JP3746107B2

JP3746107B2 - Simple gas abatement system

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Publication number: JP3746107B2
Application number: JP18790996A
Authority: JP
Inventors: 吉広佐藤; 武浩岩沢; 淳佐々木; 清史貫井
Original assignee: Taiyo Nippon Sanso Corp
Current assignee: Taiyo Nippon Sanso Corp
Priority date: 1996-07-17
Filing date: 1996-07-17
Publication date: 2006-02-15
Anticipated expiration: 2016-07-17
Also published as: JPH1030799A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、高圧ガス容器から漏洩したガスを除害する簡易ガス除害装置に関し、特に漏洩ガスを簡単な操作で除害でき、しかも高圧ガス容器に装着した状態で容易に運搬できる簡易ガス除害装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、半導体工場などにおいては、半導体製造材料などに用いられるガスとして、毒性や可燃性を有するものが大量に使用されるようになってきている。このような毒性ガスや可燃性ガスは、一般に高圧ガス容器に充填した状態で使用されている。
このガス容器には、通常、容器内部のガスを取り出すための容器弁が取り付けられており、該ガス容器においては、ガス充填時、ガス容器輸送時、またはガス使用時に、上記容器弁本体や、容器弁のガス容器本体へのねじ込み部から、希にガス容器内のガスが微小量漏洩することがある。
【０００３】
上記半導体工場などでは、このようにガス容器からガス漏洩が起きた場合に備えて、該ガス容器を収容でき、該ガス容器内のガスを除害処理可能な除害装置を備えた据え付け型のシリンダキャビネットが設けられ、ガス容器はこのキャビネット内に収容された状態で使用されることがある。このシリンダキャビネットは、該シリンダキャビネット内に収容されたガス容器からガスが漏洩した場合に、漏洩したガスを上記除害装置に導き、これを除害することができるように設けられたものである。なお、上記除害とは毒性ガスまたは可燃性ガスを、無害化、不燃化することなどによって、人体にとって安全な状態とすることをいう。
【０００４】
上記シリンダキャビネットは据え付け型であり、移動させることができないため、上記ガス容器にガス漏洩が起きた場合には、このガス容器をシリンダキャビネット内に長時間放置することによってガス容器内のガスを全て放出させた上で、このガス容器を容器修理工場等へ搬送する必要があり、この処置に時間がかかる問題があった。
実公昭６３−７７５８号公報には、この問題を解決し、漏洩ガスを除害可能な状態でガス容器を運搬することができるガス用容器の収納箱が開示されている。この容器収納箱は、上記ガス容器全体を収納する箱体であり、ガス容器内のガスを除害処理可能な除害筒を備えている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記従来技術にあっては、該収納箱の重量が大きく、ガス容器を該収納箱内に収納した状態で運搬する際に多大な労力を必要とする不都合があった。
また、上記収納箱では、該収納箱内にガス容器を収納する際に、該ガス容器の全体を収納箱内に収納するため、多大な労力と手間を必要とする問題があった。このため、ガス容器にガス漏れが発生した場合に、この漏れたガスを応急的に除害処理するための装置としては不満があった。
本発明は、上記事情に鑑みてなされたもので、ガス容器にガス漏洩が発生した場合に、該ガス容器に簡単かつ迅速に取り付けて該漏洩ガスを除害処理することができ、しかも該ガス容器に取り付けた状態で、漏洩ガスを除害しながら、容易に運搬することができる簡易ガス除害装置を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
本発明の請求項１に係る簡易ガス除害装置は、毒性ガスまたは可燃性ガスが充填されたガス容器の首部に着脱自在に装着されるキャップと、前記ガス容器内のガスを除害可能な除害剤が充填された除害筒とを有し、前記キャップと前記除害筒との間に、キャップ内のガスを除害筒に導く導出管路が設けられ、前記導出管路の端部と、該管路が接続されるキャップとを、嵌合時に開きかつ離脱時に閉じる開閉継手で接続している除害装置であって、前記除害筒に、複数種の除害剤が充填されていると共に、大気圧より大きい圧力で不活性ガスが封入されており、前記除害筒下部に、湿潤用の水が貯留されていることを特徴とする。
【０００７】
【発明の実施の形態】
図１および図２は本発明の簡易ガス除害装置（以下、除害装置という。）の第一の例を示す構成図である。ここに示す除害装置１は、ガス容器首部に着脱自在に装着されるキャップ３と、不活性ガスが充填された不活性ガス供給源４と、前記ガス容器内のガスを除害可能な除害剤が充填された除害筒７と、キャップ３と前記不活性ガス供給源４との間に設けられ、パイプ１０、１１、１２を備えた導入管路１０ａと、キャップ３と除害筒７との間に設けられた導出管路１３と、これら不活性ガス供給源４、キャップ３、除害筒７を搭載した状態で走行可能な走行手段である台車１７とを備えて構成されている。
【０００８】
符号２はこの除害装置１が取り付けられるガス容器を示す。このガス容器２は、図３に示すように、容器上部の首部基部２ａに、容器内部のガスを取り出すための容器弁２ｃを設けて構成されている。このガス容器２において、ガス漏洩が起きやすい場所としては、容器弁２ｃ、および容器弁２ｃの容器本体へのねじ込み部２ｄが挙げられる。なお、ガス容器２の容器弁２ｃ、ねじ込み部２ｄを含む、首部基部２ａより上部を、以下首部２ｅという。
【０００９】
不活性ガス供給源４は、その内部に不活性ガスが充填された容器本体４ｂと、容器本体４ｂ内の不活性ガスを取り出すための容器弁４ａを備えて構成されている。この不活性ガスとしては、窒素ガス、アルゴンガス等を用いるのが好ましい。不活性ガス供給源４のガス出口となる容器弁４ａは、パイプ１０を介して減圧弁５に接続されている。この減圧弁５は、パイプ１１を介して流量計６に接続され、流量計６はパイプ１２を介して上記キャップ３と接続されている。
【００１０】
キャップ３は、ガス容器２の首部２ｅを覆うように、ガス容器２の首部基部２ａに形成されたキャップ取付ねじ２ｂに螺着されるように設けられている。
キャップ３には、上記不活性ガス供給源４内の不活性ガスを、キャップ３内に導入するためのガス導入部１５と、キャップ３内のガスを外部に導出するためのガス導出部１６が設けられている。ガス導入部１５には、上記パイプ１２が接続されており、ガス導出部１６には、上記ガス導出管路１３の一端が接続されている。
【００１１】
ガス導入部１５およびガス導出部１６には、それぞれ開閉雌継手３ｂおよび開閉雌継手３ｄが設けられている。また、上記パイプ１２および導出管路１３の端部には、上記開閉雌継手３ｂ、３ｄと嵌合する開閉雄継手３ａ、３ｃが設けられている。これら開閉雌継手３ｂ、３ｄと、開閉雄継手３ａ、３ｃとは、いずれもこれらが互いに嵌合したときに開状態となり、かつ離脱したときに閉状態となるように構成されている。
【００１２】
キャップ３の下部には、キャップ３とガス容器２との接続部の気密性を高めるため、テフロン等で形成された環状パッキン３ｅを設けるのが好ましい。なお、キャップ３とガス容器２との接続部の気密性をさらに高めるため、パッキン３ｅにはフッ素系などのグリスが塗布されるのが好ましい。
キャップ３のガス導出部１６に接続された導出管路１３の他端は、上記除害筒７の上部に接続されている。
【００１３】
除害筒７は、ガス容器２からの漏洩ガスを除害処理するためのもので、その内部に、ガス容器２内のガスを除害処理可能な除害剤を保持している。除害処理の対象ガスとしては、アルシン、ホスフィン、ジボラン、アンモニア、モノシラン、ジシラン、トリクロルシラン、塩化水素、セレン化水素、硫化水素、三フッ化ホウ素、塩素、臭化水素、四塩化珪素、三塩化ホウ素、二塩化シラン、ゲルマン、六フッ化タングステン、臭化水素、四フッ化珪素等があり、除害筒７内に保持される除害剤としては例えば以下のものがある。ガス容器２内に充填されるガスが、アルシン、ホスフィン、ジボラン、アンモニアなどである場合には、塩化第二鉄を含む除害剤を用いるのが好ましい。
【００１４】
また、ガス容器２内に充填されるガスがモノシラン、ジシラン、トリクロルシラン、塩化水素、セレン化水素、硫化水素、三フッ化ホウ素、臭化水素、四塩化珪素、三塩化ホウ素、二塩化シラン、ゲルマン、六フッ化タングステン、臭化水素、四フッ化珪素、塩素等である場合には、水酸化ナトリウムと過マンガン酸カリウムを含む除害剤を用いるのが好ましい。
【００１５】
また除害筒７は、多種類のガスに対応できるように、上述のような除害剤を複数種、除害筒７内に保持させて構成しても良い。このように複数種の除害剤を用いる場合には、これら除害剤を上下方向、即ちガス流通方向に多層に積層させて除害筒７内に配するのが好ましい。またこれら除害剤を除害筒７内に混合充填しても良い。
このような除害剤が充填された除害筒７の下部には、パイプ１４の一端が接続されており、パイプ１４の他端は検知器８下部に接続されている。
【００１６】
検知器８は、除害筒７内の除害剤の破過、即ち活性のある除害剤量の減少によって、除害筒７に導入される漏洩ガスの除害が不十分となった状態を検知するためのものである。この検知器８内部には、この検知器８内に導入されるガス中に除害筒７の処理対象ガスが含まれている場合に、このガスと接触して変色し、除害筒７内の除害剤が破過したことを示す検知剤が充填されている。
この検知器８上部には、放出口９が設けられ、この放出口９は、検知器８内のガスを外部に放出することができるように設けられている。また、この検知器８は、外面の一部を透明部材で形成することなどにより、内部の検知剤の色の変化を検知器外部から目視で確認できるように設けられるのが好ましい。
【００１７】
この検知器８においては、多種類のガスに対応できるように、複数種の検知剤を検知器８内に、ガス流通方向に積層させて用いるのが好ましい。
【００１８】
図４および図５は、上記構成の除害装置１の外観を示すものである。除害装置１には、ガス容器２を載置する容器載置部１ａ、およびガス容器２を安定に該装置上に保持するためのバンド１９を設けるのが好ましい。
【００１９】
また、上記不活性ガス供給源４の容量は１０ｌ以上とするのが望ましい。これは以下に示す理由による。ガス容器２の容器弁２ｃやねじ込み部２ｄからガスが漏洩し、この漏洩ガスが径１ｍｍの泡を１秒に１個形成したとすると、その漏洩量は約０．０８ｍｌ／ｍｉｎとなる。ガス容器２からのガスの最大漏洩量を、径１ｍｍの泡が連続して発生している状態、即ち、上記漏洩量（０．０８ｍｌ／ｍｉｎ）の５０倍（４ｍｌ／ｍｉｎ）と仮定し、ガス漏洩がこの最大漏洩量で起きたとすると、この漏洩ガスを好適な希釈濃度である１容量％以下に不活性ガス供給源４の不活性ガスで希釈するためには、不活性ガスの流量を３９６ｍｌ／ｍｉｎ以上とする必要がある。
【００２０】
上記不活性ガス供給源４に充填される不活性ガスが、例えば窒素である場合には、内容量が、窒素ガスとして１３２９Ｎリットルである１０ｌガスボンベを用いると、窒素ガスを上記流量（３９６ｍｌ／ｍｉｎ）で約５６時間流すことが可能となる。ガス漏洩が起きたガス容器２を修理工場に運搬するのに必要な時間は最大で４８時間程度と考えられるため、不活性ガス供給源４の容量を１０ｌ以上とすることによって、ガス漏洩が起きたガス容器２を修理工場などへ運搬するのに十分な時間、ガス容器２からの漏洩ガスを１容量％以下に希釈しながらその除害を行うことができる。
【００２１】
また、上記除害筒７の内径は、１１０ｍｍ程度とするのが好ましい。これは以下に示す理由による。ガス容器２からのガス漏洩量が、上記最大漏洩量（４ｍｌ／ｍｉｎ）であるとき、このガスの濃度が１容量％となるようにこのガスを不活性ガス供給源４内の不活性ガスで希釈した時のガス全体の流量は４００ｍｌ／ｍｉｎとなる。除害筒７内の除害剤充填高さが例えば１００ｍｍ程度である場合、このガスを除害筒７に通過させる際に、ガスと除害剤とを十分に接触させ、良好な除害処理を行うためには、除害筒７通過時のガスの筒内流速が１．０ｃｍ／ｓｅｃ以下、好ましくは０．１ｃｍ／ｓｅｃ以下であるのが望ましい。このことから、この線速度を０．１ｃｍ／ｓｅｃとしたとすると、除害筒７の径は約１１０ｍｍとなる。
【００２２】
また、除害筒７の長さは、６００〜１０００ｍｍとするのが好ましい。これは以下に示す理由による。除害筒７の内径を例えば１１０ｍｍ、除害筒７の長さを７００ｍｍとし、除害筒７の両端それぞれ５０ｍｍを除く長さ６００ｍｍの中間部内に、互いに等量の２種類の除害剤をガス流通方向に２層に積層させて配したとき、充填可能な除害剤容量は、１層につきπ／４×（１１０）²×３００／１０⁶＝２．８５ｌとなる。ガス漏洩量が上記最大漏洩量（４ｍｌ／ｍｉｎ）のとき、上記ガス容器の運搬に最大必要な時間である４８時間のガス漏洩量は約１１．５ｌであり、この漏洩量のガスを除害処理するために必要な除害剤の量は、除害処理対象となるガスの中で最も多くの除害剤量が必要である塩素の場合でも０．７７ｌであり、２．８５ｌの除害剤量があれば十分対応することができる。また、互いに等量の３種類の除害剤をガス流通方向に３層に積層させて配したときには、充填可能な除害剤量は、１層につき１．９ｌとなりこの場合でも十分対応することができる。
【００２３】
次に、上記構成の除害装置１の使用方法を、図６に示すようなグローブ取付口１８ｂとこの取付口に取り付けられたグローブ１８ａを備えたシリンダキャビネット１８内に収容されたガス容器２首部からガス漏洩が発生した場合を例として説明する。この例において、シリンダキャビネット１８は、グローブ１８ａを介して、シリンダキャビネット１８内のガスを外部に放出することなくキャビネット１８内のガス容器２を操作できるように設けられている。また、シリンダキャビネット１８に設けられた吸気管１８ｃは、図示せぬ除害装置に接続されており、シリンダキャビネット１８内のガスを吸気管１８ｃを通して除害装置に導くことができるようになっている。
【００２４】
まず、予めキャップ３のみをシリンダキャビネット１８内に備えておき、グローブ１８ａを用いて、ガス容器２の容器弁２ｃを閉じた後、キャップ３を漏洩が発生したガス容器２の首部基部２ａに螺着する。ここでキャップ３は導入管路１０ａ、導出管路１３が接続されていない状態であるので、ガス導入部１５、ガス導出部１６は閉状態であり、キャップ３によって漏洩箇所を含む首部２ｅは気密に覆われる。
【００２５】
このようにガス漏洩箇所をキャップ３で気密に覆った後、キャビネット１８内のガスを吸気管１８ｃを通して除害装置（図示略）に導き、キャビネット１８内の漏洩ガスの濃度を安全基準値以下としてから、キャップ３が取り付けられたガス容器２をシリンダキャビネット１８外へ搬出する。上記のようにキャップ３をガス容器に首部を気密に覆って取り付けしてから、ガス容器２をキャビネット１８外に出すことによって、キャビネット１８が室内にある場合でも、ガス容器２から漏洩したガスがシリンダキャビネット１８外に漏れ室内に拡散することがない。
【００２６】
なお、シリンダキャビネットにグローブ１８ａが備えられていない場合には、作業員が漏洩ガスを吸わないように空気呼吸器（図示せず）を装着して、シリンダキャビネットの扉をあけてガス容器２の首部基部２ａにキャップ３を取り付けした後、ガス容器２をシリンダキャビネット１８外へ搬出するようにする。
【００２７】
上記のように漏洩箇所をキャップ３で気密に覆った状態のガス容器２を、除害装置１の容器載置部１ａに載置する。そして直ちに、キャップ３のガス導出部１６の開閉雌継手３ｄに、除害筒７に接続された導出管路１３の開閉雄継手３ｃを嵌合させて導出管路１３とキャップ３とを接続する。そしてキャップ３のガス導入部１５の開閉雌継手３ｂに、不活性ガス供給源４からの不活性ガスの流路となるパイプ１２の開閉雄継手３ａを嵌合させてパイプ１２とキャップ３とを接続する。
【００２８】
次いで、不活性ガス供給源４の容器弁４ａを開き、減圧弁５と流量計６とによって不活性ガス流量を適宜調節して、不活性ガス供給源４内の不活性ガスを一定流量でキャップ３内に流す。この流量としては、ガス容器２からの漏洩ガスを不活性ガスで１容量％以下まで希釈できるように設定するのが好ましい。この際、漏洩ガスが不活性ガスによって希釈されるので、この漏洩ガスが可燃性ガスまたは自燃性ガスであった場合においても、このガスは酸素と接触することがなく、漏洩ガス濃度は爆発限界外となり、爆発事故を未然に防ぐことができる。また、漏洩ガスが水分を含まない不活性ガスで送り出されるので、漏洩ガスが腐食性ガスであった場合でも、ガス容器２の表面には水が凝結することがなく、ガス容器２の腐食が起きることはない。
【００２９】
ガス容器２からキャップ３内に漏洩したガスは、不活性ガスによって、希釈された状態でガス導出部１６から導出管路１３に送り出されて除害筒７に流れる。除害筒７に導入された漏洩ガスは、除害筒７内の除害剤と接触する。この際、例えば漏洩ガスが毒性ガスであるアルシンまたはホスフィンであり、除害剤が塩化第二鉄を含むものである場合には、反応式（１）または（２）に示される反応により、上記漏洩ガスは毒性の低い化合物となる。
ＡｓＨ₃＋６ＦｅＣｌ₃＋３Ｈ₂Ｏ→Ｈ₃ＡｓＯ₃＋６ＦｅＣｌ₂＋６ＨＣｌ（１）
ＰＨ₃＋３ＦｅＣｌ₃＋３Ｈ₂Ｏ→Ｈ₃ＰＯ₄＋８ＦｅＣｌ₂＋８ＨＣｌ（２）
【００３０】
また、例えば漏洩ガスが可燃性ガスであるモノシランであり、除害剤が水酸化ナトリウムおよび過マンガン酸カリウムを含むものである場合には、反応式（３）に示される反応により、上記漏洩ガスは不燃性化合物となって除害される。
ＳｉＨ₄＋２ＮａＯＨ＋Ｈ₂Ｏ→Ｎａ₂ＳｉＯ₃＋４Ｈ₂ （３）
上記のようにして除害筒７内で除害されたガスは検知器８に至り、検知器８に設けられた放出口９から装置外部に放出される。
【００３１】
また、例えば反応式（１）、（２）における塩化第二鉄のような、活性のある除害剤の量が漏洩ガスとの反応によって減少し、除害筒７の除害性能が劣化することによって、漏洩ガスが除害筒７で除害処理されないまま除害筒７を通過した場合には、通過した漏洩ガスが検知器８に導入され、検知器８の検知剤がこの漏洩ガスによって変色する。これによって除害筒７の性能劣化を確認することができる。このように検知器８内の検知剤が変色が起きた場合には、該除害剤および検知剤を新しいものに交換するようにする。なお、除害剤と検知剤の交換は、除害筒７の性能劣化が起きる以前に早めに行うのがより好ましい。
【００３２】
上記のようにして、ガス容器２からの漏洩ガスを除害処理しながら、ガス容器２を搭載した除害装置１を台車１７により走行させ、必要に応じてガス容器運搬車に載せて容器修理工場等へ運搬する。
なお、除害筒７に充填した除害剤の処理対象外のガスのガス容器に漏洩が発生した場合に備えて、この対象外ガスに対応した、別の除害剤を保持する除害筒を備えた除害装置を別途用意しておくのが好ましい。
【００３３】
以上説明したように、上記構成の除害装置１では、ガス容器２の首部２ｅに装着されるキャップ３と、不活性ガスが充填された不活性ガス供給源４と、該ガス容器内のガスを除害可能な除害剤が充填された除害筒７とを有し、該キャップ３と前記不活性ガス供給源４との間に、不活性ガス供給源４内の不活性ガスをキャップ３内に導く導入管路１０ａが設けられ、該キャップ３と除害筒７との間に、キャップ３内のガスを除害筒７に導く導出管路１３が設けられた構成としたので、ガス容器２の首部２ｅから漏洩し、キャップ３内に放出されたガスを除害筒７に通し、これを除害処理することができる。
【００３４】
また、キャップ３がガス容器首部２ｅのみを覆うように設けられているので、装置全体の大きさ、重量が小さく形成され、この装置をガス容器２に装着した状態で運搬するのが容易となり、運搬の際に作業者にかかる負担を少なくすることができる。また、この装置をガス容器２に装着した状態でガス容器運搬用の車の荷台に載せるのが容易となる。
また、キャップ３をガス容器首部２ｅに被せ、キャップ３に導入管路１０ａおよび導出管路１３を接続するだけの簡単な操作でガス容器２に装着することができる。よって、容易かつ迅速に漏洩が発生したガス容器に装着して漏洩ガスの除害処理を行うことが可能となる。
従って、シリンダキャビネット内に収容されたガス容器に漏洩が発生した場合でも、ガス容器を、シリンダキャビネット内に放置することなく、直ちに容器修理工場等へ運搬することができる。
【００３５】
また、不活性ガス供給源４が設けられているので、この不活性ガスをキャップ３に導き、キャップ３内の漏洩ガスをキャップ３から順次送り出して除害筒７に導き、これを効率よく除害処理することができる。この際、漏洩ガスを不活性ガスで希釈しながら除害筒７に導くことができ、漏洩ガスが可燃性ガスの場合でも、この漏洩ガスの濃度を爆発限界外とし、漏洩ガスの爆発事故を未然に防ぐことができる。また水分を含まない不活性ガスで漏洩ガスを導出管路１３に送り出し、漏洩ガスが腐食性ガスの場合でも、ガス容器表面に水分を凝結させることなく、ガス容器の腐食を防ぐことができる。
【００３６】
また、導入管路１０ａと導出管路１３の各端部と、これら管路が接続されるキャップ３とを、嵌合時に開き、離脱時に閉じる開閉継手である開閉雄継手３ａ、３ｃおよび開閉雌継手３ｂ，３ｄで接続した構成とすることによって、導入管路１０ａ、導出管路１３が接続されていない状態のキャップ３を密閉構造とすることができる。よって、キャップ３のみをガス容器の首部に装着することで、迅速に漏洩ガスが外部に漏れない状態とすることができる。また、ガス容器首部に装着したキャップ３に、簡単な操作で導入管路１０ａおよび導出管路１３を接続することができる。
【００３７】
また、上記ガス容器２、キャップ３、不活性ガス供給源４、除害筒７等を搭載し、これらを搭載した状態で走行する台車１７を設けた構成とすることによって、漏洩が発生したガス容器２を、該漏洩ガスを除害しながら運搬するのがより容易となる。また、この装置をガス容器２に取り付けた状態でガス容器運搬用の車の荷台に載せるのが容易となり、運搬の際に作業者にかかる負担を減らすことができる。
また、除害筒７に、複数種の除害剤を保持させることによって、複数種のガスを除害可能とすることができる。
【００３８】
なお、除害筒７に保持させる除害剤としては、工場等で使用される除害処理対象ガスのうち使用頻度の高いものに対応するものを複数選択使用することによって、発生するガス漏洩のうち多くのものに対応することができる。
【００３９】
図７は、本発明の除害装置の第二の例を示すものである。
ここに示す除害装置２１は、ガス容器の首部に装着されるキャップ２３と、ガス容器内のガスを除害可能な除害剤が充填された除害筒２６とを有し、キャップ２３と除害筒２６との間に、キャップ２３内のガスを除害筒２６に導く導出管路２５が設けられた構成とされている。この例の除害装置２１は不活性ガス供給源４が設けられていない点で第一の例の除害装置１と異なる。
【００４０】
キャップ２３は、第一の例の除害装置１のキャップ３と同様に、ガス容器の首部に着脱可能に取り付けられるように設けられている。また、キャップ２３の下部には、テフロン製などのパッキン２４を取り付けるのが好ましい。
【００４１】
キャップ２３には開閉雌継手２３ｂが設けられており、この開閉雌継手２３ｂには導出管路２５の一端に設けられた開閉雄継手２３ａが嵌合されるようになっている。これら継手２３ａ、２３ｂは、先の第一の例で示した継手３ａ，３ｂと同様構造とされ、嵌合時に開状態となり、かつ離脱時に閉状態となるように構成されている。導出管路２５の他端は除害筒２６の下部に設けられたガス導入口３４に取り付けられている。
【００４２】
除害筒２６は、導出管路２５を通して除害筒２６内に導入されたガスを除害するためのもので、内部に除害剤を保持する内筒２６ａを備えている。内筒２６ａは、内筒２６ａ内の除害剤を外部から目視できるように、アクリルなどの透明な材料で形成することが好ましい。また、内筒２６ａの上下端には、上下端板２６ｂ，２６ｃが設けられ、これら端板間には複数本の補強用の保護パイプ３３が設けられている。
【００４３】
除害筒２６の上部には、除害筒２６内のガスを外部に排出するための処理ガス排出口３５が設けられている。この処理ガス排出口３５には弁３１が設けられている。また、除害筒２６上部には除害筒２６内圧を測定するための圧力計３０が設けられている。
また、処理ガス排出口３５には、除害筒２６内圧が所定値以上に高まったときに除害筒２６内のガスを排出する安全装置３２が設けられている。
【００４４】
除害筒２６に充填される除害剤としては、先の第一の例に示したものを使用して良い。この例では上記除害剤として、２種類の除害剤２７、２８を内筒２６ａ内に上下２層に配し、第１除害剤２７として、リカゾール（商品名、日本酸素製）を、第２除害剤２８としてＫＳ剤（商品名、日本酸素製）を用いた場合を示す。
【００４５】
上記リカゾールは、塩化第二鉄を含むもので、アルシン、ホスフィン、ジボラン、アンモニア等を除害処理できる除害剤である。またＫＳ剤は水酸化ナトリウムと過マンガン酸カリウムを含むもので、シラン、ジシラン、トリクロルシラン、塩化水素、セレン化水素、硫化水素、３フッ化ホウ素、塩素、臭化水素、四塩化珪素、３塩化ホウ素、２塩化シラン、ゲルマン、６フッ化タングステン、臭化水素、４フッ化珪素等のガスを除害処理できる除害剤である。
【００４６】
図７に示すようにキャップ２３をガス容器に装着していない状態では、除害筒２６の弁３１および開閉雌継手２３ｂが閉状態とされ、除害筒２６内が密閉された状態とされ、除害筒２６内部には、除害剤酸化防止用の不活性ガスが充填されていることが望ましい。この不活性ガスとしては、窒素ガス、アルゴンガス等を用いるのが好ましい。該不活性ガスは、少なくとも大気圧以上、好ましくは１０００〜２００００ｍｍＡｑ、より好ましくは１０００〜１５０００ｍｍＡｑの圧力で除害筒２６内に封入するのが望ましい。
【００４７】
また除害筒２６下部には、好ましくは深さ５ｃｍ程度に水２９を入れておくことが望ましい。この水２９は、除害筒２６内の湿度を高く維持し、除害筒２６内の除害剤を湿潤させてこの筒２６を半乾式とし、除害筒２６内に通されるガスと除害剤との接触効率を高くし、除害剤の処理性能を高く維持するためのものである。また、除害筒２６下部に水２９を配するため、この除害筒２６は、その長手方向を鉛直として設置されることが望ましい。
【００４８】
次に、上記構成の除害装置２１の使用方法を図８を参照して説明する。
ガス容器２にガス漏洩が発生した場合には、必要に応じて、作業員が漏洩ガスを吸わないように空気呼吸器（図示せず）を装着して、まずガス容器２の容器弁を閉じる。そしてパッキン２４をガス容器２の首部基部に配した後、キャップ２３を該首部基部に螺着する。この際、キャップ２３と容器首部基部との接続部が気密とならないように、キャップ２３の首部基部への締め込みをややゆるくする（この状態を以下、仮装着という）。
【００４９】
次に、導出管路２５の先端に設けられた開閉雄継手２３ａをキャップ２３の開閉雌継手２３ｂに嵌合させる。開閉雄継手２３ａを開閉雌継手２３ｂに嵌合させると、除害筒２６内に封入された不活性ガスが導出管路２５を通してキャップ２３内に送り込まれ、送り込まれた不活性ガスによって、キャップ２３内のガスがキャップ２３とガス容器２との隙間から送り出され、キャップ２３内の酸素濃度はｐｐｍオーダーまで低下する。
次に、キャップ２３をガス容器２首部に強く締め込んでキャップ２３内を密閉する（この状態を以下、本装着という）。次いで除害筒２６の処理ガス排出口３５に設けられた弁３１を開く。
【００５０】
以上の操作によって、ガス容器２から漏洩し、キャップ２３内に放出された漏洩ガスは、導出管路２５を通って、除害筒２６下部のガス導入口３４から除害筒２６内に入る。この際、キャップ２３内ガスが不活性ガスによって置換され、キャップ２３内酸素濃度が低くされているので、上記漏洩ガスが可燃性、自燃性ガスであった場合でも、このガスが酸素と反応して発火、爆発することはない。
【００５１】
除害筒２６内下部に入った漏洩ガスは上方に向かって流れ、第１除害剤２７および第２除害剤２８を通過する。上記漏洩ガスはこれら除害剤と接触し、第一の例で示したように除害される。除害された漏洩ガスは、除害筒２６上部の処理ガス排出口３５から外部に放出される。
上記のように除害装置２１を装着したガス容器を、必要に応じて台車等に搭載し、容器修理工場等へ運搬する。
【００５２】
以上説明したように、上記構成のガス除害装置２１では、ガス容器の首部に装着されるキャップ２３と、ガス容器内のガスを除害可能な除害剤が充填された除害筒２６とを有し、キャップ２３と除害筒７との間に、キャップ２３内のガスを除害筒２６に導く導出管路２５が設けられた構成としたので、先の第一の例と同様、ガス容器の首部から漏洩し、キャップ２３内に放出されたガスを除害筒２６に通し、これを除害処理することができる。
さらに、本例の除害装置２１では、装置の構造がより簡単であり、その大きさ、重量が小さく、ガス容器に装着した状態で運搬するのがより容易となる。また、ガス容器に装着する操作が簡単であり、容易にかつ迅速に、漏洩が発生したガス容器に装着して漏洩ガスを除害処理することができる。
【００５３】
また、導入管路２５の端部と、該管路が接続されるキャップ２３とを、嵌合時に開き、離脱時に閉じる開閉継手２３ａ、２３ｂで接続した構成とすることによって、簡単な操作で、ガス容器首部に装着したキャップ２３と導出管路２５を接続することができる。
【００５４】
また、除害筒２６に、大気圧より大きい圧力で不活性ガスが充填された構成とすることによって、ガス容器首部にキャップ２３を仮装着した状態で、キャップ２３と除害筒２６とを接続し、キャップ２３内に除害筒２６内の不活性ガスを導入してキャップ２３内の酸素を外部に追い出し、キャップ内酸素濃度を低くすることができる。このため、キャップ２３をガス容器首部に本装着した後、漏洩ガスを除害筒２６内に導く際には、キャップ２３内に放出される漏洩ガスが可燃性、自燃性を有するものであった場合でもこのガスの発火を未然に防ぐことができる。
また、不活性ガスを除害筒２６内に封入するので、除害筒２６内の除害剤の酸化による劣化を防止することができる。
【００５５】
なお、上記第二の例では除害筒２６内に保持される除害剤を２種類とし、これらをガス流通方向に２層に配した構成としたが、これに限らず、除害剤を３種類以上としてこれらを多層に、または混合して配した構成としても良い。
【００５６】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明の除害装置では、毒性ガスまたは可燃性ガスが充填されたガス容器の首部に装着されるキャップと、不活性ガスが充填された不活性ガス供給源と、前記ガス容器内のガスを除害可能な除害剤が充填された除害筒とを備え、前記キャップと前記不活性ガス供給源との間に、不活性ガス供給源内の不活性ガスをキャップ内に導く導入管路が設けられ、前記キャップと前記除害筒との間に、キャップ内のガスを除害筒に導く導出管路が設けられた構成としたので、ガス容器の首部から漏洩し、キャップ内に放出されたガスを除害筒に通し、これを除害処理することができる。
【００５７】
また、キャップがガス容器首部のみを覆うように設けられているので、装置全体の大きさ、重量が小さく、ガス容器に装着した状態で運搬するのが容易となり、運搬の際に作業者にかかる負担を少なくすることができる。
また、キャップをガス容器首部に被せる簡単な操作によって、ガス容器に装着することができるため、容易かつ迅速に、漏洩が発生したガス容器に装着し、漏洩ガスを除害処理することができる。
従って、シリンダキャビネット内に収容されたガス容器に漏洩が発生した場合でも、ガス容器を、シリンダキャビネット内に放置することなく、直ちに容器修理工場等へ運搬することができる。
【００５８】
また、不活性ガス供給源を設けたことによって、この不活性ガスをキャップに導き、キャップ内の漏洩ガスをキャップから順次送り出して除害筒に導き、これを効率よく除害処理することができる。この際、漏洩ガスを不活性ガスで希釈しながら除害筒に導くことができ、漏洩ガスが可燃性ガスの場合でも、この漏洩ガスの濃度を爆発限界外とし、漏洩ガスの爆発事故を未然に防ぐことができる。また水分を含まない不活性ガスで漏洩ガスを導出管路に送り出すことにより、漏洩ガスが腐食性ガスの場合でも、ガス容器表面に水分を凝結させることなく、ガス容器の腐食を防ぐことができる。
【００５９】
また、導入管路と導出管路の各端部と、それら管路が接続されるキャップとを、嵌合時に開き、離脱時に閉じる開閉継手で接続した構成とすることによって、導入管路、導出管路が接続されていない状態のキャップを密閉構造とすることができる。よって、キャップのみをガス容器の首部に装着することで、迅速に漏洩ガスが外部に漏れない状態とすることができる。また、ガス容器首部に装着したキャップに、簡単な操作で導入管路および導出管路を接続することができる。
【００６０】
また、上記ガス容器、キャップ、不活性ガス供給源、除害筒を搭載し、これらを搭載した状態で走行する走行手段を設けた構成とすることによって、漏洩が発生したガス容器を、該漏洩ガスを除害しながら運搬するのがより容易となる。
また、この装置を取り付けたガス容器をガス容器運搬用の車の荷台に載せるのが容易となり、運搬の際に作業者にかかる負担を減らすことができる。
【００６１】
また、本発明の除害装置では、毒性ガスまたは可燃性ガスが充填されたガス容器の首部に装着されるキャップと、前記ガス容器内のガスを除害可能な除害剤が充填された除害筒とを備え、前記キャップと前記除害筒との間に、キャップ内のガスを除害筒に導く導出管路が設けられた構成とすることによって、ガス容器の首部から漏洩し、キャップ内に放出されたガスを除害筒に通し、これを除害処理することができる。また装置構造がより簡単であり、装置の大きさ、重量が小さく、ガス容器に装着した状態で運搬するのがより容易となる。また、ガス容器に装着する操作が簡単であり、容易にかつ迅速に、漏洩が発生したガス容器に装着して漏洩ガスを除害処理することができる。
【００６２】
また、前記導出管路の端部と、該管路が接続されるキャップとを、嵌合時に開き、離脱時に閉じる開閉継手で接続した構成とすることによって、簡単な操作で、ガス容器首部に装着したキャップと導出管路を接続することができる。
【００６３】
また、除害筒に、大気圧より大きい圧力で不活性ガスが充填された構成とすることによって、ガス容器首部にキャップをキャップ内外にガスが出入りするように取り付けた状態でキャップと除害筒とを接続し、キャップ内に除害筒内の不活性ガスを導入してキャップ内の酸素を外部に追い出し、キャップ内酸素濃度を低くすることができる。このため、キャップをガス容器首部に気密に取り付けした後、漏洩ガスを除害筒２６内に導入する際には、除害筒に導入される漏洩ガスが可燃性、自燃性を有するものであった場合でもこのガスの発火を未然に防ぐことができる。また、除害筒内の除害剤の酸化による劣化を防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の除害装置の第一の例を示す概略構成図である。
【図２】図１に示す除害装置の要部拡大図である。
【図３】図１に示す除害装置が装着されるガス容器を示す図である。
【図４】本発明の除害装置の第一の例の正面図である。
【図５】図４に示す除害装置の側面図である。
【図６】シリンダキャビネットを示す正面図である。
【図７】本発明の除害装置の第二の例を示す概略構成図である。
【図８】図７に示す除害装置を示す概略構成図である。
【符号の説明】
１，２１・・・除害装置
２・・・ガス容器
２ｅ・・・首部
３，２３・・・キャップ
３ａ，３ｃ，２３ａ・・・開閉雄継手
３ｂ，３ｄ，２３ｂ・・・開閉雌継手
４・・・不活性ガス供給源
７，２６・・・除害筒
１０ａ・・・導入管路
１３，２５・・・導出管路
１７・・・台車（走行手段）[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a simple gas abatement apparatus that removes gas leaked from a high-pressure gas container, and in particular, a simple gas removal apparatus that can remove a leaked gas with a simple operation and that can be easily transported while attached to a high-pressure gas container. It relates to harmful equipment.
[0002]
[Prior art]
In recent years, semiconductor factories and the like have come to use a large amount of toxic and flammable gases as semiconductor manufacturing materials. Such toxic gas and combustible gas are generally used in a state of being filled in a high-pressure gas container.
The gas container is usually provided with a container valve for taking out the gas inside the container, and in the gas container, when filling the gas, transporting the gas container, or using the gas, the container valve body, A small amount of gas in the gas container may rarely leak from the screwed portion of the container valve into the gas container body.
[0003]
In the semiconductor factory or the like, in the case of such a gas leakage from the gas container, a stationary type equipped with a detoxification device that can accommodate the gas container and detoxify the gas in the gas container. A cylinder cabinet is provided, and the gas container may be used in a state of being accommodated in the cabinet. This cylinder cabinet is provided so that when gas leaks from a gas container accommodated in the cylinder cabinet, the leaked gas can be guided to the abatement device and removed. . The detoxification means that a toxic gas or a flammable gas is made safe by making it harmless or non-combustible.
[0004]
Since the cylinder cabinet is a stationary type and cannot be moved, if a gas leak occurs in the gas container, all the gas in the gas container is left by leaving the gas container in the cylinder cabinet for a long time. This gas container needs to be transported to a container repair factory or the like after being discharged, and there is a problem that this treatment takes time.
Japanese Utility Model Publication No. 63-7758 discloses a storage box for a gas container that solves this problem and can transport the gas container in a state in which leakage gas can be eliminated. The container storage box is a box for storing the entire gas container, and includes a detoxification cylinder capable of detoxifying the gas in the gas container.
[0005]
[Problems to be solved by the invention]
However, in the above prior art, the weight of the storage box is large, and there is a disadvantage that a great deal of labor is required when transporting the gas container in a state of being stored in the storage box.
Moreover, in the said storage box, when storing a gas container in this storage box, in order to store this whole gas container in a storage box, there existed a problem which required a lot of labor and labor. For this reason, when a gas leak has occurred in the gas container, there has been a dissatisfaction as an apparatus for removing the leaked gas as soon as possible.
The present invention has been made in view of the above circumstances, and when a gas leak occurs in a gas container, it can be easily and quickly attached to the gas container to remove the leaked gas, and the gas An object of the present invention is to provide a simple gas abatement apparatus that can be easily transported while removing leaked gas while attached to a container.
[0006]
[Means for Solving the Problems]
  A simple gas abatement apparatus according to claim 1 of the present invention is a cap that is detachably attached to the neck of a gas container filled with a toxic gas or a combustible gas.And beforeA detoxification cylinder filled with a detoxifying agent capable of detoxifying the gas in the gas container, and the capSaid abatement cylinderBetweenA lead-out pipe for guiding the gas in the cap to the abatement cylinder is provided, and the end of the lead-out pipe and the cap to which the pipe is connected are connected by an open / close joint that opens when fitted and closes when detached. A detoxifying device, wherein the detoxifying cylinder is filled with a plurality of types of detoxifying agents and is filled with an inert gas at a pressure greater than atmospheric pressure, Wet water is storedIt is characterized byThe
[0007]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
FIG. 1 and FIG. 2 are block diagrams showing a first example of a simple gas abatement apparatus (hereinafter, referred to as abatement apparatus) of the present invention. The abatement apparatus 1 shown here includes a cap 3 that is detachably attached to the neck of a gas container, an inert gas supply source 4 filled with an inert gas, and a gas removal that can remove gas in the gas container. An abatement tube 7 filled with a harmful agent, an introduction pipe 10a provided between the cap 3 and the inert gas supply source 4 and provided with pipes 10, 11 and 12, the cap 3 and the abatement tube 7 and a lead-out conduit 13 provided between these and a carriage 17 which is a traveling means capable of traveling in a state where the inert gas supply source 4, the cap 3 and the abatement cylinder 7 are mounted. Yes.
[0008]
Reference numeral 2 denotes a gas container to which the abatement apparatus 1 is attached. As shown in FIG. 3, the gas container 2 is configured by providing a container valve 2 c for taking out gas inside the container at a neck base 2 a at the top of the container. Examples of the gas container 2 where gas leakage is likely to occur include a container valve 2c and a threaded portion 2d of the container valve 2c into the container body. The upper part of the gas container 2 including the container valve 2c and the threaded part 2d from the neck base part 2a is hereinafter referred to as a neck part 2e.
[0009]
The inert gas supply source 4 includes a container body 4b filled with an inert gas and a container valve 4a for taking out the inert gas in the container body 4b. As this inert gas, it is preferable to use nitrogen gas, argon gas or the like. A container valve 4 a serving as a gas outlet of the inert gas supply source 4 is connected to the pressure reducing valve 5 through a pipe 10. The pressure reducing valve 5 is connected to a flow meter 6 via a pipe 11, and the flow meter 6 is connected to the cap 3 via a pipe 12.
[0010]
The cap 3 is provided so as to be screwed onto a cap mounting screw 2b formed on the neck base 2a of the gas container 2 so as to cover the neck 2e of the gas container 2.
The cap 3 has a gas introduction unit 15 for introducing the inert gas in the inert gas supply source 4 into the cap 3 and a gas deriving unit 16 for deriving the gas in the cap 3 to the outside. Is provided. The pipe 12 is connected to the gas inlet 15, and one end of the gas outlet pipe 13 is connected to the gas outlet 16.
[0011]
The gas inlet 15 and the gas outlet 16 are provided with an open / close female joint 3b and an open / close female joint 3d, respectively. Opening and closing male joints 3a and 3c are provided at the ends of the pipe 12 and the outlet conduit 13 so as to be fitted to the opening and closing female joints 3b and 3d. The open / close female joints 3b and 3d and the open / close male joints 3a and 3c are configured to be in an open state when they are fitted to each other and to be in a closed state when detached.
[0012]
An annular packing 3e formed of Teflon or the like is preferably provided at the lower portion of the cap 3 in order to improve the airtightness of the connection portion between the cap 3 and the gas container 2. In addition, in order to further improve the airtightness of the connection part between the cap 3 and the gas container 2, it is preferable that grease such as fluorine is applied to the packing 3e.
The other end of the outlet pipe 13 connected to the gas outlet 16 of the cap 3 is connected to the upper part of the abatement cylinder 7.
[0013]
The detoxification cylinder 7 is for detoxifying the leaked gas from the gas container 2 and holds therein a detoxifying agent capable of detoxifying the gas in the gas container 2. Target gases for abatement treatment are arsine, phosphine, diborane, ammonia, monosilane, disilane, trichlorosilane, hydrogen chloride, hydrogen selenide, hydrogen sulfide, boron trifluoride, chlorine, hydrogen bromide, silicon tetrachloride, three There are boron chloride, silane dichloride, germane, tungsten hexafluoride, hydrogen bromide, silicon tetrafluoride, and the like. Examples of the detoxifying agent held in the detoxifying cylinder 7 include the following. When the gas filled in the gas container 2 is arsine, phosphine, diborane, ammonia or the like, it is preferable to use a detoxifying agent containing ferric chloride.
[0014]
Gas filled in the gas container 2 is monosilane, disilane, trichlorosilane, hydrogen chloride, hydrogen selenide, hydrogen sulfide, boron trifluoride, hydrogen bromide, silicon tetrachloride, boron trichloride, silane dichloride, In the case of germane, tungsten hexafluoride, hydrogen bromide, silicon tetrafluoride, chlorine or the like, it is preferable to use a detoxifying agent containing sodium hydroxide and potassium permanganate.
[0015]
Further, the abatement cylinder 7 may be configured by holding a plurality of types of the abatement agents as described above in the abatement cylinder 7 so as to be compatible with various kinds of gases. Thus, when using multiple types of detoxifying agents, it is preferable that these detoxifying agents are laminated in the vertical direction, that is, in the gas flow direction, in multiple layers and disposed in the detoxifying cylinder 7. Further, these abatement agents may be mixed and filled in the abatement cylinder 7.
One end of a pipe 14 is connected to the lower part of the abatement cylinder 7 filled with such a detoxifying agent, and the other end of the pipe 14 is connected to the lower part of the detector 8.
[0016]
The detector 8 is in a state in which the removal of the leakage gas introduced into the removal tube 7 is insufficient due to the breakthrough of the removal agent in the removal tube 7, that is, the decrease in the amount of the active removal agent. It is for detecting. In the detector 8, when the gas to be treated in the detoxifying cylinder 7 is contained in the gas introduced into the detector 8, the gas is changed in contact with the gas, and the inside of the detoxifying cylinder 7 This is filled with a detection agent indicating that the detoxifying agent has passed through.
A discharge port 9 is provided above the detector 8, and the discharge port 9 is provided so that the gas in the detector 8 can be discharged to the outside. The detector 8 is preferably provided so that a change in the color of the internal detection agent can be visually confirmed from the outside of the detector by forming a part of the outer surface with a transparent member.
[0017]
In the detector 8, it is preferable to use a plurality of types of detectors stacked in the gas flow direction in the detector 8 so as to be compatible with various types of gases.
[0018]
4 and 5 show the external appearance of the abatement apparatus 1 having the above-described configuration. The abatement apparatus 1 is preferably provided with a container placing portion 1a for placing the gas container 2 and a band 19 for stably holding the gas container 2 on the apparatus.
[0019]
The capacity of the inert gas supply source 4 is desirably 10 l or more. This is for the following reason. If gas leaks from the container valve 2c of the gas container 2 or the screw-in part 2d, and this leaked gas forms one bubble with a diameter of 1 mm per second, the amount of leakage is about 0.08 ml / min. Assuming that the maximum leak amount of gas from the gas container 2 is a state in which bubbles having a diameter of 1 mm are continuously generated, that is, 50 times (4 ml / min) of the leak amount (0.08 ml / min), Assuming that the gas leakage occurs at this maximum leakage amount, in order to dilute the leakage gas with the inert gas of the inert gas supply source 4 to a suitable dilution concentration of 1% by volume or less, the flow rate of the inert gas is set. It is necessary to set it to 396 ml / min or more.
[0020]
When the inert gas filled in the inert gas supply source 4 is nitrogen, for example, if a 10 l gas cylinder having an internal volume of 1329 N liters is used as the nitrogen gas, the nitrogen gas is supplied at the flow rate (396 ml / min). ) For about 56 hours. Since the time required to transport the gas container 2 in which the gas leakage has occurred to the repair shop is considered to be about 48 hours at the maximum, gas leakage occurs by setting the capacity of the inert gas supply source 4 to 10 l or more. The gas container 2 can be detoxified while diluting the leaked gas from the gas container 2 to 1% by volume or less for a sufficient time to transport the gas container 2 to a repair shop or the like.
[0021]
The inner diameter of the abatement cylinder 7 is preferably about 110 mm. This is for the following reason. When the amount of gas leakage from the gas container 2 is the maximum leakage amount (4 ml / min), this gas is treated with an inert gas in the inert gas supply source 4 so that the concentration of this gas becomes 1% by volume. The flow rate of the entire gas when diluted is 400 ml / min. When the filling height of the detoxifying agent in the detoxifying cylinder 7 is, for example, about 100 mm, when this gas is passed through the detoxifying cylinder 7, the gas and the detoxifying agent are sufficiently brought into contact with each other to obtain a good detoxifying treatment In order to perform this, it is desirable that the in-cylinder flow velocity of the gas when passing through the abatement cylinder 7 is 1.0 cm / sec or less, preferably 0.1 cm / sec or less. Therefore, assuming that the linear velocity is 0.1 cm / sec, the diameter of the abatement cylinder 7 is about 110 mm.
[0022]
The length of the abatement cylinder 7 is preferably 600 to 1000 mm. This is for the following reason. The inner diameter of the abatement cylinder 7 is, for example, 110 mm, the length of the abatement cylinder 7 is 700 mm, and two kinds of the abatement agents of the same amount are placed in the middle portion of the length 600 mm excluding 50 mm at both ends of the abatement cylinder 7. When arranged in two layers in the gas flow direction, the capacity of the filling agent that can be filled is π / 4 × (110) per layer.²× 300/10⁶= 2.85 l. When the amount of gas leakage is the maximum amount of leakage (4 ml / min), the amount of gas leakage for 48 hours, which is the maximum time required to transport the gas container, is about 11.5 liters. The amount of the detoxifying agent necessary for treatment is 0.77 l even in the case of chlorine that requires the most detoxifying agent amount among the gases to be detoxified, and 2.85 l of detoxifying agent. If there is a dosage, it can respond sufficiently. In addition, when three types of pesticides of the same amount are stacked in three layers in the gas flow direction, the amount of pesticides that can be filled is 1.9 liters per layer, and this case can be handled sufficiently. Can do.
[0023]
Next, a method of using the abatement apparatus 1 having the above-described configuration is described as follows. The neck portion of the gas container 2 housed in a cylinder cabinet 18 having a glove attachment port 18b and a glove 18a attached to the attachment port as shown in FIG. As an example, a case where gas leakage has occurred will be described. In this example, the cylinder cabinet 18 is provided so that the gas container 2 in the cabinet 18 can be operated through the globe 18a without releasing the gas in the cylinder cabinet 18 to the outside. The intake pipe 18c provided in the cylinder cabinet 18 is connected to an abatement apparatus (not shown) so that the gas in the cylinder cabinet 18 can be guided to the abatement apparatus through the intake pipe 18c. .
[0024]
First, only the cap 3 is provided in the cylinder cabinet 18 in advance, and after closing the container valve 2c of the gas container 2 using the globe 18a, the cap 3 is screwed onto the neck base 2a of the gas container 2 where leakage has occurred. To wear. Here, since the cap 3 is in a state where the introduction pipe line 10a and the lead-out pipe line 13 are not connected, the gas introduction part 15 and the gas lead-out part 16 are in a closed state, and the neck part 2e including the leakage portion is sealed by the cap 3. Covered with.
[0025]
After the gas leaking portion is covered with the cap 3 in an airtight manner, the gas in the cabinet 18 is guided to the abatement device (not shown) through the intake pipe 18c, and the concentration of the leaked gas in the cabinet 18 is set to a safety standard value or less. Then, the gas container 2 to which the cap 3 is attached is carried out of the cylinder cabinet 18. As described above, the cap 3 is attached to the gas container so that the neck is hermetically covered, and then the gas container 2 is taken out of the cabinet 18 so that the gas leaked from the gas container 2 can be removed even when the cabinet 18 is indoors. There is no diffusion outside the cylinder cabinet 18 into the leak chamber.
[0026]
If the cylinder cabinet is not equipped with the globe 18a, an air respirator (not shown) is attached so that the worker does not inhale leaked gas, the cylinder cabinet door is opened, and the gas container 2 is opened. After the cap 3 is attached to the neck base 2a, the gas container 2 is carried out of the cylinder cabinet 18.
[0027]
As described above, the gas container 2 in a state where the leaked portion is airtightly covered with the cap 3 is placed on the container placing portion 1 a of the abatement apparatus 1. Immediately thereafter, the open / close male joint 3c of the lead-out conduit 13 connected to the detoxifying cylinder 7 is fitted into the open / close female joint 3d of the gas lead-out portion 16 of the cap 3 to connect the lead-out conduit 13 and the cap 3. . Then, the open / close male joint 3a of the pipe 12 serving as the flow path of the inert gas from the inert gas supply source 4 is fitted into the open / close female joint 3b of the gas introduction part 15 of the cap 3 so that the pipe 12 and the cap 3 are connected. Connecting.
[0028]
Next, the container valve 4a of the inert gas supply source 4 is opened, the flow rate of the inert gas is appropriately adjusted by the pressure reducing valve 5 and the flow meter 6, and the inert gas in the inert gas supply source 4 is capped at a constant flow rate. Flow in 3. The flow rate is preferably set so that the leaked gas from the gas container 2 can be diluted to 1% by volume or less with an inert gas. At this time, since the leaked gas is diluted with an inert gas, even if this leaked gas is a flammable gas or a self-flammable gas, this gas does not come into contact with oxygen, and the leaked gas concentration is the explosion limit. It becomes outside and can prevent an explosion accident. In addition, since the leaked gas is sent out as an inert gas not containing moisture, even when the leaked gas is a corrosive gas, water does not condense on the surface of the gas container 2, and the gas container 2 is not corroded. I don't get up.
[0029]
The gas leaked into the cap 3 from the gas container 2 is sent out from the gas outlet 16 to the outlet pipe 13 in a state diluted with an inert gas and flows into the abatement cylinder 7. The leaked gas introduced into the abatement cylinder 7 comes into contact with the abatement agent in the abatement cylinder 7. At this time, for example, when the leaking gas is a toxic gas, arsine or phosphine, and the detoxifying agent contains ferric chloride, the above leaking gas is obtained by the reaction shown in the reaction formula (1) or (2). Is a less toxic compound.
AsH_Three+ 6FeCl_Three+ 3H₂O → H_ThreeAsO_Three+ 6FeCl₂+ 6HCl (1)
PH_Three+ 3FeCl_Three+ 3H₂O → H_ThreePO_Four+ 8FeCl₂+ 8HCl (2)
[0030]
Further, for example, when the leaked gas is monosilane which is a flammable gas and the detoxifying agent contains sodium hydroxide and potassium permanganate, the leaked gas is nonflammable by the reaction shown in the reaction formula (3). It becomes a harmful compound and is abolished.
SiH_Four+ 2NaOH + H₂O → Na₂SiO_Three+ 4H₂              (3)
The gas removed in the abatement cylinder 7 as described above reaches the detector 8 and is discharged from the discharge port 9 provided in the detector 8 to the outside of the apparatus.
[0031]
Further, for example, the amount of the active detoxifying agent such as ferric chloride in the reaction formulas (1) and (2) is reduced by the reaction with the leaked gas, and the detoxifying performance of the detoxifying cylinder 7 is deteriorated. Thus, when the leaked gas passes through the abatement cylinder 7 without being detoxified by the abatement cylinder 7, the leaked gas that has passed through is introduced into the detector 8, and the detection agent of the detector 8 is absorbed by the leaked gas. Discolor. As a result, the performance deterioration of the abatement cylinder 7 can be confirmed. In this way, when the color of the detection agent in the detector 8 is changed, the detoxifying agent and detection agent are replaced with new ones. It should be noted that the exchange of the detoxifying agent and the detecting agent is more preferably carried out earlier before the performance deterioration of the detoxifying cylinder 7 occurs.
[0032]
As described above, the abatement apparatus 1 equipped with the gas container 2 is caused to travel by the carriage 17 while removing the leaked gas from the gas container 2, and placed on the gas container transport vehicle as necessary to repair the container. Transport to factories.
In addition, in the case where leakage occurs in the gas container of the gas not to be processed by the gas removing agent 7 filled in the gas removing tube 7, the gas removing tube that holds another gas removing agent corresponding to the gas other than the object gas. It is preferable to separately prepare an abatement apparatus provided with
[0033]
As described above, in the abatement apparatus 1 configured as described above, the cap 3 attached to the neck 2e of the gas container 2, the inert gas supply source 4 filled with the inert gas, and the gas in the gas container And a detoxifying cylinder 7 filled with a detoxifying agent capable of detoxifying, and the inert gas in the inert gas supply source 4 is capped between the cap 3 and the inert gas supply source 4. 3 is provided with a lead-in conduit 10a that leads into the cap 3, and a lead-out conduit 13 that guides the gas in the cap 3 to the scavenger tube 7 between the cap 3 and the scavenger tube 7. The gas leaked from the neck 2e of the gas container 2 and released into the cap 3 can be passed through the abatement cylinder 7 to be subjected to the abatement process.
[0034]
In addition, since the cap 3 is provided so as to cover only the gas container neck 2e, the overall size and weight of the device are formed small, and it becomes easy to carry the device while being attached to the gas container 2, The burden on the operator during transportation can be reduced. Moreover, it becomes easy to mount this apparatus on the loading platform of the vehicle for transporting the gas container in a state where the apparatus is mounted on the gas container 2.
Moreover, the cap 3 can be attached to the gas container 2 by a simple operation by simply covering the gas container neck 2e and connecting the inlet pipe 10a and the outlet pipe 13 to the cap 3. Therefore, it becomes possible to remove the leaked gas by attaching it to the gas container where the leak has occurred easily and quickly.
Accordingly, even when a leak occurs in the gas container accommodated in the cylinder cabinet, the gas container can be immediately transported to a container repair shop or the like without being left in the cylinder cabinet.
[0035]
Further, since the inert gas supply source 4 is provided, the inert gas is led to the cap 3, and the leaked gas in the cap 3 is sequentially sent out from the cap 3 and led to the detoxification cylinder 7, which is efficiently removed. Can be harmed. At this time, the leaked gas can be guided to the abatement cylinder 7 while being diluted with an inert gas. Even when the leaked gas is a flammable gas, the concentration of the leaked gas is outside the explosion limit, It can be prevented in advance. Further, even when the leaking gas is sent to the outlet pipe 13 with an inert gas not containing moisture and the leaking gas is a corrosive gas, corrosion of the gas container can be prevented without condensing moisture on the surface of the gas container.
[0036]
In addition, the opening and closing male joints 3a and 3c and the opening and closing females, which are opening / closing joints that open at the time of fitting and close the cap 3 to which these pipes are connected, are connected to the ends of the introduction pipe line 10a and the outlet pipe line 13. By adopting a configuration in which the joints 3b and 3d are connected, the cap 3 in a state where the introduction pipe line 10a and the outlet pipe line 13 are not connected can be formed into a sealed structure. Therefore, by attaching only the cap 3 to the neck of the gas container, the leaked gas can be quickly prevented from leaking outside. Further, the inlet conduit 10a and the outlet conduit 13 can be connected to the cap 3 attached to the gas container neck by a simple operation.
[0037]
Further, the gas container 2, the cap 3, the inert gas supply source 4, the abatement cylinder 7, and the like are mounted, and the carriage 17 that travels in a state in which these are mounted is provided, so that the leaked gas is generated. It becomes easier to transport the container 2 while removing the leaked gas. Moreover, it becomes easy to mount this apparatus on the loading platform of the gas container transporting vehicle in a state of being attached to the gas container 2, and the burden on the operator during transport can be reduced.
Further, by holding a plurality of types of detoxifying agents in the abatement cylinder 7, it is possible to detoxify a plurality of types of gases.
[0038]
In addition, as a detoxifying agent to be held in the detoxifying cylinder 7, by selecting and using a plurality of detoxifying treatment target gases used in factories or the like corresponding to frequently used gas, Many of them can be handled.
[0039]
FIG. 7 shows a second example of the abatement apparatus of the present invention.
The abatement apparatus 21 shown here has a cap 23 attached to the neck of the gas container, and a detoxification cylinder 26 filled with a detoxifying agent capable of detoxifying the gas in the gas container. A lead-out conduit 25 that guides the gas in the cap 23 to the detoxifying cylinder 26 is provided between the detoxifying cylinder 26 and the detoxifying cylinder 26. The abatement apparatus 21 of this example is different from the abatement apparatus 1 of the first example in that the inert gas supply source 4 is not provided.
[0040]
The cap 23 is provided so as to be detachably attached to the neck portion of the gas container, similarly to the cap 3 of the abatement apparatus 1 of the first example. In addition, a packing 24 made of Teflon or the like is preferably attached to the lower portion of the cap 23.
[0041]
The cap 23 is provided with an open / close female joint 23 b, and the open / close female joint 23 b is fitted with an open / close male joint 23 a provided at one end of the outlet pipe 25. These joints 23a and 23b have the same structure as the joints 3a and 3b shown in the first example, and are configured to be opened when fitted and closed when detached. The other end of the outlet conduit 25 is attached to a gas inlet 34 provided at the lower portion of the abatement tube 26.
[0042]
The detoxifying cylinder 26 is for detoxifying the gas introduced into the detoxifying cylinder 26 through the lead-out conduit 25, and includes an inner cylinder 26a for holding a detoxifying agent therein. The inner cylinder 26a is preferably formed of a transparent material such as acrylic so that the detoxifying agent in the inner cylinder 26a can be seen from the outside. Further, upper and lower end plates 26b and 26c are provided at the upper and lower ends of the inner cylinder 26a, and a plurality of reinforcing protection pipes 33 are provided between the end plates.
[0043]
A processing gas discharge port 35 for discharging the gas in the detoxifying cylinder 26 to the outside is provided at the upper part of the detoxifying cylinder 26. The processing gas discharge port 35 is provided with a valve 31. Further, a pressure gauge 30 for measuring the internal pressure of the abatement cylinder 26 is provided on the top of the abatement cylinder 26.
The processing gas discharge port 35 is provided with a safety device 32 that discharges the gas in the abatement cylinder 26 when the internal pressure of the abatement cylinder 26 increases to a predetermined value or more.
[0044]
As the detoxifying agent filled in the detoxifying cylinder 26, the one shown in the first example may be used. In this example, as the above-mentioned detoxifying agents, two types of detoxifying agents 27 and 28 are arranged in two layers in the upper and lower cylinders 26a, and as the first detoxifying agent 27, ricazole (trade name, manufactured by Nippon Oxygen) is used. The case where a KS agent (trade name, manufactured by Nippon Oxygen) is used as the second detoxifying agent 28 is shown.
[0045]
The licazole contains ferric chloride and is a detoxifying agent capable of detoxifying arsine, phosphine, diborane, ammonia and the like. The KS agent contains sodium hydroxide and potassium permanganate. Silane, disilane, trichlorosilane, hydrogen chloride, hydrogen selenide, hydrogen sulfide, boron trifluoride, chlorine, hydrogen bromide, silicon tetrachloride, 3 It is a detoxifying agent capable of detoxifying gases such as boron chloride, dichloride silane, germane, tungsten hexafluoride, hydrogen bromide, and silicon tetrafluoride.
[0046]
In the state where the cap 23 is not attached to the gas container as shown in FIG. 7, the valve 31 and the open / close female joint 23b of the abatement tube 26 are closed, and the inside of the abatement tube 26 is sealed, It is desirable that the inside of the removal cylinder 26 is filled with an inert gas for preventing the removal of the harmful agent. As this inert gas, it is preferable to use nitrogen gas, argon gas or the like. The inert gas is desirably enclosed in the abatement tube 26 at a pressure of at least atmospheric pressure, preferably 1000 to 20000 mmAq, more preferably 1000 to 15000 mmAq.
[0047]
In addition, it is desirable to put water 29 in the lower part of the abatement cylinder 26, preferably at a depth of about 5 cm. The water 29 maintains the humidity in the abatement cylinder 26 high, wets the abatement agent in the abatement cylinder 26 to make the cylinder 26 a semi-dry type, and removes the gas passed through the abatement cylinder 26. This is for increasing the contact efficiency with the harmful agent and maintaining the treatment performance of the harmful agent high. Moreover, in order to distribute the water 29 to the lower part of the abatement cylinder 26, it is desirable that the abatement cylinder 26 be installed with its longitudinal direction vertical.
[0048]
Next, a method of using the abatement apparatus 21 having the above configuration will be described with reference to FIG.
If a gas leak occurs in the gas container 2, an air respirator (not shown) is attached as necessary so that the worker does not inhale the leaked gas, and the container valve of the gas container 2 is first closed. . Then, after the packing 24 is disposed on the neck base of the gas container 2, the cap 23 is screwed onto the neck base. At this time, the cap 23 is slightly loosened into the neck base so that the connection between the cap 23 and the container neck base is not airtight (this state is hereinafter referred to as provisional mounting).
[0049]
Next, the open / close male joint 23 a provided at the tip of the outlet pipe 25 is fitted into the open / close female joint 23 b of the cap 23. When the open / close male joint 23a is fitted to the open / close female joint 23b, the inert gas sealed in the detoxification cylinder 26 is sent into the cap 23 through the outlet pipe 25, and the cap 23 is fed by the supplied inert gas. The gas inside is sent out from the gap between the cap 23 and the gas container 2, and the oxygen concentration in the cap 23 falls to the ppm order.
Next, the cap 23 is tightly fastened to the neck portion of the gas container 2 to seal the inside of the cap 23 (this state is hereinafter referred to as main mounting). Next, the valve 31 provided at the processing gas discharge port 35 of the abatement cylinder 26 is opened.
[0050]
Through the above operation, the leaked gas leaked from the gas container 2 and released into the cap 23 passes through the lead-out conduit 25 and enters the abatement cylinder 26 from the gas inlet 34 below the abatement cylinder 26. At this time, since the gas in the cap 23 is replaced with an inert gas and the oxygen concentration in the cap 23 is lowered, this gas reacts with oxygen even if the leakage gas is a flammable or self-flammable gas. Will not ignite or explode.
[0051]
The leaked gas that has entered the lower part of the detoxifying cylinder 26 flows upward and passes through the first detoxifying agent 27 and the second detoxifying agent 28. The leaked gas comes into contact with these detoxifying agents and is detoxified as shown in the first example. The leaked gas that has been removed is discharged to the outside from the processing gas discharge port 35 at the top of the removal tube 26.
The gas container equipped with the abatement apparatus 21 as described above is mounted on a cart or the like as necessary, and is transported to a container repair factory or the like.
[0052]
As described above, in the gas abatement apparatus 21 configured as described above, the cap 23 attached to the neck of the gas container, and the abatement cylinder 26 filled with a detoxifying agent capable of detoxifying the gas in the gas container. Since the outlet pipe 25 for guiding the gas in the cap 23 to the abatement cylinder 26 is provided between the cap 23 and the abatement cylinder 7, as in the first example, The gas leaked from the neck of the gas container and released into the cap 23 can be passed through the abatement tube 26 to be removed.
Furthermore, in the abatement apparatus 21 of this example, the structure of the apparatus is simpler, its size and weight are small, and it is easier to carry it while attached to the gas container. Further, the operation of mounting on the gas container is simple, and it is possible to easily and quickly mount the gas container on which leakage has occurred to remove the leakage gas.
[0053]
In addition, by adopting a configuration in which the end portion of the introduction pipe line 25 and the cap 23 to which the pipe line is connected are connected by the open / close joints 23a and 23b that are opened when fitted and closed when detached, The cap 23 attached to the gas container neck and the outlet conduit 25 can be connected.
[0054]
Further, by making the abatement tube 26 filled with an inert gas at a pressure greater than atmospheric pressure, the cap 23 and the abatement tube 26 are connected in a state where the cap 23 is temporarily attached to the neck of the gas container. Then, the inert gas in the detoxification cylinder 26 can be introduced into the cap 23 to drive out oxygen in the cap 23 to the outside, and the oxygen concentration in the cap can be lowered. For this reason, when the leaked gas is introduced into the abatement cylinder 26 after the cap 23 is permanently attached to the neck of the gas container, the leaked gas released into the cap 23 is flammable and self-combustible. Even in this case, this gas can be prevented from firing.
Further, since the inert gas is sealed in the abatement cylinder 26, deterioration due to oxidation of the abatement agent in the abatement cylinder 26 can be prevented.
[0055]
  In the second example, two types of the detoxifying agents held in the detoxifying cylinder 26 are provided and arranged in two layers in the gas flow direction. However, the present invention is not limited to this.WithoutThree or more harmful agents may be used, and these may be arranged in multiple layers or mixed.
[0056]
【The invention's effect】
As described above, in the abatement apparatus of the present invention, the cap attached to the neck of the gas container filled with toxic gas or combustible gas, the inert gas supply source filled with inert gas, A detoxification cylinder filled with a detoxifying agent capable of detoxifying the gas in the gas container, and the inert gas in the inert gas supply source is placed in the cap between the cap and the inert gas supply source. Since an introduction conduit for guiding the gas in the cap to the detoxifying cylinder is provided between the cap and the detoxifying cylinder, the lead pipe leaks from the neck of the gas container. The gas released into the cap can be passed through the detoxification cylinder and detoxified.
[0057]
In addition, since the cap is provided so as to cover only the neck of the gas container, the overall size and weight of the apparatus are small, and it is easy to transport while attached to the gas container. The burden can be reduced.
Moreover, since it can be attached to the gas container by a simple operation of putting the cap on the neck of the gas container, it can be easily and quickly attached to the gas container in which leakage has occurred, and the leaked gas can be detoxified.
Accordingly, even when a leak occurs in the gas container accommodated in the cylinder cabinet, the gas container can be immediately transported to a container repair shop or the like without being left in the cylinder cabinet.
[0058]
Further, by providing the inert gas supply source, the inert gas can be guided to the cap, and the leaked gas in the cap can be sequentially sent out from the cap and guided to the detoxification cylinder, which can be efficiently detoxified. . At this time, the leaked gas can be guided to the abatement cylinder while being diluted with an inert gas, and even if the leaked gas is a flammable gas, the concentration of the leaked gas is outside the explosion limit, and an explosion accident of the leaked gas has occurred. Can be prevented. Moreover, even if the leaking gas is a corrosive gas, the gas container can be prevented from corroding without condensing moisture on the surface of the gas container by sending the leaked gas to the outlet pipe with an inert gas that does not contain moisture. .
[0059]
In addition, each end of the introduction pipe line and the lead-out pipe line and a cap to which the pipe lines are connected are connected by an open / close joint that is opened at the time of fitting and closed at the time of disengagement. The cap in a state where the pipe line is not connected can be a sealed structure. Therefore, by attaching only the cap to the neck of the gas container, the leaked gas can be quickly prevented from leaking to the outside. Further, the introduction conduit and the discharge conduit can be connected to the cap attached to the gas container neck by a simple operation.
[0060]
Further, by installing the gas container, the cap, the inert gas supply source, the abatement cylinder, and the traveling means for traveling in a state in which these are mounted, the gas container in which the leakage has occurred It becomes easier to transport while removing gas.
In addition, it becomes easy to place the gas container with this device mounted on the loading platform of the vehicle for transporting the gas container, and the burden on the operator during transportation can be reduced.
[0061]
In the abatement apparatus of the present invention, a cap attached to the neck of a gas container filled with a toxic gas or a flammable gas, and a decontamination filled with a detoxifying agent capable of detoxifying the gas in the gas container. A detriment cylinder, and a discharge pipe for guiding the gas in the cap to the detoxification cylinder is provided between the cap and the decontamination cylinder, so that the cap leaks from the neck of the gas container. The gas released into the inside can be passed through a detoxifying cylinder, which can be detoxified. In addition, the device structure is simpler, the size and weight of the device are small, and it is easier to carry while attached to the gas container. Further, the operation of mounting on the gas container is simple, and it is possible to easily and quickly mount the gas container on which leakage has occurred to remove the leakage gas.
[0062]
In addition, by adopting a configuration in which the end of the outlet pipe and the cap to which the pipe is connected are connected by an open / close joint that opens when fitted and closes when detached, the gas container neck can be easily operated. The attached cap and the outlet pipe line can be connected.
[0063]
In addition, since the abatement cylinder is filled with an inert gas at a pressure greater than atmospheric pressure, the cap and the abatement cylinder can be installed with the cap attached to the gas container neck so that the gas enters and exits the cap. And the inert gas in the detoxification cylinder is introduced into the cap to drive out oxygen in the cap to the outside, and the oxygen concentration in the cap can be lowered. For this reason, when the leaked gas is introduced into the abatement cylinder 26 after the cap is hermetically attached to the neck of the gas container, the leaked gas introduced into the abatement cylinder has flammability and self-flammability. Even in the case of fire, this gas can be prevented from firing. Further, it is possible to prevent deterioration due to oxidation of the detoxifying agent in the detoxifying cylinder.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a schematic configuration diagram showing a first example of an abatement apparatus of the present invention.
FIG. 2 is an enlarged view of a main part of the abatement apparatus shown in FIG.
FIG. 3 is a view showing a gas container to which the abatement apparatus shown in FIG. 1 is attached.
FIG. 4 is a front view of a first example of the abatement apparatus of the present invention.
FIG. 5 is a side view of the abatement apparatus shown in FIG.
FIG. 6 is a front view showing a cylinder cabinet.
FIG. 7 is a schematic configuration diagram showing a second example of the abatement apparatus of the present invention.
FIG. 8 is a schematic configuration diagram showing the abatement apparatus shown in FIG.
[Explanation of symbols]
1, 21 ... Detoxifying device
2 ... Gas container
2e ... neck
3,23 ... Cap
3a, 3c, 23a ... Opening and closing male joint
3b, 3d, 23b ... Opening / closing female joint
4 ... Inert gas supply source
7, 26 ... abatement tube
10a: Introductory pipeline
13, 25 ... Derived pipeline
17 ... Carriage (traveling means)

Claims

A cap that is detachably attached to the neck of a gas container filled with a toxic gas or a flammable gas, and a detoxification cylinder filled with a detoxifying agent capable of detoxifying the gas in the gas container; A lead-out pipe that guides gas in the cap to the scrubber is provided between the cap and the scrubber, and the end of the lead-out pipe and the cap to which the pipe is connected are fitted. A detoxifying device connected by an open / close joint that opens at the time of closing and closes at the time of disengagement, wherein the detoxifying cylinder is filled with a plurality of types of detoxifying agents, and inert gas is supplied at a pressure greater than atmospheric pressure. A simple gas abatement apparatus, which is enclosed and stores water for wetting at the bottom of the abatement cylinder.