JP3783575B2 - ELECTRO-OPTICAL DEVICE, MANUFACTURING METHOD THEREOF, AND ELECTRONIC DEVICE - Google Patents

ELECTRO-OPTICAL DEVICE, MANUFACTURING METHOD THEREOF, AND ELECTRONIC DEVICE Download PDF

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【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、一対の基板間に液晶等の電気光学物質が挟持されてなると共に外光を利用して表示を行う反射型或いは半透過反射型の液晶装置等の電気光学装置及びその製造方法、並びにそのような電気光学装置を具備してなる携帯電話等の電子機器の技術分野に属する。
【０００２】
【背景技術】
一般に、反射型の液晶装置等の電気光学装置では、第１基板上にストライプ状等の複数の内面反射電極が設けられる。或いは、第１基板上にストライプ状等の複数の透明電極が設けられ且つその下側又は第１基板の裏側に反射板が設けられる。他方、外光の入射側に配置される透明な対向基板たる第２基板上には、透明電極がストライプ状等に設けられる。そして、外光を第２基板、透明電極、液晶等の電気光学物質などを介して反射電極や反射板で反射することにより、反射型表示を行うように構成されている。
【０００３】
他方、半透過反射型の液晶装置等の電気光学装置では、反射型の電気光学装置における反射電極や反射板の代わりに、光が透過する孔や隙間が開けられる又は半透明である半透過反射電極が設けられる。そして、明所では、バックライトを点灯せずに、反射型の電気光学装置の場合と同様に、外光を半透過反射電極や半透過反射板で反射することにより反射型表示を行い、暗所では、バックライトを点灯させて、光源光を半透過反射電極や半透過反射板を透過させることにより透過型表示を行うように構成されている。
【０００４】
このような反射型や半透過反射型の電気光学装置は、バックライトが不要である低消費電力型の表示装置として、携帯電話、電子手帳、モバイルコンピュータ等の携帯用の各種電子機器に広く用いられている。
【０００５】
また特に上述した反射電極、半透過反射電極、反射板及び半透過反射板には夫々、例えば、特開平５−３２３３７１号公報に記載されているように、相転移型ゲストホスト方式における表示画面に垂直な方向へ散乱する光の強度を増加させる目的や反射型表示を鏡面表示としない目的のために、その反射表面に凹凸を付ける技術が開発されている。このように凹凸が付けられた反射表面で外光を反射すれば、鏡面表示と比べて違和感のない反射型表示を行うことや、より明るい相転移型ゲストホスト方式の反射型表示を行うことができる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上述した従来技術における反射表面に付けられる凹凸は、平面内で等方的に形成されている。例えば、上述の特開平５−３２３３７１号公報では、凹凸を均一に且つ再現性良く形成するものであり、反射表面に付けられる凹凸は夫々、平面形状が円形であり、平面内で完全に等方的である。即ちこのように構成された電気光学装置では、本来光源の存在しない方向からの光であっても、光源の存在する方向からの光であっても、これらを同等に反射或いは散乱することになる。
【０００７】
これに対し、例えば携帯電話等の電子機器を例にとれば、使用者が実際に目で反射型表示を見る際には、使用者自体の目に近い顔、頭、首、体等の陰になった状態で反射型表示が行われる。即ち、使用者の頭上や顔の左右を介して背後から入射する比較的強い外光ではなく、使用者の顔や体の方向からのかなり弱い外光を中心に反射や散乱して反射型表示が行われることになる。このため、反射型表示を明るくすることは本質的に困難であるという問題点がある。
【０００８】
本発明は上記問題点に鑑みなされたものであり、実際に使用者により使用される状態において使用者の目から見て明るい反射型表示を可能とする電気光学装置及びその製造方法を提供することを課題とし、更にそのような電気光学装置を具備してなる電子機器を提供することを課題とする。
【０００９】
本発明の第１電気光学装置は上記課題を解決するために、一対の第１基板及び透明な第２基板と、該第１及び第２基板間に挟持された電気光学物質と、前記第１基板上における前記第２基板に対向する側に設けられた表示用の反射電極とを備え、前記反射電極は凹部を形成する絶縁膜、該絶縁膜上に形成された有機膜、該有機膜上に形成された導電性反射膜からなり、前記反射電極における前記第２基板に対向する側の反射表面は、該反射表面が平坦であると仮定した場合と比較して、前記反射表面の法線方向から第１の方向側に傾いて入射される光に対する反射面積を増加させると共に前記反射表面の法線方向から前記第１の方向とは異なる第２の方向側に傾いて入射される光に対する反射面積を減少させる凹状に形成されている。
【００１０】
本発明の第１電気光学装置によれば、透明な第２基板側から外光が入射されると、第２基板及び電気光学物質を介して、第１基板上に設けられた表示用の反射電極により反射され、再び、電気光学物質及び第２基板を介して、第２基板側から外光が出射される。従って、例えば第２基板に偏光板等を設ければ、反射型電気光学装置における反射型表示を行なえる。そして特に、反射電極の反射表面は凹部を形成する絶縁膜、この絶縁膜上に形成された有機膜、さらにこの有機膜上に形成された導電性反射膜から凹状に形成され、第１の方向側に傾いて入射される光に対する反射面積が増加されると共に反対の第２の方向側に傾いて入射される光に対する反射面積が減少されている。即ち、前述した従来の反射電極等に凹凸を等方的に形成するのではなく、光学的な異方性を持つように凹凸を形成することにより、限られた面積の反射表面おいて、第２の方向側に傾いて入射される光を選択的に弱く反射させ、その分だけ第１の方向側に傾いて入射される光を選択的に強く反射させる。従って、当該電気光学装置が実際に使用者によって使用される際に、経験的に強い外光が入射しやすい方向を第１の方向に合わせると共に経験的に強い外光が入射しにくい方向を第２の方向に合わせるように当該電気光学装置を配置すれば、反射表面が平坦である場合と比較して或いは反射表面に凹凸が等方的に形成された場合と比較して、使用者の視点から見て、有効な反射面積が増加されることになるので、より明るい反射型表示が実現される。
【００１１】
尚、上述した本発明の第１電気光学装置及び後述する第２から第４電気光学装置においては、第２基板には、例えばパッシブマトリクス駆動方式の場合には透明なストライプ状電極が設けられたり、ＴＦＴアクティブマトリクス駆動方式の場合には全面に透明な対向電極が設けられたり、横電界駆動方式の場合には何らの表示用の電極も設けられなかったりなど、駆動方式に応じて各種の透明電極等が設けられたりする。更にカラー表示の場合には、カラーフィルタが設けられたり、色補正用の位相差板等が取り付けられたりする。
【００１２】
本発明の第２電気光学装置は上記課題を解決するために、一対の第１基板及び透明な第２基板と、該第１及び第２基板間に挟持された電気光学物質と、前記第１基板上における前記第２基板に対向する側に設けられた表示用の半透過反射電極と、該半透過反射電極の前記第２基板と反対側に配置された光源とを備え、前記半透過反射電極の反射部分は凹部を形成する絶縁膜、該絶縁膜上に形成された有機膜、該有機膜上に形成された導電性反射膜からなり、前記半透過反射電極における前記第２基板に対向する側の反射表面は、該反射表面が平坦であると仮定した場合と比較して、前記反射表面の法線方向から第１の方向側に傾いて入射される光に対する反射面積を増加させると共に前記反射表面の法線方向から前記第１の方向とは異なる第２の方向側に傾いて入射される光に対する反射面積を減少させる凹状に形成されている。
【００１３】
本発明の第２電気光学装置によれば、透明な第２基板側から外光が入射されると、第２基板及び電気光学物質を介して、第１基板上に設けられた表示用の半透過反射電極により反射され、再び、電気光学物質及び第２基板を介して、第２基板側から外光が出射される。従って、例えば第２基板に偏光板等を設ければ、半透過反射型電気光学装置における反射型表示を行なえる。そして特に、半透過反射電極の反射表面は凹部を形成する絶縁膜、この絶縁膜上に形成された有機膜、さらにこの有機膜上に形成された導電性反射膜から凹状に形成され、第１の方向側に傾いて入射される光に対する反射面積が増加されると共に第２の方向側に傾いて入射される光に対する反射面積が減少されている。従って、当該電気光学装置が実際に使用者によって使用される際に、経験的に強い外光が入射しやすい方向を第１の方向に合わせると共に経験的に強い外光が入射しにくい方向を第２の方向に合わせるように当該電気光学装置を配置すれば、使用者の視点から見て、より明るい反射型表示が実現される。
他方、光源を点灯すると、光源光が半透過反射電極、電気光学物質及び透明な第２基板を介して第２基板側から出射される。この際、光源光は、半透過反射電極に形成された凹凸による影響は特に受けない。従って、例えば第１基板や第２基板に偏光板等を設ければ、半透過反射型電気光学装置における透過型表示を行なえる。
【００１４】
本発明の第３電気光学装置は上記課題を解決するために、一対の第１基板及び透明な第２基板と、該第１及び第２基板間に挟持された電気光学物質と、前記第１基板上における前記第２基板に対向する側に設けられた表示用の透明電極と、前記透明電極の前記第２基板と反対側に設けられた反射板とを備え、前記反射板は凹部を形成する絶縁膜、該絶縁膜上に形成された有機膜、該有機膜上に形成された反射膜からなり、前記反射板における前記第２基板に対向する側の反射表面は、該反射表面が平坦であると仮定した場合と比較して、前記反射表面の法線方向から第１の方向側に傾いて入射される光に対する反射面積を増加させると共に前記反射表面の法線方向から前記第１の方向とは異なる第２の方向側に傾いて入射される光に対する反射面積を減少させる凹状に形成されている。
【００１５】
本発明の第３電気光学装置によれば、透明な第２基板側から外光が入射されると、第２基板、電気光学物質及び表示用の透明電極を介して、第１基板上の第２基板と反対側又は同じ側に設けられた反射板により反射され、再び、透明電極、電気光学物質及び第２基板を介して、第２基板側から外光が出射される。従って、例えば第２基板に偏光板等を設ければ、反射型電気光学装置における反射型表示を行なえる。そして特に、反射板の反射表面は凹部を形成する絶縁膜、この絶縁膜上に形成された有機膜、さらにこの有機膜上に形成された反射膜から凹状に形成され、第１の方向側に傾いて入射される光に対する反射面積が増加されると共に第２の方向側に傾いて入射される光に対する反射面積が減少されている。従って、当該電気光学装置が実際に使用者によって使用される際に、経験的に強い外光が入射しやすい方向を第１の方向に合わせると共に経験的に強い外光が入射しにくい方向を第２の方向に合わせるように当該電気光学装置を配置すれば、使用者の視点から見て、より明るい反射型表示が実現される。
【００１６】
本発明の第４電気光学装置は上記課題を解決するために、一対の第１基板及び透明な第２基板と、該第１及び第２基板間に挟持された電気光学物質と、前記第１基板上における前記第２基板に対向する側に設けられた表示用の透明電極と、前記透明電極の前記第２基板と反対側に設けられた半透過反射板と、該半透過反射電極の前記第２基板と反対側に配置された光源とを備え、前記半透過反射板の反射部分は凹部を形成する絶縁膜、該絶縁膜上に形成された有機膜、該有機膜上に形成された反射膜からなり、前記半透過反射板における前記第２基板に対向する側の反射表面は、該反射表面が平坦であると仮定した場合と比較して、前記反射表面の法線方向から第１の方向側に傾いて入射される光に対する反射面積を増加させると共に前記反射表面の法線方向から前記第１の方向とは異なる第２の方向側に傾いて入射される光に対する反射面積を減少させる凹状に形成されている。
【００１７】
本発明の第４電気光学装置によれば、透明な第２基板側から外光が入射されると、第２基板、電気光学物質及び表示用の透明電極を介して、第１基板上の第２基板と反対側又は同じ側に設けられた半透過反射板により反射され、再び、透明電極、電気光学物質及び第２基板を介して、第２基板側から外光が出射される。従って、例えば第２基板に偏光板等を設ければ、半透過反射型電気光学装置における反射型表示を行なえる。そして特に、半透過反射板の反射表面は凹部を形成する絶縁膜、この絶縁膜上に形成された有機膜、さらにこの有機膜上に形成された反射膜から凹状に形成され、第１の方向側に傾いて入射される光に対する反射面積が増加されると共に第２の方向側に傾いて入射される光に対する反射面積が減少されている。従って、当該電気光学装置が実際に使用者によって使用される際に、経験的に強い外光が入射しやすい方向を第１の方向に合わせると共に経験的に強い外光が入射しにくい方向を第２の方向に合わせるように当該電気光学装置を配置すれば、使用者の視点から見て、より明るい反射型表示が実現される。
他方、光源を点灯すると、光源光が半透過反射板、透明電極、電気光学物質及び透明な第２基板を介して第２基板側から出射される。この際、光源光は、半透過反射板に形成された凹凸による影響は特に受けない。従って、例えば第１基板や第２基板に偏光板等を設ければ、半透過反射型電気光学装置における透過型表示を行なえる。
【００１９】
本発明の第１から第４の電気光学装置における各凹部は、反射表面の任意の法線に対して非対称な形状を持つ。即ち各凹部はその重心等の中心に対して非対称に形成されており、これにより光学的な異方性を持つ。このような凹部を反射表面に複数設けることで比較的容易に明るい反射型表示を行える。
この態様では、前記凹部の各々の平面形状は、ティアドロップ状又は鱗状であるように構成してもよい。
このように構成すれば、ティアドロップ状又は鱗状の凹部を反射表面に複数設けることで比較的容易に明るい反射型表示を行える。
【００２０】
本発明の第１から第４の電気光学装置における前記反射表面は、凹部を形成する凹凸膜上に形成された不完全な平坦化膜と、さらにこの平坦化膜上に形成された反射膜からなる。
この態様によれば、凹凸絶縁膜、不完全な平坦化有機膜及び反射膜の３層から、例えばティアドロップ状、鱗状等の凹部を有する、高精度或いは高再現性の反射電極、半透過反射電極、反射板又は半透過反射板を構成できる。
【００２１】
本発明の第１製造方法は上記課題を解決するために、上述した本発明の第１電気光学装置（但し、その各種態様を含む）を製造する電気光学装置の製造方法であって、前記第１基板上に、前記第１の方向側に傾いて入射される光に対する反射面積を増加させると共に前記第２の方向側に傾いて入射される光に対する反射面積を減少させる凹凸膜を形成する工程と、該凹凸膜上に平坦化膜を不完全に形成する工程と、該平坦化膜上に導電性の反射膜を形成することで前記反射電極を形成する工程とを含む。
【００２２】
本発明の第１製造方法によれば、凹凸膜、不完全な平坦化膜及び反射膜の３層から、例えばティアドロップ状、鱗状等の凹部や凸部を有する反射電極を、高精度或いは高再現性で製造できる。よって上述した第１電気光学装置を比較的容易に製造できる。
本発明の第２製造方法は上記課題を解決するために、上述した本発明の第２電気光学装置（但し、その各種態様を含む）を製造する電気光学装置の製造方法であって、前記第１基板上に、前記第１の方向側に傾いて入射される光に対する反射面積を増加させると共に前記第２の方向側に傾いて入射される光に対する反射面積を減少させる凹凸膜を形成する工程と、該凹凸膜上に平坦化膜を不完全に形成する工程と、該平坦化膜上に導電性の半透過反射膜を形成することで前記半透過反射電極を形成する工程とを含む。
【００２３】
本発明の第２製造方法によれば、凹凸膜、不完全な平坦化膜及び半透過反射膜の３層から、例えばティアドロップ状、鱗状等の凹部や凸部を有する半透過反射電極を、高精度或いは高再現性で製造できる。よって上述した第２電気光学装置を比較的容易に製造できる。
本発明の第３製造方法は上記課題を解決するために、上述した本発明の第３電気光学装置（但し、その各種態様を含む）を製造する電気光学装置の製造方法であって、前記第１の方向側に傾いて入射される光に対する反射面積を増加させると共に前記第２の方向側に傾いて入射される光に対する反射面積を減少させる凹凸膜を形成する工程と、該凹凸膜上に平坦化膜を不完全に形成する工程と、該平坦化膜上に反射膜を形成することで前記反射板を形成する工程とを含む。
【００２４】
本発明の第３製造方法によれば、凹凸膜、不完全な平坦化膜及び反射膜の３層から、例えばティアドロップ状、鱗状等の凹部や凸部を有する反射板を、高精度或いは高再現性で製造できる。よって上述した第３電気光学装置を比較的容易に製造できる。
本発明の第４製造方法は上記課題を解決するために、上述した本発明の第４電気光学装置（但し、その各種態様を含む）を製造する電気光学装置の製造方法であって、前記第１の方向側に傾いて入射される光に対する反射面積を増加させると共に前記第２の方向側に傾いて入射される光に対する反射面積を減少させる凹凸膜を形成する工程と、該凹凸膜上に平坦化膜を不完全に形成する工程と、該平坦化膜上に半透過反射膜を形成することで前記半透過反射板を形成する工程とを含む。
【００２５】
本発明の第４製造方法によれば、凹凸膜、不完全な平坦化膜及び半透過反射膜の３層から、例えばティアドロップ状、鱗状等の凹部や凸部を有する半透過反射板を、高精度或いは高再現性で製造できる。よって上述した第４電気光学装置を比較的容易に製造できる。
本発明の電子機器は上記課題を解決するために、上述した本発明の第１から第４電気光学装置（但し、その各種態様を含む）のいずれか一つを具備する。
【００２６】
本発明の電子機器によれば、上述した本発明の第１から第４電気光学装置のいずれか一つを具備するので、明るい反射型表示が可能な、液晶テレビ、携帯電話、電子手帳、ワードプロセッサ、ビューファインダ型又はモニタ直視型のビデオテープレコーダ、ワークステーション、テレビ電話、ＰＯＳ端末、タッチパネル、投射型表示装置などの各種電子機器を実現できる。
【００２７】
本発明の電子機器の一態様では、前記電気光学装置の前記第２基板側からなる当該電子機器の表示画面には上下左右があり、前記反射表面は、下側斜めの方向からの光に対する反射面積よりも上側斜めの方向からの反射面積の方が大きくなるように構成されている。
【００２８】
この態様によれば、携帯電話、電子手帳等の各種電子機器において、表示画面に顔を近づけた使用者の頭や体の方向から入射される光よりも、その頭上を介して背後から入射される光の方を反射表面で優先的に反射することにより、明るい反射型表示を行なえる。
本発明の電子機器の他の態様では、前記電気光学装置の前記第２基板側からなる当該電子機器の表示画面には上下左右があり、前記反射表面は、正面からの光に対する反射面積よりも左側斜め又は右側斜めの方向からの反射面積の方が大きくなるように構成されている。
【００２９】
この態様によれば、携帯電話、電子手帳等の各種電子機器において、表示画面に顔を近づけた使用者の頭や体の方向から入射される光よりも、その左側や右側を介して背後から入射される光の方を反射表面で優先的に反射することにより、明るい反射型表示を行なえる。
本発明のこのような作用及び他の利得は次に説明する実施の形態から明らかにされる。
【００３０】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。以下の実施形態は、本発明の電気光学装置を液晶装置に適用したものである。
（第１実施形態）
先ず、本発明による電気光学装置の第１実施形態の構成について、図１から図６を参照して説明する。第１実施形態は、本発明をパッシブマトリクス駆動方式の反射型液晶装置に適用したものである。尚、図１は、第１実施形態の反射型液晶装置を対向基板上に形成されるカラーフィルタを便宜上取り除いて対向基板側から見た様子を示す図式的平面図であり、図２は、図１のＡ−Ａ’断面をカラーフィルタを含めて示す反射型液晶装置の図式的断面図であり、図３は、第１実施形態に係る反射電極の一例における反射表面を拡大して示す図式的拡大平面図であり、図４は、この反射電極の一例における断面を拡大して示す拡大断面図である。図５は、第１実施形態に係る反射電極の他の例における反射表面を拡大して示す図式的拡大平面図であり、図６は、第１実施形態の反射型液晶装置とこれを実際に見る使用者との位置関係を示す概念図である。尚、図１では、説明の便宜上ストライプ状電極を縦横６本づつ図式的に示しているが実際には、多数本の電極が存在しており、図２から図５においては、各層や各部材を図面上で認識可能な程度の大きさとするため、各層や各部材毎に縮尺を異ならしめてある。
【００３１】
図１及び図２において、第１実施形態における反射型液晶装置は、第１基板１０と、第１基板１０に対向配置された透明の第２基板２０と、第１基板１０及び第２基板２０間に挟持された液晶層５０と、第１基板１０の第２基板２０に対向する側（即ち、図２で上側表面）に配置された複数のストライプ状の反射電極１４と、反射電極１４上に配置された配向膜１５とを備える。反射型液晶装置は、第２基板上の第１基板１０に対向する側（即ち、図２で下側表面）に配置されたカラーフィルタ２３と、カラーフィルタ２３上に配置されたカラーフィルタ平坦化膜２４と、カラーフィルタ平坦化膜２４上に反射電極１４と相交差するように配置された複数のストライプ状の透明電極２１と、透明電極２１上に配置された配向膜２５とを備えて構成されている。カラーフィルタ２３の位置は反射電極１４と第１の基板１０の間に形成しても良い。第１基板１０及び第２基板２０は、液晶層５０の周囲において、シール材３１により貼り合わされており、液晶層５０は、シール材３１及び封止材３２により、第１基板１０及び第２基板２０間に封入されている。更に反射型液晶装置は、第２基板２０の液晶層５０と反対側に、偏光板１０５、第１位相差板１０６及び第２位相差板１１６を備えている。
【００３２】
第１基板１０は、透明でも不透明でもよいため、例えば石英基板や半導体基板等からなり、第２基板２０は、可視光に対して透明或いは少なくとも半透明であることが要求されており、例えばガラス基板や石英基板等からなる。
【００３３】
反射電極１４は、例えばアルミニウムを主成分とする導電性の反射膜を含んでなる。この反射膜は、蒸着やスパッタ等により形成される。
【００３４】
本実施形態では特に、反射電極１４の反射表面（図２で上側の表面）には、光学的な異方性を持つ凹凸状に形成されているが、この構成及び作用については、図３から図６を参照して後述する。
透明電極２１は、例えばＩＴＯ膜などの透明導電性薄膜からなる。
【００３５】
配向膜１５及び２５は夫々、ポリイミド薄膜などの有機薄膜からなり、スピンコート又はフレキソ印刷により形成され、ラビング処理等の所定の配向処理が施されている。
【００３６】
液晶層５０は、反射電極１４及び透明電極２１間で電界が印加されていない状態で配向膜１５及び２５により所定の配向状態をとる。液晶層５０は、例えば一種又は数種類のネマティック液晶を混合したＳＴＮ（Super Twisted Nematic）液晶からなる。
【００３７】
シール材３１は、例えば光硬化性樹脂や熱硬化性樹脂からなる接着剤である。
【００３８】
封止材３２は、シール材３１の注入口を介して液晶を真空注入した後に、当該注入口を封止する樹脂性接着剤等からなる。
【００３９】
カラーフィルタ２３は、青色光、緑色光及び赤色光を画素毎に夫々透過する色材膜と共に各画素の境界にブラックマスク或いはブラックマトリクスと称される遮光膜が形成されて各画素間の混色を防止するように構成されたデルタ配列、ストライプ配列、モザイク配列、トライアングル配列等の公知のカラーフィルタである。また図１及び図２では省略しているが、シール材５２の内側に並行して、例えばカラーフィルタ２３中の遮光膜と同じ或いは異なる材料から成る画像表示領域の周辺を規定する額縁としての遮光膜が設けられてもよい。或いはこのような額縁は、反射型液晶装置を入れる遮光性のケースの縁により規定してもよい。
【００４０】
図２から図４に示すように第１実施形態では特に、反射電極１４における液晶層５０に面する側の反射表面には、該反射表面が平坦であると仮定した場合と比較して、反射表面の法線方向Ｄ０から第１の方向Ｄ１（図３参照）側に傾いて入射される光（例えば図３で紙面に向かって手前上方から斜め下方に進行する光）に対する反射面積を増加させると共に、反射表面の法線方向Ｄ０から第２の方向Ｄ２（図３参照）側に傾いて入射される光（例えば図３で紙面に向かって手前下方から斜め上方に進行する光）に対する反射面積を減少させる、ティアロロップ状の凹部１４ｄが多数形成されている。
より具体的には、反射電極１４は、図４に示すように、(i)例えば数μｍ程度の深さｈ１を有するティアドロップ状の凹部１４Ｄが、数μｍ程度のピッチで多数掘られた、例えば酸化シリコン、窒化シリコン等を主成分とする絶縁膜１４ａと、(ii)この上に形成されており絶縁膜１４ａを不完全に平坦化する有機平坦化膜１４ｂと、(iii)この上に形成されており例えば０．数μｍ程度の深さｈ２を有するティアドロップ状の凹部１４ｄが数μｍ程度のピッチで多数設けられた、例えばＡｌ（アルミニウム）、Ａｇ（銀）、Ｃｒ（クロム）等の導電性の反射膜１４ｃとの３層から構成されている。そして、反射電極１４を構成する３層のうち最上層たる反射膜１４ｃにある凹部１４ｄは夫々、図３で上部が鋭角に窪んでいるので、図３で紙面に向かって手前下方から斜め上方に進行する光は、相対的に反射される割合が小さくなる。これに対し、反射膜１４ｃにある凹部１４ｄは夫々、図３で下部が鈍角に窪んでいるので、図３で紙面に向かって手前上方から斜め下方に進行する光は、相対的に反射される割合が大きくなる。
尚、図５に示す他の例のように、反射電極１４に、ティアドロップ状の凹部１４ｄではなく、例えば０．数μｍ程度の深さを持つ鱗状の凹部１４ｄ’を設けても同様に作用する。
【００４１】
そして本実施形態では図６に示すように、当該電気光学装置２００が実際に使用者３００によって使用される際に、強い外光が入射しやすい方向Ｄ３を第１の方向Ｄ１（図３参照）に合わせると共に強い外光が入射しにくい方向Ｄ４を第２の方向Ｄ２（図３参照）に合わせるように、上述の如く光学的な異方性を持つ凹部１４ｄ（又は凹部１４ｄ’）が反射電極１４の反射表面に形成された電気光学装置を配置する。すると、反射表面が平坦である場合と比較して或いは反射表面に凹凸が等方的に形成された場合と比較して、使用者３００の視点から見て、使用者３００の体の陰となっている方向Ｄ４からの弱い外光が余り反射されず、その分だけ使用者３００の体の陰となっていない方向Ｄ３からの強い外光が多く反射されることになる。
次に、以上の如く構成された第１実施形態の反射型液晶装置の動作について図２を参照して説明する。第１実施形態の反射型液晶装置は、ノーマリーブラックモードのパッシブマトリクス駆動方式により駆動される。
【００４２】
図２において、偏光板１０５の側（即ち、図２で上側）から外光が入射すると、偏光板１０５、透明な第２基板２０及び液晶層５０を介して第１基板１０上に設けられた反射電極１４により反射され、再び液晶層５０、第２基板２０及び偏光板１０５を介して偏光板１０５側から出射される。ここで、外部回路から反射電極１４及び透明電極２１に、画像信号及び走査信号を所定タイミングで供給すれば、反射電極１４及び透明電極２１が交差する個所における液晶層５０部分には、行毎又は列毎若しくは画素毎に電界が順次印加される。従って、この印加電圧により液晶層５０の配向状態を各画素単位で制御することにより、透過軸及び吸収軸が固定された偏光板１０５を透過する光量を各画素単位で変調し、カラーの階調表示が可能となる。
【００４３】
そして特に本実施形態によれば、図６に示したように使用者３００の視点から見て、使用者３００の体の陰となっていない方向Ｄ３からの強い外光が多く反射されるので、明るい反射型表示が可能となる。
加えて、反射電極１４の反射表面に凹凸を形成することにより、反射型表示における鏡面感を無くし、散乱面（白色面）に見せることも可能となり、更に凹凸による散乱によって視野角も広がる。
【００４４】
尚、上述した実施形態では、反射電極１４に、凹部１４ｄ又は１４ｄ’を多数設けるようにしたが、これに代えて又は加えて、反射電極１４に、ティアドロップ状、鱗状等の凸部を多数設けることによっても、類似の効果が得ることが可能である。
（第２実施形態）
次に、本発明による液晶装置の第２実施形態について、図７及び図８を参照して説明する。第２実施形態は、本発明を半透過反射型液晶装置に適用したものである。ここに図７は、第２実施形態の構成を示す図式的断面図であるが、図２に示した第１実施形態と同様の構成要素については同様の参照符号を付し、その説明は適宜省略する。
【００４５】
図７において、第２実施形態における半透過反射型液晶装置は、第１実施形態における反射電極１４に代えて半透過反射電極２１４を備えて構成されており、第１実施形態の構成に加えて、第１基板１０の液晶層５０と反対側に、偏光板１０７及び位相差板１０８を備えている。更に、偏光板１０７の外側には、蛍光管１１９と蛍光管１１９からの光を偏光板１０７から液晶パネル内に導くための導光板１１８とを備えて構成されている。その他の構成については、第１実施形態の場合と同様である。
【００４６】
半透過反射電極２１４はＡｇやＡｌなどにより形成され、その表面は第２基板２０の側から入射する光を反射する反射面となっている。半透過反射電極２１４には第１基板１０側からの光源光を透過するためのスリットや開口部が設けてある。
【００４７】
ここで、半透過反射電極２１４のスリットや開口部の各種具体例について図８を参照して説明する。
【００４８】
図８（ａ）に示すように、各画素毎に４つの矩形スロットを４方に配置してもよいし、図８（ｂ）に示すように各画素毎に５つの矩形スロットを横並びに配置してもよいし、図８（ｃ）示すように各画素毎に多数の円形開口（例えば、２μｍ径の開口）を離散配置してもよいし、図８（ｄ）示すように各画素毎に１つの比較的大きな矩形スロットを配置してもよい。このような開口部は、レジストを用いたフォト工程／現像工程／剥離工程で容易に作製することができる。開口部の平面形状は図示のほかにも、正方形でもよいし、或いは、多角形、楕円形、不規則形でもよいし、複数の画素に跨って延びるスリット状でもよい。また、反射層を形成するときに同時に開口部を開孔することも可能であり、このようにすれば製造工程数を増やさず済む。特に、図８（ａ）、（ｂ）又は（ｄ）に示した如きスリットの場合、スリットの幅は、好ましくは約３〜２０μｍとされる。このように構成すれば、反射型表示時にも透過型表示時にも、明るく高コントラストな表示が可能となる。尚、このようなスリットや開口部を設ける以外に、例えば、間隙を光が透過可能なように第２基板２０に垂直な方向から平面的に見て相互に分断された単一層の半透過反射電極２１４としてもよい。
【００４９】
再び図７に戻り、第２実施形態では特に、上述の如くスリット等が開口された半透過反射電極２１４における液晶層５０に面する側の反射表面には、第１実施形態における反射電極１４の場合と同様に、ティアロロップ状、鱗状等の凹部２１４ｄが多数形成されている。これにより、第２実施形態における反射型表示時には、第１実施形態の場合とほぼ同様に、使用者の視点から見て、使用者の体の陰となっている方向からの弱い外光が余り反射されず、その分だけ使用者の体の陰となっていない方向からの強い外光が多く反射されることになる。他方、蛍光管１１９を点灯すると、これから発せられる光は、半透過反射電極２１４に形成された凹部２１４ｄによる影響は特に受けない。
蛍光管１１９と共にバックライトを構成する導光板１１８は、裏面全体に散乱用の粗面が形成され、或いは散乱用の印刷層が形成されたアクリル樹脂板などの透明体であり、光源である蛍光管１１９の光を端面にて受けて、図の上面からほぼ均一な光を放出するようになっている。
【００５０】
透過型表示時に点灯される光源としては、小型の液晶装置用には、ＬＥＤ（Light Emitting Diode）素子、ＥＬ（Electro-Luminescence）素子等が適しており、大型の液晶装置用には、導光板を介して側方から光を導入する蛍光管１１９等が適している。第１基板１０と導光板１１８との間には、更に、反射偏光子を光の有効利用目的で配置してもよい。
【００５１】
次に、以上の如く構成された第２実施形態の半透過反射型液晶装置の動作について図７を参照して説明する。第２実施形態の半透過反射型液晶装置は、ノーマリーブラックモードのパッシブマトリクス駆動方式により駆動される。
【００５２】
まず、反射型表示について説明する。
【００５３】
この場合には第１実施形態の場合と同様に、図７において、偏光板１０５の側（即ち、図７で上側）から外光が入射すると、偏光板１０５、透明な第２基板２０及び液晶層５０を介して第１基板１０上に設けられた半透過反射電極２１４により反射され、再び液晶層５０、第２基板２０及び偏光板１０５を介して偏光板１０５側から出射される。ここで、外部回路から半透過反射電極２１４及び透明電極２１に、画像信号及び走査信号を所定タイミングで供給すれば、半透過反射電極２１４及び透明電極２１が交差する個所における液晶層５０部分には、行毎又は列毎若しくは画素毎に電界が順次印加される。従って、この印加電圧により液晶層５０の配向状態を各画素単位で制御することにより、偏光板１０５を透過する光量を変調し、カラーの階調表示が可能となる。
【００５４】
次に透過型表示について説明する。
【００５５】
この場合には、図７において第１基板１０の下側から偏光板１０７を介して光源光が入射すると、半透過反射電極２１４の開口部を透過し、液晶層５０、第２基板２０及び偏光板１０５を介して偏光板１０５側から出射される。ここで、外部回路から半透過反射電極２１４及び透明電極２１に、画像信号及び走査信号を所定タイミングで供給すれば、半透過反射電極２１４及び透明電極２１が交差する個所における液晶層５０部分には、行毎又は列毎若しくは画素毎に電界が順次印加される。これにより液晶層５０の配向状態を各画素単位で制御することにより、光源光を変調し、階調表示が可能となる。
【００５６】
（第３実施形態）
次に、本発明による液晶装置の第３実施形態について、図９を参照して説明する。ここに図９は、第３実施形態の構成を示す断面図であるが、図２に示した第１実施形態と同様の構成要素については同様の参照符号を付し、その説明は適宜省略する。
【００５７】
図９に示すように、第３実施形態では、第１実施形態における反射電極１４に代えて、ストライプ状の透明電極３４及び反射板３５が設けられている。その他の構成については第１実施形態の場合と同様である。尚、反射板３５の位置は、透明電極３４よりも液晶層５０から遠い位置であれば、図９において第１基板１０の上側でも下側でもよい。
第３実施形態では特に、反射板３５における液晶層５０に対向する側の反射表面には、第１実施形態における反射電極１４の場合と同様に、ティアロロップ状、鱗状等の凹部３５ｄが多数形成されている。
従って第３実施形態における反射型表示時には、第１実施形態の場合とほぼ同様に、使用者の視点から見て、使用者の体の陰となっている方向からの弱い外光が余り反射されず、その分だけ使用者の体の陰となっていない方向からの強い外光が多く反射されることになる。
（第４実施形態）
次に、本発明による液晶装置の第４実施形態について、図１０を参照して説明する。ここに図１０は、第４実施形態の構成を示す断面図であるが、図７に示した第２実施形態と同様の構成要素については同様の参照符号を付し、その説明は適宜省略する。
【００５８】
図１０に示すように、第４実施形態では、第２実施形態における半透過反射電極２１４に代えて、ストライプ状の透明電極２３４及び半透過反射板２３５が設けられている。半透過反射板２３５には、第２実施形態と同様に図８に示した如きスリットや開口部が設けられている。その他の構成については第２実施形態の場合と同様である。尚、半透過反射板２３５の位置は、透明電極２３４と導光板１１８との間の位置であれば、図１０において第１基板１０の上側でも下側でもよい。
第４実施形態では特に、半透過反射板２３５における液晶層５０に対向する側の反射表面には、第２実施形態における半透過反射電極２１４の場合と同様に、ティアロロップ状、鱗状等の凹部２３５ｄが多数形成されている。
従って第４実施形態における反射型表示時には、第２実施形態の場合とほぼ同様に、使用者の視点から見て、使用者の体の陰となっている方向からの弱い外光が余り反射されず、その分だけ使用者の体の陰となっていない方向からの強い外光が多く反射されることになる。他方、蛍光管１１９を点灯すると、これから発せられる光は、半透過反射板２３５に形成された凹部２３５ｄによる影響は特に受けない。
以上説明した第１から第４実施形態では、反射電極１４、半透過反射電極２１４、透明電極３４又は透明電極２３４の第１基板１０上の端子領域に引き出された端子部及び透明電極２１の第２基板１０上の端子領域に引き出された端子部には、例えばＴＡＢ（Tape Automated bonding）基板上に実装され、反射電極１４、半透過反射電極２１４、透明電極３４又は透明電極２３４並びに透明電極２１に画像信号や走査信号を所定タイミングで供給するデータ線駆動回路や走査線駆動回路を含む駆動用ＬＳＩを、異方性導電フィルムを介して電気的及び機械的に接続するようにしてもよい。或いは、シール材３１の外側の第１基板１０又は第２基板２０上の周辺領域に、このようなデータ線駆動回路や走査線駆動回路を形成して所謂駆動回路内蔵型の反射型液晶装置として構成してもよく、更に、製造途中や出荷時の当該液晶装置の品質、欠陥等を検査するための検査回路等を形成して所謂周辺回路内蔵型の反射型液晶装置としてもよい。
【００５９】
また以上説明した各実施形態では、パッシブマトリクス駆動方式以外にも、ＴＦＴアクティブマトリクス駆動方式、ＴＦＤ（Thin Film Diode：薄膜ダイオード）アクティブマトリクス駆動方式、セグメント駆動方式等の公知の各種駆動方式を採用可能である。この際、第１基板１０上には、駆動方式等に応じて適宜、複数のストライプ状の透明電極、マトリクス状の画素電極等が形成され、第２基板２０上には駆動方式等に応じて適宜、複数のストライプ状やセグメント状の透明電極が形成されたり、第２基板２０のほぼ全面に透明電極が形成されたりする。或いは、第２基板２０上に対向電極を設けることなく、第１基板１０上の相隣接する反射電極１４間における基板に平行な横電界で駆動してもよい。また、ノーマリーブラックモードに限らずにノーマリーホワイトモードを採用してもよい。更に、第２基板２０上に１画素1個対応するようにマイクロレンズを形成してもよい。このようにすれば、入射光の集光効率を向上することで、明るい液晶装置が実現できる。更にまた、第２基板２０上に、何層もの屈折率の相違する干渉層を堆積することで、光の干渉を利用して、ＲＧＢ色を作り出すダイクロイックフィルタを形成してもよい。このダイクロイックフィルタ付き対向基板によれば、より明るいカラー液晶装置が実現できる。
【００６０】
加えて以上説明した各実施形態では、反射電極１４、半透過反射電極２１４、透明電極３４又は透明電極２３４における凹凸の反射表面上に透明な平坦化膜をスピンコート等により形成して、このような凹凸が配向膜１５表面に段差を引き起こして、液晶の配向不良の如き動作不良が発生しないようにすることが望ましい。
（製造プロセス）
次に図１１を参照して、上述した各実施形態における電気光学装置を製造する製造プロセスを、第１実施形態における反射電極１４の形成プロセスを中心として説明を加える。ここに図１１は、反射電極１４の形成プロセスのフローチャートである。
【００６１】
先ず図１１のステップＳ１では、ガラス基板、石英基板等の第１基板１０を用意し、この上に、例えば酸化シリコン、窒化シリコン等を主成分とする絶縁膜１４ａを常圧又は減圧ＣＶＤ法等により形成する。この際、絶縁膜１４ａの膜厚は、後工程で掘られる凹部１４Dの深さｈ１よりも厚くすること、例えば３μｍ以上程度に厚く積むことで、この凹部１４Ｄの突き抜けを防止するのが好ましい。
次にステップＳ２では、この絶縁膜１４ａに対して、例えば、２〜３μｍ程度の深さｈ１を有するティアドロップ状の凹部１４Ｄを、フォトリソグラフィ及びエッチングにより形成する。この際、凹部１４Ｄのピッチは、５μｍ程度とする。より具体的には、ＣＡＤ（Computer Aided Design）でティアドロップを多角形で近似して描いて、マスクを形成した後に、このマスクを用いて、ティアドロップ状の凹部１４Ｄをエッチングにより掘る。このステップＳ２におけるエッチングは、ドライエッチングでもよいし、ウエットエッチングでもよいし、両者を組み合わせてもよい。
次にステップＳ３では、この上にスピンコート等により、絶縁膜１４ａを不完全に平坦化する有機平坦化膜１４ｂを形成する。ここに「不完全に平坦化する」とは、凹部１４Ｄ上に形成された有機平坦化膜１４ｂ部分における凹部１４ｄの深さが、例えばこの凹部１４Ｄの十分の一程度まで平坦化すると共にそれを超える平坦化は行なわない意味である。
次にステップＳ４では、この上に例えばＡｌ、Ａｇ、Ｃｒ等の導電性の反射膜１４ｃをスパッタリング等により積層することにより、例えば０．２〜０．３μｍ程度の深さｈ２を有すると共にピッチが５μｍ程度である、ティアドロップ状の凹部１４ｄが多数形成される。
その後、スピンコート又はフレキソ印刷によりポリイミド薄膜などの有機薄膜を全面に形成後、ラビング処理等の所定の配向処理を施すことで、配向膜１５を形成する。そして、このように反射電極１４、配向膜１５等が形成された第１基板１０と、別途カラーフィルタ２３、透明電極２１等が形成された第２基板２０とをシール材３１により相接着し、両基板間に注入口を介して液晶を真空吸引し、注入口を封止材により封止する。
【００６２】
加えて、図７及び図８に示した第２実施形態の電気光学装置を製造する場合には、反射電極のパターニングに若干変更して、図８に示したスリットや開口部を開けるように製造すればよい。更に、図９及び図１０に夫々示した第３及び第４実施形態の電気光学装置を製造する場合には、反射板や半透過反射板を取り付ける前に又は反射板や半透過反射板を第１基板１０上に形成した後に、ステップＳ１〜Ｓ４と同様の手法により、凹部を形成すればよい。
以上説明した製造プロセスによれば、上述した実施形態の電気光学装置を比較的容易に製造できる。
【００６３】
尚、反射電極１４や半透過反射電極２１４に形成する凹凸形状は、反射電極１４や半透過反射電極２１４の下地に感光性のアクリル樹脂等を用いて形成したり、下地の基板自身をフッ酸によって荒らすこと等によって形成してもよい。
【００６４】
加えて、反射電極１４又は半透過反射電極２１４に凹凸形状を形成後に、その凹凸表面上に透明な平坦化膜を形成して、液晶層５０に面する表面（配向膜１５の表面）を平坦化しておくことにより、液晶の配向不良を防いでもよい。
（第５実施形態）
次に、本発明の第５実施形態について、図１２を参照して説明する。第５実施形態は、上述した本発明の第１から第４実施形態の液晶装置を適用した各種の電子機器からなる。
【００６５】
先ず、第１から第４実施形態における液晶装置を、例えば図１２（ａ）に示すような携帯電話１０００の表示部１００１に適用すれば、明るい反射型のカラー表示を行う省エネルギ型の携帯電話を実現できる。
【００６６】
また、図１２（ｂ）に示すような腕時計１１００の表示部１１０１に適用すれば、明るい反射型のカラー表示を行う省エネルギ型の腕時計を実現できる。
【００６７】
更に、図１２（ｃ）に示すようなパーソナルコンピュータ（或いは、情報端末）１２００において、キーボード１２０２付きの本体１２０４に開閉自在に取り付けられるカバー内に設けられる表示画面１２０６に適用すれば、明るい反射型のカラー表示を行う省エネルギ型のパーソナルコンピュータを実現できる。
【００６８】
第５実施形態では好ましくは、図６で説明したように、表示画面に顔を近づけた使用者の頭や体の方向から入射される光よりも、その頭上若しくは右側又は左側を介して背後から入射される光の方を反射表面で優先的に反射するように、第１から第４実施形態の電気光学装置を、電子機器に上下左右に応じて当該電子機器に実装するのが好ましい。これにより、明るい反射型表示を行なえる。
以上図１２に示した電子機器の他にも、液晶テレビ、ビューファインダ型又はモニタ直視型のビデオテープレコーダ、カーナビゲーション装置、電子手帳、電卓、ワードプロセッサ、エンジニアリング・ワークステーション（ＥＷＳ）、テレビ電話、ＰＯＳ端末、タッチパネルを備えた装置等などの電子機器にも、第１から第４実施形態の液晶装置を適用可能である。
【００６９】
本発明は、上述した実施形態に限られるものではなく、請求の範囲及び明細書全体から読み取れる発明の要旨或いは思想に反しない範囲で適宜変更可能であり、そのような変更を伴なう電気光学装置及びその製造方法並びに電子機器もまた本発明の技術的範囲に含まれるものである。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１実施形態であるパッシブマトリクス駆動方式の反射型液晶装置を、対向基板上に形成されるカラーフィルタを便宜上取り除いて対向基板側から見た様子を示す図式的平面図である。
【図２】図１のＡ−Ａ’断面をカラーフィルタを含めて示す反射型液晶装置の図式的断面図である。
【図３】第１実施形態に係る反射電極の一例における反射表面を拡大して示す図式的拡大平面図である。
【図４】第１実施形態に係る反射電極の一例における断面を拡大して示す拡大断面図である。
【図５】第１実施形態に係る反射電極の他の例における反射表面を拡大して示す図式的拡大平面図である。
【図６】第１実施形態の反射型液晶装置とこれを実際に見る使用者との位置関係を示す概念図である。
【図７】本発明の第２実施形態であるパッシブマトリクス駆動方式の半透過反射型液晶装置の図式的平面図である。
【図８】第２実施形態の半透過反射層に設けられるスリットや開口部に係る各種具体例を示す拡大平面図である。
【図９】本発明の第３実施形態であるパッシブマトリクス駆動方式の反射型液晶装置の、断面図である。
【図１０】本発明の第４実施形態であるパッシブマトリクス駆動方式の半透過反射型液晶装置の断面図である。
【図１１】本実施形態に係る製造プロセスを示すフローチャートである。
【図１２】本発明の第５実施形態である各種電子機器の外観図である。
【符号の説明】
１０…第１基板
１４…反射電極
１４ｄ…凹部
１５…配向膜
２０…第２基板
２１…透明電極
２３…カラーフィルタ
２５…配向膜
３１…シール材
３２…封止材
３５…反射板
３５ｄ…凹部
１０５…偏光板
１０６…第１位相差板
１１６…第２位相差板
２１４…半透過反射電極
２３５…半透過反射板
２３５ｄ…凹部[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to an electro-optical device such as a reflective or transflective liquid crystal device in which an electro-optical material such as liquid crystal is sandwiched between a pair of substrates and performs display using external light, and a method for manufacturing the same. In addition, the present invention belongs to the technical field of electronic equipment such as a mobile phone including such an electro-optical device.
[0002]
[Background]
In general, in an electro-optical device such as a reflective liquid crystal device, a plurality of internal reflection electrodes such as stripes are provided on a first substrate. Alternatively, a plurality of transparent electrodes such as stripes are provided on the first substrate, and a reflecting plate is provided on the lower side or the back side of the first substrate. On the other hand, a transparent electrode is provided in a stripe shape or the like on a second substrate which is a transparent counter substrate disposed on the incident side of external light. A reflection type display is performed by reflecting external light through a second substrate, a transparent electrode, an electro-optical material such as liquid crystal, and the like with a reflection electrode or a reflection plate.
[0003]
On the other hand, in an electro-optical device such as a transflective liquid crystal device, a semi-transparent reflection in which a hole or a gap through which light is transmitted is formed or semi-transparent instead of the reflective electrode and the reflection plate in the reflective electro-optical device. An electrode is provided. In the bright place, the reflective display is performed by reflecting the external light with the semi-transmissive reflective electrode or the semi-transmissive reflective plate without turning on the backlight, as in the case of the reflective electro-optical device. At this point, the backlight is turned on, and the transmissive display is performed by transmitting the light source light through the transflective electrode and the transflective plate.
[0004]
Such reflective and transflective electro-optical devices are widely used in various portable electronic devices such as mobile phones, electronic notebooks, and mobile computers as low power consumption display devices that do not require a backlight. It has been.
[0005]
Further, in particular, the reflective electrode, the semi-transmissive reflective electrode, the reflective plate, and the semi-transmissive reflective plate described above, for example, as described in JP-A-5-323371, have a display screen in a phase transition type guest host system. For the purpose of increasing the intensity of light scattered in the vertical direction and for the purpose of preventing the reflective display from being a mirror display, a technique for providing irregularities on the reflective surface has been developed. If external light is reflected by such a reflective surface with irregularities, it is possible to perform a reflective display that does not give a sense of incompatibility compared to a mirror display, or to perform a brighter phase transition guest-host reflective display. it can.
[0006]
[Problems to be solved by the invention]
However, the unevenness applied to the reflective surface in the above-described prior art is formed isotropic in a plane. For example, in the above-mentioned Japanese Patent Application Laid-Open No. 5-323371, the unevenness is formed uniformly and with good reproducibility, and the unevenness applied to the reflective surface has a circular planar shape and is completely isotropic in the plane. Is. In other words, in the electro-optical device configured in this way, light from the direction in which the light source originally does not exist and light from the direction in which the light source exists are reflected or scattered equally. .
[0007]
On the other hand, for example, when an electronic device such as a mobile phone is taken as an example, when the user actually sees the reflective display with the eyes, the shadow of the face, head, neck, body, etc. close to the user's own eyes. In this state, the reflective display is performed. In other words, it is a reflective display that reflects and scatters rather weak external light from the direction of the user's face and body, rather than relatively strong external light that enters from the back via the user's head and the left and right sides of the face. Will be done. For this reason, there is a problem that it is essentially difficult to brighten the reflective display.
[0008]
The present invention has been made in view of the above problems, and provides an electro-optical device and a method of manufacturing the same that enable a bright reflective display as viewed from the user's eyes in a state where the user actually uses the device. It is another object of the present invention to provide an electronic apparatus including such an electro-optical device.
[0009]
In order to solve the above problems, a first electro-optical device of the present invention is a pair of a first substrate and a transparent second substrate, an electro-optical material sandwiched between the first and second substrates, and the first A reflective electrode for display provided on the side of the substrate facing the second substrate, The reflective electrode comprises an insulating film that forms a recess, an organic film formed on the insulating film, and a conductive reflective film formed on the organic film. The reflective surface of the reflective electrode facing the second substrate is inclined from the normal direction of the reflective surface to the first direction as compared to the case where the reflective surface is assumed to be flat. Increasing the reflection area for incident light and decreasing the reflection area for incident light inclined from the normal direction of the reflection surface to a second direction different from the first direction. Concavely Is formed.
[0010]
According to the first electro-optical device of the present invention, when external light is incident from the transparent second substrate side, the reflection for display provided on the first substrate via the second substrate and the electro-optical material. Reflected by the electrodes, external light is emitted from the second substrate side again through the electro-optic material and the second substrate. Therefore, for example, if a polarizing plate or the like is provided on the second substrate, the reflective display in the reflective electro-optical device can be performed. And in particular, the reflective surface of the reflective electrode An insulating film that forms a recess, an organic film formed on the insulating film, and a conductive reflective film formed on the organic film The reflection area for the light that is formed and tilted toward the first direction is increased and Opposite The reflection area with respect to light incident on the second direction is reduced. That is, by forming irregularities so as to have optical anisotropy instead of isotropically forming irregularities on the above-described conventional reflective electrode, etc. The light incident on the second direction is selectively weakly reflected, and the light incident on the first direction is selectively reflected strongly. Accordingly, when the electro-optical device is actually used by the user, the direction in which empirically strong external light is likely to be incident is adjusted to the first direction, and the direction in which empirically strong external light is difficult to be incident is the first. If the electro-optical device is arranged so as to match the direction 2, the user's viewpoint is compared with the case where the reflective surface is flat or the unevenness is formed on the reflective surface. As a result, the effective reflection area is increased, so that a brighter reflective display is realized.
[0011]
In the first electro-optical device of the present invention described above and the second to fourth electro-optical devices described later, the second substrate is provided with a transparent striped electrode, for example, in the case of the passive matrix driving method. In the case of the TFT active matrix driving method, a transparent counter electrode is provided on the entire surface, and in the case of the horizontal electric field driving method, no display electrode is provided. An electrode or the like is provided. Further, in the case of color display, a color filter is provided, or a phase difference plate for color correction is attached.
[0012]
In order to solve the above problems, a second electro-optical device according to the present invention includes a pair of first substrates and a transparent second substrate, an electro-optical material sandwiched between the first and second substrates, and the first A transflective electrode for display provided on the side of the substrate facing the second substrate, and a light source disposed on the opposite side of the transflective electrode to the second substrate, The reflective part of the transflective electrode comprises an insulating film that forms a recess, an organic film formed on the insulating film, and a conductive reflective film formed on the organic film. The reflective surface on the side facing the second substrate of the transflective electrode is closer to the first direction side from the normal direction of the reflective surface than when the reflective surface is assumed to be flat. Increasing the reflection area for light incident at an angle and decreasing the reflection area for light incident at an inclination from the normal direction of the reflection surface to a second direction different from the first direction. Concavely Is formed.
[0013]
According to the second electro-optical device of the present invention, when external light is incident from the transparent second substrate side, the display half provided on the first substrate via the second substrate and the electro-optical material. The light is reflected by the transmissive reflection electrode, and external light is emitted from the second substrate side again through the electro-optic material and the second substrate. Therefore, for example, if a polarizing plate or the like is provided on the second substrate, a reflective display in the transflective electro-optical device can be performed. And in particular, the reflective surface of the transflective electrode is An insulating film that forms a recess, an organic film formed on the insulating film, and a conductive reflective film formed on the organic film The reflection area for the light incident on the first direction is increased, and the reflection area for the light incident on the second direction is decreased. Accordingly, when the electro-optical device is actually used by the user, the direction in which empirically strong external light is likely to be incident is adjusted to the first direction, and the direction in which empirically strong external light is difficult to be incident is the first. If the electro-optical device is arranged so as to match the direction 2, the brighter reflective display can be realized from the viewpoint of the user.
On the other hand, when the light source is turned on, the light source light is emitted from the second substrate side through the transflective electrode, the electro-optic material, and the transparent second substrate. At this time, the light source light is not particularly affected by the unevenness formed on the transflective electrode. Therefore, for example, when a polarizing plate or the like is provided on the first substrate or the second substrate, transmissive display in the transflective electro-optical device can be performed.
[0014]
In order to solve the above problems, a third electro-optical device of the present invention is a pair of a first substrate and a transparent second substrate, an electro-optical material sandwiched between the first and second substrates, and the first A transparent electrode for display provided on the side of the substrate facing the second substrate, and a reflector provided on the opposite side of the transparent electrode to the second substrate, The reflection plate comprises an insulating film that forms a recess, an organic film formed on the insulating film, and a reflective film formed on the organic film. The reflecting surface of the reflecting plate facing the second substrate is inclined from the normal direction of the reflecting surface to the first direction as compared to the case where the reflecting surface is assumed to be flat. Increasing the reflection area for incident light and decreasing the reflection area for incident light inclined from the normal direction of the reflection surface to a second direction different from the first direction. Concavely Is formed.
[0015]
According to the third electro-optical device of the present invention, when external light is incident from the transparent second substrate side, the second electro-optical material and the transparent electrode for display are used to connect the first light on the first substrate. The light is reflected by a reflector provided on the opposite side or the same side as the two substrates, and external light is emitted from the second substrate side again through the transparent electrode, the electro-optic material, and the second substrate. Therefore, for example, if a polarizing plate or the like is provided on the second substrate, the reflective display in the reflective electro-optical device can be performed. And in particular, the reflective surface of the reflector is An insulating film that forms a recess, an organic film formed on the insulating film, and a reflective film formed on the organic film. The reflection area for the light incident on the first direction is increased, and the reflection area for the light incident on the second direction is decreased. Accordingly, when the electro-optical device is actually used by the user, the direction in which empirically strong external light is likely to be incident is adjusted to the first direction, and the direction in which empirically strong external light is difficult to be incident is the first. If the electro-optical device is arranged so as to match the direction 2, the brighter reflective display can be realized from the viewpoint of the user.
[0016]
In order to solve the above problems, a fourth electro-optical device according to the present invention includes a pair of first substrates and a transparent second substrate, an electro-optical material sandwiched between the first and second substrates, and the first A transparent electrode for display provided on a side of the substrate facing the second substrate, a transflective plate provided on the opposite side of the transparent electrode from the second substrate, and the transflective electrode of the transflective electrode A light source disposed on the opposite side of the second substrate, The reflective portion of the transflective plate comprises an insulating film that forms a recess, an organic film formed on the insulating film, and a reflective film formed on the organic film. The reflective surface on the side facing the second substrate in the transflective reflector is closer to the first direction from the normal direction of the reflective surface than when the reflective surface is assumed to be flat. Increasing the reflection area for light incident at an angle and decreasing the reflection area for light incident at an inclination from the normal direction of the reflection surface to a second direction different from the first direction. Concavely Is formed.
[0017]
According to the fourth electro-optical device of the present invention, when external light is incident from the transparent second substrate side, the second electro-optical material and the transparent electrode for display are used to connect the first light on the first substrate. The light is reflected by a transflective plate provided on the opposite side or the same side as the two substrates, and external light is emitted again from the second substrate side through the transparent electrode, the electro-optic material, and the second substrate. Therefore, for example, if a polarizing plate or the like is provided on the second substrate, a reflective display in the transflective electro-optical device can be performed. And in particular, the reflective surface of the transflective reflector is An insulating film that forms a recess, an organic film formed on the insulating film, and a reflective film formed on the organic film. The reflection area for the light incident on the first direction is increased, and the reflection area for the light incident on the second direction is decreased. Accordingly, when the electro-optical device is actually used by the user, the direction in which empirically strong external light is likely to be incident is adjusted to the first direction, and the direction in which empirically strong external light is difficult to be incident is the first. If the electro-optical device is arranged so as to match the direction 2, the brighter reflective display can be realized from the viewpoint of the user.
On the other hand, when the light source is turned on, the light source light is emitted from the second substrate side through the transflective plate, the transparent electrode, the electro-optical material, and the transparent second substrate. At this time, the light source light is not particularly affected by the unevenness formed on the transflective plate. Therefore, for example, when a polarizing plate or the like is provided on the first substrate or the second substrate, transmissive display in the transflective electro-optical device can be performed.
[0019]
In the first to fourth electro-optical devices of the invention Each recess has an asymmetric shape with respect to an arbitrary normal of the reflective surface. That is, each recess is formed asymmetrically with respect to the center such as its center of gravity, thereby having optical anisotropy. By providing a plurality of such concave portions on the reflective surface, a bright reflective display can be performed relatively easily.
In this aspect, the planar shape of each of the recesses may be configured to be a teardrop shape or a scale shape.
If comprised in this way, a bright reflective display can be performed comparatively easily by providing a plurality of teardrop-shaped or scale-shaped concave portions on the reflective surface.
[0020]
Of the present invention The reflective surface in the first to fourth electro-optical devices forms a recess. Incomplete planarization film formed on uneven film And on this planarization film It consists of the formed reflective film.
According to this aspect, irregularities Insulation Film, incomplete planarization Organic From three layers of film and reflective film, for example, teardrop, scale-like With a recess A highly accurate or highly reproducible reflective electrode, transflective electrode, reflective plate or transflective plate can be constructed.
[0021]
In order to solve the above problems, a first manufacturing method of the present invention is a method of manufacturing an electro-optical device for manufacturing the above-described first electro-optical device of the present invention (including various aspects thereof). Forming a concavo-convex film on one substrate for increasing a reflection area for incident light inclined toward the first direction and reducing a reflection area for incident light inclined toward the second direction; And a step of incompletely forming a planarizing film on the concavo-convex film, and a step of forming the reflective electrode by forming a conductive reflective film on the planarized film.
[0022]
According to the first manufacturing method of the present invention, a reflective electrode having concave and convex portions such as teardrops and scales, for example, from three layers of a concavo-convex film, an incomplete planarization film, and a reflective film can be obtained with high accuracy or high accuracy. Can be manufactured with reproducibility. Therefore, the first electro-optical device described above can be manufactured relatively easily.
In order to solve the above problems, a second manufacturing method of the present invention is a method of manufacturing an electro-optical device for manufacturing the above-described second electro-optical device of the present invention (including various aspects thereof), Forming a concavo-convex film on one substrate for increasing a reflection area for incident light inclined toward the first direction and reducing a reflection area for incident light inclined toward the second direction; And a step of incompletely forming a planarizing film on the concavo-convex film, and a step of forming the transflective electrode by forming a conductive transflective film on the planarized film.
[0023]
According to the second production method of the present invention, from the three layers of the uneven film, the incomplete planarization film and the semi-transmissive reflective film, for example, a semi-transmissive reflective electrode having a concave or convex portion such as a teardrop shape or a scale shape is obtained. It can be manufactured with high accuracy or high reproducibility. Therefore, the above-described second electro-optical device can be manufactured relatively easily.
A third manufacturing method of the present invention is a method of manufacturing an electro-optical device for manufacturing the above-described third electro-optical device (including various aspects thereof) of the present invention, in order to solve the above-described problems. Forming a concavo-convex film that increases a reflection area for incident light inclined toward the one direction side and decreases a reflection area for incident light inclined toward the second direction side; A step of incompletely forming a planarizing film, and a step of forming the reflecting plate by forming a reflective film on the planarizing film.
[0024]
According to the third manufacturing method of the present invention, a reflective plate having concave and convex portions such as teardrops and scales, for example, from three layers of a concavo-convex film, an incomplete planarization film, and a reflective film can be obtained with high precision or high accuracy. Can be manufactured with reproducibility. Therefore, the third electro-optical device described above can be manufactured relatively easily.
In order to solve the above problems, a fourth manufacturing method of the present invention is a manufacturing method of an electro-optical device for manufacturing the above-described fourth electro-optical device of the present invention (including various aspects thereof). Forming a concavo-convex film that increases a reflection area for incident light inclined toward the one direction side and decreases a reflection area for incident light inclined toward the second direction side; A step of incompletely forming a planarization film, and a step of forming the transflective plate by forming a transflective film on the planarization film.
[0025]
According to the fourth manufacturing method of the present invention, from the three layers of the concavo-convex film, the incomplete planarization film, and the semi-transmissive reflective film, for example, a semi-transmissive reflective plate having a concave or convex portion such as a teardrop shape or a scale shape, It can be manufactured with high accuracy or high reproducibility. Therefore, the fourth electro-optical device described above can be manufactured relatively easily.
In order to solve the above-described problems, an electronic apparatus of the present invention includes any one of the first to fourth electro-optical devices (including various aspects thereof) of the present invention described above.
[0026]
According to the electronic apparatus of the present invention, since any one of the first to fourth electro-optical devices of the present invention described above is provided, a liquid crystal television, a mobile phone, an electronic notebook, a word processor capable of bright reflection type display is provided. Various electronic devices such as a viewfinder type or a monitor direct view type video tape recorder, a workstation, a videophone, a POS terminal, a touch panel, and a projection display device can be realized.
[0027]
In one aspect of the electronic apparatus of the present invention, the display screen of the electronic apparatus on the second substrate side of the electro-optical device has upper, lower, left, and right sides, and the reflective surface reflects light from a lower oblique direction. The reflection area from the diagonal direction above the area is configured to be larger.
[0028]
According to this aspect, in various electronic devices such as a mobile phone and an electronic notebook, the light is incident from behind through the head rather than the light incident from the direction of the user's head or body with the face close to the display screen. By reflecting the reflected light preferentially on the reflecting surface, a bright reflective display can be performed.
In another aspect of the electronic apparatus of the present invention, the display screen of the electronic apparatus formed on the second substrate side of the electro-optical device has upper, lower, left, and right sides, and the reflection surface is more than a reflection area with respect to light from the front. The reflection area from the left diagonal or right diagonal direction is configured to be larger.
[0029]
According to this aspect, in various electronic devices such as a mobile phone and an electronic notebook, the light incident from the direction of the user's head or body with the face close to the display screen is viewed from behind via the left or right side. By reflecting the incident light preferentially on the reflecting surface, a bright reflective display can be performed.
Such an operation and other advantages of the present invention will become apparent from the embodiments described below.
[0030]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. In the following embodiments, the electro-optical device of the invention is applied to a liquid crystal device.
(First embodiment)
First, the configuration of a first embodiment of an electro-optical device according to the present invention will be described with reference to FIGS. In the first embodiment, the present invention is applied to a reflective liquid crystal device of a passive matrix driving system. FIG. 1 is a schematic plan view showing a state in which the reflective liquid crystal device according to the first embodiment is viewed from the counter substrate side with the color filter formed on the counter substrate removed for convenience, and FIG. 1 is a schematic cross-sectional view of a reflective liquid crystal device showing a cross section of AA ′ including a color filter, and FIG. 3 is a schematic view showing an enlarged reflective surface in an example of a reflective electrode according to the first embodiment. FIG. 4 is an enlarged plan view, and FIG. 4 is an enlarged sectional view showing an enlarged cross section of an example of the reflective electrode. FIG. 5 is a schematic enlarged plan view showing an enlarged reflective surface in another example of the reflective electrode according to the first embodiment, and FIG. 6 shows the reflective liquid crystal device of the first embodiment and this actually. It is a conceptual diagram which shows the positional relationship with the user who sees. In FIG. 1, for convenience of explanation, the striped electrodes are schematically shown in six vertical and horizontal directions, but actually, there are a large number of electrodes. In FIGS. 2 to 5, each layer and each member are shown. Are made different in scale for each layer and each member.
[0031]
1 and 2, the reflective liquid crystal device according to the first embodiment includes a first substrate 10, a transparent second substrate 20 disposed opposite to the first substrate 10, and the first substrate 10 and the second substrate 20. The liquid crystal layer 50 sandwiched therebetween, a plurality of stripe-like reflective electrodes 14 disposed on the side of the first substrate 10 facing the second substrate 20 (that is, the upper surface in FIG. 2), and the reflective electrode 14 And an alignment film 15 disposed on the substrate. The reflective liquid crystal device includes a color filter 23 disposed on a side of the second substrate facing the first substrate 10 (that is, a lower surface in FIG. 2), and a color filter flattened disposed on the color filter 23. A film 24; a plurality of striped transparent electrodes 21 disposed on the color filter flattening film 24 so as to cross the reflective electrode 14; and an alignment film 25 disposed on the transparent electrode 21. Has been. The position of the color filter 23 may be formed between the reflective electrode 14 and the first substrate 10. The first substrate 10 and the second substrate 20 are bonded around the liquid crystal layer 50 by a sealing material 31, and the liquid crystal layer 50 is bonded to the first substrate 10 and the second substrate by the sealing material 31 and the sealing material 32. It is enclosed between 20. The reflective liquid crystal device further includes a polarizing plate 105, a first retardation plate 106 and a second retardation plate 116 on the opposite side of the second substrate 20 from the liquid crystal layer 50.
[0032]
Since the first substrate 10 may be transparent or opaque, the first substrate 10 is made of, for example, a quartz substrate or a semiconductor substrate, and the second substrate 20 is required to be transparent or at least translucent to visible light. It consists of a substrate or a quartz substrate.
[0033]
The reflective electrode 14 includes a conductive reflective film mainly composed of aluminum, for example. This reflective film is formed by vapor deposition or sputtering.
[0034]
In the present embodiment, in particular, the reflective surface (the upper surface in FIG. 2) of the reflective electrode 14 is formed in a concavo-convex shape having optical anisotropy. This will be described later with reference to FIG.
The transparent electrode 21 is made of a transparent conductive thin film such as an ITO film.
[0035]
Each of the alignment films 15 and 25 is made of an organic thin film such as a polyimide thin film, is formed by spin coating or flexographic printing, and is subjected to a predetermined alignment process such as a rubbing process.
[0036]
The liquid crystal layer 50 takes a predetermined alignment state by the alignment films 15 and 25 in a state where an electric field is not applied between the reflective electrode 14 and the transparent electrode 21. The liquid crystal layer 50 is made of, for example, STN (Super Twisted Nematic) liquid crystal in which one kind or several kinds of nematic liquid crystals are mixed.
[0037]
The sealing material 31 is an adhesive made of, for example, a photocurable resin or a thermosetting resin.
[0038]
The sealing material 32 is made of a resinous adhesive or the like that seals the injection port after liquid crystal is vacuum-injected through the injection port of the sealing material 31.
[0039]
The color filter 23 has a color material film that transmits blue light, green light, and red light for each pixel, and a light shielding film called a black mask or a black matrix is formed at the boundary of each pixel, thereby mixing colors between the pixels. It is a known color filter such as a delta arrangement, a stripe arrangement, a mosaic arrangement, or a triangle arrangement that is configured to prevent. Although omitted in FIGS. 1 and 2, light shielding as a frame that defines the periphery of an image display region made of the same or different material as the light shielding film in the color filter 23, for example, in parallel with the inside of the seal material 52. A membrane may be provided. Alternatively, such a frame may be defined by an edge of a light-shielding case in which the reflective liquid crystal device is inserted.
[0040]
As shown in FIGS. 2 to 4, in the first embodiment, the reflective surface on the side facing the liquid crystal layer 50 in the reflective electrode 14 is more reflective than when the reflective surface is assumed to be flat. Increasing the reflection area for light incident on the surface from the normal direction D0 to the first direction D1 (see FIG. 3) with an inclination (for example, light traveling obliquely downward from the front toward the plane of FIG. 3). At the same time, the reflection area with respect to the incident light (for example, light that travels obliquely upward from the lower side toward the paper surface in FIG. 3) incident on the reflective surface from the normal direction D0 to the second direction D2 (see FIG. 3). A large number of tear-drop-like recesses 14d are formed to reduce the amount of dip.
More specifically, as shown in FIG. 4, the reflective electrode 14 has (i) a number of teardrop-shaped concave portions 14D having a depth h1 of about several μm, for example, dug at a pitch of about several μm. For example, an insulating film 14a mainly composed of silicon oxide, silicon nitride, etc., (ii) an organic flattening film 14b formed thereon and incompletely flattening the insulating film 14a, and (iii) above this For example, 0. Conductive reflective film 14c, such as Al (aluminum), Ag (silver), Cr (chromium), etc., provided with a number of teardrop-shaped recesses 14d having a depth h2 of about several μm at a pitch of about several μm. And three layers. The concave portions 14d in the reflective film 14c, which is the uppermost layer of the three layers constituting the reflective electrode 14, are recessed at an acute angle in FIG. 3, so that they are inclined obliquely upward from the near side toward the paper surface in FIG. The traveling light is relatively less reflected. On the other hand, since the concave portions 14d in the reflective film 14c are recessed at an obtuse angle in FIG. 3, the light traveling obliquely downward from the front toward the paper surface in FIG. 3 is relatively reflected. The proportion increases.
As in another example shown in FIG. 5, the reflective electrode 14 is not provided with a teardrop-shaped recess 14 d, for example, 0. Even if a scale-like recess 14d ′ having a depth of about several μm is provided, the same effect is obtained.
[0041]
In the present embodiment, as shown in FIG. 6, when the electro-optical device 200 is actually used by the user 300, the direction D3 in which strong external light is likely to be incident is the first direction D1 (see FIG. 3). And the concave portion 14d (or the concave portion 14d ′) having optical anisotropy as described above is a reflective electrode so that the direction D4 in which strong external light is difficult to be incident is aligned with the second direction D2 (see FIG. 3). An electro-optical device formed on 14 reflective surfaces is arranged. Then, compared to the case where the reflection surface is flat or the case where the unevenness is formed isotropically on the reflection surface, the shadow of the user 300 is seen from the viewpoint of the user 300. The weak external light from the direction D4 is not reflected so much, and the strong external light from the direction D3 that is not behind the body of the user 300 is reflected accordingly.
Next, the operation of the reflective liquid crystal device of the first embodiment configured as described above will be described with reference to FIG. The reflective liquid crystal device of the first embodiment is driven by a normally black mode passive matrix driving method.
[0042]
In FIG. 2, when external light enters from the side of the polarizing plate 105 (that is, the upper side in FIG. 2), the light is provided on the first substrate 10 via the polarizing plate 105, the transparent second substrate 20 and the liquid crystal layer 50. The light is reflected by the reflective electrode 14 and is emitted from the polarizing plate 105 side again through the liquid crystal layer 50, the second substrate 20 and the polarizing plate 105. Here, if an image signal and a scanning signal are supplied from the external circuit to the reflective electrode 14 and the transparent electrode 21 at a predetermined timing, the liquid crystal layer 50 at the intersection of the reflective electrode 14 and the transparent electrode 21 has a line-by-row or An electric field is sequentially applied to each column or pixel. Therefore, by controlling the alignment state of the liquid crystal layer 50 in units of pixels by this applied voltage, the amount of light transmitted through the polarizing plate 105 having a fixed transmission axis and absorption axis is modulated in units of pixels, and color gradation Display is possible.
[0043]
And especially according to this embodiment, as shown in FIG. 6, when seeing from the viewpoint of the user 300, a lot of strong external light from the direction D3 that is not behind the body of the user 300 is reflected. Bright reflective display is possible.
In addition, by forming irregularities on the reflective surface of the reflective electrode 14, it is possible to eliminate the mirror surface feeling in the reflective display, and to make it appear as a scattering surface (white surface), and to further widen the viewing angle by scattering due to the irregularities.
[0044]
In the above-described embodiment, the reflective electrode 14 is provided with a large number of concave portions 14d or 14d ', but instead of or in addition to this, the reflective electrode 14 has a large number of convex portions such as teardrops and scales. Similar effects can also be obtained by providing them.
(Second Embodiment)
Next, a second embodiment of the liquid crystal device according to the present invention will be described with reference to FIGS. In the second embodiment, the present invention is applied to a transflective liquid crystal device. FIG. 7 is a schematic cross-sectional view showing the configuration of the second embodiment. Components similar to those in the first embodiment shown in FIG. Omitted.
[0045]
In FIG. 7, the transflective liquid crystal device according to the second embodiment is configured to include a transflective electrode 214 instead of the reflective electrode 14 according to the first embodiment, and in addition to the configuration of the first embodiment. A polarizing plate 107 and a retardation plate 108 are provided on the opposite side of the first substrate 10 from the liquid crystal layer 50. Further, outside the polarizing plate 107, a fluorescent tube 119 and a light guide plate 118 for guiding the light from the fluorescent tube 119 from the polarizing plate 107 into the liquid crystal panel are provided. About another structure, it is the same as that of the case of 1st Embodiment.
[0046]
The transflective electrode 214 is made of Ag, Al, or the like, and its surface is a reflective surface that reflects light incident from the second substrate 20 side. The transflective electrode 214 is provided with slits and openings for transmitting light source light from the first substrate 10 side.
[0047]
Here, various specific examples of slits and openings of the transflective electrode 214 will be described with reference to FIG.
[0048]
As shown in FIG. 8 (a), four rectangular slots may be arranged for each pixel in four directions, and as shown in FIG. 8 (b), five rectangular slots are arranged side by side for each pixel. Alternatively, a large number of circular openings (for example, openings having a diameter of 2 μm) may be discretely arranged for each pixel as shown in FIG. 8C, or for each pixel as shown in FIG. One relatively large rectangular slot may be arranged. Such an opening can be easily produced by a photo process / development process / peeling process using a resist. The planar shape of the opening may be a square, a polygon, an ellipse, an irregular shape, or a slit extending across a plurality of pixels. Further, it is possible to open the opening at the same time when the reflective layer is formed, and in this way, it is not necessary to increase the number of manufacturing steps. In particular, in the case of a slit as shown in FIGS. 8A, 8B, or 8D, the width of the slit is preferably about 3 to 20 μm. With this configuration, a bright and high-contrast display is possible during both the reflective display and the transmissive display. In addition to providing such slits and openings, for example, single-layer semi-transmissive reflections separated from each other when viewed in a plan view from a direction perpendicular to the second substrate 20 so that light can pass through the gap. The electrode 214 may be used.
[0049]
Returning to FIG. 7 again, particularly in the second embodiment, the reflective surface on the side facing the liquid crystal layer 50 in the transflective electrode 214 having the slits and the like opened as described above is formed on the reflective electrode 14 in the first embodiment. As in the case, a large number of recesses 214d, such as a tilarop shape and a scale shape, are formed. Thus, at the time of reflective display in the second embodiment, as in the case of the first embodiment, there is not much weak external light from the direction behind the user's body as seen from the user's viewpoint. The strong external light from the direction which is not reflected and is not behind the user's body is reflected accordingly. On the other hand, when the fluorescent tube 119 is turned on, the light emitted from the fluorescent tube 119 is not particularly affected by the recess 214 d formed in the semi-transmissive reflective electrode 214.
The light guide plate 118 that constitutes the backlight together with the fluorescent tube 119 is a transparent body such as an acrylic resin plate having a rough surface for scattering formed on the entire back surface or a printed layer for scattering, and is a fluorescent light source. Light from the tube 119 is received at the end face, and substantially uniform light is emitted from the upper surface of the drawing.
[0050]
As a light source that is turned on during transmissive display, an LED (Light Emitting Diode) element, an EL (Electro-Luminescence) element, or the like is suitable for a small liquid crystal device, and a light guide plate for a large liquid crystal device. A fluorescent tube 119 or the like that introduces light from the side via the is suitable. A reflective polarizer may be further disposed between the first substrate 10 and the light guide plate 118 for the purpose of effectively using light.
[0051]
Next, the operation of the transflective liquid crystal device of the second embodiment configured as described above will be described with reference to FIG. The transflective liquid crystal device of the second embodiment is driven by a normally black mode passive matrix driving method.
[0052]
First, the reflective display will be described.
[0053]
In this case, as in the case of the first embodiment, when external light is incident from the polarizing plate 105 side (that is, the upper side in FIG. 7) in FIG. 7, the polarizing plate 105, the transparent second substrate 20, and the liquid crystal The light is reflected by the transflective electrode 214 provided on the first substrate 10 through the layer 50, and is emitted from the polarizing plate 105 side again through the liquid crystal layer 50, the second substrate 20, and the polarizing plate 105. Here, if an image signal and a scanning signal are supplied from an external circuit to the transflective electrode 214 and the transparent electrode 21 at a predetermined timing, the liquid crystal layer 50 portion at the portion where the transflective electrode 214 and the transparent electrode 21 intersect is provided. The electric field is sequentially applied to each row, column, or pixel. Therefore, by controlling the alignment state of the liquid crystal layer 50 for each pixel by this applied voltage, the amount of light transmitted through the polarizing plate 105 is modulated, and color gradation display is possible.
[0054]
Next, transmissive display will be described.
[0055]
In this case, when light source light is incident on the lower side of the first substrate 10 through the polarizing plate 107 in FIG. 7, it is transmitted through the opening of the transflective electrode 214, and the liquid crystal layer 50, the second substrate 20, and the polarization are transmitted. The light is emitted from the polarizing plate 105 side through the plate 105. Here, if an image signal and a scanning signal are supplied from an external circuit to the transflective electrode 214 and the transparent electrode 21 at a predetermined timing, the liquid crystal layer 50 portion at the portion where the transflective electrode 214 and the transparent electrode 21 intersect is provided. The electric field is sequentially applied to each row, column, or pixel. Thus, by controlling the alignment state of the liquid crystal layer 50 in units of pixels, the light source light is modulated and gradation display becomes possible.
[0056]
(Third embodiment)
Next, a third embodiment of the liquid crystal device according to the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 9 is a cross-sectional view showing the configuration of the third embodiment. Components similar to those of the first embodiment shown in FIG. 2 are denoted by the same reference numerals, and description thereof is omitted as appropriate. .
[0057]
As shown in FIG. 9, in the third embodiment, a striped transparent electrode 34 and a reflective plate 35 are provided instead of the reflective electrode 14 in the first embodiment. Other configurations are the same as those in the first embodiment. As long as the position of the reflecting plate 35 is farther from the liquid crystal layer 50 than the transparent electrode 34, it may be above or below the first substrate 10 in FIG.
In the third embodiment, in particular, on the reflective surface on the side facing the liquid crystal layer 50 in the reflective plate 35, a large number of concave portions 35d such as a tierolop shape and a scale shape are formed as in the case of the reflective electrode 14 in the first embodiment. Has been.
Accordingly, at the time of reflective display in the third embodiment, as in the case of the first embodiment, weak external light from the direction behind the user's body is reflected too much from the viewpoint of the user. Therefore, a lot of strong external light is reflected from the direction that is not behind the user's body.
(Fourth embodiment)
Next, a fourth embodiment of the liquid crystal device according to the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 10 is a cross-sectional view showing the configuration of the fourth embodiment. Components similar to those of the second embodiment shown in FIG. 7 are denoted by the same reference numerals, and description thereof is omitted as appropriate. .
[0058]
As shown in FIG. 10, in the fourth embodiment, instead of the transflective electrode 214 in the second embodiment, a striped transparent electrode 234 and a transflective plate 235 are provided. As in the second embodiment, the transflective plate 235 is provided with slits and openings as shown in FIG. Other configurations are the same as those in the second embodiment. As long as the transflective plate 235 is positioned between the transparent electrode 234 and the light guide plate 118, the transflective plate 235 may be above or below the first substrate 10 in FIG.
In the fourth embodiment, in particular, the reflective surface on the side facing the liquid crystal layer 50 in the semi-transmissive reflector 235 has a concave portion such as a tierolop-like shape or a scale-like shape as in the case of the semi-transmissive reflective electrode 214 in the second embodiment. Many 235d are formed.
Accordingly, at the time of reflective display in the fourth embodiment, as in the second embodiment, weak external light from the direction behind the user's body is reflected too much from the viewpoint of the user. Therefore, a lot of strong external light is reflected from the direction that is not behind the user's body. On the other hand, when the fluorescent tube 119 is turned on, light emitted from the fluorescent tube 119 is not particularly affected by the concave portion 235d formed in the transflective plate 235.
In the first to fourth embodiments described above, the terminal portions of the reflective electrode 14, the semi-transmissive reflective electrode 214, the transparent electrode 34, or the transparent electrode 234 that are led out to the terminal area on the first substrate 10 and the transparent electrode 21. The terminal portion led out to the terminal area on the two substrates 10 is mounted on, for example, a TAB (Tape Automated Bonding) substrate, and the reflective electrode 14, the transflective electrode 214, the transparent electrode 34 or the transparent electrode 234, and the transparent electrode 21 are mounted. A driving LSI including a data line driving circuit and a scanning line driving circuit for supplying an image signal and a scanning signal at a predetermined timing may be electrically and mechanically connected via an anisotropic conductive film. Alternatively, such a data line driving circuit and a scanning line driving circuit are formed in the peripheral region on the first substrate 10 or the second substrate 20 outside the sealing material 31 to form a so-called driving circuit built-in type reflective liquid crystal device. Further, an inspection circuit or the like for inspecting the quality, defects and the like of the liquid crystal device during manufacture or at the time of shipment may be formed to form a so-called peripheral liquid crystal reflective liquid crystal device.
[0059]
In each of the embodiments described above, in addition to the passive matrix driving method, various known driving methods such as a TFT active matrix driving method, a TFD (Thin Film Diode) active matrix driving method, and a segment driving method can be adopted. It is. At this time, a plurality of striped transparent electrodes, matrix-shaped pixel electrodes, and the like are appropriately formed on the first substrate 10 according to the driving method and the like, and on the second substrate 20 according to the driving method and the like. As appropriate, a plurality of striped or segmented transparent electrodes are formed, or a transparent electrode is formed on almost the entire surface of the second substrate 20. Or you may drive by the horizontal electric field parallel to a board | substrate between the adjacent reflective electrodes 14 on the 1st board | substrate 10 without providing a counter electrode on the 2nd board | substrate 20. FIG. Further, the normally white mode may be adopted without being limited to the normally black mode. Further, a microlens may be formed on the second substrate 20 so as to correspond to one pixel. In this way, a bright liquid crystal device can be realized by improving the collection efficiency of incident light. Furthermore, a plurality of interference layers having different refractive indexes may be deposited on the second substrate 20 to form a dichroic filter that produces RGB colors by utilizing light interference. According to this counter substrate with a dichroic filter, a brighter color liquid crystal device can be realized.
[0060]
In addition, in each of the embodiments described above, a transparent flattening film is formed on the uneven reflective surface of the reflective electrode 14, the transflective electrode 214, the transparent electrode 34, or the transparent electrode 234 by spin coating or the like. It is desirable to prevent such irregularities from causing a step on the surface of the alignment film 15 and causing a malfunction such as a liquid crystal alignment defect.
(Manufacturing process)
Next, with reference to FIG. 11, the manufacturing process for manufacturing the electro-optical device in each of the above-described embodiments will be described with a focus on the formation process of the reflective electrode 14 in the first embodiment. FIG. 11 is a flowchart of the formation process of the reflective electrode 14.
[0061]
First, in step S1 of FIG. 11, a first substrate 10 such as a glass substrate or a quartz substrate is prepared, and an insulating film 14a mainly composed of, for example, silicon oxide, silicon nitride or the like is formed on the first substrate 10 at atmospheric pressure or reduced pressure CVD method or the like. To form. At this time, it is preferable that the thickness of the insulating film 14a is made thicker than the depth h1 of the recess 14D to be dug in a later process, for example, about 3 μm or more to prevent penetration of the recess 14D.
Next, in step S2, a teardrop-shaped recess 14D having a depth h1 of, for example, about 2 to 3 μm is formed on the insulating film 14a by photolithography and etching. At this time, the pitch of the recesses 14D is about 5 μm. More specifically, a teardrop is approximated by a polygon by CAD (Computer Aided Design) and a mask is formed, and then a teardrop-shaped recess 14D is dug by etching using this mask. The etching in step S2 may be dry etching, wet etching, or a combination of both.
Next, in step S3, an organic flattening film 14b for incompletely flattening the insulating film 14a is formed thereon by spin coating or the like. Here, “incompletely flattening” means that the depth of the concave portion 14d in the organic planarization film 14b formed on the concave portion 14D is flattened to, for example, about one tenth of the concave portion 14D. This means that no flattening is performed.
Next, in step S4, a conductive reflective film 14c such as Al, Ag, or Cr is laminated thereon by sputtering or the like, so that it has a depth h2 of, for example, about 0.2 to 0.3 μm and a pitch. A number of teardrop-shaped concave portions 14d having a size of about 5 μm are formed.
Thereafter, after an organic thin film such as a polyimide thin film is formed on the entire surface by spin coating or flexographic printing, the alignment film 15 is formed by performing a predetermined alignment process such as a rubbing process. Then, the first substrate 10 on which the reflective electrode 14 and the alignment film 15 and the like are formed in this manner and the second substrate 20 on which the color filter 23 and the transparent electrode 21 and the like are separately formed are phase-bonded with a sealing material 31, The liquid crystal is sucked in vacuum between the two substrates through the injection port, and the injection port is sealed with a sealing material.
[0062]
In addition, when the electro-optical device according to the second embodiment shown in FIGS. 7 and 8 is manufactured, the slits and the openings shown in FIG. do it. Furthermore, when the electro-optical devices of the third and fourth embodiments shown in FIGS. 9 and 10 are manufactured, the reflective plate or the semi-transmissive reflector is attached before the reflective plate or the semi-transmissive reflector is attached. After forming on one substrate 10, a recess may be formed by the same method as in steps S1 to S4.
According to the manufacturing process described above, the electro-optical device of the above-described embodiment can be manufactured relatively easily.
[0063]
The uneven shape formed on the reflective electrode 14 and the semi-transmissive reflective electrode 214 can be formed using a photosensitive acrylic resin or the like for the base of the reflective electrode 14 or the semi-transmissive reflective electrode 214, or the base substrate itself can be fluorinated. It may be formed by roughening by, for example.
[0064]
In addition, after forming an uneven shape on the reflective electrode 14 or the semi-transmissive reflective electrode 214, a transparent flattening film is formed on the uneven surface, and the surface facing the liquid crystal layer 50 (the surface of the alignment film 15) is flattened. In this case, the alignment failure of the liquid crystal may be prevented.
(Fifth embodiment)
Next, a fifth embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. The fifth embodiment includes various electronic devices to which the liquid crystal devices according to the first to fourth embodiments of the present invention described above are applied.
[0065]
First, when the liquid crystal device according to the first to fourth embodiments is applied to a display unit 1001 of a mobile phone 1000 as shown in FIG. 12A, for example, an energy-saving mobile phone that performs bright reflective color display. Can be realized.
[0066]
Further, when applied to the display unit 1101 of the wristwatch 1100 as shown in FIG. 12B, an energy-saving wristwatch that performs bright reflective color display can be realized.
[0067]
Further, in a personal computer (or information terminal) 1200 as shown in FIG. 12C, when applied to a display screen 1206 provided in a cover that can be freely opened and closed on a main body 1204 with a keyboard 1202, a bright reflective type. It is possible to realize an energy saving personal computer that performs color display.
[0068]
In the fifth embodiment, preferably, as described with reference to FIG. 6, the light incident from the direction of the user's head or body with the face close to the display screen, from behind through the head, the right side, or the left side. It is preferable that the electro-optical device according to the first to fourth embodiments is mounted on an electronic device according to the vertical and horizontal directions so that incident light is preferentially reflected by the reflecting surface. Thereby, a bright reflective display can be performed.
In addition to the electronic devices shown in FIG. 12, a liquid crystal television, a viewfinder type or a monitor direct-view type video tape recorder, a car navigation device, an electronic notebook, a calculator, a word processor, an engineering workstation (EWS), a video phone, The liquid crystal devices of the first to fourth embodiments can also be applied to electronic devices such as a POS terminal and a device provided with a touch panel.
[0069]
The present invention is not limited to the above-described embodiments, and can be appropriately changed without departing from the gist or concept of the invention that can be read from the claims and the entire specification. The apparatus, its manufacturing method, and electronic equipment are also included in the technical scope of the present invention.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a schematic plan view showing a passive-matrix-drive-type reflective liquid crystal device according to a first embodiment of the present invention when viewed from the counter substrate side with the color filter formed on the counter substrate removed for convenience. It is.
FIG. 2 is a schematic cross-sectional view of a reflective liquid crystal device showing a cross-section AA ′ of FIG. 1 including a color filter.
FIG. 3 is a schematic enlarged plan view showing an enlarged reflective surface in an example of a reflective electrode according to the first embodiment.
FIG. 4 is an enlarged cross-sectional view showing an enlarged cross section of an example of a reflective electrode according to the first embodiment.
FIG. 5 is a schematic enlarged plan view showing an enlarged reflective surface in another example of the reflective electrode according to the first embodiment.
FIG. 6 is a conceptual diagram showing a positional relationship between the reflective liquid crystal device of the first embodiment and a user who actually sees the reflective liquid crystal device.
FIG. 7 is a schematic plan view of a passive matrix driving type transflective liquid crystal device according to a second embodiment of the present invention.
FIG. 8 is an enlarged plan view showing various specific examples relating to slits and openings provided in the transflective layer of the second embodiment.
FIG. 9 is a cross-sectional view of a passive-matrix drive reflective liquid crystal device according to a third embodiment of the present invention.
FIG. 10 is a sectional view of a passive matrix driving type transflective liquid crystal device according to a fourth embodiment of the present invention.
FIG. 11 is a flowchart showing a manufacturing process according to the present embodiment.
FIG. 12 is an external view of various electronic devices according to a fifth embodiment of the present invention.
[Explanation of symbols]
10 ... 1st board
14 ... Reflective electrode
14d ... recess
15 ... Alignment film
20 ... second substrate
21 ... Transparent electrode
23. Color filter
25 ... Alignment film
31 ... Sealing material
32 ... Sealing material
35 ... reflector
35d ... recess
105 ... Polarizing plate
106: First retardation plate
116 ... Second retardation plate
214 ... transflective electrode
235 ... transflective plate
235d ... concave portion

Claims (12)

一対の第１基板及び透明な第２基板と、該第１及び第２基板間に挟持された電気光学物質と、前記第１基板上における前記第２基板に対向する側に設けられた表示用の反射電極とを備え、
前記反射電極は凹部を形成する絶縁膜、該絶縁膜上に形成された有機膜、該有機膜上に形成された導電性反射膜からなり、
前記反射電極における前記第２基板に対向する側の反射表面は、該反射表面が平坦であると仮定した場合と比較して、前記反射表面の法線方向から第１の方向側に傾いて入射される光に対する反射面積を増加させると共に前記反射表面の法線方向から前記第１の方向とは異なる第２の方向側に傾いて入射される光に対する反射面積を減少させる凹状に形成されていることを特徴とする電気光学装置。A pair of first substrates and a transparent second substrate, an electro-optical material sandwiched between the first and second substrates, and a display provided on a side of the first substrate facing the second substrate And a reflective electrode,
The reflective electrode comprises an insulating film forming a recess, an organic film formed on the insulating film, and a conductive reflective film formed on the organic film ,
The reflective surface of the reflective electrode on the side facing the second substrate is inclined and incident on the first direction side from the normal direction of the reflective surface, compared to the case where the reflective surface is assumed to be flat. And a concave shape that increases the reflection area for incident light and decreases the reflection area for incident light that is inclined from the normal direction of the reflection surface to a second direction different from the first direction. An electro-optical device. 一対の第１基板及び透明な第２基板と、該第１及び第２基板間に挟持された電気光学物質と、前記第１基板上における前記第２基板に対向する側に設けられた表示用の半透過反射電極と、該半透過反射電極の前記第２基板と反対側に配置された光源とを備え、
前記半透過反射電極の反射部分は凹部を形成する絶縁膜、該絶縁膜上に形成された有機膜、該有機膜上に形成された導電性反射膜からなり、
前記半透過反射電極における前記第２基板に対向する側の反射表面は、該反射表面が平坦であると仮定した場合と比較して、前記反射表面の法線方向から第１の方向側に傾いて入射される光に対する反射面積を増加させると共に前記反射表面の法線方向から前記第１の方向とは異なる第２の方向側に傾いて入射される光に対する反射面積を減少させる凹状に形成されていることを特徴とする電気光学装置。A pair of first substrates and a transparent second substrate, an electro-optical material sandwiched between the first and second substrates, and a display provided on a side of the first substrate facing the second substrate A transflective electrode, and a light source disposed on the opposite side of the transflective electrode from the second substrate,
The reflective part of the transflective electrode comprises an insulating film forming a recess, an organic film formed on the insulating film, a conductive reflective film formed on the organic film ,
The reflective surface on the side facing the second substrate in the transflective electrode is inclined from the normal direction of the reflective surface to the first direction side as compared with the case where the reflective surface is assumed to be flat. And a concave shape that increases the reflection area for incident light and decreases the reflection area for incident light by tilting from the normal direction of the reflection surface to a second direction different from the first direction. An electro-optical device. 一対の第１基板及び透明な第２基板と、該第１及び第２基板間に挟持された電気光学物質と、前記第１基板上における前記第２基板に対向する側に設けられた表示用の透明電極と、前記透明電極の前記第２基板と反対側に設けられた反射板とを備え、
前記反射板は凹部を形成する絶縁膜、該絶縁膜上に形成された有機膜、該有機膜上に形成された反射膜からなり、
前記反射板における前記第２基板に対向する側の反射表面は、該反射表面が平坦であると仮定した場合と比較して、前記反射表面の法線方向から第１の方向側に傾いて入射される光に対する反射面積を増加させると共に前記反射表面の法線方向から前記第１の方向とは異なる第２の方向側に傾いて入射される光に対する反射面積を減少させる凹状に形成されていることを特徴とする電気光学装置。A pair of first substrates and a transparent second substrate, an electro-optical material sandwiched between the first and second substrates, and a display provided on a side of the first substrate facing the second substrate A transparent electrode, and a reflector provided on the opposite side of the transparent electrode to the second substrate,
The reflector comprises an insulating film that forms a recess, an organic film formed on the insulating film, a reflective film formed on the organic film ,
The reflective surface on the side facing the second substrate of the reflective plate is inclined and incident on the first direction side from the normal direction of the reflective surface, compared to the case where the reflective surface is assumed to be flat. And a concave shape that increases the reflection area for incident light and decreases the reflection area for incident light that is inclined from the normal direction of the reflection surface to a second direction different from the first direction. An electro-optical device. 一対の第１基板及び透明な第２基板と、該第１及び第２基板間に挟持された電気光学物質と、前記第１基板上における前記第２基板に対向する側に設けられた表示用の透明電極と、前記透明電極の前記第２基板と反対側に設けられた半透過反射板と、該半透過反射電極の前記第２基板と反対側に配置された光源とを備え、
前記半透過反射板の反射部分は凹部を形成する絶縁膜、該絶縁膜上に形成された有機膜、該有機膜上に形成された反射膜からなり、
前記半透過反射板における前記第２基板に対向する側の反射表面は、該反射表面が平坦であると仮定した場合と比較して、前記反射表面の法線方向から第１の方向側に傾いて入射される光に対する反射面積を増加させると共に前記反射表面の法線方向から前記第１の方向とは異なる第２の方向側に傾いて入射される光に対する反射面積を減少させる凹状に形成されていることを特徴とする電気光学装置。A pair of first substrates and a transparent second substrate, an electro-optical material sandwiched between the first and second substrates, and a display provided on a side of the first substrate facing the second substrate A transparent electrode, a transflective plate provided on the opposite side of the transparent electrode to the second substrate, and a light source disposed on the opposite side of the transflective electrode to the second substrate,
The reflective portion of the transflective plate comprises an insulating film forming a recess, an organic film formed on the insulating film, and a reflective film formed on the organic film ,
The reflective surface on the side facing the second substrate in the transflective plate is inclined from the normal direction of the reflective surface to the first direction side as compared with the case where the reflective surface is assumed to be flat. And a concave shape that increases the reflection area for incident light and decreases the reflection area for incident light by tilting from the normal direction of the reflection surface to a second direction different from the first direction. An electro-optical device. 前記凹部の各々の平面形状は、ティアドロップ状又は鱗状であることを特徴とする請求項１から４に記載の電気光学装置。The planar shape of each of the recesses, the electro-optical device according to claim 1, characterized in that a teardrop shape or scaly to 4. 請求項１に記載の電気光学装置を製造する電気光学装置の製造方法であって、
前記第１基板上に、前記第１の方向側に傾いて入射される光に対する反射面積を増加させると共に前記第２の方向側に傾いて入射される光に対する反射面積を減少させる凹凸膜を形成する工程と、
該凹凸膜上に平坦化膜を不完全に形成する工程と、
該平坦化膜上に導電性の反射膜を形成することで前記反射電極を形成する工程と
を含むことを特徴とする電気光学装置の製造方法。An electro-optical device manufacturing method for manufacturing the electro-optical device according to claim 1,
An uneven film is formed on the first substrate to increase a reflection area for incident light inclined toward the first direction and to reduce a reflection area for incident light inclined to the second direction. And a process of
A step of incompletely forming a planarizing film on the uneven film;
Forming the reflective electrode by forming a conductive reflective film on the flattening film. 請求項２に記載の電気光学装置を製造する電気光学装置の製造方法であって、
前記第１基板上に、前記第１の方向側に傾いて入射される光に対する反射面積を増加させると共に前記第２の方向側に傾いて入射される光に対する反射面積を減少させる凹凸膜を形成する工程と、
該凹凸膜上に平坦化膜を不完全に形成する工程と、
該平坦化膜上に導電性の半透過反射膜を形成することで前記半透過反射電極を形成する工程と
を含むことを特徴とする電気光学装置の製造方法。An electro-optical device manufacturing method for manufacturing the electro-optical device according to claim 2,
An uneven film is formed on the first substrate to increase a reflection area for incident light inclined toward the first direction and to reduce a reflection area for incident light inclined to the second direction. And a process of
A step of incompletely forming a planarizing film on the uneven film;
Forming a semi-transmissive reflective electrode by forming a conductive semi-transmissive reflective film on the planarizing film. 請求項３に記載の電気光学装置を製造する電気光学装置の製造方法であって、
前記第１の方向側に傾いて入射される光に対する反射面積を増加させると共に前記第２の方向側に傾いて入射される光に対する反射面積を減少させる凹凸膜を形成する工程と、
該凹凸膜上に平坦化膜を不完全に形成する工程と、
該平坦化膜上に反射膜を形成することで前記反射板を形成する工程と
を含むことを特徴とする電気光学装置の製造方法。An electro-optical device manufacturing method for manufacturing the electro-optical device according to claim 3,
Forming a concavo-convex film that increases a reflection area for incident light inclined toward the first direction side and decreases a reflection area for incident light inclined toward the second direction side;
A step of incompletely forming a planarizing film on the uneven film;
Forming the reflecting plate by forming a reflecting film on the planarizing film. 請求項４に記載の電気光学装置を製造する電気光学装置の製造方法であって、
前記第１の方向側に傾いて入射される光に対する反射面積を増加させると共に前記第２の方向側に傾いて入射される光に対する反射面積を減少させる凹凸膜を形成する工程と、
該凹凸膜上に平坦化膜を不完全に形成する工程と、
該平坦化膜上に半透過反射膜を形成することで前記半透過反射板を形成する工程と
を含むことを特徴とする電気光学装置の製造方法。An electro-optical device manufacturing method for manufacturing the electro-optical device according to claim 4,
Forming a concavo-convex film that increases a reflection area for incident light inclined toward the first direction side and decreases a reflection area for incident light inclined toward the second direction side;
A step of incompletely forming a planarizing film on the uneven film;
Forming the transflective plate by forming a transflective film on the planarizing film. 請求項１から４のいずれか一項に記載の電気光学装置を具備することを特徴とする電子機器。An electronic apparatus comprising the electro-optical device according to claim 1 . 前記電気光学装置の前記第２基板側からなる当該電子機器の表示画面には上下左右があり、
前記反射表面は、下側斜めの方向からの光に対する反射面積よりも上側斜めの方向からの反射面積の方が大きくなるように構成されていることを特徴とする請求項１０に記載の電子機器。The display screen of the electronic device that is formed on the second substrate side of the electro-optical device has upper, lower, left, and right,
11. The electronic apparatus according to claim 10 , wherein the reflection surface is configured such that a reflection area from an upper oblique direction is larger than a reflection area for light from a lower oblique direction. . 前記電気光学装置の前記第２基板側からなる当該電子機器の表示画面には上下左右があり、
前記反射表面は、正面からの光に対する反射面積よりも左側斜め又は右側斜めの方向からの反射面積の方が大きくなるように構成されていることを特徴とする請求項１０又は１１に記載の電子機器。The display screen of the electronic device that is formed on the second substrate side of the electro-optical device has upper, lower, left, and right,
The electron according to claim 10 or 11 , wherein the reflection surface is configured such that a reflection area from a diagonal direction on the left side or a right side is larger than a reflection area with respect to light from a front side. machine.
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