JP3739714B2 - 磁気記録媒体の検査方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、コンピュータの外部記憶装置等として使用される磁気記憶装置に搭載される磁気記録媒体の検査方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
近年、情報処理技術の高度化に伴い、磁気記憶装置に対する記憶容量の増大化が求められている。磁気記憶装置の記憶容量を増大する方策として、例えば、磁気記憶装置の代表的な磁気ディスク装置では磁気記録媒体として用いる磁気ディスクの枚数を増加することが挙げられる。しかし、磁気ディスク装置の限られたスペースに搭載可能な磁気ディスクの枚数には限界があり、この方策だけでは記憶容量増大化の要求を満足することは困難である。
【0003】
そこで、磁気記録媒体の高記録密度化が求められている。磁気記録媒体の高記録密度化の方策としては、線記録密度及びトラック密度を向上する手法が従来から検討されている。
【0004】
線記録密度向上の手法の1つとして、データの書込み及び読出しを行う磁気ヘッドの磁極表面と磁気記録媒体の磁性層表面間との距離である磁気スペーシングを低減することが挙げられる。具体的には、磁気スペーシングは、磁気記録媒体及び磁気ヘッドの磁極の保護膜の膜厚と、磁気ヘッドの浮上量との和であるので、磁気スペーシングを低減するためには、これらの保護膜の薄膜化とともに、磁気ヘッドの浮上量を低減することが必要となる。
【0005】
そこで、磁気ヘッドの浮上量を低減すると、磁気記録媒体の表面の突起が問題となるため、磁気記録媒体の最終製造工程では、磁気記録媒体の表面の平滑性を保証するための検査が行われている。例えば、磁気ディスクの場合は、グライド検査が磁気ディスクの全数について行われている。グライド検査は、磁気ディスクの表面の比較的大きな突起、すなわちヘッドクラッシュの原因となる突起を欠陥として検出する検査である。なお、ヘッドクラッシュとは、磁気ディスク装置においてデータの書込み及び読出しを行う磁気ヘッドが、磁気ディスク表面の比較的大きな突起に何度も接触し、その突起の部分から磁気ディスクの表面の損傷が広い範囲に拡大して、読み出しエラーとなる現象であり、また、磁気ヘッドの浮上面に、磁気ディスクの表面の損傷により発生したダストが付着し、磁気ヘッドの浮上安定性が損なわれ、読み出しエラーとなる現象である。
【0006】
以下、図1を参照しながら、磁気ディスクのグライド検査の概要を説明する。図1(A)は、磁気ディスク表面の断面形状と突起を検出するための構成の概略を示した図であり、図1(B)は、グライド検査用ヘッドに配設した接触検出センサからの出力信号の一例を示した図である。
【0007】
図1(A)に示すように、磁気ディスク10の表面から所定の浮上量でグライド検査ヘッド11を磁気ディスク面上に浮上させる。この浮上量を浮上保証高さ(グライドハイト12)という。グライド検査ヘッド11は、磁気ディスク10の回転により流入する空気流AIRにより、グライド検査ヘッド11の前端部11−1が高く、後端部11−2が低い浮上姿勢となる。したがって、グライド検査ヘッド11の磁気ディスク10と対向する浮上面の後端部11−2が最下点となり、この後端部11−2と磁気ディスク10の表面との距離がグライドハイト12となる。
【0008】
磁気ディスク10の表面の突起13の高さがグライドハイト12より高い場合は、グライド検査用ヘッド11がこの突起13に接触し、その衝撃波がグライド検査用ヘッド11のスライダ上面に配設された接触検知センサ14に伝播し、この接触検知センサ14に電圧が誘起され、この電圧が接触検知センサ14の出力信号となる。
【0009】
図1(B)は、この出力信号を示している。出力信号は接触検知センサ14に接続された信号解析装置15により所定の閾値17を超えた出力信号のピーク16が検出され、このピーク16に対応する突起13が欠陥として検出される。
【0010】
ここで、閾値17は以下の測定により決定されたものである。数μm以上の直径の突起であって、所定のグライドハイト12より高い種々の突起を有する磁気ディスクを用意する。上述したグライド検査方法と同様に、磁気ディスク10を回転させ、所定のグライドハイト12で浮上するグライド検査用ヘッド11がかかる突起に接触したときの出力信号のピーク高さを測定し、このピーク高さより低い電圧で、かつ出力信号のノイズに対して十分にS/N比が確保できる電圧に閾値17を選ぶ。
【0011】
そして、上述した欠陥を1箇所でも有する磁気ディスクは通常、不良品として、磁気ディスク表面の再加工工程に送られるか、廃棄され、磁気ディスク装置に組み込まれることはない。もしこのような欠陥を有する磁気ディスクが磁気ディスク装置に組み込まれると、ヘッドクラッシュが発生してしまう。
【0012】
したがって、磁気ヘッドの浮上量を低減するためには、グライド検査により磁気ディスク装置において問題となる突起の検出が正確に行われることが求められる。
【0013】
【発明が解決しようとする課題】
他方、トラック密度を向上するために、狭小なトラック幅でも読出し出力が確保されるMRヘッドやスピンバルブヘッドが磁気記憶装置に採用されている。これらの磁気ヘッドの素子部は、多層の薄膜から構成されており、素子部の浮上面側に保護膜が設けられているものの、素子部に突起が接触すると、傷付けられ損傷してしまう。
【0014】
上述した従来の検査法では、欠陥であると判定されていなかった微小な、例えば直径の小さな突起であっても、その突起の断面積が小さいため接触圧力が高く、素子部にこのような微小突起が接触すると、素子部が傷付けられ損傷する可能性が高い。さらに、近年、素子幅は1μmを下回るものが生産されてきており、かかる狭小な幅の素子部に磁気ディスクの1μm以下の直径の突起が接触した場合、高い接触圧力により素子部が損傷し、この磁気ヘッドは読出し不能となるという障害を生じてしまう。
【0015】
このような微小突起に対する接触検知センサの出力信号のピーク値は、従来のグライド検査の閾値の1/2程度であり、従来のグライド検査では、かかる突起は検出されていなかった。
【0016】
そこで、グライド検査の閾値を従来の閾値の1/2以下とすれば、かかる微小突起の検出が可能であると考えることもできる。しかし、この場合、磁気ディスク装置に組み込んでも問題とならない突起をも欠陥として検出したり、接触検知センサからの出力信号に含まれるノイズを欠陥であると検出してしまうこともある。このような場合、本来良品である磁気ディスクを不良品としてしまい、グライド検査の歩留まり及び信頼性を著しく低下させてしまう。
【0017】
したがって、本発明は上記の実情に鑑みてなされたものであり、本発明の目的は、従来の検査方法で検出できなかった磁気記録媒体の表面の微小突起を、誤検出なく高精度に検出することができる検査方法を提供することである。また、従来の検査方法で検出可能であったヘッドクラッシュの原因となる突起を同時に検出することも可能な検査方法を提供することである。
【0018】
【課題を解決するための手段】
上記の目的は請求項1に記載の如く、磁気記録媒体の表面の欠陥となる突起を検出する磁気記録媒体の検査方法であって、移動する前記磁気記録媒体の表面から所定の高さでグライド検査ヘッドを浮上させ、前記グライド検査ヘッドに配設した接触検知センサの出力信号に対して所定の閾値を設け、前記所定の閾値を超える出力信号の継続時間が、グライド検査ヘッドが突起に衝突する際に受ける圧力に基づいて決定した継続時間の閾値を超える場合に、該突起を欠陥と判定することにより達成される。
【0019】
磁気記録媒体の表面には種々の大きさ及び高さの突起が存在する。本発明によれば、従来の検査方法では検出できなかった微小突起、例えば直径の小さな突起を誤検出なく高精度に検出することができる。
【0020】
その理由は以下の通りである。従来の検査方法により検出可能である比較的大きな突起例えば直径の大きな突起は、グライド検査ヘッドがこのような突起に接触すると、このグライド検査ヘッドから突起に接触力が働くとともに、この突起からの反力がグライド検査ヘッドに働き、このグライド検査ヘッドの浮上量が増加し、グライド検査ヘッドの最下点が突起を通過する前に接触状態が中断してしまう。しかし、微小突起例えば直径の小さな突起は、この突起からの反力がグライド検査ヘッドに同様に働くが、この反力が小さくかつ突起から弾性的に働くため、グライド検査ヘッドの最下点が突起を通過するまで接触状態が持続する。したがって、このような微小突起の場合は、上記の比較的大きな突起の場合より接触の持続時間が長くなる。よって、接触の持続時間に基づいて微小突起の検出が可能となる。
【0021】
そして、欠陥となるこのような微小突起を有する磁気記録媒体を不良品として排除することにより、磁気記憶装置に備えられたMRヘッド等の素子部が損傷し、データの読出しが不能となる障害の発生が防止され、磁気記憶装置の信頼性を向上することができる。
【0023】
接触検知センサの出力信号が電圧である場合は、この出力信号に対する所定の基準電圧は、従来の検査方法の閾値より低く、さらにグライド検査ヘッドが微小突起に接触するときの出力信号より低く、出力信号に重畳するノイズレベルに近くなる。しかし、本発明によれば、かかる基準電圧を超える出力信号の継続時間に基づいて突起を検出するので、より高周波すなわち継続時間の短いノイズの影響は少ない。したがって、磁気記録媒体表面の微小突起を高精度に検出することができる。
【0024】
また、請求項2に記載される如く、請求項1に記載の磁気記録媒体の検査方法において、前記出力信号のピーク高さに基づいて前記突起をさらに欠陥と判定する。磁気記録媒体表面の微小突起のみならず、ヘッドクラッシュの原因となる比較的大きな突起をも同時に検出することができる。
また、請求項3に記載される如く、請求項1に記載の磁気記録媒体の検査方法において、前記所定の閾値よりも高い他の閾値をさらに設け、前記出力信号が、前記他の閾値を超える場合も前記突起を欠陥と判定する。磁気記憶装置において問題とならない中間的な大きさの突起を検出しないようにすることができ、微小突起及び比較的大きな突起を、より正確に検出することができる。
【0025】
また、請求項4に記載される如く、磁気記録媒体の表面の欠陥となる突起を検出する磁気記録媒体の検査方法であって、移動する前記磁気記録媒体の表面から所定の高さでグライド検査ヘッドを浮上させ、前記グライド検査ヘッドに配設した接触検知センサの出力信号に対して所定の閾値を設け、前記所定の閾値を超える出力信号の継続時間と該出力信号のピーク高さとの重み付き線形和又は重み付き二乗和の値が、グライド検査ヘッドが突起に衝突する際に受ける圧力および接触力に基づいて決定した他の閾値を超える場合に、該突起を欠陥と判定する。磁気記憶装置において問題とならない中間的な大きさの突起を検出しないようにすることができ、微小突起及び比較的大きな突起を、より正確に検出することができる。
【0026】
さらに、請求項5に記載される如く、磁気記録媒体の表面の欠陥となる突起を検出する磁気記録媒体の検査方法であって、移動する前記磁気記録媒体の表面から所定の高さでグライド検査ヘッドを浮上させ、前記グライド検査ヘッドに配設した接触検知センサの出力信号に対して所定の閾値を設け、前記所定の閾値を超える出力信号の時間積分値が、グライド検査ヘッドが突起に衝突する際に受ける圧力および接触力に基づいて決定したその他の閾値を超える場合に、該突起を欠陥と判定する。
【0027】
接触検知センサの出力信号が電圧である場合は、この出力信号に対する所定の基準電圧は、従来の検査方法の閾値より低く、さらにグライド検査ヘッドが微小突起に接触するときの出力信号より低く、出力信号に重畳するノイズレベルに近くなる。しかし、本発明によれば、かかる基準電圧を超える出力信号の継続時間に渡って出力信号値を積分して時間積分値を求め、この時間積分値に対して閾値を設定して突起を検出するので、ヘッドと突起との接触により生じた出力信号より高周波であるノイズの影響は少ない。したがって、磁気記録媒体表面の微小突起を高精度に検出することができ、さらにヘッドクラッシュの原因となる比較的大きな突起をも同時に検出することができる。
【0028】
【発明の実施の形態】
まず、磁気記録媒体である磁気ディスクを例として、本発明に至った経緯を以下に説明する。
【0029】
本発明者は、磁気ディスク表面の種々の大きさの突起について、グライド検査ヘッドの浮上量、磁気ディスクの回転速度等のパラメータを組み合わせて種々の解析的検討を行い、図2に示す結果を得た。図2は、グライド検査用ヘッドが、磁気ディスク表面の突起に接触したときのグライド検査用ヘッドに配設した接触検知センサの一種であるピエゾ素子の出力信号のピーク高さと接触力との関係を示した図である。ここで接触力は、グライド検査用ヘッドが、磁気ディスク表面の突起に接触したときに、接触面間に働く垂直方向の力で、弾性接触力学より導出される非線形運動方程式を解くことによって理論的に求めたものである。
【0030】
図2によれば、ピエゾ素子の出力信号のピーク高さは接触力にほぼ比例することが分かる。従来の検査方法は、ピエゾ素子からの出力信号のピーク高さに対して閾値を設けているので、一定の接触力より大きな接触力を生じる突起を検出している。
【0031】
図3は、この接触力と突起の直径及びオーバーラップ高さとの関係を示した図であり、log10(接触力(N))の値でマッピングしてある。ここで、突起の直径は、磁気ディスク表面における突起の直径であり、オーバーラップ高さとは、突起高さとグライド検査ヘッドの浮上量すなわちグライドハイトとの差である。例えば、オーバーラップ高さが正であるときは、突起高さがグライドハイトより高いことを意味する。
【0032】
図3によれば、接触力が大きい突起とは、突起の直径が大きく、オーバーラップ高さが大きい突起であることが分かる。なお、従来の検査方法により検出していた突起の直径の下限は、log10(接触力(N))=−3.6付近となる。したがって、この境界より左側にある突起、すなわち、直径の小さな突起は従来の検査方法では検出していなかったことが分かる。
【0033】
一方、磁気ディスク装置のMRヘッド等の素子部が磁気ディスク表面の突起に傷付けられ、損傷する場合に問題となるのは、このような素子部が突起と接触するときの接触力自体ではなく、接触力を接触面積で除した値である接触圧力である。その理由は仮に接触力が等しい場合であっても、太い突起よりも細い突起の方が、接触面積が小となり、接触圧力が高くなり、素子部の保護膜及び素子部自体を傷つけ、破壊する可能性が大きいからである。
【0034】
図4は、この接触圧力と突起の直径及びオーバーラップ高さとの関係を示した図であり、log10(接触圧力(Pa))の値でマッピングしてある。
【0035】
図4によれば、左上側、すなわち突起の直径が小さくかつオーバラップ高さが大きい突起ほど接触圧力が高く、すなわちMRヘッド等の素子部が損傷する可能性が大きくなっていることが分かる。
【0036】
したがって、図3及び図4より、従来の検査方法では検出されない直径が小さい突起ほどMRヘッド等の素子部との接触圧力が高く、それ故に、素子部を傷付け、損傷させる可能性が大きいことが理解できる。グライド検査において、かかる突起を検出し、そのような磁気ディスクは不良品と判定することが求められる。
【0037】
しかしながら、接触圧力に比例関係等を有して信号を発生する高速なセンサは、そのセンサの感度や大きさから採用が困難であるので、本発明者は、グライド検査ヘッドと突起との接触の現象から、この接触の持続時間について調査を行ない、下記の発明に至ったものである。
【0038】
グライド検査ヘッドと磁気ディスクとの接触の持続時間とは、磁気ディスク表面の突起がグライド検査ヘッドに接触した時から、離れる時までの経過時間である。接触の持続時間が異なる場合の例を、図5及び図6に示す。図5は、オーバーラップ高さが大きい場合の突起の変形量δと接触の持続時間を示した図である。図5(A)は、グライド検査ヘッドが突起に接触する様子を示した図であり、図5(B)は、突起の変形量δの時間変化を示した図である。図5(A)に示すように、グライド検査ヘッド22が突起21に接触し始めると、グライド検査ヘッド22からの接触力により、突起21は、図5(A)の矢印の方向に変形量δで変形を始める。また突起21は、接触力の反力で弾性的にグライド検査ヘッド22を押し返す。グライド検査ヘッド22の後端部22−1が、突起21から離れると変形量δは0となる。図5(B)に示すように、グライド検査ヘッド22に突起21が接触し始めてから、グライド検査ヘッド22の後端部が突起21から離れるまでが接触の持続時間T1である。
【0039】
一方、図6は、オーバーラップ高さが小さい場合を示した図であり、図6(A)及び(B)は、それぞれ図5(A)及び(B)に対応するものである。図6(A)に示すようにグライド検査ヘッド32が突起31に接触し始めると、図5と同様に突起31は、図6(A)の矢印の方向に変形量δで変形を始める。また突起31は接触力の反力で弾性的にグライド検査ヘッド32を押し返す。しかし、その過程で、グライド検査ヘッド32の後端部32−1が突起31上を通過してしまい、突起31はグライド検査ヘッド32から離れてしまう。図6(B)に示すように、実線で示された曲線に対応する時間が接触の持続時間であり、T2となる。この場合は、図5の場合と比較して接触の持続時間が短くなる。すなわちT1>T2である。なお、ここでは、オーバーラップ高さが異なる場合を例示したが、接触の持続時間は突起の直径等にも依存する。
【0040】
図7は、この接触の持続時間と突起の直径及び突起の高さとの関係を示した図であり、log10(接触の持続時間(μsec))の値でマッピングしてある。
【0041】
図4と図7を比較すると、オーバーラップ高さが大きい部分では、接触圧力と接触の持続時間との相関は良く、とりわけ、接触圧力の高い部分においては、接触圧力と接触の持続時間との相関が特に良い。
【0042】
したがって、接触の持続時間を測定することにより、接触圧力の高い突起を検出することが可能となり、MRヘッド等の素子部が損傷等を受けるような微小突起を高精度に検出することが可能である。
【0043】
以下、図面を参照して、本発明に係る実施例を説明する。各実施例は、欠陥となる突起を検出するための閾値又はこれらの閾値の組み合わせが異なるものである。
【0044】
(第1実施例)
本実施例は、欠陥となる突起検出の閾値として、接触の持続時間の一例である接触検知センサの出力信号(電圧)に対して所定の基準値である基準電圧を設定し、この基準電圧を超える出力信号の継続時間を採用した例である。
【0045】
図8は、本実施例による磁気ディスクの検査方法を説明するための装置100の概略図である。磁気ディスク101は、クランプ103により固定され、スピンドル102により矢印で示される方向に所要の回転数で回転される。グライド検査ヘッド104は、ヘッド支持アーム105によって支持されたサスペンション106の先端に取り付けられている。グライド検査ヘッド104は、この磁気ディスク101の上面に接近し、対向した状態で磁気ディスク101の半径方向にシーク動作をしながら、磁気ディスク101の全面にわたってグライド検査を行う。
【0046】
グライド検査ヘッド104の浮上量は、あらかじめ浮上量と磁気ディスクの周速との関係が測定され、グライド検査ヘッド104の半径位置に対して周速が一定、すなわちグライド検査ヘッド104の浮上量がグライドハイトで一定になるように、磁気ディスク101の回転数が調節されるようになっている。
【0047】
グライド検査ヘッド104のスライダ上面等には、接触検知センサ、例えばピエゾ素子114が配設されている。グライド検査ヘッド104が磁気ディスク101の表面の突起に接触すると、ピエゾ素子114に出力信号が生じ、増幅器107で増幅され、信号解析装置108に入力される。この信号解析装置108を用いて、欠陥となる突起の検出を行う。
【0048】
図9(A)は、グライド検査ヘッドと磁気ディスク表面の突起との関係を示した図であり、図9(B)は、信号解析装置108での出力信号と閾値の関係を示した図である。図9(A)に示すように、グライドハイト43で浮上するグライド検査ヘッド42が突起41に接触することによりピエゾ素子に出力信号が生じる。図9(B)に示すように、この信号出力に対して基準電圧V1を設けた。この基準電圧V1を、従来の検査方法における出力信号のピーク検出のための閾値1000mVの1/2である500mVとした。この基準電圧V1を超える出力信号の継続時間(以下「継続時間」という。)ΔTを測定した。この継続時間ΔTの閾値ΔTTHを100μsecとし、継続時間ΔTがこの閾値ΔTTHを超えた出力信号に対応する突起を欠陥として検出した。
【0049】
本実施例の測定のため、3種類の突起A、B及びCを有する磁気ディスクを用意した。突起Aは突起の直径が小さく、針状のものである。突起Bは突起Aと突起Cの中間的な直径とオーバーラップ高さを有する突起である。また突起Cは従来の検査方法で検出可能である、比較的直径の大きな突起である。なお、他の実施例においても同じ磁気ディスクを使用した。
【0050】
突起A、B及びCを有する磁気ディスクについて、本実施例にかかる測定を行った。また、その後、これらの突起の直径及び高さを原子間力顕微鏡により測定し、さらに突起の高さからグライドハイトを減じてオーバーラップ高さを求めた。その結果を表1に示した。
【0051】
【表1】
表1に示すように、突起Aのみを欠陥として検出した。突起Aは突起の直径が0.18μmと小さく、かつオーバーラップ高さが300nmあり、磁気ディスク装置に搭載された場合、磁気ディスク装置に備えられたMRヘッドは突起Aと接触し、ヘッド素子が損傷する可能性が非常に高い。この突起Aは従来の検査方法では、ピーク高さが従来の閾値1000mVを下回るため検出できなかった。しかし、本実施例に係る検査方法によれば、継続時間ΔTが閾値100μsecを超え、検出が可能である。
【0052】
(第2実施例)
本実施例は、欠陥となる突起の検出ための閾値として、第1実施例の継続時間ΔTに加え、接触検知センサの出力信号のピーク高さを採用した例である。
【0053】
第1実施例と同様にピエゾ素子114の出力信号を増幅器107で増幅後、信号解析装置108に入力して、突起の検出を行った。図10は、この信号出力と閾値の関係を示した図である。図10に示すように、出力信号対して閾値を2つ設ける。一方の閾値は第1実施例と同様に継続時間ΔTに対する閾値ΔTTHである。他方の閾値は、出力信号のピーク高さVpに対する閾値VTHである。閾値ΔTTHを100μsec、閾値VTHを1000mVとした。また、基準電圧V1を、第1実施例と同様に500mVとした。そして、継続時間ΔTがΔT>ΔTTHであるもの及びピーク高さVpがVp>VTHであるものの少なくとも一方を満足するピークに対応する突起を欠陥として検出した。
【0054】
その結果を第1実施例の表1に示した。表1に示すように、突起A、B及びCを欠陥として検出した。突起Aのみならず、突起B及び突起Cを有する磁気ディスクを不良品として排除することが可能である。とりわけ、突起Cは突起の直径が10μmと大きいため、かかる突起を有する磁気ディスクが磁気ディスク装置に搭載された場合は、磁気ヘッドとの接触により突起が破壊され、その結果発生したダストが磁気ヘッドに付着して、磁気ヘッドの浮上が不安定となり、ヘッドクラッシュ等の問題が生じる場合がある。したがって、本実施例により、微小突起を正確に検出にすることができることに加え、ヘッドクラッシュの原因となる突起も同時かつ正確に検出することが可能である。
【0055】
(第3実施例)
本実施例は、欠陥となる突起検出の閾値として、第2実施例の継続時間ΔTとピーク高さの重み付き線形和の値を採用した例である。第2実施例と同様に測定し、継続時間ΔT(μsec)、ピーク高さVp(mV)として、計算値X=ΔT×20+Vpとし、計算値Xに対する閾値XTHを3000とした。計算値Xがこの閾値XTHを超えたものに対応する突起を欠陥として検出した。
【0056】
その結果を表2に示す。
【0057】
【表2】
表2に示すように、突起A及びCを欠陥として検出した。突起Bは欠陥として検出されない。欠陥Bは突起の直径及び接触力が中間的な突起であり、かかる突起は欠陥として排除する必要がない場合があるからである。このように本実施例では、製造試験等でのMRヘッドの素子部の損傷率やヘッドクラッシュの障害発生率等と関連付けて、計算値Xの式の各項の係数及び閾値XTHを、適切に選ぶことにより、問題となる突起のみを検出することが可能である。
【0058】
(第4実施例)
本実施例は、欠陥となる突起の検出ための閾値として、接触検知センサの出力信号のピークの時間積分値を採用した例である。
【0059】
図11は、磁気ディスク表面の突起の直径及びオーバーラップ高さに対する力積との関係を示した図であり、log10(力積(N・sec))の値でマッピングしてある。力積は、グライド検査ヘッドと突起との接触過程におけるものである。 図11において、力積が大きくかつ一定の領域は、接触力が大きいか又は接触圧力の大きな範囲である。したがって、MRヘッドの損傷やヘッドクラッシュを起こす原因となる突起の検出を容易にすることができる。
【0060】
第1実施例と同様に測定し、ピエゾ素子114の出力信号を増幅器107で増幅後、信号解析装置108に入力して、上記の力積の例である出力信号のピークの時間積分値を求め、欠陥となる突起の検出を行った。この時間積分値は、第1実施例と同様に、基準電圧V1を500mVとし、この基準電圧を超えたピークを、この基準電圧V1を超えた時間にわたって積分した値である。なお、時間及び出力信号の単位をそれぞれμsec、mVとし、例えば、この閾値を10000(μsec・mV)とした。時間積分値がこの閾値を超えたピークに対応する突起を欠陥として検出した。
【0061】
その結果を第3実施例の表2に示した。表2に示すように、突起A、B及びCを欠陥として検出した。したがって、本実施例により、微小突起を正確に検出することが可能であることに加え、ヘッドクラッシュの原因となる突起も同時かつ高精度に検出することが可能である。
【0062】
【発明の効果】
以上詳述したところから明らかなように、本発明の磁気記録媒体の検査方法は、従来の検査方法では検出できなかった磁気記録媒体表面の微小突起を高精度に検出することができる。また、この微小突起を検出すると同時に、ヘッドクラッシュの原因となる比較的大きな突起をも検出することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】磁気ディスク表面の断面形状及びこの部分に対応するグライド検査のグライド検査用ヘッドの出力信号の一例を示した図である。
【図2】グライド検査用ヘッドが磁気ディスク表面の突起に接触したときのピエゾ素子の出力信号のピーク高さとその接触力との関係を示したものである。
【図3】磁気ディスク表面の突起の直径及びオーバーラップ高さに対するグライド検査ヘッドと突起との接触力との関係を示した図である。
【図4】磁気ディスク表面の突起の直径及びオーバーラップ高さに対するグライド検査ヘッドと突起との接触圧力との関係を示した図である。
【図5】浮上するグライド検査ヘッドと磁気ディスク表面の突起が接触する際の突起の変形量及び接触の持続時間の関係を示した図である。
【図6】浮上するグライド検査ヘッドと磁気ディスク表面の突起が接触する際の突起の変形量及び接触の持続時間の関係を示した図である。
【図7】磁気ディスク表面の突起の直径及びオーバーラップ高さに対するグライド検査ヘッドと突起との接触時間との関係を示した図である。
【図8】本実施例による磁気ディスクの検査方法を説明するためのグライド検査装置100の概略図である。
【図9】第1実施例の磁気ディスク表面の突起とグライド検査ヘッドのピエゾ素子の出力信号との関係を示した図である。
【図10】第2実施例のグライド検査ヘッドのピエゾ素子の出力信号と閾値の関係を示した図である。
【図11】磁気ディスク表面の突起の直径及びオーバーラップ高さに対するグライド検査ヘッドと突起との接触過程の力積との関係を示した図である。
【符号の説明】
40 磁気ディスク
41 突起
42 グライド検査ヘッド
ΔT 基準電圧V1を超える出力信号の継続時間
Vp 出力信号のピーク高さ
114 ピエゾ素子
Claims (5)
- 磁気記録媒体の表面の欠陥となる突起を検出する磁気記録媒体の検査方法であって、
移動する前記磁気記録媒体の表面から所定の高さでグライド検査ヘッドを浮上させ、前記グライド検査ヘッドに配設した接触検知センサの出力信号に対して所定の閾値を設け、
前記所定の閾値を超える出力信号の継続時間が、グライド検査ヘッドが突起に衝突する際に受ける圧力に基づいて決定した継続時間の閾値を超える場合に、該突起を欠陥と判定することを特徴とする磁気記録媒体の検査方法。 - 前記出力信号のピーク高さに基づいて前記突起をさらに欠陥と判定することを特徴とする請求項1記載の磁気記録媒体の検査方法。
- 前記所定の閾値よりも高い他の閾値をさらに設け、
前記出力信号が、前記他の閾値を超える場合も前記突起を欠陥と判定することを特徴とする請求項1記載の磁気記録媒体の検査方法。 - 磁気記録媒体の表面の欠陥となる突起を検出する磁気記録媒体の検査方法であって、
移動する前記磁気記録媒体の表面から所定の高さでグライド検査ヘッドを浮上させ、前記グライド検査ヘッドに配設した接触検知センサの出力信号に対して所定の閾値を設け、
前記所定の閾値を超える出力信号の継続時間と該出力信号のピーク高さとの重み付き線形和又は重み付き二乗和の値が、グライド検査ヘッドが突起に衝突する際に受ける圧力および接触力に基づいて決定した他の閾値を超える場合に、該突起を欠陥と判定することを特徴とする磁気記録媒体の検査方法。 - 磁気記録媒体の表面の欠陥となる突起を検出する磁気記録媒体の検査方法であって、
移動する前記磁気記録媒体の表面から所定の高さでグライド検査ヘッドを浮上させ、前記グライド検査ヘッドに配設した接触検知センサの出力信号に対して所定の閾値を設け、
前記所定の閾値を超える出力信号の時間積分値が、グライド検査ヘッドが突起に衝突する際に受ける圧力および接触力に基づいて決定したその他の閾値を超える場合に、該突起を欠陥と判定することを特徴とする磁気記録媒体の検査方法。
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