or vapor deposition. Thereafter, an electrode having a desired shape is formed by photolithography. Thereafter, an organic EL material is coated by a spin coating method, a vapor deposition method, a discharge method, or the like to form a light emitting layer.
[0003]
The above-mentioned method is mainly used as a coating method, but recently, a discharge method capable of patterning has attracted attention.
[0004]
A counter electrode is obtained by skipping a metal having a low work function, such as magnesium, aluminum, lithium, calcium, silver, or an alloy thereof by vapor deposition or sputtering on the light emitting layer thus obtained. Although the above is the basic process, in order to increase luminous efficiency, a hole transport material such as N, N′-diphenyl-N, N ′-(2,4-dimethylphenyl) is further added after the ITO transparent electrode is attached. -1,1'-biphenyl-4,4'-diamine may be attached by vapor deposition. Further, after attaching the organic EL material, for example, 2- (4-biphenyl) -5- (4-tert-butylphenyl) -1,3,4-oxydiazole may be attached as the electron transport material.
[0005]
Light can be emitted by applying an electric field to the two types of electrodes facing each other. A characteristic of this light emitting display is that it can be driven at a low voltage of 10 volts or less.
[0006]
By combining this promising technology with an ejection device, patterning of the organic EL material becomes possible, and a full color light emitting display can be obtained. That is, instead of conventional red, green, and blue patterning using a photolithography method, using a discharge device such as a dispenser or an inkjet printing device, a solution in which red, green, and blue organic EL materials are dissolved is used as an appropriate ITO transparent electrode. A full color light-emitting display can be obtained by discharging the upper layer, patterning with the solvent diffused, and then depositing (sputtering) the counter electrode. The concept of this ejection method will be described with reference to FIG. In the figure, 11 is a glass substrate, 12 is a TFT element, 13 is an ITO electrode, and 14 is a nozzle for discharging a solution. With the nozzle shown in the figure, organic EL materials corresponding to red, green and blue are alternately placed on the ITO electrode, for example, on the ITO electrode formed so as to be individually driven by the TFT element shown in the figure, A full color display can be created by discharging so that green and blue organic EL materials are juxtaposed.
[0007]
As a disadvantage of the patterning method by combining the ejection devices, since the solution is ejected from an extremely thin nozzle, there is a disadvantage that the nozzle is clogged due to precipitation of the solute by drying of the solution. In order to overcome this drawback, a hydrophilic solvent having a high boiling point such as glycerin, diethylene glycol, diamine, sugar, or a derivative of these solvents is added.
[0008]
Examples of the organic EL material used for the light emitting display include a low molecular weight organic EL material and a high molecular weight organic EL material. As a polymer material, a polyparaphenylene vinylene (hereinafter abbreviated as PPV) material is attracting attention because of its excellent stability, luminous efficiency, luminance and the like. This material is characterized by the use of a precursor, can handle the raw material in a solution state, and can be thinned by a spin coating method, a dipping method, or the like. By baking the obtained film, the single bond becomes a double bond, becomes insoluble in the solvent, and becomes a stable film. Depending on how double bonds are formed at this time, there are differences in luminous efficiency and luminance.
[0009]
When a solution in which this PPV material is dissolved is used for patterning with a discharge device, it is likely to dry with a general low boiling point solvent such as water or methanol, and nozzle clogging is likely to occur. For this reason, hydrophilic high-boiling solvents such as glycerin and ethylene glycol have been added. This is a conventional example in which a PPV material is used and patterning is performed by a discharge device. When a solution in which a PPV material containing glycerin or the like is dissolved as in the conventional example is discharged by a discharge device and baked, a high boiling point solvent such as glycerin is not easily removed. The phenomenon was observed, and the obtained light-emitting material had drawbacks such as shifting to a shorter wavelength than the light of the target wavelength or hardly emitting light.
[0010]
[Problems to be solved by the invention]
The present invention has been made to solve the problem that the emission wavelength shifts to a lower wavelength side and hardly emits light in the manufacture of an organic EL light emitting display using a PPV material by a discharge device. The present invention has been made in order to provide a manufacturing method for producing a full-color light emitting display by ejecting a PPV organic EL material using an ejection device and patterning it without changing the manufacturing method.
[0011]
[Means for Solving the Problems]
In order to solve the above-mentioned problems, a method for manufacturing a light-emitting display according to the first aspect of the present invention is to discharge a solution containing a precursor material of polyphenylene vinylene and a high-boiling solvent onto a substrate by a discharge device, and then fire the substrate. It is characterized by including a step of removing the solvent at room temperature and a step of drying before the step. The drying temperature is preferably 120 ° C. or lower, and it has been found that when the polyparaphenylene vinylene precursor is treated at this temperature or lower, the solvent can be removed without forming double bonds. It has been found that the reaction proceeds and the emission wavelength shifts to a lower wavelength side when the temperature is higher than this temperature, and the luminous efficiency is extremely lowered.
[0012]
The second aspect is characterized in that the high boiling point solvent is glycerin, diethylene glycol, triethanolamine, sugar, a derivative of these solvents, or a mixture of these solvents. By adding these solvents, the inside of the nozzle of the discharge device can always be moistened so that it can be used for a long time without causing clogging of the nozzle.
[0013]
The third aspect is characterized in that the solvent is removed at room temperature under vacuum. Since the reaction is performed at room temperature and under vacuum, a high-boiling solvent can be removed without causing a reaction of the precursor of PPV, and a light-emitting display with high light emission efficiency can be manufactured without a shift in light emission wavelength.
[0014]
The fourth aspect limits the degree of vacuum, and it is more preferable that most high boiling point solvents can be treated at a temperature lower than the boiling point of the high boiling point solvent by processing under a vacuum of 1 mmHg or less.
[0015]
Claim 5 is a step for removing traces of high-boiling solvent after removing the solvent. By including this step, the lifetime and emission intensity of the display can be further increased. If the temperature is too high, the PPV reaction will not proceed well, and if the temperature is low, it will not take much time to remove, which is possible at 120 ° C. or lower, but preferably 70 ° C. or lower.
[0016]
According to a sixth aspect of the present invention, the discharge device is an ink jet printing device. As the discharge device, there are a dispenser, an ink jet printing device, and the like, but an ink jet printing device is preferable in terms of miniaturization and high speed.
[0017]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
(Example 1) The following solution containing 0.5% by weight of a polymer electrolyte which is a precursor of polyparaphenylene vinylene was taken in a discharge device and discharged onto a substrate with an ITO transparent electrode.
[0018]
Solution water: 90 weight percent glycerin: 10 weight percent After discharging, the substrate was dried at 100 ° C. for 1 hour under a vacuum of 1 mmHg. After drying, the temperature was raised to 170 ° C. under a vacuum of 1 mmHg, followed by baking at 170 ° C. for 4 hours. Thereafter, 2000 angstroms of aluminum metal was vapor-deposited by a vapor deposition machine. When the fluorescence spectrum of the obtained panel was examined, the maximum emission wavelength of the fluorescence spectrum was 535 nm. Further, when this light emitting display was driven, the light emission spectrum, which could be driven at 6 volts, almost coincided with the fluorescence spectrum.
[0019]
(Comparative example) After discharging the precursor solution of polyparaphenylene vinylene onto the electrode substrate with ITO transparent electricity by the same method as in Example 1, it was directly baked at 170 ° C under a vacuum of 1 mmHg. The maximum emission wavelength of the fluorescence spectrum of the panel was 485 nm, and the emission intensity was about an order of magnitude worse than that in Example 1. Also, no luminescence was observed when driven at 20 volts.
(Example 2)
A solution was prepared by adding 2% by weight of 1,1,4,4-tetraphenylbutadiene and rhodamine B to the precursor content of polyparaphenylene vinylene in the precursor solution of Example 1. This solution and the additive-free solution are combined into an organic EL material of three primary colors and filled in an ink tank of an inkjet printing apparatus. As shown in FIG. 2, red, green, and blue are placed on the ITO electrodes juxtaposed on the TFT substrate. Arranged on the mosaic. Thereafter, the film was dried at 100 ° C. for 1 hour under a vacuum of 1 mmHg. After drying, it was baked in another drier in a nitrogen atmosphere at atmospheric pressure for 4 hours.
[0020]
After firing, lithium-containing aluminum was sputtered with 2000 angstroms to form a counter electrode.
[0021]
(Example 3) The following solution containing 0.5% by weight of a polymer electrolyte, which is a precursor of polyparaphenylene vinylene, was taken in a discharge device and discharged onto a substrate with an ITO transparent electrode.
[0022]
Solution water: 90 weight percent glycerin: 10 weight percent After discharging, the substrate was subjected to solvent removal for 4 hours at room temperature under a vacuum of 0.01 mmHg. After removing the solvent, the temperature was raised to 40 ° C. and drying was performed for 30 minutes. After drying, firing was performed at 170 ° C. for 4 hours in a nitrogen atmosphere. Thereafter, 2000 angstroms of aluminum metal was vapor-deposited by a vapor deposition machine. When the fluorescence spectrum of the obtained panel was examined, the maximum emission wavelength of the fluorescence spectrum was 535 nm. Further, when this light emitting display was driven, the light emission spectrum, which could be driven at 6 volts, almost coincided with the fluorescence spectrum.
[0023]
Example 4 A solution was prepared by adding 2 weight percent of 1,1,4,4-tetraphenylbutadiene and rhodamine B to the precursor solution of Example 1 to the precursor content of polyparaphenylene vinylene. It was. This solution and the additive-free solution are combined into an organic EL material of three primary colors and filled in an ink tank of an inkjet printing apparatus. As shown in FIG. 2, red, green, and blue are placed on the ITO electrodes juxtaposed on the TFT substrate. Arranged on the mosaic. Thereafter, the solvent was removed at room temperature under a vacuum of 0.01 mmHg for 4 hours. After removal, the film was dried at 40 ° C. for 30 minutes under a vacuum of 0.01 mmHg. After drying, calcination was performed in a nitrogen atmosphere at atmospheric pressure for 4 hours.
[0024]
After firing, aluminum was sputtered with 2000 angstroms to form a counter electrode.
[0025]
【The invention's effect】
As described above in the detailed description, according to the present invention, by adding a simple process to the conventional process, the peak of the emission spectrum of the light-emitting display prepared by the conventional method is appropriately moved by the preparation method. In contrast, the emission intensity is low, but the emission intensity can be increased and the shift of the spectrum can be reduced. In addition, this method can provide a full color light emitting display easily and inexpensively.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a cross-sectional view of a light-emitting display using an organic EL.
FIG. 2 is a conceptual diagram when an organic EL material is discharged onto a TFT substrate.
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Aluminum electrode 2 ... Organic EL material 3 ... ITO transparent electrode 4 ... Glass substrate 5 ... Power source 11 ... Glass substrate 12 ... TFT element 13 ... ITO electrode 14 ... Nozzle

Claims (6)

ポリパラフェニレンビニレン系発光材料と該発光材料を挟む電極材料よりなる発光ディスプレイの製造方法において、少なくともポリパラフェニレンビニレンの前駆体を溶かした溶液と親水性の高沸点溶媒よりなる溶液を、一方の透明電極を有する基板上に、吐出装置を用い吐出した後、室温で溶媒を除去した後、該基板を120度C以下で乾燥し、しかる後昇温、焼成し、発光層とした後、対向電極を形成する事を特徴とする発光ディスプレイの製造方法。In a method for manufacturing a light emitting display comprising a polyparaphenylene vinylene-based light emitting material and an electrode material sandwiching the light emitting material, at least one solution of a polyparaphenylene vinylene precursor and a solution comprising a hydrophilic high boiling point solvent are used. After discharging using a discharge device onto a substrate having a transparent electrode, after removing the solvent at room temperature, the substrate is dried at 120 ° C. or lower, and then heated and baked to form a light emitting layer. A method for manufacturing a light-emitting display, characterized by forming an electrode. 請求項1記載の高沸点溶媒がエチレングリコール、グリセリン、エタノールアミン、糖であるか、あるいはこれらの誘導体、又はこれら溶媒の混合物であることを特徴とする発光ディスプレイの製造方法。The method for producing a light-emitting display, wherein the high boiling point solvent according to claim 1 is ethylene glycol, glycerin, ethanolamine, sugar, or a derivative thereof, or a mixture of these solvents. 請求項1記載の製造方法において、室温、真空下で溶媒を除去した後、真空下で、加熱乾燥し、しかる後、昇温、焼成する事を特徴とする発光ディスプレイの製造方法。2. The method for manufacturing a light-emitting display according to claim 1, wherein the solvent is removed at room temperature and under vacuum, followed by heating and drying under vacuum, followed by heating and firing. 請求項3記載の製造方法において、1mmHg以下の真空で溶媒の除去をする事を特徴とする発光ディスプレイの製造方法。4. The method of manufacturing a light emitting display according to claim 3, wherein the solvent is removed under a vacuum of 1 mmHg or less. 請求項3、4記載の製造方法において、溶媒の除去後、70度C以下の温度、1mmHg以下の真空下で加熱乾燥をする事を特徴とする発光ディスプレイの製造方法。5. The method for manufacturing a light-emitting display according to claim 3, wherein the solvent is removed and then heat-dried at a temperature of 70 ° C. or lower and a vacuum of 1 mmHg or lower. 請求項1の吐出装置がインクジェットプリンティング装置であることを特徴とする発光ディスプレイの製造方法。A method of manufacturing a light emitting display, wherein the discharge device according to claim 1 is an ink jet printing device.
JP14490198A 1998-05-26 1998-05-26 Manufacturing method of light emitting display Expired - Lifetime JP3812144B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP14490198A JP3812144B2 (en) 1998-05-26 1998-05-26 Manufacturing method of light emitting display

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP14490198A JP3812144B2 (en) 1998-05-26 1998-05-26 Manufacturing method of light emitting display

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH11339957A JPH11339957A (en) 1999-12-10
JP3812144B2 true JP3812144B2 (en) 2006-08-23

Family

ID=15372955

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP14490198A Expired - Lifetime JP3812144B2 (en) 1998-05-26 1998-05-26 Manufacturing method of light emitting display

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3812144B2 (en)

Families Citing this family (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6633121B2 (en) * 2000-01-31 2003-10-14 Idemitsu Kosan Co., Ltd. Organic electroluminescence display device and method of manufacturing same
WO2001074121A1 (en) 2000-03-31 2001-10-04 Seiko Epson Corporation Organic el device and method of manufacture thereof
TW490997B (en) 2000-03-31 2002-06-11 Seiko Epson Corp Method of manufacturing organic EL element, and organic EL element
JP2001341296A (en) 2000-03-31 2001-12-11 Seiko Epson Corp Method for forming thin film by ink jet, ink jet unit, organic el element, and method for manufacturing the same
JP3628997B2 (en) 2000-11-27 2005-03-16 セイコーエプソン株式会社 Method for manufacturing organic electroluminescence device
JP4021177B2 (en) 2000-11-28 2007-12-12 セイコーエプソン株式会社 Organic electroluminescence device manufacturing method, organic electroluminescence device, and electronic apparatus
US7368145B2 (en) 2002-09-19 2008-05-06 Dai Nippon Printing Co., Ltd. Method and apparatus for manufacturing organic EL display and color filter by ink jet method
JP2004171943A (en) * 2002-11-20 2004-06-17 Semiconductor Energy Lab Co Ltd Manufacturing method of light emitting device
JP4636495B2 (en) * 2004-12-10 2011-02-23 大日本スクリーン製造株式会社 Coating device for manufacturing an organic EL display device
JP2007188779A (en) * 2006-01-13 2007-07-26 Toshiba Matsushita Display Technology Co Ltd Organic el display device
JP5228341B2 (en) * 2007-03-14 2013-07-03 セイコーエプソン株式会社 Method for manufacturing organic electroluminescence element and method for manufacturing organic transistor

Also Published As

Publication number Publication date
JPH11339957A (en) 1999-12-10

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4486261B2 (en) Composition, method for producing film, functional element and method for producing the same
JP4477726B2 (en) Manufacturing method of organic LED element
JPH1154272A (en) Manufacture of luminescent display
JP3941169B2 (en) Manufacturing method of organic EL element
KR100588440B1 (en) Organic Electroluminescent Device and Method for Producing it
JP3812144B2 (en) Manufacturing method of light emitting display
JP3861400B2 (en) Electroluminescent device and manufacturing method thereof
JP3902938B2 (en) Organic light emitting device manufacturing method, organic light emitting display manufacturing method, organic light emitting device, and organic light emitting display
KR100554338B1 (en) Method of producing organic el element
US6825061B2 (en) Method of manufacturing organic EL device and ink composition for organic EL device
TW558912B (en) Electroluminescent element
TWI284490B (en) Light-emitting material, organic electroluminescent apparatus, and method of manufacturing the same
TW200917895A (en) OEL device, fabricating method thereof and coating liquid
WO2000018193A1 (en) Method for manufacturing electroluminescence device
SE503039C2 (en) Electroluminescent device and method of manufacture thereof
JP2001276726A (en) Method for manufacturing membrane and fine structure, and fine structure
JPH0997679A (en) Manufacture of electroluminescent
JP3917461B2 (en) Ink for organic EL hole injection layer and manufacturing method thereof, manufacturing method of organic EL display device, and organic EL display device
JP2003257631A (en) Method of forming organic el element
JPH07188649A (en) Organic luminescent thin-film element
CN100551184C (en) A kind of device preparation method who on same substrate, realizes double-colored polymer electroluminescence
FR2702870A1 (en) Electroluminescent screen
JP4354674B2 (en) Thin film manufacturing equipment
JP2005032629A (en) Organic electroluminescent element and its manufacturing method
JP2004227993A (en) Manufacturing method of organic electroluminescent element, and electroluminescent element

Legal Events

Date Code Title Description
TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20060509

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20060522

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100609

Year of fee payment: 4

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110609

Year of fee payment: 5

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110609

Year of fee payment: 5

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120609

Year of fee payment: 6

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130609

Year of fee payment: 7

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130609

Year of fee payment: 7

S531 Written request for registration of change of domicile

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

EXPY Cancellation because of completion of term