JP3779031B2

JP3779031B2 - Corona preionization electrode

Info

Publication number: JP3779031B2
Application number: JP14930797A
Authority: JP
Inventors: 真生中野
Original assignee: Komatsu Ltd
Current assignee: Komatsu Ltd
Priority date: 1997-06-06
Filing date: 1997-06-06
Publication date: 2006-05-24
Anticipated expiration: 2017-06-06
Also published as: JPH10341053A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、コロナ放電による紫外光予備電離を用いた放電励起型レーザ装置に関し、特に予備電離を行わせる予備電離電極の形状の改良に関する。
【０００２】
【従来の技術】
ＴＥＡレーザは、一対の対向する主電極によって構成される主放電空間に存在する１気圧以上の気体に、均一なグロー放電を発生させることにより、レーザ発振に必要な反転分布領域を形成してレーザ発振を行う方式である。このＴＥＡレーザにおいて、主放電空間中の気体全体に均一なグロー放電を得るには、主放電を開始する前に、主放電空間中の気体全体を予備電離させる必要がある。特に、エキシマレーザの場合は、主放電に用いられる希ガス中での電子の寿命が短いため、寿命時間内に励起を行わない限り、反転分布が形成されないことから、主放電の直前にできるだけ多く主放電空間中の希ガス全体を電離させておく必要がある。現在、予備電離方式としては、Ｘ線、スパーク放電、コロナ放電などを使った様々な方式があるが、中でもコロナ放電を使った方式は、比較的簡便で主放電空間中の気体への汚染が少ないことから、容量移行型の予備電離方式として広く使用されている。
【０００３】
図４（ａ）に従来のコロナ予備電離電極を用いたエキシマレーザ装置の放電発生部の断面図を示し、図４（ｂ）に前記コロナ予備電離電極の斜視図を示す。この放電発生部においては、一対の主電極４５と４６を対向させ、その両側にコロナ予備電離電極４８（破線で囲んだ部分）を配設している。
【０００４】
コロナ予備電離電極４８は、円柱形の背後電極４１が、円筒形の誘電体パイプ４２の中空部に配され、この誘電体パイプ４２の外周面に断面Ｌ字形のアース電極４３の端部が接触する構成となっている。
【０００５】
かかる構成においては、主電極４５、４６間で放電を発生させる前に、まず、背後電極４１とアース電極４３との間に高電圧を印加し、アース電極４３と誘電体パイプ４２の接触部４４を起点として誘電体パイプ４２の外周面に生じるコロナ放電によって、紫外光を発生させる。この紫外光中の高電圧によって加速された電子により、主放電空間に満たされたレーザガスを予備電離する。次に、主電極４５と４６の間に高電圧が印加されると予備電離されたガスが絶縁破壊を起こし、主放電４７が開始される。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来のコロナ予備電離電極では、コロナ放電の開始点である誘電体パイプ４２の外周面とコロナ電極４３の接触部４４が１本の直線でしか構成されていないため、誘電体パイプ４２上のより多くのポイント位置に予備放電の開始点（起点）を確保することができない。すなわち、上記従来技術では、予備放電の開始点の距離を十分に確保することができないので、小さな発光量の紫外光しか得られず、このため十分な予備電離が行われず、所望のレーザ出力が得られないという問題があった。
【０００７】
本発明は、こうした実状に鑑みてなされたものであり、装置を大型にすることなく主放電空間全体にわたって、十分な予備電離を行うのに必要な紫外光の発光量を得ることができるコロナ予備電離電極を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段及び作用効果】
上記目的を達成するため第１の発明は、中空状の誘電体パイプと、この誘電体パイプの中空部に配される背後電極と、この誘電体パイプの外表面に接触されるように配されるコロナ電極とを有する予備電離電極を前記誘電体パイプの軸が主放電電極の長手方向に沿って延びるように主放電空間の側方に配し、前記コロナ電極及び前記背後電極間に高電圧を印加することによりコロナ電極と前記誘電体パイプとの接触部を起点としたコロナ放電を発生させて前記主放電空間に予備電離を発生させるコロナ予備電離電極において、
前記誘電体パイプの外表面領域のうちの前記主放電空間に向いた領域にのみ前記コロナ電極と誘電体パイプとの接触部を配し、かつ前記接触部の縁を前記コロナ電極の一方の終端から他方の終端までをつないだ線が前記誘電体パイプの軸長より長くなるように前記コロナ電極の接触部の縁部の形状を構成するようにしたことを特徴としている。
【０００９】
かかる構成によれば、前記接触部の縁をコロナ電極の一方の終端から他方の終端までをつないだ線が、前記誘電体パイプの軸長より長くなるようにしているので、従来に比べ予備放電の開始点の距離が長くなり、これにより装置を大型にすることなく主放電空間全体にわたって、十分な予備電離を行うのに必要な紫外光の発光量を得ることができる。
【００１０】
また、前記接触部を主放電空間に向いた領域にのみ配置するようにしたので、予備電離に寄与しない部分での放電による電力の損失を防ぐとともに、予備電離強度、及びレーザ出力の低下を防ぐことが可能となる。
【００１１】
さらに、予備電離に寄与しない部分での放電を防ぐことによって、大量の放電生成物の発生を抑制することができ、レーザ出力を安定させることができる。
【００１８】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。
【００１９】
図１（ａ）（ｂ）に、本発明の第１の実施形態を示す。
【００２０】
この実施例においては、一対の主電極４５と４６を対向させ、その両側にコロナ予備電離電極１１（破線で囲んだ部分）を配設している。
【００２１】
また、コロナ予備電離電極１１は、円柱形状の背後電極４１が、円筒形状の誘電体パイプ４２の中空部に配され、誘電体パイプ４２の外周面領域のうちの主放電空間に向いた領域でのみ、コロナ電極１２が、誘電体パイプ４２に倣うよう接触する構成となっている。この場合、コロナ電極１２側を接地している。
【００２２】
さらに、コロナ電極１２が誘電体パイプ４２の外周面に接触している部分の端縁は、直線１３及び１４、曲線１５、１６で連続的に構成されており、主放電空間の方面から見ると接触部の形状は櫛状をなす。
【００２３】
かかる第１の実施形態によれば、背後電極４１とコロナ電極１２の間に高電圧を印加すると、直線１３及び１４、曲線１５、１６で構成される誘電体パイプ４２とコロナ電極１２の接触部において、コロナ放電が開始され、誘電体パイプ４２の外周にコロナ放電が進展されることにより紫外光が主放電空間に向かって照射される。
ここで、図１（ｂ）のθ（ラジアン角）は、曲線１５又は１６の両端１７、１８と誘電体パイプ４２の中心点１９によってなす角である。曲線１５及び１６の長さは、誘電体パイプ４２の外周面の直径Ｄとθによって決定される。直線１３及び１４を所望の長さとすることで、曲線１５及び１６がｎ本ずつ存在したとすると、誘電体パイプ４２とコロナ電極１２の接触距離は従来のコロナ予備電離電極に比べて
（Ｄ／２）×θ×２ｎ＝ｎＤθ
だけ長くすることができる。従って、従来のコロナ予備電離電極と比較してコロナ放電の開始点がｎＤθだけ増えることになり、その分紫外光の発光量を増やすことが可能となり、これにより主放電空間全体にわたって十分な予備電離を行うことができ、装置を大型にすることなく所望のレーザ出力を得ることができる。また、主放電空間を予備電離させるための紫外光が発生するコロナ放電は、コロナ電極と誘電体パイプとの接触部を起点として誘電体パイプの外表面に生じるが、本発明によれば、コロナ電極１２と誘電体パイプ４２との接触部は、主放電空間側にあるので、予備電離に寄与しない部分での放電による電力の損失を防ぐとともに、予備電離強度、及びレーザ出力の低下を防ぐことが可能となる。
【００２４】
さらに、予備電離に寄与しない部分での放電を防ぐことによって、大量の放電生成物の発生を抑制することができ、レーザ出力を安定させることができる。
【００２５】
なお、背後電極４１の形状は多角柱状であってもよく、誘電体パイプ４２の形状は多角筒形状であってもよい。
【００２６】
また、背後電極４１を接地するようにしてもよい。
【００２７】
また、本発明の第１の実施形態では、図１（ｂ）に示すように主放電空間の方面から見たコロナ電極１２が誘電体パイプ４２に接触している縁部は、直線１３及び１４、曲線１５、１６で連続的に構成された四角く切り込んだ形状となっているが、本発明は、これに限定されることなく、コロナ電極１２が誘電体４２に接触している部分が、四角形以外の多角形や、曲線、あるいはこれらを組み合わせて切り込んだ形状であってもよい。
【００２８】
要は、接触部の縁をコロナ電極の一方の終端から他方の終端までをつないだ線が、誘電体パイプの軸長より長ければよい。
【００２９】
図２（ａ）、（ｂ）に、本発明の第２の実施形態を示す。なお、図１（ａ）、（ｂ）と同一の構成要素には、同一の符号を付している。
【００３０】
この第２の実施形態では、コロナ電極を少なくとも２本のワイヤ電極２２で構成し、かつこれらワイヤ電極２２を誘電体パイプ４２の外周面領域のうちの主放電空間に向いた領域にのみ、配置するようにしている。
【００３１】
この場合、ワイヤ電極２２は、主放電電極４５、４６の長手方向に沿って配置された２個以上のセラミックの固定具２３によって固定されている。
【００３２】
かかる構成によれば、背後電極４１とワイヤ電極２２の間に高電圧を印加すると、誘電体パイプ４２とワイヤ電極２２の接触部において、コロナ放電が開始され、誘電体パイプ４２の外周にコロナ放電が進展されることにより紫外光が主放電空間に向かって照射される。
【００３３】
この第２の実施形態によれば、従来のコロナ予備電離電極と比較して接触部の直線が１本から２本に増えた分だけコロナ放電が増えることになり、その分紫外光の発光量を増やすことが可能となり、これにより主放電空間全体にわたって十分な予備電離を行うことができ、装置を大型にすることなく所望のレーザ出力を得ることができる。
【００３４】
さらに、この第２の実施形態によれば、複数本のワイヤ電極２２を主放電空間側にのみ配置するようにしたので、予備電離に寄与しない部分での放電による電力の損失を防ぐとともに、予備電離強度、及びレーザ出力の低下を防ぐことが可能となる。さらに、予備電離に寄与しない部分での放電を防ぐことによって、大量の放電生成物の発生を抑制することができ、レーザ出力を安定させることができる。
【００３５】
なお、この第２の実施形態において、ワイヤ電極２２を先の第１実施形態のような櫛状（パルス波形状）にして、コロナ放電開始点の距離を増やすようにしてもよい。
【００３６】
図３（ａ）、（ｂ）に、本発明の第３の実施形態を示す。なお、図２（ａ）、（ｂ）と同一の構成要素には、同一の符号を付している。
【００３７】
図３に示すように、第３の実施形態では、コロナ電極を網目状の電極３２で構成し、かつこれら網目状電極３２を誘電体パイプ４２の外周面領域のうちの主放電空間に向いた領域にのみ、配置するようにしている。
【００３８】
この場合、網目状電極３２は、主放電電極の長手方向に沿って配置された２個以上のセラミックの固定具２３によって固定されている。
【００３９】
かかる構成によれば、背後電極４１と網目状電極３２の間に高電圧を印加すると、誘電体パイプ４２と網目状電極３２の接触部において、コロナ放電が開始され、誘電体パイプ４２の外周にコロナ放電が進展されることにより紫外光が主放電空間に向かって照射される。この第３の実施形態によれば、コロナ電極を網目状電極で構成するようにしたので、網目状電極３２と誘電体パイプ４２の接触部の距離が従来より長くなる分だけコロナ放電が増えることになり、その分紫外光の発光量を増やすことが可能となり、これにより主放電空間全体にわたって十分な予備電離を行うことができ、装置を大型にすることなく所望のレーザ出力を得ることができる。また、この第３の実施形態によれば、網目状電極３２を主放電空間側にのみ配置するようにしたので、予備電離に寄与しない部分での放電による電力の損失を防ぐとともに、予備電離強度、及びレーザ出力の低下を防ぐことが可能となる。さらに、予備電離に寄与しない部分での放電を防ぐことによって、大量の放電生成物の発生を抑制することができ、レーザ出力を安定させることができる。
【００４０】
なお、上記実施例では、本発明をエキシマレーザに適用するようにしたが、予備電離を行うものであれば、他の任意のガスレーザに適用するようにしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施形態を示す図。
【図２】本発明の第２の実施形態を示す図。
【図３】本発明の第３の実施形態を示す図。
【図４】従来の装置を示す図。
【符号の説明】
２３…固定具
４１…背後電極
４２…誘電体パイプ
１２，２２，３２，４３…コロナ電極
４５，４６…主電極[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a discharge excitation type laser apparatus using ultraviolet light preionization by corona discharge, and more particularly to improvement of the shape of a preionization electrode for performing preionization.
[0002]
[Prior art]
A TEA laser forms an inversion distribution region necessary for laser oscillation by generating a uniform glow discharge in a gas of 1 atm or more existing in a main discharge space constituted by a pair of opposing main electrodes. This is a method for oscillation. In this TEA laser, in order to obtain a uniform glow discharge in the entire gas in the main discharge space, it is necessary to pre-ionize the entire gas in the main discharge space before starting the main discharge. In particular, in the case of an excimer laser, since the lifetime of electrons in the rare gas used for the main discharge is short, an inversion distribution is not formed unless excitation is performed within the lifetime, so as many as possible immediately before the main discharge. It is necessary to ionize the entire rare gas in the main discharge space. Currently, there are various types of preionization methods using X-ray, spark discharge, corona discharge, etc. Among them, the method using corona discharge is relatively simple and causes contamination of the gas in the main discharge space. Because of its small number, it is widely used as a capacity transfer type preionization method.
[0003]
FIG. 4A shows a cross-sectional view of a discharge generating part of an excimer laser device using a conventional corona preionization electrode, and FIG. 4B shows a perspective view of the corona preionization electrode. In this discharge generating portion, a pair of main electrodes 45 and 46 are opposed to each other, and corona preliminary ionization electrodes 48 (portions surrounded by broken lines) are disposed on both sides thereof.
[0004]
In the corona preliminary ionization electrode 48, a columnar rear electrode 41 is arranged in a hollow portion of a cylindrical dielectric pipe 42, and an end portion of an earth electrode 43 having an L-shaped cross section contacts the outer peripheral surface of the dielectric pipe 42. It is the composition to do.
[0005]
In such a configuration, before a discharge is generated between the main electrodes 45 and 46, first, a high voltage is applied between the back electrode 41 and the ground electrode 43, and the contact portion 44 between the ground electrode 43 and the dielectric pipe 42. The ultraviolet light is generated by corona discharge generated on the outer peripheral surface of the dielectric pipe 42 starting from. The laser gas filled in the main discharge space is preionized by electrons accelerated by the high voltage in the ultraviolet light. Next, when a high voltage is applied between the main electrodes 45 and 46, the pre-ionized gas causes dielectric breakdown, and the main discharge 47 is started.
[0006]
[Problems to be solved by the invention]
However, in the conventional corona preionization electrode, the outer peripheral surface of the dielectric pipe 42 which is the starting point of the corona discharge and the contact portion 44 of the corona electrode 43 are configured by only one straight line. The starting point (starting point) of the preliminary discharge cannot be secured at more point positions. That is, in the above prior art, it is not possible to sufficiently secure the distance of the start point of the preliminary discharge, so that only a small amount of ultraviolet light can be obtained, so that sufficient preliminary ionization is not performed and a desired laser output is obtained. There was a problem that it could not be obtained.
[0007]
The present invention has been made in view of such a situation, and a corona spare capable of obtaining a sufficient amount of ultraviolet light to perform sufficient preliminary ionization over the entire main discharge space without increasing the size of the apparatus. An object is to provide an ionization electrode.
[0008]
[Means for solving the problems and effects]
In order to achieve the above object, the first invention is arranged so as to be in contact with a hollow dielectric pipe, a back electrode disposed in a hollow portion of the dielectric pipe, and an outer surface of the dielectric pipe. A preionization electrode having a corona electrode is disposed on the side of the main discharge space so that the axis of the dielectric pipe extends along the longitudinal direction of the main discharge electrode, and a high voltage is applied between the corona electrode and the back electrode. In the corona preionization electrode that generates preionization in the main discharge space by generating a corona discharge starting from the contact portion between the corona electrode and the dielectric pipe by applying
A contact portion between the corona electrode and the dielectric pipe is disposed only in a region facing the main discharge space in an outer surface region of the dielectric pipe, and an edge of the contact portion is used as one end of the corona electrode. The shape of the edge portion of the contact portion of the corona electrode is configured such that the line connecting from the first end to the other end is longer than the axial length of the dielectric pipe.
[0009]
According to such a configuration, the line connecting the edge of the contact portion from one end of the corona electrode to the other end is made longer than the axial length of the dielectric pipe. This increases the distance of the starting point, and this makes it possible to obtain the amount of ultraviolet light emission required for sufficient preliminary ionization over the entire main discharge space without increasing the size of the apparatus.
[0010]
In addition, since the contact portion is disposed only in the region facing the main discharge space, power loss due to discharge in a portion that does not contribute to preionization is prevented, and reduction in preionization intensity and laser output is prevented. It becomes possible.
[0011]
Furthermore, by preventing discharge at a portion that does not contribute to preionization, the generation of a large amount of discharge products can be suppressed, and the laser output can be stabilized.
[0018]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
[0019]
1A and 1B show a first embodiment of the present invention.
[0020]
In this embodiment, a pair of main electrodes 45 and 46 are opposed to each other, and corona preliminary ionization electrodes 11 (portions surrounded by broken lines) are disposed on both sides thereof.
[0021]
Further, the corona preionization electrode 11 is a region in which the columnar rear electrode 41 is disposed in the hollow portion of the cylindrical dielectric pipe 42 and faces the main discharge space in the outer peripheral surface region of the dielectric pipe 42. Only the corona electrode 12 is in contact with the dielectric pipe 42. In this case, the corona electrode 12 side is grounded.
[0022]
Further, the edge of the portion where the corona electrode 12 is in contact with the outer peripheral surface of the dielectric pipe 42 is continuously constituted by straight lines 13 and 14, and curves 15 and 16, and is viewed from the direction of the main discharge space. The contact portion has a comb shape.
[0023]
According to the first embodiment, when a high voltage is applied between the back electrode 41 and the corona electrode 12, the contact portion between the dielectric pipe 42 constituted by the straight lines 13 and 14 and the curves 15 and 16 and the corona electrode 12. , The corona discharge is started, and the corona discharge is developed on the outer periphery of the dielectric pipe 42 so that the ultraviolet light is irradiated toward the main discharge space.
Here, θ (radian angle) in FIG. 1B is an angle formed by both ends 17 and 18 of the curve 15 or 16 and the center point 19 of the dielectric pipe 42. The lengths of the curves 15 and 16 are determined by the diameters D and θ of the outer peripheral surface of the dielectric pipe 42. Assuming that the straight lines 13 and 14 have a desired length and there are n curves 15 and 16, respectively, the contact distance between the dielectric pipe 42 and the corona electrode 12 is (D / 2) × θ × 2n = nDθ
Can only be longer. Accordingly, the starting point of corona discharge is increased by nDθ compared to the conventional corona preionization electrode, and the amount of ultraviolet light emission can be increased by that amount, thereby providing sufficient preionization over the entire main discharge space. The desired laser output can be obtained without increasing the size of the apparatus. In addition, corona discharge generated by ultraviolet light for preionizing the main discharge space is generated on the outer surface of the dielectric pipe starting from the contact portion between the corona electrode and the dielectric pipe. Since the contact portion between the electrode 12 and the dielectric pipe 42 is on the main discharge space side, it prevents power loss due to discharge in a portion that does not contribute to preionization, and prevents a decrease in preionization intensity and laser output. Is possible.
[0024]
Furthermore, by preventing discharge at a portion that does not contribute to preionization, the generation of a large amount of discharge products can be suppressed, and the laser output can be stabilized.
[0025]
The shape of the back electrode 41 may be a polygonal column, and the shape of the dielectric pipe 42 may be a polygonal cylinder.
[0026]
Further, the back electrode 41 may be grounded.
[0027]
Further, in the first embodiment of the present invention, as shown in FIG. 1B, the edges where the corona electrode 12 as viewed from the direction of the main discharge space is in contact with the dielectric pipe 42 are straight lines 13 and 14. However, the present invention is not limited to this, and the portion where the corona electrode 12 is in contact with the dielectric 42 is rectangular. Other polygons, curves, or shapes obtained by combining these may be used.
[0028]
In short, the line connecting the edge of the contact portion from one end of the corona electrode to the other end may be longer than the axial length of the dielectric pipe.
[0029]
2A and 2B show a second embodiment of the present invention. In addition, the same code | symbol is attached | subjected to the component same as FIG. 1 (a), (b).
[0030]
In the second embodiment, the corona electrode is composed of at least two wire electrodes 22, and these wire electrodes 22 are arranged only in the region facing the main discharge space in the outer peripheral surface region of the dielectric pipe 42. Like to do.
[0031]
In this case, the wire electrode 22 is fixed by two or more ceramic fixtures 23 arranged along the longitudinal direction of the main discharge electrodes 45 and 46.
[0032]
According to this configuration, when a high voltage is applied between the back electrode 41 and the wire electrode 22, corona discharge starts at the contact portion between the dielectric pipe 42 and the wire electrode 22, and corona discharge is generated on the outer periphery of the dielectric pipe 42. As a result of the development, ultraviolet light is irradiated toward the main discharge space.
[0033]
According to the second embodiment, the corona discharge is increased by an amount corresponding to the increase of the straight line of the contact portion from one to two as compared with the conventional corona preionization electrode. As a result, sufficient preionization can be performed over the entire main discharge space, and a desired laser output can be obtained without increasing the size of the apparatus.
[0034]
Furthermore, according to the second embodiment, since the plurality of wire electrodes 22 are arranged only on the main discharge space side, power loss due to discharge in a portion that does not contribute to preliminary ionization is prevented, and standby It is possible to prevent a decrease in ionization intensity and laser output. Furthermore, by preventing discharge at a portion that does not contribute to preionization, the generation of a large amount of discharge products can be suppressed, and the laser output can be stabilized.
[0035]
In the second embodiment, the wire electrode 22 may have a comb shape (pulse wave shape) as in the first embodiment, and the distance of the corona discharge start point may be increased.
[0036]
3A and 3B show a third embodiment of the present invention. In addition, the same code | symbol is attached | subjected to the component same as FIG. 2 (a), (b).
[0037]
As shown in FIG. 3, in the third embodiment, the corona electrodes are constituted by mesh-like electrodes 32, and these mesh-like electrodes 32 face the main discharge space in the outer peripheral surface region of the dielectric pipe 42. It is arranged only in the area.
[0038]
In this case, the mesh electrode 32 is fixed by two or more ceramic fixtures 23 arranged along the longitudinal direction of the main discharge electrode.
[0039]
According to this configuration, when a high voltage is applied between the back electrode 41 and the mesh electrode 32, corona discharge is started at the contact portion between the dielectric pipe 42 and the mesh electrode 32, and the outer periphery of the dielectric pipe 42 is As the corona discharge progresses, ultraviolet light is irradiated toward the main discharge space. According to the third embodiment, since the corona electrode is constituted by a mesh electrode, the corona discharge increases by the amount that the distance between the contact portion of the mesh electrode 32 and the dielectric pipe 42 becomes longer than the conventional one. As a result, it is possible to increase the amount of ultraviolet light emission, and thereby sufficient preliminary ionization can be performed over the entire main discharge space, and a desired laser output can be obtained without increasing the size of the apparatus. . In addition, according to the third embodiment, since the mesh electrode 32 is arranged only on the main discharge space side, power loss due to discharge in a portion that does not contribute to preionization is prevented, and preionization intensity is also reduced. It is possible to prevent a decrease in laser output. Further, by preventing discharge at a portion that does not contribute to preionization, it is possible to suppress the generation of a large amount of discharge products and to stabilize the laser output.
[0040]
In the above embodiment, the present invention is applied to the excimer laser, but may be applied to any other gas laser as long as it performs preliminary ionization.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a diagram showing a first embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a diagram showing a second embodiment of the present invention.
FIG. 3 is a diagram showing a third embodiment of the present invention.
FIG. 4 is a diagram showing a conventional apparatus.
[Explanation of symbols]
23 ... Fixing tool 41 ... Back electrode 42 ... Dielectric pipe 12, 22, 32, 43 ... Corona electrode 45, 46 ... Main electrode

Claims

A preliminary ionization electrode having a hollow dielectric pipe, a back electrode disposed in a hollow portion of the dielectric pipe, and a corona electrode disposed so as to be in contact with an outer surface of the dielectric pipe is provided as the dielectric. The body pipe is disposed on the side of the main discharge space so that the axis of the main discharge electrode extends along the longitudinal direction of the main discharge electrode, and a high voltage is applied between the corona electrode and the back electrode to thereby provide the corona electrode and the dielectric pipe. In a corona preionization electrode that generates a corona discharge starting from a contact portion with the main discharge space to generate a preionization,
A contact portion between the corona electrode and the dielectric pipe is disposed only in a region facing the main discharge space in an outer surface region of the dielectric pipe, and an edge of the contact portion of the corona electrode is arranged on one side of the corona electrode. A corona preionization electrode characterized in that the shape of the edge of the contact portion of the corona electrode is configured such that a line connecting from the end of one to the other end is longer than the axial length of the dielectric pipe .

The corona discharge preionization electrode according to claim 1, wherein the edge of the corona electrode is formed in a comb shape.