JP3678072B2

JP3678072B2 - Dielectric ceramic composition and multilayer ceramic component

Info

Publication number: JP3678072B2
Application number: JP25355399A
Authority: JP
Inventors: 弘明的場; 晴信佐野
Original assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Priority date: 1999-09-07
Filing date: 1999-09-07
Publication date: 2005-08-03
Anticipated expiration: 2019-09-07
Also published as: JP2001080959A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、温度補償用の誘電体セラミック組成物、及びそれを用いた積層セラミックコンデンサや積層ＬＣフィルタ等の積層セラミック部品に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来から、温度補償用のセラミックコンデンサは各種電子機器の中で、同調、共振用などとして広く用いられ、小型でかつ誘電損失が小さく誘電特性の安定したコンデンサが求められている。このための誘電体セラミックの条件としては、小型化の要求に対して比誘電率が大きいことと、誘電損失が小さい（すなわち、Ｑ値が大きい）ことなどがあげられる。
【０００３】
このような誘電体セラミックとして、ＢａＯ−ＴｉＯ₂系の誘電体セラミック組成物が提案されている［Ｈ．Ｍ．Ｏ'Ｂｒａｙａｎ，Ｊ．Ａｍ．Ｃｅｒａｍ．Ｓｏｃ．,５７（１９７４）４５０；特公昭５８−２０９０５号公報など］。そして、これらの誘電体セラミック組成物を用いた積層セラミックコンデンサが実用化されているが、焼成温度が１３００℃〜１４００℃と高いため、内部電極として高温に耐えるパラジウム（Ｐｄ）や白金（Ｐｔ）などを使用しなくてはならない。
【０００４】
ところが、近年、低温焼成が可能な誘電体セラミック組成物として、ＢａＯ−ＴｉＯ₂−Ｎｄ₂Ｏ₃系の主成分にＰｂＯ−ＺｎＯ−Ｂ₂Ｏ₃−Ａｌ₂Ｏ₃−ＳｉＯ₂系のガラスを添加した誘電体セラミック組成物（特開平５−２３４４２０号公報）や、ＢａＯ−ＴｉＯ₂−Ｎｄ₂Ｏ₃系の主成分にＰｂＯ−Ｖ₂Ｏ₅−Ｂ₂Ｏ₃−ＳｉＯ₂系のガラスを添加した誘電体セラミック組成物（特開平８−２３９２６２号公報）や、ＢａＯ−ＴｉＯ₂−Ｎｄ₂Ｏ₃−Ｓｍ₂Ｏ₃系の主成分にＰｂＯ−ＺｎＯ−Ｂ₂Ｏ₃系などの軟化点が５００℃以下のガラスを添加した誘電体セラミック組成物（特開平９−７１４６２号公報）が提案されている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記の特開平５−２３４４２０号公報、特開平８−２３９２６２号公報、及び特開平９−７１４６２号公報に開示された誘電体セラミック組成物は、低温焼結化のために、いずれもＰｂ酸化物成分を含んだガラスが添加されている。
【０００６】
ところが、このＰｂ酸化物成分は焼成時の揮発性が高く、ガラス作製時やセラミック焼成時に、ロット内あるいはロット間で含有量にばらつきを生じ、その結果得られるセラミックの特性が変動しやすいという問題点を有していた。
【０００７】
一方、特開平９−７１４６２号公報に記載されているように、Ｐｂ成分を含まないガラスは軟化点が５００℃よりも高いものが多く、低温焼成には不利であるという問題点を有していた。
【０００８】
そこで、本発明の目的は、比誘電率及びＱ値が高く、低温焼結が可能であって、焼成によるセラミックの特性変動の少ない、高い信頼性を有する温度補償用の誘電体セラミック組成物、及びそれを用いた積層セラミックコンデンサや積層ＬＣフィルタ等の積層セラミック部品を提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
以上の目的を達成するため、請求項１において、本発明の誘電体セラミック組成物は、式ｘ（ＢａαＣａβＳｒγ）Ｏ−ｙ［（ＴｉＯ₂）_1-m（ＺｒＯ₂）_m］−ｚＲｅ₂Ｏ₃（但し、式中、ｘ＋ｙ＋ｚ＝１００、α＋β＋γ＝１、０≦β＋γ＜０．８、０≦ｍ＜０．１５であって、Ｒｅは少なくとも１種以上の希土類元素。）で表わされ、これら（ＢａαＣａβＳｒγ）Ｏと［（ＴｉＯ₂）_1-m（ＺｒＯ₂）_m］とＲｅ₂Ｏ₃のモル組成比｛（ＢａαＣａβＳｒγ）Ｏ，［（ＴｉＯ₂）_1-m（ＺｒＯ₂）_m］，Ｒｅ₂Ｏ₃｝が、添付の図１に示す３元組成図において、点Ａ（７，８５，８），点Ｂ（７，５９，３４），点Ｃ（０，５９，４１），点Ｄ（０，８５，１５）で囲まれた領域内（但し、点Ａ，点Ｂを結ぶ線上は含まない。）にある主成分１００重量部に対して、第１の副成分としてガラスを含有しており、該ガラスはＢ ₂ Ｏ ₃ −ＳｉＯ ₂ 系のガラス（但し、Ｐｂ酸化物を含まず）であって、その含有量ａ（重量部）は０．１≦ａ≦２５であり、かつ、第２の副成分としてＭｎ酸化物、第３の副成分としてＣｕ酸化物を含有しており、該Ｍｎ酸化物の含有量ｂ（重量部）はＭｎＯに換算して０．５＜ｂ≦２０であり、該Ｃｕ酸化物の含有量ｃ（重量部）はＣｕＯに換算して１≦ｃ≦１０であることを特徴とする。
【００１２】
また、請求項２において、本発明の積層セラミック部品は、複数の誘電体セラミック層と、該誘電体セラミック層間に形成された内部電極と、該内部電極に電気的に接続された外部電極とを備え、前記誘電体セラミック層が請求項１に記載の誘電体セラミック組成物で構成され、前記内部電極がＣｕまたはＡｇを主成分として構成されていることを特徴とする。
【００１３】
なお、本発明でいう希土類元素Ｒｅとは、Ｌａ、Ｃｅ、Ｐｒ、Ｎｄ、Ｐｍ、Ｓｍ、Ｅｕ、Ｇｄ、Ｔｂ、Ｄｙ、Ｈｏ、Ｅｒ、Ｔｍ、ＹｂまたはＬｕのことをいう。
【００１４】
【発明の実施の形態】
まず、本発明の一実施形態による積層セラミックコンデンサの基本構造を図面により説明する。図２は積層セラミックコンデンサの一例を示す断面図、図３は図２の積層セラミックコンデンサのうち、内部電極を有する誘電体セラミック層部分を示す平面図、図４は図２の積層セラミックコンデンサのうち、セラミック積層体部分を示す分解斜視図である。
【００１５】
本実施形態による積層セラミックコンデンサ１は、図２に示すように、内部電極４を介して複数枚の誘電体セラミック層２ａ、２ｂを積層して得られた直方体形状のセラミック積層体３を備える。このセラミック積層体３の両端面上には、内部電極４の特定の電極に電気的に接続されるように、外部電極５がそれぞれ形成され、その上には、必要に応じて、第１のメッキ層６、第２のメッキ層７が形成されている。
【００１６】
次に、この積層セラミックコンデンサ１の製造方法について製造工程順に説明する。
【００１７】
まず、誘電体セラミック層２ａ及び２ｂの成分となる、所定比率に秤量し混合した原料粉末を用意する。
すなわち、ＢａＯ−ＴｉＯ₂−Ｒｅ₂Ｏ₃系の主成分（但し、ＢａをＣａ，Ｓｒで置換したもの、ＴｉＯ₂をＺｒＯ₂で置換した場合を含む。）と、第１の副成分としてＢ ₂ Ｏ ₃ −ＳｉＯ ₂ 系のガラス（但し、Ｐｂ酸化物を含まず）と、第２の副成分としてＭｎ酸化物とを含有する誘電体セラミック組成物を生成し得る原料粉末を用意する。
さらに、第３の副成分としてＣｕ酸化物を含有する誘電体セラミック組成物を生成し得る原料粉末を用意する。
【００１８】
次に、この原料粉末に有機バインダを加えてスラリー化し、このスラリーをシート状に成形して、誘電体セラミック層２ａ、２ｂのためのグリーンシートを得る。その後、図３に示すように、誘電体セラミック層２ｂとなるグリーンシートの一方の主面上にＣｕまたはＡｇを主成分とする内部電極４を形成する。なお、内部電極４を形成する方法は、スクリーン印刷などによる形成でも、蒸着、メッキ法による形成でもどちらでも構わない。
【００１９】
次に、図４に示すように、内部電極４を有する誘電体セラミック層２ｂのためのグリーンシートを必要枚数積層した後、内部電極を有しない誘電体セラミック層２ａのための各グリーンシートの間に挟んで圧着し、グリーンシートの積層体とする。その後、この積層体を所定の温度にて焼成し、図２に示すセラミック積層体３を得る。
【００２０】
次に、得られたセラミック積層体３の両端面に、内部電極４と電気的に接続するように、外部電極５を形成する。この外部電極５の材料としては、内部電極４と同じ材料を使用することができ、例えば、銀−パラジウム合金などが使用可能である。また、これらの金属粉末に、Ｂ₂Ｏ₃−ＳｉＯ₂−ＢａＯ系のガラス、Ｌｉ₂Ｏ−ＳｉＯ₂−ＢａＯ系のガラスなどのガラスフリットを添加したものも使用されるが、積層セラミックコンデンサの用途、使用場所などを考慮に入れて適当な材料が選択される。また、外部電極５は、材料となる金属粉末ペーストを、焼成により得られたセラミック積層体３に塗布して焼き付けることによって形成されるが、使用する電極材料により、焼成前にグリーンシート積層体に塗布して、セラミック積層体３と同時に形成してもよい。
【００２１】
次に、外部電極５の表面上にニッケル、銅などのメッキを施し、第１のメッキ層６を形成し、最後に、この第１のメッキ層６の上に、はんだ、錫などの第2のメッキ層７を形成し、積層セラミックコンデンサ１を完成させる。なお、このように外部電極５の表面上に、さらにメッキなどで導体層を形成することは、積層セラミックコンデンサの用途や使用場所によっては省略することもできる。
【００２２】
以上のように、積層セラミックコンデンサの誘電体として用いる本発明のセラミック組成物は、ＣｕやＡｇの融点よりも低温で焼成することが可能である。そして、得られるセラミックの比誘電率は３０以上と高く、Ｑ値は１ＭＨｚで１０００以上と高く、静電容量温度係数（ＴＣＣ）が±３０ｐｐｍ／℃以内と小さい。また、第１の副成分のガラスをＢ₂Ｏ₃−ＳｉＯ₂系のガラス（但し、Ｐｂ酸化物を含まず）とすることにより、低温焼結を促進することができる。さらに、第３の副成分として、所定量のＣｕ酸化物をセラミック組成物中に含有させることにより、より低温焼結化が可能になる。
【００２３】
【実施例】
次に、本発明を実施例にもとづき、さらに具体的に説明する。
【００２４】
（実施例１）
本発明の誘電体セラミック組成物とそれを用いたセラミックコンデンサを以下のようにして作製した。
【００２５】
まず、出発原料として、炭酸バリウム（ＢａＣＯ₃）、炭酸カルシウム（ＣａＣＯ₃）、炭酸ストロンチウム（ＳｒＣＯ₃）、酸化チタン（ＴｉＯ₂）、酸化ジルコニウム（ＺｒＯ₂）、希土類酸化物（Ｒｅ₂Ｏ₃）、炭酸マンガン（ＭｎＣＯ₃）、及び酸化銅（ＣｕＯ）を用意した。
【００２６】
その後、これらの原料粉末を、表１，表２に示す各組成物（但し、第１の副成分としてのガラス成分を除く。）が得られるように秤量し、エタノールと共にボールミルに入れて１６時間湿式混合し、乾燥後、粉砕し、１０４０℃で仮焼して仮焼済み粉末を得た。このとき得られた仮焼粉体の平均粒径は０．９μｍであった。なお、第２の副成分としてのＭｎＯの含有量、並びに第３の副成分としてのＣｕＯの含有量は、主成分である｛ｘ（ＢａαＣａβＳｒγ）Ｏ−ｙ［（ＴｉＯ₂）_1-m（ＺｒＯ₂）_m ］−ｚＲｅ₂Ｏ₃｝（但し、式中、ｘ＋ｙ＋ｚ＝１００、α＋β＋γ＝１、０≦β＋γ＜０．８、０≦ｍ＜０．１５であって、Ｒｅは少なくとも１種以上の希土類元素。）１００重量部に対する部数を示す。また、表１，表２において、試料番号に＊印を付したものは本発明の範囲外のものであり、その他は本発明の範囲内のものである。
【００２７】
【表１】

【００２８】
【表２】

【００２９】
また、第１の副成分として、表３に示すガラス種Ａ〜Ｇ，及びＩのＳｉＯ₂系またはＢ₂Ｏ₃−ＳｉＯ₂系のガラス粉末（但し、係数は重量％）を準備した。
【００３０】
【表３】

【００３１】
次に、このガラス粉末と先に得た仮焼済み粉末とを、表１，表２に示す割合で秤量し、ポリビニルブチラール溶液を加えて混合してスラリー化し、このスラリーをドクターブレード法でシート状に成形して、厚み５０μｍのグリーンシートを得た。なお、ガラスの含有量は、主成分である｛ｘ（ＢａαＣａβＳｒγ）Ｏ−ｙ［（ＴｉＯ₂）_1-m（ＺｒＯ₂）_m ］−ｚＲｅ₂Ｏ₃｝（但し、式中、ｘ＋ｙ＋ｚ＝１００、α＋β＋γ＝１、０≦β＋γ＜０．８、０≦ｍ＜０．１５であって、Ｒｅは少なくとも１種以上の希土類元素。）１００重量部に対する部数を示す。
【００３２】
次に、得られたグリーンシートを複数枚（１３枚）積み重ねて圧着した後、打ち抜いて、直径１４ｍｍ、厚さ０．５ｍｍの成形体を得た。その後、この成形体をＮ₂雰囲気中で３５０℃で熱処理してバインダーを除去した後、Ｈ₂−Ｎ₂−Ｈ₂Ｏガスからなる還元雰囲気中において、表４，表５に示す焼成温度で２時間焼成して円板状のセラミックを得た。そして、得られたセラミックの両主面にＩｎ−Ｇａ電極を塗布して単層の円板型セラミックコンデンサとした。
【００３３】
【表４】

【００３４】
【表５】

【００３５】
次に、これらセラミックコンデンサの電気特性を測定した。静電容量及びＱは、２０℃で周波数１ＭＨｚ、電圧１Ｖｒｍｓにて測定し、試料の直径（Ｄ）、厚み（Ｔ）の寸法を測定し、静電容量から比誘電率（εｒ）を算出した。また、ＴＣＣ（静電容量温度係数）は、２０℃と８５℃の各静電容量を測定して下記の数式１に従って算出した。但し、式中、Ｃａｐ２０は２０℃における静電容量[pF]を表わし、Ｃａｐ８５は８５℃における静電容量[pF]を表わす。
【００３６】
【数式１】

以上の結果を表４，表５に示す。なお、表４，表５において、試料番号に＊印を付したものは本発明の範囲外のものであり、その他は本発明の範囲内のものである。
【００３７】
表１，表４から明らかなように、試料番号５〜７，９，１０，１６〜１８，２０，２１，２３〜２５，２７，２８に示すセラミックは、主成分｛ｘ（ＢａαＣａβＳｒγ）Ｏ−ｙ［（ＴｉＯ₂）_1-m（ＺｒＯ₂）_m ］−ｚＲｅ₂Ｏ₃｝（但し、式中、ｘ＋ｙ＋ｚ＝１００、α＋β＋γ＝１、０≦β＋γ＜０．８、０≦ｍ＜０．１５であって、Ｒｅは少なくとも１種以上の希土類元素。）に対し、第１の副成分としてのＳｉＯ₂系のガラス（但し、Ｐｂ酸化物を含まず）と、第２の副成分としてのＭｎ酸化物とを含有することにより、比誘電率が３０以上と高く、Ｑ値も１ＭＨｚで１０００以上と高く、また、静電容量温度係数（ＴＣＣ）が±３０ｐｐｍ／℃以内と小さい誘電体セラミックが得られ、しかもＣｕの融点（１０８３℃）より低い１０６０℃以下で焼結する。
【００３８】
また、このような構成においては、試料番号２１と２３、試料番号２７と２８から明らかなように、ガラスがＢ₂Ｏ₃−ＳｉＯ₂系のガラス（但し、Ｐｂ酸化物を含まず）であることにより、より低温焼結が可能となる。
【００３９】
さらに、表２，表５の試料番号３５，３６のように、主成分に対し、第１、第２の副成分に加えて第３の副成分のＣｕ酸化物を含有させることにより、さらに低温焼結させることが可能になる。しかも、組成中に蒸発しやすいＰｂ酸化物成分を含まないため、焼成によるセラミックの特性変動が抑えられる。
【００４０】
ここで、本発明の組成を限定した理由について説明する。
【００４１】
表１、表４の試料番号１〜４のように、主成分｛ｘ（ＢａαＣａβＳｒγ）Ｏ−ｙ［（ＴｉＯ₂）_1-m（ＺｒＯ₂）_m ］−ｚＲｅ₂Ｏ₃｝（但し、式中、ｘ＋ｙ＋ｚ＝１００、α＋β＋γ＝１、０≦β＋γ＜０．８、０≦ｍ＜０．１５であって、Ｒｅは少なくとも１種以上の希土類元素。）が、図１に示す３元組成図において、点Ａ（７，８５，８）、点Ｂ（７，５９，３４）、点Ｃ（０，５９，４１）、点Ｄ（０，８５，１５）で囲まれた領域外の場合には、静電容量温度係数（ＴＣＣ）が±３０ｐｐｍ／℃の範囲を外れるか、焼結性が低下してＣｕの融点である１０８３℃以下の１０６０℃で焼結しないか、Ｑ値が劣化して１０００未満となる。したがって、主成分は、図１の３元組成図の点、Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄで囲まれた領域内（但し、点Ａ，点Ｂを結ぶ線上は含まない。）が好ましい。具体的には、Ｂａ，Ｃａ及びＳｒの合計含有量ｘについては、７以上では静電容量温度係数（ＴＣＣ）が±３０ｐｐｍ／℃の範囲を外れる。したがって、０≦ｘ＜７が好ましい。また、ＴｉとＺｒの合計含有量ｙについては、５９未満では焼結性が低下してＣｕの融点である１０８３℃以下の１０６０℃で焼結せず、８５を超えるとＱ値が劣化して１０００未満となる。したがって、５９≦ｙ≦８５が好ましい。
【００４２】
試料番号５〜７のように、ＢａＯの一部をＣａやＳｒで置換すると比誘電率を高める効果があるが、試料番号８のように、Ｃａ酸化物とＳｒ酸化物の置換量の和、β＋γが０．８以上になると、焼結性が低下してＣｕの融点以下の１０６０℃で焼結しない。したがって、０≦β＋γ＜０．８が好ましい。
【００４３】
また、ＴｉＯ₂の一部をＺｒＯ₂で置換すると主成分組成物の還元防止をする効果があるため、還元雰囲気中においてＣｕ導体等と同時焼成を有利に実現できる。しかし、試料番号１１のように、ＺｒＯ₂の置換量ｍが０．１５以上になると、焼結性が低下してＣｕの融点以下である１０６０℃で焼結しない。したがって、０≦ｍ＜０．１５が好ましい。
【００４４】
また、試料番号１６〜１８のように、第１の副成分であるガラス（但し、Ｐｂ酸化物を含まず）を含有することは、焼結性を向上させる効果があるが、試料番号１５のように、ガラスの含有量ａ（重量部）が０．１未満では、焼結性が低下してＣｕの融点以下の１０６０℃で焼結しない。一方、試料番号１９のように、含有量ａが２５を超えると、Ｑ値が劣化して１０００未満と低くなる。したがって、０．１≦ａ≦２５が好ましい。
【００４５】
また、試料番号２３〜２５のように、第２の副成分であるＭｎ酸化物を含有することは、焼結性を向上させ、さらに静電容量温度係数（ＴＣＣ）を小さくしてプラス側にシフトさせる効果がある。しかしながら、試料番号２２のように、Ｍｎ酸化物をＭｎＯに換算した含有量ｂ（重量部）が０．５以下では、静電容量温度係数（ＴＣＣ）が±３０ｐｐｍ／℃の範囲を外れる。また、試料番号２６のように、含有量ｂが２０を超える場合はＱ値が１０００未満と低くなる。したがって、０．５＜ｂ≦２０が好ましい。
【００４６】
第３の副成分としてＣｕ酸化物を含有することは、焼結性を向上させる効果があるが、表２，表５の試料番号３７のように、Ｃｕ酸化物をＣｕＯに換算した含有量ｃ（重量部）が１０を超えると、Ｑが劣化して１０００より小さくなる。したがって、ｃ≦１０が好ましい。
【００４７】
（実施例２）
本発明の一実施例による積層セラミックコンデンサを以下のようにして作製した。
【００４８】
すなわち、まず、出発原料として、炭酸バリウム（ＢａＣＯ₃）、炭酸カルシウム（ＣａＣＯ₃）、炭酸ストロンチウム（ＳｒＣＯ₃）、酸化チタン（ＴｉＯ₂）、酸化ジルコニウム（ＺｒＯ₂）、希土類酸化物（Ｒｅ₂Ｏ₃）、炭酸マンガン（ＭｎＣＯ₃）、及び酸化銅（ＣｕＯ）を用意した。
【００４９】
その後、これらの原料粉末を表６の試料番号４１に示す組成物（但し、第１の副成分のガラス成分を除く。）が得られるように秤量し、エタノールと共にボールミルに入れて１６時間湿式混合した後、１０４０℃で仮焼して仮焼済み粉末を得た。なお、第２の副成分としてのＭｎＯの含有量と第３の副成分としてのＣｕＯの含有量は、主成分である｛ｘ（ＢａαＣａβＳｒγ）Ｏ−ｙ［（ＴｉＯ₂）_1-m（ＺｒＯ₂）_m ］−ｚＲｅ₂Ｏ₃｝（但し、式中、ｘ＋ｙ＋ｚ＝１００、α＋β＋γ＝１、０≦β＋γ＜０．８、０≦ｍ＜０．１５であって、Ｒｅは少なくとも１種以上の希土類元素。）１００重量部に対する部数である。また、表６において、試料番号に＊印を付したものは本発明の範囲外のものである。
【００５０】
【表６】

【００５１】
また、第１の副成分として、表３に示すガラス種Ｈ、即ち、１５Ｂ₂Ｏ₃−８５ＳｉＯ₂（但し、係数は重量％）のガラス粉末を準備した。
【００５２】
次に、先に得られた仮焼済み粉末１００重量部に対して、このガラス粉末１０重量部とポリビニルブチラール溶液とを加えて混合してスラリー化し、このスラリーをドクターブレード法でシート状に成形してグリーンシートを得た。
【００５３】
続いて、このグリーンシート上に、Ｃｕを主成分とする導電ペーストを印刷し、内部電極を構成するための導電ペースト層を形成した。その後、この導電ペースト層が形成されたグリーンシートを、導電ペースト層が引き出されている側が互い違いになるように複数枚積層し、さらに、この積層体の導電ペースト層が露出している両端面に、Ｃｕを主成分とした導電ペーストを塗布して積層体を得た。
【００５４】
そして、この積層体を、Ｎ₂雰囲気中にて３５０℃で熱処理してバインダーを除去した後、Ｈ₂−Ｎ₂−Ｈ₂Ｏガスからなる還元雰囲気中において、１０００℃で２時間保持して焼成して、積層セラミックコンデンサを得た。
【００５５】
このようにして得た積層セラミックコンデンサの外形寸法は、幅１．６ｍｍ、長さ３．２ｍｍ、厚さ１．２ｍｍであり、内部電極間に介在する誘電体セラミック層の厚みは６μｍで、有効誘電体セラミック層の総数は１５０層であった。
【００５６】
また、比較例として、表６の試料番号４２に示す組成物を誘電体とした積層セラミックコンデンサを作製した。
【００５７】
即ち、まず、出発原料として、炭酸バリウム（ＢａＣＯ₃）、炭酸カルシウム（ＣａＣＯ₃）、炭酸ストロンチウム（ＳｒＣＯ₃）、酸化チタン（ＴｉＯ₂）、酸化ジルコニウム（ＺｒＯ₂）、希土類酸化物（Ｒｅ₂Ｏ₃）、炭酸マンガン（ＭｎＣＯ₃）、酸化銅（ＣｕＯ）、酸化ホウ素（Ｂ₂Ｏ₃）、酸化珪素（ＳｉＯ₂）を用意した。
【００５８】
その後、これらの原料粉末を表６の試料番号４２に示す組成物（但し、Ｂ₂Ｏ₃及びＳｉＯ₂を除く）が得られるように秤量し、エタノールと共にボールミルに入れて１６時間湿式混合した後、１０４０℃で仮焼して仮焼済み粉末を得た。なお、第２の副成分としてのＭｎＯと第３の副成分としてのＣｕＯの含有量は、主成分である｛ｘ（ＢａαＣａβＳｒγ）Ｏ−ｙ［（ＴｉＯ₂）_1-m（ＺｒＯ₂）_m ］−ｚＲｅ₂Ｏ₃｝（但し、式中、ｘ＋ｙ＋ｚ＝１００、α＋β＋γ＝１、０≦β＋γ＜０．８、０≦ｍ＜０．１５であって、Ｒｅは少なくとも１種以上の希土類元素。）１００重量部に対する部数である。
【００５９】
次に、これら仮焼済み粉末１００重量部に対して、酸化ホウ素（Ｂ₂Ｏ₃）１．５重量部と酸化珪素（ＳｉＯ₂）８．５重量部と、ポリビニルブチラール溶液とを加えて混合してスラリー化し、このスラリーをドクターブレード法でシート状に成形してグリーンシートを得た。その後、上記試料番号４１と同様にして積層セラミックコンデンサを作製した。
【００６０】
次に、このようにして得られた表６の試料番号４１，４２の積層セラミックコンデンサについて、耐湿負荷試験を行った。すなわち、コンデンサに、圧力２気圧、相対湿度１００％、温度１２１℃の雰囲気中で、直流電圧１６Ｖを２５０時間連続印加した。そして、その間にコンデンサの絶縁抵抗が１×１０⁶Ω以下になった場合に、故障（不良）と判定した。この結果を表７に示す。なお、表７において、試料番号に＊印を付したものは本発明の範囲外のものである。
【００６１】
【表７】

【００６２】
表６，表７の試料番号４１から明らかなように、Ｂ成分及びＳｉ成分をガラスとして含有させた本発明の積層セラミックコンデンサは、耐湿負荷試験による不良の発生がなく、耐湿特性に優れている。これに対して、試料番号４２のように、Ｂ成分及びＳｉ成分を酸化ホウ素（Ｂ₂Ｏ₃）及び酸化珪素（ＳｉＯ₂）として含有させた、誘電体組成中にガラスを含有しない本発明の範囲外のコンデンサは、耐湿負荷試験により不良が発生し、耐湿特性に劣る。このことは、Ｂ₂Ｏ₃−ＳｉＯ₂系のガラスの存在が耐湿性の向上に効果があることを示している。
【００６３】
以上、上記各実施例では、炭酸バリウム（ＢａＣＯ₃）、炭酸カルシウム（ＣａＣＯ₃）、炭酸ストロンチウム（ＳｒＣＯ₃）、酸化チタン（ＴｉＯ₂）、酸化ジルコニウム（ＺｒＯ₂）、希土類酸化物（Ｒｅ₂Ｏ₃）、炭酸マンガン（ＭｎＣＯ₃）及び酸化銅（ＣｕＯ）を一度に混合し仮焼した。しかしながら、予め、炭酸バリウム（ＢａＣＯ₃）、炭酸カルシウム（ＣａＣＯ₃）、炭酸ストロンチウム（ＳｒＣＯ₃）、酸化チタン（ＴｉＯ₂）、酸化ジルコニウム（ＺｒＯ₂）及び希土類酸化物（Ｒｅ₂Ｏ₃）を混合し仮焼したものを作製した後に、炭酸マンガン（ＭｎＣＯ₃）及び酸化銅（ＣｕＯ）を添加しても同様の効果が得られる。
【００６４】
また、出発原料として、炭酸バリウム（ＢａＣＯ₃）、炭酸カルシウム（ＣａＣＯ₃）、炭酸ストロンチウム（ＳｒＣＯ₃）、酸化チタン（ＴｉＯ₂）、酸化ジルコニウム（ＺｒＯ₂）、希土類酸化物（Ｒｅ₂Ｏ₃）、炭酸マンガン（ＭｎＣＯ₃）及び酸化銅（ＣｕＯ）を使用したが、本発明はこれらの化合物形態に限定されるものではない。例えば、ＢａＴｉＯ₃、Ｂａ₂Ｔｉ₉Ｏ₂₀、Ｂａ₄Ｔｉ₁₃Ｏ₃₀、ＢａＺｒＯ₃、ＣａＴｉＯ₃、ＣａＺｒＯ₃、ＳｒＴｉＯ₃、ＳｒＺｒＯ₃、Ｒｅ₂Ｔｉ₂Ｏ₇（但し、Ｒｅは希土類元素を示す。）などの化合物、または、炭酸塩、蓚酸塩、水酸化物、アルコキシドなどを使用しても同程度の特性を得ることができる。
【００６５】
また、仮焼温度についても１０４０℃で実施したが、９００〜１０４９℃であれば、同様の特性を得ることができる。また、得られた仮焼物の平均粒径についても０．９μｍであったが、０．８１〜５．０μｍであれば、同様の特性を得ることができる。
【００６６】
さらに、また、ガラスとしては、Ｂ ₂Ｏ₃−ＳｉＯ₂系として構成された、Ｐｂ酸化物を含まないガラスであればよく、特に限定されるものではない。
【００６７】
そして、本発明に係る誘電体磁器組成物からなるコンデンサで構成される積層ＬＣフィルタ等においても、上記実施例と同様に優れた効果が得られる。
【００６８】
【発明の効果】
以上の説明で明らかなように、本発明に係る誘電体磁器組成物によれば、１０６０℃以下で焼結し、比誘電率が３０以上、１ＭＨｚのＱ値が１０００以上あり、また、静電容量温度係数（ＴＣＣ）が±３０ｐｐｍ／℃以内と小さい等の諸特性が得られる。そして、Ｐｂ酸化物成分の揮発がないため、特性のばらつきが小さい誘電体磁器組成物を得ることができる。
【００６９】
したがって、この誘電体磁器組成物を誘電体セラミック層として、積層セラミックコンデンサや積層ＬＣフィルタ等を構成すれば、優れた耐湿特性を示すとともに、電極材料として安価なＣｕやＡｇを用いることができるので、積層セラミック部品のコストダウンを図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の組成物中の主成分の好ましい範囲を示す｛（ＢａαＣａβＳｒγ）Ｏ，［（ＴｉＯ₂）_1-m（ＺｒＯ₂）_m ］，Ｒｅ₂Ｏ₃｝３元組成図である。
【図２】本発明の一実施形態による積層セラミックコンデンサを示す断面図である。
【図３】図２の積層セラミックコンデンサのうち、内部電極を有する誘電体セラミック層を示す平面図である。
【図４】図２の積層セラミックコンデンサのうち、セラミック積層体部分を示す分解斜視図である。
【符号の説明】
１積層セラミックコンデンサ
２ａ，２ｂ誘電体セラミック層
３セラミック積層体
４内部電極
５外部電極
６，７メッキ層[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a dielectric ceramic composition for temperature compensation, and a multilayer ceramic component such as a multilayer ceramic capacitor and a multilayer LC filter using the dielectric ceramic composition.
[0002]
[Prior art]
Conventionally, a ceramic capacitor for temperature compensation has been widely used in various electronic devices for tuning, resonance, etc., and a capacitor having a small size, a low dielectric loss, and a stable dielectric characteristic has been demanded. Conditions for the dielectric ceramic for this purpose include a high dielectric constant and a low dielectric loss (that is, a high Q value) in response to the demand for miniaturization.
[0003]
As such a dielectric ceramic, BaO-TiO.₂Based dielectric ceramic compositions have been proposed [H. M.M. O'Brayan, J.A. Am. Ceram. Soc. 57 (1974) 450; Japanese Patent Publication No. 58-20905, etc.]. Multilayer ceramic capacitors using these dielectric ceramic compositions have been put into practical use, but since the firing temperature is as high as 1300 ° C. to 1400 ° C., palladium (Pd) and platinum (Pt) that can withstand high temperatures as internal electrodes. Etc. must be used.
[0004]
However, in recent years, as a dielectric ceramic composition that can be fired at a low temperature, BaO-TiO₂-Nd₂O_ThreePbO-ZnO-B as the main component of the system₂O_Three-Al₂O_Three-SiO₂Dielectric ceramic composition (Japanese Patent Laid-Open No. 5-234420) to which a glass of a base is added, BaO-TiO₂-Nd₂O_ThreePbO-V as the main component of the system₂O_Five-B₂O_Three-SiO₂Dielectric ceramic composition (Japanese Patent Laid-Open No. 8-239262) with addition of a glass of the base type, BaO-TiO₂-Nd₂O_Three-Sm₂O_ThreePbO-ZnO-B as the main component of the system₂O_ThreeA dielectric ceramic composition (Japanese Patent Laid-Open No. 9-71462) to which a glass having a softening point of 500 ° C. or lower is added has been proposed.
[0005]
[Problems to be solved by the invention]
However, the dielectric ceramic compositions disclosed in JP-A-5-234420, JP-A-8-239262, and JP-A-9-71462 are all made of Pb for low-temperature sintering. Glass containing an oxide component is added.
[0006]
However, the Pb oxide component has high volatility during firing, and the content of the Pb oxide component varies within a lot or between lots during glass production or ceramic firing, and the resulting ceramic characteristics tend to vary. Had a point.
[0007]
On the other hand, as described in JP-A-9-71462, glass containing no Pb component often has a softening point higher than 500 ° C., which is disadvantageous for low-temperature firing. It was.
[0008]
Accordingly, an object of the present invention is to provide a dielectric ceramic composition for temperature compensation, which has a high relative dielectric constant and a high Q value, can be sintered at low temperature, has a small characteristic variation of the ceramic due to firing, and has high reliability. Another object of the present invention is to provide a multilayer ceramic component such as a multilayer ceramic capacitor or a multilayer LC filter using the same.
[0009]
[Means for Solving the Problems]
In order to achieve the above object, in claim 1, the dielectric ceramic composition of the present invention has the formula x (BaαCaβSrγ) Oy [(TiO₂)_1-m(ZrO₂)_m] -ZRe₂O_Three(Wherein, x + y + z = 100, α + β + γ = 1, 0 ≦ β + γ <0.8, 0 ≦ m <0.15, and Re is at least one rare earth element). (BaαCaβSrγ) O and [(TiO₂)_1-m(ZrO₂)_m] And Re₂O_ThreeMolar composition ratio {(BaαCaβSrγ) O, [(TiO₂)_1-m(ZrO₂)_m], Re₂O_Three} In the attached ternary composition diagram shown in FIG. 1, point A (7, 85, 8), point B (7, 59, 34), point C (0, 59, 41), point D (0, 85, 15) contains 100 parts by weight of glass as the first subcomponent with respect to 100 parts by weight of the main component in the region surrounded by (but not on the line connecting points A and B), The glassB ₂ O _Three -SiO ₂ systemGlass (excluding Pb oxide), the content a (parts by weight) of 0.1 ≦ a ≦ 25, and Mn oxide as the second subcomponent, Cu oxide as the third subcomponentThe content b (parts by weight) of the Mn oxide is 0.5 <b ≦ 20 in terms of MnO.The Cu content c (parts by weight) is 1 ≦ c ≦ 10 in terms of CuO.It is characterized by that.
[0012]
Claims2The multilayer ceramic component of the present invention includes a plurality of dielectric ceramic layers, an internal electrode formed between the dielectric ceramic layers, and an external electrode electrically connected to the internal electrode. The ceramic layer is claimed1And the internal electrode is composed of Cu or Ag as a main component.
[0013]
In the present invention, the rare earth element Re means La, Ce, Pr, Nd, Pm, Sm, Eu, Gd, Tb, Dy, Ho, Er, Tm, Yb, or Lu.
[0014]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
First, a basic structure of a multilayer ceramic capacitor according to an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. 2 is a sectional view showing an example of a multilayer ceramic capacitor, FIG. 3 is a plan view showing a dielectric ceramic layer portion having an internal electrode in the multilayer ceramic capacitor in FIG. 2, and FIG. 4 is in the multilayer ceramic capacitor in FIG. It is a disassembled perspective view which shows a ceramic laminated body part.
[0015]
As shown in FIG. 2, the multilayer ceramic capacitor 1 according to the present embodiment includes a rectangular parallelepiped ceramic multilayer body 3 obtained by laminating a plurality of dielectric

ceramic layers

2 a and 2 b via an internal electrode 4. External electrodes 5 are respectively formed on both end faces of the ceramic laminate 3 so as to be electrically connected to specific electrodes of the internal electrode 4, and a first electrode is formed thereon as necessary. A plating layer 6 and a second plating layer 7 are formed.
[0016]
Next, a method for manufacturing the multilayer ceramic capacitor 1 will be described in the order of manufacturing steps.
[0017]
First, raw material powder that is a component of the dielectric

ceramic layers

2a and 2b and is weighed and mixed in a predetermined ratio is prepared.
That is, BaO-TiO₂-Re₂O_ThreeMain component of the system (however, Ba substituted with Ca, Sr, TiO₂ZrO₂Including the case of replacement with. ) And as the first subcomponentB ₂ O _Three -SiO ₂ systemGlass (however,, Pb), and a raw material powder capable of producing a dielectric ceramic composition containing Mn oxide as the second subcomponent.
furtherThe secondThe raw material powder which can produce | generate the dielectric ceramic composition containing Cu oxide as 3 subcomponents is prepared.
[0018]
Next, an organic binder is added to the raw material powder to form a slurry, and the slurry is formed into a sheet shape to obtain green sheets for the dielectric

ceramic layers

2a and 2b. Thereafter, as shown in FIG. 3, the internal electrode 4 mainly composed of Cu or Ag is formed on one main surface of the green sheet to be the dielectric ceramic layer 2b. The internal electrode 4 may be formed by screen printing or by vapor deposition or plating.
[0019]
Next, as shown in FIG. 4, after the necessary number of green sheets for the dielectric ceramic layer 2b having the internal electrodes 4 are stacked, between each green sheet for the dielectric ceramic layer 2a having no internal electrodes. A green sheet laminate is obtained by pressing between the two. Thereafter, this laminate is fired at a predetermined temperature to obtain a ceramic laminate 3 shown in FIG.
[0020]
Next, external electrodes 5 are formed on both end surfaces of the obtained ceramic laminate 3 so as to be electrically connected to the internal electrodes 4. As the material of the external electrode 5, the same material as that of the internal electrode 4 can be used. For example, a silver-palladium alloy or the like can be used. In addition, these metal powders₂O_Three-SiO₂-BaO glass, Li₂O-SiO₂A glass-frit-added glass such as BaO-based glass is also used, but an appropriate material is selected in consideration of the use and place of use of the multilayer ceramic capacitor. The external electrode 5 is formed by applying and baking a metal powder paste as a material on the ceramic laminate 3 obtained by firing. Depending on the electrode material used, the external electrode 5 is formed on the green sheet laminate before firing. It may be applied and formed simultaneously with the ceramic laminate 3.
[0021]
Next, nickel, copper or the like is plated on the surface of the external electrode 5 to form a first plating layer 6. Finally, a second layer of solder, tin or the like is formed on the first plating layer 6. The plated layer 7 is formed to complete the multilayer ceramic capacitor 1. It should be noted that the formation of the conductor layer on the surface of the external electrode 5 by plating or the like in this manner can be omitted depending on the use and place of use of the multilayer ceramic capacitor.
[0022]
As described above, the ceramic composition of the present invention used as a dielectric of a multilayer ceramic capacitor can be fired at a temperature lower than the melting point of Cu or Ag. The obtained ceramic has a relative dielectric constant as high as 30 or higher, a Q value as high as 1000 or higher at 1 MHz, and a capacitance temperature coefficient (TCC) as small as ± 30 ppm / ° C. or less. In addition, the glass of the first subcomponent is B₂O_Three-SiO₂Low temperature sintering can be promoted by using a system glass (however, not including Pb oxide). Furthermore, by containing a predetermined amount of Cu oxide in the ceramic composition as the third subcomponent, it is possible to perform low-temperature sintering.
[0023]
【Example】
Next, the present invention will be described more specifically based on examples.
[0024]
Example 1
The dielectric ceramic composition of the present invention and a ceramic capacitor using the same were produced as follows.
[0025]
First, as a starting material, barium carbonate (BaCO_Three), Calcium carbonate (CaCO_Three), Strontium carbonate (SrCO_Three), Titanium oxide (TiO₂), Zirconium oxide (ZrO)₂), Rare earth oxides (Re₂O_Three), Manganese carbonate (MnCO_Three) And copper oxide (CuO).
[0026]
Thereafter, these raw material powders were weighed so as to obtain the respective compositions shown in Tables 1 and 2 (excluding the glass component as the first subcomponent), and placed in a ball mill with ethanol for 16 hours. Wet mixed, dried, pulverized, and calcined at 1040 ° C. to obtain a calcined powder. The average particle size of the calcined powder obtained at this time was 0.9 μm. Note that the content of MnO as the second subcomponent and the content of CuO as the third subcomponent are the main components {x (BaαCaβSrγ) Oy [(TiO₂)_1-m(ZrO₂)_m ] -ZRe₂O_Three} (Wherein, x + y + z = 100, α + β + γ = 1, 0 ≦ β + γ <0.8, 0 ≦ m <0.15, and Re is at least one rare earth element). Indicates. In Tables 1 and 2, the sample numbers marked with * are outside the scope of the present invention, and the others are within the scope of the present invention.
[0027]
[Table 1]

[0028]
[Table 2]

[0029]
Further, as the first subcomponent, glass types A to G and I SiO shown in Table 3 are used.₂System or B₂O_Three-SiO₂System glass powder (however, the coefficient is weight%) was prepared.
[0030]
[Table 3]

[0031]
Next, this glass powder and the calcined powder obtained previously are weighed in the proportions shown in Tables 1 and 2, and added to a polyvinyl butyral solution to be mixed into a slurry, and this slurry is sheeted by a doctor blade method. A green sheet having a thickness of 50 μm was obtained. The glass content is {x (BaαCaβSrγ) Oy [(TiO₂)_1-m(ZrO₂)_m ] -ZRe₂O_Three} (Wherein, x + y + z = 100, α + β + γ = 1, 0 ≦ β + γ <0.8, 0 ≦ m <0.15, and Re is at least one rare earth element). Indicates.
[0032]
Next, after stacking a plurality of obtained green sheets (13 sheets) and press-bonding them, they were punched out to obtain a molded body having a diameter of 14 mm and a thickness of 0.5 mm. Then, this molded body was₂After removing the binder by heat treatment at 350 ° C. in an atmosphere, H₂-N₂-H₂In a reducing atmosphere composed of O gas, firing was performed at the firing temperatures shown in Tables 4 and 2 for 2 hours to obtain a disk-shaped ceramic. And the In-Ga electrode was apply | coated to both the main surfaces of the obtained ceramic, and it was set as the single layer disk type ceramic capacitor.
[0033]
[Table 4]

[0034]
[Table 5]

[0035]
Next, the electrical characteristics of these ceramic capacitors were measured. Capacitance and Q were measured at 20 ° C. with a frequency of 1 MHz and a voltage of 1 Vrms, and the sample diameter (D) and thickness (T) were measured, and the relative dielectric constant (εr) was calculated from the capacitance. . Further, TCC (capacitance temperature coefficient) was calculated according to the following formula 1 by measuring each capacitance at 20 ° C. and 85 ° C. However, in the formula, Cap20 represents a capacitance [pF] at 20 ° C., and Cap85 represents a capacitance [pF] at 85 ° C.
[0036]
[Formula 1]

The above results are shown in Tables 4 and 5. In Tables 4 and 5, sample numbers marked with * are outside the scope of the present invention, and others are within the scope of the present invention.
[0037]
As apparent from Tables 1 and 4, sample numbers 5 to 7, 9, 10, 16 to 18, 20, 21, 23 to 25, 27, and 28 are shown.SuseLamic is composed of the main components {x (BaαCaβSrγ) O-y [(TiO₂)_1-m(ZrO₂)_m ] -ZRe₂O_Three} (Wherein x + y + z = 100, α + β + γ = 1, 0 ≦ β + γ <0.8, 0 ≦ m <0.15, and Re is at least one rare earth element). SiO as a secondary component₂System glass (but not including Pb oxide) and Mn oxide as the second subcomponent, the relative dielectric constant is as high as 30 or more, and the Q value is as high as 1000 or more at 1 MHz. Moreover, a dielectric ceramic having a capacitance temperature coefficient (TCC) as small as ± 30 ppm / ° C. is obtained, and is sintered at 1060 ° C. or lower, which is lower than the melting point of Cu (1083 ° C.).
[0038]
Further, in such a configuration, as apparent from sample numbers 21 and 23 and sample numbers 27 and 28,,Ruth is B₂O_Three-SiO₂By using a system glass (however, it does not include Pb oxide), it becomes possible to perform low-temperature sintering.
[0039]
Furthermore, as sample numbers 35 and 36 in Tables 2 and 5, mainIn addition to the first and second subcomponents, the third subcomponent Cu oxide can be added to the component, thereby enabling further low-temperature sintering. In addition, since the Pb oxide component that easily evaporates is not included in the composition, fluctuations in the characteristics of the ceramic due to firing can be suppressed.
[0040]
Here, the reason for limiting the composition of the present invention will be described.
[0041]
As in sample numbers 1 to 4 in Tables 1 and 4, the main component {x (BaαCaβSrγ) Oy [(TiO₂)_1-m(ZrO₂)_m ] -ZRe₂O_Three} (Where x + y + z = 100, α + β + γ = 1, 0 ≦ β + γ <0.8, 0 ≦ m <0.15, and Re is at least one rare earth element) in FIG. In the ternary composition diagram shown, it is surrounded by point A (7, 85, 8), point B (7, 59, 34), point C (0, 59, 41), point D (0, 85, 15). In the case of out of the region, the capacitance temperature coefficient (TCC) is out of the range of ± 30 ppm / ° C. The Q value deteriorates and becomes less than 1000. Therefore, the main component is preferably in the region surrounded by the points A, B, C, and D in the ternary composition diagram of FIG. 1 (but not on the line connecting points A and B). Specifically, with respect to the total content x of Ba, Ca and Sr, the capacitance temperature coefficient (TCC) is outside the range of ± 30 ppm / ° C. at 7 or more. Therefore, 0 ≦ x <7 is preferable. In addition, with regard to the total content y of Ti and Zr, if it is less than 59, the sinterability is reduced and sintering does not occur at 1060 ° C., which is the melting point of Cu, which is 1083 ° C. or less. Less than 1000. Therefore, 59 ≦ y ≦ 85 is preferable.
[0042]
Substituting part of BaO with Ca or Sr as in sample numbers 5 to 7 has the effect of increasing the relative permittivity, but as in sample number 8, the sum of the substitution amounts of Ca oxide and Sr oxide, When β + γ is 0.8 or more, the sinterability is lowered and the sintering is not performed at 1060 ° C. below the melting point of Cu. Therefore, 0 ≦ β + γ <0.8 is preferable.
[0043]
TiO₂A part of ZrO₂Substituting with has the effect of preventing reduction of the main component composition, so that simultaneous firing with a Cu conductor or the like can be advantageously realized in a reducing atmosphere. However, as in sample number 11, ZrO₂When the amount of substitution m becomes 0.15 or more, the sinterability is lowered and sintering is not performed at 1060 ° C., which is below the melting point of Cu. Therefore, 0 ≦ m <0.15 is preferable.
[0044]
Moreover, like the sample numbers 16-18, containing glass (but not including Pb oxide) which is the first subcomponent has the effect of improving the sinterability, but the sample number 15 As described above, when the glass content a (part by weight) is less than 0.1, the sinterability is lowered and the glass does not sinter at 1060 ° C. below the melting point of Cu. On the other hand, as in sample number 19, when the content a exceeds 25, the Q value deteriorates and becomes less than 1000. Therefore, 0.1 ≦ a ≦ 25 is preferable.
[0045]
In addition, the inclusion of the Mn oxide as the second subcomponent as in sample numbers 23 to 25 improves the sinterability and further reduces the capacitance temperature coefficient (TCC) to the plus side. Has the effect of shifting. However, as shown in sample number 22, when the content b (parts by weight) of Mn oxide converted to MnO is 0.5 or less, the capacitance temperature coefficient (TCC) is out of the range of ± 30 ppm / ° C. Moreover, when the content b exceeds 20, like the sample number 26, the Q value is as low as less than 1000. Therefore, 0.5 <b ≦ 20 is preferable.
[0046]
The inclusion of Cu oxide as the third subcomponent has the effect of improving the sinterability, but as shown in Sample No. 37 in Tables 2 and 5, the content c in which Cu oxide is converted to CuO When (weight part) exceeds 10, Q deteriorates and becomes smaller than 1000. Therefore, c ≦ 10 is preferable.
[0047]
(Example 2)
A multilayer ceramic capacitor according to an example of the present invention was manufactured as follows.
[0048]
That is, first, as a starting material, barium carbonate (BaCO_Three), Calcium carbonate (CaCO_Three), Strontium carbonate (SrCO_Three), Titanium oxide (TiO₂), Zirconium oxide (ZrO)₂), Rare earth oxides (Re₂O_Three), Manganese carbonate (MnCO_Three) And copper oxide (CuO 2).
[0049]
Thereafter, these raw material powders are weighed so as to obtain the composition shown in Sample No. 41 of Table 6 (excluding the glass component of the first subcomponent), and placed in a ball mill with ethanol for 16 hours for wet mixing. And then calcined at 1040 ° C. to obtain a calcined powder. The content of MnO as the second subcomponent and the content of CuO as the third subcomponent are the main components {x (BaαCaβSrγ) Oy [(TiO₂)_1-m(ZrO₂)_m ] -ZRe₂O_Three} (Wherein, x + y + z = 100, α + β + γ = 1, 0 ≦ β + γ <0.8, 0 ≦ m <0.15, and Re is at least one rare earth element). It is. In Table 6, the sample numbers marked with * are outside the scope of the present invention.
[0050]
[Table 6]

[0051]
Further, as the first subcomponent, the glass type H shown in Table 3, that is, 15B₂O_Three-85SiO₂(However, the coefficient is% by weight) glass powder was prepared.
[0052]
Next, with respect to 100 parts by weight of the previously calcined powder, 10 parts by weight of this glass powder and polyvinyl butyral solution are added and mixed to form a slurry, and this slurry is formed into a sheet by the doctor blade method. To obtain a green sheet.
[0053]
Subsequently, a conductive paste mainly composed of Cu was printed on the green sheet to form a conductive paste layer for constituting the internal electrode. Thereafter, a plurality of green sheets on which the conductive paste layer is formed are stacked so that the side from which the conductive paste layer is drawn is staggered, and further, on both end surfaces where the conductive paste layer of the laminate is exposed. A conductive paste containing Cu as a main component was applied to obtain a laminate.
[0054]
And this laminated body is made into N₂After removing the binder by heat treatment at 350 ° C. in an atmosphere, H₂-N₂-H₂In a reducing atmosphere composed of O gas, it was held at 1000 ° C. for 2 hours and fired to obtain a multilayer ceramic capacitor.
[0055]
The outer dimensions of the multilayer ceramic capacitor thus obtained are 1.6 mm wide, 3.2 mm long and 1.2 mm thick, and the thickness of the dielectric ceramic layer interposed between the internal electrodes is 6 μm, which is effective. The total number of dielectric ceramic layers was 150.
[0056]
Further, as a comparative example, a multilayer ceramic capacitor using a composition shown in Sample No. 42 of Table 6 as a dielectric was produced.
[0057]
That is, first, as a starting material, barium carbonate (BaCO_Three), Calcium carbonate (CaCO_Three), Strontium carbonate (SrCO_Three), Titanium oxide (TiO₂), Zirconium oxide (ZrO)₂), Rare earth oxides (Re₂O_Three), Manganese carbonate (MnCO_Three), Copper oxide (CuO 2), boron oxide (B₂O_Three), Silicon oxide (SiO₂) Was prepared.
[0058]
Thereafter, these raw material powders were mixed with the composition shown in sample number 42 in Table 6 (provided that B₂O_ThreeAnd SiO₂And was put into a ball mill with ethanol and wet mixed for 16 hours, and then calcined at 1040 ° C. to obtain a calcined powder. The contents of MnO as the second subcomponent and CuO as the third subcomponent are the main components {x (BaαCaβSrγ) O-y [(TiO₂)_1-m(ZrO₂)_m ] -ZRe₂O_Three} (Wherein, x + y + z = 100, α + β + γ = 1, 0 ≦ β + γ <0.8, 0 ≦ m <0.15, and Re is at least one rare earth element). It is.
[0059]
Next, with respect to 100 parts by weight of the calcined powder, boron oxide (B₂O_Three) 1.5 parts by weight and silicon oxide (SiO₂) 8.5 parts by weight and a polyvinyl butyral solution were added and mixed to form a slurry, and this slurry was formed into a sheet by a doctor blade method to obtain a green sheet. Thereafter, a multilayer ceramic capacitor was produced in the same manner as in Sample No. 41.
[0060]
Next, a moisture resistance load test was performed on the multilayer ceramic capacitors of Sample Nos. 41 and 42 in Table 6 thus obtained. That is, a DC voltage of 16 V was continuously applied to the capacitor for 250 hours in an atmosphere of 2 atm pressure, 100% relative humidity, and 121 ° C. temperature. In the meantime, the insulation resistance of the capacitor is 1 × 10⁶When it became Ω or less, it was judged as a failure (defective). The results are shown in Table 7. In Table 7, the sample numbers marked with * are outside the scope of the present invention.
[0061]
[Table 7]

[0062]
As is apparent from Sample No. 41 in Tables 6 and 7, the multilayer ceramic capacitor of the present invention containing the B component and the Si component as glass is free from defects due to the moisture resistance load test and has excellent moisture resistance characteristics. . On the other hand, as in sample number 42, the B component and the Si component are made of boron oxide (B₂O_Three) And silicon oxide (SiO₂The capacitor outside the scope of the present invention, which does not contain glass in the dielectric composition, is caused by a moisture resistance load test and is inferior in moisture resistance characteristics. This means that B₂O_Three-SiO₂It shows that the presence of the glass of the system is effective in improving the moisture resistance.
[0063]
As described above, in each of the above embodiments, barium carbonate (BaCO_Three), Calcium carbonate (CaCO_Three), Strontium carbonate (SrCO_Three), Titanium oxide (TiO₂), Zirconium oxide (ZrO)₂), Rare earth oxides (Re₂O_Three), Manganese carbonate (MnCO_Three) And copper oxide (CuO) were mixed at one time and calcined. However, in advance, barium carbonate (BaCO_Three), Calcium carbonate (CaCO_Three), Strontium carbonate (SrCO_Three), Titanium oxide (TiO₂), Zirconium oxide (ZrO)₂) And rare earth oxides (Re₂O_Three) Are mixed and calcined to produce manganese carbonate (MnCO_Three) And copper oxide (CuO 2) can be added to obtain the same effect.
[0064]
As a starting material, barium carbonate (BaCO_Three), Calcium carbonate (CaCO_Three), Strontium carbonate (SrCO_Three), Titanium oxide (TiO₂), Zirconium oxide (ZrO)₂), Rare earth oxides (Re₂O_Three), Manganese carbonate (MnCO_Three) And copper oxide (CuO 2) are used, but the present invention is not limited to these compound forms. For example, BaTiO_Three, Ba₂Ti₉O₂₀, Ba_FourTi₁₃O₃₀, BaZrO_Three, CaTiO_Three, CaZrO_Three, SrTiO_Three, SrZrO_Three, Re₂Ti₂O₇(However, Re represents a rare earth element.) Even when a compound such as carbonate, oxalate, hydroxide, alkoxide, or the like is used, similar characteristics can be obtained.
[0065]
Moreover, although it implemented at 1040 degreeC also about calcination temperature, if it is 900-1049 degreeC, the same characteristic can be acquired. Moreover, although the average particle diameter of the obtained calcined product was 0.9 μm, the same characteristics can be obtained as long as it is 0.81 to 5.0 μm.
[0066]
In addition, as glass, B ₂O_Three-SiO₂There is no particular limitation as long as the glass does not contain Pb oxide and is configured as a system.
[0067]
And also in the laminated LC filter comprised with the capacitor | condenser which consists of a dielectric ceramic composition which concerns on this invention, the outstanding effect is acquired similarly to the said Example.
[0068]
【The invention's effect】
As apparent from the above description, the dielectric ceramic composition according to the present invention is sintered at 1060 ° C. or less, has a relative dielectric constant of 30 or more, a 1 MHz Q value of 1000 or more, and electrostatic Various characteristics such as a capacity temperature coefficient (TCC) as small as ± 30 ppm / ° C. can be obtained. And since there is no volatilization of a Pb oxide component, the dielectric ceramic composition with a small dispersion | variation in a characteristic can be obtained.
[0069]
Therefore, if this dielectric ceramic composition is used as a dielectric ceramic layer to form a multilayer ceramic capacitor, a multilayer LC filter, etc., it is possible to use excellent Cu and Ag as electrode materials while exhibiting excellent moisture resistance characteristics. The cost of the multilayer ceramic component can be reduced.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 shows a preferred range of main components in the composition of the present invention {(BaαCaβSrγ) O, [(TiO₂)_1-m(ZrO₂)_m ], Re₂O_Three} It is a ternary composition diagram.
FIG. 2 is a cross-sectional view showing a multilayer ceramic capacitor according to an embodiment of the present invention.
3 is a plan view showing a dielectric ceramic layer having an internal electrode in the multilayer ceramic capacitor of FIG. 2; FIG.
4 is an exploded perspective view showing a ceramic multilayer body portion of the multilayer ceramic capacitor of FIG. 2. FIG.
[Explanation of symbols]
1 Multilayer ceramic capacitor
2a, 2b Dielectric ceramic layer
3 Ceramic laminate
4 Internal electrodes
5 External electrode
6,7 plating layer

Claims

Formula x (BaαCaβSrγ) O-y [(TiO ₂ ) _1-m (ZrO ₂ ) _m ] -zRe ₂ O ₃ (where, x + y + z = 100, α + β + γ = 1, 0 ≦ β + γ <0.8, 0 ≦ m <0.15, and Re is represented by at least one rare earth element.), (BaαCaβSrγ) O, [(TiO ₂ ) _1-m (ZrO ₂ ) _m ], and Re ₂ O ₃ of a molar ratio {(BaαCaβSrγ) O, [( TiO 2) 1-m (ZrO 2) m], Re 2 O 3} is in the ternary composition diagram shown in Figure 1 of the accompanying point a (7, 85, 8), point B (7, 59, 34), point C (0, 59, 41), within the area surrounded by point D (0, 85, 15) (however, points A and B are connected) To 100 parts by weight of the main component in the line)
And it contains glass as a first subcomponent, the glass is a B ₂ O ₃ -SiO ₂ glass (but not including Pb oxide), the content a (parts by weight) 0 1 ≦ a ≦ 25,
And it contains Mn oxide as the second subcomponent and Cu oxide as the third subcomponent , and the content b (parts by weight) of the Mn oxide is 0.5 <b in terms of MnO. ≦ 20 , and the content c (parts by weight) of the Cu oxide is 1 ≦ c ≦ 10 in terms of CuO .

The multilayer ceramic component comprising a plurality of dielectric ceramic layers, internal electrodes formed between the dielectric ceramic layers, and external electrodes electrically connected to the internal electrodes, wherein the dielectric ceramic layers are claimed in claim 1. A multilayer ceramic component comprising the dielectric ceramic composition as described above, wherein the internal electrode is composed mainly of Cu or Ag.