JP3655289B2 - Optical information recording medium and manufacturing method thereof - Google Patents

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Description

【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明は、光情報記録媒体に係り、特に、メーカ名や著作権保護対策用情報等のメディア情報がプリピットの形で書きこまれた光情報記録媒体に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、ＣＤ（コンパクトディスク）に比べて数倍の記録容量を有するＤＶＤ（デジタル多用途ディスク）が、映画等の画像や音声等の情報を記録した情報記録媒体として、広く使用されている。また、このＤＶＤに対して、ユーザ側で情報の記録を１回に限り行うことができるＤＶＤ−Ｒ（追記型のデジタル多用途ディスク）や、情報の書換えを可能とするＤＶＤ−ＲＷ（書換え可能型のデジタル多用途ディスク）が既に製品化され、今後の大容量の情報記録媒体として、広く一般化されると思われる。
【０００３】
通常、ＤＶＤ−Ｒ及びＤＶＤ−ＲＷでは、そのディスクのメーカ情報や、著作権保護対策用情報等の情報（以下、メディア情報という）がディスク最内周部や最外周部に予め記憶されている。これらのメディア情報は、ディスク製造工程の最終段階で、記録装置を用いて、光照射等により記録層を変性させることで記録している。これに対し、メディア情報を上記のような記録層に記録するのではなく、ディスクの基板製造段階において、予め基板のグルーブにエンボスピット（以下、イングルーブピットという）の形で記録する方法が開示されている（例えば、特許文献１参照）。この方法を用いて作製した光情報記録媒体の一部を、図１に示す。図１（ａ）は、光情報記録媒体の部分拡大平面図であり、イングルーブピットが形成された領域（以下、イングルーブピット領域という）を、概略的に表わしている。また、図１（ｂ）及び（ｃ）は、それぞれ、図１（ａ）のＡ−Ａ線断面及びＢ−Ｂ線断面を示した図である。この光情報記録媒体では、図１（ｂ）に示すように、ランド及びグルーブが形成された基板１０１のランド表面１０１ａを基準としたときのイングルーブピット１０７の底面（最下面）１０７ａまでの深さｄｐ”が、同じくランド表面１０１ａを基準としてグルーブ１０５の底面（最下面）１０５ａまでの深さｄｇ”より深く形成されている。これにより、この基板１０１のパターン形成面上に記録層１０２及び反射層１０３を形成した場合、イングルーブピット１０７が形成されている部分と、イングルーブピット１０７が形成されていないグルーブの部分とでは、形成される各層の表面高さに違いが生じる。したがって、このイングルーブピット部分とグルーブ部分との深さの違いを利用することにより、メディア情報等のデータをグルーブに記録することができる。
【０００４】
【特許文献１】
特開２００１−６７７３３号公報（第５―６頁、第１−３図）
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、このようなイングルーブピットを有する光情報記録媒体を用いて、実際に情報の記録再生を行った場合、イングルーブピット領域と、ユーザ側の記録領域であるグルーブのみが形成された領域（以下、グルーブ領域という）との境界部をトラッキングした際に、しばしばトラッキングが外れるエラーが確認されている。これは、図１５に示すように、基板にイングルーブピット１５１を形成することにより隣接するランド１５２の側壁が削られてしまうことに原因がある。隣接するランド１５２の側壁が削られることにより、イングルーブピット１５１とグルーブ１５３との間にあるランド１５２の上面の面積が、通常のグルーブ１５３間におけるランド１５４の上面の面積よりも小さくなる。それに応じて、ランド１５２とランド１５４上に形成される記録層及び反射層の面積にも差が生じる。このランド１５２とランド１５４との間のグルーブ１５３を光スポットＳＰでトラッキングした場合、光スポットＳＰがグルーブ１５３の中央に位置していても、ランド１５４から得られる反射光ＲＦ１の光量と、ランド１５２から得られる反射光ＲＦ２の光量との間に差が生じ、ラジアルプッシュプル信号はオフセットしてしまう。これにより、グルーブの良好なトラッキングが行えなくなり、ジッターの増加や変調度の減少を招く。また、場合によっては、トラッキングが外れてしまうこともある。
【０００６】
実際のラジアルプッシュプル信号検出においては、波長λ＝６５０ｎｍ、開口数ＮＡ＝０．６の光ピックアップを用いた場合、直径φ＝１μｍ程度の光スポットが光情報記録媒体上を半径方向に走査する。このとき、光情報記録媒体が高速で回転している為、光スポットはトラッキング方向に対して垂直な方向に走査されるのではなく、トラッキング方向に対して緩やかな角度をなす方向に走査される。ラジアルプッシュプル信号は、ピットを分解して検出できる程の周波数特性を有していないため、グルーブより深く形成されたイングルーブピット部分では、幅の広いグルーブを検出していることと同等となる。したがって、この場合、イングルーブピット領域とグルーブ領域との境界部を境にグルーブの幅が極端に変化したことになり、ラジアルプッシュプル信号の乱れが生じる。
【０００７】
特に、ＤＶＤ−ＲやＤＶＤ−ＲＷでは、ラジアルプッシュプル信号を用いてトラッキングを行っており、ラジアルプッシュプル信号のオフセットや乱れによりトラッキングエラーが引き起こされる。したがって、ＤＶＤ−ＲやＤＶＤ−ＲＷにおいては、上記トラッキングエラーを防止する必要がある。
【０００８】
そこで、本発明の目的は、上記イングルーブピット領域とグルーブ領域との境界部分をトラッキングした場合においても、安定したラジアルプッシュプル信号を得ることが可能な光情報記録媒体及びその製造方法を提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
本発明の第１の態様によれば、複数のランド及びグルーブが形成された基板と、該基板上に記録層と反射層とを有する光情報記録媒体において、
上記グルーブが、第１グルーブと；
ピットが形成されている第２グルーブと；
第２グルーブのピットより幅の狭いピットが形成されている第３グルーブと；を含み、
第３グルーブが、第１グルーブと第２グルーブとの間に配置されていることを特徴とする光情報記録媒体が提供される。
【００１０】
本発明の光情報記録媒体の基板には、複数のランド及びグルーブが形成されており、一部のグルーブにピット（イングルーブピット）が形成されている。このイングルーブピットが形成された領域（イングルーブピット領域）とグルーブのみが形成された領域（グルーブ領域）との境界部分に、さらに、上記イングルーブピットよりも幅の狭いイングルーブピットが形成された領域（以下、境界ピット領域という）が設けられている。これにより、基板表面において、イングルーブピット領域からグルーブ領域にかけて、緩やかな形状変化が得られる。よって、この基板を用いた光情報記録媒体では、イングルーブが形成された領域とグルーブのみが形成された領域との境界部を跨ぐようにトラッキングをかけた場合においても、ラジアルプッシュプル信号の乱れが少なく、安定したトラッキングを行うことができる。
【００１１】
本発明の光情報記録媒体では、第１グルーブの半値幅をＷｇで表わし、イングルーブピットを含む第２グルーブの半値幅をＷｐで表わし、幅狭のイングルーブピットを含む第３グルーブの半値幅をＷｐｂで表わしたときに、Ｗｇ≦Ｗｐｂ≦Ｗｐであることが望ましい。特に、半値幅Ｗｐと半値幅Ｗｐｂとの比Ｗｐ／Ｗｐｂが、１．０５≦Ｗｐ／Ｗｐｂ≦１．１５であることが望ましい。Ｗｐ／Ｗｐｂ＜１．０５であると、第１グルーブにおけるラジアルプッシュプル信号にオフセットや乱れが生じ易くなり、１．１５＜Ｗｐ／Ｗｐｂであると第３グルーブに形成されたイングルーブピットからの信号変調度が低くなるために望ましくない。
【００１２】
本発明では、上記記録層が、色素材料で形成されていることが望ましい。また、上記色素材料がアゾ系色素材料であることが望ましい。上記記録層が、テルルを含んでいてもよい。これにより、記録層を場所によらず安定した厚みで形成することが可能となる。
【００１３】
本発明では、第１グルーブにおける、記録層と反射層との境界面からの記録層最大窪み深さをＴｇで表わし、第２グルーブにおける、記録層と反射層との境界面からの記録層最大窪み深さをＴｐで表わし、第３グルーブにおける、記録層と反射層との境界面からの記録層最大窪み深さをＴｐｂで表わしたときに、Ｔｇ≦Ｔｐｂ≦Ｔｐであることが望ましい。これにより、ラジアルプッシュプル信号の乱れの低減が可能となる。
【００１４】
本発明では、上記グルーブの同一グルーブ内に形成されているピットが、第１ピットと、グルーブ方向の長さが第１ピットよりも長い第２ピットで構成されており、第１ピットにおける基板半径方向の最大幅をＷ１で表わし、第２ピットにおける基板半径方向の最大幅をＷ２で表わしたとき、１＜Ｗ２／Ｗ１＜１．２であることが望ましい。
【００１５】
本発明の第２の態様によれば、第１の態様の光情報記録媒体の製造方法であって、
原盤上に形成された感光性材料を３種の異なる露光強度で照射することにより、該感光性材料を第１グルーブ、第２グルーブのピット及び第３グルーブのピットに対応するパターンを露光することと；
上記露光後に、原盤を現像して第１グルーブ、ピット付き第２グルーブ及びピット付き第３グルーブに対応するパターンを形成することと；
上記パターンが形成された原盤を用いて、基板を成形することと；
該基板上に記録層及び反射層を形成することを含む光情報記録媒体の製造方法が提供される。
【００１６】
本発明の製造方法を用いることにより、本発明の第１の態様の光情報記録媒体を製造することができる。
【００１７】
本発明の光情報記録媒体の製造方法では、上記ピットに対応するパターンを露光する際の露光強度を、始めに第１の露光強度とし、次いで第１の露光強度よりも低い第２露光強度とし、さらに第１の露光強度に変更することが望ましい。これにより、ピット長が長いイングルーブピットを形成する場合においても、基板半径方向の幅の広がりを抑制することができる。これは、原盤露光時に、第２の露光強度で露光した間の積算露光量を低減することにより、ピットを通じてほぼ一定の積算露光量を与えることができるからである。第２の露光強度が第１の露光強度の７０％であることが望ましい。光情報記録媒体を再生するときのクロック周期をＴと表わしたときに、第１の露光強度で露光する期間をそれぞれ１Ｔ〜１．５Ｔに設定することが望ましい。さらに、上記原盤の露光の際に、上記３種の露光強度に加えて露光強度を０にすることを含むことが望ましい。上記現像において、ＲＩＥによるエッチングを行うことを含むことが望ましい。
【００１８】
本発明の第３の態様によれば、複数のランド及びグルーブが形成された基板と、該基板上に記録層と反射層とを有する光情報記録媒体において、
上記グルーブが、第１グルーブと；
第１グルーブより幅の広い第２グルーブと；
ピットが形成されている第３グルーブと；
第３グルーブのピットより幅の狭いピットが形成されている第４グルーブと；を含み、
第１〜第４グルーブが、第１グルーブ、第２グルーブ、第４グルーブ、第３グルーブの順に配置されていることを特徴とする光情報記録媒体が提供される。
【００１９】
本発明の光情報記録媒体の基板には、複数のランド及びグルーブが形成されており、一部のグルーブにイングルーブピットが形成されている。また、イングルーブピット領域とグルーブ領域との間に、境界ピット領域が設けられ、さらに境界ピット領域とグルーブ領域との間には通常のグルーブよりも幅の広いグルーブ（境界グルーブ）が設けられている。この基板を用いた光情報記録媒体では、境界グルーブ領域を設けることによって、グルーブ領域から境界ピット領域にかけて、互いに隣り合うグルーブ幅の変化が緩やかとなるので、第１の態様による光情報記録媒体に比べてラジアルプッシュプル信号の乱れをさらに抑制することができる。また、グルーブ領域と境界ピット領域の間に境界グルーブ領域が設けられているので、境界グルーブ領域が存在しない場合に比べて、境界ピット領域におけるイングルーブピットの寸法を大きくすることができる。これによって、境界ピット領域のイングルーブピットから変調度が高い再生信号を得ることが可能となる。
【００２０】
本発明では、第１グルーブの半値幅をＷｇで表わし、第１グルーブより幅広の第２グルーブの半値幅をＷｇｂで表わし、イングルーブピットを含む第３グルーブの半値幅をＷｐで表わし、幅狭のイングルーブピットを含む第４グルーブの半値幅をＷｐｂで表わしたときに、Ｗｇ≦Ｗｇｂ≦Ｗｐｂ≦Ｗｐとなり得る。また、半値幅Ｗｐと半値幅Ｗｐｂとの比Ｗｐ／Ｗｐｂが、１．０５≦Ｗｐ／Ｗｐｂ≦１．１５であることが望ましい。前述の通り、Ｗｐ／Ｗｐｂ＜１．０５であると、第１グルーブにおけるラジアルプッシュプル信号にオフセットや乱れが生じ易くなり、１．１５＜Ｗｐ／Ｗｐｂであると第３グルーブに形成されたイングルーブピットからの信号変調度が低くなるために望ましくない。ラジアルプッシュプル信号のオフセットや乱れを十分に抑制するために、半値幅Ｗｇｂと半値幅Ｗｇとの比Ｗｇｂ／Ｗｇが、１．０３≦Ｗｇｂ／Ｗｇ≦１．１５であることが望ましい。
【００２１】
本発明では、上記記録層が、色素材料で形成されていることが望ましい。また、上記色素材料がアゾ系色素材料であることが望ましい。さらに、上記記録層が、テルルを含んでもよい。
【００２２】
本発明では、第１グルーブにおける、記録層と反射層との境界面からの記録層最大窪み深さをＴｇで表わし、第２グルーブにおける、記録層と反射層との境界面からの記録層最大窪み深さをＴｇｂで表わし、第３グルーブにおける、記録層と反射層との境界面からの記録層最大窪み深さをＴｐで表わし、第４グルーブにおける、記録層と反射層との境界面からの記録層最大窪み深さをＴｐｂで表わしたときに、Ｔｇ≦Ｔｇｂ≦Ｔｐｂ≦Ｔｐであることが望ましい。また、上記グルーブの同一グルーブ内に形成されているピットが、第１ピットと、グルーブ方向の長さが第１ピットよりも長い第２ピットで構成されており、第１ピットにおける基板半径方向の最大幅をＷ１で表わし、第２ピットにおける基板半径方向の最大幅をＷ２で表わしたとき、１＜Ｗ２／Ｗ１＜１．２であることが望ましい。
【００２３】
本発明の第４の態様によれば、第３の態様の光情報記録媒体の製造方法であって、
原盤上に形成された感光性材料を４種の異なる露光強度で照射することにより、該感光性材料を第１グルーブ、第２グルーブ、第３グルーブのピット及び第４グルーブのピットに対応するパターンを露光することと；
上記露光後に、原盤を現像して第１グルーブ、第２グルーブ、ピット付き第３グルーブ及びピット付き第４グルーブに対応するパターンを形成することと；
上記パターンが形成された原盤を用いて、基板を成形することと；
該基板上に記録層及び反射層を形成することを含む光情報記録媒体の製造方法が提供される。
【００２４】
本発明の製造方法を用いることにより、本発明の第３の態様の光情報記録媒体を製造することができる。
【００２５】
本発明では、上記ピットに対応するパターンを露光する際の露光強度を、始めに第１の露光強度とし、次いで第１の露光強度よりも低い第２露光強度とし、さらに第１の露光強度に変更することが望ましい。これにより、ピット長が長いイングルーブピットを形成する場合においても、基板半径方向の幅の広がりを抑制することができる。また、第２の露光強度が第１の露光強度の７０％であることが望ましい。光情報記録媒体を再生するときのクロック周期をＴと表わしたときに、第１の露光強度で露光する期間をそれぞれ１Ｔ〜１．５Ｔに設定することが望ましい。さらに、上記原盤の露光の際に、上記４種の露光強度に加えて露光強度を０にすることを含むことが望ましい。上記現像において、ＲＩＥによるエッチングを行うことを含むことが望ましい。
【００２６】
本発明の第５の態様によれば、複数のランド及びグルーブが形成された基板と、該基板上に記録層と反射層とを有する光情報記録媒体において、
上記グルーブが、第１グルーブと；
第１グルーブより幅の広い第２グルーブと；
ピットが形成されている第３グルーブと；を含み、
第２グルーブが、第１グルーブと第３グルーブとの間に配置されていることを特徴とする光情報記録媒体が提供される。
【００２７】
本発明の光情報記録媒体の基板には、複数のランド及びグルーブが形成されており、一部のグルーブにイングルーブピットが形成されている。イングルーブピット領域とグルーブ領域との境界部分に、さらに、通常のグルーブよりも幅の広い境界グルーブが形成された領域（以下、境界グルーブ領域という）が設けられている。この基板を用いた光情報記録媒体では、イングルーブピットとグルーブのみ形成された光情報記録媒体に比べて、イングルーブピット領域からグルーブ領域にかけての隣り合うグルーブ間でのグルーブ幅の変化が緩やかであるので、ラジアルプッシュプル信号の乱れが少なく、安定したトラッキングを行うことができる。
【００２８】
本発明では、第１グルーブの半値幅をＷｇで表わし、第１グルーブより幅広の第２グルーブの半値幅をＷｇｂで表わし、ピットが形成されている第３グルーブの半値幅をＷｐで表わしたときに、Ｗｇ≦Ｗｇｂ≦Ｗｐとなり得る。また、半値幅Ｗｇｂと半値幅Ｗｇとの比Ｗｇｂ／Ｗｇが、ラジアルプッシュプル信号のオフセットや乱れを十分に抑制するために、１．０５≦Ｗｇｂ／Ｗｇ≦１．１５であることが望ましい。
【００２９】
本発明では、上記記録層が、色素材料で形成されていることが望ましい。また、上記色素材料がアゾ系色素材料であることが望ましい。さらに、上記記録層が、テルルを含んでもよい。
【００３０】
本発明では、第１グルーブにおける、記録層と反射層との境界面からの記録層最大窪み深さをＴｇで表わし、第２グルーブにおける、記録層と反射層との境界面からの記録層最大窪み深さをＴｇｂで表わし、第３グルーブにおける、記録層と反射層との境界面からの記録層最大窪み深さをＴｐで表わしたときに、Ｔｇ≦Ｔｇｂ≦Ｔｐであることが望ましい。また、上記グルーブの同一グルーブ内に形成されているピットが、第１ピットと、グルーブ方向の長さが第１ピットよりも長い第２ピットで構成されており、第１ピットにおける基板半径方向の最大幅をＷ１で表わし、第２ピットにおける基板半径方向の最大幅をＷ２で表わしたとき、１＜Ｗ２／Ｗ１＜１．２であることが望ましい。
【００３１】
本発明の第６の態様によれば、本発明の第５の態様の光情報記録媒体の製造方法であって、
原盤上に形成された感光性材料を３種の異なる露光強度で照射することにより、該感光性材料を第１グルーブ、第２グルーブ及び第３グルーブのピットに対応するパターンを露光することと；
上記露光後に、原盤を現像して第１グルーブ、第２グルーブ及びピット付き第３グルーブに対応するパターンを形成することと；
上記パターンが形成された原盤を用いて、基板を成形することと；
該基板上に記録層及び反射層を形成することを含む光情報記録媒体の製造方法が提供される。
【００３２】
本発明の製造方法を用いることにより、本発明の第５の態様の光情報記録媒体を製造することができる。
【００３３】
本発明では、上記ピットに対応するパターンを露光する際の露光強度を、始めに第１の露光強度とし、次いで第１の露光強度よりも低い第２露光強度とし、さらに第１の露光強度に変更することが望ましい。これにより、ピット長が長いイングルーブピットを形成する場合においても、基板半径方向の幅の広がりを抑制することができる。また、第２の露光強度が第１の露光強度の７０％であることが望ましい。光情報記録媒体を再生するときのクロック周期をＴと表わしたときに、第１の露光強度で露光する期間をそれぞれ１Ｔ〜１．５Ｔに設定することが望ましい。さらに、上記原盤の露光の際に、上記３種の露光強度に加えて露光強度を０にすることを含むことが望ましい。上記現像において、ＲＩＥによるエッチングを行うことを含むことが望ましい。
【００３４】
【発明の実施の形態】
本発明の実施の形態を、図を用いて説明するが、本発明はこれに限定されるものではない。
【００３５】
【実施例１】
［基板作製の為の原盤及びスタンパの作製方法］
本発明における光情報記録媒体の基板には、図７に示すように、基板１の内周側から順に、グルーブ領域７１、境界ピット領域７２、イングルーブピット領域７３、境界ピット領域７４及びグルーブ領域７５が形成されている。この基板１を作製するための原盤及びスタンパの作製方法について、図２〜７を用いて説明する。図２（ａ）に示すように、直径２００ｍｍ、厚さ６ｍｍのガラス原盤５０を用意した。次いで、図２（ｂ）に示すように、ガラス原盤５０の一方の表面５０ａ上に、フォトレジスト５２を、スピンコート法を用いて、厚さ２００ｎｍで均一に塗布した。次いで、フォトレジスト５２が形成されたガラス原盤５０を、不図示のカッティング装置に装着した。カッティング装置は、主に、波長３５１ｎｍのレーザ光を発振するＫｒガスレーザ光源、音響光変調素子からなる光変調器、集光レンズ及びガラス原盤を回転させるための駆動装置等で構成されている。図２（ｃ）に示すように、上記カッティング装置のレーザ光源（不図示）から出射されたレーザ光ＬＳは、光変調器及び集光レンズを介して、ガラス原盤５０上のフォトレジスト５２に照射される。このとき、ガラス原盤５０を、ガラス原盤５０の中心軸ＡＸを基準に、所定の回転数で回転させた。また、ガラス原盤５０上のレーザ光ＬＳの照射位置が、ガラス原盤５０の半径方向に沿って、ガラス原盤５０の内側から外側に向かって移動する（矢印ＡＲ２）。
【００３６】
上記のように、レーザ光ＬＳをガラス原盤５０上で移動させながら、ガラス原盤５０に照射するレーザ光ＬＳの露光強度を、上記光変調器を用いて変化させる。本実施例では、図３に示すように、レーザ光の露光強度を、低レベル、中レベル及び高レベルの３段階に変化させた。ガラス原盤の中心軸（ＡＸ）を基準として、半径１９．０ｍｍ〜２４．０ｍｍの領域は、図７に示す基板１のグルーブ領域７１に相当する（以下、第１グルーブ形成領域という）。また、半径２４．０ｍｍ〜２４．１ｍｍの領域は、基板１のイングルーブピット領域７３に相当する（以下、イングルーブピット形成領域という）。さらに、半径２４．１ｍｍ〜５８．９ｍｍの領域は、ユーザデータ領域であり、基板１のグルーブ領域７５に相当する（以下、第２グルーブ形成領域という）。図３に示すように、第１及び第２グルーブ形成領域における露光強度は、低レベル（以下、グルーブレベルという）に設定した。また、イングルーブピット形成領域における、イングルーブピットを形成するときの露光強度は高レベル（以下、イングルーブピットレベルという）に、それ以外のグルーブ部分の露光強度は、グルーブレベルに設定した。さらに、第１及び第２グルーブ形成領域とイングルーブピット形成領域との境界部に、それぞれ１トラック分に相当するイングルーブピットで形成された領域（以下、境界ピット形成領域という）を設けた。この境界ピット形成領域は、図７に示した基板１の境界ピット領域７２及び７４に相当する。この境界ピット形成領域のイングルーブピットを形成するときの露光強度は中レベル（以下、境界ピットレベルという）に、それ以外のグルーブ部分の露光強度はグルーブレベルに設定した。本実施例において、イングルーブピットレベルを１００％とした場合、境界ピットレベルは９０％、グルーブレベルは５５％となるように設定した。また、境界ピット形成領域に形成される各イングルーブピットは、トラックの接線方向に、３Ｔ〜１１Ｔ又は１４Ｔ（Ｔ：クロック周期）のいずれかのチャネルビット長で形成される。１トラック内に形成される境界ピットのパターンはランダムパターンであればよい。また、最短チャネルビット長は、用いる再生装置に併せて調整可能である。さらに、本実施例では、露光中に露光強度を変化させる場合、図３に示したように、露光強度を切り替える毎に一時的にレーザ光の露光強度を０レベルにする期間を設けた。これにより、ガラス原盤のイングルーブピット形成領域及び境界ピット形成領域におけるイングルーブピット部分の加工精度が向上する。
【００３７】
次に、フォトレジストが感光されたガラス原盤をカッティング装置から取出し、現像処理を行った。これにより、図４（ａ）及び（ｂ）に示すような、グルーブ形成部４０、境界ピット形成部４２及びイングルーブピット形成部４４が、ガラス原盤５０上に形成された。グルーブ形成部４０は、断面がＶ字状の溝形状となるように形成される。また、境界ピット形成部４２及びイングルーブピット形成部４４では、現像処理によってガラス原盤５０上のフォトレジスト５２は除去され、図４（ｂ）に示すように、ガラス原盤５０の表面５０ａがそれぞれ露出部４２ａ及び露出部４４ａとして現れる。露出部４２ａの、ガラス原盤半径方向における幅は、イングルーブピット形成部４４の露出部４４ａの幅に比べて狭い。
【００３８】
次に、図５（ａ）に示すように、ガラス原盤５０上に形成されているフォトレジスト５２の表面を、不図示のＲＩＥ（リアクティブイオンエッチング）装置を用いて、Ｃ２Ｆ６のガス雰囲気中でエッチングした。これにより、イングルーブピット形成部４４及び境界ピット形成部４２は、それぞれガラス原盤５０の表面５０ａから９０ｎｍの深さまでエッチングされる。次いで、図５（ｂ）に示すように、グルーブ形成部４０におけるガラス原盤５０の表面５０ａを露出させるために、不図示のＯ２によるレジストアッシング装置を用いて、フォトレジスト５２を所定厚さだけ削った。これにより、グルーブ形成部４０のガラス原盤表面５０ａを露出させた。さらに、図５（ｃ）に示すように、ガラス原盤５０のフォトレジスト５２形成面に対して、再度Ｃ２Ｆ６のガス雰囲気中でＲＩＥを行った。これにより、グルーブ形成部４０は、ガラス原盤表面５０ａから１７０ｎｍの深さまで、エッチングされた。同時に、イングルーブピット形成部４４及び境界ピット形成部４２は、それぞれ、ガラス原盤表面５０ａから２６０ｎｍの深さまでエッチングされた。次いで、図５（ｄ）に示すように、再度レジストアッシング装置（不図示）を用いて、ガラス原盤５０上のフォトレジスト５２を除去した。これにより、表面に所望のパターンが形成されたガラス原盤５０を得た。
【００３９】
このガラス原盤５０のパターン形成面に、メッキの前処理として無電解メッキを施した。さらに、このメッキ層を導電膜として用いることにより、厚さ０．２９ｍｍのＮｉ層を、電鋳法によって形成した。次いで、ガラス原盤５０上に形成したＮｉ層の表面を研磨し、さらに、ガラス原盤から上記Ｎｉ層を剥離することにより、スタンパを得た。なお、上記メッキの前処理における導電膜形成を、スパッタ法や蒸着法を用いて行ってもよい。
【００４０】
［情報記録媒体の作製方法］
上記のスタンパを、既存の射出成形装置に装着し、射出成形により基板１を得た。基板１は、直径１２０ｍｍ、厚さ０．６ｍｍのポリカーボネート製基板であり、図６に示すように、ガラス原盤に形成された凹凸パターン形状と同じ形状のパターンが、基板１の一方の面上に転写されている。前述の通り、基板１には、図７に示すようにグルーブ領域７１、境界ピット領域７２、イングルーブピット領域７３、境界ピット領域７４及びグルーブ領域（ユーザデータ領域）７５が形成されている。この基板１のパタ−ン形成面上に、下記化学式（１）で表わされる、アゾ系色素１重量％の濃度を有する溶液を、スピンコート法により塗布した。このとき、上記溶液を、グルーブ部分で厚さ１００ｎｍとなるように塗布した。なお、上記色素溶液を塗布する際に、テトラフルオロプロパノールを溶媒として用いることによりアゾ系色素溶媒とし、フィルタで濾過して不純物を取り除いた。次いで、上記色素材料を塗布した基板１を７０℃にて１時間乾燥させ、さらに、室温にて１時間冷却した。こうして、記録層２が基板１上に形成された（図８（ｂ）参照）。
【００４１】
【化１】

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【００４２】
さらに、図８（ｂ）に示すように、記録層２上に、反射層３としてＡｇ合金を厚さ１６０ｎｍとなるように、スパッタ法を用いて形成した。次いで、反射層３上に、ＵＶ樹脂材料をスピンコート法により塗布し、さらに、その上に厚さ０．６ｍｍのポリカーボネート製基板（ダミー基板）を載置した。この状態で、各層が形成された基板にＵＶ照射を施すことにより、各層が形成された基板とダミー基板とを貼り合わせて光情報記録媒体を得た。
【００４３】
こうして得られた光情報記録媒体について、イングルーブピット領域７３のイングルーブピット部分、境界ピット領域７４の境界ピット部分及びグルーブ領域７５のグルーブ部分の最大深さを、ディジタルインスツルメンツ社製ＡＦＭを用いて測定した。それらの深さは、図８（ｂ）に示すように、基板のランド８０の表面からの深さとした。グルーブ部分の最大深さｄｇは、１７０ｎｍであった。境界ピット部分の最大深さｄｐｂは、２６０ｎｍであった。また、イングルーブピット部分の最大深さｄｐは、２６０ｎｍであった。グルーブ部分の最大深さｄｇ及びイングルーブピット部分の最大深さｄｐは、良好な信号変調度やジッター等の記録再生信号特性を得るために、１．４≦ｄｐ／ｄｇ≦１．７の条件を満たすことが望ましい。これは、本発明者らの実験に基づいて求められた条件であり、本実施例における光情報記録媒体においても、この条件を満たすようにした。また、ランド８０の表面を基準として、イングルーブピット領域７３のイングルーブピット部分の半値幅Ｗｐ、境界ピット領域７４の境界ピット部分の半値幅Ｗｐｂ及びグルーブ領域７５のグルーブ部分における半値幅Ｗｇを、それぞれディジタルインスツルメンツ社製ＡＦＭを用いて測定した。ここで、半値幅とは、ランド８０の表面を基準面とし、各部分における最大深さの２分の１の深さ位置における、媒体の半径方向の溝幅又は穴の幅をいう。半値幅Ｗｇは３２０ｎｍ、半値幅Ｗｐｂは３５０ｎｍ、半値幅Ｗｐは４００ｎｍであった。これより、Ｗｇ≦Ｗｐｂ≦Ｗｐの関係が成り立つことが分かる。また、半値幅Ｗｐと半値幅Ｗｐｂとの比Ｗｐ／Ｗｐｂ＝１．１４であり、１．０５≦Ｗｐ／Ｗｐｂ≦１．１５の条件を満たすことが分かる。
【００４４】
さらに、図８（ｂ）に示すように、得られた光情報記録媒体のイングルーブピット領域７３のイングルーブピット部分、境界ピット領域７４の境界ピット部分及びグルーブ領域７５のグルーブ部分の記録層窪み深さを、ディジタルインスツルメンツ社製ＡＦＭを用いて測定した。ここで、記録層窪み深さとは、ランド８０上に形成された記録層２の表面２ａを基準としたときの記録層２の最大窪み量をいう。イングルーブピット領域７３における記録層窪み深さＴｐは、１７０ｎｍであった。境界ピット領域７４における記録層窪み深さＴｐｂは、１３５ｎｍであった。また、グルーブ領域７５の記録層窪み深さＴｇは、１００ｎｍであった。記録層窪み深さＴｐ及び記録層窪み深さＴｇは、良好な信号変調度やジッタ−等の記録再生信号特性を得るために、１．６≦Ｔｐ／Ｔｇ≦２．０の条件を満たすことが望ましい。これは、本発明者らの実験に基づいて求められた条件であり、本実施例における光情報記録媒体においても、この条件を満たすようにした。なお、境界ピット領域７４における記録層窪み深さＴｐｂと、イングルーブピット領域７３における記録層窪み深さＴｐまたはグルーブ領域７５の記録層窪み深さＴｇとの条件については、境界ピット領域７４の記録層窪み深さＴｐｂがグルーブ領域７５の記録層窪み深さＴｇとイングルーブピット領域７３の記録層窪み深さＴｐの差を低減するという理由から、Ｔｇ≦Ｔｐｂ≦Ｔｐとなる。さらに、グルーブ部分の最大深さｄｇに対するイングルーブピット部分の最大深さｄｐの比率と記録層窪み深さＴｇに対する記録層窪み深さＴｐの比率が、ｄｐ／ｄｇ＜Ｔｐ／Ｔｇの条件を満たすことが望ましい。イングルーブピットの最大深さｄｐがグルーブ部分の最大深さｄｇに対して、十分な信号変調度やラジアルプッシュプル信号が得られるような条件でない場合でも、基板上に記録層として色素材料を塗布することにより、記録情報再生時においてグルーブ部におけるレーザ光の光路長とイングルーブピット部におけるレーザ光の光路長との差が拡大され、光路長差を大きくすることができる。これにより、十分な信号変調度やラジアルプッシュプル信号を得ることができる。
【００４５】
上記実施例で得た光情報記録媒体を、波長６５０ｎｍのレーザ光及び開口数０．６のレンズを有する光ピックアップを用いて、イングルーブピット領域の記録信号の再生を行った。信号の検出及び再生は安定して行うことができ、また、このときの再生信号の信号変調度は６１％、ジッターは７．２％であり、いずれも良好な結果を得ることができた。
【００４６】
なお、本実施例では、図８（ａ）に示すように、イングルーブピット７３ａと境界ピット７４ａとが隣り合う領域について述べたが、イングルーブピットと境界ピット領域におけるグルーブ部分が隣り合う領域でトラッキングしているときでも、以下の理由によりトラッキングエラーは生じない。光スポットがある程度のスポットサイズを有していることに加え、実際のトラッキングの際には光スポットがトラッキング方向に対して垂直ではなく緩やかな角度をなす方向に走査されるので、境界ピット領域をトラッキングした場合、光スポット内にいずれかの境界ピット部分が入ることになる。これにより、境界ピット領域から得られるラジアルプッシュプル信号は平均化され、グルーブとイングルーブピットのみ形成された光情報記録媒体に比べて、トラッキングの際のイングルーブピット領域とグルーブ領域との間のラジアルプッシュプル信号の乱れを抑制することができる。
【００４７】
【比較例１】
次に、上記実施例で作製した光情報記録媒体のラジアルプッシュプル信号出力と、従来のイングルーブピットを有する情報記録媒体のラジアルプッシュプル信号出力との比較結果を示す。図９（ａ）は、上記実施例で作製した光情報記録媒体の検出結果を示し、上段に、シーク時における光ピックアップの２分割ディテクタからの和信号ｓａの出力を、下段に、差信号（ラジアルプッシュプル信号）ｐｐａの出力を示している。図９（ｂ）は、従来のイングルーブピットを有する光情報記録媒体の検出結果を示し、上段に、シーク時における和信号ｓｂの出力を、下段に、差信号（ラジアルプッシュプル信号）ｐｐｂの出力を、それぞれ示している。図９（ａ）、図９（ｂ）共に、和信号ｓａ、ｓｂの振幅レベルが大きく変化したところ（図９（ａ）中、符号９ａ及び図９（ｂ）中、符号９ｂでそれぞれ表わされたところ）が、イングルーブピット領域とグルーブ領域との境界部となる。図９（ａ）の符号９ａに対応する位置、即ち、上記実施例の光情報記録媒体における、イングルーブピット領域とグルーブ領域との境界部では、下段に示す差信号（ラジアルプッシュプル信号）ｐｐａの乱れは殆ど見られない。一方、図９（ｂ）の符号９ｂに対応する位置、即ち、従来のイングルーブピットを有する光情報記録媒体における、イングルーブピット領域とグルーブ領域との境界部では、下段に示す差信号（ラジアルプッシュプル信号）ｐｐｂの乱れが大きいことが確認できた。上述の通りＤＶＤ−Ｒ及びＤＶＤ−ＲＷではこのラジアルプッシュプル信号を利用してトラッキングを行っており、イングルーブピット領域とグルーブ領域との境界部において、ラジアルプッシュプル信号の振幅のバランスが崩れる、即ち、振幅の中心がずれることにより、トラッキングエラーが生じ易くなる。
【００４８】
また、上記実施例で作製した光情報記録媒体では、グルーブ部におけるラジアルプッシュプル信号とイングルーブピット部におけるラジアルプッシュプル信号との間の変動量は、正常な状態におけるラジアルプッシュプル信号の振幅を１００％とした場合、３６％となる。ＤＶＤ−Ｒ規格では特に規定されていないが、ＤＶＤ−ＲＷ規格においては、グルーブ部におけるラジアルプッシュプル信号とプリピット部におけるラジアルプッシュプル信号の変動量は２０％以上と規定されている。したがって、上記実施例の光情報記録媒体は、十分この規格を満たしており、トラッキング外れ（トラッキングエラー）を起すことはない。これに対し、従来のイングルーブピットを有する光情報記録媒体では、上記変動量が１８〜２０％程度となる。したがって、従来のイングルーブピットを有する光情報記録媒体は、ＤＶＤ−ＲＷの規格の下限値又はそれを下回ることになり、トラッキング外れ（トラッキングエラー）が生じやすい。
【００４９】
上記実施例の光情報記録媒体では、基板としてポリカーボネートを用いたが、ポリメチルメタクリレートやアモルファスポリオレフィン等を用いてもよい。また、上記実施例の光情報記録媒体では、基板上に記録層、反射層の順に、各層を形成したが、まず、基板上のパターン形成面に反射層を形成し、次いでその反射層上に記録層を形成することにより、各層を形成しても構わない。このような層構成で光情報記録媒体を作製した場合においても、上記実施例と同様な効果を得ることができる。
【００５０】
【実施例２】
本発明における光情報記録媒体の別の実施例を、図１０を用いて説明する。本実施例における光情報記録媒体は、記録層として、金属材料としてテルル（Ｔｅ）を用いた以外は、実施例１と同様に構成した。この記録層は、ＡｇＩｎＳｂＴｅにより情報の記録及び再生が行われる。図１０に示すように、ランド及びグルーブ並びにイングルーブピットを形成した基板１’面上に記録層２’として、Ｔｅを含む金属材料を、スパッタ法を用いて厚さ１５ｎｍとなるように形成した。さらに、実施例１と同様にして、記録層２’上に、スパッタ法を用いて、Ａｇ合金を厚さ１６０ｎｍで形成した。これにより、反射層３’を得た。記録層２’の材料として、ＡｇＩｎＳｂＴｅを用いることにより、基板１’のパターン形成面上に積層される記録層２’の厚みｔｒ２は、場所によらずほぼ一定となる。また、記録層２’上に積層される反射層３’の厚みｔｒ３も、場所によらずほぼ一定となる。したがって、媒体の各領域における記録層及び反射層の厚みを把握することが容易となり、その情報に基づき、積層する層の厚みを制御することができる。これにより、光情報記録媒体において、より安定した層形成が可能となる。
【００５１】
【実施例３】
本発明の別の実施例を、図１１及び１２を用いて説明する。この実施例では、光情報記録媒体に用いる基板のグルーブ領域と境界ピット領域の間に、グルーブ領域におけるグルーブより幅の広いグルーブ（以下、境界グルーブという）を１トラック分形成した以外は、実施例１と同様に構成した。以下に、上記基板の作製に用いた原盤、スタンパ及び光情報記録媒体の作製方法について説明する。
【００５２】
本実施例では、実施例１と同様にして、レーザ光をガラス原盤上で移動させながら、ガラス原盤に照射するレーザ光の露光強度を、上記光変調器を用いて変化させる。本実施例では、図１１に示すように、レーザ光の露光強度を、低い方から順にレベル１、レベル２、レベル３、レベル４の４段階に変化させた。本実施例における各レベルの比は、レベル４を１００％とした場合、レベル３は９０％、レベル２は６０％、レベル１は５５％となるように設定した。図１１に示すように、第１及び第２グルーブ形成領域における露光強度は、レベル１に設定した。また、イングルーブピット形成領域における、イングルーブピット形成部分の露光強度はレベル４に、それ以外のグルーブ部分の露光強度は、レベル１に設定した。境界グルーブ形成領域のグルーブ形成部分の露光強度はレベル２に設定した。境界ピット形成領域におけるイングルーブピット形成部分の露光強度はレベル３に、それ以外のグルーブ部分の露光強度はレベル１に設定した。本実施例の光情報記録媒体では、境界グルーブを設けることにより、実施例１の場合に比べて境界ピットに形成されるピットを大きく形成しても、境界グルーブ領域から境界ピット領域にかけてのグルーブ幅の変化は緩やかとなるので、ラジアルプッシュプル信号のオフセットや乱れが生じにくくなる。これにより、境界ピットに形成されたイングルーブピットでも十分な変調度を得ることができる。したがって、境界ピットに形成されるイングルーブピットのパターンはダミー等のランダムパターンに限らず、ユーザ情報の記録信号パターンでもよい。これにより、原盤の境界ピット形成領域におけるイングルーブピット形成部分のパターンも、上記イングルーブピットに対応したパターンが形成される。
【００５３】
次に、フォトレジストが感光されたガラス原盤を、実施例１と同様にして現像処理を行い、残ったフォトレジストのパターンに従って、ガラス原盤をＲＩＥ装置等を用いてエッチングした。これにより、表面に所望の凹凸パターンを形成したガラス原盤を得た。なお、本実施例において、グルーブ形成部及び境界グルーブ形成部は、ガラス原盤表面から１７０ｎｍの深さまで、イングルーブピット形成部及び境界ピット形成部は、ガラス原盤表面から２６０ｎｍの深さまでエッチングした。また、境界グルーブ形成部はグルーブ形成部に比べて広く形成した。
【００５４】
また、本実施例では、実施例１と同様にして、露光中に露光強度を変化させる場合、露光強度を切り替える毎に一時的にレーザ光の露光強度を０レベルにする期間を設けた。さらに、本実施例では、イングルーブピット形成領域において、所定のピット長を有する各イングルーブピット形成部分の露光強度を以下のように制御しながら、原盤露光を行った。図１１に示すように、露光開始から１Ｔ〜１．５Ｔ（Ｔ：クロック周期）の間はレベル４で露光し、次いで、所定の間露光強度をレベル４に対し７０％のレベルに低下させて露光した。さらに、イングルーブピット形成部分の終了までの１Ｔ〜１．５Ｔの間、再びレベル４に露光強度を戻して露光した。これにより、各イングルーブピット形成部分の原盤半径方向の幅は、イングルーブピット形成部分のトラック方向における中間部付近で広がることが阻止される。なお、境界ピット形成領域におけるイングルーブピット形成部分の露光強度についても、同様に露光強度の制御を行ってもよい。
【００５５】
こうして得られた原盤を用いて、実施例１と同様にして射出成形法を用いて基板を作製した。次いで、図１２（ｂ）に示すように、実施例１と同様にして、記録層２、及び反射層３を形成した。得られた基板にダミー基板を光硬化性樹脂を介して貼付けすることにより、光情報記録媒体を得た。
【００５６】
こうして得られた光情報記録媒体について、実施例１と同様にして、イングルーブピット領域７３のイングルーブピット部分、境界ピット領域７４の境界ピット部分、境界グルーブ領域７６のグルーブ部分、グルーブ領域７５のグルーブ部分の最大深さを、ディジタルインスツルメンツ社製ＡＦＭを用いて測定した。図１２（ｂ）に示すように、グルーブ部分の最大深さｄｇは、１７０ｎｍであった。境界グルーブ部分の最大深さｄｇｂは、１７０ｎｍであった。境界ピット部分の最大深さｄｐｂは、２６０ｎｍであった。イングルーブピット部分の最大深さｄｐは、２６０ｎｍであった。なお、グルーブ部分の最大深さｄｇ及びイングルーブピット部分の最大深さｄｐは、良好な信号変調度やジッター等の記録再生信号特性を得るために、１．４≦ｄｐ／ｄｇ≦１．７の条件を満たすことが望ましい。
【００５７】
また、ランド８０の表面を基準として、イングルーブピット領域７３のイングルーブピット部分の半値幅Ｗｐ、境界ピット領域７４の境界ピット部分の半値幅Ｗｐｂ、境界グルーブ領域７６のグルーブ部分における半値幅Ｗｇｂ、グルーブ領域７５のグルーブ部分における半値幅Ｗｇを、それぞれディジタルインスツルメンツ社製ＡＦＭを用いて測定した。半値幅Ｗｇは３２０ｎｍ、半値幅Ｗｇｂは３３０ｎｍ、半値幅Ｗｐｂは３６０ｎｍ、半値幅Ｗｐは４００ｎｍであった。これより、Ｗｇ≦Ｗｇｂ≦Ｗｐｂ≦Ｗｐの関係が成り立つことが分かる。また、半値幅Ｗｐと半値幅Ｗｐｂとの比Ｗｐ／Ｗｐｂ＝１．１１であり、１．０５≦Ｗｐ／Ｗｐｂ≦１．１５の条件を満たすことが分かる。さらに、半値幅Ｗｇｂと半値幅Ｗｇとの比Ｗｇｂ／Ｗｇ＝１．０３であり、１．０３≦Ｗｇｂ／Ｗｇ≦１．１５の条件を満たすことが分かる。
【００５８】
また、本実施例で得られた光情報記録媒体においては、図１２（ａ）に示すように、前述のような露光スケジュールで露光した結果、イングルーブピット領域７３のイングルーブピット７３ａのトラック方向中間部付近で基板半径方向の幅の広がりが抑制されている。これにより、イングルーブピットに隣接するランド部分７７においても十分な面積のランド面を確保することができる。よって、この光情報記録媒体から安定したラジアルプッシュプル信号を得ることができる。
【００５９】
さらに、イングルーブピット７３ａの幅の広がり抑制効果を調整するために、イングルーブピット領域７３において、最短チャネルビット長３Ｔを有するイングルーブピットの基板半径方向の幅及びそれよりも長いチャネルビット長を有するイングルーブピットの基板半径方向の幅を、それぞれディジタルインスツルメンツ社製走査型プローブ顕微鏡を用いて測定した。最短チャネルビット長３Ｔを有するイングルーブピットの最大幅は０．３４μｍであった。また、チャネルビット長１１Ｔを有するイングルーブピットの最大幅は、０．３８μｍであった。さらに、チャネルビット長１４Ｔを有するイングルーブピットの最大幅は、０．４μｍであった。本発明者らによる実験から、最短チャネルビット長３Ｔを有するイングルーブピットの最大幅に対する最短チャネルビット長３Ｔよりも長いチャネルビット長を有するイングルーブピットの最大幅の割合は１１２〜１１８％の範囲内であり、最短チャネルビット長よりも長いイングルーブピットにおいて、基板半径方向の幅の広がりが抑制されていることが分かる。
【００６０】
さらに、実施例１と同様にして、得られた光情報記録媒体のイングルーブピット領域７３のイングルーブピット部分、境界ピット領域７４の境界ピット部分、境界グルーブ領域７６及びグルーブ領域７５のグルーブ部分の記録層窪み深さを、ディジタルインスツルメンツ社製ＡＦＭを用いて測定した。図１２（ｂ）に示すように、イングルーブピット領域７３における記録層窪み深さＴｐは、１７０ｎｍであった。境界ピット領域７４における記録層窪み深さＴｐｂは、１３５ｎｍであった。境界グルーブ領域７６の記録層窪み深さＴｇｂは、１１０ｎｍであった。また、グルーブ領域７５の記録層窪み深さＴｇは、１００ｎｍであった。なお、記録層窪み深さＴｐ及び記録層窪み深さＴｇは、実施例１と同様、良好な信号変調度やジッタ−等の記録再生信号特性を得るために、１．６≦Ｔｐ／Ｔｇ≦２．０の条件を満たすことが望ましい。
【００６１】
また、境界ピット領域７４の記録層窪み深さＴｐｂと、イングルーブピット領域７３の記録層窪み深さＴｐと、境界グルーブ領域７６の記録層窪み深さＴｇｂと、グルーブ領域７５の記録層窪み深さＴｇとの関係は、上記各領域のグルーブ半値幅の関係から、Ｔｇ≦Ｔｇｂ≦Ｔｐｂ≦Ｔｐとなる。
【００６２】
上記実施例で得た光情報記録媒体を、波長６５０ｎｍのレーザ光及び開口数０．６のレンズを有する光ピックアップを用いて、イングルーブピット領域の記録信号の再生を行った。信号の検出及び再生は安定して行うことができ、また、このときの再生信号の信号変調度は６１％、ジッターは７．２％であり、いずれも良好な結果を得ることができた。
【００６３】
【実施例４】
本発明の更なる別の実施例を、図１３及び１４を用いて説明する。本実施例では、光情報記録媒体に用いる境界ピット領域を設けず、グルーブ領域とイングルーブピット形成領域との間に境界グルーブ領域のみ形成した以外は、実施例３と同様に構成した。以下、上記基板の作製に用いた原盤、スタンパ及び光情報記録媒体の作製方法について、説明する。
【００６４】
本実施例では、図１３に示すように、レーザ光の露光強度を、実施例３で用いた露光強度のうちレベル１、レベル２、レベル４の３段階のレベルを用いて原盤露光を行った。本実施例における各レベルの比は、実施例３と同様に、レベル４を１００％とした場合、レベル２は６０％、レベル１は５５％となるように設定した。図１３に示すように、第１及び第２グルーブ形成領域における露光強度は、レベル１に設定した。また、イングルーブピット形成領域における、イングルーブピット形成部分の露光強度はレベル４に、それ以外のグルーブ部分の露光強度は、レベル１に設定した。また、境界グルーブ形成領域のグルーブ形成部分の露光強度はレベル２に設定した。
【００６５】
次に、フォトレジストが感光されたガラス原盤を、実施例１と同様にして現像処理を行い、残ったフォトレジストのパターンに従って、ガラス原盤をＲＩＥ装置等を用いてエッチングした。これにより、表面に所望の凹凸パターンを形成したガラス原盤を得た。なお、本実施例において、グルーブ形成部及び境界グルーブ形成部は、ガラス原盤表面から１７０ｎｍの深さまで、イングルーブピット形成部は、ガラス原盤表面から２６０ｎｍの深さまでエッチングした。また、境界グルーブ形成部はグルーブ形成部に比べて広く形成した。
【００６６】
また、本実施例では、実施例３と同様にして、露光中に露光強度を変化させる場合、露光強度を切り替える毎に一時的にレーザ光の露光強度を０レベルにする期間を設けた。また、図１３に示すように、イングルーブピット形成領域において、所定のピット長を有する各イングルーブピット形成部分の露光強度を、実施例３と同様に制御して原盤露光を行った。
【００６７】
こうして得られた原盤を用いて、実施例３と同様にして射出成形法を用いて基板を作製した。次いで、図１４（ｂ）に示すように、実施例３と同様にして、記録層２、及び反射層３を形成した。得られた基板に、ダミー基板を光硬化性樹脂を介して貼付けすることにより光情報記録媒体を得た。
【００６８】
こうして得られた光情報記録媒体について、実施例３と同様にして、イングルーブピット領域７３のイングルーブピット部分、境界グルーブ領域７６のグルーブ部分、グルーブ領域７５のグルーブ部分の最大深さを、ディジタルインスツルメンツ社製ＡＦＭを用いて測定した。図１４（ｂ）に示すように、グルーブ部分の最大深さｄｇは、１７０ｎｍであった。境界グルーブ部分の最大深さｄｇｂは、１７０ｎｍであった。イングルーブピット部分の最大深さｄｐは、２６０ｎｍであった。なお、グルーブ部分の最大深さｄｇ及びイングルーブピット部分の最大深さｄｐは、良好な信号変調度やジッター等の記録再生信号特性を得るために、１．４≦ｄｐ／ｄｇ≦１．７の条件を満たすことが望ましい。
【００６９】
また、ランド８０の表面を基準として、イングルーブピット領域７３のイングルーブピット部分の半値幅Ｗｐ、境界グルーブ領域７６のグルーブ部分における半値幅Ｗｇｂ、グルーブ領域７５のグルーブ部分における半値幅Ｗｇを、それぞれディジタルインスツルメンツ社製ＡＦＭを用いて測定した。半値幅Ｗｇは３２０ｎｍ、半値幅Ｗｇｂは３５０ｎｍ、半値幅Ｗｐは４００ｎｍであった。これより、Ｗｇ≦Ｗｇｂ≦Ｗｐの関係が成り立つことが分かる。さらに、半値幅Ｗｇｂと半値幅Ｗｇとの比Ｗｇｂ／Ｗｇ＝１．０９であり、１．０５≦Ｗｇｂ／Ｗｇ≦１．１５の条件を満たすことが分かる。
【００７０】
また、図１４（ａ）に示すように、前述のような露光スケジュールで露光した結果、イングルーブピット領域７３のイングルーブピット７３ａのトラック方向中間部付近で基板半径方向の幅の広がりが抑制されている。これにより、イングルーブピットに隣接するランド部分７７’においても十分な面積のランド面を確保することができる。よって、この光情報記録媒体から安定したラジアルプッシュプル信号を得ることができる。
【００７１】
さらに、イングルーブピット７３ａの幅の広がり抑制効果を調整するために、イングルーブピット領域７３において、最短チャネルビット長３Ｔを有するイングルーブピットの基板半径方向の幅及びそれよりも長いチャネルビット長を有するイングルーブピットの基板半径方向の幅を、それぞれディジタルインスツルメンツ社製走査型プローブ顕微鏡を用いて測定した。最短チャネルビット長３Ｔを有するイングルーブピットの最大幅は０．３４μｍであった。また、チャネルビット長１１Ｔを有するイングルーブピットの最大幅は、０．３８μｍであった。さらに、チャネルビット長１４Ｔを有するイングルーブピットの最大幅は、０．４μｍであった。本発明者らによる実験から、最短チャネルビット長３Ｔを有するイングルーブピットの最大幅に対する最短チャネルビット長３Ｔよりも長いチャネルビット長を有するイングルーブピットの最大幅の割合は１１２〜１１８％の範囲内であり、最短チャネルビット長よりも長いイングルーブピットにおいて、基板半径方向の幅の広がりが抑制されていることが分かる。
【００７２】
また、実施例３と同様にして、得られた光情報記録媒体のイングルーブピット領域７３のイングルーブピット部分、境界グルーブ領域７６及びグルーブ領域７５のグルーブ部分の記録層窪み深さを、ディジタルインスツルメンツ社製ＡＦＭを用いて測定した。図１４（ｂ）に示すように、イングルーブピット領域７３における記録層窪み深さＴｐは、１７０ｎｍであった。境界グルーブ領域７６の記録層窪み深さＴｇｂは、１２０ｎｍであった。また、グルーブ領域７５の記録層窪み深さＴｇは、１００ｎｍであった。なお、記録層窪み深さＴｐ及び記録層窪み深さＴｇは、実施例１と同様、良好な信号変調度やジッタ−等の記録再生信号特性を得るために、１．６≦Ｔｐ／Ｔｇ≦２．０の条件を満たすことが望ましい。
【００７３】
また、イングルーブピット領域７３の記録層窪み深さＴｐと、境界グルーブ領域７６の記録層窪み深さＴｇｂと、グルーブ領域７５の記録層窪み深さＴｇとの関係は、上記各領域のグルーブ半値幅の関係から、Ｔｇ≦Ｔｇｂ≦Ｔｐとなる。
【００７４】
上記実施例で得た光情報記録媒体を、波長６５０ｎｍのレーザ光及び開口数０．６のレンズを有する光ピックアップを用いて、イングルーブピット領域の記録信号の再生を行った。信号の検出及び再生は安定して行うことができ、また、このときの再生信号の信号変調度は６１％、ジッターは７．２％であり、いずれも良好な結果を得ることができた。
【００７５】
実施例３及び４の原盤露光時に、イングルーブピット形成領域における所定のピット長を有するイングルーブピット形成部分の露光強度を、始めに第１の露光強度とし、次いで第１の露光強度よりも低い第２露光強度とし、さらに第１の露光強度に変更するように制御したが、実施例１及び２における原盤露光時においても、同様な露光強度制御を行ってもよい。
【００７６】
【発明の効果】
本発明の光情報記録媒体では、イングルーブピット領域とグルーブ領域との間に境界ピット領域を設けることにより、イングルーブピット領域とグルーブ領域との間で生じるトラッキングエラーを抑制することが可能となる。本発明の光情報記録媒体の製造方法は、本発明の光情報記録媒体を製造するのに有用である。
【００７７】
グルーブ形成領域と境界ピット形成領域との間に幅広のグルーブ（境界グルーブ）を設けることにより、境界ピットの変調度を良好な状態に維持しつつ、良好なトラッキング特性を得ることができる。また、境界ピット形成領域に代えて境界グルーブのみを設けた場合においても、安定したサーボ制御を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】 （ａ）は、従来のイングルーブピットを有する光情報記録媒体の一部分を示した概略上面図であり、（ｂ）は、（ａ）のＡ−Ａ線断面図である。
【図２】 実施例１におけるガラス原盤の作製方法を説明した図である。
【図３】 実施例１におけるガラス原盤に照射するレーザ光の露光強度の時間変化を示した図である。
【図４】 （ａ）は、実施例１において、フォトレジスト露光・現像直後のガラス原盤の一部分を示した概略上面図であり、（ｂ）は、（ａ）のＡ’−Ａ’線断面図である。
【図５】 実施例１におけるガラス原盤の作製方法を説明した図である。
【図６】 実施例１において得られた基板のパターン形成面の概略斜視図である。
【図７】 実施例１において得られた基板の概略図である。
【図８】 （ａ）は、実施例１における光情報記録媒体の、境界ピット領域付近の概略上面図を示し、（ｂ）は（ａ）のＣ−Ｃ線断面を示した図である。
【図９】 イングルーブピット領域とグルーブ領域との境界部付近の和信号及び差信号（ラジアルプッシュプル信号）を示した図であり、（ａ）は、実施例１で作成した情報記録媒体の、それらの各信号を示した図であり、（ｂ）は、従来のイングルーブピットを有する情報記録媒体の、それらの各信号を示した図である。
【図１０】 実施例２における光情報記録媒体のイングルーブピット領域とグルーブ領域との境界部付近の概略断面図である。
【図１１】 実施例３におけるガラス原盤に照射するレーザ光の露光強度の時間変化を示した図である。
【図１２】 （ａ）は、実施例３における光情報記録媒体の、境界ピット領域付近の概略上面図を示し、（ｂ）は（ａ）のＤ−Ｄ線断面を示した図である。
【図１３】 実施例４におけるガラス原盤に照射するレーザ光の露光強度の時間変化を示した図である。
【図１４】 （ａ）は、実施例４における光情報記録媒体の、境界ピット領域付近の概略上面図を示し、（ｂ）は（ａ）のＥ−Ｅ線断面を示した図である。
【図１５】 グルーブ形成領域とイングルーブピット形成領域との境界部で起こるトラッキングエラーの発生原因について説明した図である。
【符号の説明】
１，１’，１０１ 基板
２，２’，１０２ 記録層
３，３’，１０３ 反射層
４０ グルーブ形成部
４２ 境界ピット形成部
４４ イングルーブピット形成部
５０ ガラス原盤
５２ フォトレジスト
７１，７５ グルーブ領域
７３ イングルーブピット領域
７２，７４ 境界ピット領域
１０１ａ ランド面
１０５ グルーブ
１０７ イングルーブピット
ｓａ，ｓｂ 和信号
ｐｐａ，ｐｐｂ 差信号（ラジアルプッシュプル信号）
ＡＸ 中心軸[0001]
[Industrial application fields]
The present invention relates to an optical information recording medium, and more particularly to an optical information recording medium in which media information such as a manufacturer name and copyright protection measure information is written in the form of prepits.
[0002]
[Prior art]
In recent years, a DVD (digital versatile disc) having a recording capacity several times that of a CD (compact disc) has been widely used as an information recording medium for recording information such as images such as movies and sound. Also, with this DVD, a DVD-R (recordable digital versatile disc) that allows the user to record information only once, and a DVD-RW (rewritable) that allows information to be rewritten. Type digital versatile disc) has already been commercialized and is expected to be widely used as a future large-capacity information recording medium.
[0003]
Usually, in DVD-R and DVD-RW, information such as manufacturer information and copyright protection information (hereinafter referred to as media information) of the disc is stored in advance in the innermost and outermost portions of the disc. . These media information is recorded by modifying the recording layer by light irradiation or the like using a recording device at the final stage of the disc manufacturing process. On the other hand, a method for recording media information in the form of embossed pits (hereinafter referred to as in-groove pits) in advance on the substrate groove in the disk substrate manufacturing stage is disclosed instead of recording on the recording layer as described above. (For example, refer to Patent Document 1). A part of the optical information recording medium manufactured by using this method is shown in FIG. FIG. 1A is a partially enlarged plan view of an optical information recording medium, and schematically shows an area where an in-groove pit is formed (hereinafter referred to as an in-groove pit area). Moreover, FIG.1 (b) and (c) are the figures which respectively showed the AA line cross section and BB line cross section of Fig.1 (a). In this optical information recording medium, as shown in FIG. 1B, the depth to the bottom surface (lowermost surface) 107a of the in-groove pit 107 with reference to the land surface 101a of the substrate 101 on which lands and grooves are formed. Similarly, the depth dp ″ is formed deeper than the depth dg ″ from the land surface 101a to the bottom surface (lowermost surface) 105a of the groove 105. Thus, when the recording layer 102 and the reflective layer 103 are formed on the pattern formation surface of the substrate 101, the portion where the in-groove pit 107 is formed and the portion of the groove where the in-groove pit 107 is not formed A difference occurs in the surface height of each layer to be formed. Therefore, by utilizing the difference in depth between the in-groove pit portion and the groove portion, data such as media information can be recorded in the groove.
[0004]
[Patent Document 1]
Japanese Patent Laid-Open No. 2001-67733 (page 5-6, FIG. 1-3)
[0005]
[Problems to be solved by the invention]
However, when information is actually recorded / reproduced using such an optical information recording medium having in-groove pits, an in-groove pit area and an area in which only a groove which is a user-side recording area is formed ( In the following, when tracking the boundary with the groove region), an error that often goes out of tracking has been confirmed. As shown in FIG. 15, this is because the side walls of the adjacent lands 152 are scraped by forming the in-groove pits 151 on the substrate. By cutting the side walls of the adjacent lands 152, the area of the upper surface of the land 152 between the in-groove pit 151 and the groove 153 becomes smaller than the area of the upper surface of the land 154 between the normal grooves 153. Accordingly, the areas of the recording layer and the reflective layer formed on the land 152 and the land 154 also differ. When the groove 153 between the land 152 and the land 154 is tracked by the light spot SP, even if the light spot SP is located at the center of the groove 153, the light amount of the reflected light RF1 obtained from the land 154 and the land 152 A difference arises between the amount of reflected light RF2 obtained from the above and the radial push-pull signal is offset. This makes it impossible to perform good tracking of the groove, leading to an increase in jitter and a decrease in the degree of modulation. In some cases, tracking may be lost.
[0006]
In actual radial push-pull signal detection, when an optical pickup having a wavelength λ = 650 nm and a numerical aperture NA = 0.6 is used, a light spot having a diameter φ of about 1 μm scans the optical information recording medium in the radial direction. . At this time, since the optical information recording medium rotates at a high speed, the light spot is not scanned in a direction perpendicular to the tracking direction, but is scanned in a direction that forms a gentle angle with respect to the tracking direction. . Since the radial push-pull signal does not have frequency characteristics that can be detected by disassembling the pit, the in-groove pit portion formed deeper than the groove is equivalent to detecting a wide groove. . Therefore, in this case, the width of the groove changes drastically at the boundary between the in-groove pit area and the groove area, and the radial push-pull signal is disturbed.
[0007]
In particular, in DVD-R and DVD-RW, tracking is performed using a radial push-pull signal, and a tracking error is caused by an offset or disturbance of the radial push-pull signal. Therefore, in the DVD-R and DVD-RW, it is necessary to prevent the tracking error.
[0008]
Therefore, an object of the present invention is to provide an optical information recording medium capable of obtaining a stable radial push-pull signal even when the boundary portion between the in-groove pit area and the groove area is tracked, and a method for manufacturing the same. There is.
[0009]
[Means for Solving the Problems]
According to the first aspect of the present invention, in an optical information recording medium having a substrate on which a plurality of lands and grooves are formed, and a recording layer and a reflective layer on the substrate,
The groove is a first groove;
A second groove in which pits are formed;
A third groove in which a pit narrower than the pit of the second groove is formed;
An optical information recording medium is provided in which the third groove is disposed between the first groove and the second groove.
[0010]
A plurality of lands and grooves are formed on the substrate of the optical information recording medium of the present invention, and pits (in-groove pits) are formed in some of the grooves. An in-groove pit having a width smaller than that of the in-groove pit is formed at the boundary between the in-groove pit area (in-groove pit area) and the area where only the groove is formed (groove area). Areas (hereinafter referred to as boundary pit areas) are provided. Thereby, a gradual shape change is obtained from the in-groove pit region to the groove region on the substrate surface. Therefore, in the optical information recording medium using this substrate, even when tracking is performed so as to cross the boundary between the region where the in-groove is formed and the region where only the groove is formed, the radial push-pull signal is disturbed. Therefore, stable tracking can be performed.
[0011]
In the optical information recording medium of the present invention, the half width of the first groove is represented by Wg, the half width of the second groove including the in-groove pit is represented by Wp, and the half width of the third groove including the narrow in-groove pit. Is preferably expressed as Wpb, Wg ≦ Wpb ≦ Wp. In particular, the ratio Wp / Wpb between the half width Wp and the half width Wpb is preferably 1.05 ≦ Wp / Wpb ≦ 1.15. If Wp / Wpb <1.05, the radial push-pull signal in the first groove is likely to be offset or disturbed, and if 1.15 <Wp / Wpb, it is from the in-groove pit formed in the third groove. This is not desirable because the signal modulation is low.
[0012]
In the present invention, the recording layer is preferably formed of a dye material. Moreover, it is desirable that the dye material is an azo dye material. The recording layer may contain tellurium. As a result, the recording layer can be formed with a stable thickness regardless of the location.
[0013]
In the present invention, the maximum depression depth of the recording layer from the boundary surface between the recording layer and the reflective layer in the first groove is represented by Tg, and the maximum recording layer from the boundary surface between the recording layer and the reflective layer in the second groove. It is desirable that Tg ≦ Tpb ≦ Tp when the depth of the recess is represented by Tp and the maximum depth of the recording layer from the boundary surface between the recording layer and the reflective layer in the third groove is represented by Tpb. Thereby, the disturbance of the radial push-pull signal can be reduced.
[0014]
In the present invention, the pits formed in the same groove of the groove are composed of the first pit and the second pit whose length in the groove direction is longer than the first pit, and the substrate radius in the first pit The maximum width in the direction is W 1 The maximum width in the substrate radial direction at the second pit is W 2 1 <W 2 / W 1 Desirably <1.2.
[0015]
According to a second aspect of the present invention, there is provided a method for manufacturing the optical information recording medium according to the first aspect,
By irradiating the photosensitive material formed on the master with three different exposure intensities, the photosensitive material is exposed to patterns corresponding to the pits of the first groove, the second groove and the third groove. When;
After the exposure, the master is developed to form a pattern corresponding to the first groove, the second groove with pits, and the third groove with pits;
Forming a substrate using the master on which the pattern is formed;
There is provided a method of manufacturing an optical information recording medium including forming a recording layer and a reflective layer on the substrate.
[0016]
By using the manufacturing method of the present invention, the optical information recording medium of the first aspect of the present invention can be manufactured.
[0017]
In the method for manufacturing an optical information recording medium of the present invention, the exposure intensity at the time of exposing the pattern corresponding to the pit is set to the first exposure intensity first, and then to the second exposure intensity lower than the first exposure intensity. Furthermore, it is desirable to change to the first exposure intensity. Thereby, even when an in-groove pit having a long pit length is formed, the spread of the width in the substrate radial direction can be suppressed. This is because a substantially constant integrated exposure amount can be provided through the pits by reducing the integrated exposure amount during exposure with the second exposure intensity during exposure of the master. It is desirable that the second exposure intensity is 70% of the first exposure intensity. When the clock period for reproducing the optical information recording medium is represented by T, it is desirable to set the period of exposure at the first exposure intensity to 1T to 1.5T, respectively. Furthermore, it is desirable to include setting the exposure intensity to 0 in addition to the above three types of exposure intensity when exposing the master. It is desirable that the development includes performing etching by RIE.
[0018]
According to a third aspect of the present invention, in an optical information recording medium having a substrate on which a plurality of lands and grooves are formed, and a recording layer and a reflective layer on the substrate,
The groove is a first groove;
A second groove wider than the first groove;
A third groove in which pits are formed;
A fourth groove in which a pit narrower than the pit of the third groove is formed;
An optical information recording medium is provided in which the first to fourth grooves are arranged in the order of the first groove, the second groove, the fourth groove, and the third groove.
[0019]
A plurality of lands and grooves are formed on the substrate of the optical information recording medium of the present invention, and in-groove pits are formed in some of the grooves. In addition, a boundary pit area is provided between the in-groove pit area and the groove area, and a groove (boundary groove) wider than a normal groove is provided between the boundary pit area and the groove area. Yes. In the optical information recording medium using this substrate, by providing the boundary groove area, the change in the groove width adjacent to each other from the groove area to the boundary pit area becomes gradual. Therefore, the optical information recording medium according to the first aspect In comparison, the disturbance of the radial push-pull signal can be further suppressed. Further, since the boundary groove area is provided between the groove area and the boundary pit area, the size of the in-groove pit in the boundary pit area can be increased as compared with the case where the boundary groove area does not exist. This makes it possible to obtain a reproduction signal with a high degree of modulation from the in-groove pit in the boundary pit area.
[0020]
In the present invention, the half width of the first groove is represented by Wg, the half width of the second groove wider than the first groove is represented by Wgb, and the half width of the third groove including the in-groove pit is represented by Wp. When the half width of the fourth groove including the in-groove pits is expressed by Wpb, Wg ≦ Wgb ≦ Wpb ≦ Wp may be satisfied. The ratio Wp / Wpb between the half width Wp and the half width Wpb is preferably 1.05 ≦ Wp / Wpb ≦ 1.15. As described above, when Wp / Wpb <1.05, the radial push-pull signal in the first groove is likely to be offset or disturbed, and when 1.15 <Wp / Wpb, the input formed in the third groove. This is not desirable because the signal modulation degree from the groove pit is lowered. In order to sufficiently suppress the offset and disturbance of the radial push-pull signal, the ratio Wgb / Wg of the half width Wgb to the half width Wg is preferably 1.03 ≦ Wgb / Wg ≦ 1.15.
[0021]
In the present invention, the recording layer is preferably formed of a dye material. Moreover, it is desirable that the dye material is an azo dye material. Furthermore, the recording layer may contain tellurium.
[0022]
In the present invention, the maximum depression depth of the recording layer from the boundary surface between the recording layer and the reflective layer in the first groove is represented by Tg, and the maximum recording layer from the boundary surface between the recording layer and the reflective layer in the second groove. The depression depth is represented by Tgb, the recording layer maximum depression depth from the boundary surface between the recording layer and the reflective layer in the third groove is represented by Tp, and the boundary surface between the recording layer and the reflective layer in the fourth groove. It is desirable that Tg ≦ Tgb ≦ Tpb ≦ Tp when the maximum depth of the recording layer is expressed by Tpb. The pits formed in the same groove of the groove are composed of a first pit and a second pit whose length in the groove direction is longer than that of the first pit. Maximum width is W 1 The maximum width in the substrate radial direction at the second pit is W 2 1 <W 2 / W 1 Desirably <1.2.
[0023]
According to a fourth aspect of the present invention, there is provided a method for manufacturing an optical information recording medium according to the third aspect,
A pattern corresponding to the pits of the first groove, the second groove, the third groove, and the pits of the fourth groove by irradiating the photosensitive material formed on the master with four different exposure intensities. Exposing;
After the exposure, the master is developed to form patterns corresponding to the first groove, the second groove, the third groove with pits, and the fourth groove with pits;
Forming a substrate using the master on which the pattern is formed;
There is provided a method of manufacturing an optical information recording medium including forming a recording layer and a reflective layer on the substrate.
[0024]
By using the manufacturing method of the present invention, the optical information recording medium of the third aspect of the present invention can be manufactured.
[0025]
In the present invention, the exposure intensity at the time of exposing the pattern corresponding to the pit is set to the first exposure intensity, then to the second exposure intensity lower than the first exposure intensity, and further to the first exposure intensity. It is desirable to change. Thereby, even when an in-groove pit having a long pit length is formed, the spread of the width in the substrate radial direction can be suppressed. Further, it is desirable that the second exposure intensity is 70% of the first exposure intensity. When the clock period for reproducing the optical information recording medium is represented by T, it is desirable to set the period of exposure at the first exposure intensity to 1T to 1.5T, respectively. Furthermore, it is desirable to include setting the exposure intensity to 0 in addition to the above four kinds of exposure intensity when the master is exposed. It is desirable that the development includes performing etching by RIE.
[0026]
According to a fifth aspect of the present invention, in an optical information recording medium having a substrate on which a plurality of lands and grooves are formed, and a recording layer and a reflective layer on the substrate,
The groove is a first groove;
A second groove wider than the first groove;
A third groove in which pits are formed;
An optical information recording medium is provided in which the second groove is disposed between the first groove and the third groove.
[0027]
A plurality of lands and grooves are formed on the substrate of the optical information recording medium of the present invention, and in-groove pits are formed in some of the grooves. In the boundary portion between the in-groove pit region and the groove region, a region where a boundary groove wider than a normal groove is formed (hereinafter referred to as a boundary groove region) is provided. In the optical information recording medium using this substrate, the change in the groove width between adjacent grooves from the in-groove pit area to the groove area is slower than in the optical information recording medium in which only the in-groove pit and the groove are formed. Therefore, there is little disturbance of the radial push-pull signal, and stable tracking can be performed.
[0028]
In the present invention, when the half width of the first groove is represented by Wg, the half width of the second groove wider than the first groove is represented by Wgb, and the half width of the third groove in which the pits are formed is represented by Wp. And Wg ≦ Wgb ≦ Wp. Further, the ratio Wgb / Wg between the half width Wgb and the half width Wg is preferably 1.05 ≦ Wgb / Wg ≦ 1.15 in order to sufficiently suppress the offset and disturbance of the radial push-pull signal.
[0029]
In the present invention, the recording layer is preferably formed of a dye material. Moreover, it is desirable that the dye material is an azo dye material. Furthermore, the recording layer may contain tellurium.
[0030]
In the present invention, the maximum depression depth of the recording layer from the boundary surface between the recording layer and the reflective layer in the first groove is represented by Tg, and the maximum recording layer from the boundary surface between the recording layer and the reflective layer in the second groove. It is desirable that Tg ≦ Tgb ≦ Tp when the depth of the recess is represented by Tgb and the maximum depth of the recording layer from the boundary surface between the recording layer and the reflective layer in the third groove is represented by Tp. The pits formed in the same groove of the groove are composed of a first pit and a second pit whose length in the groove direction is longer than that of the first pit. Maximum width is W 1 The maximum width in the substrate radial direction at the second pit is W 2 1 <W 2 / W 1 Desirably <1.2.
[0031]
According to a sixth aspect of the present invention, there is provided a method for manufacturing an optical information recording medium according to the fifth aspect of the present invention,
Irradiating the photosensitive material formed on the master with three different exposure intensities to expose the photosensitive material in patterns corresponding to the pits of the first groove, the second groove, and the third groove;
After the exposure, the master is developed to form a pattern corresponding to the first groove, the second groove, and the third groove with pits;
Forming a substrate using the master on which the pattern is formed;
There is provided a method of manufacturing an optical information recording medium including forming a recording layer and a reflective layer on the substrate.
[0032]
By using the manufacturing method of the present invention, the optical information recording medium of the fifth aspect of the present invention can be manufactured.
[0033]
In the present invention, the exposure intensity at the time of exposing the pattern corresponding to the pit is set to the first exposure intensity, then the second exposure intensity lower than the first exposure intensity, and further to the first exposure intensity. It is desirable to change. Thereby, even when an in-groove pit having a long pit length is formed, the spread of the width in the substrate radial direction can be suppressed. Further, it is desirable that the second exposure intensity is 70% of the first exposure intensity. When the clock cycle for reproducing the optical information recording medium is represented by T, it is desirable to set the exposure period at the first exposure intensity to 1T to 1.5T, respectively. Furthermore, it is desirable to include setting the exposure intensity to 0 in addition to the above three types of exposure intensity when exposing the master. It is desirable that the development includes performing etching by RIE.
[0034]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings, but the present invention is not limited thereto.
[0035]
[Example 1]
[Manufacturing method of master and stamper for substrate manufacture]
In the substrate of the optical information recording medium in the present invention, as shown in FIG. 7, a groove region 71, a boundary pit region 72, an in-groove pit region 73, a boundary pit region 74, and a groove region are sequentially formed from the inner peripheral side of the substrate 1. 75 is formed. A method for producing a master and a stamper for producing the substrate 1 will be described with reference to FIGS. As shown in FIG. 2A, a glass master 50 having a diameter of 200 mm and a thickness of 6 mm was prepared. Next, as shown in FIG. 2B, a photoresist 52 was uniformly applied to a thickness of 200 nm on one surface 50a of the glass master 50 by using a spin coating method. Next, the glass master disc 50 on which the photoresist 52 was formed was mounted on a cutting device (not shown). The cutting apparatus mainly includes a Kr gas laser light source that oscillates laser light having a wavelength of 351 nm, an optical modulator composed of an acoustic light modulation element, a condensing lens, and a driving device for rotating a glass master. As shown in FIG. 2C, a laser beam LS emitted from a laser light source (not shown) of the cutting apparatus is irradiated onto a photoresist 52 on a glass master 50 through an optical modulator and a condenser lens. Is done. At this time, the glass master 50 was rotated at a predetermined number of rotations with the central axis AX of the glass master 50 as a reference. In addition, the irradiation position of the laser beam LS on the glass master 50 moves from the inside to the outside of the glass master 50 along the radial direction of the glass master 50 (arrow AR2).
[0036]
As described above, while moving the laser light LS on the glass master 50, the exposure intensity of the laser light LS irradiated on the glass master 50 is changed using the optical modulator. In the present embodiment, as shown in FIG. 3, the exposure intensity of the laser beam was changed in three levels, a low level, a medium level, and a high level. A region having a radius of 19.0 mm to 24.0 mm with respect to the central axis (AX) of the glass master disk corresponds to the groove region 71 of the substrate 1 shown in FIG. 7 (hereinafter referred to as a first groove forming region). An area having a radius of 24.0 mm to 24.1 mm corresponds to the in-groove pit area 73 of the substrate 1 (hereinafter referred to as an in-groove pit formation area). Furthermore, an area having a radius of 24.1 mm to 58.9 mm is a user data area and corresponds to the groove area 75 of the substrate 1 (hereinafter referred to as a second groove forming area). As shown in FIG. 3, the exposure intensity in the first and second groove forming areas was set to a low level (hereinafter referred to as the groove level). In the in-groove pit formation region, the exposure intensity when forming the in-groove pit was set to a high level (hereinafter referred to as an in-groove pit level), and the exposure intensity of the other groove portions was set to the groove level. Furthermore, regions formed by in-groove pits corresponding to one track (hereinafter referred to as boundary pit formation regions) are provided at the boundary between the first and second groove formation regions and the in-groove pit formation region. This boundary pit formation area corresponds to the boundary pit areas 72 and 74 of the substrate 1 shown in FIG. The exposure intensity when forming in-groove pits in this boundary pit formation region was set to the medium level (hereinafter referred to as boundary pit level), and the exposure intensity of the other groove portions was set to the groove level. In this embodiment, when the in-groove pit level is 100%, the boundary pit level is set to 90% and the groove level is set to 55%. Each in-groove pit formed in the boundary pit formation region is formed with a channel bit length of either 3T to 11T or 14T (T: clock cycle) in the track tangential direction. The boundary pit pattern formed in one track may be a random pattern. Further, the shortest channel bit length can be adjusted in accordance with the reproducing apparatus to be used. Further, in this embodiment, when changing the exposure intensity during exposure, as shown in FIG. 3, a period for temporarily setting the exposure intensity of the laser beam to 0 level is provided every time the exposure intensity is switched. Thereby, the processing accuracy of the in-groove pit portion in the in-groove pit formation region and the boundary pit formation region of the glass master is improved.
[0037]
Next, the glass master on which the photoresist was exposed was taken out of the cutting apparatus and developed. As a result, the groove forming part 40, the boundary pit forming part 42, and the in-groove pit forming part 44 were formed on the glass master 50 as shown in FIGS. The groove forming part 40 is formed so as to have a V-shaped groove shape in cross section. Further, in the boundary pit forming part 42 and the in-groove pit forming part 44, the photoresist 52 on the glass master 50 is removed by the development process, and the surface 50a of the glass master 50 is exposed as shown in FIG. 4B. It appears as a portion 42a and an exposed portion 44a. The width of the exposed portion 42 a in the glass master radial direction is narrower than the width of the exposed portion 44 a of the in-groove pit forming portion 44.
[0038]
Next, as shown in FIG. 5A, the surface of the photoresist 52 formed on the glass master disk 50 is subjected to C using a RIE (reactive ion etching) apparatus (not shown). 2 F 6 Etching was performed in a gas atmosphere. As a result, the in-groove pit forming portion 44 and the boundary pit forming portion 42 are etched from the surface 50a of the glass master 50 to a depth of 90 nm, respectively. Next, as shown in FIG. 5B, in order to expose the surface 50a of the glass master 50 in the groove forming unit 40, an O (not shown) is used. 2 The photoresist 52 was shaved by a predetermined thickness using the resist ashing apparatus. Thereby, the glass original disc surface 50a of the groove formation part 40 was exposed. In addition, as shown in FIG. 2 F 6 RIE was performed in a gas atmosphere. As a result, the groove forming portion 40 was etched from the glass master surface 50a to a depth of 170 nm. At the same time, the in-groove pit formation portion 44 and the boundary pit formation portion 42 were each etched to a depth of 260 nm from the glass master surface 50a. Next, as shown in FIG. 5D, the photoresist 52 on the glass master 50 was removed again using a resist ashing device (not shown). As a result, a glass master 50 having a desired pattern formed on the surface was obtained.
[0039]
Electroless plating was applied to the pattern forming surface of the glass master 50 as a pretreatment for plating. Furthermore, by using this plating layer as a conductive film, a Ni layer having a thickness of 0.29 mm was formed by electroforming. Next, the surface of the Ni layer formed on the glass master 50 was polished, and the Ni layer was peeled from the glass master to obtain a stamper. In addition, you may perform the electrically conductive film formation in the pre-processing of the said plating using a sputtering method or a vapor deposition method.
[0040]
[Method of manufacturing information recording medium]
The above stamper was mounted on an existing injection molding apparatus, and the substrate 1 was obtained by injection molding. The substrate 1 is a polycarbonate substrate having a diameter of 120 mm and a thickness of 0.6 mm. As shown in FIG. 6, a pattern having the same shape as the concavo-convex pattern formed on the glass master is formed on one surface of the substrate 1. It has been transcribed. As described above, the substrate 1 is formed with a groove area 71, a boundary pit area 72, an in-groove pit area 73, a boundary pit area 74, and a groove area (user data area) 75 as shown in FIG. A solution having a concentration of 1% by weight of an azo dye represented by the following chemical formula (1) was applied on the pattern forming surface of the substrate 1 by a spin coating method. At this time, the solution was applied so that the groove portion had a thickness of 100 nm. In addition, when apply | coating the said pigment | dye solution, it was set as the azo dye solvent by using tetrafluoropropanol as a solvent, and it filtered with the filter, and removed the impurity. Subsequently, the board | substrate 1 which apply | coated the said pigment | dye material was dried at 70 degreeC for 1 hour, and also it cooled at room temperature for 1 hour. Thus, the recording layer 2 was formed on the substrate 1 (see FIG. 8B).
[0041]
[Chemical 1]
Figure 0003655289
[0042]
Further, as shown in FIG. 8B, an Ag alloy was formed as the reflective layer 3 on the recording layer 2 by a sputtering method so as to have a thickness of 160 nm. Next, a UV resin material was applied on the reflective layer 3 by a spin coating method, and a polycarbonate substrate (dummy substrate) having a thickness of 0.6 mm was placed thereon. In this state, the substrate on which each layer was formed was irradiated with UV, whereby the substrate on which each layer was formed and the dummy substrate were bonded to obtain an optical information recording medium.
[0043]
With respect to the optical information recording medium thus obtained, the maximum depths of the in-groove pit portion of the in-groove pit region 73, the boundary pit portion of the boundary pit region 74, and the groove portion of the groove region 75 are measured using AFM manufactured by Digital Instruments. It was measured. These depths were set to the depth from the surface of the land 80 of the substrate as shown in FIG. The maximum depth dg of the groove portion was 170 nm. The maximum depth dpb of the boundary pit portion was 260 nm. Further, the maximum depth dp of the in-groove pit portion was 260 nm. The maximum depth dg of the groove portion and the maximum depth dp of the in-groove pit portion satisfy the condition of 1.4 ≦ dp / dg ≦ 1.7 in order to obtain good recording / reproduction signal characteristics such as signal modulation and jitter. It is desirable to satisfy. This is a condition obtained based on experiments by the present inventors, and this condition is also satisfied in the optical information recording medium in the present embodiment. Further, with reference to the surface of the land 80, the half-value width Wp of the in-groove pit portion of the in-groove pit region 73, the half-value width Wpb of the boundary pit portion of the boundary pit region 74, and the half-value width Wg of the groove portion of the groove region 75 are Each was measured using AFM manufactured by Digital Instruments. Here, the half width refers to a groove width or a hole width in the radial direction of the medium at a depth position that is a half of the maximum depth in each portion with the surface of the land 80 as a reference plane. The full width at half maximum Wg was 320 nm, the full width at half maximum Wpb was 350 nm, and the full width at half maximum Wp was 400 nm. From this, it can be seen that the relationship of Wg ≦ Wpb ≦ Wp is established. Further, it can be seen that the ratio of the half width Wp to the half width Wpb is Wp / Wpb = 1.14, and the condition of 1.05 ≦ Wp / Wpb ≦ 1.15 is satisfied.
[0044]
Further, as shown in FIG. 8B, the recording layer depressions in the in-groove pit portion of the in-groove pit region 73, the boundary pit portion of the boundary pit region 74, and the groove portion of the groove region 75 of the obtained optical information recording medium are obtained. The depth was measured using AFM manufactured by Digital Instruments. Here, the recording layer recess depth refers to the maximum recess amount of the recording layer 2 with respect to the surface 2 a of the recording layer 2 formed on the land 80. The recording layer recess depth Tp in the in-groove pit region 73 was 170 nm. The recording layer recess depth Tpb in the boundary pit region 74 was 135 nm. The recording layer recess depth Tg of the groove region 75 was 100 nm. The recording layer recess depth Tp and the recording layer recess depth Tg satisfy the condition of 1.6 ≦ Tp / Tg ≦ 2.0 in order to obtain recording / reproducing signal characteristics such as good signal modulation and jitter. Is desirable. This is a condition obtained based on experiments by the present inventors, and this condition is also satisfied in the optical information recording medium in the present embodiment. Note that the recording layer depression depth Tpb in the boundary pit area 74 and the recording layer depression depth Tp in the in-groove pit area 73 or the recording layer depression depth Tg in the groove area 75 are recorded in the boundary pit area 74. Since the layer recess depth Tpb reduces the difference between the recording layer recess depth Tg of the groove region 75 and the recording layer recess depth Tp of the in-groove pit region 73, Tg ≦ Tpb ≦ Tp. Further, the ratio of the maximum depth dp of the in-groove pit portion to the maximum depth dg of the groove portion and the ratio of the recording layer recess depth Tp to the recording layer recess depth Tg satisfies the condition of dp / dg <Tp / Tg. It is desirable. Even if the maximum depth dp of the in-groove pit is not sufficient to obtain a sufficient signal modulation degree or radial push-pull signal with respect to the maximum depth dg of the groove portion, a dye material is applied as a recording layer on the substrate. By doing so, the difference between the optical path length of the laser light in the groove portion and the optical path length of the laser light in the in-groove pit portion can be increased during recording information reproduction, and the optical path length difference can be increased. Thereby, a sufficient signal modulation degree and radial push-pull signal can be obtained.
[0045]
The optical information recording medium obtained in the above example was reproduced using a laser beam having a wavelength of 650 nm and an optical pickup having a lens with a numerical aperture of 0.6. Signal detection and reproduction could be performed stably, and the signal modulation degree of the reproduction signal at this time was 61% and the jitter was 7.2%, and good results were obtained in both cases.
[0046]
In the present embodiment, as shown in FIG. 8A, the region where the in-groove pit 73a and the boundary pit 74a are adjacent to each other has been described. However, the groove portion in the in-groove pit and the boundary pit region is adjacent to the region. Even when tracking, tracking errors do not occur for the following reasons. In addition to the light spot having a certain spot size, in actual tracking, the light spot is scanned in a direction that forms a gentle angle rather than perpendicular to the tracking direction. In the case of tracking, any boundary pit portion enters the light spot. Thereby, the radial push-pull signal obtained from the boundary pit area is averaged, and compared with the optical information recording medium in which only the groove and the in-groove pit are formed, the distance between the in-groove pit area and the groove area at the time of tracking is reduced. Disturbance of the radial push-pull signal can be suppressed.
[0047]
[Comparative Example 1]
Next, a comparison result between the radial push-pull signal output of the optical information recording medium manufactured in the above embodiment and the radial push-pull signal output of the conventional information recording medium having in-groove pits is shown. FIG. 9A shows the detection result of the optical information recording medium manufactured in the above embodiment. The upper stage shows the output of the sum signal sa from the two-divided detector of the optical pickup during seeking, and the lower stage shows the difference signal ( The output of the radial push-pull signal (ppa) is shown. FIG. 9B shows a detection result of a conventional optical information recording medium having in-groove pits. The upper stage shows the output of the sum signal sb at the time of seek, and the lower stage shows the difference signal (radial push-pull signal) ppb. Each output is shown. 9 (a) and 9 (b), when the amplitude levels of the sum signals sa and sb change greatly (represented by reference numeral 9b in FIG. 9 (a) and reference numeral 9b in FIG. 9 (b)), respectively. Is the boundary between the in-groove pit area and the groove area. The difference signal (radial push-pull signal) ppa shown at the lower stage at the position corresponding to the reference numeral 9a in FIG. 9A, that is, at the boundary between the in-groove pit area and the groove area in the optical information recording medium of the above embodiment. There is almost no disturbance. On the other hand, at the position corresponding to the reference numeral 9b in FIG. 9B, that is, at the boundary between the in-groove pit area and the groove area in the conventional optical information recording medium having the in-groove pit, It was confirmed that the disturbance of the push-pull signal) ppb was large. As described above, in the DVD-R and DVD-RW, tracking is performed using this radial push-pull signal, and the balance of the amplitude of the radial push-pull signal is lost at the boundary between the in-groove pit region and the groove region. That is, the tracking error is likely to occur due to the deviation of the center of the amplitude.
[0048]
Further, in the optical information recording medium manufactured in the above embodiment, the amount of fluctuation between the radial push-pull signal in the groove part and the radial push-pull signal in the in-groove pit part is the amplitude of the radial push-pull signal in a normal state. When it is 100%, it is 36%. Although not specified in the DVD-R standard, in the DVD-RW standard, the fluctuation amount of the radial push-pull signal in the groove part and the radial push-pull signal in the pre-pit part is specified as 20% or more. Therefore, the optical information recording medium of the above embodiment sufficiently satisfies this standard and does not cause a tracking error (tracking error). On the other hand, in the conventional optical information recording medium having in-groove pits, the fluctuation amount is about 18 to 20%. Therefore, the conventional optical information recording medium having in-groove pits is lower than the lower limit value of the DVD-RW standard or less, and is likely to be out of tracking (tracking error).
[0049]
In the optical information recording medium of the above embodiment, polycarbonate is used as the substrate, but polymethyl methacrylate, amorphous polyolefin, or the like may be used. In the optical information recording medium of the above embodiment, each layer was formed in the order of the recording layer and the reflective layer on the substrate. First, the reflective layer was formed on the pattern formation surface on the substrate, and then on the reflective layer. Each layer may be formed by forming a recording layer. Even when the optical information recording medium is manufactured with such a layer structure, the same effect as in the above embodiment can be obtained.
[0050]
[Example 2]
Another embodiment of the optical information recording medium in the present invention will be described with reference to FIG. The optical information recording medium in this example was configured in the same manner as in Example 1 except that tellurium (Te) was used as the metal material for the recording layer. In this recording layer, information is recorded and reproduced by AgInSbTe. As shown in FIG. 10, a metal material containing Te was formed as a recording layer 2 ′ on the substrate 1 ′ surface on which lands, grooves, and in-groove pits were formed to a thickness of 15 nm using a sputtering method. . Further, in the same manner as in Example 1, an Ag alloy with a thickness of 160 nm was formed on the recording layer 2 ′ by sputtering. Thereby, a reflective layer 3 ′ was obtained. By using AgInSbTe as the material of the recording layer 2 ′, the thickness tr of the recording layer 2 ′ laminated on the pattern forming surface of the substrate 1 ′. 2 Is almost constant regardless of location. Further, the thickness tr of the reflective layer 3 ′ laminated on the recording layer 2 ′ 3 However, it is almost constant regardless of the location. Therefore, it becomes easy to grasp the thicknesses of the recording layer and the reflective layer in each region of the medium, and the thickness of the laminated layers can be controlled based on the information. As a result, a more stable layer can be formed in the optical information recording medium.
[0051]
[Example 3]
Another embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. In this embodiment, except that a groove having a width wider than the groove in the groove area (hereinafter referred to as a boundary groove) is formed between the groove area and the boundary pit area of the substrate used for the optical information recording medium. 1 was configured. Hereinafter, a method for manufacturing a master, a stamper, and an optical information recording medium used for manufacturing the substrate will be described.
[0052]
In the present embodiment, as in the first embodiment, the laser light is moved on the glass master, and the exposure intensity of the laser light irradiated on the glass master is changed using the optical modulator. In this embodiment, as shown in FIG. 11, the exposure intensity of the laser beam was changed in four steps of level 1, level 2, level 3, and level 4 in order from the lowest. The ratio of each level in the present example was set so that level 3 was 90%, level 2 was 60%, and level 1 was 55% when level 4 was 100%. As shown in FIG. 11, the exposure intensity in the first and second groove forming areas was set to level 1. In the in-groove pit formation region, the exposure intensity of the in-groove pit formation portion was set to level 4, and the exposure intensity of the other groove portions was set to level 1. The exposure intensity of the groove forming portion in the boundary groove forming region was set to level 2. The exposure intensity of the in-groove pit formation portion in the boundary pit formation region was set to level 3, and the exposure intensity of the other groove portions was set to level 1. In the optical information recording medium of the present embodiment, by providing the boundary groove, the groove width from the boundary groove area to the boundary pit area can be increased even if the pit formed in the boundary pit is larger than in the case of the first embodiment. Since the change in the frequency becomes gradual, the radial push-pull signal is less likely to be offset or disturbed. Thereby, a sufficient degree of modulation can be obtained even in the in-groove pit formed in the boundary pit. Therefore, the in-groove pit pattern formed in the boundary pit is not limited to a random pattern such as a dummy, but may be a recording signal pattern of user information. As a result, a pattern corresponding to the in-groove pit is also formed in the pattern of the in-groove pit formation portion in the boundary pit formation region of the master.
[0053]
Next, the glass master on which the photoresist was exposed was developed in the same manner as in Example 1, and the glass master was etched using an RIE apparatus or the like according to the remaining photoresist pattern. This obtained the glass original disc in which the desired uneven | corrugated pattern was formed in the surface. In this example, the groove forming portion and the boundary groove forming portion were etched to a depth of 170 nm from the glass master surface, and the in-groove pit forming portion and the boundary pit forming portion were etched to a depth of 260 nm from the glass master surface. Further, the boundary groove forming part was formed wider than the groove forming part.
[0054]
In the present embodiment, as in the first embodiment, when changing the exposure intensity during exposure, a period for temporarily setting the exposure intensity of the laser beam to 0 level is provided every time the exposure intensity is switched. Further, in this embodiment, the master exposure was performed in the in-groove pit formation region while controlling the exposure intensity of each in-groove pit formation portion having a predetermined pit length as follows. As shown in FIG. 11, exposure is performed at level 4 for 1T to 1.5T (T: clock cycle) from the start of exposure, and then the exposure intensity is reduced to 70% of level 4 for a predetermined period. Exposed. Further, exposure was performed again by returning the exposure intensity to level 4 for 1T to 1.5T until the end of the in-groove pit formation portion. As a result, the width of each in-groove pit formation portion in the master disk radial direction is prevented from spreading near the intermediate portion in the track direction of the in-groove pit formation portion. The exposure intensity of the in-groove pit formation portion in the boundary pit formation area may be similarly controlled.
[0055]
Using the master thus obtained, a substrate was produced using an injection molding method in the same manner as in Example 1. Next, as shown in FIG. 12B, the recording layer 2 and the reflective layer 3 were formed in the same manner as in Example 1. An optical information recording medium was obtained by attaching a dummy substrate to the obtained substrate via a photocurable resin.
[0056]
For the optical information recording medium thus obtained, in the same manner as in Example 1, the in-groove pit portion of the in-groove pit region 73, the boundary pit portion of the boundary pit region 74, the groove portion of the boundary groove region 76, and the groove region 75 The maximum depth of the groove portion was measured using an AFM manufactured by Digital Instruments. As shown in FIG. 12B, the maximum depth dg of the groove portion was 170 nm. The maximum depth dgb of the boundary groove portion was 170 nm. The maximum depth dpb of the boundary pit portion was 260 nm. The maximum depth dp of the in-groove pit portion was 260 nm. Note that the maximum depth dg of the groove portion and the maximum depth dp of the in-groove pit portion are 1.4 ≦ dp / dg ≦ 1.7 in order to obtain good recording / reproduction signal characteristics such as the degree of signal modulation and jitter. It is desirable to satisfy the following conditions.
[0057]
Further, with reference to the surface of the land 80, the half-value width Wp of the in-groove pit portion of the in-groove pit region 73, the half-value width Wpb of the boundary pit portion of the boundary pit region 74, the half-value width Wgb of the groove portion of the boundary groove region 76, The full width at half maximum Wg in the groove portion of the groove region 75 was measured using AFM manufactured by Digital Instruments. The full width at half maximum Wg was 320 nm, the full width at half maximum Wgb was 330 nm, the full width at half maximum Wpb was 360 nm, and the full width at half maximum Wp was 400 nm. From this, it can be seen that the relationship of Wg ≦ Wgb ≦ Wpb ≦ Wp is established. It can also be seen that the ratio of the half width Wp to the half width Wpb is Wp / Wpb = 1.11 and the condition of 1.05 ≦ Wp / Wpb ≦ 1.15 is satisfied. Further, it is understood that the ratio Wgb / Wg = 1.03 of the half width Wgb and the half width Wg satisfies the condition of 1.03 ≦ Wgb / Wg ≦ 1.15.
[0058]
Further, in the optical information recording medium obtained in the present embodiment, as shown in FIG. 12A, the track direction of the in-groove pit 73a in the in-groove pit area 73 as a result of exposure with the exposure schedule as described above. The spread of the width in the substrate radial direction is suppressed near the intermediate portion. Thereby, a land surface having a sufficient area can be secured also in the land portion 77 adjacent to the in-groove pit. Therefore, a stable radial push-pull signal can be obtained from this optical information recording medium.
[0059]
Further, in order to adjust the effect of suppressing the spread of the width of the in-groove pit 73a, in the in-groove pit region 73, the width of the in-groove pit having the shortest channel bit length 3T in the substrate radial direction and a longer channel bit length are set. The width of the in-groove pits in the substrate radial direction was measured using a scanning probe microscope manufactured by Digital Instruments. The maximum width of the in-groove pit having the shortest channel bit length 3T was 0.34 μm. The maximum width of the in-groove pit having the channel bit length 11T was 0.38 μm. Further, the maximum width of the in-groove pit having the channel bit length 14T was 0.4 μm. According to experiments by the present inventors, the ratio of the maximum width of the in-groove pit having a channel bit length longer than the shortest channel bit length 3T to the maximum width of the in-groove pit having the shortest channel bit length 3T is 112 to 118%. It can be seen that in the in-groove pit longer than the shortest channel bit length, the spread of the width in the substrate radial direction is suppressed.
[0060]
Further, in the same manner as in Example 1, the in-groove pit portion of the in-groove pit region 73, the boundary pit portion of the boundary pit region 74, the groove portion of the boundary groove region 76 and the groove region 75 of the obtained optical information recording medium are obtained. The depth of the recording layer recess was measured using an AFM manufactured by Digital Instruments. As shown in FIG. 12B, the recording layer recess depth Tp in the in-groove pit region 73 was 170 nm. The recording layer recess depth Tpb in the boundary pit region 74 was 135 nm. The recording layer recess depth Tgb of the boundary groove region 76 was 110 nm. The recording layer recess depth Tg of the groove region 75 was 100 nm. Note that the recording layer recess depth Tp and the recording layer recess depth Tg are set to 1.6 ≦ Tp / Tg ≦ to obtain a recording / reproduction signal characteristic such as a good signal modulation degree and jitter as in the first embodiment. It is desirable to satisfy the condition of 2.0.
[0061]
Further, the recording layer recess depth Tpb in the boundary pit region 74, the recording layer recess depth Tp in the in-groove pit region 73, the recording layer recess depth Tgb in the boundary groove region 76, and the recording layer recess depth in the groove region 75 are recorded. The relationship with the thickness Tg is Tg ≦ Tgb ≦ Tpb ≦ Tp from the relationship between the groove half-value widths of the respective regions.
[0062]
The optical information recording medium obtained in the above example was reproduced using a laser beam having a wavelength of 650 nm and an optical pickup having a lens with a numerical aperture of 0.6. Signal detection and reproduction could be performed stably, and the signal modulation degree of the reproduction signal at this time was 61% and the jitter was 7.2%, and good results were obtained in both cases.
[0063]
[Example 4]
Yet another embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. In this example, the configuration was the same as Example 3 except that the boundary pit region used for the optical information recording medium was not provided, and only the boundary groove region was formed between the groove region and the in-groove pit formation region. Hereinafter, a method of manufacturing the master, the stamper, and the optical information recording medium used for manufacturing the substrate will be described.
[0064]
In this embodiment, as shown in FIG. 13, the exposure of the laser beam was performed using the three levels of level 1, level 2 and level 4 among the exposure intensities used in the embodiment 3. . The ratio of each level in this example was set so that level 2 would be 60% and level 1 would be 55% when level 4 was 100%, as in example 3. As shown in FIG. 13, the exposure intensity in the first and second groove forming regions was set to level 1. In the in-groove pit formation region, the exposure intensity of the in-groove pit formation portion was set to level 4, and the exposure intensity of the other groove portions was set to level 1. Further, the exposure intensity of the groove forming portion in the boundary groove forming region was set to level 2.
[0065]
Next, the glass master on which the photoresist was exposed was developed in the same manner as in Example 1, and the glass master was etched using an RIE apparatus or the like according to the remaining photoresist pattern. This obtained the glass original disc in which the desired uneven | corrugated pattern was formed in the surface. In this example, the groove forming portion and the boundary groove forming portion were etched to a depth of 170 nm from the glass master surface, and the in-groove pit forming portion was etched to a depth of 260 nm from the glass master surface. Further, the boundary groove forming part was formed wider than the groove forming part.
[0066]
In the present embodiment, as in the third embodiment, when changing the exposure intensity during exposure, a period for temporarily setting the exposure intensity of the laser beam to 0 level is provided every time the exposure intensity is switched. Further, as shown in FIG. 13, in the in-groove pit formation region, the exposure intensity of each in-groove pit formation portion having a predetermined pit length was controlled in the same manner as in Example 3 to perform master exposure.
[0067]
Using the master thus obtained, a substrate was produced using an injection molding method in the same manner as in Example 3. Next, as shown in FIG. 14B, the recording layer 2 and the reflective layer 3 were formed in the same manner as in Example 3. An optical information recording medium was obtained by adhering a dummy substrate to the obtained substrate through a photocurable resin.
[0068]
With respect to the optical information recording medium thus obtained, the maximum depths of the in-groove pit portion of the in-groove pit region 73, the groove portion of the boundary groove region 76, and the groove portion of the groove region 75 are set in the same manner as in the third embodiment. Measurement was performed using an AFM manufactured by Instruments. As shown in FIG. 14B, the maximum depth dg of the groove portion was 170 nm. The maximum depth dgb of the boundary groove portion was 170 nm. The maximum depth dp of the in-groove pit portion was 260 nm. Note that the maximum depth dg of the groove portion and the maximum depth dp of the in-groove pit portion are 1.4 ≦ dp / dg ≦ 1.7 in order to obtain good recording / reproduction signal characteristics such as the degree of signal modulation and jitter. It is desirable to satisfy the following conditions.
[0069]
Further, with reference to the surface of the land 80, the half-value width Wp of the in-groove pit portion of the in-groove pit region 73, the half-value width Wgb of the groove portion of the boundary groove region 76, and the half-value width Wg of the groove portion of the groove region 75 are Measurement was performed using AFM manufactured by Digital Instruments. The full width at half maximum Wg was 320 nm, the full width at half maximum Wgb was 350 nm, and the full width at half maximum Wp was 400 nm. From this, it can be seen that the relationship of Wg ≦ Wgb ≦ Wp is established. Furthermore, it is found that the ratio Wgb / Wg = 1.09 of the half width Wgb and the half width Wg satisfies the condition of 1.05 ≦ Wgb / Wg ≦ 1.15.
[0070]
Further, as shown in FIG. 14A, as a result of exposure using the exposure schedule as described above, the spread of the width in the substrate radial direction is suppressed near the middle portion in the track direction of the in-groove pit 73a of the in-groove pit region 73. ing. Thereby, a land surface having a sufficient area can be secured also in the land portion 77 ′ adjacent to the in-groove pit. Therefore, a stable radial push-pull signal can be obtained from this optical information recording medium.
[0071]
Further, in order to adjust the effect of suppressing the spread of the width of the in-groove pit 73a, in the in-groove pit region 73, the width of the in-groove pit having the shortest channel bit length 3T in the substrate radial direction and a longer channel bit length are set. The width of the in-groove pits in the substrate radial direction was measured using a scanning probe microscope manufactured by Digital Instruments. The maximum width of the in-groove pit having the shortest channel bit length 3T was 0.34 μm. The maximum width of the in-groove pit having the channel bit length 11T was 0.38 μm. Further, the maximum width of the in-groove pit having the channel bit length 14T was 0.4 μm. According to experiments by the present inventors, the ratio of the maximum width of the in-groove pit having a channel bit length longer than the shortest channel bit length 3T to the maximum width of the in-groove pit having the shortest channel bit length 3T is 112 to 118%. It can be seen that in the in-groove pit longer than the shortest channel bit length, the spread of the width in the substrate radial direction is suppressed.
[0072]
Further, in the same manner as in Example 3, the depth of the recording layer in the in-groove pit portion of the in-groove pit region 73, the boundary groove region 76, and the groove portion of the groove region 75 of the obtained optical information recording medium was changed to Digital Instruments. It measured using AFM made from a company. As shown in FIG. 14B, the recording layer recess depth Tp in the in-groove pit region 73 was 170 nm. The recording layer recess depth Tgb of the boundary groove region 76 was 120 nm. The recording layer recess depth Tg of the groove region 75 was 100 nm. Note that the recording layer recess depth Tp and the recording layer recess depth Tg are set to 1.6 ≦ Tp / Tg ≦ to obtain a recording / reproduction signal characteristic such as a good signal modulation degree and jitter as in the first embodiment. It is desirable to satisfy the condition of 2.0.
[0073]
The relationship between the recording layer recess depth Tp of the in-groove pit region 73, the recording layer recess depth Tgb of the boundary groove region 76, and the recording layer recess depth Tg of the groove region 75 is the groove half of each of the above regions. From the relationship of the value width, Tg ≦ Tgb ≦ Tp.
[0074]
The optical information recording medium obtained in the above example was reproduced using a laser beam having a wavelength of 650 nm and an optical pickup having a lens with a numerical aperture of 0.6. Signal detection and reproduction could be performed stably, and the signal modulation degree of the reproduction signal at this time was 61% and the jitter was 7.2%, and good results were obtained in both cases.
[0075]
At the time of master exposure in Examples 3 and 4, the exposure intensity of the in-groove pit formation portion having a predetermined pit length in the in-groove pit formation area is first set as the first exposure intensity, and then lower than the first exposure intensity. The second exposure intensity is controlled to be changed to the first exposure intensity. However, similar exposure intensity control may be performed during the master exposure in the first and second embodiments.
[0076]
【The invention's effect】
In the optical information recording medium of the present invention, by providing a boundary pit area between the in-groove pit area and the groove area, it is possible to suppress a tracking error that occurs between the in-groove pit area and the groove area. . The method for producing an optical information recording medium of the present invention is useful for producing the optical information recording medium of the present invention.
[0077]
By providing a wide groove (boundary groove) between the groove forming region and the boundary pit forming region, it is possible to obtain a good tracking characteristic while maintaining the modulation degree of the boundary pit in a good state. Further, even when only the boundary groove is provided in place of the boundary pit formation region, stable servo control can be performed.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1A is a schematic top view showing a part of a conventional optical information recording medium having in-groove pits, and FIG. 1B is a cross-sectional view taken along line AA in FIG.
2 is a diagram illustrating a method for producing a glass master in Example 1. FIG.
FIG. 3 is a view showing a change over time in the exposure intensity of the laser beam irradiated on the glass master in Example 1.
4A is a schematic top view showing a part of a glass master immediately after photoresist exposure / development in Example 1, and FIG. 4B is a cross-sectional view taken along line A′-A ′ in FIG. FIG.
5 is a diagram illustrating a method for producing a glass master in Example 1. FIG.
6 is a schematic perspective view of a pattern forming surface of a substrate obtained in Example 1. FIG.
7 is a schematic view of a substrate obtained in Example 1. FIG.
8A is a schematic top view in the vicinity of the boundary pit region of the optical information recording medium in Example 1, and FIG. 8B is a diagram showing a cross section taken along the line CC in FIG. 8A.
FIG. 9 is a diagram showing a sum signal and a difference signal (radial push-pull signal) in the vicinity of the boundary between the in-groove pit area and the groove area, and (a) shows the information recording medium created in the first embodiment. FIG. 4B is a diagram showing each of these signals, and FIG. 5B is a diagram showing each of these signals of an information recording medium having a conventional in-groove pit.
10 is a schematic cross-sectional view of the vicinity of a boundary portion between an in-groove pit area and a groove area of the optical information recording medium in Embodiment 2. FIG.
FIG. 11 is a diagram showing a change over time in the exposure intensity of laser light irradiated on a glass master in Example 3.
12A is a schematic top view of the optical information recording medium in Example 3 in the vicinity of the boundary pit region, and FIG. 12B is a cross-sectional view taken along the line DD of FIG.
13 is a view showing a change over time in the exposure intensity of the laser beam irradiated on the glass master disk in Example 4. FIG.
FIG. 14A is a schematic top view of the optical information recording medium in Example 4 in the vicinity of the boundary pit region, and FIG. 14B is a cross-sectional view taken along line EE of FIG.
FIG. 15 is a diagram illustrating a cause of occurrence of a tracking error that occurs at a boundary portion between a groove forming region and an in-groove pit forming region.
[Explanation of symbols]
1,1 ', 101 substrate
2,2 ', 102 Recording layer
3, 3 ', 103 reflective layer
40 Groove formation part
42 Boundary pit formation part
44 In-groove pit formation section
50 Glass master
52 photoresist
71,75 groove area
73 In-groove pit area
72, 74 boundary pit area
101a Land surface
105 Groove
107 In-groove pit
sa, sb Sum signal
ppa, ppb difference signal (radial push-pull signal)
AX central axis

Claims (43)

複数のランド及びグルーブが形成された基板と、該基板上に記録層と反射層とを有する光情報記録媒体において、
上記グルーブが、第１グルーブと；
ピットが形成されている第２グルーブと；
第２グルーブのピットより幅の狭いピットが形成されている第３グルーブと；を含み、
第３グルーブが、第１グルーブと第２グルーブとの間に配置されていることを特徴とする光情報記録媒体。In an optical information recording medium having a substrate on which a plurality of lands and grooves are formed, and a recording layer and a reflective layer on the substrate,
The groove is a first groove;
A second groove in which pits are formed;
A third groove in which a pit narrower than the pit of the second groove is formed;
An optical information recording medium, wherein the third groove is disposed between the first groove and the second groove. 第１グルーブの半値幅をＷｇで表わし、第２グルーブの半値幅をＷｐで表わし、第３グルーブの半値幅をＷｐｂで表わしたときに、Ｗｇ≦Ｗｐｂ≦Ｗｐであることを特徴とする請求項１に記載の光情報記録媒体。The half width of the first groove is represented by Wg, the half width of the second groove is represented by Wp, and the half width of the third groove is represented by Wpb, wherein Wg ≦ Wpb ≦ Wp. 2. The optical information recording medium according to 1. 半値幅Ｗｐと半値幅Ｗｐｂとの比Ｗｐ／Ｗｐｂが、１．０５≦Ｗｐ／Ｗｐｂ≦１．１５であることを特徴とする請求項２に記載の光情報記録媒体。3. The optical information recording medium according to claim 2, wherein a ratio Wp / Wpb between the half width Wp and the half width Wpb is 1.05 ≦ Wp / Wpb ≦ 1.15. 上記記録層が、色素材料で形成されていることを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載の光情報記録媒体。The optical information recording medium according to claim 1, wherein the recording layer is made of a dye material. 上記色素材料がアゾ系色素材料であることを特徴とする請求項４に記載の光情報記録媒体。The optical information recording medium according to claim 4, wherein the dye material is an azo dye material. 上記記録層が、テルルを含むことを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載の光情報記録媒体。The optical recording medium according to claim 1, wherein the recording layer contains tellurium. 第１グルーブにおける、記録層と反射層との境界面からの記録層最大窪み深さをＴｇで表わし、第２グルーブにおける、記録層と反射層との境界面からの記録層最大窪み深さをＴｐで表わし、第３グルーブにおける、記録層と反射層との境界面からの記録層最大窪み深さをＴｐｂで表わしたときに、Ｔｇ≦Ｔｐｂ≦Ｔｐであることを特徴とする請求項１〜６のいずれか一項に記載の光情報記録媒体。The recording layer maximum depression depth from the boundary surface between the recording layer and the reflection layer in the first groove is represented by Tg, and the recording layer maximum depression depth from the boundary surface between the recording layer and the reflection layer in the second groove is represented by Tg. 2. Tg ≦ Tpb ≦ Tp when Tpb represents the maximum depth of the recording layer from the boundary surface between the recording layer and the reflective layer in the third groove. The optical information recording medium according to claim 6. 上記グルーブの同一グルーブ内に形成されているピットが、第１ピットと、グルーブ方向の長さが第１ピットよりも長い第２ピットで構成されており、第１ピットにおける基板半径方向の最大幅をＷ１で表わし、第２ピットにおける基板半径方向の最大幅をＷ２で表わしたとき、１＜Ｗ２／Ｗ１＜１．２であることを特徴とする請求項１〜７のいずれか一項に記載の光情報記録媒体。The pits formed in the same groove of the groove are composed of a first pit and a second pit whose length in the groove direction is longer than the first pit, and the maximum width in the substrate radial direction in the first pit. Is represented by W 1 , and the maximum width of the second pit in the radial direction of the substrate is represented by W 2 , 1 <W 2 / W 1 <1.2. The optical information recording medium according to one item. 請求項１〜８のいずれか一項に記載の光情報記録媒体の製造方法であって、
原盤上に形成された感光性材料を３種の異なる露光強度で照射することにより、該感光性材料を第１グルーブ、第２グルーブのピット及び第３グルーブのピットに対応するパターンを露光することと；
上記露光後に、原盤を現像して第１グルーブ、ピット付き第２グルーブ及びピット付き第３グルーブに対応するパターンを形成することと；
上記パターンが形成された原盤を用いて、基板を成形することと；
該基板上に記録層及び反射層を形成することを含む光情報記録媒体の製造方法。A method for producing an optical information recording medium according to any one of claims 1 to 8,
By irradiating the photosensitive material formed on the master with three different exposure intensities, the photosensitive material is exposed to patterns corresponding to the pits of the first groove, the second groove and the third groove. When;
After the exposure, the master is developed to form a pattern corresponding to the first groove, the second groove with pits, and the third groove with pits;
Forming a substrate using the master on which the pattern is formed;
A method for producing an optical information recording medium, comprising forming a recording layer and a reflective layer on the substrate. 上記ピットに対応するパターンを露光する際の露光強度を、始めに第１の露光強度とし、次いで第１の露光強度よりも低い第２露光強度とし、さらに第１の露光強度に変更することを特徴とする請求項９に記載の光情報記録媒体の製造方法。The exposure intensity at the time of exposing the pattern corresponding to the pit is set to the first exposure intensity, then the second exposure intensity lower than the first exposure intensity, and further changed to the first exposure intensity. The method for manufacturing an optical information recording medium according to claim 9, wherein: 第２の露光強度が第１の露光強度の７０％であることを特徴とする請求項１０に記載の光情報記録媒体の製造方法。The method of manufacturing an optical information recording medium according to claim 10, wherein the second exposure intensity is 70% of the first exposure intensity. 光情報記録媒体を再生するときのクロック周期をＴと表わしたときに、第１の露光強度で露光する期間をそれぞれ１Ｔ〜１．５Ｔに設定することを特徴とする請求項１０または１１に記載の光情報記録媒体の製造方法。12. The period of exposure at the first exposure intensity is set to 1T to 1.5T, respectively, when the clock cycle for reproducing the optical information recording medium is represented as T. Manufacturing method of optical information recording medium. 上記原盤の露光の際に、上記３種の露光強度に加えて露光強度を０にすることを含むことを特徴とする請求項９〜１２のいずれか一項に記載の光情報記録媒体の製造方法。13. The production of an optical information recording medium according to any one of claims 9 to 12, further comprising setting the exposure intensity to 0 in addition to the three kinds of exposure in the exposure of the master. Method. 上記現像において、ＲＩＥによるエッチングを行うことを含むことを特徴とする請求項９〜１３のいずれか一項に記載の光情報記録媒体の製造方法。The method for producing an optical information recording medium according to claim 9, wherein the development includes etching by RIE. 複数のランド及びグルーブが形成された基板と、該基板上に記録層と反射層とを有する光情報記録媒体において、
上記グルーブが、第１グルーブと；
第１グルーブより幅の広い第２グルーブと；
ピットが形成されている第３グルーブと；
第３グルーブのピットより幅の狭いピットが形成されている第４グルーブと；を含み、
第１〜第４グルーブが、第１グルーブ、第２グルーブ、第４グルーブ、第３グルーブの順に配置されていることを特徴とする光情報記録媒体。In an optical information recording medium having a substrate on which a plurality of lands and grooves are formed, and a recording layer and a reflective layer on the substrate,
The groove is a first groove;
A second groove wider than the first groove;
A third groove in which pits are formed;
A fourth groove in which a pit narrower than the pit of the third groove is formed;
An optical information recording medium, wherein the first to fourth grooves are arranged in the order of the first groove, the second groove, the fourth groove, and the third groove. 第１グルーブの半値幅をＷｇで表わし、第２グルーブの半値幅をＷｇｂで表わし、第３グルーブの半値幅をＷｐで表わし、第４グルーブの半値幅をＷｐｂで表わしたときに、Ｗｇ≦Ｗｇｂ≦Ｗｐｂ≦Ｗｐであることを特徴とする請求項１５に記載の光情報記録媒体。  When the half width of the first groove is represented by Wg, the half width of the second groove is represented by Wgb, the half width of the third groove is represented by Wp, and the half width of the fourth groove is represented by Wpb, Wg ≦ Wgb The optical information recording medium according to claim 15, wherein ≦ Wpb ≦ Wp. 半値幅Ｗｐと半値幅Ｗｐｂとの比Ｗｐ／Ｗｐｂが、１．０５≦Ｗｐ／Ｗｐｂ≦１．１５であることを特徴とする請求項１６に記載の光情報記録媒体。The optical information recording medium according to claim 16, wherein a ratio Wp / Wpb between the half width Wp and the half width Wpb is 1.05 ≦ Wp / Wpb ≦ 1.15. 半値幅Ｗｇｂと半値幅Ｗｇとの比Ｗｇｂ／Ｗｇが、１．０３≦Ｗｇｂ／Ｗｇ≦１．１５であることを特徴とする請求項１６または１７に記載の光情報記録媒体。18. The optical information recording medium according to claim 16, wherein a ratio Wgb / Wg of the half width Wgb to the half width Wg is 1.03 ≦ Wgb / Wg ≦ 1.15. 上記記録層が、色素材料で形成されていることを特徴とする請求項１５〜１８のいずれか一項に記載の光情報記録媒体。The optical information recording medium according to any one of claims 15 to 18, wherein the recording layer is formed of a dye material. 上記色素材料がアゾ系色素材料であることを特徴とする請求項１９に記載の光情報記録媒体。20. The optical information recording medium according to claim 19, wherein the dye material is an azo dye material. 上記記録層が、テルルを含むことを特徴とする請求項１５〜１８のいずれか一項に記載の光情報記録媒体。The optical information recording medium according to any one of claims 15 to 18, wherein the recording layer contains tellurium. 第１グルーブにおける、記録層と反射層との境界面からの記録層最大窪み深さをＴｇで表わし、第２グルーブにおける、記録層と反射層との境界面からの記録層最大窪み深さをＴｇｂで表わし、第３グルーブにおける、記録層と反射層との境界面からの記録層最大窪み深さをＴｐで表わし、第４グルーブにおける、記録層と反射層との境界面からの記録層最大窪み深さをＴｐｂで表わしたときに、Ｔｇ≦Ｔｇｂ≦Ｔｐｂ≦Ｔｐであることを特徴とする請求項１５〜２１のいずれか一項に記載の光情報記録媒体。The recording layer maximum depression depth from the boundary surface between the recording layer and the reflection layer in the first groove is represented by Tg, and the recording layer maximum depression depth from the boundary surface between the recording layer and the reflection layer in the second groove is represented by Tg. The recording layer maximum depression depth from the boundary surface between the recording layer and the reflection layer in the third groove is expressed by Tp, and the maximum recording layer from the boundary surface between the recording layer and the reflection layer in the fourth groove is expressed by Tgb. The optical information recording medium according to any one of claims 15 to 21, wherein when the depth of the depression is expressed by Tpb, Tg≤Tgb≤Tpb≤Tp. 上記グルーブの同一グルーブ内に形成されているピットが、第１ピットと、グルーブ方向の長さが第１ピットよりも長い第２ピットで構成されており、第１ピットにおける基板半径方向の最大幅をＷ１で表わし、第２ピットにおける基板半径方向の最大幅をＷ２で表わしたとき、１＜Ｗ２／Ｗ１＜１．２であることを特徴とする請求項１５〜２２のいずれか一項に記載の光情報記録媒体。The pits formed in the same groove of the groove are composed of a first pit and a second pit whose length in the groove direction is longer than the first pit, and the maximum width in the substrate radial direction in the first pit. 23 is represented by W 1 , and the maximum width of the second pit in the substrate radial direction is represented by W 2 , 1 <W 2 / W 1 <1.2. The optical information recording medium according to one item. 請求項１５〜２３のいずれか一項に記載の光情報記録媒体の製造方法であって、
原盤上に形成された感光性材料を４種の異なる露光強度で照射することにより、該感光性材料を第１グルーブ、第２グルーブ、第３グルーブのピット及び第４グルーブのピットに対応するパターンを露光することと；
上記露光後に、原盤を現像して第１グルーブ、第２グルーブ、ピット付き第３グルーブ及びピット付き第４グルーブに対応するパターンを形成することと；
上記パターンが形成された原盤を用いて、基板を成形することと；
該基板上に記録層及び反射層を形成することを含む光情報記録媒体の製造方法。It is a manufacturing method of the optical information recording medium as described in any one of Claims 15-23,
A pattern corresponding to the pits of the first groove, the second groove, the third groove, and the pits of the fourth groove by irradiating the photosensitive material formed on the master with four different exposure intensities. Exposing;
After the exposure, the master is developed to form patterns corresponding to the first groove, the second groove, the third groove with pits, and the fourth groove with pits;
Forming a substrate using the master on which the pattern is formed;
A method for producing an optical information recording medium, comprising forming a recording layer and a reflective layer on the substrate. 上記ピットに対応するパターンを露光する際の露光強度を、始めに第１の露光強度とし、次いで第１の露光強度よりも低い第２露光強度とし、さらに第１の露光強度に変更することを特徴とする請求項２４に記載の光情報記録媒体の製造方法。The exposure intensity at the time of exposing the pattern corresponding to the pit is set to the first exposure intensity, then the second exposure intensity lower than the first exposure intensity, and further changed to the first exposure intensity. 25. A method of manufacturing an optical information recording medium according to claim 24. 第２の露光強度が第１の露光強度の７０％であることを特徴とする請求項２５に記載の光情報記録媒体の製造方法。26. The method of manufacturing an optical information recording medium according to claim 25, wherein the second exposure intensity is 70% of the first exposure intensity. 光情報記録媒体を再生するときのクロック周期をＴと表わしたときに、第１の露光強度で露光する期間をそれぞれ１Ｔ〜１．５Ｔに設定することを特徴とする請求項２５または２６に記載の光情報記録媒体の製造方法。27. The period of exposure at the first exposure intensity is set to 1T to 1.5T, respectively, when the clock cycle for reproducing the optical information recording medium is represented by T. 27. 26. Manufacturing method of optical information recording medium. 上記原盤の露光の際に、上記４種の露光強度に加えて露光強度を０にすることを含むことを特徴とする請求項２４〜２７のいずれか一項に記載の光情報記録媒体の製造方法。28. The production of an optical information recording medium according to any one of claims 24 to 27, wherein exposure of the master disc includes setting the exposure intensity to 0 in addition to the four types of exposure intensity. Method. 上記現像において、ＲＩＥによるエッチングを行うことを含むことを特徴とする請求項２４〜２８のいずれか一項に記載の光情報記録媒体の製造方法。The method for producing an optical information recording medium according to any one of claims 24 to 28, wherein the development includes etching by RIE. 複数のランド及びグルーブが形成された基板と、該基板上に記録層と反射層とを有する光情報記録媒体において、
上記グルーブが、第１グルーブと；
第１グルーブより幅の広い第２グルーブと；
ピットが形成されている第３グルーブと；を含み、
第２グルーブが、第１グルーブと第３グルーブとの間に配置されていることを特徴とする光情報記録媒体。In an optical information recording medium having a substrate on which a plurality of lands and grooves are formed, and a recording layer and a reflective layer on the substrate,
The groove is a first groove;
A second groove wider than the first groove;
A third groove in which pits are formed;
An optical information recording medium, wherein the second groove is disposed between the first groove and the third groove. 第１グルーブの半値幅をＷｇで表わし、第２グルーブの半値幅をＷｇｂで表わし、第３グルーブの半値幅をＷｐで表わしたときに、Ｗｇ≦Ｗｇｂ≦Ｗｐであることを特徴とする請求項３０に記載の光情報記録媒体。The half width of the first groove is represented by Wg, the half width of the second groove is represented by Wgb, and the half width of the third groove is represented by Wp, wherein Wg ≦ Wgb ≦ Wp. 30. The optical information recording medium according to 30. 半値幅Ｗｇｂと半値幅Ｗｇとの比Ｗｇｂ／Ｗｇが、１．０５≦Ｗｇｂ／Ｗｇ≦１．１５であることを特徴とする請求項３１に記載の光情報記録媒体。32. The optical information recording medium according to claim 31, wherein a ratio Wgb / Wg of the half width Wgb to the half width Wg is 1.05 ≦ Wgb / Wg ≦ 1.15. 上記記録層が、色素材料で形成されていることを特徴とする請求項３０〜３２のいずれか一項に記載の光情報記録媒体。The optical information recording medium according to any one of claims 30 to 32, wherein the recording layer is formed of a dye material. 上記色素材料がアゾ系色素材料であることを特徴とする請求項３３に記載の光情報記録媒体。34. The optical information recording medium according to claim 33, wherein the dye material is an azo dye material. 上記記録層が、テルルを含むことを特徴とする請求項３０〜３２のいずれか一項に記載の光情報記録媒体。The optical information recording medium according to any one of claims 30 to 32, wherein the recording layer contains tellurium. 第１グルーブにおける、記録層と反射層との境界面からの記録層最大窪み深さをＴｇで表わし、第２グルーブにおける、記録層と反射層との境界面からの記録層最大窪み深さをＴｇｂで表わし、第３グルーブにおける、記録層と反射層との境界面からの記録層最大窪み深さをＴｐで表わしたときに、Ｔｇ≦Ｔｇｂ≦Ｔｐであることを特徴とする請求項３０〜３５のいずれか一項に記載の光情報記録媒体。The recording layer maximum depression depth from the boundary surface between the recording layer and the reflection layer in the first groove is represented by Tg, and the recording layer maximum depression depth from the boundary surface between the recording layer and the reflection layer in the second groove is represented by Tg. The Tgb, and the maximum groove depth of the recording layer from the boundary surface between the recording layer and the reflective layer in the third groove is represented by Tp, and Tg ≦ Tgb ≦ Tp. 35. The optical information recording medium according to any one of 35. 上記グルーブの同一グルーブ内に形成されているピットが、第１ピットと、グルーブ方向の長さが第１ピットよりも長い第２ピットで構成されており、第１ピットにおける基板半径方向の最大幅をＷ１で表わし、第２ピットにおける基板半径方向の最大幅をＷ２で表わしたとき、１＜Ｗ２／Ｗ１＜１．２であることを特徴とする請求項３０〜３６のいずれか一項に記載の光情報記録媒体。The pits formed in the same groove of the groove are composed of a first pit and a second pit whose length in the groove direction is longer than the first pit, and the maximum width in the substrate radial direction in the first pit. 37 is represented by W 1 , and the maximum width of the second pit in the radial direction of the substrate is represented by W 2 , 1 <W 2 / W 1 <1.2. The optical information recording medium according to one item. 請求項３０〜３７のいずれか一項に記載の光情報記録媒体の製造方法であって、
原盤上に形成された感光性材料を３種の異なる露光強度で照射することにより、該感光性材料を第１グルーブ、第２グルーブ及び第３グルーブのピットに対応するパターンを露光することと；
上記露光後に、原盤を現像して第１グルーブ、第２グルーブ及びピット付き第３グルーブに対応するパターンを形成することと；
上記パターンが形成された原盤を用いて、基板を成形することと；
該基板上に記録層及び反射層を形成することを含む光情報記録媒体の製造方法。A method for producing an optical information recording medium according to any one of claims 30 to 37, comprising:
Irradiating the photosensitive material formed on the master with three different exposure intensities to expose the photosensitive material in patterns corresponding to the pits of the first groove, the second groove, and the third groove;
After the exposure, the master is developed to form a pattern corresponding to the first groove, the second groove, and the third groove with pits;
Forming a substrate using the master on which the pattern is formed;
A method for producing an optical information recording medium, comprising forming a recording layer and a reflective layer on the substrate. 上記ピットに対応するパターンを露光する際の露光強度を、始めに第１の露光強度とし、次いで第１の露光強度よりも低い第２露光強度とし、さらに第１の露光強度に変更することを特徴とする請求項３８に記載の光情報記録媒体の製造方法。The exposure intensity at the time of exposing the pattern corresponding to the pit is set to the first exposure intensity, then the second exposure intensity lower than the first exposure intensity, and further changed to the first exposure intensity. 40. A method of manufacturing an optical information recording medium according to claim 38. 第２の露光強度が第１の露光強度の７０％であることを特徴とする請求項３９に記載の光情報記録媒体の製造方法。40. The method of manufacturing an optical information recording medium according to claim 39, wherein the second exposure intensity is 70% of the first exposure intensity. 光情報記録媒体を再生するときのクロック周期をＴと表わしたときに、第１の露光強度で露光する期間をそれぞれ１Ｔ〜１．５Ｔに設定することを特徴とする請求項３９または４０に記載の光情報記録媒体の製造方法。41. The period of exposure at the first exposure intensity is set to 1T to 1.5T, respectively, when the clock cycle for reproducing the optical information recording medium is represented as T. 41. Manufacturing method of optical information recording medium. 上記原盤の露光の際に、上記３種の露光強度に加えて露光強度を０にすることを含むことを特徴とする請求項３８〜４１のいずれか一項に記載の光情報記録媒体の製造方法。The production of an optical information recording medium according to any one of claims 38 to 41, comprising exposing the exposure intensity to 0 in addition to the three kinds of exposure intensity when the master is exposed. Method. 上記現像において、ＲＩＥによるエッチングを行うことを含むことを特徴とする請求項３８〜４２のいずれか一項に記載の光情報記録媒体の製造方法。43. The method for producing an optical information recording medium according to any one of claims 38 to 42, wherein the development includes etching by RIE.
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