JP3779105B2 - Power failure compensation system for magnetic bearings - Google Patents
Power failure compensation system for magnetic bearings Download PDFInfo
- Publication number
- JP3779105B2 JP3779105B2 JP26255899A JP26255899A JP3779105B2 JP 3779105 B2 JP3779105 B2 JP 3779105B2 JP 26255899 A JP26255899 A JP 26255899A JP 26255899 A JP26255899 A JP 26255899A JP 3779105 B2 JP3779105 B2 JP 3779105B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- power
- power failure
- rotating body
- magnetic bearing
- load
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C32/00—Bearings not otherwise provided for
- F16C32/04—Bearings not otherwise provided for using magnetic or electric supporting means
- F16C32/0406—Magnetic bearings
- F16C32/044—Active magnetic bearings
- F16C32/0442—Active magnetic bearings with devices affected by abnormal, undesired or non-standard conditions such as shock-load, power outage, start-up or touchdown
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C32/00—Bearings not otherwise provided for
- F16C32/04—Bearings not otherwise provided for using magnetic or electric supporting means
- F16C32/0406—Magnetic bearings
- F16C32/044—Active magnetic bearings
- F16C32/0444—Details of devices to control the actuation of the electromagnets
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Safety Devices In Control Systems (AREA)
- Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、磁気軸受装置の電源が停電したとき磁気浮上状態を一定時間維持する磁気軸受の停電補償システムに関する。
【0002】
【従来の技術】
例えば特開平9−19177号公報に記載された従来の磁気軸受装置では、停電時に、慣性で回転する回転体によりモータが発電機となって発電し、その電力により磁気浮上状態を維持しつつ回転数を徐々に低下させる。その後、回転数が低下した回転体を、タッチダウン軸受により受け止めて、回転体を停止させる。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、現実には、発電した電力が磁気軸受装置以外の周辺装置でも消費されるため、回転数がまだ十分に低下しないうちに、磁気軸受装置に供給できる電力が低下する場合が多い。この場合、磁気浮上力が維持できなくなり、回転体は、まだ高速回転のままタッチダウン軸受に「着地」する。高速回転の回転体を受け止める際、タッチダウン軸受は強い衝撃荷重を受けるため、損傷を受ける。従って、タッチダウン軸受の寿命が短くなる。
【0004】
上記のような従来の問題点に鑑み、本発明は、停電時に、回転体が十分に減速するまで磁気浮上状態を維持することのできる磁気軸受の停電補償システムを提供することを目的とする。
【0005】
【課題を解決するための手段】
本発明の磁気軸受の停電補償システムは、回転体を電磁石によって非接触支持する磁気軸受装置と、前記磁気軸受装置の保有する情報を表示する表示装置と、前記回転体を回転させるとともに、前記回転体の回転により発電可能なモータと、前記磁気軸受装置、表示装置及びモータに給電する常用電源の停電を検出する停電検出回路と、停電検出によって、前記磁気軸受装置の電源を、前記常用電源から前記モータの発電による電源に切り換える切換手段と、停電検出によって、前記表示装置を含む、前記電磁石の制御に関与する負荷以外の全ての負荷を、前記モータの発電による電源から遮断する負荷遮断手段とを備えたものである(請求項1)。
上記のように構成された磁気軸受の停電補償システムにおいては、停電検出によって、切換手段が、磁気軸受装置の電源を常用電源からモータの発電による電源に切り換えるとともに、負荷遮断手段が電磁石の制御に関与する負荷以外の全ての負荷を、モータの発電による電源から遮断する。従って、回転体の発電電力は磁気浮上にのみ用いられるので、磁気浮上状態を長時間安定して維持することができ、その間に回転体は十分に減速される。回転体が十分に減速されてからタッチダウン軸受に受け止められることにより、その衝撃荷重は小さい。従って、タッチダウン軸受の損傷が低減され、タッチダウン軸受の寿命が延びる。
【0006】
また、上記停電補償システムにおいて、負荷遮断手段は、電磁石の制御に関与する負荷以外の全ての負荷への信号出力を停止することにより実質的に当該負荷を遮断するものであってもよい(請求項2)。
この場合、信号出力の停止により、当該負荷における電力消費が抑制される。従って、遮断接点等の強制的な負荷遮断手段を別途設けなくてもよい。
【0007】
【発明の実施の形態】
図3は、本発明の磁気軸受の停電補償システムを適用する制御型磁気軸受装置の機械本体1を示す縦断面図である。
この機械本体1は、円筒状のケーシング2の内側で、鉛直軸状の回転体3が回転する縦型のものである。
横械本体1は、上記ケーシング2及び回転体3の他、アキシャル磁気軸受4A、ラジアル磁気軸受4R、アキシャル変位センサ5A、ラジアル変位センサ5R、モータ6、及びタッチダウン軸受7を備えている。
【0008】
アキシャル磁気軸受4Aは、回転体3のフランジ部3aを挟んで上下に配置され、回転体3を軸方向に非接触支持する。ラジアル磁気軸受4Rは、軸方向上の2箇所においてそれぞれ、回転体3の周囲に90度間隔で4個配置されている。また、ラジアル変位センサ5Rは、ラジアル磁気軸受4Rと周方向における同じ位置に、かつ、軸方向上で近接して、4個2組で配置されている。アキシャル変位センサ5Aは、回転体3の軸方向端部3bに対向して配置されている。モータ6は、ケーシング2の内壁に取り付けられたステータ部6aと、回転体3に設けられたロータ部6bとによって、回転体3を高速回転させる。このモータ6は、誘導電動機又はDCブラシレスモータであり、停電時には発電機となる。タッチダウン軸受7は一対設けられ、回転体3の軸方向および径方向の可動範囲を規制するとともに、回転体3の磁気的な非接触支持ができなくなったときなどに、回転体3を接触支持する。
【0009】
図1は、上記機械本体1と接続される本発明の第1の実施形態による磁気軸受の停電補償システムを構成する電源回路及び制御回路を示すブロック図である。図中、太線は電源回路を示し、それ以外は制御回路を示している。電源回路は、交流電源10を常用電源としており、この交流電源10からインバータ12を経て周波数可変の交流電圧がモータ6に供給される。また、交流電源10には、電源電圧が所定値より低くなったとき、これを停電として検出する停電検出回路14、及び、交流電圧を所定の直流電圧に変換する直流電源回路15が接続されている。
【0010】
直流電源回路15の出力する直流電圧は、半導体スイッチ等からなる切換スイッチ16を介して、DSPボード17の電源端子17aに供給される。DSPボード17には、DSP(ディジタルシグナルプロセッサ)18、A/D変換器19及びD/A変換器20が搭載されており、これらは上記直流電圧を受けて動作する。変位センサ(アキシャル変位センサ5A及びラジアル変位センサ5Rの総称)5は、A/D変換器19を介してDSP18に接続されている。また、DSP18は、D/A変換器20及び増幅器21を介して、電磁石4(アキシャル磁気軸受4A及びラジアル磁気軸受4Rの総称)に接続されている。上記変位センサ5、A/D変換器19、DSP18、D/A変換器20、増幅器21及び電磁石4は、磁気軸受装置を構成している。
【0011】
上記直流電圧は、増幅器21及び変位センサ5にも供給される。さらに、上記直流電圧は、停電検出回路14の出力接点(交流電源10が正常のとき閉)である負荷遮断手段としての遮断接点14aを介して、インターフェース回路22及び表示装置23にも供給されている。インターフェース回路22は例えばシリアル通信ボードである。また、表示装置23はDSP18の保有する情報を表示するための液晶表示部やLED等を備えている。なお、DSP18は、インバータ12に対して、回転速度に関する制御信号を与える。
【0012】
上記切換スイッチ16の接点は、交流電源10の電圧が正常であるときはN側に接続されており、従って、切換スイッチ16の2次側電路LDCには、直流電源装置15の出力する電圧が供給されている。一方、切換スイッチ16のE側にはコンバータ13が接続されている。コンバータ13は、停電検出回路14から指令信号を受けて電路LACに接続される。モータ6が発電機として動作するときは、モータ6の発電する交流電圧がコンバータ13により所定の直流電圧に変換される。インバータ12及びコンバータ13は、モータ6に対する双方向変換装置11を構成している。双方向変換装置11及び切換スイッチ16は、停電検出によって電源を、交流電源10からモータ6の発電による電源に切り換える切換手段を構成している。
【0013】
上記のように構成された電源回路及び制御回路において、回転体3は、電磁石4により非接触支持された状態で、モータ6によって駆動され、高速回転する。回転体3の変位は、変位センサ5によって検出される。変位センサ5から出力されたアナログ変位信号は、A/D変換器19によってディジタル変位信号に変換され、DSP18に入力される。DSP18は、入力されたディジタル変位信号に基づき、電磁石制御のためのディジタル制御信号を出力する。D/A変換器20はこれをアナログ電流指令信号に変換し、増幅器21に与える。増幅器21はこれを増幅して得た制御電流を、電磁石4に与える。電磁石4はこれを受けて、回転体3の位置制御を行う。また、回転体3の回転数制御は、DSP18からインバータ12に制御信号を与えることによって行われる。
【0014】
回転体3が所定位置に磁気浮上して高速回転している状態において交流電源10が停電すると、停電検出回路14がこれを検出し、切換スイッチ16をE側に切り換えるとともに、遮断接点14aを開く。また、停電検出回路14から双方向変換装置11に指令信号が送られ、コンバータ13が電路LACに接続される。慣性によって高速回転を続ける回転体3により、モータ6は発電機となって発電する。発電された電圧はコンバータ13によって所定の直流電圧に変換され、この直流電圧は、切換スイッチ16を介して電路LDCに供給される。従って、DSP18、A/D変換器19、D/A変換器20、増幅器21、電磁石4及び変位センサ5は停電前と変わりなく動作して、回転体3の磁気浮上状態が維持される。
【0015】
一方、遮断接点14aが開いたことにより、インターフェース回路22及び表示装置23は電源電圧を絶たれる。従って、これらは電力を消費しない。表示装置23の液晶表示部及びLED等はとりわけ消費電力が大きいため、ここでの電力消費が排除されることの節電効果は大きい。この結果、回転体3の発電電力は磁気浮上にのみ用いられる。従って、磁気浮上状態を長時間安定して維持することができ、その間に回転体3は十分に減速される。回転体3が減速して発電電力が低下すると、磁気浮上状態を維持できなくなり、回転体3はタッチダウン軸受7に「着地」して、その後停止する。「着地」の時点で回転体3は十分に減速されているため、衝撃荷重は小さい。従って、タッチダウン軸受7の損傷を低減することができる。この結果、タッチダウン軸受7の寿命が延びる。
【0016】
図2は、本発明の第2の実施形態による磁気軸受の停電補償システムを構成する電源回路及び制御回路を示すブロック図である。第1の実施形態との違いは、第1の実施形態における遮断接点14a(図1)がないこと、及び、停電検出回路14からDSP18に停電検出の信号が送られていることである。
図2において、DSP18は、停電検出回路14から停電検出の信号を受けると、表示装置23に対する信号出力をすべて停止する。これにより、表示装置23における消費電力が低下する。前述のように表示装置23は消費電力が大きいため、表示をオフにすることによる節電効果が大きい。このように、本実施形態ではDSP18が、負荷遮断手段としての機能を有している。
その他の動作は第1の実施形態と同様であるので、説明を省略する。
【0017】
上記第2の実施形態においても、停電後、回転体3の発電電力のほとんどは、磁気浮上に用いられる。そのため、磁気浮上状態を長時間安定して維持することができ、その間に回転体3は十分に減速される。従って、「着地」の時点で回転体3は十分に減速されているため、衝撃荷重は小さく、タッチダウン軸受7の損傷を低減することができる。この結果、タッチダウン軸受7の寿命が延びる。また、第1の実施形態のような遮断接点14aを別途設けなくてもよい点で構成が簡素である。
【0018】
【発明の効果】
以上のように構成された本発明は以下の効果を奏する。
請求項1の磁気軸受の停電補償システムによれば、停電検出によって、電磁石の制御に関与する負荷以外の全ての負荷がモータの発電による電源から遮断されるので、回転体の発電電力は磁気浮上にのみ用いられる。従って、磁気浮上状態を長時間安定して維持することができ、その間に回転体を十分に減速させることができる。回転体が十分に減速されてからタッチダウン軸受に受け止められることにより、その衝撃荷重が小さくなるので、タッチダウン軸受の損傷が低減され、タッチダウン軸受の寿命が延びる。
【0019】
請求項2の磁気軸受の停電補償システムによれば、信号出力の停止により、電磁石の制御に関与する負荷以外の全ての負荷における電力消費が抑制されるので、回転体の発電電力は実質的に磁気浮上にのみ用いられる。従って、磁気浮上状態を長時間安定して維持することができ、その間に回転体を十分に減速させることができる。また、遮断接点等の強制的な負荷遮断手段を別途設けなくてもよい点で、構成が簡素である。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施形態による磁気軸受の停電補償システムを構成する電源回路及び制御回路を示すブロック図である。
【図2】本発明の第2の実施形態による磁気軸受の停電補償システムを構成する電源回路及び制御回路を示すブロック図である。
【図3】本発明の磁気軸受の停電補償システムを適用する制御型磁気軸受装置の機械本体を示す縦断面図である。
【符号の説明】
3 回転体
4 電磁石
5 変位センサ
6 モータ
10 交流電源
14 停電検出回路
14a 遮断接点
16 切換スイッチ
18 DSP
19 A/D変換器
20 D/A変換器
21 増幅器
22 インターフェース回路
23 表示装置[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a power failure compensation system for a magnetic bearing that maintains a magnetic levitation state for a certain period of time when a power source of a magnetic bearing device fails.
[0002]
[Prior art]
For example, in the conventional magnetic bearing device described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 9-19177, during a power failure, a rotating body that rotates with inertia generates a motor as a generator, and the electric power rotates while maintaining a magnetically levitated state. Decrease the number gradually. Thereafter, the rotating body whose rotational speed has decreased is received by the touch-down bearing, and the rotating body is stopped.
[0003]
[Problems to be solved by the invention]
However, in reality, the generated electric power is consumed by peripheral devices other than the magnetic bearing device, and thus the electric power that can be supplied to the magnetic bearing device often decreases before the rotation speed is sufficiently reduced. In this case, the magnetic levitation force cannot be maintained, and the rotating body “landes” on the touch-down bearing while still rotating at high speed. When receiving a rotating body that rotates at high speed, the touch-down bearing is damaged because it receives a strong impact load. Accordingly, the life of the touchdown bearing is shortened.
[0004]
In view of the conventional problems as described above, it is an object of the present invention to provide a power failure compensation system for a magnetic bearing that can maintain a magnetic levitation state until a rotating body is sufficiently decelerated during a power failure.
[0005]
[Means for Solving the Problems]
The magnetic bearing power failure compensation system according to the present invention includes a magnetic bearing device that supports a rotating body in a non-contact manner by an electromagnet, a display device that displays information held by the magnetic bearing device, and the rotating body that rotates and rotates the rotating body. A motor capable of generating electric power by rotating the body, a power failure detection circuit for detecting a power failure of the normal power supply for supplying power to the magnetic bearing device , the display device and the motor; and a power supply for the magnetic bearing device from the normal power source by power failure detection A switching means for switching to a power source by the power generation of the motor, and a load cutoff means for shutting off all loads other than the load involved in the control of the electromagnet including the display device from the power source by the power generation of the motor by detecting a power failure (Claim 1).
In the power failure compensation system for magnetic bearings configured as described above, the switching means switches the power source of the magnetic bearing device from the normal power source to the power source generated by the motor upon detection of a power failure, and the load interrupting unit controls the electromagnet. Shut off all loads other than the load involved from the power generated by the motor. Therefore, since the generated electric power of the rotating body is used only for magnetic levitation, the magnetic levitation state can be stably maintained for a long time, and the rotating body is sufficiently decelerated during that time. Since the rotating body is sufficiently decelerated and then received by the touchdown bearing, the impact load is small. Accordingly, damage to the touchdown bearing is reduced and the life of the touchdown bearing is extended.
[0006]
In the power failure compensation system, the load interrupting means may substantially interrupt the load by stopping signal output to all loads other than the load involved in the control of the electromagnet (claim). Item 2).
In this case, the stop signal output, power consumption in the load is suppressed. Therefore, it is not necessary to separately provide forcible load breaking means such as a breaking contact.
[0007]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
FIG. 3 is a longitudinal sectional view showing the machine body 1 of the control type magnetic bearing device to which the power failure compensation system for magnetic bearings of the present invention is applied.
The machine main body 1 is a vertical type in which a vertical axis-shaped rotating
The horizontal machine body 1 includes an axial magnetic bearing 4A, a radial magnetic bearing 4R, an
[0008]
The axial magnetic bearing 4A is arranged above and below the
[0009]
FIG. 1 is a block diagram showing a power supply circuit and a control circuit constituting a power failure compensation system for a magnetic bearing according to the first embodiment of the present invention connected to the machine body 1. In the figure, the bold lines indicate power supply circuits, and the others indicate control circuits. The power supply circuit uses an
[0010]
The DC voltage output from the DC
[0011]
The DC voltage is also supplied to the
[0012]
The contact of the
[0013]
In the power supply circuit and the control circuit configured as described above, the
[0014]
When the
[0015]
On the other hand, when the cut-
[0016]
FIG. 2 is a block diagram showing a power supply circuit and a control circuit constituting a power failure compensation system for a magnetic bearing according to the second embodiment of the present invention. The difference from the first embodiment is that there is no
In FIG. 2, when receiving a power failure detection signal from the power
Since other operations are the same as those in the first embodiment, description thereof is omitted.
[0017]
Also in the second embodiment, most of the generated power of the
[0018]
【The invention's effect】
The present invention configured as described above has the following effects.
According to the power failure compensation system for a magnetic bearing according to claim 1, since all loads other than the load related to the electromagnet control are cut off from the power source generated by the motor by detecting the power failure, the generated power of the rotating body is magnetically levitated. Used only for Therefore, the magnetic levitation state can be maintained stably for a long time, and the rotating body can be sufficiently decelerated during that time. Since the impact load is reduced when the rotating body is sufficiently decelerated after being received by the touchdown bearing, damage to the touchdown bearing is reduced, and the life of the touchdown bearing is extended.
[0019]
According to the power failure compensation system for magnetic bearings of
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a block diagram showing a power supply circuit and a control circuit constituting a magnetic bearing power failure compensation system according to a first embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a block diagram showing a power supply circuit and a control circuit constituting a power failure compensation system for a magnetic bearing according to a second embodiment of the present invention.
FIG. 3 is a longitudinal sectional view showing a machine body of a control type magnetic bearing device to which a power failure compensation system for magnetic bearings according to the present invention is applied.
[Explanation of symbols]
3 Rotating Body 4 Electromagnet 5
19 A / D converter 20 D /
Claims (2)
前記磁気軸受装置の保有する情報を表示する表示装置と、
前記回転体を回転させるとともに、前記回転体の回転により発電可能なモータと、
前記磁気軸受装置、表示装置及びモータに給電する常用電源の停電を検出する停電検出回路と、
停電検出によって、前記磁気軸受装置の電源を、前記常用電源から前記モータの発電による電源に切り換える切換手段と、
停電検出によって、前記表示装置を含む、前記電磁石の制御に関与する負荷以外の全ての負荷を、前記モータの発電による電源から遮断する負荷遮断手段と
を備えたことを特徴とする磁気軸受の停電補償システム。A magnetic bearing device that supports the rotating body in a non-contact manner by an electromagnet;
A display device for displaying information held by the magnetic bearing device;
A motor capable of rotating the rotating body and generating electric power by rotating the rotating body;
A power failure detection circuit for detecting a power failure of a normal power supply for supplying power to the magnetic bearing device , the display device and the motor;
Switching means for switching the power source of the magnetic bearing device from the normal power source to the power source generated by the motor by detecting a power failure;
Load interruption means for cutting off all loads other than the load related to the control of the electromagnet including the display device by detecting a power failure; and a power interruption of the magnetic bearing, characterized by comprising: Compensation system.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP26255899A JP3779105B2 (en) | 1999-09-16 | 1999-09-16 | Power failure compensation system for magnetic bearings |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP26255899A JP3779105B2 (en) | 1999-09-16 | 1999-09-16 | Power failure compensation system for magnetic bearings |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2001082472A JP2001082472A (en) | 2001-03-27 |
JP3779105B2 true JP3779105B2 (en) | 2006-05-24 |
Family
ID=17377487
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP26255899A Expired - Fee Related JP3779105B2 (en) | 1999-09-16 | 1999-09-16 | Power failure compensation system for magnetic bearings |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3779105B2 (en) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8379187B2 (en) | 2007-10-24 | 2013-02-19 | Nikon Corporation | Optical unit, illumination optical apparatus, exposure apparatus, and device manufacturing method |
NO337234B1 (en) * | 2013-05-29 | 2016-02-15 | Aker Subsea As | Rotary underwater machine with fault-tolerant active magnetic storage |
KR102597442B1 (en) * | 2021-04-26 | 2023-11-03 | 엘지전자 주식회사 | Power transforming apparatus and air conditioner including the same |
-
1999
- 1999-09-16 JP JP26255899A patent/JP3779105B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2001082472A (en) | 2001-03-27 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US6617734B2 (en) | Magnetic bearing control device | |
JP3705934B2 (en) | Motor drive device | |
US6278251B1 (en) | Permanent magnetically excited electrical rotary drive | |
US5917297A (en) | Arrangement and method for operating a magnetically suspended, electromotoric drive apparatus in the event of a mains disturbance | |
US6020657A (en) | Power supply for providing instantaneous energy during utility power outages | |
JPH07508395A (en) | Synchronous power machines with no transient disturbances | |
JP2000145773A (en) | Magnetic bearing device | |
KR20000035006A (en) | Controllable magnetic bearing apparatus | |
JP3779105B2 (en) | Power failure compensation system for magnetic bearings | |
JP2000197392A (en) | Wind power generator | |
US6204572B1 (en) | Power supply for providing instantaneous energy during electric utility outage | |
TW451037B (en) | Magnetic bearing device integral with an electric motor | |
JP3677826B2 (en) | Magnetic bearing device | |
JP2000170766A (en) | Generator set utilizing magnetic bearing | |
JP2003222096A (en) | Magnetic-bearing type turbo-molecular pump | |
JPS60190697A (en) | Control system of magnetic bearing in turbo molecular pump | |
JP2011200073A (en) | Motor drive | |
JP3414918B2 (en) | Rotary electric machine with magnetic bearing | |
JPH06311699A (en) | Magnetic bearing-mounted rotary electric machine | |
JP2005325977A (en) | Magnetic bearing device | |
JP2546625Y2 (en) | Magnetic bearing control device | |
CN213125650U (en) | Power supply circuit for magnetic suspension bearing system of high-speed magnetic suspension permanent magnet synchronous motor | |
JPH048911A (en) | Magnetic bearing device | |
JPH07208471A (en) | Control device for magnetic bearing | |
CN213661494U (en) | Escalator motor control device |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20040908 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20050623 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20050705 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20050901 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20060214 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20060301 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090310 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100310 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110310 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120310 Year of fee payment: 6 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |