JP3701877B2 - キャパシタを有する集積回路 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は一般に半導体集積回路に関して、特に、半導体集積回路内に精密回路素子を形成する方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
電気回路、特に半導体集積回路内に形成される電気回路の形成において、処理の変化が、しばしば、抵抗及びキャパシタなどの精密コンポーネントの形成を阻止する。従って、精密値を獲得するために、素子をトリミングする方法が必要とされる。
【0003】
精密キャパシタは、様々な集積回路アプリケーションにおいて必要とされる。デカップリング・キャパシタは、アナログVDD−グラウンド間またはアナログVDD−別電源間で使用される。別のアプリケーションとして、フェーズ・ロックド・ループ(PLL)があげられる。精密キャパシタは、有線及び無線電話用のバイポーラCMOS RF(無線周波)アプリケーションにおいて広く使用され、最近では、ギガヘルツ領域で動作する受信機の入力と直列に接続されて使用される。
【0004】
キャパシタのトリミングは、キャパシタのマッチングが必要なA/D及びD/A変換器におけるアプリケーションに使用される。実験的には、MOS技術を用いてキャパシタを形成する際、最高で10ビットまでの許容可能な比のマッチング精度が、良い歩留まりで得られる。しかしながら、10ビットを越える精度を達成するためには、キャパシタのサイズや値を必要に応じて変更するために、レーザ・トリミングなどの外部手段が必要とされ、それにより歩留まりが向上する。しかしながら、レーザ・トリミングは非常に高価であり、時間のかかる処理である。レーザ・トリミングに関する別の問題は、素子がパッケージ化される前に、ウエハ・レベルで行われなければならないことである。キャパシタ精度は、パッケージング材料との近接度により誘発される浮遊容量により影響される。
【0005】
集積回路キャパシタは、金属−絶縁体−金属型キャパシタ(MIMキャパシタ)として形成される。"バック・エンド・オブ・ライン"(BEOL:back end of line)は、ダイ・コンタクトが取り付けられた後に生じる集積回路の形成を指し示す。BEOL MIMキャパシタは、シリコン・ウエハ領域を節約する目的で、非常に大きな面積のシリコン・キャパシタを置換する。しかしながら、MIMキャパシタは、要望通りに外部パッケージに近接しない。精密キャパシタが外部パッケージに近接するほど、MIMキャパシタの有効性は向上する。MIMキャパシタが精密キャパシタでない別の理由は、付着される絶縁体(誘電体)の厚さが非常に変化しやすいことによる。
【0006】
MIMキャパシタは、RF受信機回路で使用される。MIMキャパシタは、電気的過剰ストレス(EOS:electrical overstress)及び静電放電(ESD:electrostatic discharge)事象に対して敏感である。MIMキャパシタは、100V乃至300Vの人体モデル(HBM:human body model)ESD事象において故障する。MIMキャパシタの故障個所を分離する、或いは故障メカニズムを除去する必要性は、回路の信頼性及び歩留まり上、重要である。
【0007】
形成されるコンポーネントの変化を補正するために、ヒューズが使用されてきた。例えば、ヒューズは追加の素子を選択的に接続することにより、所望の出力を生成するために使用される。これは半導体またはマイクロ回路の形成のウエハ・レベルにおいて実施される。一旦ウエハが切断され、パッケージ化されると、コンポーネント値が影響を受ける。これは特に、パッケージング材料や、浮遊容量の他の要因に敏感なキャパシタに当てはまる。従って、精密コンポーネントのために、パッケージング後に、ヒューズの値(すなわち開放または短絡)を設定することが望ましい。
【0008】
従って、現在、前述の任意のまたは全ての問題を克服する改善が待望される。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の目的は、所望のキャパシタンスを有する精密MIMキャパシタを提供することである。
【0010】
【課題を解決するための手段】
本発明は、精密キャパシタの形成のための装置及び方法について述べる。特に、キャパシタは集積回路アセンブリの一部として形成される。キャパシタの処理は、所望値に近い公称キャパシタを提供するものである。追加のトリム・キャパシタが、リンクを通じて公称キャパシタに結合される。リンクは可融性(fusible)リンクまたはアンチヒューズである。可融性リンクを溶断するか、アンチヒューズを融着することにより、トリム・キャパシタンスが追加または減じられ、公称キャパシタを個別化(personalize)する。リンクは形成プロセスまたはパッケージング・レベルの任意の時点に、溶断または融着のために適宜使用可能である。
【0011】
更に、精密キャパシタを形成し、また精密キャパシタのセグメントを分離する能力が達成され、これがEOS及びESD事象による歩留まりまたは故障に影響を与える。こうしたキャパシタ構成は、信頼性目的のために、故障キャパシタ位置を決定する機会を提供する他に、キャパシタが損傷したときに冗長キャパシタを導入する機会を提供する。このことは回復不能なマイクロ回路を救済する機構を提供する。
【0012】
本発明の特徴及び利点は、本発明の原理を利用する実施例に関する後述の詳細な説明及び添付図面を参照することにより理解されよう。
【0013】
【発明の実施の形態】
本発明の図式表現が図1に示され、集積回路ダイ内でのキャパシタ形成が100として一般的に示される。キャパシタは、誘電体(図示せず)により分離される共通プレート102及び頂部プレート104の付着により形成される。頂部プレート104は、コア・プレート106及び複数の小さなトリム・プレートから構成される。説明の都合上、3つのこうしたトリム・プレート108、110及び112が示される。トリム・プレートの数及びサイズは、回路設計基準に基づき決定される。トリム・プレート108、110及び112は、リンク114及び116により結合される。トリム・プレート108は、可融性リンク118によりコア・プレート106に結合される。こうして形成されるキャパシタのキャパシタンスは、集積回路ダイがパッケージ化された後に測定される。リンクが可融性リンクの場合、このキャパシタのキャパシタンスは、可融性リンクを選択的に溶断して、キャパシタンスを低減し、それによりパッケージ化ダイ内に精密キャパシタを生成することにより個別化される。
【0014】
或いは、アンチヒューズが、図1のリンク118、116及び114の代わりに使用される。この構成では、アンチヒューズが選択的に融着されて、それぞれトリム・プレート108、110及び112への電気経路を形成し、キャパシタンスを個別化する。キャパシタンスは各トリム・プレートの追加により増加される。
【0015】
アンチヒューズは、最初に形成されるときには開回路の構造である。アンチヒューズが"融着"(fused)されると、開回路は閉じられ、アンチヒューズを横断する導通が可能になる。従って、アンチヒューズはヒューズの逆の機能を達成するために使用される。通常、アンチヒューズは、アンチヒューズ構造に"融着電圧"(fusing voltage)と呼ばれる十分な電圧を印加することにより融着される。この電圧は電流を導通させ、構造を一緒に融着して、永久電気接続を形成する。"ヒューズ"はヒューズ構造に電圧を印加することにより、"溶断"(blown)される。この電圧は電流を導通させ、構造をオープンにし、永久開回路を形成する。アンチヒューズの融着またはヒューズの溶断による個別化は、任意の既知の手段により達成され、それらには集積回路アクセス・ウィンドウを通じるレーザ・ビームや、より一般的には、パッケージ・ピンを介したリンクへのアクセスなどが含まれる。
【0016】
図1の精密キャパシタの図式表現が、図2に200として一般的に示される。共通プレート202が、第1の端子230に結合される。キャパシタ204の共通プレート202はまた、トリム・プレート208、210及び212と共に、キャパシタを形成する。トリム・プレート212はリンク214により、トリム・プレート210に結合される。同様に、トリム・プレート210はリンク216により、トリム・プレート208に結合され、トリム・プレート208はリンク218により、コア・プレート206に結合される。コア・プレート206は更に第2の端子232に結合される。トリム・プレート208、210及び212は、図1で述べたトリム・プレート108、110及び112を表す。キャパシタ206は、図1で述べたコア・プレート106を表す。リンク214、216及び218の選択的溶断は、第1の端子230と第2の端子232との間のキャパシタンスの値を低減する。
【0017】
或いは、アンチヒューズが、図2のリンク218、216及び214の代わりに使用される。この構成では、アンチヒューズは選択的に融着され、それぞれトリム・プレート218、210及び212への電気経路を形成し、キャパシタンスを個別化する。キャパシタンスは、各トリム・プレートの追加により増加される。
【0018】
本発明の代替実施例が、図3に300として一般的に示される。ここでは個別化キャパシタが直列接続される。第1のキャパシタ320の第1のプレート302は、第1の端子330に結合される。第1のキャパシタ320の第2のプレート306はまた、第2のキャパシタ322の第1のプレートを形成する。リンク318が、第2のキャパシタ322の第1のプレート306から第2のプレート308に、第2のキャパシタ322と並列に接続される。第2のキャパシタ322の第2のプレート308はまた、第3のキャパシタ324の第1のプレートを形成する。リンク316が、第3のキャパシタ324の第1のプレート308から第2のプレート310に、第3のキャパシタ324と並列に接続される。第3のキャパシタ324の第2のプレート310はまた、第4のキャパシタ326の第1のプレートを形成する。リンク314が、第4のキャパシタ326の第1のプレート310から第2のプレート312に、第4のキャパシタ326と並列に接続される。第4のキャパシタ326の第2のプレート312は、第2の端子332に接続される。リンクが可融性リンクの場合、リンク314、316及び318の選択的溶断は、第1の端子330と第2の端子332との間のキャパシタンスの値をそれぞれ減少させる。
【0019】
或いは、アンチヒューズが、図3のリンク318、316及び314の代わりに使用される。この構成では、アンチヒューズは選択的に融着され、それぞれキャパシタ322、324及び326を短絡する電気経路を形成し、キャパシタンスを個別化する。端子330と端子332との間のキャパシタンスは、各々の直列接続キャパシタが短絡されると増加される。
【0020】
トリム・プレートに加えて、冗長キャパシタが形成される代替実施例が、図4に400として一般的に示される。キャパシタは、誘電体(図示せず)により分離される共通プレート402及び頂部プレート404の付着により形成される。必要に応じて、底部プレート402が端子430を介してアクセス可能に形成される。頂部プレート404は、必要に応じて、端子432を介してアクセス可能に形成され、コア・プレート406A、複数の冗長コア・プレート406B、及び複数の小さなトリム・プレートから構成される。説明の都合上、1つのこうした冗長コア・プレート406B、及び3つのこうしたトリム・プレート408、410及び412が示される。冗長コア・プレートの数、及びトリム・プレートの数及びサイズは、回路設計基準に基づき決定される。トリム・プレート408、410及び412は、リンク414及び416により結合される。トリム・プレート408はリンク418により、冗長コア・プレート406Bにリンク422を介して結合され、またコア・プレート406Aにリンク420を介して結合される。こうして形成されるキャパシタのキャパシタンスは、集積回路ダイがパッケージ化された後に測定される。リンクがヒューズの場合、このキャパシタのキャパシタンスは、リンクを選択的に溶断して、キャパシタンスを低減し、パッケージ化ダイ内に精密キャパシタを生成することにより個別化される。
【0021】
この実施例の利点は、リンク420及び422がアンチヒューズの場合に実現される。この構成では、アンチヒューズ422の融着により、コア・プレート406Aの故障が分離され、修復される。
【0022】
或いは、アンチヒューズが、図4のリンク418、416及び414の代わりに使用される。この構成では、アンチヒューズが選択的に融着されて、それぞれトリム・プレート408、410及び412への電気経路を形成し、キャパシタンスを個別化する。キャパシタンスは、各トリム・プレートの追加により増加される。
【0023】
図4の精密キャパシタの図式表現が、図5に500として一般的に示される。共通プレート502が、第1の端子530に結合される。キャパシタ504の共通プレート502はまた、トリム・プレート508、510及び512と共に、キャパシタを形成する。トリム・プレート512はリンク514により、トリム・プレート510に結合される。同様に、トリム・プレート510はリンク516により、トリム・プレート508に結合され、トリム・プレート508はリンク518により、リンク522を介して冗長コア・プレート506Bに結合され、またリンク520を介して、コア・プレート506Aに結合される。トリム・プレート508、510及び512は、図4で述べたトリム・プレート408、410及び412を表す。キャパシタ506A及び506Bは、図4で述べたコア・プレート及び冗長プレートをそれぞれ表し、必要に応じて、第2の端子532に接続される。リンクがヒューズの場合、リンク514、516及び518の選択的溶断は、第1の端子530と第2の端子532との間のキャパシタンスの値を低減する。
【0024】
この実施例の利点は、リンク520及び522がアンチヒューズの場合に実現される。この構成では、アンチヒューズ522の融着により、コア・プレート506Aの故障が分離され、修復される。
【0025】
或いは、アンチヒューズが、図5のリンク518、516及び514の代わりに使用される。この構成では、アンチヒューズが選択的に融着されて、それぞれトリム・プレート508、510及び512への電気経路を形成し、キャパシタンスを個別化する。キャパシタンスは、各トリム・プレートの追加により増加される。
【0026】
可融性リンク構造は、キャパシタ構造と同時に形成される。キャパシタ構造は、銅電極、トラフ、付着誘電体、ライナ膜、及び第2の銅電極から成る。上記キャパシタの銅コネクタ及びヒューズを形成する方法としては、図6乃至図8に示されるダマシーン・プロセスが使用され得る。図6に示されるこのプロセスの例では、層間誘電体ILD1(602)と呼ばれる第1の絶縁体膜が、シリコン基板604上に形成される。第2の層間誘電体ILD2(606)が、ILD1(602)上に付着される。マイクロ回路の複数の絶縁層を形成するために、複数の層間誘電体が付着され得る。反応性イオン・エッチング(RIE)を用いて、ILD2(606)内にトラフ608及び610を形成し、これらがこの例では最終的に、銅コネクタ及びヒューズを形成する。第1の耐熱性ライナ612が、露出表面上に付着される。銅付着614が、トラフ608及び610を充填するために付着される。
【0027】
研磨操作により過度な銅を取り除き、それにより図7に示されるように、トラフ608及び610だけが銅により充填される。銅は導電トラフ616及び620を形成する。トラフ620から銅の一部を除去するために、マスク(図示せず)が使用される。トラフ620の開部分は、導体618を通じて入力される電流を導通するライナ612だけを使用可能にすることにより、ヒューズを形成する。このヒューズは2つの方法により溶断される。すなわち、第1は、トラフ618内の過度な電流が、ライナ622に渡って過熱を引き起こし、ライナが開回路となる。第2は、露出したライナにレーザが照射され、ヒューズをオープン状態にする。
【0028】
キャパシタを形成する1方法が、図9乃至図10に示される。トラフ708がILD2(706)内にエッチングされ、ライナ712によりオーバーレイされる。ライナ712は絶縁体718によりオーバーレイされる。第2のライナ722が絶縁体718上に付着される。銅付着720がトラフ708の残りの部分を充填する。研磨操作により過度な銅を取り除き、図10に示されるキャパシタ、すなわち、第1のプレート724が誘電体728により第2のプレート726から分離されたキャパシタが形成される。
【0029】
キャパシタを形成する別の方法が、図11に示される。トラフ808がILD2(806)内にエッチングされ、耐熱性ライナ812によりオーバーレイされる。銅付着がトラフを充填し、前述のように研磨されて、第1の銅プレート824が形成される。耐火金属826の第2のライナが付着され、第1の銅プレート824をオーバーレイする。酸化物誘電体828が第2のライナ826上に付着される。第3のライナ830が酸化物誘電体828をオーバーレイする。追加のILD3(832)が第1の銅プレート824、第2のライナ826、酸化物誘電体828、及び第3のライナ830をオーバーレイする。同様に、トラフ834がILD3(832)内にエッチングされ、第3のライナ830を露出する。第4のライナ836がトラフ834をオーバーレイする。銅が第4のライナ836上に付着され、過度な銅が研磨により除去され、第2の銅プレート838が形成される。こうしてキャパシタが第2の銅プレート838、誘電体828、及び第1の銅プレート824により形成される。
【0030】
キャパシタへのバイアを形成するために、ダブル・ダマシーン・プロセスもまた使用され得る。この方法では、図12乃至図13に示されるように、2つのトラフがエッチングされ、一方の層間誘電体(ILD)上の導体924が、別のILD上の第2の導体938に、バイア導体934により接続される。マイクロ回路層間のバイアは、銅相互接続、抵抗素子または容量素子、或いは異なる層を接続する他の回路素子である。図12において、最初のエッチングにより、ILD1(902)内にトラフ908が形成される。第1のライナ912がトラフ908内に付着される。銅が付着されて、トラフ908の残りの部分を充填し、過度な銅及び第1のライナ912が研磨により除去され、第1の導体924が形成される。次にILD2(906)が付着され、ILD1(902)上の回路をオーバーレイする。第2のエッチングにより、ダブル・ダマシーン・プロセスが開始し、第1の導体924を露出するように、第2のトラフ930を十分に深くエッチングする。この例では、第2のライナ932が第2のトラフ930をオーバーレイし、第2のトラフが銅934により充填される。過度な銅及びライナが研磨により除去され、図13に示されるように、第3のエッチングにより、第3のトラフ940が形成される。第3のライナ936が第3のトラフ940をオーバーレイし、銅付着が第3のトラフを充填する。第3の研磨操作により、第2の導体938が形成される。こうして、2つのILD間の導電リンクが、2つのトラフ930及び940を形成するダブル・ダマシーン・プロセスにより形成される。
【0031】
以上、本発明の好適な実施例について述べてきたが、本発明の趣旨及び範囲から逸れることなく、様々な変更及び代替例が可能である。従って、前述の実施例は、本発明を制限するものではなく、例証として述べられたものである。
【0032】
まとめとして、本発明の構成に関して以下の事項を開示する。
【0033】
(1)コア回路素子と、
複数のトリム回路素子と、
いずれの前記トリム素子も3つ以上のリンクには接続されないように、前記トリム素子の1つに接続される第1の端子と、前記トリム素子の別の1つに接続される第2の端子とを有する複数のリンクと、
前記コア回路素子に接続されるコア回路素子リンク第1端子と、前記トリム素子の1つに接続されるコア回路素子リンク第2端子とを有するコア回路素子リンクと
を含む精密回路素子。
(2)コア・プレートと、
複数のトリム・プレートと、
いずれの前記トリム・プレートも3つ以上のリンクには接続されないように、前記トリム・プレートの1つに接続される第1の端子と、前記トリム・プレートの別の1つに接続される第2の端子とを有する複数のリンクと、
前記コア・プレートに接続されるコア・プレート・リンク第1端子と、前記トリム・プレートの1つに接続されるコア・プレート・リンク第2端子とを有するコア・プレート・リンクと、
前記コア・プレート及び前記トリム・プレートに容量結合される共通プレートと
を含む精密キャパシタ。
(3)前記リンク及びコア・プレート・リンクが可融性リンクである、前記(2)記載の精密キャパシタ。
(4)前記リンク及びコア・プレート・リンクがアンチヒューズである、前記(2)記載の精密キャパシタ。
(5)複数のトリム・プレートと、
いずれの前記トリム・プレートも3つ以上のリンクには接続されないように、前記トリム・プレートの1つに接続される第1の端子と、前記トリム・プレートの別の1つに接続される第2の端子とを有する複数のリンクと、
1つ以上の冗長プレートと、
各々が前記冗長プレートの1つに接続される冗長プレート・リンク第1端子と、前記トリム・プレートの1つに接続される冗長プレート・リンク第2端子とを有する1つ以上の冗長プレート・リンクと、
前記冗長プレート及び前記トリム・プレートに容量結合される共通プレートと
精密キャパシタ。
(6)前記リンク及び前記冗長プレート・リンクがアンチヒューズまたは可融性リンクである、前記(5)記載の精密キャパシタ。
(7)第1のプレートと、前記第1のプレートに容量結合される第2のプレートとを有するキャパシタと、
第1のトリム・プレートと、前記第1のトリム・プレートに容量結合される第2のトリム・プレートとを有し、前記キャパシタに直列に接続される複数のトリム・キャパシタと、
1つ以上の前記トリム・キャパシタに並列に接続される1つ以上のリンクと
を含む精密キャパシタ。
(8)前記リンクが可融性リンクまたはアンチヒューズである、前記(7)記載の精密キャパシタ。
(9)前記トリム・キャパシタが少なくとも1つのトリム・キャパシタを含み、
前記キャパシタの前記第2のプレートが、前記少なくとも1つのトリム・キャパシタの前記第1のトリム・プレートを構成する、前記(7)記載の精密キャパシタ。
(10)前記複数のトリム・キャパシタの各々の前記第1のトリム・プレートが、前記複数の直列接続されるトリム・キャパシタの1つの前記第2のプレートを構成する、前記(9)記載の精密キャパシタ。
(11)精密回路素子を形成する方法であって、
1つ以上の冗長回路素子を形成するステップと、
1つ以上のトリム回路素子を形成するステップと、
前記冗長回路素子を前記トリム回路素子に結合する1つ以上のリンクを形成するステップと、
1つ以上の前記リンクを選択的に活性化し、所望のキャパシタンスを達成するステップと
を含む方法。
(12)前記リンクが可融性リンクであり、前記活性化が前記可融性リンクの溶断を含む、前記(11)記載の方法。
(13)前記リンクがアンチヒューズであり、前記活性化が前記アンチヒューズの融着を含む、前記(11)記載の方法。
(14)精密キャパシタを形成する方法であって、
1つ以上の冗長プレートを形成するステップと、
1つ以上のトリム・プレートを形成するステップと、
前記冗長プレートを前記トリム・プレートに結合する1つ以上のリンクを形成するステップと、
前記冗長プレート及び前記トリム・プレートに容量結合される共通プレートを形成するステップと、
1つ以上の前記リンクを選択的に活性化し、所望のキャパシタンスを達成するステップと
を含む方法。
(15)前記リンクが可融性リンクであり、前記活性化が前記可融性リンクの溶断を含む、前記(14)記載の方法。
(16)前記リンクがアンチヒューズであり、前記活性化が前記アンチヒューズの融着を含む、前記(14)記載の方法。
(17)精密キャパシタを形成する方法であって、
第1のプレートと、前記第1のプレートに容量結合される第2のプレートとを有するキャパシタを形成するステップと、
第1のトリム・プレートと、前記第1のトリム・プレートに容量結合される第2のトリム・プレートとを有する複数のトリム・キャパシタを形成するステップと、
前記キャパシタ及び前記トリム・キャパシタを直列に接続するステップと、
リンクを前記トリム・キャパシタの各々に並列に接続するステップと、
1つ以上の前記リンクを選択的に活性化し、所望のキャパシタンスを達成するステップと
を含む方法。
(18)前記リンクが可融性リンクであり、前記活性化が前記可融性リンクの溶断を含む、前記(17)記載の方法。
(19)前記リンクがアンチヒューズであり、前記活性化が前記アンチヒューズの融着を含む、前記(17)記載の方法。
(20)キャパシタを形成する方法であって、
第1の絶縁体膜を付着するステップと、
第1のトラフをエッチングするステップと、
前記第1のトラフ内に第1のライナを付着するステップと、
前記トラフ内に第1の導電電極を付着するステップと、
過度な材料を研磨により除去するステップと、
前記第1の導電電極上に第2の絶縁体膜を付着するステップと、
前記第2の絶縁体膜を通じて、前記第1の銅電極に伸びる第2のトラフをエッチングするステップと、
表面をクリーニングするステップと、
露出された前記第1の銅電極上に、薄い誘電体を付加するステップと、
第2のライナを付着するステップと、
第2の銅電極を付着するステップと、
過度な材料を研磨により除去するステップと
を含む方法。
【図面の簡単な説明】
【図1】並列接続されたキャパシタ・プレートのヒューズを選択的に溶断することにより個別化される、キャパシタの図式表現を示す図である。
【図2】並列接続されたキャパシタのヒューズを選択的に溶断することにより、キャパシタンスが個別化される、図1の図式表現の回路図である。
【図3】直接接続されたキャパシタのヒューズを溶断することによりキャパシタンスが個別化される回路図である。
【図4】バックアップ・キャパシタが使用される、並列キャパシタの代替構成の実施例である。
【図5】個別化キャパシタに加えてバックアップ・キャパシタが使用される、図4の図式表現の回路図である。
【図6】ダマシーン・プロセスによるキャパシタ及びヒューズの形成を示す横断面図である。
【図7】ダマシーン・プロセスによるキャパシタ及びヒューズの形成を示す横断面図である。
【図8】ダマシーン・プロセスによるキャパシタ及びヒューズの形成を示す横断面図である。
【図9】ダマシーン・プロセスによるキャパシタの形成を示す横断面図である。
【図10】ダマシーン・プロセスによるキャパシタの形成を示す横断面図である。
【図11】両プレートが銅であるキャパシタを形成する代替方法を示す横断面図である。
【図12】キャパシタ及び別のマイクロ回路層へのバイアを形成するデュアル・ダマシーン・プロセスの横断面図である。
【図13】キャパシタ及び別のマイクロ回路層へのバイアを形成するデュアル・ダマシーン・プロセスの横断面図である。
【符号の説明】
102、202、402、502 共通プレート
104、404 頂部プレート
106、206、406A,506A コア・プレート
108、110、112、208、210、212、408、410、412、508、510、512 トリム・プレート
114、116、118、214、216、218、314、3136、318、414、416、418、514、516、518、520、522 リンク
204、320、322、324、326、504 キャパシタ
230、232、330、332、432、430、530、532 端子
302、306、308、310、312 プレート
406B、506B 冗長コア・プレート
602、606、702、706、802、806、832 層間絶縁体
604、704、804 シリコン基板
610、616、620、808、834 トラフ
612、622、712、722、812、826、830、836 ライナ
614、720 銅
618 導体
718 絶縁体
724、726、824、838 プレート
728 誘電体
828 酸化物誘電体
Claims (2)
- 第1端子及び第2端子を有するキャパシタを備える集積回路であって、
前記キャパシタが、
(イ)前記第1端子に接続され、共通プレートして働く底部プレートと、
(ロ)誘電体により分離されて前記底部プレートの上に設けられたコア・プレートと、
(ハ)前記第2端子と前記コア・プレートとの間に接続され、融着されると電気接続を形成する第1アンチヒューズと、
(ニ)前記誘電体により分離されて前記底部プレートの上に設けられた冗長コア・プレートと、
(ホ)前記第2端子と前記冗長コア・プレートとの間に接続され、融着されると電気接続を形成する第2アンチヒューズと、
(ヘ)前記誘電体により分離されて前記底部プレートの上に設けられた第1及び第2トリム・プレートと、
(ト)前記第2端子と前記第1トリム・プレートとの間に接続され、融着されると電気接続を形成するアンチヒューズからなる第1リンクと、
(チ)前記第1トリム・プレートと前記第2トリム・プレートの間に接続され、融着されると電気接続を形成するアンチヒューズからなる第2リンクとを備えることを特徴とする集積回路。 - 第1端子及び第2端子を有するキャパシタを備える集積回路であって、
前記キャパシタが、
(イ)前記第1端子に接続され、共通プレートして働く底部プレートと、
(ロ)誘電体により分離されて前記底部プレートの上に設けられたコア・プレートと、
(ハ)前記第2端子と前記コア・プレートとの間に接続され、融着されると電気接続を形成する第1アンチヒューズと、
(ニ)前記誘電体により分離されて前記底部プレートの上に設けられた冗長コア・プレートと、
(ホ)前記第2端子と前記冗長コア・プレートとの間に接続され、融着されると電気接続を形成する第2アンチヒューズと、
(ヘ)前記誘電体により分離されて前記底部プレートの上に設けられた第1及び第2トリム・プレートと、
(ト)前記第2端子と前記第1トリム・プレートとの間に接続され、溶断されるとオープン状態になるヒューズからなる第1リンクと、
(チ)前記第1トリム・プレートと前記第2トリム・プレートの間に接続され、溶断されるとオープン状態になるヒューズからなる第2リンクとを備えることを特徴とする集積回路。
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