JPH0460214A - Magnetic bearing device - Google Patents
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野コ
この発明は、磁気軸受装置に関し、特に、電磁石を有す
る磁気軸受によって回転軸を軸受し、回転軸をモータで
回転させ、回転軸の位置を位置センサで検出して磁気軸
受を制御する磁気軸受装置に関するものである。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Field of Industrial Application] This invention relates to a magnetic bearing device, and in particular, a magnetic bearing device having an electromagnet for bearing a rotating shaft, rotating the rotating shaft with a motor, and controlling the position of the rotating shaft. The present invention relates to a magnetic bearing device that controls a magnetic bearing by detecting it with a position sensor.
［従来の技術］
従来、電磁石の磁気力を利用して回転軸を非接触で軸受
する磁気軸受装置が知られている。この磁気軸受装置は
、たとえば、宇宙機器や原子力。[Prior Art] Conventionally, a magnetic bearing device is known that uses the magnetic force of an electromagnet to support a rotating shaft in a non-contact manner. This magnetic bearing device is used, for example, in space equipment and nuclear power.
核融合炉用機器などに使用されるターボ分子ポンプとし
て用いられる。ターボ分子ポンプは、真空中で翼を高速
回転することにより高真空を得る真空ポンプであり、構
成としては、磁気軸受装置にターボ分子ポンプ用のロー
タを取付けて静翼、ケーシングを組込んだものである。Used as a turbomolecular pump used in equipment for nuclear fusion reactors. A turbo-molecular pump is a vacuum pump that obtains high vacuum by rotating blades at high speed in a vacuum, and consists of a rotor for turbo-molecular pumps attached to a magnetic bearing device, stator blades, and a casing. It is.
第３図は従来の磁気軸受装置を示した断面図である。な
お、ポンプ用ロータは簡略化している。FIG. 3 is a sectional view showing a conventional magnetic bearing device. Note that the pump rotor is simplified.
第３図を参照して、従来の磁気軸受装置について説明す
る。回転軸１０１の一端にはターボ分子ポンプ用のロー
タ１０２がボルト１０３によって固定されている。ロー
タ１０２の内面には上部ケース１０４が設けられ、その
上部ケース１０４は、下部ケース１０５上に固定されて
いる。上部ケース１０４の上面とほぼ同じ位置に、上部
タッチダウンベアリング１０６が取付けられている。上
部ケース１０４の内面には、その上部にラジアル磁気軸
受１０８が取付けられ、ラジアル磁気軸受１０８の上部
には、回転軸１０１のラジアル方向の、位置を検出する
ためのラジアル位置センサ１０７が設けられている。上
部ケース１０４の内面のラジアル磁気軸受１０８の下部
には、スラスト磁気軸受１１０が設けられている。スラ
スト磁気軸受１１０下には、ラジアル磁気軸受１１１が
設けられ、ラジアル磁気軸受１１１下には回転軸１０１
のラジアル方向の位置を検出するためのラジアル位置セ
ンサ１１２が設けられている。下部ケース１０５の下方
内面部には、回転軸１０１を回転させるためのモータ１
１３が設けられ、さらにその下方には、下部タッチダウ
ンベアリング１１４が設けられている。さらに、回転軸
１０１の底面に対向して、回転軸１０１のスラスト方向
の位置を検出するためのスラスト位置センサ１０９が設
けられている。A conventional magnetic bearing device will be described with reference to FIG. A rotor 102 for a turbo molecular pump is fixed to one end of the rotating shaft 101 by bolts 103 . An upper case 104 is provided on the inner surface of the rotor 102, and the upper case 104 is fixed onto a lower case 105. An upper touchdown bearing 106 is mounted at approximately the same position as the upper surface of the upper case 104. A radial magnetic bearing 108 is attached to the upper part of the inner surface of the upper case 104, and a radial position sensor 107 for detecting the position of the rotating shaft 101 in the radial direction is provided above the radial magnetic bearing 108. There is. A thrust magnetic bearing 110 is provided below the radial magnetic bearing 108 on the inner surface of the upper case 104. A radial magnetic bearing 111 is provided below the thrust magnetic bearing 110, and a rotating shaft 101 is provided below the radial magnetic bearing 111.
A radial position sensor 112 is provided for detecting the radial position of. A motor 1 for rotating the rotating shaft 101 is provided on the lower inner surface of the lower case 105.
13 is provided, and further below that, a lower touchdown bearing 114 is provided. Further, a thrust position sensor 109 is provided opposite the bottom surface of the rotating shaft 101 to detect the position of the rotating shaft 101 in the thrust direction.
次に、従来の磁気軸受装置の磁気軸受制御について説明
する。まず、回転軸１０１は、そのラジアル方向を、ラ
ジアル磁気軸受１０８おヨヒ１１１によって制御される
。すなわち、回転軸１０１のラジアル方向の位置は、ラ
ジアル位置センサ１０７によって検出され、その検出信
号に基づいてラジアル磁気軸受１０８のコイルに流れる
電流が制御される。ラジアル磁気軸受１１１およびラジ
アル位置センサ１１２についても同様の動作を行なう。Next, magnetic bearing control of a conventional magnetic bearing device will be explained. First, the radial direction of the rotating shaft 101 is controlled by a radial magnetic bearing 108 and a radial magnetic bearing 111. That is, the radial position of the rotating shaft 101 is detected by the radial position sensor 107, and the current flowing through the coil of the radial magnetic bearing 108 is controlled based on the detection signal. Similar operations are performed for the radial magnetic bearing 111 and the radial position sensor 112.
回転軸１０１のスラスト方向は、スラスト磁気軸受１１
０によって制御される。すなわち、回転軸１０１のスラ
スト方向位置は、スラスト位置センサ１０９によって検
出され、その検出信号に基づいてスラスト磁気軸受１１
０のコイルへ供給される電流が制御される。このように
制御することによって、回転軸１０１は高精度に磁気軸
受され、この状態でモータ１１３によって回転軸１０１
が回転される。The thrust direction of the rotating shaft 101 is determined by the thrust magnetic bearing 11.
Controlled by 0. That is, the thrust direction position of the rotating shaft 101 is detected by the thrust position sensor 109, and the thrust magnetic bearing 11 is detected based on the detection signal.
The current supplied to the zero coil is controlled. By controlling in this way, the rotating shaft 101 is magnetically supported with high precision, and in this state, the rotating shaft 101 is rotated by the motor 113.
is rotated.
［発明が解決しようとする課題］
前述のように、従来の磁気軸受装置では、回転軸１０１
の位置をスラスト位置センサ１０９およびラジアル位置
センサ１０７，１１２によって検出し、その検出結果に
基づいてスラスト磁気軸受１１０およびラジアル磁気軸
受１０８，１１１によって回転軸１０１を軸受制御し、
モータ１１３によって回転軸１０１を回転するように構
成されていた。ここで、スラスト位置センサ１０９．ラ
ジアル位置センサ１０７．１１２．スラスト磁気軸受１
１０．ラジアル磁気軸受１０８，１１１゜モータ１１３
には、通常コイル巻線およびそのコイル巻線を冷却する
とともに固定するためのモールド材料が使用される。従
来、コイル巻線としては、ポリイミドなどの耐熱性を有
する高分子材料により被覆された銅およびアルミ線が使
用され、モールド材料としては、耐熱性および熱伝導性
に優れた高分子材料が使用されていた。さらに、コイル
巻線を冷却するために、磁気軸受を構成する電磁石の外
側には冷却装置が設けられ、それによって強制冷却を行
なっていた。[Problems to be Solved by the Invention] As mentioned above, in the conventional magnetic bearing device, the rotating shaft 101
The position of is detected by a thrust position sensor 109 and radial position sensors 107, 112, and based on the detection results, bearing control of the rotating shaft 101 is performed by a thrust magnetic bearing 110 and radial magnetic bearings 108, 111,
The rotating shaft 101 was configured to be rotated by a motor 113. Here, thrust position sensor 109. Radial position sensor 107.112. Thrust magnetic bearing 1
10. Radial magnetic bearing 108, 111° motor 113
Typically, a coil winding and a molding material are used to cool and secure the coil winding. Conventionally, copper and aluminum wires coated with heat-resistant polymer materials such as polyimide have been used for coil windings, and polymer materials with excellent heat resistance and thermal conductivity have been used as molding materials. was. Furthermore, in order to cool the coil windings, a cooling device is provided outside the electromagnets constituting the magnetic bearing, thereby performing forced cooling.
しかし、このように高分子材料を用いたコイル巻線およ
びモールド材料では、高分子材料の耐熱性から考えて約
２５０℃の環境温度が限界であった。また、放射線環境
中にこのような高分子材料を用いたコイルおよびモール
ド材料が使用された場合には、高分子材料が劣化すると
いう問題点があった。However, in consideration of the heat resistance of the polymer material, the limit of the environmental temperature of the coil winding wire and mold material using a polymer material is approximately 250°C. Furthermore, when coils and mold materials using such polymeric materials are used in a radiation environment, there is a problem in that the polymeric materials deteriorate.
つまり、従来の磁気軸受装置では、磁気軸受や位置セン
サなどに、使用される巻線コイルおよびモールド材料に
、高分子材料を用いていたため、耐熱性に限界があり高
温環境下では使用できないという問題点があり、さらに
、放射線環境中においても高分子材料の劣化という問題
があるため使用することができないという欠点があった
。In other words, in conventional magnetic bearing devices, polymer materials are used for the winding coils and molding materials used in magnetic bearings, position sensors, etc., which has a limited heat resistance and cannot be used in high-temperature environments. Furthermore, there is a problem that the polymer material deteriorates even in a radiation environment, so it cannot be used.
この発明は、上記のような課題を解決するためになされ
たもので、高温環境下や放射線環境下においても使用す
ることが可能な磁気軸受装置を提供することを目的とす
る。The present invention was made in order to solve the above-mentioned problems, and an object of the present invention is to provide a magnetic bearing device that can be used even in high-temperature environments and radiation environments.
［課題を解決するための手段］
この発明における磁気軸受装置は、電磁石を有する磁気
軸受によって回転軸を軸受し、回転軸をモータで回転さ
せ、回転軸の位置を位置センサで検出して磁気軸受を制
御する磁気軸受装置において、磁気軸受およびモータな
らびに位置センサのコイルのうち少なくとも１つにセラ
ミック被覆電線を使用し、かつ、セラミック被覆電線を
用いたコイルのモールド材料としてセラミックモールド
材料を使用したことを特徴とする。[Means for Solving the Problems] The magnetic bearing device of the present invention supports a rotating shaft with a magnetic bearing having an electromagnet, rotates the rotating shaft with a motor, detects the position of the rotating shaft with a position sensor, and rotates the rotating shaft with a magnetic bearing. In a magnetic bearing device that controls a magnetic bearing device, a ceramic coated electric wire is used for at least one of the coils of the magnetic bearing, the motor, and the position sensor, and a ceramic mold material is used as a molding material for the coil using the ceramic coated electric wire. It is characterized by
［作用］
この発明に係る磁気軸受装置では、磁気軸受およびモー
タならびに位置センサのコイルのうち少なくとも１つに
セラミック被覆電線が使用され、かつ、セラミック被覆
電線を用いたコイルのモールド材料としてセラミックモ
ールド材料が使用されるので、コイル導体の絶縁皮膜お
よびモールド材料に耐熱性に優れたセラミック材料を使
用すれば磁気軸受装置の耐熱性が向上され、コイル導体
の絶縁皮膜およびモールド材料に耐放射線性に優れたセ
ラミック材料を使用すれば磁気軸受装置の耐放射線性が
向上される。[Function] In the magnetic bearing device according to the present invention, a ceramic coated wire is used for at least one of the magnetic bearing, the motor, and the coil of the position sensor, and a ceramic mold material is used as a mold material for the coil using the ceramic coated wire. Therefore, the heat resistance of the magnetic bearing device can be improved by using a ceramic material with excellent heat resistance for the insulation film of the coil conductor and the molding material. The use of ceramic materials improves the radiation resistance of the magnetic bearing device.
［発明の実施例］
以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明する。第１
図は本発明の一実施例による磁気軸受装置に使用される
磁気軸受を構成する電磁石を示した断面図である。第１
図を参照して、電磁石ヨーク３内には、Ａｔ２０３被覆
導線１が挿入され、そのＡｔ２０３被覆導線１と電磁石
ヨーク３との間には、ＳｉＣセラミック２が装填されて
いる。[Embodiments of the Invention] Hereinafter, embodiments of the present invention will be described based on the drawings. 1st
The figure is a sectional view showing an electromagnet constituting a magnetic bearing used in a magnetic bearing device according to an embodiment of the present invention. 1st
Referring to the figure, an At203 coated conductive wire 1 is inserted into an electromagnet yoke 3, and a SiC ceramic 2 is loaded between the At203 coated conductor 1 and the electromagnet yoke 3.
ＳｉＣセラミック２は、ポリボロシロキサンを９００℃
で焼成することによりＳｉＣセラミックに転換されたも
のを用いる。すなわち、ポリボロシロキサンは、常温で
は固体状の高分子材料であり、約６０℃にて軟化した液
体となる。したがって、電磁石をモールドする際の作業
が非常に容易であるという利点がある。SiC ceramic 2 is made of polyborosiloxane heated to 900°C.
The SiC ceramic is converted into a SiC ceramic by firing it. That is, polyborosiloxane is a solid polymeric material at room temperature, and becomes a softened liquid at about 60°C. Therefore, there is an advantage that the work when molding the electromagnet is very easy.
製造プロセスとしては、まず、電磁石ヨーク３内にＡｔ
２０３被覆導線１からなるコイルを挿入し、約６０℃で
軟化させたポリボロシロキサンをコイル収納部に注入す
る。その後、約９００℃で加熱焼成することにより、高
分子材料であるポリボロシロキサンはＳｉＣセラミック
２に転換される。この結果、電磁石は、耐熱セラミック
材料によってモールドされることになる。なお、電磁石
のポリボロシロキサンの注入時に、ＢＮなどの熱伝導性
のよいセラミック材料を分散させることにより、モール
ド材料としての機能を向上させることができる。また、
従来の高分子材料を巻線コイルおよびモールド材料とし
て使用したものと比較して、耐放射線性も向上させるこ
とができる。In the manufacturing process, first, At is placed inside the electromagnet yoke 3.
A coil made of 203 coated conductor wire 1 is inserted, and polyborosiloxane softened at about 60° C. is injected into the coil housing. Thereafter, polyborosiloxane, which is a polymeric material, is converted into SiC ceramic 2 by heating and baking at about 900°C. As a result, the electromagnet will be molded with a heat resistant ceramic material. Note that by dispersing a ceramic material with good thermal conductivity such as BN when injecting the polyborosiloxane of the electromagnet, the function as a molding material can be improved. Also,
Radiation resistance can also be improved compared to conventional polymeric materials used as wire-wound coils and molding materials.
第２図は本願発明の他の実施例による磁気軸受装置に使
用される磁気軸受を構成する電磁石を示した断面図であ
る。第２図を参照して、他の実施例では、Ａｔ２０３被
覆導線１と、電磁石ヨーク３との間に装填されるモール
ド材料として、５ｉＯ９−Ｔｉ０２ガラス４が使用され
ている。この５ｉＯ９−Ｔ ｉ ０２ガラス４は、金属
アルコキシドを原料としたガラスの低温合成法のうち、
アルコキシド法を利用して形成される。アルコキシド法
は、従来の約１４００℃の加熱が必要であった溶融法を
改善したものであり、１０００℃以下の加熱でガラスが
生成されるとともに、モールド材料の注入ヲ常温でのゲ
ル体で行なうことができるために、モールド時の作業が
容易であるという利点がある。FIG. 2 is a sectional view showing an electromagnet constituting a magnetic bearing used in a magnetic bearing device according to another embodiment of the present invention. Referring to FIG. 2, in another embodiment, 5iO9-Ti02 glass 4 is used as the molding material loaded between the At203 coated conductor 1 and the electromagnet yoke 3. This 5iO9-T i 02 glass 4 is produced using a low-temperature synthesis method for glass using metal alkoxide as a raw material.
Formed using the alkoxide method. The alkoxide method is an improvement over the conventional melting method, which required heating to approximately 1400°C. Glass is produced by heating below 1000°C, and the molding material is injected into a gel body at room temperature. This has the advantage that molding operations are easy.
具体的な製造方法としては、Ｓｉのアルコキシド５ｉ（
ＯＣ２Ｈｓ）４とＴｉのアルコキシドＴｉ （ＯＣ３Ｈ
７）４を常温で混合してアルコキシド混合溶液を作る。As a specific manufacturing method, Si alkoxide 5i (
OC2Hs)4 and Ti alkoxide Ti (OC3H
7) Mix 4 at room temperature to make an alkoxide mixed solution.
このアルコキシド混合溶液内に、アルコール、水、酸を
常温で添加し加水分解することによりゲル体が生成され
る。このゲル体を電磁石ヨーク３とＡｔ、２０３被覆導
線１との間に注入した後、５００〜１０００℃で加熱す
ることにより、酸化物ガラス体５ｉ０２−ＴｉＯ□ガラ
スによって電磁石コイルを構成するＡＬ２ｏ３被覆導線
１がモールドされることとなる。なお、上記ゲル体注入
時に熱伝導性のよいセラミック材料を分散させることに
より、モールド材料としてめ機能を向上させることがで
きる。A gel body is produced by adding alcohol, water, and acid to this alkoxide mixed solution at room temperature and hydrolyzing it. After injecting this gel body between the electromagnet yoke 3 and the At, 203-coated conductor 1, and heating it at 500 to 1000°C, the AL2o3-coated conductor that constitutes the electromagnet coil with the oxide glass body 5i02-TiO□ glass 1 will be molded. Note that by dispersing a ceramic material with good thermal conductivity when injecting the gel body, the function as a molding material can be improved.
上記のように、第１図および第２図に示した実施例では
、電磁石を構成するコイルの絶縁皮膜およびモールド材
料として、セラミック材料を用いたことにより、従来困
難であった高温環境下や放射線環境下においても磁気軸
受装置を使用することが可能となる。なお、第１図およ
び第２図に示した実施例では、電磁石を構成するコイル
の絶縁皮膜およびモールド材料としてセラミック材料を
用いた例を示したが、本願発明はこれに限らず、磁気軸
受装置を構成する要素のうちコイル巻線およびモールド
材料を使用するものには、すべて適用可能である。たと
えば、位置センサやモータなどを構成するコイル巻線の
絶縁皮膜およびモールド材料としてセラミック材料を用
いた場合には磁気軸受装置の耐熱性や耐放射線性をさら
に改善することができる。As mentioned above, in the embodiments shown in Figures 1 and 2, ceramic materials are used as the insulating film and molding material for the coils constituting the electromagnet. It becomes possible to use the magnetic bearing device even under environmental conditions. In addition, in the embodiment shown in FIG. 1 and FIG. 2, an example was shown in which ceramic material was used as the insulating film and molding material of the coil constituting the electromagnet, but the present invention is not limited to this, and the present invention is not limited to this. It is applicable to all elements that use coil windings and molding materials. For example, when a ceramic material is used as the insulating film and molding material for the coil windings constituting a position sensor, motor, etc., the heat resistance and radiation resistance of the magnetic bearing device can be further improved.
［発明の効果］
以上のように、この発明によれば、磁気軸受およびモー
タならびに位置センサのコイルのうち少な（とも１つの
セラミック被覆電線を使用し、かつ、セラミック被覆電
線を用いたコイルのモールド材料としてセラミックモー
ルド材料を使用することにより、コイルの絶縁皮膜およ
びモールド材料に耐熱性に優れたセラミック材料を使用
すれば磁気軸受装置の耐熱性が向上され、コイルの絶縁
皮膜およびモールド材料に耐放射線性に優れたセラミッ
ク材料を使用すれば磁気軸受装置の耐放射線性が向上さ
れるので、高温環境下や放射線環境下においても使用す
ることが可能な磁気軸受装置を提供し得るに至った。[Effects of the Invention] As described above, according to the present invention, only one ceramic-coated wire is used among the magnetic bearing, motor, and position sensor coil, and the coil mold using the ceramic-coated wire is By using a ceramic mold material as a material, the heat resistance of the magnetic bearing device can be improved by using a ceramic material with excellent heat resistance for the coil insulation film and mold material, and the radiation resistance of the coil insulation film and mold material can be improved. Since the radiation resistance of the magnetic bearing device is improved by using a ceramic material with excellent properties, it has become possible to provide a magnetic bearing device that can be used even in high-temperature environments and radiation environments.
第１図は本発明の一実施例による磁気軸受装置に使用さ
れる磁気軸受を構成する電磁石を示した断面図、第２図
は本発明の他の実施例による磁気軸受装置に使用される
磁気軸受を構成する電磁石を示した断面図、第３図は従
来の磁気軸受装置を示した断面図である。
図において、１はＡｔ２０．被覆導線、２はＳｉＣセラ
ミック、３は電磁石ヨーク、４は５ｉＯ２−Ｔｉ０２ガ
ラスである。
なお、各図中、同一符号は、同一または相当部分を示す
。
第１図
１−−−−Ａ１ｚＤａネ皮ｌＬ＠季判５ ２−・−５
；０“ヒラミッフ３−・−・細石ヲー２
第２図
４−−−−５ｊＯｚ ＴｒＯ２’７”２Ｘ。FIG. 1 is a sectional view showing an electromagnet constituting a magnetic bearing used in a magnetic bearing device according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a sectional view showing an electromagnet used in a magnetic bearing device according to another embodiment of the present invention. A sectional view showing an electromagnet constituting a bearing, and FIG. 3 is a sectional view showing a conventional magnetic bearing device. In the figure, 1 is At20. A coated conducting wire, 2 is a SiC ceramic, 3 is an electromagnetic yoke, and 4 is a 5iO2-Ti02 glass. Note that in each figure, the same reference numerals indicate the same or corresponding parts. Fig. 1 1----A1zDane skin lL @Kihan 5 2-・-5
;0"Hiramiff 3---Saiishiwo-2 Fig. 2 4-----5jOz TrO2'7"2X.
Claims (5)
、前記回転軸をモータで回転させ、回転軸の位置を位置
センサで検出して前記磁気軸受を制御する磁気軸受装置
において、前記磁気軸受および前記モータならびに前記
位置センサのコイルのうち少なくとも１つにセラミック
被覆電線を使用し、かつ、前記セラミック被覆電線を用
いたコイルのモールド材料としてセラミックモールド材
料を使用したことを特徴とする、磁気軸受装置。(1) A magnetic bearing device in which a rotating shaft is supported by a magnetic bearing having an electromagnet, the rotating shaft is rotated by a motor, and the position of the rotating shaft is detected by a position sensor to control the magnetic bearing. A magnetic bearing device characterized in that a ceramic coated electric wire is used for at least one of the coils of the motor and the position sensor, and a ceramic molding material is used as a molding material for the coil using the ceramic coated electric wire. .
材を熱変成して得られるセラミックモールド材料である
ことを特徴とする、請求項第１に記載の磁気軸受装置。(2) The magnetic bearing device according to claim 1, wherein the ceramic mold material is a ceramic mold material obtained by thermally transforming an organic metal polymer material.
ミックモールド材料には、他のセラミックモールド材料
が分散されていることを特徴とする、請求項第２に記載
の磁気軸受装置。(3) The magnetic bearing device according to claim 2, wherein another ceramic mold material is dispersed in the ceramic mold material obtained by thermally transforming the organometallic polymer material.
ドを原料とし、アルコキシド法により生成したガラス材
料であることを特徴とする、請求項第１に記載の磁気軸
受装置。(4) The magnetic bearing device according to claim 1, wherein the ceramic mold material is a glass material produced by an alkoxide method using a metal alkoxide as a raw material.
料には、他のセラミックモールド材料が分散されている
ことを特徴とする、請求項第４に記載の磁気軸受装置。(5) The magnetic bearing device according to claim 4, wherein another ceramic mold material is dispersed in the glass material constituting the ceramic mold material.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17335890A JPH0460214A (en) | 1990-06-29 | 1990-06-29 | Magnetic bearing device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17335890A JPH0460214A (en) | 1990-06-29 | 1990-06-29 | Magnetic bearing device |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0460214A true JPH0460214A (en) | 1992-02-26 |
Family
ID=15958928
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17335890A Pending JPH0460214A (en) | 1990-06-29 | 1990-06-29 | Magnetic bearing device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0460214A (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH08200366A (en) * | 1995-01-18 | 1996-08-06 | Ntn Corp | Magnetic bearing |
| WO2001082423A1 (en) * | 2000-04-26 | 2001-11-01 | Ebara Corporation | Excimer laser apparatus |
-
1990
- 1990-06-29 JP JP17335890A patent/JPH0460214A/en active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH08200366A (en) * | 1995-01-18 | 1996-08-06 | Ntn Corp | Magnetic bearing |
| WO2001082423A1 (en) * | 2000-04-26 | 2001-11-01 | Ebara Corporation | Excimer laser apparatus |
| US6809448B2 (en) | 2000-04-26 | 2004-10-26 | Ebara Corporation | Excimer laser apparatus |
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