JP3692752B2 - 平面導波路型光回路の製作方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、光分岐器,光結合器,スターカプラ,方向性結合器等を含み得る平面導波路型光回路の製作方法の改善に関し、特に、高い精度を有する平面導波路型光回路を簡略な工程で製作し得る方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
近年、光通信システムの発展に伴って、高い精度を有する平面導波路型光回路を簡略な工程で形成し得る方法の開発が望まれている。そのような平面導波路型光回路は、光通信システムに必要な光分岐器,光結合器,スターカプラ,方向性結合器などを含み得るものである。
【0003】
図6において、平面導波路型光回路の先行技術による形成方法の一例が概略的な断面図で図解されている。
【0004】
図6(A)において、まず、下部クラッド層として働くシリカガラス基板1上において、添加元素としてゲルマニウムを含むシリカガラスのコア層2が形成される。このコア層2は、たとえば、四塩化シリコンと四塩化ゲルマニウムの火炎加水分解を行なってガラス微粒子層を堆積し、この微粒子層を高温に加熱して透明ガラス層に変えることによって形成され得る。なお、下部クラッド層として働く基板1は、他の基板上に形成されたシリカガラス層であってもよいことは言うまでもない。
【0005】
図6(B)においては、コア層2の上に、光回路に対応したパターンを有するレジストパターン3がフォトリソグラフィを用いて形成される。このフォトリソグラフィは、コア層2上へのレジスト層の塗布,光マスクを介する露光,およびその露光されたレジスト層の現像処理などの複雑な工程を含むものである。
【0006】
図6(C)において、レジストパターン3をマスクとして、反応性イオンエッチングを用いてコア層2がエッチングされ、光回路パターンに対応したコアリッジ2aが形成される。
【0007】
図6(D)において、光回路に対応したパターンを有するコアリッジ2aを覆うように、火炎加水分解堆積法によって上部クラッド層4が形成される。これによって、平面導波路型光回路が完成する。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】
以上のように、平面導波路型光回路の先行技術による製作方法においては、複雑なフォトリソグラフィや反応性イオンエッチングのような多くの工程を必要とする。また、先行技術による製作方法によれば、形成される平面導波路型光回路の精度はフォトリソグラフィと反応性イオンエッチングによる加工精度に依存する。
【0009】
したがって、本発明は、より高い精度を有する平面導波路型光回路を簡略な工程で形成し得る方法を提供することを目的としている。
【0010】
【課題を解決するための手段】
平面導波路型光回路の本発明による製作方法は、シリカ系ガラスの下部クラッド層を用意し、その下部クラッド層上にコア層を形成し、そのコア層は第1の添加元素と第2の添加元素とを含むシリカ系ガラスからなり、第1の添加元素はシリカ系ガラスの屈折率を増大させかつ第2の添加元素は第1の添加元素によるシリカ系ガラスの屈折率の増大を打消すように作用するものであり、コア層の深い位置においては浅い位置に比べて高濃度の第1と第2の添加元素が添加され、コア層上にシリカ系ガラスの上部クラッド層をさらに形成し、所定の光回路パターンを有するX線マスクを上部クラッド層上に配置し、コア層にX線マスクを介してX線を照射し、これにより、コア層中に光回路パターンに対応した高屈折領域を形成することを特徴としている。
【0011】
なお、上部クラッド層は、X線照射によってコア層中に高屈折領域を形成した後にそのコア層上に形成されてもよいことは言うまでもない。
【0012】
平面導波路型光回路の本発明による製作方法によれば、光回路パターンを有するX線マスクを介してコア層にX線を照射するという工程を用いることによって、先行技術の方法においては必要とされた複雑なフォトリソグラフィ工程および反応性エッチング工程を用いることなく簡略に平面導波路型光回路を得ることができる。さらに、本発明による製作方法においては、フォトリソグラフィで用いられる光の波長よりはるかに短い波長を有するX線が用いられるので、光回路の精度に対する回折による悪影響を低減することができて高精度の平面導波路型光回路を得ることができ、深さに依存して増大する添加物濃度を有するコア層を含む平面導波路型光回路において極めて良好な偏波特性が得られる。
【0013】
【発明の実施の形態】
図1は、シリカを主成分として含むシリカ系ガラスの基板材料を用いた場合における、平面導波路型光回路の本発明による製作方法の一例を概略的な断面図で図解している。
【0014】
図1(A)において、まず、下部クラッド層として働くシリカ系ガラス基板1上にコア層12が形成される。このコア層12は、第1の添加元素としてのゲルマニウム,チタン,ジルコン,リンまたはアルミニウムを含むのみならず、第2の添加元素をも含むように形成される。第2の添加元素は、第1の添加元素によるシリカ系ガラスの屈折率の増大を打消すように作用するものであり、たとえば、ホウ素またはフッ素を用いることができる。すなわち、コア層12は、下部クラッド層として働くシリカ系ガラス基板1と同じ屈折率を有するように形成される。このようなコア層12は、火炎加水分解堆積法,スパッタリング法,またはCVD法等を用いて形成することができる。
【0015】
図2は、シリカガラスに種々の元素を添加した場合の屈折率変化を示すグラフである。このグラフにおいて、横軸はシリカガラスに対する屈折率変化の割合を絶対値(%)で表わし、縦軸は添加物濃度(モル%)を表わしている。すなわち、横軸は、第1添加元素のゲルマニウム,チタン,ジルコン,リンおよびアルミニウムに関するGeO2 ,TiO2 ,ZrO2 ,P2 O5 およびAl2 O3 については屈折率の増大割合を表わし、第2添加元素のホウ素とフッ素に関するB2 O3 とFについては屈折率の減少割合を表わしている。図2に示されているような添加物と屈折率変化割合との関係を利用して、第1と第2の添加元素の種類と濃度を適宜に選択することによって、下部クラッド層として働くシリカ系ガラス基板1と同じ屈折率を有しかつ第1添加元素を含むコア層12を形成することができる。
【0016】
図1(B)においては、コア層12上に、さらにシリカ系ガラスの上部クラッド層14が形成される。この上部クラッド層14も、火炎加水分解堆積法,スパッタリング法,またはCVD法等を用いて形成され得ることは言うまでもない。なお、上部クラッド層14は、シリカ系ガラス以外に樹脂で形成されてもよい。但し、その樹脂は所定の波長の光に対して透光性のものでなければならない。たとえば、完成された平面導波路型光回路において信号光としての赤外線が用いられる場合には、上部クラッド層14を形成している樹脂も赤外線に対して透光性でなければならない。
【0017】
図1(C)において、上部クラッド層14の上方にX線マスク20が配置される。なお、図1(C)においては図面の明瞭化のためにX線マスク20が上部クラッド層14と隔てられて配置されているが、X線マスク20は上部クラッド層14に接して配置されてもよいことは言うまでもない。さらに図1では上部クラッド層14が形成された後にX線22が照射される例が示されているが、これとは逆に、X線22が照射された後に上部クラッド層14が形成されてもよいことも言うまでもない。
【0018】
X線マスク20は、X線を透過する支持膜20Aとその上にパターン化されて形成されたX線シールド層20Bとを含んでいる。支持膜20Aとして、窒化ケイ素膜,炭化ケイ素膜,ダイヤモンド膜等が好ましく用いられ得る。なぜならば、窒化ケイ素膜等は大きな機械的強度と大きなX線透過能を有しているからである。他方、X線シールド層20Bとしては、タングステン層,タンタル層,金層等を好ましく用いることができる。タングステン等は、X線に対して大きな遮蔽能力を有しているからである。タングステン層20Bは、コア層12内において形成されるべき光回路に対応したパターンを有している。
【0019】
このようなX線マスク20を介して、コア層12へX線22を照射することによって、コア層12内において、光回路パターンに対応した高屈折率領域12aが形成される。すなわち、コア層12内に第1添加元素として含まれるゲルマニウム,チタン,ジルコン,リンまたはアルミニウムはX線照射によってシリカ系ガラスの屈折率を増大させるように作用し、X線22の照射を受けた領域12aは屈折率が増大するのである。こうして、フォトリソグラフィや反応性イオンエッチングを必要とすることなく、単にX線マスクを介してX線を照射するだけで簡略に高い精度を有する平面導波路型光回路を得ることができる。また、X線はフォトリソグラフィにおいて用いられる光の波長よりはるかに短い波長を有しているので、光回路はサブミクロンの精度で形成することができる。
【0020】
なお、第1添加元素を含むシリカ系ガラス中のX線照射による屈折率の増大は、その第1添加元素またはシリコンのK殻またはL殻の電子がX線エネルギを吸収することによって起こる。各種元素がX線を吸収する度合は、たとえば、ACADEMIC PRESS社から出版されたAtomic Data and Nuclear Data Tables, Vol.54, 1993, pp.181-342 において述べられている。
【0021】
ここで、ゲルマニウム,チタン,ジルコンまたはリンを第1添加元素として含むシリカ系ガラスの場合、これらの元素のいずれのK殻吸収端もシリコンの場合の1.8389keVより高エネルギ側にあるので、この1.8389keVより高いエネルギのX線を用いることによって大きなX線吸収率が得られ、効率よく屈折率を増大させることができる。一方、アルミニウムを第1添加元素として含むシリカ系ガラスの場合では、アルミニウムのK殻吸収端はシリコンの場合より低エネルギ側の1.559keVにあるので、この場合は1.559keVより高いエネルギのXを用いることにより効率よく屈折率を高めることができる。
【0022】
他方、X線エネルギが大きくなるほど、各殻中の電子によるX線の吸収量が減少する。たとえば、X線エネルギが10keVの場合、シリコンによるX線吸収率は1.8389keVのX線の場合に比べて約1/10に減少する。すなわち、10keVより大きなエネルギのX線を照射しても、それは屈折率の増大にはほとんど寄与せず、無駄なものとなる。
【0023】
また、コア層12中のX線吸収量は、その上側表面から深くなるに従って減少する傾向にある。このようなX線吸収量の減少に伴ってコア層12中の屈折率の増大割合も減少するので、これを補償するように、コア層12中の深い位置においては、浅い位置に比べて高濃度の第1添加元素を含めることが好ましい。
【0024】
図3は、X線マスク20が有するパターンの一例を示す概略的な平面図である。このX線マスクは、タングステン層20B内に形成された直線光回路パターン23と1×2分岐光回路パターン24を含んでいる。これらの光回路パターンの各ラインは、たとえば10μmの幅を有している。窒化シリコンの支持膜20Aは約2μmの厚さに形成することができ、約2μmの厚さを有するタングステン層をX線遮蔽層20Bとして用いることができる。また、このX線マスク全体の長さは、たとえば約40mmに形成され得る。
【0025】
【実施例】
[参考例]
図4は、平面導波路型光回路の本発明の参考例による形成方法において、X線としてシンクロトロン放射光(SR光)を用いた例を概略的な断面図で図解している。シンクロトロン放射光装置としては、住友電工播磨研究所虹III号が用いられた。すなわち、図4において左方にシンクロトロン放射光装置(図示せず)が配置されている。大気圧のヘリウムを含むSR光照射室30内に、X線マスク20を介してX線照射されるべきコア層12が配置される。
【0026】
図4において矢印SRで示されているように、シンクロトロン放射光は左方のシンクロトロン放射光装置からのSR光導入管31を通してSR光照射室30内へ導かれる。このとき、照射室30は大気圧のヘリウムを含んでいるのに対して、導入管31のシンクロトロン放射光装置側は超高真空に維持されているので、導入管31の途中に隔膜32が設けられている。隔膜32は、高いX線透過能と高い機械的強度を有するベリリウム膜で形成されている。
【0027】
図4に示されているような参考例において、下部クラッド層1の厚さは2mmであり、コア層12と上部クラッド層14はいずれも10μmであった。また、SR光源とコア層12との距離は1.3mに設定された。そして、コア層12には第1添加元素としての3.5モル%GeO2 と第2の添加元素としての13モル%B2 O3 が含められ、X線マスク20を介して500mA・hの照射量でSR光が照射された。ここで、mAはシンクロトロン内の蓄積電流を表わし、hは照射時間を表している。
【0028】
このようにして製作された参考例による平面導波路型光回路における光伝送特性を評価したところ、直線回路において約0.1dB/cmの小さな伝送損失と0.1dB以下の偏波特性が得られ、光通信システムにおいて用いるに十分な性能を有する平面導波路型光回路を得ることができた。
【0029】
[実施例]
参考例に類似して、実施例による平面導波路型光回路が製作された。この実施例による製作において参考例と異なる点は、コア層12中の深さ方向において第1と第2の添加元素の濃度が図5のグラフに示されているように変化させられたことだけである。
【0030】
すなわち、図5のグラフにおいて横軸はコア層12の上面からの深さ(μm)を表わし、縦軸は添加物濃度(モル%)を表わしている。コア層12は火炎加水分解堆積法で形成され、その堆積中の燃料ガスの噴射量を時間に依存して変化させることによって添加物の濃度が制御された。
【0031】
図5のグラフに示されているように、実施例のコア層12は、その上面において第1の添加元素のゲルマニウムとしての2.8モル%GeO2 と第2の添加元素のホウ素としての10.4モル%B2 O3 を含み、その下面においては3.5モル%GeO2 と13モル%B2 O3 を含んでいる。すなわち、実施例のコア層12においては、その上面から深くなるに従って、第1と第2の添加元素の濃度がともに増大させられている。
【0032】
このようにして製作された実施例による平面導波路型光回路における光伝送特性を参考例の場合と同様に評価したところ、直線回路において約0.1dB/cmの小さな伝送損失と0.01dB以下の極めて良好な偏波特性が得られた。
【0033】
【発明の効果】
以上のように、平面導波路型光回路の本発明による製作方法によれば、X線マスクを介する簡略なX線照射によって、従来の方法で必要であった複雑なフォトリソグラフィ工程や反応性イオンエッチング工程の必要性を排除することができる。また、本発明によれば、従来の方法で用いられていたフォトリソグラフィにおける光の波長よりはるかに短い波長を有するX線が用いられるので、より高い精度を有する平面導波路型光回路を製作することができ、深さに依存して増大する添加物濃度を有するコア層を含む平面導波路型光回路において、極めて良好な偏波特性が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の1つの実施の形態による平面導波路型光回路の形成方法を図解する概略的な断面図である。
【図2】シリカガラスに各種元素を添加した場合の屈折率変化割合を示すグラフである。
【図3】本発明の形成方法において用いられるX線マスクのパターンの一例を示す概略的な平面図である。
【図4】 本発明の参考例による平面導波路型光回路の形成方法におけるSR光照射の工程を概略的に図解する断面図である。
【図5】 本発明の実施例によるコア層内の深さ方向における添加物の濃度変化を示すグラフである。
【図6】先行技術による平面導波路型光回路の形成方法を図解する概略的な断面図である。
【符号の説明】
1 シリカ系ガラスの下部クラッド層
12 第1と第2の添加元素を含むシリカ系ガラスのコア層
14 シリカ系ガラスの上部クラッド層
20 X線マスク
20A 窒化シリコンの支持膜
20B パターン化されたタングステン層
22 X線
23 直線光回路パターン
24 1×2分岐光回路パターン
30 SR光照射室
31 SR光導入管
32 ベリリウム隔膜
Claims (10)
- シリカ系ガラスの下部クラッド層を用意し、
前記下部クラッド層上にコア層を形成し、前記コア層は第1の添加元素と第2の添加元素とを含むシリカ系ガラスからなり、前記第1の添加元素はシリカ系ガラスの屈折率を増大させかつ前記第2の添加元素は前記第1の添加元素によるシリカ系ガラスの屈折率の増大を打消すように作用するものであり、前記コア層の深い位置においては浅い位置に比べて高濃度の前記第1と前記第2の添加元素が添加され、
前記コア層上に上部クラッド層を形成し、
所定の光回路パターンを有するX線マスクを前記上部クラッド層上に配置し、
前記コア層に前記X線マスクを介してX線を照射し、これにより、前記コア層中に前記光回路パターンに対応した高屈折率領域を形成することを特徴とする平面導波路型光回路の製作方法。 - シリカ系ガラスの下部クラッド層を用意し、
前記下部クラッド層上にコア層を形成し、前記コア層は第1の添加元素と第2の添加元素とを含むシリカ系ガラスからなり、前記第1の添加元素はシリカ系ガラスの屈折率を増大させかつ前記第2の添加元素は前記第1の添加元素によるシリカ系ガラスの屈折率の増大を打消すように作用するものであり、前記コア層の深い位置においては浅い位置に比べて高濃度の前記第1と前記第2の添加元素が添加され、
所定の光回路パターンを有するX線マスクを前記コア上に配置し、
前記コア層に前記X線マスクを介してX線を照射し、これにより、前記コア層中に前記光回路パターンに対応した高屈折率領域を形成することを特徴とする平面導波路型光回路の製作方法。 - 前記高屈折領域を形成した後に、前記コア層上に上部クラッド層を形成することを特徴とする請求項2に記載の平面導波路型光回路の製作方法。
- 前記コア層は、前記第1の添加元素としてゲルマニウム,チタン,ジルコン,リンおよびアルミニウムからなるグループから選択された少なくとも1つを含み、前記第2添加元素としてホウ素とフッ素とからなるグループから選択された少なくとも1つを含むことを特徴とする請求項1から3のいずれかの項に記載の平面導波路型光回路の製作方法。
- 前記第1添加元素としてゲルマニウム,チタン,ジルコンおよびリンからなるグループから選択された少なくとも1つを含み、前記コア層に屈折率変化を生じさせるために用いられるX線は1.8389〜10keVの範囲内のエネルギを含むことを特徴とする請求項4に記載の平面導波路型光回路の製作方法。
- 前記第1添加元素としてアルミニウムを含み、前記コア層に屈折率変化を生じさせるために用いられるX線は1.559〜10keVの範囲内のエネルギを含むことを特徴とする請求項4に記載の平面導波路型光回路の製作方法。
- 前記コア層は、火炎加水分解堆積法,スパッタリング法,およびCVD法からなるグループから選択された少なくとも1つの方法を用いて形成されることを特徴とする請求項1から6のいずれかの項に記載の平面導波路型光回路の製作方法。
- 前記上部クラッド層は、火炎加水分解法,スパッタリング法,およびCVD法からなるグループから選択された少なくとも1つの方法を用いて形成されたシリカ系ガラス、または所定の波長の光に対して透光性の樹脂であることを特徴とする請求項1および3から7のいずれかの項に記載の平面導波路型光回路の製造方法。
- 前記X線マスクは、支持膜と、その支持膜上のパターン化されたX線シールド層とを含み、
前記支持膜は窒化ケイ素,炭化ケイ素およびダイヤモンドから選択された材料を含み、
前記X線シールド層はタングステン,タンタルおよび金から選択された材料を含むことを特徴とする請求項1から8のいずれかの項に記載の平面導波路型光回路の製作方法。 - 前記X線は、シンクロトロン放射光装置とX線管球とからなるグループから選択されたX線源から得られることを特徴とする請求項1から9のいずれかの項に記載の平面導波路型光回路の製作方法。
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