JP3690163B2 - 光学式センサ及び基板検出装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は光学式センサに関し、特に薄型化された限定反射型の光学式センサ及びこれを用いた基板検出装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
ケースに収納された多数のガラス基板等を検出するために薄い平面状の光学式センサが用いられている。図5はこのような光学式センサが用いられているガラスケースとその搬送手段を示す斜視図である。本図においてケース1には左右の内壁に一定の間隔で棚部2が設けられ、その間に一定間隔で多数のガラス基板3が収納される。ロボットハンド4はケース1のガラス基板3の間に矢印A方向に駆動され、所定量上昇又は下降させた後、矢印B方向に戻すことによってガラス基板3を取り出したり、又は収納するようにして用いられている。光学式センサ5,6はこのロボットハンド4の先端側の面上に配置され、その上面を検出方向としている。
【0003】
図6はこのような従来の光学式センサの一例を示す概略図である。本図に示すようにセンサケース10の内部には投光用光ファイバ11の一端が口金12によって固定されており、光ファイバ11からの光がスリット13及びレンズ14を介してプリズム15に向けて照射される。プリズム15はその断面が直角二等辺三角形の細長い形状の反射手段であり、斜面で入射光を反射して入射光を90°異なった方向に出射する。又センサケース10の面上にはプリズム15から得られる反射光を集光する集光レンズ16が設けられ、その焦点位置には受光用の光ファイバ17が口金18によって固定される。投光用及び受光用光ファイバ11,17の他端には、夫々図示しない投光素子及び受光素子と、投光素子を一定の周期で発光させる投光回路、受光素子に接続された受光回路、及びその出力を所定のレベルで弁別し物体の有無を判別する信号処理回路が設けられている。センサケース10の両側には取付部19a,19bが設けられる。
【0004】
図7はこの従来の光学式センサの光源と投受光軸との関係を示す図である。本図に示すように投光軸と受光軸とで成す平面をXY平面(第1の平面)とし、XY平面と垂直な面でプリズム15によって反射された後の投光軸を含む面をYZ平面(第2の平面)とする。又図示のようにXYZの座標を定める。このときXY平面とYZ平面との交線L1に垂直なXY平面上の線を、センサ中心線L2とすると、図示のように投光軸及び受光軸はいずれのこのセンサ中心線L2に対して、XY平面上で角度α傾けている。そしてプリズム15の斜面をXY平面,YZ平面の双方に対して45°傾くように配置する。そうすれば投光ビームがプリズム15で反射されるとYZ平面に入る。交線L1及びセンサ中心線L2に垂直なYZ平面上の直線をL3とすると、直線L3と投光軸との成す角度として角度αが保存される。そして所定の位置にXY平面と平行な面を持つ検出物体20があり、その面により入射光が反射された場合に、反射光はYZ平面内にあって直線L3との角度はαとなり、プリズム15で反射されてもこの角度αが保存されて受光部に入射する。従ってXY平面に平行な直線L3上の所定範囲が物体の検知領域となる。即ち平面状の光学式センサの面に平行な検出物体の有無を、正反射光の有無によって検出することができる。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、比較的大きいガラス基板等をケース1内の左右の棚部2のみで水平に保持する場合には、その自重によってガラス基板3が湾曲し、湾曲した状態でケース1に収納されている。従って左右に光学式センサ5,6を取付けたロボットハンド4によってガラス基板3の有無を検出する場合には、図8(a)に示すように左右のいずれでも投光位置では光学式センサの面から傾くこととなる。この角度をβとする。即ち検出物体であるガラス基板はXY平面と平行でないため、正反射光が受光できず、又は正反射光の受光レベルが低下し、検出精度が低下するという問題点があった。
【0006】
この欠点を解消するためには、図8(b)に示すように光学式センサ5,6自体を検出物体の傾きに応じた角度βだけあらかじめ傾けて、ロボットハンド4に取付けることが考えられる。この場合にはセンサの取付角度の調整に手間がかかったり、又光学式センサを傾けた分だけ取付位置でその厚さが厚くなってしまうという問題点があった。図5に示すようにケース1内に多数収納されたガラス基板の有無を判別する用途に用いる場合には、ガラス基板の間隔は狭いことが多く、光学式センサの厚さも例えば6mm以下と制限される。このため光学式センサを傾けて取付けることができないという欠点があった。
【0007】
本発明はこのような従来の問題点に鑑みてなされたものであって、本願の請求項1の発明は、光学式センサの厚さを厚くすることなく正反射光を高精度で検出できる光学式センサを提供することを目的とする。又請求項2の発明はこの光学式センサを用いて正反射物体を高精度で検出できる基板検出装置を提供することを目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】
本願の請求項1の発明は、投光軸に沿って光を投光する投光部と、前記投光部の投光軸との交差角が2α(αは正の所定角度)の受光軸に沿った光を受光する受光部と、前記投光部の投光軸及び前記受光部の受光軸で成す第1の平面に対して所定角度を有する第2の平面に沿って前記投光部より投光された光を反射し、検出物体からの前記第2の平面に沿った反射光を第1の平面に反射する反射手段と、を具備し、前記第1,第2の平面の交線に垂直な第1の平面上のセンサ中心線に対して前記投光部の投光軸の成す角をα+β(βは正又は負の所定角度)とし、前記受光部の受光軸の成す角をα−βとした、ガラス基板搬送に用いられるロボットハンド用であることを特徴とするものである。
【0009】
本願の請求項2の発明は、ガラス基板搬送に用いられるロボットハンドの左右の面上に基板に対向するように取付けられた第1,第2の光学式センサを有する基板検出装置であって、前記第1の光学式センサは、投光軸に沿って光を投光する第1の投光部と、前記投光部の投光軸との交差角が2α(αは正の所定角度)の受光軸に沿った光を受光する第1の受光部と、前記第1の投受部の投光軸及び前記第1の受光部の受光軸で成す第1の平面に対して垂直な第2の平面に沿って前記第1の投光部より投光された光を反射し、検出物体からの前記第2の平面に沿った反射光を第1の平面に反射する第1の反射手段と、を有し、前記第1,第2の平面の交線に垂直な第1の平面上のセンサ中心線に対して前記第1の投光部の投光軸の成す角をα+β1(β1は正又は負の所定角度)とし、前記第1の受光部の受光軸の成す角をα−β1としたものであり、前記第2の光学式センサは、投光軸に沿って光を投光する第2の投光部と、前記第2の投光部の投光軸との交差角が2αの受光軸に沿った光を受光する第2の受光部と、前記第2の投光部の投光軸及び前記第2の受光部の受光軸で成す第3の平面に対して垂直な第4の平面に沿って前記第2の投光部より投光された光を反射し、検出物体からの前記第4の平面に沿った反射光を第3の平面に反射する第2の反射手段と、を有し、前記第3,第4の平面の交線に垂直な第3の平面上のセンサ中心線に対して前記第2の投光部の投光軸の成す角をα+β2(β2は正又は負の所定角度)とし、前記第2の受光部の受光軸の成す角をα−β2としたことを特徴とするものである。
【0010】
【発明の実施の形態】
図1(a)は本発明の第1の実施の形態による光学式センサのセンサ部の内部構成を示す図、図1(b)は光学式センサの斜視図、図2はその光軸を抽出して示す図であり、前述した従来例と同一部分は同一符号を付して詳細な説明を省略する。この実施の形態においてもセンサケース10は薄い平板状の樹脂ケースであり、その内部には投光用光ファイバ11,受光用光ファイバ17がその投光軸と受光軸とが角度2αとなるように固定されている。投光用光ファイバ11の端部は口金12に連結されてセンサケース10に固定される。投光軸上にはスリット13及び投光レンズ14が配置され、投光した光を反射手段であるプリズム15側に導いている。投光用光ファイバ11,口金12,スリット13及び投光レンズ14により投光部が構成される。プリズム15より反射されて受光された光は集光レンズ16を介して受光用光ファイバ17に導かれる。受光用光ファイバ17の端部にはファイバを固定するための口金18が設けられる。集光レンズ16,受光用光ファイバ17,口金18は受光部を構成している。又センサケース10の側方には一対の取付部19a,19bが設けられる。又図1(b)に示すように投光用光ファイバ11,受光用光ファイバ17にはセンサ本体部21が設けられる。センサ本体部21内には、投光用光ファイバ11の端部には発光ダイオード等の投光素子と、投光素子を駆動する投光回路が設けられる。又受光用光ファイバ17の端部には、受光素子と受光回路、及び受光回路の受光レベルに基づいて物体の有無を検出する信号処理回路が設けられている。
【0011】
さて検出物体はセンサケース10の面に対して角度βだけ傾いているものとする。この実施の形態においても、図2に示すように投光用光ファイバ11より出射する投光軸及び受光用光ファイバ17に入射する受光軸とで成す平面をXY平面(第1の平面)とし、プリズム15によって反射された投光軸を含み、XY平面と垂直な面をYZ平面(第2の平面)とする。そしてXY平面とYZ平面とが交わる交線L1に垂直なXY平面上の線を、センサ中心線L2とする。検出物体20はこのセンサ中心線L2に平行な線に沿って角度βだけ傾いているものとする。
【0012】
このような検出物体20を検出するために、本実施の形態では、投受光軸とXY平面上のセンサ中心線L2と成す角度を夫々角度βだけXY平面内で変化させる。即ち投光軸とセンサ中心線L2との角度をα+βとし、受光軸とセンサ中心線L2の角度をα−βとする。こうすれば投受光軸の成す角度は従来例と同様に2αとすることができる。こうすればセンサ中心線L2の平行線に沿って所定の距離にある検出物体20が角度βだけ回転している場合に、検出物体20からの正反射光はYZ平面内に含まれ、プリズム15によってXY平面上の受光軸と重なり、集光レンズ16を介して受光用光ファイバ17で受光されることとなる。検出物体20の傾き角が所定角度の範囲でβからずれても、又センサからの距離が所定範囲内で変動した場合にも、受光側で受光することができる。尚角度αは直線L3に沿った検出可能距離範囲と投受光用光ファイバ11,17の間隔により定めるものとする。
【0013】
尚この実施の形態では、βを正の所定角度としているが、検出物体の傾き方向によってはβは負の角度とするように投受光部を配置してもよいことはいうまでもない。
【0014】
又この実施の形態では、投受光軸を90°折り曲げるために断面が直角二等辺三角形状の細長いプリズム15を用いているが、投受光軸を折り曲げる角度は90°に限定されるものではない。又三角形状のプリズム15に代えて、XY平面との成す角を折曲角の1/2としたミラーを用いて反射手段とすることもできる。断面三角形状のプリズムを用いた場合には、その一方の面をセンサケース10の内面に容易に固定することができる。これにより投受光軸とのなす角を固定することができるため、取付時の調整が不要となる。
【0015】
次に本発明の第2の実施の形態について、図3,図4を用いて説明する。ケース1はガラス基板3を水平に収納しており、ロボットハンド4を用いてガラス基板3が搬送され、ケース1からガラス基板3が取り出される。この実施の形態では図3に示すように、ロボットハンド4の面上に、2つの光学式センサを取付けて基板検出装置として構成したものである。ロボットハンド4は図3に示すように、略平板状でその面に沿った移動時に先端となる部分の中央にコ字状の切欠き4aが形成されており、その左右に前述した第1の実施の形態による光学式センサ31,32を取付けられている。図4はロボットハンド4とその上面に埋設された光学式センサ31,32及びこの光学式センサ31,32によって検出されるガラス基板3を示す図である。図4(a)に示すようにガラス基板3の左右の端部で互いに逆方向にガラス基板3が傾き、その傾き角度をβ1,β2とすると、この角度に対応するように光学式センサ31,32の投受光部を配置する。そして光学式センサ31については、投受光軸でなす平面を第1の平面、これと垂直な平面を第2の平面とし、センサ中心線L2に対して投光軸の角度をα+β1,受光軸の角度をα−β1とする。又光学式センサ31の投光部,受光部を第1の投光部,第1の受光部、プリズム15を第1の反射手段とする。光学式センサ32については、投受光軸でなす平面を第3の平面、これと垂直な平面を第4の平面とし、投受光部の位置を左右入れ換え、センサ中心線L2に対して投光軸の角度をα+β2,受光軸の角度をα−β2とする。又光学式センサ32の投光部,受光部を第2の投光部,第2の受光部、プリズム15を第2の反射手段とする。
【0016】
又図4(b)に示すように投受光部の傾きの変化角度を変え、光学式センサ31については投光軸をα−β1,受光軸をα+β1とし、光学式センサ32の投光軸をα−β2,受光軸をα+β2としてもよい。これらを組合せて投受光部を2つの光学式センサを配置してもよい。
【0017】
このようにあらかじめ想定されるガラス基板の水平面から湾曲する角度β1,β2を想定して光学式センサを構成し、ロボットハンド4上に配置することによって、湾曲しているガラス基板等の正反射物体を検出することができる。これらの光学式センサからの出力はその論理和をとることによってガラス基板の有無を検出することができる。又ロボットハンド4をケース1に向けて移動させている間に光学式センサ31,32からの信号がオンとなる時間差が生じる場合には、図3のガラス基板3Aのように傾いてケース内に収納されていることが判別でき、時間差の大きさからガラス基板の傾き程度も検出することもできる。
【0018】
尚前述したこの実施の形態では検出対象をガラス基板として説明しているが、正反射面を有する部材であれば、任意の部材や基板を検出できることはいうまでもない。
【0019】
【発明の効果】
以上詳細に説明したように本願の請求項1の発明によれば、検出対象となる正反射物体が光学式センサの面に対して傾いている場合にも、光学式センサの厚さを変えることなくその傾きに対応した光を投光し、正反射光を受光することができ、高精度で物体の有無を検出することができる。又請求項2の発明では、この光学式センサをロボットハンドの面上に配置することによって、ロボットハンドの光学式センサを厚くすることなく、ケース等に収納されている基板の有無を高精度で検出することができるという効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図1】(a)は本発明の第1の実施の形態による光学式センサの内部構成を示す図、(b)は光学式センサの斜視図である。
【図2】本実施の形態による光学式センサの光軸を抽出して示す斜視図である。
【図3】ケースに収納されたガラス基板と第2の実施の形態による基板検出装置を示す図である。
【図4】本発明の第2の実施の形態による基板検出装置のヘッド部を示す側面図である。
【図5】ケースに収納されたガラス基板と、ロボットハンド及びその上面に取付けられる光学式センサを示す図である。
【図6】(a)は従来の光学式センサの内部構成を示す図、(b)はその側面図である。
【図7】従来の光学式センサの光軸を抽出して示す斜視図である。
【図8】従来のロボットハンドとその上面に取付けられる光学式センサ及びガラス基板を示す図である。
【符号の説明】
1 ケース
2 棚
3 ガラス基板
4 ロボットハンド
5,6 光学式センサ
10 センサケース
11 投光用光ファイバ
12,18 口金
13 スリット
14 投光レンズ
15 プリズム
16 集光レンズ
17 受光用光ファイバ
19a,19b 取付部
20 センサ本体
31,32 光学式センサ
Claims (2)
- 投光軸に沿って光を投光する投光部と、
前記投光部の投光軸との交差角が2α(αは正の所定角度)の受光軸に沿った光を受光する受光部と、
前記投光部の投光軸及び前記受光部の受光軸で成す第1の平面に対して所定角度を有する第2の平面に沿って前記投光部より投光された光を反射し、検出物体からの前記第2の平面に沿った反射光を第1の平面に反射する反射手段と、を具備し、
前記第1,第2の平面の交線に垂直な第1の平面上のセンサ中心線に対して前記投光部の投光軸の成す角をα+β(βは正又は負の所定角度)とし、前記受光部の受光軸の成す角をα−βとしたことを特徴とするガラス基板搬送に用いられるロボットハンドの光学式センサ。 - ガラス基板搬送に用いられるロボットハンドの左右の面上に基板に対向するように取付けられた第1,第2の光学式センサを有する基板検出装置であって、
前記第1の光学式センサは、
投光軸に沿って光を投光する第1の投光部と、
前記投光部の投光軸との交差角が2α(αは正の所定角度)の受光軸に沿った光を受光する第1の受光部と、
前記第1の投受部の投光軸及び前記第1の受光部の受光軸で成す第1の平面に対して垂直な第2の平面に沿って前記第1の投光部より投光された光を反射し、検出物体からの前記第2の平面に沿った反射光を第1の平面に反射する第1の反射手段と、を有し、
前記第1,第2の平面の交線に垂直な第1の平面上のセンサ中心線に対して前記第1の投光部の投光軸の成す角をα+β1(β1は正又は負の所定角度)とし、前記第1の受光部の受光軸の成す角をα−β1としたものであり、
前記第2の光学式センサは、
投光軸に沿って光を投光する第2の投光部と、
前記第2の投光部の投光軸との交差角が2αの受光軸に沿った光を受光する第2の受光部と、
前記第2の投光部の投光軸及び前記第2の受光部の受光軸で成す第3の平面に対して垂直な第4の平面に沿って前記第2の投光部より投光された光を反射し、検出物体からの前記第4の平面に沿った反射光を第3の平面に反射する第2の反射手段と、を有し、
前記第3,第4の平面の交線に垂直な第3の平面上のセンサ中心線に対して前記第2の投光部の投光軸の成す角をα+β2(β2は正又は負の所定角度)とし、前記第2の受光部の受光軸の成す角をα−β2としたことを特徴とする基板検出装置。
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