JP3654891B2 - Groove machining method for ceramic thrust plate - Google Patents
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Description
【0001】
【技術分野】
本発明は、セラミック製スラスト板の溝加工方法に係り、特に、動圧流体軸受におけるスラスト板として用いられるセラミック基板上に、動圧発生用の溝を有利に形成せしめることが出来る方法に関するものである。
【0002】
【背景技術】
従来、光・磁気ディスク装置等に搭載されるスピンドルモーターにおいては、軸受装置として、主に、玉軸受が採用されていたが、近年、各種ディスク装置に対しては装置の小型化、動作の高速化及び低振動化等が要求されているところから、そのようなディスク装置に搭載されるスピンドルモーターの軸受装置としても、従来の玉軸受に代えて、動圧流体軸受が採用されるようになっている。
【0003】
ところで、そのようなスピンドルモーターに用いられる動圧流体軸受は、一般に、軸方向に直角な方向の荷重(ラジアル荷重)を受けるラジアル軸受部と、軸方向の荷重(アキシヤル荷重)を受けるスラスト軸受部とから、構成されてなるものであるが、これら軸受部のうち、特に、スラスト軸受部においては、軸の回転により動圧を発生させる部材として、セラミック等の材質よりなる基板の上に動圧発生用の溝(動圧発生溝)が形成せしめられたもの(スラスト板)が、用いられている。
【0004】
ここにおいて、動圧流体軸受が、軸方向において安定した動圧特性を発揮するためには、上述したスラスト板における動圧発生溝の形状及び深さが高い精度において形成せしめられていることが、必要とされるところから、従来より、スラスト板の表面に加工を施して動圧発生溝を形成せしめる方法(溝加工方法)としては、種々の方法が提案され、採用されている。
【0005】
例えば、基板を研磨した後、金属製の基板に対しては放電加工や電解エッチング加工を施すことにより、また、セラミック製の基板に対してはエッチング加工やブラスト加工を施すことにより、基板の表面に凹所を設け、かかる凹所をもって動圧発生溝とする方法が、提案されている。
【0006】
しかしながら、このような、基板の表面に凹所を設けて動圧発生溝を形成せしめる、従来の方法にあっては、何れも、高価な装置を必要とするものであり、また、高い精度を有する動圧発生溝を形成せしめるためには、煩雑な工程を必要とし、その加工時間も必然的に長くなるところから、加工コストが嵩むという問題があった。
【0007】
また、特開平6−10148号公報(特許文献1)においては、金属製の板状体における動圧発生溝となる部位に、メッキ付着防止用の被覆を施した後、かかる板状体表面をメッキして、メッキ層を形成せしめ、次いで前記メッキ付着防止用の被覆を除去して、形成されたメッキ層(凸部)をもって、動圧発生溝とする方法が開示されているが、かかる方法にあっても、煩雑な工程を経るものであるところから、加工コストの点において、未だ、満足のいくものではなかった。
【0008】
さらに、動圧流体軸受は、スラスト板と対向する部材とが互いに接触した状態において、軸が回転を始めることにより、スラスト軸受部にて動圧が発生し、スラスト軸受として機能するようになるものであるため、そのようなスラスト板表面の動圧発生溝に対応する凸部にあっては、耐摩耗性に優れていることが要求されるのである。
【0009】
【特許文献1】
特開平6−10148号公報
【0010】
【解決課題】
ここにおいて、本発明は、かかる事情を背景にして為されたものであって、その課題とするところは、動圧流体軸受におけるスラスト板として用いられるセラミック基板表面に、耐摩耗性に優れた動圧発生溝を、より簡易に、且つ低いコストにて、形成せしめることが出来るセラミック製スラスト板の溝加工方法を提供することにある。
【0011】
【解決手段】
そして、本発明は、かかる課題の解決のために、動圧流体軸受におけるスラスト板として用いられるセラミック基板に所定の溝パターンを形成するに際して、かかるセラミック基板に対して研磨加工を行ない、その研磨加工面に対して、前記溝パターン対応部位を除く部位に所定厚さの凸部パターンが形成されるように、該セラミック基板と焼結、一体化し得る材料のペーストを印刷して、溝形成用凸部パターンを形成した後、焼成を行ない、該溝形成用凸部パターンを焼結せしめて、該セラミック基板に一体化させることにより、該溝形成用凸部パターンに対応した前記溝パターンを、該セラミック基板上に形成することを特徴とするセラミック製スラスト板の溝加工方法を、その要旨とするものである。
【0012】
このように、本発明に係るセラミック製スラスト板の溝加工方法にあっては、従来の溝加工方法の如く、特殊な装置を用いて基板の表面を処理するものではなく、焼結してセラミック基板と一体化し得る材料のペーストを用いて、セラミック基板の研磨加工面上に溝形成用凸部パターンを形成した後、焼成を行なうことにより、かかる溝形成用凸部パターンに対応した溝パターンを形成せしめるものであるところから、セラミック基板上に動圧発生溝が有利に形成され得ることとなる。
【0013】
また、この本発明の溝加工方法により形成された、動圧発生溝を形成する凸部にあっては、セラミック基板と焼結、一体化し得る材料よりなるものであるところから、優れた耐摩耗性をも発揮し得るのである。
【0014】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を更に具体的に明らかにするために、本発明の実施の形態について、図面を参照しつつ、詳細に説明することとする。
【0015】
先ず、図1及び図2には、従来より磁気ディスク装置等のスピンドルモーターにおいて用いられている動圧流体軸受の一例が、示されている。そして、それらの図のうち、図1においては、シャフト14の非回転時の状態が、また図2においては、シャフト14の回転時の状態が、各々、概略的に部分断面図の形態にて示されている。そこにおいて、それら図1及び図2に例示される動圧流体軸受10は、スリーブ部材12と、シャフト14と、セラミック製スラスト板16と、カウンタープレート18とから、構成されているのである。
【0016】
具体的には、スリーブ部材12には、大径部13a及び小径部13bからなる内孔が設けられており、その大径部13a側の開口部は、カウンタープレート18によって閉塞されている。そして、小径部13b側の開口部より挿入され、その挿入側の先端部に環状フランジ部20が組み付けられているシャフト14にあっては、かかる環状フランジ部20が大径部13a内に位置するように、配置せしめられている。また、かかる内孔の大径部13a内には、図3及び図4に示されている如き、その上面に略渦巻き状の動圧発生溝22を有する円盤状のセラミック製スラスト板16が、シャフト14及び環状フランジ部20の底面と、カウンタープレート18との間において、かかる動圧発生溝22を有する面がシャフト14及び環状フランジ部20の底面と接触した状態にて、介挿されている。更に、シャフト14の外周面にも、スリーブ部材12の内孔の小径部13b内に位置して、動圧発生溝24a、24bが、軸方向に離隔して二段に設けられている。加えて、スリーブ部材12の内孔内の空隙、具体的には、かかる内孔の内壁と各部材(シャフト14、セラミック製スラスト板16、環状フランジ部20)との間における隙間や、シャフト14の外周面に設けられた動圧発生溝24a、24bの溝部(凹部)内、更には、セラミック製スラスト板16上の動圧発生溝22の溝部(凹部)内には、よく知られているように、潤滑流体としてのオイル(図示せず)が充填されている。
【0017】
そして、このような構造を呈する動圧流体軸受10にあっては、シャフト14におけるスリーブ部材12より突出している側の端部が、スピンドルモーターの回転軸と直結されて、用いられることとなるのである。
【0018】
すなわち、かかる動圧流体軸受10がスピンドルモーターに取り付けられて、スピンドルモーターが回転を始めると、動圧流体軸受10にあっては、モーターの回転軸に直結されているシャフト14の回転によって、シャフト14の外周面に設けられた動圧発生溝24a、24b内に存在する潤滑流体(オイル)が、シャフト14の軸直角方向への圧力を発生せしめることとなるところから、シャフト14へのラジアル荷重を受けるラジアル軸受として機能するのである。また、かかる動圧流体軸受10においては、シャフト14及び環状フランジ部20の回転は、セラミック製スラスト板16上に設けられた動圧発生溝22内に存在している潤滑流体(オイル)にも作用して、シャフト14の軸方向への圧力を発生すると共に、シャフト14及び環状フランジ部20の底面とセラミック製スラスト板16との間に潤滑流体(オイル)の膜を形成し、以て、シャフト14へのアキシヤル荷重を受けるスラスト軸受として機能することとなるのである。
【0019】
このように、動圧流体軸受10は、図2に示されている如く、シャフト14の回転時においては、スピンドルモーターの回転軸に直結せしめられているシャフト14及び環状フランジ部20の外表面が、潤滑流体(オイル)の膜にて覆われることとなり、以て、かかるシャフト14(及び環状フランジ部20)を、非接触に支持せしめ得るのである。
【0020】
本発明にあっては、このような動圧流体軸受10におけるセラミック製スラスト板16上の動圧発生溝22を、図5に示されている如く、研磨加工が施されたセラミック基板26の研磨加工面に対して、かかるセラミック基板26と焼結、一体化し得る材料(以下、「焼結材料」とも言う。)のペースト28を印刷し、焼成することにより、形成せしめるようにしたのである。
【0021】
ここで、本発明に従って溝加工が施されることとなるセラミック基板26としては、従来より公知の耐熱性セラミックよりなるセラミック基板であれば、如何なるものであっても用いることが可能であり、具体的には、アルミナ、ジルコニア、ムライト等の公知の耐熱性セラミックの中から、本発明の溝加工後にスラスト板16として組み込まれることとなる動圧流体軸受10に要求される特性等に適したセラミックが選択され、かかる選択されたセラミックよりなる基板が用いられることとなる。なお、セラミック基板26の形状は、本実施形態においては円盤状であるが、本発明は、如何なる形状のセラミック基板に対しても適用可能であり、また、その大きさは、後に組み込まれることとなる動圧流体軸受に応じた大きさとされる。
【0022】
本発明においては、このようにして準備されたセラミック基板26に対して、先ず、従来より公知の各種手法に従って、所定の加工公差内となるように、その基板表面に、研磨加工が施される。このような研磨加工の実施は、動圧流体軸受10に組み込まれるセラミック製スラスト板16に対しては、特に、その溝深さにおいて高い精度が要求されるからである。
【0023】
次いで、かくの如き研磨加工の後、セラミック基板26の研磨加工面上における、目的とする溝パターンに対応する部位(溝存在部位)を除く部位に、焼結材料のペースト28が印刷されることにより、かかるペースト28よりなる溝形成用凸部パターン30が、所定厚さにて形成せしめられる。
【0024】
具体的には、図5に示した溝加工方法においては、通常のスクリーン32を用いた印刷方法(スクリーン印刷法)によって、焼結材料のペースト28が、印刷せしめられるようになっている。そして、ここにおいて用いられるスクリーン32には、目的とする動圧発生溝22の溝パターンに対応する部位を除く部位に、孔(空所)が設けられているのである。従って、図5に示されているように、焼結材料のペースト28を、そのような孔(空所)が設けられたスクリーン32を通して、セラミック基板26の研磨加工面上に供給することにより、セラミック基板26上に、ペースト28よりなる、目的とする溝形成用凸部パターン30が、形成せしめられることとなる。
【0025】
ここで、焼結材料のペースト28を印刷する際には、セラミック製スラスト板16に対して、換言すれば、本発明に従う溝加工後に用いられることとなる動圧流体軸受10に対して要求される動圧特性や、焼成による溝形成用凸部パターン30の収縮分、更には焼結後の研磨加工の削り代等をも考慮して、印刷される溝形成用凸部パターン30の厚さが決定されることとなるが、かかる厚さは、一般に、10μm以上、好ましくは20μm以上とされる。また、このようにして決定された溝形成用凸部パターン30の厚さに応じて、スクリーン32の厚さ及び材質も適宜に決定されることとなる。
【0026】
なお、本発明に従う溝加工方法にあっては、セラミック基板26に対して焼結材料のペースト28を印刷せしめる手法として、目的とする溝パターンを形成し得る凸部パターン30を形成し得る限りにおいて、上述したスクリーン印刷法のみならず、従来より公知の各種手法を採用し得ることは、言うまでもないところである。
【0027】
ところで、上述のようにセラミック基板26の研磨加工面に対して印刷されるペーストとしては、かかるセラミック基板26と焼結、一体化し得る材料(焼結材料)を主成分とするものであれば、如何なるものであっても用いることが出来るが、本発明においては、一般に、液剤(溶媒)に、焼結材料、バインダー、及び必要に応じてその他の成分を均一に分散乃至は溶解せしめてなるものが、好適に用いられることとなる。
【0028】
具体的には、セラミック基板26に焼結、一体化せしめ得る材料(焼結材料)としては、結晶化ガラス、ジルコニア、アルミナ等の、優れた耐摩耗性を有する公知のセラミックや、モリブデン−マンガン合金、タングステン等の、硬度が高い金属等を好適に用いることが出来るが、そのような公知の材料の中でも、特に、セラミック基板26を構成するセラミックとの間において、熱膨張係数の差の絶対値が4×10-6(K-1)以下である材料が有利に選択されて、用いられることとなる。けだし、熱膨張係数の差の絶対値が4×10-6(K-1)を超える材料よりなるペーストを用いると、かかるペーストよりなる溝形成用凸部パターン30が、焼成後の冷却過程において、変形したり、ひび割れを生じたりする等の恐れがあるからである。なお、このようにして選択された材料にあっては、焼結性の向上等を図るべく、粒径が10μm以下に微粉砕されたものが、好適に用いられることとなる。
【0029】
また、このような焼結材料が分散せしめられる液剤としては、テルピネオールやカルビトール等が有利に用いられ得るのであり、更に、焼結後の溝形成用凸部パターンに更なる強度を付与することを目的として配合されるバインダーとしては、エチルセルロース、アクリル系ポリマー、ポリビニルブチラール、ワックス等を主成分とする公知の各種バインダーの中から、用いられる液剤に溶解し得るものが適宜に選択されて、用いられることとなる。
【0030】
なお、本発明において用いられる、セラミック基板26に印刷される焼結材料のペースト28にあっては、セラミック基板26に対してする印刷性や、印刷された溝形成用凸部パターン30に要求される安定性等の観点より、500〜5000P程度の粘度を有するものであることが好ましいところから、上述した各成分にあっては、焼結材料:100重量部、液剤:5〜50重量部、バインダー:0.1〜20重量部の割合において各々配合されて、調製されることが好ましい。また、これら各成分以外にも、種々の目的の下に、その他の成分を配合せしめることも可能であり、例えば、ペーストに対して、セラミック基板26上に印刷する際の安定性や適切なレオロジー特性を付与することを目的として、消泡剤や分散剤等を適宜用いることも可能である。
【0031】
そして、本発明に従うセラミック製スラスト板16の溝加工方法においては、上述の如くしてセラミック基板26の研磨加工面上に形成された溝形成用凸部パターン30を焼成することにより、この溝形成用凸部パターン30を焼結せしめて、セラミック基板26に一体化させることにより、かかる溝形成用凸部パターン30に対応した凸部34に構成されるパターンを形成し、そしてこの凸部34にて囲まれた形態において、動圧発生溝24の溝パターンが、セラミック基板26上に形成されることとなるのである。
【0032】
ここで、セラミック基板26に形成された溝形成用凸部パターン30の焼成は、有利には、各種の焼成炉を用いて行なわれるのであり、このような焼成炉を用いる場合の焼成温度は、ペーストの主成分たる焼結材料の焼結温度に応じて、適宜に設定されることとなる。具体的には、焼結材料として、結晶化ガラスを用いた場合にあっては500〜1000℃程度、ジルコニアを用いた場合には1300〜1500℃程度、アルミナを用いた場合には1300〜1600℃程度、モリブデン−マンガン合金を用いた場合には1200〜1400℃程度、タングステンを用いた場合には1400〜1600℃程度の範囲内において、ペーストに含まれる他の成分をも勘案した適当な温度が、焼成温度として設定されることとなる。
【0033】
なお、セラミック基板26に印刷されたペーストの粘度が低く、焼成の際に、溝形成用凸部パターン30が変形するおそれがある場合には、印刷したペーストを乾燥させた後に焼成を行なうことが望ましい。
【0034】
また、セラミック基板26の表面に形成された、焼結材料のペースト28よりなる溝形成用凸部パターン30を焼成すると、かかるペースト28が焼結する際に収縮して、図5に示したように、焼結した溝形成用凸部パターン30の表面に凹凸が生じるおそれがあるところから、焼成後に、焼結した溝形成用凸部パターン30の凸部34の表面を研磨加工を施すことにより、高精度に動圧発生溝24の溝深さを制御することが好ましいのである。
【0035】
以上、本発明の好ましい実施態様について詳述してきたが、それは文字通りの例示であって、本発明は、そのような実施形態の記載によって、何等、限定的に解釈されるものでないことが、理解されるべきである。
【0036】
また、本発明に従って溝加工が施されたセラミック製スラスト板16は、図1及び図2に例示した動圧流体軸受10以外の構成を採用する動圧流体軸受においても、好適に用いられ得るものであって、例えば、図1及び図2に記載の動圧流体軸受10において、セラミック製スラスト板16をカウンタープレート18の代わりに用いて、かかるセラミック製スラスト板16を、その動圧発生溝22を有する面がシャフト14と対向するような状態において、スリーブ部材12の大径部13aを閉塞せしめた構造を呈する動圧流体軸受においても、好適に用いられることとなる。
【0037】
このように、本発明に係る溝加工方法にあっては、セラミック基板26と焼結、一体化し得る材料を主成分とするペーストをセラミック基板26上に印刷し、かかるペーストよりなる溝形成用凸部パターン30を形成せしめた後、焼成を行なうことにより、かかる溝形成用凸部パターン30に対応した溝(22)パターンを形成せしめるものであり、従来の溝加工方法の如く、表面処理のための煩雑な工程や、基板表面を処理するための特殊な装置を必要としないものであるところから、従来方法より、簡易に且つ低いコストにて、セラミック基板26上に、所定の溝パターンよりなる動圧発生溝22を形成することが可能となったのである。
【0038】
また、本発明に従ってセラミック基板26上に形成される溝形成用凸部パターン30にあっては、かかるセラミック基板26と焼結、一体化し得る材料のペーストが、焼成により焼結せしめられて、セラミック基板26と一体化されてなるものであるところから、優れた耐摩耗性を発揮し、セラミック製スラスト板16の高寿命化にも著しく寄与し得るのである。
【0039】
【実施例】
以下に、本発明の代表的な実施例を含む幾つかの実験例を示し、本発明を更に具体的に明らかにすることとするが、本発明が、そのような実験例の記載によって何等の制約をも受けるものでないことは、言うまでもないところである。また、本発明には、以下の実施例の他にも、更には上記の具体的記述以外にも、本発明の趣旨を逸脱しない限りにおいて、当業者の知識に基づいて種々なる変更、修正、改良等を加え得るものであることが理解されるべきである。
【0040】
先ず、緻密に焼結せしめられてなるアルミナ基板(26)を矩形盤状(30mm×6mm×0.8mm)に加工し、これにより得られた矩形盤状のアルミナ基板(26)表面に対して、研磨機を用いて、研磨加工を行なった。なお、かかる研磨加工に際しては、後に基板表面に形成する溝形成用凸部パターン(30)の厚み(高さ)を考慮して、10μm薄くなるように、研磨加工を行なった。
【0041】
一方、アルミナ基板(26)と焼結、一体化し得る材料として、耐摩耗性に優れた結晶化ガラス(ビッカース硬さ数:600kgf/mm2 )を選択し、これを粒径が10μm以下となるように微粉砕したものと共に、液剤として、テルピネオールとカルビトールを重量比で1:1にて混合した混合溶剤を用い、更に、バインダーとしてポリビニルブチラールを用いて、これら各成分を、結晶化ガラス:100重量部、混合溶剤:30重量部、ポリビニルブチラール:2重量部の割合にて配合して、均一に分散せしめることにより、結晶化ガラスのペースト(28)を準備した。なお、このようにして調製されたペースト(28)の粘度は2000Pであった。
【0042】
次いで、アルミナ基板(26)の研磨加工面上に、溝幅が1.2mmであり、溝ピッチ(隣り合う溝形成用凸部(34)の中心間の距離)が3mmの、互いに平行に並ぶ溝を形成すべく、アルミナ基板(26)における、かかる平行に並ぶ溝パターンに対応する部位を除く部位に、上述の如くして準備された結晶化ガラスのペースト(28)を、その厚みが20μmとなるようにスクリーン印刷することにより、結晶化ガラスのペースト(28)よりなる溝形成用凸部パターン(30)を形成した。
【0043】
さらに、乾燥機を用いて、アルミナ基板(26)上に印刷されたペースト(28)を乾燥させた後、かかるアルミナ基板(26)を焼成炉内に静置して、焼成温度:1000℃にて焼成することにより、結晶化ガラスのペースト(28)を焼結せしめた。そして、アルミナ基板(26)を冷却後、焼結した溝形成用凸部パターン(30)における凸部(34)の高さが10μmとなるように、かかる凸部(34)の上面に対して、研磨加工を施した。
【0044】
このように溝加工が施されたアルミナ基板(26)の表面を、表面粗さ測定機(株式会社東京精密製、サーフコム30C)を用いて測定し、その測定により得られた凸部(34)の形状を示すチャートを、図6に示す。なお、理解を容易にするために、かかる図6のチャートにおいては、凸部(34)の形状に関し、凸部(34)の高さ(溝深さ)方向が2000倍に、また凸部(34)の幅方向が2.5倍に、各々拡大されて、示されている。そして、この図6のチャートからも明らかなように、上述の如くして得られた溝形成用凸部(34)にあっては、表面が平滑で、高さ(深さ)が10±1μmにて形成せしめられていることが、認められるのである。
【0045】
【発明の効果】
以上の説明から明らかなように、本発明に従うセラミック製スラスト板の溝加工方法にあっては、従来の溝加工方法の如く、特殊な装置を用いて基板の表面を処理するものではなく、焼結してセラミック基板と一体化し得る材料のペーストを用いて、セラミック基板の研磨加工面上に溝形成用凸部パターンを形成した後、焼成を行なうことにより、かかる溝形成用凸部パターンに対応した溝パターンを形成せしめるものであるところから、従来方法より、簡易に且つ低いコストにて、セラミック基板上に動圧発生溝を形成することが可能となったのである。
【0046】
また、本発明の溝加工方法により形成された溝形成用凸部パターンは、焼成により、セラミック基板と焼結、一体化せしめられてなるものであるところから、優れた耐摩耗性をも発揮することとなる。
【図面の簡単な説明】
【図1】動圧流体軸受の、シャフト非回転時の状態を示す部分断面説明図である。
【図2】図1に示された動圧流体軸受の、シャフト回転時の状態を示す部分断面説明図である。
【図3】図1に示された動圧流体軸受に用いられているセラミック製スラスト板の上面説明図である。
【図4】図3に示されたセラミック製スラスト板の、A−A断面説明図である。
【図5】本発明に従うセラミック製スラスト板の溝加工方法における、ペーストの印刷から研磨加工までの工程の一例を示す断面説明図である。
【図6】実施例において、表面粗さ測定機にて溝形成用凸部を測定して得られた結果を示すチャートである。
【符号の説明】
10 動圧流体軸受 12 スリーブ部材
13a 大径部 13b 小径部
14 シャフト 16 セラミック製スラスト板
18 カウンタープレート 20 環状フランジ部
22 動圧発生溝 24a、24b 動圧発生溝
26 セラミック基板 28 ペースト
30 溝形成用凸部パターン 32 スクリーン
34 凸部[0001]
【Technical field】
TECHNICAL FIELD The present invention relates to a method for processing a groove of a ceramic thrust plate, and more particularly to a method capable of advantageously forming a groove for generating dynamic pressure on a ceramic substrate used as a thrust plate in a hydrodynamic bearing. is there.
[0002]
[Background]
Conventionally, in a spindle motor mounted on an optical / magnetic disk device or the like, a ball bearing has been mainly used as a bearing device. However, in recent years, for various disk devices, the size of the device is reduced and the operation speed is high. Therefore, as a bearing device for a spindle motor mounted on such a disk device, a hydrodynamic bearing has been adopted instead of the conventional ball bearing. ing.
[0003]
By the way, the hydrodynamic bearing used for such a spindle motor generally includes a radial bearing that receives a load in the direction perpendicular to the axial direction (radial load) and a thrust bearing that receives an axial load (axial load). Among these bearing parts, in particular, in the thrust bearing part, the dynamic pressure is formed on a substrate made of a material such as ceramic as a member that generates dynamic pressure by rotating the shaft. A thing (thrust plate) in which a generating groove (dynamic pressure generating groove) is formed is used.
[0004]
Here, in order for the dynamic pressure fluid bearing to exhibit stable dynamic pressure characteristics in the axial direction, the shape and depth of the dynamic pressure generating groove in the thrust plate described above are formed with high accuracy. In view of the necessity, various methods have been proposed and adopted as a method (groove processing method) for forming a dynamic pressure generating groove by processing the surface of a thrust plate.
[0005]
For example, after polishing the substrate, the surface of the substrate can be obtained by subjecting a metal substrate to electrical discharge machining or electrolytic etching, and to the ceramic substrate by etching or blasting There has been proposed a method in which a recess is provided in the groove and the recess is used as a dynamic pressure generating groove.
[0006]
However, any of the conventional methods for forming a dynamic pressure generating groove by providing a recess on the surface of the substrate requires an expensive device and has high accuracy. In order to form the dynamic pressure generating groove, a complicated process is required, and the processing time is inevitably long, which increases the processing cost.
[0007]
In Japanese Patent Laid-Open No. 6-10148 (Patent Document 1), after applying a coating for preventing plating adhesion to a portion that becomes a dynamic pressure generating groove in a metal plate-like body, the surface of the plate-like body is formed. A method is disclosed in which a plating layer is formed by plating, and then the coating for preventing plating adhesion is removed, and the formed plating layer (convex portion) is used as a dynamic pressure generating groove. However, since it is a complicated process, it has not been satisfactory in terms of processing cost.
[0008]
Furthermore, the hydrodynamic bearing is a shaft that begins to rotate in a state where the thrust plate and the opposing member are in contact with each other, so that dynamic pressure is generated at the thrust bearing portion and functions as a thrust bearing. Therefore, the protrusion corresponding to the dynamic pressure generating groove on the surface of the thrust plate is required to have excellent wear resistance.
[0009]
[Patent Document 1]
Japanese Patent Laid-Open No. 6-10148
[Solution]
Here, the present invention has been made in the background of such circumstances, and the problem is that the surface of the ceramic substrate used as the thrust plate in the hydrodynamic bearing has excellent wear resistance. It is an object of the present invention to provide a method for processing a groove of a ceramic thrust plate that can form a pressure generating groove more easily and at a low cost.
[0011]
[Solution]
And in order to solve this problem, the present invention performs a polishing process on the ceramic substrate when forming a predetermined groove pattern on the ceramic substrate used as a thrust plate in the hydrodynamic bearing, and the polishing process A paste of a material that can be sintered and integrated with the ceramic substrate is printed on the surface so that a convex pattern with a predetermined thickness is formed in a portion excluding the portion corresponding to the groove pattern. After forming the part pattern, firing is performed, and the groove forming convex part pattern is sintered and integrated with the ceramic substrate, whereby the groove pattern corresponding to the groove forming convex part pattern is The gist of the method of grooving a ceramic thrust plate, which is characterized by being formed on a ceramic substrate.
[0012]
As described above, in the method of grooving a ceramic thrust plate according to the present invention, the surface of the substrate is not treated using a special apparatus as in the conventional grooving method, but the ceramic is sintered and sintered. Using a paste of a material that can be integrated with the substrate, after forming the groove forming convex pattern on the polished surface of the ceramic substrate, firing is performed to form a groove pattern corresponding to the groove forming convex pattern. Since it is to be formed, the dynamic pressure generating groove can be advantageously formed on the ceramic substrate.
[0013]
Further, in the convex portion that forms the dynamic pressure generating groove formed by the groove processing method of the present invention, it is made of a material that can be sintered and integrated with the ceramic substrate, so that it has excellent wear resistance. It can also exhibit sex.
[0014]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Hereinafter, in order to clarify the present invention more specifically, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
[0015]
First, FIG. 1 and FIG. 2 show an example of a hydrodynamic bearing conventionally used in a spindle motor of a magnetic disk device or the like. Of these drawings, the state when the
[0016]
Specifically, the
[0017]
In the hydrodynamic bearing 10 having such a structure, the end portion of the
[0018]
That is, when the dynamic
[0019]
Thus, as shown in FIG. 2, the
[0020]
In the present invention, the dynamic
[0021]
Here, as the
[0022]
In the present invention, first, the
[0023]
Next, after the polishing process as described above, the
[0024]
Specifically, in the groove processing method shown in FIG. 5, the
[0025]
Here, when printing the
[0026]
In the groove processing method according to the present invention, as a method of printing the
[0027]
By the way, as the paste printed on the polished surface of the
[0028]
Specifically, as a material (sintered material) that can be sintered and integrated with the
[0029]
Further, as a liquid agent in which such a sintered material can be dispersed, terpineol, carbitol, or the like can be advantageously used, and further imparting further strength to the groove forming convex pattern after sintering. As a binder to be formulated for the purpose of, for example, a binder that can be dissolved in a liquid agent to be used is appropriately selected from various known binders mainly composed of ethyl cellulose, acrylic polymer, polyvinyl butyral, wax, and the like. Will be.
[0030]
The
[0031]
In the groove processing method of the
[0032]
Here, the firing of the groove forming
[0033]
If the viscosity of the paste printed on the
[0034]
Further, when the groove forming
[0035]
Although preferred embodiments of the present invention have been described in detail above, they are literal examples, and it should be understood that the present invention is not construed as being limited in any way by the description of such embodiments. It should be.
[0036]
Further, the
[0037]
As described above, in the groove processing method according to the present invention, a paste mainly composed of a material that can be sintered and integrated with the
[0038]
Further, in the groove forming
[0039]
【Example】
Hereinafter, some experimental examples including typical examples of the present invention will be shown, and the present invention will be clarified more specifically. However, the present invention is not limited by the description of such experimental examples. It goes without saying that there are no restrictions. In addition to the following examples, the present invention includes various changes, modifications, and modifications based on the knowledge of those skilled in the art without departing from the spirit of the present invention, in addition to the above specific description. It should be understood that improvements and the like can be added.
[0040]
First, an alumina substrate (26) that is densely sintered is processed into a rectangular disk shape (30 mm × 6 mm × 0.8 mm), and the surface of the rectangular disk-shaped alumina substrate (26) thus obtained is processed. Polishing was performed using a polishing machine. In this polishing process, the polishing process was performed so that the thickness (height) of the groove forming convex pattern (30) to be formed later on the substrate surface was reduced by 10 μm.
[0041]
On the other hand, as a material that can be sintered and integrated with the alumina substrate (26), crystallized glass (Vickers hardness number: 600 kgf / mm 2 ) excellent in wear resistance is selected, and the particle size becomes 10 μm or less. In addition to the finely pulverized product, a mixed solvent in which terpineol and carbitol are mixed at a weight ratio of 1: 1 is used as a liquid, and polyvinyl butyral is used as a binder. A crystallized glass paste (28) was prepared by blending in a proportion of 100 parts by weight, mixed solvent: 30 parts by weight, polyvinyl butyral: 2 parts by weight and uniformly dispersing. The viscosity of the paste (28) thus prepared was 2000P.
[0042]
Next, on the polished surface of the alumina substrate (26), the groove width is 1.2 mm, and the groove pitch (distance between the centers of the adjacent groove forming convex portions (34)) is 3 mm, which are arranged in parallel to each other. In order to form the groove, the crystallized glass paste (28) prepared as described above is formed on the alumina substrate (26) except for the part corresponding to the parallel groove pattern, and the thickness thereof is 20 μm. The groove-forming convex pattern (30) made of the crystallized glass paste (28) was formed by screen printing so that
[0043]
Furthermore, after drying the paste (28) printed on the alumina substrate (26) using a dryer, the alumina substrate (26) is allowed to stand in a firing furnace, and the firing temperature is set to 1000 ° C. The crystallized glass paste (28) was sintered by firing. Then, after cooling the alumina substrate (26), the height of the convex portion (34) in the sintered groove forming convex pattern (30) is 10 μm with respect to the upper surface of the convex portion (34). The polishing process was performed.
[0044]
The surface of the alumina substrate (26) thus grooved was measured using a surface roughness measuring machine (manufactured by Tokyo Seimitsu Co., Ltd., Surfcom 30C), and the convex portion (34) obtained by the measurement. A chart showing the shape is shown in FIG. For easy understanding, in the chart of FIG. 6, the height (groove depth) direction of the convex portion (34) is 2000 times and the convex portion (34) is related to the shape of the convex portion (34). The width direction of 34) is shown enlarged by 2.5 times. As apparent from the chart of FIG. 6, the groove-forming convex portion (34) obtained as described above has a smooth surface and a height (depth) of 10 ± 1 μm. It is recognized that it is formed in
[0045]
【The invention's effect】
As is clear from the above description, in the method of grooving a ceramic thrust plate according to the present invention, the surface of the substrate is not treated using a special apparatus as in the conventional grooving method. Corresponding to this groove forming convex pattern by forming a groove convex pattern on the polished surface of the ceramic substrate using a paste of a material that can be combined with the ceramic substrate and firing it Therefore, the dynamic pressure generating grooves can be formed on the ceramic substrate more easily and at a lower cost than the conventional method.
[0046]
Further, the groove forming convex pattern formed by the groove processing method of the present invention is sintered and integrated with the ceramic substrate by firing, and thus exhibits excellent wear resistance. It will be.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a partial cross-sectional explanatory view showing a state of a hydrodynamic bearing when a shaft is not rotating.
2 is a partial cross-sectional explanatory view showing a state of the hydrodynamic bearing shown in FIG. 1 when a shaft rotates.
3 is an upper surface explanatory view of a ceramic thrust plate used in the hydrodynamic bearing shown in FIG. 1. FIG.
FIG. 4 is an AA cross-sectional explanatory view of the ceramic thrust plate shown in FIG. 3;
FIG. 5 is an explanatory cross-sectional view showing an example of steps from paste printing to polishing in the method of grooving a ceramic thrust plate according to the present invention.
FIG. 6 is a chart showing results obtained by measuring groove-forming convex portions with a surface roughness measuring machine in Examples.
[Explanation of symbols]
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Claims (1)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
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Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003147188A JP3654891B2 (en) | 2003-05-26 | 2003-05-26 | Groove machining method for ceramic thrust plate |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004347078A JP2004347078A (en) | 2004-12-09 |
JP3654891B2 true JP3654891B2 (en) | 2005-06-02 |
Family
ID=33533789
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
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Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3654891B2 (en) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102011114413A1 (en) * | 2011-09-26 | 2013-03-28 | Esk Ceramics Gmbh & Co. Kg | Hydrodynamic thrust bearing |
-
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---|---|
JP2004347078A (en) | 2004-12-09 |
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