JP3696277B2

JP3696277B2 - Magnetic bearing

Info

Publication number: JP3696277B2
Application number: JP00592495A
Authority: JP
Inventors: 和成前田; 孝美尾崎
Original assignee: NTN Corp
Current assignee: NTN Corp
Priority date: 1995-01-18
Filing date: 1995-01-18
Publication date: 2005-09-14
Anticipated expiration: 2020-09-14
Also published as: JPH08200366A

Description

【０００１】
【産業上の利用分野】
この発明は、磁気軸受に関し、特に、高温、放射線下のような特殊な環境でも使用可能な磁気軸受に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来の磁気軸受は、ステータに電磁継鉄、電磁石コイルに絶縁被膜の付いたエナメル線が使用されている。
【０００３】
ステータと電磁石コイル間には有機材料からなる絶縁シートが挿入されている。したがって、ステータと電磁石コイル間の絶縁が図られている。電磁石コイルの固定と電磁石コイルの発生した熱をステータに伝導しコイルを冷却するために、電磁石コイルがステータとともにモールドされている。
【０００４】
電磁石コイルの引出線およびセンサからの引出線も通常のシールドケーブルが使用されている。電磁石コイルの接続およびセンサの接続ははんだ付けが使用されている。また、渦電流センサとしては、シート状のコイルやエナメル線がベーク材等でコイル状に巻付けられたものが使用されている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、エナメル線に施されている絶縁材料（有機材料）の耐熱温度はＨ種が使用されても、１８０℃〜２００℃が限界である。したがって、高温下で使用された場合には、電線の絶縁材が劣化し、隣接する電線同士が短絡状態になってしまう。そのため、コイルとしての機能が果たされないという問題があった。
【０００６】
また、モールド材として使用される樹脂やワニス絶縁材についても、耐熱温度が低い。したがって、高温中や放射線中での使用においては、材料の劣化が起こり、モールド材の使用が不可能となるという問題があった。
【０００７】
さらに、絶縁シートについても、耐熱温度は低い。そのため、高温下では使用不可能であるという問題があった。
【０００８】
すなわち、従来の磁気軸受は、絶縁材や接着剤に有機材料が多く使用されている。そのため、高温下での使用や、高真空、放射線等の特殊な環境での使用に対しては、材料の酸化による性能の低下、放射線による有機材料の劣化による性能の低下や高温による有機材料の劣化の問題があり、有機材料の使用には限界があった。
【０００９】
ゆえに、本発明の目的は、高温、放射線のような特殊な環境下でも性能劣化を起こすことのない磁気軸受を提供することである。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
この発明に係る磁気軸受は、ロータを複数のステータによって磁気保持し、ロータに対向するように設けられたセンサを含む磁気軸受であって、それぞれ複数のステータに対応して設けられ、各々が、対応のステータに巻回されるコイル材としてセラミックス被覆電線が用いられた複数の電磁石コイルと、各電磁石コイルに対応して設けられ、対応の電磁石コイルと対応のステータとを絶縁するためにバイアス折りされて対応の電磁石コイルに巻付けられたアルミナ繊維織布と、複数のステータをロータの周囲に固定するリング状のステータ押さえと、複数の電磁石コイルを所定位置に固定する固定部材とを備えたものである。各ステータは、その先端面がロータに対向するように設けられ、その基端部がステータ押さえに固定された電磁継鉄と、該電磁継鉄の表面に無機接着剤を塗布して焼成することにより形成されたセラミックス被膜とを含む。固定部材は、各隣接する２つのステータの先端部の側面の間に挿入され、アルミナ繊維織布が巻付けられた電磁石コイルをステータ押さえ側に押付けるためのクサビと、アルミナ繊維織布が巻付けられた電磁石コイルをロータの軸方向に沿って対応のステータの側面に押付けるコイル押さえとを含む。センサは、その端面がロータに対向するアルミナセラミックスからなる柱状部を含み、その側面の周囲に沿ってセンサコイルを巻付けることにより渦電流式センサを構成し、かつ、アルミナセラミックスに金属製のねじ部がロウ付けされている。
【００１３】
好ましくは、センサは、柱状部の側面の周囲に沿って形成されたねじ溝にセンサコイルが巻付けられた渦電流式センサを含む。
【００１４】
また好ましくは、センサは、柱状部の側面の周囲に沿って形成された凹部にセンサコイルが巻付けられた渦電流式センサを含む。
【００１５】
【作用】
この発明に係る磁気軸受では、電磁石コイルのコイル材としてセラミックス被覆電線を用い、電磁石コイルとステータとを絶縁するためにアルミナ繊維織布を用い、表面がセラミックス被膜で覆われた電磁継鉄でステータを形成し、クサビおよびコイル押さえによって電磁石コイルを固定し、アルミナセラミックスからなる柱状部の周囲にセンサコイルを巻付けることにより渦電流式センサを構成したので、高温下での材料の劣化を起こすことなく性能を維持でき、また放射線下における材料の劣化を軽減して、性能を維持できる。
【００１７】
【実施例】
図１は、この発明の一実施例による磁気軸受の概略図であり、図２は、図１のＩＩ−ＩＩラインから見た図である。
【００１８】
図１および図２を参照して、この実施例の磁気軸受は、ロータ１０を電磁継鉄（ステータ）１によって磁気保持する。電磁継鉄（ステータ）１は、ステータ押さえ１２に取り付けられている。電磁継鉄１は、通常使用されている電磁継鉄に高温酸化防止のため、無機接着剤が薄く塗布されて焼成されたものである。そして、その表面に薄いセラミックスの被膜が形成され、高温状態に置かれても酸化により性能が低下しないように工夫されている。
【００１９】
電磁継鉄１に巻回されるコイル材として無機耐熱電線（セラミックス被覆電線）が使用される電磁石コイル２は、電磁継鉄１に対してあるギャップが保たれて設けられている。この電磁石コイル２の無機耐熱電線（セラミックス被覆電線）が使用されたため、高温まで電磁石コイル２の絶縁は保たれる。
【００２０】
ここで、無機耐熱電線として、セラミックス被覆電線以外にも絶縁体としてのセラミックスガラス管、金属酸化物粉末を金属管中に充填した形の電線等が挙げられる。しかしながら、これらの電線は、曲げ加工性や接続部の処理などの作業性に難点がある。さらに、これらの電線は、導体径に対して電線としての径が大となり、高集積化、巻線化が困難であるという問題がある。
【００２１】
その点、セラミックス被覆電線は、導体の表面に薄いセラミックスがコーティングされたものであり、可撓性に優れている。したがって、セラミックス被覆電線は小口径のコイル化に適している。また、セラミックス被覆電線の被覆が薄いため、スペースファクタに優れているという利点もある。
【００２２】
このような利点を有するセラミックス被覆電線であっても、他の無機耐熱電線に比べて可撓性に優れているものの、曲げ部においては、セラミックスの被覆の剥離が発生したり、セラミックス被覆に亀裂が入る場合がある。その場合には、絶縁耐圧が低下してしまう。
【００２３】
そこで、電磁継鉄１と電磁石コイル２との間のギャップが前述のように保たれる必要がある。そのために、アルミナクロス（アルミナ繊維織布）３は、電磁石コイル２に巻付けられて、電磁継鉄１と電磁石コイル２との間の絶縁を確保している。また、このアルミナクロス３は、このアルミナ繊維の弾性変形を利用して電磁石コイルを電磁継鉄１に固定する役目もある。
【００２４】
このようにアルミナクロス３が使用されるが、絶縁はギャップにて行なわれている。したがって、電磁石コイル２の電磁継鉄１への固定を別の方法で行なえば、ギャップを確保でき、さらに、耐熱性があり導電性のない無機材料であれば、アルミナクロスの代わりにそのような無機材料が用いられてもよい。たとえば、ギャップが形成されるためにセラミックスのプレートが挟み込まれてもよい。また、耐熱ガラス繊維、セラミックスペーパなどが使用されてもよいが、アルミナクロスが最も適している。
【００２５】
なお、アルミナクロス３は、織り目に沿って切断や折曲げ加工が行なわれると、アルミナ繊維のほつれや繊維の切断が起こってしまう。そこで、この実施例のアルミナクロスの切断加工は、織り目に対して約４５°の角度で行なわれている。さらに、アルミナクロスの折り曲げ加工も織り目に対して約４５°の角度で行う。この折り曲げ加工をバイアス折りという。
【００２６】
次に、電磁石コイル２が、クサビ４とコイル押さえ５で固定されているため、そのクサビ４およびコイル押さえ５について詳しく説明する。
【００２７】
図３は、図１の左下の拡大図であり、図４は、図２の左の一部分の拡大図である。
【００２８】
図３および図４を参照して、クサビ４およびコイル押さえ５について特に説明する。電磁石コイル２の周りおよび隙間にはアルミナクロス３が詰められている。そして、クサビ４およびコイル押さえ５は、電磁石コイル２の固定と熱伝導を行なっている。すなわち、クサビ４およびコイル押さえ５は、電磁石コイル２が振動や熱膨張で移動し、電磁継鉄１と接触したり、そのギャップが小さくなって絶縁耐圧が低下することを防止している。さらに、クサビ４およびコイル押さえ５は、セラミックス被覆が剥離することを防止している。さらに、クサビ４およびコイル押さえ５は、電磁石コイル２の発生した熱をステータ等に効率よく伝導している。
【００２９】
特に、クサビ４により電磁石コイル２がコイルエンド側３１から矢印の向きで外側へ電磁石継鉄１に押付けられることで、電磁石コイル２が振動して動くことや熱膨張によって動くことが防止される。また、電磁石コイル２からステータへの熱伝導の効率もよくなる。
【００３０】
次に、図１に戻って、ロータ１０に対向してセンサ６が設けられている。センサ６は、センサ取付ベース１１に取付けられており、ロータ１０とのギャップを検出する。センサ６としては、渦電流型のセンサが用いられている。センサ６は、図２に示すように、センサベース７と、キャップ８と、センサコイル９とを含んでいる。
【００３１】
図５は、センサベースを示した図であり、図６は、図５のＶＩ−ＶＩラインから見た図であり、図８は、センサベースにセンサコイルが巻付けられたセンサの側面図およびセンサキャップを示した図であり、図７は、図８のＶＩＩ−ＶＩＩラインから見た図であり、図９は、図８のＩＸ−ＩＸラインから見た図である。
【００３２】
センサベース７とセンサキャップ８は、アルミナセラミックスで形成されている。センサベース７は、その端面３２がロータ１０に対向する柱状部３３を有する。また、センサベース７には、電気端子用の金属１４および固定用の金属１３がロウ付けされている。これら金属１４，１５にはねじが切られており、それぞれセンサコイル９の電線の固定とセンサ６のセンサ取付ベース１１への固定に使用される。
【００３３】
センサベース７の柱状部３３に、雄ねじが切られている。図８のＡ部の拡大図である図１０に示すように、雄ねじのねじ溝部分に併せて電線３４が巻かれて、センサコイル９が形成されている。雄ねじはコイルのずれ防止と絶縁を確保するためのものである。
【００３４】
なお、図１１に示すように、センサベース７の柱状部３３の側面の周囲に沿って凹部（溝）３５が設けられて、セラミックス電線１７が巻付けられてもよい。
【００３５】
図８に戻って、センサコイル９は、センサベース７の雄ねじの山の部分より外にでない細い電線が用いられて、無機接着剤とセンサベース７の雄ねじの外径と同じ大きさの内径を有するセンサキャップ８とによって、センサベース７の雄ねじの部分に固定される。
【００３６】
センサコイル９の終端は、センサベース７にロウ付けされている電極で無機同軸ケーブル１６と接続される。無機同軸ケーブル１６は、同軸ケーブル押さえ１５によって固定される。
【００３７】
このように、センサの構成部品（センサベース７，キャップ８，センサコイル９）においても、無機材料が用いられて、高温下での材料の劣化が起こることなく、また放射線下での材料の劣化が起こることがないので、センサの性能を維持できる。
【００３８】
【発明の効果】
以上のように、この発明によれば、磁気軸受の構成部品に無機材料が用いられることで、高温、放射線のような特殊な環境下での材料の変質や劣化を抑制でき、高温状態での使用や温度変化の大きな環境または放射線中の環境のような特殊な環境下での使用が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１は、この発明の一実施例による磁気軸受の概略図である。
【図２】図１のＩＩ−ＩＩラインから見た図である。
【図３】図１の左下の部分の拡大図である。
【図４】図２の左半分における一部の拡大図である。
【図５】図１のセンサを構成するセンサベースを示した図である。
【図６】図５のＶＩ−ＶＩラインから見た図である。
【図７】図８のＶＩＩ−ＶＩＩラインから見た図である。
【図８】センサベースにセンサコイルが付けられたセンサの側面図およびキャップを示した図である。
【図９】図８のＩＸ−ＩＸラインから見た図である。
【図１０】図８のＡ部の拡大図である。
【図１１】他のセンサベースの一部拡大図である。
【符号の説明】
１電磁継鉄（ステータ）
２電磁石コイル
３アルミナクロス
６センサ
１０ロータ
１７セラミックス電線
３３柱状部
３５凹部[0001]
[Industrial application fields]
The present invention relates to a magnetic bearing, and more particularly to a magnetic bearing that can be used in a special environment such as high temperature and radiation.
[0002]
[Prior art]
Conventional magnetic bearings use an electromagnetic yoke on the stator and an enameled wire with an insulating coating on the electromagnet coil.
[0003]
An insulating sheet made of an organic material is inserted between the stator and the electromagnetic coil. Therefore, insulation between the stator and the electromagnetic coil is achieved. In order to cool the coil by fixing the electromagnet coil and conducting the heat generated by the electromagnet coil to the stator, the electromagnet coil is molded together with the stator.
[0004]
Ordinary shielded cables are also used for the lead wire of the electromagnetic coil and the lead wire from the sensor. Soldering is used to connect the electromagnetic coil and the sensor. As the eddy current sensor, a sheet-like coil or enameled wire wound in a coil shape with a baking material or the like is used.
[0005]
[Problems to be solved by the invention]
However, the allowable temperature limit of the insulating material (organic material) applied to the enameled wire is 180 ° C. to 200 ° C. even if H type is used. Therefore, when used under high temperature, the insulating material of an electric wire deteriorates and adjacent electric wires will be in a short circuit state. Therefore, there is a problem that the function as a coil is not fulfilled.
[0006]
Also, the heat-resistant temperature is low for resins and varnish insulating materials used as mold materials. Therefore, there has been a problem that the use of the molding material becomes impossible due to deterioration of the material during use at high temperatures or in radiation.
[0007]
Further, the heat resistant temperature is low for the insulating sheet. For this reason, there is a problem that it cannot be used at high temperatures.
[0008]
That is, the conventional magnetic bearing uses many organic materials for the insulating material and adhesive. Therefore, for use under high temperatures, or in special environments such as high vacuum and radiation, the performance degradation due to oxidation of the material, the performance degradation due to the deterioration of the organic material due to radiation, and the organic material due to high temperature There was a problem of deterioration, and the use of organic materials was limited.
[0009]
Therefore, an object of the present invention is to provide a magnetic bearing that does not cause performance deterioration even under special environments such as high temperature and radiation.
[0010]
[Means for Solving the Problems]
Magnetic bearing according to this invention, magnetically holding the rotor by a plurality of stators, a magnetic bearing comprising a sensor provided so as to face the rotor, are respectively provided corresponding to the plurality of stator, are each a plurality of electromagnetic coils which ceramic covered electric wire is used as coil material wound around the corresponding stator is provided corresponding to each electromagnet coil, biases the corresponding electromagnetic coils and corresponding stator to insulate and-folded in correspondence of the electromagnet coil winding vignetting alumina fiber woven fabric, a stator holding ring-shaped fixing the plurality of stator around the rotor, a fixing member for fixing the plurality of electromagnetic coils in a predetermined position Ru der those with. Each stator is provided with an end face facing the rotor, and an electromagnetic yoke whose base end is fixed to the stator holder, and an inorganic adhesive is applied to the surface of the electromagnetic yoke and fired. And a ceramic coating formed by The fixing member is inserted between the side surfaces of the tip portions of the two adjacent stators, and a wedge for pressing the electromagnetic coil wound with the alumina fiber woven fabric against the stator pressing side and the alumina fiber woven fabric are wound. And a coil presser that presses the attached electromagnet coil against the side surface of the corresponding stator along the axial direction of the rotor. The sensor includes a columnar portion made of alumina ceramic whose end face is opposed to the rotor, and forms an eddy current sensor by winding a sensor coil along the periphery of the side surface, and a metal screw is attached to the alumina ceramic. The part is brazed.
[0013]
Preferably, the sensor, including the eddy current sensor in which the sensor coil to the screw groove formed along the periphery is wound side of the columnar portion.
[0014]
Also preferably, the sensor including an eddy current sensor in which the sensor coils in a recess formed along the periphery is wound side of the columnar portion.
[0015]
[Action]
In the magnetic bearing according to the present invention, a ceramic coated electric wire is used as a coil material of an electromagnet coil, an alumina fiber woven fabric is used to insulate the electromagnet coil and the stator, and the surface is covered with an electromagnetic yoke whose surface is covered with a ceramic coating. The eddy current sensor is constructed by fixing the electromagnet coil with wedges and coil holders, and winding the sensor coil around the columnar part made of alumina ceramics, which causes material deterioration at high temperatures. Performance can be maintained, and deterioration of the material under radiation can be reduced to maintain performance.
[0017]
【Example】
FIG. 1 is a schematic view of a magnetic bearing according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a view taken along line II-II in FIG.
[0018]
With reference to FIGS. 1 and 2, in the magnetic bearing of this embodiment, a rotor 10 is magnetically held by an electromagnetic yoke (stator) 1. An electromagnetic yoke (stator) 1 is attached to a stator retainer 12. The electromagnetic yoke 1 is obtained by applying a thin inorganic adhesive to a normally used electromagnetic yoke to prevent high-temperature oxidation and firing it. Then, a thin ceramic film is formed on the surface, and it is devised so that the performance does not deteriorate due to oxidation even when placed in a high temperature state.
[0019]
An electromagnetic coil 2 in which an inorganic heat-resistant electric wire (ceramics-coated electric wire) is used as a coil material wound around the electromagnetic yoke 1 is provided with a certain gap with respect to the electromagnetic yoke 1. Since the inorganic heat-resistant electric wire (ceramics-coated electric wire) of the electromagnet coil 2 is used, the insulation of the electromagnet coil 2 is maintained up to a high temperature.
[0020]
Here, examples of the inorganic heat-resistant electric wire include a ceramic glass tube as an insulator, an electric wire having a metal tube filled with a metal oxide powder, and the like in addition to the ceramic-coated electric wire. However, these electric wires have drawbacks in workability such as bending workability and processing of connecting portions. Further, these electric wires have a problem that the diameter of the electric wire is larger than the conductor diameter, and it is difficult to achieve high integration and winding.
[0021]
In this respect, the ceramic-coated electric wire is a conductor whose surface is coated with thin ceramics and is excellent in flexibility. Therefore, the ceramic-coated electric wire is suitable for coiling with a small diameter. Moreover, since the coating of the ceramic-coated wire is thin, there is also an advantage that the space factor is excellent.
[0022]
Even if the ceramic-coated electric wire having such advantages is superior to other inorganic heat-resistant electric wires, it is superior in flexibility. However, at the bent part, the ceramic coating is peeled off or the ceramic coating is cracked. May enter. In that case, the withstand voltage is lowered.
[0023]
Therefore, the gap between the electromagnetic yoke 1 and the electromagnet coil 2 needs to be maintained as described above. For this purpose, an alumina cloth (alumina fiber woven fabric) 3 is wound around the electromagnet coil 2 to ensure insulation between the electromagnetic yoke 1 and the electromagnet coil 2. The alumina cloth 3 also serves to fix the electromagnet coil to the electromagnetic yoke 1 by utilizing the elastic deformation of the alumina fiber.
[0024]
As described above, the alumina cloth 3 is used, but the insulation is performed in the gap. Therefore, if the electromagnetic coil 2 is fixed to the electromagnetic yoke 1 by another method, a gap can be secured, and if it is an inorganic material that is heat resistant and non-conductive, such an alumina material is used instead of the alumina cloth. Inorganic materials may be used. For example, a ceramic plate may be sandwiched to form a gap. Moreover, although heat resistant glass fiber, ceramic paper, etc. may be used, alumina cloth is most suitable.
[0025]
Note that when the alumina cloth 3 is cut or bent along the weave, fraying of the alumina fibers or fiber cutting occurs. Therefore, the cutting process of the alumina cloth of this embodiment is performed at an angle of about 45 ° with respect to the weave. Further, the bending of the alumina cloth is also performed at an angle of about 45 ° with respect to the weave. This bending process is called bias folding.
[0026]
Next, since the electromagnet coil 2 is fixed by the wedge 4 and the coil retainer 5, the wedge 4 and the coil retainer 5 will be described in detail.
[0027]
3 is an enlarged view of the lower left of FIG. 1, and FIG. 4 is an enlarged view of a portion of the left of FIG.
[0028]
The wedge 4 and the coil retainer 5 will be described in particular with reference to FIGS. An alumina cloth 3 is packed around and around the electromagnet coil 2. The wedge 4 and the coil retainer 5 fix the electromagnet coil 2 and conduct heat. That is, the wedge 4 and the coil retainer 5 prevent the electromagnet coil 2 from moving due to vibration or thermal expansion and coming into contact with the electromagnetic yoke 1 or the gap being reduced to reduce the dielectric strength. Further, the wedge 4 and the coil retainer 5 prevent the ceramic coating from being peeled off. Further, the wedge 4 and the coil retainer 5 efficiently conduct the heat generated by the electromagnet coil 2 to the stator or the like.
[0029]
In particular, the wedge 4 pushes the electromagnet coil 2 from the coil end side 31 outward in the direction of the arrow to the electromagnet yoke 1 to prevent the electromagnet coil 2 from vibrating and moving due to thermal expansion. In addition, the efficiency of heat conduction from the electromagnetic coil 2 to the stator is improved.
[0030]
Next, returning to FIG. 1, the sensor 6 is provided to face the rotor 10. The sensor 6 is attached to the sensor attachment base 11 and detects a gap with the rotor 10. As the sensor 6, an eddy current type sensor is used. As shown in FIG. 2, the sensor 6 includes a sensor base 7, a cap 8, and a sensor coil 9.
[0031]
FIG. 5 is a view showing the sensor base, FIG. 6 is a view seen from the VI-VI line of FIG. 5, and FIG. 8 is a side view of the sensor with the sensor coil wound around the sensor base. FIG. 7 is a diagram showing a sensor cap, FIG. 7 is a diagram seen from the VII-VII line in FIG. 8, and FIG. 9 is a diagram seen from the IX-IX line in FIG.
[0032]
The sensor base 7 and the sensor cap 8 are made of alumina ceramics. The sensor base 7 has a columnar portion 33 whose end face 32 faces the rotor 10. The sensor base 7 is brazed with a metal 14 for electrical terminals and a metal 13 for fixing. These metals 14 and 15 are threaded, and are used for fixing the electric wire of the sensor coil 9 and fixing the sensor 6 to the sensor mounting base 11, respectively.
[0033]
A male thread is cut in the columnar portion 33 of the sensor base 7. As shown in FIG. 10, which is an enlarged view of part A in FIG. 8, the electric wire 34 is wound around the thread groove portion of the male screw to form the sensor coil 9. The male screw is for preventing coil displacement and insulation.
[0034]
In addition, as shown in FIG. 11, the recessed part (groove | channel) 35 may be provided along the circumference | surroundings of the side surface of the columnar part 33 of the sensor base 7, and the ceramic electric wire 17 may be wound.
[0035]
Returning to FIG. 8, the sensor coil 9 uses a thin electric wire that is not outside the threaded portion of the male screw of the sensor base 7, and has an inner diameter that is the same as the outer diameter of the inorganic adhesive and the male screw of the sensor base 7. The sensor cap 8 is fixed to the male screw portion of the sensor base 7.
[0036]
The terminal end of the sensor coil 9 is connected to the inorganic coaxial cable 16 by an electrode brazed to the sensor base 7. The inorganic coaxial cable 16 is fixed by a coaxial cable retainer 15.
[0037]
In this way, the component parts of the sensor (sensor base 7, cap 8, sensor coil 9) also use an inorganic material, so that the material does not deteriorate under high temperature and the material deteriorates under radiation. Since this does not occur, the sensor performance can be maintained.
[0038]
【The invention's effect】
As described above, according to the present invention, the use of inorganic materials for the components of the magnetic bearing can suppress the deterioration and deterioration of the material under a special environment such as high temperature and radiation. It can be used in a special environment such as an environment with a large change in use or temperature, or a radiation environment.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a schematic view of a magnetic bearing according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a view taken along line II-II in FIG.
FIG. 3 is an enlarged view of a lower left portion of FIG. 1;
4 is an enlarged view of a part of the left half of FIG.
FIG. 5 is a view showing a sensor base constituting the sensor of FIG. 1;
6 is a view taken along line VI-VI in FIG. 5;
7 is a view as seen from the VII-VII line in FIG. 8. FIG.
FIG. 8 is a side view of a sensor having a sensor coil attached to a sensor base and a view showing a cap.
9 is a view as seen from the IX-IX line in FIG. 8. FIG.
10 is an enlarged view of a portion A in FIG.
FIG. 11 is a partially enlarged view of another sensor base.
[Explanation of symbols]
1 Electromagnetic yoke (stator)
2 Electromagnetic coil 3 Alumina cloth 6 Sensor 10 Rotor 17 Ceramic wire 33 Column 35 Recess

Claims

A magnetic bearing that includes a sensor that magnetically holds a rotor by a plurality of stators and is provided to face the rotor ,
A plurality of electromagnet coils each provided corresponding to the plurality of stators, each using a ceramic-coated wire as a coil material wound around the corresponding stator;
Provided corresponding to each electromagnet coil, an alumina fiber woven fabric to a corresponding electromagnetic coil and the corresponding stator are kicked the winding to the corresponding electromagnetic coil is folded biased to insulate,
A ring-shaped stator retainer for fixing the plurality of stators around the rotor;
A fixing member that fixes the plurality of electromagnet coils in a predetermined position ;
Each stator is provided with an end surface facing the rotor, and an electromagnetic yoke whose base end is fixed to the stator retainer, and an inorganic adhesive is applied to the surface of the electromagnetic yoke and fired. Including a ceramic coating formed by
The fixing member is inserted between the side surfaces of the tip portions of two adjacent stators, a wedge for pressing the electromagnetic coil wound with the alumina fiber woven fabric against the stator pressing side, and the alumina A coil presser that presses the electromagnet coil wound with a fiber woven fabric against the side surface of the corresponding stator along the axial direction of the rotor,
The sensor includes a columnar portion made of alumina ceramics whose end face is opposed to the rotor, and constitutes an eddy current sensor by winding a sensor coil along the periphery of the side surface. A magnetic bearing characterized in that a screw part made of solder is brazed .

The sensor comprises an eddy current sensor, wherein the sensor coil to the screw groove formed along the periphery is wound side of the columnar portion, a magnetic bearing according to claim 1.

The sensor comprises an eddy current sensor, wherein the sensor coil in a recess formed along the periphery is wound side of the columnar portion, a magnetic bearing according to claim 1.