JP3702245B2 - 層間スペーサの製造装置 - Google Patents

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はリードフレームを積み重ねて収納する際に使用する層間スペーサの製造装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
短冊状に形成されたリードフレームを搬送等する際に、トレイに多数枚のリードフレームを積み重ねて収納し、トレイごとリードフレームを搬送することが従来から行われている。リードフレームを積み重ねてトレイ等に収納する場合に、リードフレームをじかに積み重ねて収納することもあるが、リードフレームに傷をつけず、リードフレームが簡単に分離できるようにするため、積み重ねるリードフレームの間に層間スペーサを挟んで積み重ねるようにする場合がある。
【０００３】
層間スペーサはリードフレームの形状に合わせていろいろなものが使用される。図１１は層間スペーサ１０の一例を示すもので、リードフレームと同一の短冊状に形成され、リードフレームのパッド部に対応する部位に窓１２が形成されているものである。層間スペーサ１０に窓１２を形成しているのは、リードフレームのパッド部分がリードフレーム面よりも下方に突出しているため、窓１２によってこのパッド部分を逃がすようにするためである。このように、パッド部分がリードフレーム面から突出している製品の場合は、窓１２を設けることによって、層間スペーサとリードフレームとを隙間なく積み重ねることができる。なお、層間スペーサの材料には一般に紙が使用されるが、発泡ポリエチレン等の樹脂材も使用される。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
上記のような窓１２を設けた層間スペーサを形成する場合、従来は、図１２に示すように、大判の原反１４（層間スペーサを作成する材料）を裁断機にかけて、層間スペーサの外形形状と窓の形状に合わせて型抜きした後、原反１４から層間スペーサ１０を個片に分離し、窓部分を抜いて層間スペーサ１０としている。
大判の原反から層間スペーサ１０を個片に分離し、窓部分を取り除く作業は従来は人手によっており、窓部分を抜く操作は個片にした層間スペーサを重ねてたたくといった作業によっている。このため、従来は原反から層間スペーサを得る作業がきわめて非効率であり、手間がかかるとともに、作業時に層間スペーサが曲がってしまうという問題もあった。
【０００５】
そこで、本発明は、より効率的に層間スペーサを製造することを可能とすべくなされたものであり、型抜きされた原反から層間スペーサを１枚ごとに分離する作業と窓抜き作業を自動化し、層間スペーサの製造効率を向上させ、また、窓部分の抜き残りや層間スペーサの変形を防止して、高品質の層間スペーサを製造することができる層間スペーサの製造装置を提供することを目的としている。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
本発明は、上記目的を達成するため次の構成を備える。
すなわち、層間スペーサの本体部分と窓部分の形状に合わせて型抜きされた原反から、個片に層間スペーサを分離するとともに、前記本体部分から窓部分を窓抜きする分離装置を備えた層間スペーサの製造装置において、前記分離装置に、前記層間スペーサの送り方向とは直交する方向を長手方向として、所定間隔をあけて配置されたブラシローラと、該ブラシローラの下方に該ブラシローラと平行に相互に間隔をあけて配置された２本の棒ローラとからなるユニットを並列に複数個配置し、前記ブラシローラと前記棒ローラとを回転駆動し、前記ブラシローラと前記棒ローラとの間に前記層間スペーサを挟んで搬送する際に、層間スペーサをたわませて前記本体部分から前記窓部分を分離させる駆動機構を設けたことを特徴とする。
【０００７】
また、前記駆動機構に、ブラシローラの周速度と棒ローラの周速度を個別に制御する制御部を設け、前記ブラシローラと前記棒ローラとの間に層間スペーサを挟んで搬送する際に、層間スペーサの本体部分から窓部分をずらして分離可能とすべく、前記制御部により前記ブラシローラの周速度が前記棒ローラの周速度を上回るように設定したことを特徴とする。
また、前記ブラシローラの直下に、ブラシローラが外周面に押接される配置に棒ローラを設け、前記ブラシローラと前記棒ローラとの間に層間スペーサを挟んで搬送する際に、前記ブラシローラにより層間スペーサの本体部分から窓部分をはじいて分離するユニットを設けたことを特徴とする。
また、前記ブラシローラと棒ローラとからなるユニット間に、当該ユニット間を層間スペーサが通過する際に層間スペーサのたわみが戻ることによって層間スペーサが当たり、層間スペーサの本体部分から窓部分を分離させる中間ローラを設けたことを特徴とする。
また、前記分離装置の前段に、原反を層間スペーサの本体部分と窓部分の形状に合わせて型抜きする裁断機を設け、該裁断機から前記分離装置に型抜き後の原反を送り込む、送り機構を設けたことを特徴とする。
【０００８】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の好適な実施の形態について添付図面にしたがって詳細に説明する。
図１、２、３は層間スペーサの製造装置の一実施形態の構成を示す正面図、平面図、側面図である。図１でＡ部は原反を所定の形状に抜き加工する裁断機、Ｂ部は抜き加工された原反を個片の層間スペーサに分離するとともに、原反から窓部を抜く処理を行う分離装置である。
本実施形態の層間スペーサの製造装置は、１ｍ×０．４ｍといった大判の紙製の原反２０を使用して層間スペーサを製造する装置であり、裁断機Ａでこの原反２０を所定の形状に抜き加工した後、分離装置Ｂで個片の窓抜きされた層間スペーサとする。
【０００９】
裁断機Ａは原反２０を所定形状に型抜き加工するものであり、従来の型抜き加工する裁断機とその構成が変わるものではない。
図１で、２２ａ、２２ｂは抜き加工した原反２０の枠部分を排出方向へ導くスロープ、２４は原反２０の枠部を排出方向へ引き出すための誘い込みローラ、２６は原反２０の外枠を細片に切断するための外枠カッターである。裁断機Ａで所定形状に型抜きされた原反２０は、搬送コンベア２８によって搬送され、原反２０の外枠部分はスロープ２２ａ、２２ｂにより下向きにガイドされて送り出され、誘い込みローラ２４によって引き出され、外枠カッター２６により細片に裁断されて袋３０に収納される。
【００１０】
一方、原反２０から外枠部分が取り除かれた層間スペーサは、引き込みコンベア３２によって分離装置Ｂへ送り出される。３４はスペーサ誘い込みローラであり、搬送コンベア２８によって誘い込みローラ３４の位置まで送り出された層間スペーサは、誘い込みローラ３４と引き込みコンベア３２に挟まれて分離装置側へ送られる。引き込みコンベア３２および誘い込みローラ３４は原反２０を分離装置に送り込む、送り込み機構を構成する。
【００１１】
本実施形態の層間スペーサの製造装置において特徴的な構成は、分離装置Ｂの構成にある。すなわち、分離装置Ｂは、図１、２に示すように、層間スペーサの送り方向とは直交する方向を長手方向として、複数本のブラシローラ３６を所定間隔をあけて並列に配置し、各々のブラシローラ３６の下方にブラシローラ３６と平行に２本の棒ローラ３８を配置したものである。棒ローラ３８は、層間スペーサがブラシローラ３６と棒ローラ３８とに挟まれて先送りされるように、ブラシローラ３６の周面位置に近接して配置される。
【００１２】
図１で、４０は棒ローラ３８を回転駆動させる駆動モータである。駆動モータ４０と各々の棒ローラ３８とはベルト４２を介して連繋され、駆動モータ４０によって各々の棒ローラ３８が回転駆動される。棒ローラ３８の回転方向は層間スペーサを図の右方向へ移動させる向きである。
図３で、４４はブラシローラ３６を回転駆動する駆動モータである。ブラシローラ３６の端部には各々歯車４６が設けられ、各々の歯車４６には駆動モータ４４によって回転駆動される中間ギア４８が一つずつ連繋している。中間ギア４８は駆動モータ４４によって一括して回転駆動され、これによってすべてのブラシローラ３６が回転駆動される。ブラシローラ３６の回転方向は層間スペーサを先送りする向きである。
駆動モータ４０、ベルト４２および駆動モータ４４、中間ギヤ４８等が棒ローラ３８とブラシローラ３６を駆動する駆動機構を構成するが、これらの駆動機構の構成は本実施形態の構成に限定されるものではない。また、場合によっては、棒ローラ３８とブラシローラ３６を駆動する駆動源を共通にすることも可能である。
【００１３】
前述したように、層間スペーサはブラシローラ３６と棒ローラ３８とによって挟まれながら先送りされる際に、窓部分が層間スペーサから脱落し、窓部分があけられた層間スペーサが分離装置の端部に設けられたスペーサ収納箱５０に収納される。５１は、ブラシローラ３６と棒ローラ３８とから送り出された層間スペーサをスペーサ収納箱５０にガイドするための滑り台である。
ブラシローラ３６と棒ローラ３８とによって抜かれた窓部分は隣接する棒ローラ３８の中間部分から下方に落下し、袋３０に収納される。５２は層間スペーサから脱落した窓部分を袋３０に導入するためのシュータである。袋３０はシュータ５２の排出口に袋口を取り付けて設けられ、シュータ５２に落下した層間スペーサの窓部分等はすべて袋３０に収納される。
【００１４】
図３で、５４はブラシローラ３６の高さを調節する調節ハンドルである。層間スペーサはブラシローラ３６と棒ローラ３８とに挟まれて先送りされる際に窓部分が取り除かれる。層間スペーサは紙の材質等によって曲げやすさや硬さがまちまちであったりするから、層間スペーサの窓部分が確実に脱落するようにブラシローラ３６と棒ローラ３８との挟圧力（間隔）を調節する必要がある。調節ハンドル５４はブラシローラ３６と棒ローラ３８との間隔を調節するために設けているものである。
【００１５】
本実施形態の層間スペーサの製造装置は、ブラシローラ３６と棒ローラ３８との間に層間スペーサを挟んで移動させることにより、原反２０から層間スペーサを個片に分離するとともに層間スペーサから窓部分を除去するようにしたことが特徴である。
図４は分離装置におけるブラシローラ３６と棒ローラ３８の全体的な配置を示し、図５はブラシローラ３６と棒ローラ３８の配置を拡大して示す。図４に示すように、本実施形態の層間スペーサの製造装置では、１つのブラシローラ３６に対して２つの棒ローラ３８ａ、３８ｂを組み合わせたものを１ユニットとし、このユニットを並列に１０個配置している。３９は隣接するユニット間に１つずつ配置した中間ローラである。この中間ローラ３９はユニット間で層間スペーサを支持して先送りする作用をなす。
【００１６】
ブラシローラ３６と棒ローラ３８ａ、３８ｂの１ユニットにおける窓抜き作用は、、ブラシローラ３６と棒ローラ３８ａ、３８ｂとの間を層間スペーサが通過する際に層間スペーサがたわみ、このときの層間スペーサの本体部分のたわみ方と、窓部分のたわみ方が相違することを利用するものである。
図５はブラシローラ３６と棒ローラ３８ａ、３８ｂとの間に層間スペーサ６０が進入し、層間スペーサ６０がたわんで窓部分６０ｂが本体部分６０ａから分離する様子を示している。層間スペーサ６０はその長手方向の向きに搬送され、層間スペーサ６０の本体部分６０ａは、ブラシローラ３６と棒ローラ３８ａ、３８ｂとに挟まれた際に簡単に湾曲するのに対し、窓部分６０ｂは本体部分６０ａよりも小さいから本体部分６０ａにくらべて湾曲しにくく、その湾曲度の相違によって本体部分６０ａから窓部分６０ｂが分離する。すなわち、本体部分６０ａは湾曲しながらそのまま先送りされるのに対して、窓部分６０ｂは抜き線位置で本体部分６０ａから外れるようになる。
【００１７】
ブラシローラ３６と棒ローラ３８ａ、３８ｂとに挟まれた際に層間スペーサ６０がたわむようにするため、本実施形態では、棒ローラ３８ａ、３８ｂの中間位置でブラシローラ３６の外周面の位置が棒ローラ３８ａ、３８ｂの外周面の位置よりも１ｍｍ程度低位となるようにし、棒ローラ３８ａ、３８ｂの中間位置でブラシローラ３６を若干落とし込むようにした。また、本実施形態では、棒ローラ３８ａ、３８ｂの外面の対向間隔を１８ｍｍとしている。窓部分６０ｂはこの２本の棒ローラ３８ａ、３８ｂの間の隙間部分から落下する。
【００１８】
本実施形態の装置では、１つのブラシローラ３６と２つの棒ローラ３８ａ、３８ｂとからなるユニットを並列に１０個配置し、層間スペーサ６０をたわませて窓抜きする作用が繰り返し行われるようにすることにより、層間スペーサ６０が分離装置を通過した際に確実に窓抜きされるようにしている。もちろん、ブラシローラ３６と２つの棒ローラ３８ａ、３８ｂとのユニットの配置数は適宜設定することができる。
なお、本実施形態ではブラシローラ３６を使用して層間スペーサ６０を搬送させているが、層間スペーサ６０を搬送させるローラとしてブラシローラを使用すると、窓抜きされた窓部分６０ｂがブラシローラ側に付着せず、好適に窓抜きすることができる。また、ブラシはその弾性によって窓部分６０ｂを突き落とすようにも作用し、窓抜き作用に有効に使用できる。
【００１９】
以上のたわみ作用を利用して層間スペーサ６０から窓部分６０ｂを抜く作用は、層間スペーサ６０と窓部分６０ｂのたわみ量の差が大きい場合、すなわち窓部分のスペースが小さい場合、より正確には層間スペーサの窓部分６０ｂの搬送方向の辺の長さが短い場合に有効に作用する。本実施形態の装置では層間スペーサの搬送方向の辺の長さが１５ｍｍ以下の場合に有効であった。
これに対して、窓部分６０ｂが比較的大きな場合、いいかえれば層間スペーサ６０の窓部分６０ｂの搬送方向の辺の長さが長いと、本体部分６０ａと同じように窓部分６０ｂがブラシローラ３６と棒ローラ３８ａ、３８ｂによるたわみ部分をそのまま通過して抜き落としできない場合がある。
【００２０】
このような場合には、ずらし作用を利用することによって窓抜きすることができる。
図６にずらし作用による窓抜き作用を示す。ずらし作用は層間スペーサ６０の本体部分６０ａに対して、窓部分６０ｂをずらすようにして窓抜きさせるものである。このずらし作用は、ブラシローラ３６の回転速度と棒ローラ３８ａ、３８ｂの回転速度を変えることによってなされる。たとえば、ブラシローラ３６の回転速度（周速度）を１０００（mm／sec）とし、棒ローラ３８ａ、３８ｂの回転速度（周速度）を２００（mm／sec）とすると、層間スペーサ６０の本体部分６０ａがブラシローラ３６によって引き込まれて先送りされるのに対して、窓部分６０ｂについては棒ローラ３８ａ、３８ｂによるブレーキ作用が作用し、本体部分６０ａに対して窓部分６０ｂがずれ、本体部分６０ａから窓部分６０ｂが外れて分離される。
【００２１】
図６では、本体部分６０ａが次のブラシローラ３６によって引き込まれて直進するのに対して、窓部分６０ｂはブラシローラ３６に対して周速度が遅い棒ローラ３８ａが抵抗となって層間スペーサ６０の進行方向に対して後ろ側にずらされる。これによって窓部分６０ｂが本体部分６０ａから外れ、窓部分６０ｂが棒ローラ３８ａ、３８ｂの間から落下する。
このずらし作用は、ブラシローラ３６と棒ローラ３８ａ、３８ｂの周速度の差が大きいほど顕著に表れる。本実施形態の分離装置ではブラシローラ３６を回転駆動する駆動モータ４４と棒ローラ３８を回転駆動する駆動モータ４０とを別個に設け、駆動モータ４０、４４を個別に制御する制御部によりブラシローラ３６と棒ローラ３８ａ、３８ｂの回転速度を適宜調節可能となっている。
【００２２】
なお、図５、６に示すように、ずらし作用におけるブラシローラ３６と棒ローラ３８ａ、３８ｂの配置は、たわみ作用におけるブラシローラ３６と棒ローラ３８ａ、３８ｂの配置と同じであり、層間スペーサ６０に対しては、ずらし作用と同時にたわみ作用も作用する。実際には、ブラシローラ３６と棒ローラ３８ａ、３８ｂの配置および回転速度の設定によって、たわみ作用とずらし作用の寄与分が変化することになる。
【００２３】
図７は、層間スペーサ６０の本体部分６０ａから窓部分６０ｂを分離する他の方法として、ブラシローラ３６によるはじき作用を利用して窓抜きする方法を示す。はじき作用によって窓抜きする場合は、棒ローラ３８ａ、３８ｂのうちの一つをブラシローラ３６の直下位置に配置し、ブラシローラ３６をその直下に配置した棒ローラの外周面に押し当てるように配置する。
このようにブラシローラ３６と棒ローラ３８ａ、３８ｂを配置すると、ブラシローラ３６に窓部分６０ｂが進入しようとする際にブラシが窓部分６０ｂに押し当たり、この作用が窓部分６０ｂに対し抵抗として作用して窓部分６０ｂを後ろ側にずらすようにする。そして、棒ローラ３８ｂから窓部分６０ｂが抜け出ようとするときには、ブラシの弾発力によって窓部分６０ｂがはじかれて本体部分６０ａから外れて分離する。
【００２４】
このはじき作用を利用する場合は、ブラシローラ３６のブラシを層間スペーサ６０にある程度押し当てるようにする必要があるが、押し当て量が大きすぎると層間スペーサ６０に作用する抵抗が大きくなって層間スペーサ６０が搬送できなくなる。押し当て量としては２ｍｍ程度がよい。
はじき作用は窓部分６０ｂの大きさが大きい製品に適用して有効であり、ずらし作用と併用することで効果的となる。
【００２５】
図８、９は、窓抜き作用として利用するさらに他の方法で、層間スペーサ６０に衝撃をあたえて窓部分６０ｂを分離させる方法である。衝撃作用は、ブラシローラ３６から抜け出た層間スペーサ６０に対して衝撃を与えて窓部分６０ｂを本体部分６０ａから分離させる作用である。
衝撃作用は、ブラシローラ３６と棒ローラ３８ａ、３８ｂとからなるユニットの隣接間隔を広くあける部位をつくり、ブラシローラ３６を抜け出た層間スペーサ６０の端部が、層間スペーサ６０のたわみがもとに戻る際の弾発力によって中間ローラ３９に当たるようにする。この衝撃作用によれば、層間スペーサ６０が中間ローラ３９に叩きつけられることにより、本体部分６０ａから窓部分６０ｂが分離される。図８は、ブラシローラ３６から抜け出た層間スペーサ６０の端部が中間ローラ３９に当たって衝撃を与える場合で、図９は、隣接するブラシローラ３６に挟まれた中間で層間スペーサ６０が上下動することによって衝撃が与えられる場合である。この衝撃作用は窓部分６０ｂの大小にかかわらず有効である。
【００２６】
原反から個片に層間スペーサ６０を分離し、層間スペーサ６０の窓部分６０ｂを窓抜きする分離装置は、前述したたわみ作用を基本とし、ずらし作用、はじき作用、衝撃作用を併用することにより、さまざまな品種、サイズの層間スペーサ６０について、窓部分の大小によらず、窓部分の抜き残りをなくし、効率的に窓抜きすることが可能となる。
図１０は、上述した、たわみ作用、ずらし作用、はじき作用、衝撃作用を組合せて構成したブラシローラ３６および棒ローラ３８ａ、３８ｂの配置例を示す。
同図でＰ１はたわみ・ずらし作用、Ｐ２ははじき作用、Ｐ３は衝撃作用を作用させるユニットを示す。たわみ・ずらし作用はブラシローラ３６と棒ローラ３８ａ、３８ｂの回転速度のかねあいによることから、図１０ではたわみ・ずらし作用として示している。
図１０に示す実施形態では、たわみ・ずらし作用、はじき作用、衝撃作用を組合せて構成しているが、これらの、たわみ・ずらし作用、はじき作用、衝撃作用については、製品に応じて適宜選択して組み合わせて使用することができる。
【００２７】
本実施形態の層間スペーサ６０はリードフレームを積み重ねて収納する際に使用するものであるが、本発明に係る層間スペーサの製造装置は、リードフレームに限らず、窓抜き部分を備えたスペーサについてはまったく同様に適用することができる。また、層間スペーサの外形寸法や、窓部分の大きさ、層間スペーサの材質等にかかわらず、種々の製品に適用することができる。
【００２８】
【発明の効果】
本発明に係る層間スペーサの製造装置によれば、上述したように、型抜きされた原反から個片に層間スペーサを分離し、層間スペーサから窓抜きする作業を完全自動化したことによって、層間スペーサを製造する作業をきわめて効率化することが可能となった。とくに本発明に係る層間スペーサの製造装置では、層間スペーサをたわませて搬送するユニットを設けたことにより、窓抜き作業を確実に行うことが可能であり、さらに、ずらし作用、はじき作用、衝撃作用を併用することによってさらに確実に窓抜きすることが可能となる。また、層間スペーサを折り曲げたりすることなく窓抜きすることから、層間スペーサが変形せず、高品質の層間スペーサとして得ることができる等の著効を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図１】層間スペーサの製造装置の一実施形態の全体構成を示す正面図である。
【図２】層間スペーサの製造装置の一実施形態の全体構成を示す平面図である。
【図３】層間スペーサの製造装置の一実施形態の全体構成を示す側面図である。
【図４】層間スペーサの製造装置におけるブラシローラと棒ローラの配置を示す説明図である。
【図５】たわみ作用によって窓抜きする方法を示す説明図である。
【図６】ずらし作用によって窓抜きする方法を示す説明図である。
【図７】はじき作用によって窓抜きする方法を示す説明図である。
【図８】衝撃作用によって窓抜きする方法を示す説明図である。
【図９】衝撃作用によって窓抜きする方法を示す説明図である。
【図１０】たわみ・ずらし作用、はじき作用、衝撃作用を組み合わせた分離装置の構成を示す説明図である。
【図１１】層間スペーサの例を示す説明図である。
【図１２】層間スペーサを型抜きした原反の状態を示す説明図である。
【符号の説明】
１０ 層間スペーサ
１２ 窓
１４、２０ 原反
２８ 搬送コンベア
３０ 袋
３２ 引き込みコンベア
３４ 誘い込みローラ
３６ ブラシローラ
３８、３８ａ、３８ｂ 棒ローラ
３９ 中間ローラ
４０、４４ 駆動モータ
５０ スペーサ収納箱
５２ シュータ
５４ 調節ハンドル
６０ 層間スペーサ
６０ａ 本体部分
６０ｂ 窓部分

Claims (5)

1. 層間スペーサの本体部分と窓部分の形状に合わせて型抜きされた原反から、個片に層間スペーサを分離するとともに、前記本体部分から窓部分を窓抜きする分離装置を備えた層間スペーサの製造装置において、
   前記分離装置に、
   前記層間スペーサの送り方向とは直交する方向を長手方向として、所定間隔をあけて配置されたブラシローラと、該ブラシローラの下方に該ブラシローラと平行に相互に間隔をあけて配置された２本の棒ローラとからなるユニットを並列に複数個配置し、
   前記ブラシローラと前記棒ローラとを回転駆動し、前記ブラシローラと前記棒ローラとの間に前記層間スペーサを挟んで搬送する際に、層間スペーサをたわませて前記本体部分から前記窓部分を分離させる駆動機構を設けたことを特徴とする層間スペーサの製造装置。
2. 駆動機構に、ブラシローラの周速度と棒ローラの周速度を個別に制御する制御部を設け、
   前記ブラシローラと前記棒ローラとの間に層間スペーサを挟んで搬送する際に、層間スペーサの本体部分から窓部分をずらして分離可能とすべく、前記制御部により前記ブラシローラの周速度が前記棒ローラの周速度を上回るように設定したことを特徴とする請求項１記載の層間スペーサの製造装置。
3. ブラシローラの直下に、ブラシローラが外周面に押接される配置に棒ローラを設け、前記ブラシローラと前記棒ローラとの間に層間スペーサを挟んで搬送する際に、前記ブラシローラにより層間スペーサの本体部分から窓部分をはじいて分離するユニットを設けたことを特徴とする請求項１または２記載の層間スペーサの製造装置。
4. ブラシローラと棒ローラとからなるユニット間に、当該ユニット間を層間スペーサが通過する際に層間スペーサのたわみが戻ることによって層間スペーサが当たり、層間スペーサの本体部分から窓部分を分離させる中間ローラを設けたことを特徴とする請求項１、２または３記載の層間スペーサの製造装置。
5. 分離装置の前段に、原反を層間スペーサの本体部分と窓部分の形状に合わせて型抜きする裁断機を設け、
   該裁断機から前記分離装置に型抜き後の原反を送り込む、送り機構を設けたことを特徴とする請求項１、２、３または４記載の層間スペーサの製造装置。

Images