JP3786861B2

JP3786861B2 - Edge detection sensor

Info

Publication number: JP3786861B2
Application number: JP2001351580A
Authority: JP
Inventors: 正隆林
Original assignee: サンクス株式会社
Priority date: 2001-11-16
Filing date: 2001-11-16
Publication date: 2006-06-14
Anticipated expiration: 2021-11-16
Also published as: JP2003148920A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、受光レベルに基づいて被検出物体のエッジ位置を検出するエッジ検出センサに関する。
【０００２】
【発明が解決しようとする課題】
この種のエッジ検出センサは、光源から照射された光を被検出物体を介して受光手段により受光し、受光レベルの変化を検出することにより被検出物体のエッジ位置を検出するようになっており、これらの代表的な検出方法にしきい値検出法がある。このしきい値検出法は、ある所定のしきい値を定め、受光レベルが当該しきい値を超えたことを判定して、その位置を被検出物体のエッジ位置として検出する方法である。
【０００３】
図１１（ａ）〜（ｃ）は、例えば透過型のエッジ検出センサにおいて、しきい値検出法に基づいて検出する位置とその対応した受光レベルの一例を概略的に示している。
図１１（ａ）は、不透明な被検出物体１のエッジを検出する場合を示している。この場合、エッジ検出センサは、受光手段により検出された受光レベルが所定のしきい値α以下となる受光レベルが存在することを判定することにより被検出物体１のエッジ位置を検出することができる。
【０００４】
図１１（ｂ）は、透明な被検出物体２のエッジを検出する場合を示している。この場合、受光手段により検出された受光レベルはしきい値αを上回っているものの、エッジ検出センサは、被検出物体２のエッジの部分で屈折状態が変化することを利用し、所定のしきい値以下となる受光レベルの存在を判定することにより被検出物体のエッジ位置を検出することができる。
【０００５】
図１１（ｃ）は、例えば図１１（ｂ）に示す被検出物体２のエッジの形状と異なる鋭角形状のエッジを有する透明な被検出物体３のエッジを検出する場合を示している。この場合、図１１（ｂ）に示す被検出物体２のエッジに対応した受光レベルに対して全体的に受光レベルが上昇することがあり、しきい値α以下となるレベルまで達していないので、被検出物体３のエッジが存在しているにもかかわらず、不検出とされてしまう虞がある。これは、被検出物体３のエッジの屈折状態などの光学的特性の違いが被検出物体毎に生じるために起こることが判明している。
【０００６】
そこで、このような不具合を解消するためにピーク検出法が考えられている。ピーク検出法は、受光レベルの最小レベルを求め、その最小レベルに対応する部分を被検出物体３のエッジ位置として検出する方法である。図１２は、図１１（ｃ）の不具合を解消するようにピーク検出法に基づいてエッジ検出する際の原理を示している。この方法によれば、受光手段が受光レベルの最小レベルを検出することにより、透明な被検出物体３のエッジ位置を検出することができる。
【０００７】
しかしながら、ピーク検出法においては、不透明な被検出物体１のエッジを検出する場合に、受光レベルの最小レベルがピークを持たないため、被検出物体１のエッジを検出することができないと考えられる。
【０００８】
尚、上述の例は、エッジを検出する際に受光レベルが下降する場合の例を示したが、例えば反射型のエッジ検出センサ等のように、受光レベルが上昇する場合にエッジを検出するエッジ検出センサにも同様の問題点が考えられる。
【０００９】
本発明は、上記事情に鑑みてなされたもので、その目的は、被検出物体が透明であっても不透明であってもエッジ位置を検出することができると共に、被検出物体のエッジ近辺における屈折状態等の光学的特性の違いにより受光レベルに変化が生じたとしてもエッジの誤検出を極力防ぐことができるエッジ検出センサを提供することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、請求項１記載のエッジ検出センサは、光源に対応して設けられる受光素子を有し、当該受光素子からの出力に基づいて位置に対応した受光レベルを検出する受光手段と、
この受光手段の受光レベルが所定のしきい値以下となる位置を検出する第１の検出手段と、
前記受光手段の受光レベルが最小レベルとなる位置を検出する第２の検出手段と、
第１の検出手段による検出位置を被検出物体のエッジ位置として判断し、前記第１の検出手段による検出位置が存在しない場合は前記第２の検出手段による検出位置を被検出物体のエッジ位置として判断する判断手段とを備えたことに特徴を有している。
【００１１】
この発明は、被検出物体のエッジ位置を検出する際に受光レベルが低下することを利用する場合に適している。すなわち、このような手段によれば、第１の検出手段は、受光手段の受光レベルが所定のしきい値以下となる位置を検出し、判断手段は、第１の検出手段による検出位置を被検出物体のエッジ位置として判断する。
【００１２】
したがって、例えば不透明な被検出物体のエッジを検出する場合には、受光手段の受光レベルが所定のしきい値以下となる位置が必ず存在するため、被検出物体のエッジの位置検出が可能となり、第１の検出手段により検出された位置がエッジの位置として判断されることになる。
【００１３】
ところで、例えば透明な被検出物体のエッジ位置を検出する場合には、受光手段の受光レベルが所定のしきい値以下とならないことがあり、このような場合には第１の検出手段による検出位置が存在しないことから、判断手段は、第２の検出手段による検出位置を被検出物体のエッジ位置と判断するようになる。このとき、第２の検出手段は、受光手段の受光レベルが最小レベルとなる位置を被検出物体のエッジ位置として判断するので、被検出物体のエッジ位置を検出することができる。
【００１４】
これにより、被検出物体が透明であっても不透明であってもエッジ位置を検出することができると共に、被検出物体のエッジ近辺における光学的特性の違いにより受光レベルに変化が生じたとしても、自動的に検出方法を変更することにより被検出物体のエッジ位置の誤検出を極力防ぐことができる。
【００１５】
請求項２記載のエッジ検出センサは、光源に対応して設けられる受光素子を有し、当該受光素子からの出力に基づいて位置に対応した受光レベルを検出する受光手段と、
この受光手段の受光レベルが所定のしきい値以上となる位置を検出する第１の検出手段と、
前記受光手段の受光レベルが最大レベルとなる位置を検出する第２の検出手段と、
第１の検出手段による検出位置を被検出物体のエッジ位置として判断し、前記第１の検出手段による検出位置が存在しない場合は前記第２の検出手段による検出位置を被検出物体のエッジ位置として判断する判断手段とを備えたことに特徴を有する。
【００１６】
この発明は、被検出物体を検出する際に受光レベルが上昇することを利用する場合に適している。すなわち、このような手段によれば、第１の検出手段は、受光手段の受光レベルが所定のしきい値以上となる位置を検出し、判断手段は、第１の検出手段による検出位置をエッジ位置として判断する。
【００１７】
したがって、例えば不透明な被検出物体のエッジを検出する場合には、受光手段の受光レベルが所定のしきい値以上となる位置が必ず存在するため、被検出物体のエッジの位置検出が可能となり、第１の検出手段により検出された位置がエッジの位置として出力されることになる。
【００１８】
また、例えば透明な被検出物体のエッジ位置を検出する場合には、受光手段の受光レベルが所定のしきい値以上とならないことがあり、このような場合には第１の検出手段による検出位置が存在しないことから判断手段は、第２の検出手段による検出位置を被検出物体のエッジ位置と判断するようになる。このとき、第２の検出手段による検出位置を被検出物体のエッジ位置として判断するので、被検出物体のエッジの位置を検出することができる。
【００１９】
これにより、被検出物体が透明であっても不透明であってもエッジ位置を検出することができると共に、被検出物体のエッジ近辺における光学的特性の違いにより受光レベルに変化が生じたとしても自動的に検出方法を変更することにより被検出物体のエッジ位置の誤検出を極力防ぐことができる。
【００２０】
【発明の実施の形態】
（第１の実施形態）
以下本発明を、透明なガラスウェハ（被検出物体に相当）の端部（以下、エッジと称する）の検出に用いられる透過型の一次元エッジ検出センサに適用した第１の実施形態について図１ないし図６を参照しながら説明する。
【００２１】
図２は、全体構成を概略的に示している。
図２において、光源１１は、図示しないＬＥＤを有して構成されており、接続された制御回路１２からの制御信号により所定のタイミングで検出領域Ａに向けて光を照射するようになっている。
【００２２】
制御回路１２は、図示しないＣＰＵ，ＲＡＭ，ＲＯＭ等から構成されており、ＲＯＭに記憶されたプログラムに従って制御回路１２と接続される受光手段１３の動作を制御するようになっている。
【００２３】
図３は、制御回路１２の電気的構成を示している。
図３において、制御回路１２中に示される第１の検出手段１２ａ，第２の検出手段１２ｂおよび判断手段１２ｃから構成されており、これらは、ＲＯＭに記憶されたプログラムによって達成される機能ブロックである。また、ＲＡＭにはワークエリアが設けられており、後述する受光レベルを記憶するための領域が確保されている。尚、このＲＡＭのアドレスは、検出領域の位置に対応して設定されている。
【００２４】
受光手段１３は、例えばＣＣＤイメージセンサと称されるものにより構成されている。これは、一軸上に等間隔で配設された複数のＣＣＤ（Charge Coupled Device）素子（本発明における受光素子に相当）を有する例えばＣＣＤセンサユニットを有し、光源１１と対向配置されて構成されており、光源１１から照射された光を検出領域Ａを経て所定のタイミングで受光し、それぞれのＣＣＤ素子からの出力により受光レベルを検出し制御回路１２に出力するようになっている。光源１１と受光手段１３との間には、透明なガラスウェハからなる被検出物体１４が搬送されて位置するようになっている。
【００２５】
上述した構成の作用を図１，図４ないし図６をも参照して説明する。図１は、一次元エッジ検出センサが行うエッジ検出の流れをフローチャートにより示している。
図１におけるエッジ検出判断ルーチンにおいて、制御回路１２における第１の検出手段１２ａは、後述するしきい値検出ルーチンにより被検出物体１４のエッジ位置を検出する（ステップＳ１）。
【００２６】
＜しきい値検出ルーチンによる位置検出について＞
以下、第１の検出手段が行うしきい値検出ルーチンによる位置の検出について図４を参照して説明する。
光源１１から光が照射されると、受光手段１３はＣＣＤ素子により光を受光し（ステップＴ１）、ＣＣＤ素子からの出力に基づいて位置に対応した受光レベルを２５６（＝２の８乗）段階で検出し、制御回路１２に出力する。
【００２７】
制御回路１２は、ＣＣＤ素子から出力された受光レベルをＤ（１）〜Ｄ（ｋ）（ｋはＣＣＤ素子数，受光レベル数を示す）として記憶する（ステップＴ２）。制御回路２は、あらかじめ設定された所定のしきい値αを読込み（ステップＴ３）、このしきい値α以下となる受光レベルＤ（１）〜Ｄ（ｋ）が存在するか否かを以下のステップＴ４〜Ｔ１３のルーチンにより判定する。
【００２８】
制御回路２は、変数ｎに１を代入し（ステップＴ４）、受光レベルＤ（ｎ）を読込み（ステップＴ５）、Ｄ（ｎ）がしきい値α以下となっていれば（ステップＴ６：Ｙｅｓ）、Ｄ（ｎ）が記憶されたＲＡＭのアドレスを順次記憶する（ステップＴ７）。Ｄ（ｎ）がしきい値α以下となっていなければ（ステップＴ６：Ｎｏ）、ステップＴ８に移行する。
【００２９】
ステップＴ８において、制御回路１２は、変数ｎが受光レベル数ｋに一致していなければ（ステップＴ８：Ｎｏ）、変数ｎをインクリメントし（ステップＴ９）、ステップＴ５〜Ｔ９を繰り返す。受光レベルＤ（ｎ）が読み込まれしきい値α以下となるか否かが受光レベル数ｋ回判定されると、ステップＴ８において、制御回路２は、変数ｎが受光レベル数ｋに一致したと判定し、ステップＴ１０に移行する。
【００３０】
この場合、制御回路１２は、ステップＴ７において記憶されるＲＡＭのアドレスが、一つでも記憶されているか否かを判定し（ステップＴ１０）、当該アドレスが記憶されていれば、記憶されたアドレスを全て検出し（ステップＴ１１）、このアドレスから対応する検出位置を導き出すことで、被検出物体１４のエッジ位置を検出する（ステップＴ１２）。尚、ステップＴ１０において、ＲＡＭのアドレスが記憶されていないとき、言いかえれば、受光レベルＤ（１），…，Ｄ（ｋ）のうちの何れの値もしきい値α以下となっていないとき、制御回路２は位置検出を不可と判定する（ステップＴ１３）。このように、しきい値検出ルーチンにより位置が検出される場合は位置を検出し、検出されない場合には位置検出を不可と判定する。
【００３１】
そして、制御回路１２の判断手段１２ｃは、上述のようにしてエッジ検出ルーチンを実行した結果、図１に示すように位置が検出されれば（ステップＳ２：Ｙｅｓ）、しきい値検出ルーチンにより検出された位置を被検出物体１４のエッジ位置として判断して出力する（ステップＳ３）。
【００３２】
上述のようなしきい値検出ルーチンを実行することにより被検出物体１４が透明であっても、被検出物体１４のエッジ位置を検出することができる。
【００３３】
しかしながら、図６に示すような鋭角形状のエッジを有する透明な被検出物体１４を上述したしきい値検出法で検出する場合、受光手段１３の受光レベルがしきい値以下とならない場合があり、このような場合には、被検出物体１４のエッジ位置を検出することができない。
【００３４】
そこで、制御回路１２の第２の検出手段１２ｂは、図１に示すように、ステップＳ２において位置が検出されない場合には（ステップＳ２：Ｎｏ）、ピーク検出ルーチンにより位置を検出する（ステップＳ４）。
【００３５】
＜ピーク検出ルーチンによる位置検出について＞
以下、第２の検出手段１２ｂが行うピーク検出ルーチンによる位置検出の流れを図５のフローチャートを参照しながら説明する。
第２の検出手段１２ｂは、ＲＡＭに記憶された受光レベルＤ（１）〜Ｄ（ｋ）を読込む（ステップＵ１）。第２の検出手段１２ｂは、変数ｎを１に設定し、最小レベルＤ（ｎ）ｍｉｎと比較する（ステップＵ２）。この最小レベルＤ（ｎ）ｍｉｎは、このピーク検出ルーチンによる位置検出のスタート時には受光レベルＤ（１）〜Ｄ（ｋ）が取り得る最大値にあらかじめ設定されている。
【００３６】
第２の検出手段１２ｂは、受光レベルＤ（ｎ）と最小レベルＤ（ｎ）ｍｉｎとを比較し（ステップＵ２）、受光レベルＤ（ｎ）が最小レベルＤ（ｎ）ｍｉｎを下回っている場合には、受光レベルＤ（ｎ）を最小レベルＤ（ｎ）ｍｉｎとして代入して記憶し、その受光レベルＤ（ｎ）が記憶されているＲＡＭのアドレスも記憶する（ステップＵ３）。ステップＵ２において、受光レベルＤ（ｎ）が最小レベルＤ（ｎ）ｍｉｎを下回っていなければ、ステップＵ３の処理を行わずステップＵ４へ移行する。
【００３７】
第２の検出手段１２ｂは、変数ｎが受光レベル数ｋに一致しているか否かを判定し（ステップＵ４）、一致していなければ、変数ｎをインクリメントして（ステップＵ５）、ステップＵ２〜Ｕ５を繰り返す。ステップＵ４において、第２の検出手段１２ｂは、変数ｎが受光レベル数ｋに一致している場合には、ステップＵ３において記憶されたＲＡＭのアドレスを全て検出し（ステップＵ６）、このアドレスから対応する検出領域Ａの位置を導き出すことで、位置を検出する（ステップＵ７）。
【００３８】
そして、制御回路１２の判断手段１２ｃは、図１に示すように、上述のようにしてピーク検出ルーチンによる検出位置を被検出物体１４のエッジ位置として判断して出力する（ステップＳ５）。
【００３９】
このような第１の実施形態によれば、制御回路１２は、まずしきい値検出ルーチンによる検出位置を被検出物体１４のエッジ位置として判断して出力し、しきい値検出ルーチンにより位置を検出することができない場合には、受光レベルのうち最小レベルとなる位置を被検出物体１４のエッジ位置として判断して出力するため、被検出物体１４が透明であっても不透明であってもエッジ位置を検出することができると共に、被検出物体１４のエッジ近辺における光学的特性の違いにより受光レベルに変化が生じたとしても被検出物体１４のエッジ位置の誤検出を極力防ぐことができる。
【００４０】
また、しきい値検出ルーチンをピーク検出ルーチンよりも優先して実行するようにしたので、被検出物体１４のエッジの検出精度を極力高くすることができる。
【００４１】
（第２の実施形態）
図７および図８は、本発明の第２の実施形態を示すもので、第１の実施形態と異なるところは、単一のレーザ光源を有して光源が構成されており、受光手段が単一の受光素子を有して構成されており、被検出物体１４が図示しない駆動装置により光源と受光手段との間に搬送されて位置するように構成された走査型エッジ検出センサに適用したところにある。第１の実施形態と同一部分については同一の符号を付してその説明を省略する。
【００４２】
図７は、全体構成を概略的に示している。
光源１５は、図示しない単一のレーザ光源を有して構成されており、接続された制御回路１２からの制御信号により所定のタイミングで走査ミラー１６に光を照射するようになっている。
【００４３】
走査ミラー１６は、制御回路１２に駆動回路１７を介して接続されており、制御回路１２からの制御信号により、照射されたレーザ光を反射により所定の領域に走査するようになっている。尚、走査ミラー１６は、ポリゴンミラー等により構成されていても良い。
【００４４】
投光レンズ１８は、走査されたレーザ光を検出領域に対して略平行となるようにし（図６中の光が導かれる方向を示す矢印Ｘ方向参照）、受光レンズ１９は、この導かれた光を受光手段２０に導くように構成されている。
【００４５】
受光手段２０は、例えばフォトダイオードによる受光素子を有して構成されており、受光レンズ１９より導かれる光を受光し検出領域Ａに対応した受光レベルを検出し、接続された制御回路１２に出力するようになっている。
【００４６】
図示しない駆動装置は、位置検出を行うためのロータリーエンコーダを有して構成されており、光の照射方向に略垂直（図７の矢印Ｙ方向参照）となるように被検出物体１４を移動可能に構成されている。
【００４７】
その他の構成については第１の実施形態と同一のため、その説明を省略する。上述構成の作用を説明する。尚、第１の実施形態と異なるところは、図８に示すしきい値検出ルーチンによる位置の検出である。
【００４８】
走査型エッジ検出センサにおいて、制御回路１２は、変数ｎを１に設定し（ステップＶ１）、走査ミラー１６を初期位置に駆動制御し、光源１５による光の照射を開始する（ステップＶ２）。受光手段２０は、受光素子により受光し（ステップＶ３）、受光レベルＤ（ｎ）を検出領域Ａの位置と対応付けられたＲＡＭ領域内の所定のアドレスに記憶する（ステップＶ４）。
【００４９】
ここで、制御回路１２は、変数ｎが受光レベル数ｋに一致しているか否かを判定し（ステップＶ５）、一致しなければ、ｎをインクリメントして（ステップＶ６）、走査ミラー１６を所定ステップだけ駆動制御する（ステップＶ７）。この場合、走査ミラー１６は走査される所定ステップ毎に駆動制御されることになる。そして、ステップＶ３〜Ｖ７を繰り返し、ステップＶ５において、変数ｎが受光レベル数ｋに一致するとき、すなわち、受光手段２０が受光レベル数ｋ回だけ位置に対応した受光レベルを検出し制御回路１２が当該受光レベルをＤ（１）〜Ｄ（ｋ）として記憶したとき、ステップＶ８に移行する。
【００５０】
制御回路１２は、所定のしきい値αを読込み（ステップＶ８）、しきい値αがＤ（１），…，Ｄ（ｋ）のそれぞれの値以上であるか否か、言いかえれば、それぞれの受光レベルＤ（１），…，Ｄ（ｋ）がしきい値α以下となるか否かを判定する（ステップＶ９）。制御回路２は、受光レベルＤ（１），…，Ｄ（ｋ）のうち何れかの値がしきい値α以下になると判定する場合（ステップＶ９：Ｙｅｓ）、受光レベルＤ（１），…，Ｄ（ｋ）のうちしきい値α以下となる受光レベルが記憶されているアドレスを検出する（ステップＶ１０）。そして、この検出されたアドレスに基づいて被検出物体１４のエッジ位置を検出する（ステップＶ１１）。このとき、アドレスから対応する検出領域Ａの位置を導き出すことで、エッジ位置を検出することができる。
【００５１】
ステップＶ９において、受光レベルＤ（１），…，Ｄ（ｋ）の値のうちの何れもがしきい値α以下とならないと判定した場合は（ステップＶ９：Ｎｏ）、位置検出を不可として（ステップＶ１２）、しきい値検出ルーチンによる位置検出を終了する。このように位置検出が不可と判定された場合には、ピーク検出ルーチンによる位置検出を行う。ピーク検出ルーチンについては第１の実施形態と略同一のため、その説明を省略する。
【００５２】
このような第２の実施形態によれば、第１の実施形態の作用効果と略同一の作用効果を得ることができる。
【００５３】
（第３の実施形態）
図９は、本発明の第３の実施形態を示すもので、第１もしくは第２の実施形態と異なるところは、単一の投光素子を有して光源が構成されており、受光手段が単一の受光素子を有して構成されており、これら光源および受光手段の搭載される投受光装置が、被検出物体に対して相対的に動作するように構成した単光軸エッジ検出センサに適用したところにある。第１もしくは第２の実施形態と同一部分については、同一の符号を付してその説明を省略する。
【００５４】
投受光装置２１には、光源１５および受光手段２０が搭載されており、投受光装置２１は図８の矢印Ｙ方向に移動可能に構成されている。この場合、光源１５はレーザ光源であり、その光芒は極めて細いものにされている。
【００５５】
第２の実施形態と同様に、光源１５は制御回路１２からの制御信号に基づいて照射し、その光源１５から照射された光を受光手段２０により受光する。この場合、投受光装置２１を図示しない駆動装置により所定ステップだけ図９における矢印Ｙ方向に動作させ、同様にしきい値検出ルーチンによる位置の検出を行い、このしきい値検出ルーチンによる位置を検出することができる場合には、しきい値検出ルーチンによる検出位置を被検出物体１４のエッジ位置として判断して出力し、しきい値検出ルーチンにより位置を検出することができない場合には、ピーク検出ルーチンによる検出位置を被検出物体１４のエッジ位置として判断して出力する。これにより、第１の実施形態における作用効果と略同様の作用効果を得ることができる。
【００５６】
（第４の実施形態）
図１０は、本発明の第４の実施形態を示すもので、第３の実施形態と異なるところは、被検出物体１４が光源１５と受光手段２０とが搭載される投受光装置２１に対して矢印Ｙ方向に動作するように構成した単光軸エッジ検出センサに適用したところにある。
【００５７】
このような第４の実施形態においても、被検出物体１４および投受光装置２１が相対的に動作するようになっているため、第３の実施形態と略同様の作用効果が得られる。
【００５８】
（他の実施形態）
上述実施形態においては、光源として、ＬＥＤによる光源もしくはレーザ光源を用いて構成したが、これに限定されるものではなく、蛍光灯光源，ハロゲンランプ，ファイバ光源等の光源を用いても良い。
【００５９】
上述実施形態においては、第１の検出手段２ａ，第２の検出手段２ｂ，判断手段２ｃを制御回路２のＲＯＭに記憶されるソフトウェアにより構成したが、これに限定されるものではなく、ハードウェア等により構成してもよい。
【００６０】
上述実施形態においては、一次元エッジ検出センサ，走査型のエッジ検出センサ，単光軸エッジ検出センサに適用して示したが、これに限定されるものではなく、二次元エッジ検出センサ等に適用しても良い。
【００６１】
反射型のエッジ検出センサにも透過型のエッジ検出センサにも適用することができる。
【００６２】
上述実施形態においては、被検出物体１４を検出する際に受光レベルが低下することを利用する場合に適用して示したが、これに限定されるものではなく、被検出物体を検出する際に受光レベルが上昇することを利用する場合にも適用することができる。この場合、受光レベルが所定のしきい値以上になることにより位置を検出することができる場合には、しきい値検出ルーチンによる検出位置を被検出物体のエッジ位置として出力し、しきい値検出ルーチンにより位置を検出することができない場合には、受光レベルが最大レベルとなる位置を被検出物体のエッジ位置として出力するように構成されることになるため、被検出物体が透明であっても不透明であってもエッジ位置を検出することができると共に、被検出物体のエッジ近辺における光学的特性の違いにより受光レベルに変化が生じたとしてもエッジの誤検出を極力防ぐことができる。
【００６３】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、受光手段の受光レベルが所定のしきい値以下となる位置を検出する第１の検出手段による検出位置を被検出物体のエッジ位置として判断し、第１の検出手段により位置を検出することができない場合には、受光手段の受光レベルが最小レベルとなる位置を検出する第２の検出手段による検出位置を被検出物体のエッジ位置として判断するため、被検出物体が透明であっても不透明であってもエッジ位置を検出することができると共に、被検出物体のエッジ近辺における光学的特性の違いにより受光レベルに変化が生じたとしてもエッジの誤検出を極力防ぐことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施形態を示す一次元エッジ検出センサの動作を示すフローチャート（その１）
【図２】光源と受光手段と被検出物体の配置関係等を示す図
【図３】電気的構成を示すブロック図
【図４】一次元エッジ検出センサの動作を示すフローチャート（その２）
【図５】一次元エッジ検出センサの動作を示すフローチャート（その３）
【図６】エッジの位置とその対応する受光レベルとを示す図
【図７】本発明の第２の実施形態を示す図２相当図
【図８】図４相当図
【図９】本発明の第３の実施形態を示す図２相当図
【図１０】本発明の第４の実施形態を示す図２相当図
【図１１】（ａ）〜（ｃ）従来例を示す図６相当図
【図１２】従来例を示す図６相当図
【符号の説明】
１１は光源、１２は制御回路、１２ａは第１の検出手段、１２ｂは第２の検出手段、１２ｃは判断手段、１３は受光手段、１４は被検出物体、１５は光源、１６はポリゴンミラー、１８は投光レンズ、１９は受光レンズ、２０は受光手段、２１は投受光装置、Ａは検出領域である。[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to an edge detection sensor that detects an edge position of an object to be detected based on a light reception level.
[0002]
[Problems to be solved by the invention]
This kind of edge detection sensor detects the edge position of the detected object by receiving the light emitted from the light source by the light receiving means through the detected object and detecting the change in the received light level. Among these typical detection methods, there is a threshold detection method. This threshold value detection method is a method of determining a predetermined threshold value, determining that the received light level has exceeded the threshold value, and detecting the position as the edge position of the detected object.
[0003]
FIGS. 11A to 11C schematically show an example of a position detected based on a threshold detection method and a corresponding light reception level in a transmissive edge detection sensor, for example.
FIG. 11A shows a case where the edge of the opaque detection object 1 is detected. In this case, the edge detection sensor can detect the edge position of the detected object 1 by determining that there is a light reception level at which the light reception level detected by the light receiving means is equal to or less than the predetermined threshold value α. .
[0004]
FIG. 11B shows a case where the edge of the transparent detected object 2 is detected. In this case, although the light reception level detected by the light receiving means exceeds the threshold value α, the edge detection sensor utilizes the fact that the refraction state changes at the edge portion of the object 2 to be detected. The edge position of the detected object can be detected by determining the presence of a light receiving level that is less than or equal to the value.
[0005]
FIG. 11C shows a case where the edge of the transparent detected object 3 having an acute-angled edge different from the edge shape of the detected object 2 shown in FIG. In this case, the light receiving level may increase as a whole with respect to the light receiving level corresponding to the edge of the detected object 2 shown in FIG. 11B, and does not reach a level equal to or lower than the threshold value α. In spite of the presence of the edge of the detected object 3, there is a possibility that it is not detected. It has been found that this occurs because a difference in optical characteristics such as the refractive state of the edge of the detected object 3 occurs for each detected object.
[0006]
Therefore, a peak detection method has been considered in order to eliminate such a problem. The peak detection method is a method of obtaining a minimum level of the light reception level and detecting a portion corresponding to the minimum level as an edge position of the detected object 3. FIG. 12 shows the principle of edge detection based on the peak detection method so as to eliminate the problem of FIG. According to this method, the edge position of the transparent object to be detected 3 can be detected by the light receiving means detecting the minimum level of the light reception level.
[0007]
However, in the peak detection method, when detecting the edge of the opaque object 1 to be detected, it is considered that the edge of the object 1 to be detected cannot be detected because the minimum level of the received light level does not have a peak.
[0008]
The above example shows an example in which the light reception level decreases when detecting an edge. However, an edge that detects an edge when the light reception level increases, such as a reflection-type edge detection sensor. A similar problem can be considered for the detection sensor.
[0009]
The present invention has been made in view of the above circumstances, and an object of the present invention is to detect an edge position regardless of whether a detected object is transparent or opaque, and to refract near the edge of the detected object. An object of the present invention is to provide an edge detection sensor that can prevent erroneous detection of an edge as much as possible even if a change occurs in a light receiving level due to a difference in optical characteristics such as a state.
[0010]
[Means for Solving the Problems]
In order to solve the above problem, an edge detection sensor according to claim 1 has a light receiving element provided corresponding to a light source, and detects a light receiving level corresponding to a position based on an output from the light receiving element. Means,
First detecting means for detecting a position at which the light receiving level of the light receiving means is a predetermined threshold value or less;
Second detecting means for detecting a position at which the light receiving level of the light receiving means is a minimum level;
The detection position by the first detection means is determined as the edge position of the detected object, and when the detection position by the first detection means does not exist, the detection position by the second detection means is set as the edge position of the detection object. It is characterized by having a judging means for judging.
[0011]
The present invention is suitable for the case of utilizing the decrease in the light receiving level when detecting the edge position of the detected object. That is, according to such means, the first detecting means detects a position where the light receiving level of the light receiving means is equal to or less than a predetermined threshold value, and the judging means receives the position detected by the first detecting means. It is determined as the edge position of the detected object.
[0012]
Therefore, for example, when detecting the edge of an opaque object to be detected, there is always a position where the light receiving level of the light receiving means is equal to or lower than a predetermined threshold value, so that the position of the edge of the object to be detected can be detected, The position detected by the first detection means is determined as the edge position.
[0013]
By the way, for example, when detecting the edge position of a transparent object to be detected, the light receiving level of the light receiving means may not be equal to or lower than a predetermined threshold value. In such a case, the detection position by the first detecting means. Therefore, the determination unit determines that the detection position by the second detection unit is the edge position of the detected object. At this time, since the second detection means determines the position where the light receiving level of the light receiving means is the minimum level as the edge position of the detected object, the edge position of the detected object can be detected.
[0014]
As a result, the edge position can be detected regardless of whether the detected object is transparent or opaque, and even if a change occurs in the light reception level due to a difference in optical characteristics in the vicinity of the edge of the detected object, By automatically changing the detection method, erroneous detection of the edge position of the detected object can be prevented as much as possible.
[0015]
The edge detection sensor according to claim 2, comprising a light receiving element provided corresponding to the light source, and a light receiving means for detecting a light receiving level corresponding to the position based on an output from the light receiving element;
First detecting means for detecting a position at which the light receiving level of the light receiving means is a predetermined threshold value or more;
Second detection means for detecting a position at which the light receiving level of the light receiving means is a maximum level;
The detection position by the first detection means is determined as the edge position of the detected object, and when the detection position by the first detection means does not exist, the detection position by the second detection means is set as the edge position of the detection object. And a judging means for judging.
[0016]
The present invention is suitable for the case where the increase in the light receiving level is utilized when detecting the detected object. That is, according to such means, the first detecting means detects a position where the light receiving level of the light receiving means is equal to or higher than a predetermined threshold value, and the judging means determines the position detected by the first detecting means as an edge. Judge as position.
[0017]
Therefore, for example, when detecting the edge of an opaque object to be detected, there is always a position where the light receiving level of the light receiving means is equal to or higher than a predetermined threshold value, so that the position of the edge of the object to be detected can be detected. The position detected by the first detection means is output as the edge position.
[0018]
Further, for example, when detecting the edge position of a transparent object to be detected, the light receiving level of the light receiving means may not exceed a predetermined threshold value. In such a case, the detection position by the first detecting means Therefore, the determination unit determines that the detection position by the second detection unit is the edge position of the detected object. At this time, since the detection position by the second detection means is determined as the edge position of the detected object, the position of the edge of the detected object can be detected.
[0019]
As a result, the edge position can be detected regardless of whether the detected object is transparent or opaque, and even if the received light level changes due to the difference in optical characteristics in the vicinity of the edge of the detected object. In addition, it is possible to prevent erroneous detection of the edge position of the detected object as much as possible by changing the detection method.
[0020]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
(First embodiment)
FIG. 1 shows a first embodiment in which the present invention is applied to a transmission type one-dimensional edge detection sensor used for detecting an end (hereinafter referred to as an edge) of a transparent glass wafer (corresponding to an object to be detected). Description will be made with reference to FIG.
[0021]
FIG. 2 schematically shows the overall configuration.
In FIG. 2, the light source 11 is configured to have an LED (not shown), and emits light toward the detection region A at a predetermined timing by a control signal from the connected control circuit 12. .
[0022]
The control circuit 12 is composed of a CPU, RAM, ROM, etc. (not shown), and controls the operation of the light receiving means 13 connected to the control circuit 12 according to a program stored in the ROM.
[0023]
FIG. 3 shows the electrical configuration of the control circuit 12.
In FIG. 3, the control circuit 12 includes first detection means 12a, second detection means 12b, and determination means 12c, which are functional blocks achieved by a program stored in the ROM. is there. In addition, a work area is provided in the RAM, and an area for storing a light reception level described later is secured. The RAM address is set corresponding to the position of the detection area.
[0024]
The light receiving means 13 is constituted by what is called a CCD image sensor, for example. This has, for example, a CCD sensor unit having a plurality of CCD (Charge Coupled Device) elements (corresponding to light receiving elements in the present invention) arranged at equal intervals on one axis, and is arranged to face the light source 11. The light emitted from the light source 11 is received at a predetermined timing through the detection area A, and the received light level is detected by the output from each CCD element and output to the control circuit 12. Between the light source 11 and the light receiving means 13, a detected object 14 made of a transparent glass wafer is conveyed and positioned.
[0025]
The operation of the above configuration will be described with reference to FIGS. FIG. 1 is a flowchart showing the flow of edge detection performed by the one-dimensional edge detection sensor.
In the edge detection determination routine in FIG. 1, the first detection means 12a in the control circuit 12 detects the edge position of the detected object 14 by a threshold detection routine described later (step S1).
[0026]
<About position detection by threshold detection routine>
Hereinafter, position detection by the threshold detection routine performed by the first detection means will be described with reference to FIG.
When light is emitted from the light source 11, the light receiving means 13 receives light by the CCD element (step T1), and based on the output from the CCD element, the light receiving level corresponding to the position is 256 (= 2 to the 8th power) level. And output to the control circuit 12.
[0027]
The control circuit 12 stores the light reception levels output from the CCD elements as D (1) to D (k) (k indicates the number of CCD elements and the number of light reception levels) (step T2). The control circuit 2 reads a predetermined threshold value α set in advance (step T3), and determines whether or not there are light reception levels D (1) to D (k) that are lower than the threshold value α. The determination is made by the routine of steps T4 to T13.
[0028]
The control circuit 2 substitutes 1 for the variable n (step T4), reads the received light level D (n) (step T5), and if D (n) is equal to or less than the threshold value α (step T6: Yes). ), The address of the RAM in which D (n) is stored is sequentially stored (step T7). If D (n) is not less than or equal to the threshold value α (step T6: No), the process proceeds to step T8.
[0029]
In step T8, if the variable n does not match the number k of received light levels (step T8: No), the control circuit 12 increments the variable n (step T9) and repeats steps T5 to T9. When it is determined whether or not the light reception level D (n) is read and is equal to or less than the threshold value α, the control circuit 2 determines in step T8 that the variable n matches the light reception level number k. Determination is made, and the process proceeds to step T10.
[0030]
In this case, the control circuit 12 determines whether or not at least one RAM address stored in step T7 is stored (step T10). If the address is stored, the stored address is determined. All are detected (step T11), and the detection position corresponding to this address is derived to detect the edge position of the detected object 14 (step T12). In step T10, when the RAM address is not stored, in other words, when none of the light reception levels D (1),..., D (k) is equal to or less than the threshold value α, The control circuit 2 determines that position detection is not possible (step T13). As described above, when the position is detected by the threshold value detection routine, the position is detected. When the position is not detected, it is determined that the position cannot be detected.
[0031]
Then, if the position is detected as shown in FIG. 1 as a result of executing the edge detection routine as described above (step S2: Yes), the determination means 12c of the control circuit 12 detects the threshold detection routine. The determined position is determined and output as the edge position of the detected object 14 (step S3).
[0032]
By executing the threshold value detection routine as described above, the edge position of the detected object 14 can be detected even if the detected object 14 is transparent.
[0033]
However, when a transparent detected object 14 having an acute-angled edge as shown in FIG. 6 is detected by the above-described threshold detection method, the light reception level of the light receiving means 13 may not be equal to or less than the threshold. In such a case, the edge position of the detected object 14 cannot be detected.
[0034]
Therefore, as shown in FIG. 1, when the position is not detected in step S2 (step S2: No), the second detection means 12b of the control circuit 12 detects the position by the peak detection routine (step S4). .
[0035]
<Position detection by peak detection routine>
The flow of position detection by the peak detection routine performed by the second detection means 12b will be described below with reference to the flowchart of FIG.
The second detection means 12b reads the received light levels D (1) to D (k) stored in the RAM (step U1). The second detection means 12b sets the variable n to 1 and compares it with the minimum level D (n) min (step U2). The minimum level D (n) min is set in advance to a maximum value that the light reception levels D (1) to D (k) can take when starting position detection by this peak detection routine.
[0036]
The second detection means 12b compares the light reception level D (n) with the minimum level D (n) min (step U2), and the light reception level D (n) is below the minimum level D (n) min. Is stored by substituting the received light level D (n) as the minimum level D (n) min, and also stores the address of the RAM in which the received light level D (n) is stored (step U3). In step U2, if the light reception level D (n) is not lower than the minimum level D (n) min, the process proceeds to step U4 without performing the process of step U3.
[0037]
The second detection means 12b determines whether or not the variable n matches the number k of received light levels (step U4), and if not, increments the variable n (step U5) and steps U2 to U2. Repeat U5. In step U4, if the variable n is equal to the number k of received light levels, the second detection means 12b detects all the RAM addresses stored in step U3 (step U6), and responds from this address. The position is detected by deriving the position of the detection area A to be performed (step U7).
[0038]
Then, as shown in FIG. 1, the determination means 12c of the control circuit 12 determines and outputs the detection position by the peak detection routine as the edge position of the detected object 14 as described above (step S5).
[0039]
According to the first embodiment, the control circuit 12 first determines and outputs the detection position by the threshold detection routine as the edge position of the detected object 14, and detects the position by the threshold detection routine. If the detected object 14 cannot be detected, the position of the light receiving level that is the minimum level is determined and output as the edge position of the detected object 14, so that the edge position is detected regardless of whether the detected object 14 is transparent or opaque. Can be detected, and erroneous detection of the edge position of the detected object 14 can be prevented as much as possible even if the received light level changes due to a difference in optical characteristics in the vicinity of the edge of the detected object 14.
[0040]
In addition, since the threshold detection routine is executed with priority over the peak detection routine, the detection accuracy of the edge of the detected object 14 can be made as high as possible.
[0041]
(Second Embodiment)
7 and 8 show a second embodiment of the present invention. The difference from the first embodiment is that a light source is configured with a single laser light source, and the light receiving means is a single light receiving means. The present invention is applied to a scanning edge detection sensor that is configured to have a single light receiving element and is configured such that the detected object 14 is transported and positioned between a light source and a light receiving means by a driving device (not shown). It is in. The same parts as those in the first embodiment are denoted by the same reference numerals, and the description thereof is omitted.
[0042]
FIG. 7 schematically shows the overall configuration.
The light source 15 includes a single laser light source (not shown), and emits light to the scanning mirror 16 at a predetermined timing by a control signal from the connected control circuit 12.
[0043]
The scanning mirror 16 is connected to the control circuit 12 via a drive circuit 17, and scans a predetermined region by reflection of the irradiated laser light according to a control signal from the control circuit 12. The scanning mirror 16 may be constituted by a polygon mirror or the like.
[0044]
The light projecting lens 18 makes the scanned laser light substantially parallel to the detection region (see the arrow X direction indicating the direction in which the light is guided in FIG. 6), and the light receiving lens 19 is guided. It is configured to guide light to the light receiving means 20.
[0045]
The light receiving means 20 is configured to have a light receiving element such as a photodiode, for example, receives light guided from the light receiving lens 19, detects a light receiving level corresponding to the detection area A, and outputs it to the connected control circuit 12. It is supposed to be.
[0046]
A drive device (not shown) has a rotary encoder for position detection, and can move the detected object 14 so as to be substantially perpendicular to the light irradiation direction (see the arrow Y direction in FIG. 7). It is configured.
[0047]
Since other configurations are the same as those of the first embodiment, description thereof is omitted. The operation of the above configuration will be described. The difference from the first embodiment is the position detection by the threshold value detection routine shown in FIG.
[0048]
In the scanning edge detection sensor, the control circuit 12 sets the variable n to 1 (step V1), drives and controls the scanning mirror 16 to the initial position, and starts light irradiation by the light source 15 (step V2). The light receiving means 20 receives light by the light receiving element (step V3), and stores the light receiving level D (n) at a predetermined address in the RAM area associated with the position of the detection area A (step V4).
[0049]
Here, the control circuit 12 determines whether or not the variable n matches the number k of received light levels (step V5), and if not, increments n (step V6) and sets the scanning mirror 16 to a predetermined value. Drive control is performed only for steps (step V7). In this case, the scanning mirror 16 is driven and controlled at every predetermined step to be scanned. Steps V3 to V7 are repeated. When the variable n matches the number k of received light levels in step V5, that is, the light receiving means 20 detects the received light level corresponding to the position k times the received light level, and the control circuit 12 When the received light level is stored as D (1) to D (k), the process proceeds to step V8.
[0050]
The control circuit 12 reads a predetermined threshold value α (step V8), and whether or not the threshold value α is greater than or equal to each value of D (1),..., D (k), in other words, It is determined whether or not the received light levels D (1),..., D (k) are below the threshold value α (step V9). When the control circuit 2 determines that one of the light reception levels D (1),..., D (k) is equal to or less than the threshold value α (step V9: Yes), the light reception level D (1),. , D (k), the address at which the received light level that is equal to or lower than the threshold value α is stored is detected (step V10). Then, the edge position of the detected object 14 is detected based on the detected address (step V11). At this time, the edge position can be detected by deriving the position of the corresponding detection area A from the address.
[0051]
If it is determined in step V9 that none of the light reception levels D (1),..., D (k) is less than or equal to the threshold value α (step V9: No), position detection is disabled ( Step V12), the position detection by the threshold value detection routine is terminated. Thus, when it is determined that position detection is impossible, position detection is performed by a peak detection routine. Since the peak detection routine is substantially the same as that of the first embodiment, the description thereof is omitted.
[0052]
According to such 2nd Embodiment, the effect substantially the same as the effect of 1st Embodiment can be acquired.
[0053]
(Third embodiment)
FIG. 9 shows a third embodiment of the present invention. The difference from the first or second embodiment is that a light source is configured with a single light projecting element, and the light receiving means is A single optical axis edge detection sensor configured to have a single light receiving element, and the light projecting and receiving device on which the light source and the light receiving means are mounted operates relative to the object to be detected. It is in the place where it applied. About the same part as 1st or 2nd embodiment, the same code | symbol is attached | subjected and the description is abbreviate | omitted.
[0054]
The light projecting / receiving device 21 is equipped with a light source 15 and a light receiving means 20, and the light projecting / receiving device 21 is configured to be movable in the direction of arrow Y in FIG. In this case, the light source 15 is a laser light source, and its light beam is extremely thin.
[0055]
Similar to the second embodiment, the light source 15 emits light based on a control signal from the control circuit 12, and the light emitted from the light source 15 is received by the light receiving means 20. In this case, the light projecting / receiving device 21 is operated in a direction indicated by an arrow Y in FIG. 9 by a driving device (not shown), and the position is detected by the threshold detection routine in the same manner, and the position is detected by the threshold detection routine. If it can be detected, the detection position by the threshold detection routine is determined and output as the edge position of the detected object 14, and if the position cannot be detected by the threshold detection routine, the peak detection routine Is detected as the edge position of the detected object 14 and output. Thereby, the effect substantially the same as the effect in 1st Embodiment can be acquired.
[0056]
(Fourth embodiment)
FIG. 10 shows a fourth embodiment of the present invention. The difference from the third embodiment is that a detected object 14 is a light projecting / receiving device 21 on which a light source 15 and a light receiving means 20 are mounted. The present invention is applied to a single optical axis edge detection sensor configured to operate in the arrow Y direction.
[0057]
Also in the fourth embodiment, since the object to be detected 14 and the light projecting / receiving device 21 are relatively operated, substantially the same effect as that of the third embodiment can be obtained.
[0058]
(Other embodiments)
In the above-described embodiment, the light source is an LED light source or a laser light source. However, the present invention is not limited to this, and a light source such as a fluorescent light source, a halogen lamp, or a fiber light source may be used.
[0059]
In the above-described embodiment, the first detection unit 2a, the second detection unit 2b, and the determination unit 2c are configured by software stored in the ROM of the control circuit 2. However, the present invention is not limited to this. You may comprise by these.
[0060]
In the above-described embodiment, the present invention is applied to a one-dimensional edge detection sensor, a scanning edge detection sensor, and a single optical axis edge detection sensor. However, the present invention is not limited to this, and is applied to a two-dimensional edge detection sensor or the like. You may do it.
[0061]
The present invention can be applied to both a reflection type edge detection sensor and a transmission type edge detection sensor.
[0062]
In the above-described embodiment, the present invention is applied to the case where the decrease in the light receiving level is used when detecting the detected object 14. However, the present invention is not limited to this, and when detecting the detected object. The present invention can also be applied when utilizing the increase in the light reception level. In this case, if the position can be detected when the light reception level is equal to or higher than the predetermined threshold, the detection position by the threshold detection routine is output as the edge position of the detected object, and the threshold is detected. When the position cannot be detected by the routine, the position at which the light receiving level becomes the maximum level is output as the edge position of the detected object, so even if the detected object is transparent Even if it is opaque, the edge position can be detected, and erroneous detection of the edge can be prevented as much as possible even if the received light level changes due to the difference in optical characteristics in the vicinity of the edge of the detected object.
[0063]
【The invention's effect】
As described above, according to the present invention, the detection position by the first detection means for detecting the position where the light receiving level of the light receiving means is equal to or lower than the predetermined threshold is determined as the edge position of the detected object, When the position cannot be detected by the first detecting means, the detection position by the second detecting means for detecting the position where the light receiving level of the light receiving means is the minimum level is determined as the edge position of the detected object. Edge position can be detected regardless of whether the object to be detected is transparent or opaque, and even if the received light level changes due to the difference in optical characteristics in the vicinity of the edge of the object to be detected, erroneous edge detection Can be prevented as much as possible.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a flowchart (part 1) showing an operation of a one-dimensional edge detection sensor according to a first embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a diagram showing a positional relationship between a light source, a light receiving unit, and an object to be detected.
FIG. 3 is a block diagram showing an electrical configuration.
FIG. 4 is a flowchart showing the operation of the one-dimensional edge detection sensor (part 2).
FIG. 5 is a flowchart showing the operation of the one-dimensional edge detection sensor (part 3).
FIG. 6 is a diagram showing edge positions and corresponding light reception levels.
FIG. 7 is a view corresponding to FIG. 2, showing a second embodiment of the present invention.
FIG. 8 is a view corresponding to FIG.
FIG. 9 is a view corresponding to FIG. 2, showing a third embodiment of the present invention.
FIG. 10 is a view corresponding to FIG. 2, showing a fourth embodiment of the present invention.
FIGS. 11A to 11C are diagrams corresponding to FIG.
12 is a view corresponding to FIG. 6 showing a conventional example.
[Explanation of symbols]
11 is a light source, 12 is a control circuit, 12a is first detection means, 12b is second detection means, 12c is judgment means, 13 is light receiving means, 14 is an object to be detected, 15 is a light source, 16 is a polygon mirror, 18 is a light projecting lens, 19 is a light receiving lens, 20 is a light receiving means, 21 is a light projecting / receiving device, and A is a detection area.

Claims

A light receiving means having a light receiving element provided corresponding to the light source, and detecting a light receiving level corresponding to the position based on an output from the light receiving element;
First detecting means for detecting a position at which the light receiving level of the light receiving means is a predetermined threshold value or less;
Second detecting means for detecting a position at which the light receiving level of the light receiving means is a minimum level;
The detection position by the first detection means is determined as the edge position of the detected object, and when the detection position by the first detection means does not exist, the detection position by the second detection means is set as the edge position of the detection object. An edge detection sensor comprising a determination means for determining.

A light receiving means having a light receiving element provided corresponding to the light source, and detecting a light receiving level corresponding to the position based on an output from the light receiving element;
First detecting means for detecting a position at which the light receiving level of the light receiving means is a predetermined threshold value or more;
Second detection means for detecting a position at which the light receiving level of the light receiving means is a maximum level;
The detection position by the first detection means is determined as the edge position of the detected object, and when the detection position by the first detection means does not exist, the detection position by the second detection means is set as the edge position of the detection object. An edge detection sensor comprising a determination means for determining.