JP3670132B2 - 除電器 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、フィルムシートや半導体デバイス等の静電気を帯びた物体から静電気を除去する除電器に関する。
【0002】
【従来の技術】
フィルムシートや半導体デバイス等の帯電物体は静電気を帯びやすいため、その保管や製造工程においては、帯電した静電気を除去する必要がある。このため、従来より、製造工程等においては、帯電物体の近傍の空気をイオン化して、帯電物体を電気的に中和することにより、除電を行う除電器が用いられている。
【0003】
図4(a)および(b)は、従来の除電器の要部(除電電極1)の構成を示す図である。図4(a)は、除電電極1の構成を示す一部裁断側面図であり、図4(b)は、図4(a)に示すX−X線視断面図である。
図4(a)に示す除電電極1において、2は、中心導体2aと、絶縁体を介して外部導体2bと同軸配置された外部導体2bと、該外部導体2bを被覆する絶縁体とからなる同軸ケーブルである。上記中心導体2aの一端には、図示しない高圧電源より高電圧が印加されており、外部導体2bは接地されている。また、同軸ケーブル2の中心導体2aの他端部は、除電電極1内において一定長さ分が高圧電極3として用いられている。
4は、ポリエステル等が断面略コ字形状に形成されてなる樹脂成形部であり、除電電極1を保護している。
【0004】
図4(b)に示す5は、樹脂成形部4の同図右側部分の下方に配設された第1の接地電極である。この第1の接地電極5は、電気的に外部導体2bに接続されており、外部導体2bを介して接地されている。6は、樹脂成形部4の同図左側の下方に配設され、かつ第1の接地電極5に対して対向配置された第2の接地電極である。この第2の接地電極6は、第1の接地電極5と同様にして外部導体2bを介して接地されている。
【0005】
図4(a)に示す7、7、・・・は、モールド部10の中央部に長手方向に一定間隔をおいて各々配設された複数の結合リングであり、真鍮等が円筒形状に形成されてなる。これらの結合リング7、7、・・・には、図4(b)に示す絶縁部材8を介して高圧電極3が貫通されている。
【0006】
9、9、・・・は、結合リング7、7、・・・の下部に、各先端部が第1の接地電極5および第2の接地電極6の位置より下方へ突出しないように各々取り付けられた針状の放電電極である。結合リング7、7、・・・は、絶縁部材8を介して電気的に高圧電極3と静電結合している。10は、樹脂成形部4の内部に充填されたモールド部である。11は、放電電極9の下方に配設された帯電物体である。12は、樹脂成形部4の左方であって、かつ第2の接地電極6の左上方に配設されたエアパイプであり、図示しないコンプレッサより供給されるエアAを帯電物体11へ向けて吹き付ける。このエアパイプ12は、放電電極9と帯電物体11との間の距離が長い場合に、放電電極9の周囲に発生するイオンを帯電物体11へ吹き付ける役目をしている。
【0007】
上記構成において、図示しない高圧電源より高電圧が中心導体2a(高圧電極3)に印加されると、高電圧は、静電結合作用により結合リング7を介して放電電極9に印加される。これにより、放電電極9の先端部と第1の接地電極5および第2の接地電極6との間に絶縁破壊が生じて、コロナ放電が発生し、周囲の空気が正イオンと負イオンとに交互にイオン化される。従って、帯電物体11の帯電電荷の極性に応じていずれかの極性のイオンが帯電物体11に引き寄せられて、帯電物体11の帯電電荷と結合することにより、帯電物体11が除電される。
【0008】
また、放電電極9と帯電物体11との距離が長く除電効果が低い場合には、図示しないコンプレッサよりエアAがエアパイプ12に供給される。これにより、エアAがエア吹出穴12aから帯電物体11へ向けて吹き出されることにより、イオン化した空気が帯電物体11へ吹き付けられる。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来の除電器においては、図4(b)に示すように第2の接地電極6および樹脂成形部4が邪魔となるため、エアパイプ12の取り付け位置が制限される。従って、従来の除電器においては、エアAが放電電極9から遠い空間、すなわちイオン濃度が薄い空間を通過するため、帯電物体11に対する除電効果がそれほど高くならないという欠点があった。
また、図5に示すように第2の接地電極6(図4(a)参照)をエアパイプ12と共用することにより除電効果を高める方法も考えられるが、この方法も、エアAがイオン濃度が薄い空間を通過するため、帯電物体11に対する除電効果がそれほど高くならない。
本発明はこのような背景の下になされたもので、除電効果を高めることができる除電器を提供することを目的とする。
【0010】
【課題を解決するための手段】
第1の発明は、高電圧が印加される高圧電極と、前記高圧電極を収容してなる樹脂成形部と、その先端部分が前記樹脂成形部の下面から突出するように前記樹脂成形部に収容され、かつ帯電物体の上方に位置しており、静電結合により前記高電圧が印加される放電電極と、前記放電電極および前記樹脂成形部の近傍に配設されかつ接地された第1の接地電極と、前記1の接地電極に対して前記放電電極を挟んで対向する位置であって、自身と前記樹脂成形部との間の距離が、前記第1の接地電極と前記樹脂成形部との間の距離より大となる位置に配設された第2の接地電極と、前記放電電極と前記第2の接地電極との間を通過し、かつ前記放電電極の先端の近傍を通過する、前記帯電物体へ向かう方向へエアを吹き付けるエア吹付手段とを具備することを特徴とする。
また、第2の発明は、上記第1の発明において、導体の一部が螺旋状に形成され、かつ前記導体の他部が前記放電電極とされ、前記螺旋状の部分に絶縁部材を介して前記高圧電極が貫通されてなる電極ユニットとを具備することを特徴とする。
【0011】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明の実施形態について説明する。図1は本発明の一実施形態による除電器の構成を示す図である。この図において、図4(a)および(b)の各部に対応する部分には同一の符号を付ける。
図1に示す20は、交流電源であり、例えば、100Vの電圧を発生する。22は、昇圧トランスであり、その一次側には、スイッチ21を介して交流電源20が接続されており、一次側に印加された電圧100Vを昇圧した高電圧(例えば、7kV)を二次側に出力する。また、昇圧トランス22の二次側の一端は、同軸ケーブル2の中心導体2aが接続されており、一方、昇圧トランス22の二次側の他端は、外部導体2bと共に接地されている。
【0012】
30は除電電極である。図2(a)は、図1に示す除電電極30の構成を示す一部裁断側面図であり、図2(b)は、図2(a)に示すX−X線視断面図である。図2(a)に示す除電電極30においては、図4(a)に示す結合リング7および放電電極9に代えて、電極ユニット31が設けられている。また、図2(b)に示す第1の接地電極5、第2の接地電極6およbエアパイプ12の配設位置は、図4(b)に示す第1の接地電極5、第2の接地電極6およびエアパイプ12の配設位置と異なる。
【0013】
図2(a)に示す電極ユニット31は、図3に示す棒状の導体が螺旋状に巻回されてなる結合螺旋部31aと、上記導体の一端部が直線状に形成されてなり、かつ先端が針状に形成された放電電極部31bとからなる。すなわち、上記結合螺旋部31aは、結合リング7(図4(a)参照)に対応しており、放電電極部31bは、放電電極9(図4(a)参照)に対応している。
【0014】
また、図2(b)に示す電極ユニット31の結合螺旋部31aには、絶縁部材8を介して高圧電極3が貫通されている。さらに、電極ユニット31の放電電極部31bは、放電電極部31bの中心(高圧電極3)より同図左側へ距離d1離れた位置から下方へ延びるように形成されている。
【0015】
第1の接地電極5は、樹脂成形部4の下方であって、かつ放電電極部31bより同図右側へ距離d2(>d1)離れたところに位置している。第2の接地電極6は、第1の接地電極5に対して対向配置されており、放電電極部31bから同図左側へ距離d2離れたところに位置している。すなわち、放電電極部31bは、第1の接地電極5と第2の接地電極6との中間に位置している。言い換えれば、第2の接地電極6と樹脂成形部4との間の距離は、第1の接地電極5と樹脂成形部4との間の距離より大きい。エアパイプ12は、樹脂成形部4の左方であって、かつ大きくあいた樹脂成形部4と第2の接地電極6との間をエアAが帯電物体11へ向けて吹き抜ける位置に配設されている。
言い換えれば、エアAは、放電電極部31bの近傍を通って帯電物体11へ吹き抜ける。
【0016】
上記構成において、図1に示すスイッチ21がオンにされると、交流電源20の出力電圧100Vが昇圧トランス22により、例えば、7kVに昇圧されて高圧電極3(中心導体2a)に印加される。この高圧電極3に印加された高電圧に印加された高電圧は、静電結合作用により図2(b)に示す結合螺旋部31aを介して放電電極部31bに印加される。
【0017】
これにより、放電電極部31bと第1の接地電極5および第2の接地電極6との間に絶縁破壊が生じてコロナ放電が発生し、周囲の空気が正イオンと負イオンにイオン化される。従って、帯電物体11の帯電電荷の極性に応じていずれかの極性のイオンが帯電物体11に引き寄せられて帯電物体11の帯電電荷と結合することにより、帯電電荷が中和され、帯電物体が除電される。
【0018】
また、放電電極部31bと帯電物体11との距離が長く除電効果が低い場合には、図示しないコンプレッサよりエアAがエアパイプ12に供給される。これにより、エアAが帯電物体11へ向けて吹き出される。このとき、エアAは、放電電極部31bの先端の近傍の空間、言い換えれば、イオン濃度の高い空間を通過するため、効率的にイオンが帯電物体11へ吹き付けられる。
【0019】
以上説明したように、上述した一実施形態による除電器によれば、第2の接地電極6と樹脂成形部4との距離を大きくとっているので、エアAがイオン濃度の高い空間を通過するため、除電効果を高めることができる。
【0020】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、第2の接地電極と樹脂成形部との間の距離を大きくとってあるので、エア吹付手段から帯電物体へ吹き付けられるエアが、放電電極の近傍のイオン濃度が高い空間を通過する。従って、本発明によれば、イオン濃度が高い空気が帯電物体に吹き付けられるので、除電効果を高めることができるという効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の一実施形態による除電器の構成を示す図である。
【図2】 図1に示す除電電極30の構成を示す図である。
【図3】 図2に示す電極ユニット31の構成を示す斜視図である。
【図4】 従来の除電器に用いられる除電電極1の構成を示す図である。
【図5】 従来の除電器の欠点を説明する図である。
【符号の説明】
3 高圧電極
5 第1の接地電極
6 第2の接地電極
8 絶縁部材
11 帯電物体
12 エアパイプ
30 除電電極
31 電極ユニット
31a 結合螺旋部
31b 放電電極部
Claims (1)
- 高電圧が印加される所定長さの高圧電極と、
前記高圧電極を中心に収容する樹脂成形部と、
前記高圧電極に沿って複数設けられ前記高電圧が静電結合により印加されると供に、先端部分が前記樹脂成形部の中心から所定距離d1だけ偏心した状態で前記樹脂成形部の下面から突出して帯電物体に対峙する放電電極と、
前記樹脂成形部の近傍に、前記放電電極の先端部分を中心として所定距離d2だけ離間するように設けられた第1の接地電極と、
前記第1の接地電極に対して前記放電電極を挟んで対向する位置であって、前記放電電極の先端部分を中心として前記第1の接地電極とは反対側に所定距離d2だけ離間すると共に、前記樹脂成形部との間の距離が前記第1の接地電極と前記樹脂成形部との間の距離より大となるように設けられた第2の接地電極と、
前記放電電極と前記第2の接地電極との間を通過し、かつ前記放電電極の先端の近傍を通過する、前記帯電物体へ向かう方向へエアを吹き付けるエア吹付手段と
を具備することを特徴とする除電器。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP05719298A JP3670132B2 (ja) | 1998-03-09 | 1998-03-09 | 除電器 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP05719298A JP3670132B2 (ja) | 1998-03-09 | 1998-03-09 | 除電器 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH11260589A JPH11260589A (ja) | 1999-09-24 |
JP3670132B2 true JP3670132B2 (ja) | 2005-07-13 |
Family
ID=13048633
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP05719298A Expired - Lifetime JP3670132B2 (ja) | 1998-03-09 | 1998-03-09 | 除電器 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3670132B2 (ja) |
-
1998
- 1998-03-09 JP JP05719298A patent/JP3670132B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH11260589A (ja) | 1999-09-24 |
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